DE10036955A1

DE10036955A1 - Bauelementbestückungsvorrichtung und Verfahren zum Anbringen von Bauelementen

Info

Publication number: DE10036955A1
Application number: DE10036955A
Authority: DE
Inventors: Young-Soo Hwang; Tae-Yeon Cho; Jhin-Woo Shin
Original assignee: Samsung Techwin Co Ltd
Current assignee: Hanwha Techwin Co Ltd
Priority date: 2000-02-15
Filing date: 2000-07-28
Publication date: 2001-08-16
Anticipated expiration: 2020-07-29
Also published as: US6634091B1; US20030070289A1; CN1309528A; CN1224302C; JP2001230595A; US6986200B2; DE10036955B4

Abstract

Bauelemente werden dadurch angebracht, daß ein bestimmter Bauelementzulieferer (18a bis 18e) unter einer Vielzahl von Zulieferern erkannt wird, an dem das anzubringende Bauelement aufgenommen ist, ein Kopf (14) in eine Position zum Aufnehmen eines Bauelementes am Zulieferer (18a bis 18e) bewegt wird, ein Bildsensor (46) bewegt wird, der so angebracht ist, daß er sich in eine Position nahe an dem gegebenen Zulieferer (18a bis 18e) bewegen kann, ein Bauelement von dem gegebenen Zulieferer (18a bis 18e) mit einer Saugdüse (15) aufgenommen wird, die am Kopf (14) vorgesehen ist, der Kopf (14) in eine Position über dem Bildsensor (46) bewegt wird, ein Bild des Bauelementes aufgenommen wird, das von der Saugdüse (15) gehalten ist, die Saugdüse (15) vom Bildsensor (46) zu einer gedruckten Schaltungsplatte (25) bewegt wird, und das Bauelement zu der gedruckten Schaltungsplatte (25) ausgerichtet wird, während ein Fehler bestimmt und kompensiert wird, der beim Aufnehmen des Bauelementes erzeugt wurde, und das ausgerichtete Bauelement auf der gedruckten Schaltungsplatte (25) angeordnet wird.

Description

Die Erfindung betrifft eine Bauelementbestückungs- oder -montagevorrichtung und ein Verfahren zum Anbringen von Bauele menten, bei denen insbesondere die erforderliche Zeit und die Strecke so klein wie möglich gehalten sind, über die sich die Anordnung zum Anbringen der Bauelemente bewegen muß und die Position der Bauelemente genau erkannt werden kann.

Im allgemeinen werden elektronische Bauelemente, wie beispielsweise Halbleiterpakete an einer gedruckten Schaltungs platte unter Verwendung einer Bauelementbestückungsvorrichtung angebracht. Bestückungsvorrichtungen greifen die elektronischen Bauelemente, die von einem Zulieferteil beispielsweise einem Trogförderer oder einem Bandförderer zugeliefert werden, durch Ansaugen mit Unterdruck auf und ordnen die elektronischen Bauelemente an bestimmten Positionen auf der gedruckten Schaltungsplatte an. Eine Kopfeinheit bewegt dabei ein elektronisches Bauelement zu einem Bildsensor, um eine Information über die Stellung des Bauelementes zu erhalten, das von einer Saugdüse gehalten ist. Als Bildsensor dient eine Videokamera wie bei spielsweise eine Zeilen- oder Bereichs-CCD Kamera. Der Bildsensor erfaßt den Zustand eines Bauelementes, das durch den Ansaugteil gehalten ist, so daß eine Information über die Stellung des Bauelementes erhalten wird. Der Ansaugteil korrigiert die Stellung des gehaltenen Bauelementes nach Maßgabe der Bild information und ordnet dann das Bauelement auf der gedruckten Schaltungsplatte an.

Fig. 1 der zugehörigen Zeichnung zeigt in einer perspektivi schen Ansicht den Aufbau einer typischen Bestückungsvorrichtung. Wie es in Fig. 1 dargestellt ist, umfaßt die Bestückungsvor richtung eine erste Y-Achse 12 und eine zweite Y-Achse 13, eine X-Achse 11, die sich längs der ersten und der zweiten Y-Achse 12 und 13 bewegt, und einen Kopf 14, der so angebracht ist, daß er sich entlang der X-Achse 11 bewegen kann. Eine Saugdüse 15 ist am Kopf 14 so angebracht, daß sie sich drehen und auf- und abbewegen kann. Eine gedruckte Schaltungsplatte 25 wird von einem Förderer 19 zu der Stelle eines anzubringenden Bauelementes befördert. Der Kopf 14 bewegt sich zwischen Bauelemenezulieferern 18a, 18b, 18c, 18d und 18e und der gedruckten Schaltungsplatte 25. Die Saugdüse 15 bewegt sich auf und ab und/oder dreht sich, um ein Bauelement zu halten und dieses auf der gedruckten Schaltungsplatte 25 anzubringen. Wenigstens einer der Zulieferer 18a, 18b, 18c, 18d und 18e kann ein Band- oder Trogförderer sein. Während der Anbringung der Bauelemente läuft der Kopf 14 über einen Bildsensor 16. Der Bildsensor 16 ist an einer Seite der Bestückungsvorrichtung befestigt und erfaßt das Bauelement, das von der Saugdüse 15 gehalten ist, so daß diese einen Positions fehler korrigiert, der beim Halten des Bauelementes durch die Saugdüse 15 auftreten kann. Der Bildsensor 16 kann eine Bild erfassungseinrichtung, beispielsweise eine Videokamera, ins besondere eine Zeilen- oder Bereichs-CCD Kamera aufweisen.

Fig. 2 der zugehörigen Zeichnung zeigt in einer schematischen Ansicht den Weg, über den sich der Kopf 14 in Fig. 1 bewegt. Wie es in Fig. 2 dargestellt ist, nimmt die Saugdüse 15 des Kopfes 14 ein Bauelement von den Zulieferern 18a, 18b, 18c, 18d und 18e auf und bewegt sich die Saugdüse 15 zu einer Position direkt über dem Bildsensor 16. Der Bildsensor 16 erfaßt das durch die Saugdüse 15 gehaltene Bauelement. Während des Erfassungsvor ganges durch den Bildsensor 16 kann ein Fehler erkannt werden, der dann auftritt, wenn das Bauelement durch die Saugdüse 15 gehalten wird. Der Kopf bewegt sich dann über eine Anbringungs position P auf der gedruckten Schaltungsplatte 25. Die Saugdüse 15 des Kopfes 14 bewegt sich nach unten und ordnet das Bauelement an der Montageposition P der gedruckten Schaltungsplatte 25 an. Um einen Fehler zu korrigieren, der durch den Bilderfassungsvor gang erkannt wurde, ändert der Kopf 14 seine Position im Koor dinatensystem oder dreht sich die Saugdüse 15, woraufhin das Bauelement angeordnet wird.

Da bei der Bestückungsvorrichtung mit dem obigen Aufbau der Kopf 14 von den Zulieferern 18a, 18b, 18c, 18d und 18e zur Anbringungsposition P auf der gedruckten Schaltungsplatte 25 über den Bildsensor 16 wandern muß, ist die Strecke der Bewegung lang und kompliziert. Da der Bildsensor 16 an einer bestimmten Stelle festliegt, muß sich nämlich der Kopf 14 zu einer Position direkt über dem Bildsensor 16 bewegen, um den Zustand oder die Stellung des gehaltenen Bauelementes zu erfassen.

Fig. 3 zeigt das Bild des Zustandes, in dem ein Bauelement durch die Saugdüse 15 gehalten ist, das über eine Bildaufnahme vorrichtung aufgenommen wurde. Wie es in Fig. 3 dargestellt ist, fällt die Mitte der Saugdüse 15 mit einem Mittelpunkt A des Bildes 121 zusammen. Wenn somit die Saugdüse 15 ein Bauelement 111 aufnimmt und direkt über den Bildsensor 16 bewegt, ist die Mitte der Saugdüse 15 so ausgelegt, daß sie mit der Mitte des Bildsensors 16 zusammenfällt. Wenn somit der Bildsensor 16 ein Bild aufnimmt, fällt der Mittelpunkt A des Bildes 121 im wesentlichen mit der Mitte der Saugdüse 15 zusammen. Der Grund dafür besteht darin, daß eine typische Bilderkennungsvorrichtung auf einer Seite des Bauelementzulieferteils einer Bestückungsvorrichtung befestigt ist und sich der Kopf 14 in eine bestimmte Position bewegt, nachdem er sich entlang eines gegebenen Weges bewegt hat, so daß die Mitte der Saugdüse 15 mit der Mitte des Bildes 121 zusammenfällt.

Wenn die Bilderfassung erfolgt, nachdem die Saugdüse 15 ein Bauelement aufgegriffen hat, wird die Positionsinformation des Mittelpunktes O eines Bauelementes zusammen mit der Information über die Größe und die Form des Bauelementes erkannt. Anschlie ßend wird die Information über die Schräglage des Bauelementes aus der Information über die Form des Bauelementes gewonnen. Wie es in Fig. 3 dargestellt ist, wird der Abstand in X-Richtung und in Y-Richtung zwischen dem Mittelpunkt A des Bildes 121 und dem Mittelpunkt O des Bauelementes 101 ermittelt und wird der Drehwinkel θ erfaßt, woraufhin dieser Abstand und der Drehwinkel kompensiert werden.

Um den Fehler zu korrigieren, der dann erzeugt wird, wenn das Bauelement gehalten wird, muß der Bildsensor 16 jedoch in einem festgelegten Zustand gehalten werden. Das beruht darauf, daß der Mittelpunkt der Saugdüse 15 mit dem Mittelpunkt A des Monitors zusammenfallen muß, um den Fehler beim Ansaugen des Bauelementes zu erkennen. Wenn daher der Mittelpunkt der Saugdüse 15 nicht mit dem Mittelpunkt des Bildes 121 während der Bildauf nahme zusammenfällt, ist eine Korrektur eines Fehlers nicht möglich. Die Positionsinformation bezüglich der Düse wird indirekt erhalten und es wird davon ausgegangen, daß die obige Voraussetzung erfüllt ist. Dementsprechend muß wenigstens der Bildsensor 16 oder der Kopf 14 fest angeordnet sein.

Durch die Erfindung soll eine Bauelementbestückungsvor richtung und ein Verfahren zum Anbringen von Bauelementen geschaffen werden, die so ausgebildet sind, daß das Anbringen der Bauelemente schnell erfolgen kann, während gleichzeitig ein erzeugter Fehler korrigiert werden kann.

Dazu umfaßt die erfindungsgemäße Bauelementbestückungsvor richtung mehrere Bauelementzulieferer zum Aufnehmen und Zuliefern von Bauelementen, einen Förderer zum Befördern einer gedruckten Schaltungsplatte, einen Kopf, der sich bewegen kann und eine Saugdüse aufweist, um ein Bauelement von den Zulieferern aufzunehmen und das Bauelement auf der gedruckten Schaltungs platte auf dem Förderer anzubringen, und einen Bildsensor, der so angebracht ist, daß er sich entlang eines Weges bewegt, der die Bewegungsbahn des Kopfes kreuzt, um ein Bild des Bauelementes aufzunehmen, das von der Saugdüse gehalten ist.

Vorzugsweise ist am Kopf ein Bezugsteil vorgesehen, der dann erfaßt wird, wenn er beim Aufnehmen eines Bildes von dem durch die Saugdüse gehaltenen Bauelement durch den Bildsensor von dem Bauelement nicht verdeckt wird.

Insbesondere bewegt sich der Bildsensor nahe zum Bauelement zulieferer, wenn ein Bauelement aufgenommen wird.

Es ist weiterhin bevorzugt, daß sich der Bildsensor zu einer Position bewegt, an der sich ein Weg, über den sich der Kopf zwischen einer Position, an der das Bauelement vom Zulieferer aufgenommen wird, und einer Position bewegt, an der das Bauele ment auf der gedruckten Schaltungsplatte angebracht wird, und ein Weg kreuzen, über den sich der Bildsensor bewegt.

Insbesondere wird der Bildsensor von einem Motor, der eine Antriebskraft liefert, einer Kugelumlaufspindel, die vom Motor gedreht wird, und einem Laufbuchsen- und Linearführungselement bewegt, das auf einer Seite des Bildsensors angebracht ist und mit der Kugelumlaufspindel gekoppelt ist.

Der Bildsensor kann insbesondere von einem Linearmotor bewegt werden.

Es ist weiterhin bevorzugt, daß der Kopf so angebracht ist, daß er sich längs einer X-Achse bewegen kann, die so angeordnet ist, daß sie sich längs einer ersten Y-Achse und einer zweiten Y-Achse bewegen kann, die parallel zueinander angeordnet sind.

Insbesondere sind zwei X-Achsen so angebracht, daß sie sich entlang einer ersten und einer zweiten Y-Achse bewegen können, die parallel zueinander angeordnet sind, und sind zwei Köpfe so vorgesehen, daß sie sich jeweils längs einer der X-Achsen bewegen können, wobei zwei Bildsensoren nahe an beiden Seiten des Förderers vorgesehen sind.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Anbringen von Bauelemente wird ein bestimmter Bauelementzulieferer, an dem ein anzubringendes Bauelement aufgenommen ist, unter mehreren Zulieferern erkannt, wird ein Kopf in eine Position zum Aufnehmen eines Bauelementes am Zulieferer bewegt, wird ein Bildsensor bewegt, der so angebracht ist, daß er sich in eine Position nahe an dem jeweiligen Zulieferer bewegen kann, wird ein Bauelement von dem jeweiligen Zulieferer mit einer Saugdüse aufgenommen, die an dem Kopf angebracht ist, wird der Kopf in eine Position über dem Bildsensor bewegt, wird ein Bild des Bauelementes aufgenom men, das von der Saugdüse gehalten ist, wird die Saugdüse vom Bildsensor zu einer gedruckten Schaltungsplatte bewegt und das Bauelement zu der gedruckten Schaltungsplatte ausgerichtet, während ein Fehler festgestellt und kompensiert wird, der dann erzeugt wird, wenn das Bauelement aufgenommen wird, und wird das ausgerichtete Bauelement auf der gedruckten Schaltungsplatte angebracht.

Vorzugsweise wird bei diesem Verfahren erkannt, ob der Bildsensor tatsächlich in eine Position nahe am gegebenen Zulieferer bewegt ist, nachdem davon ausgegangen wurde, daß das der Fall ist.

Vorzugsweise erfolgen die Fehlerbestimmung und Kompensation dadurch, daß die Koordinaten des Mittelpunktes der Saugdüse bestimmt werden, indem die Position eines Bezugsteils erfaßt wird, das nicht durch das Bauelement verdeckt wird, wenn das Bild aufgenommen wird, daß die Koordinaten des Mittelpunktes des Bauelementes aus einem Bild bestimmt werden, das vom Bildsensor erhalten wird, daß ein Korrekturwert der Bauelementposition dadurch berechnet wird, daß die Versetzung des Bauelementes aus der Versetzung des Mittelpunktes des von der Saugdüse gehaltenen Bauelementes vom Mittelpunkt der Saugdüse bestimmt wird, und daß die Position zum Anbringen des Bauelementes mit der Saugdüse nach Maßgabe des Korrekturwertes gesteuert wird.

Bei einem weiteren Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens wird ein optimaler Bewegungsweg zwischen einer Position zum Aufnehmen eines Bauelementes von einem Zulieferer und einer Position zum Anbringen des Bauelementes auf einer gedruckten Schaltungsplatte berechnet, wird ein Kopf in die Position zum Aufnehmen eines Bauelementes vom Zulieferer bewegt, wird eine Position berechnet, an der die Bewegungsbahn eines Bildsensors einen Weg zwischen dem Zulieferer und der Position zum Anbringen des Bauelementes kreuzt, über den sich der Kopf bewegt, wird der Bildsensor zur Kreuzungsposition bewegt, wird ein Bauelement mit einer Saugdüse des Kopfes aufgenommen, wird der Kopf in eine Position über dem Bildsensor bewegt, wird das Bauelement, das von der Saugdüse gehalten ist, durch den Bildsensor aufgenommen, wird der Kopf in die Position zum Anbringen des Bauelementes auf der gedruckten Schaltungsplatte bewegt, wird das Bauelement ausgerichtet, während ein Fehler bestimmt und kompensiert wird, der dann erzeugt wird, wenn das Bauelement aufgenommen wird, und wird das ausgerichtete Bauele ment angebracht.

Vorzugsweise wird bei diesem Verfahren ermittelt, ob sich der Bildsensor tatsächlich zur Kreuzungsposition bewegt hat, nachdem davon ausgegangen wird, daß das der Fall ist.

Im folgenden werden anhand der zugehörigen Zeichnungen besonders bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung näher beschrieben.

Es zeigen:

Fig. 1 ist eine perspektivischen Ansicht den Aufbau einer typischen Bauelementbestückungsvorrichtung,

Fig. 2 ist einer schematischen Ansicht den Weg, über den sich der in Fig. 1 dargestellte Kopf bewegt,

Fig. 3 ein von einer Bildsensorvorrichtung erzeugtes Bild des Zustandes, in dem ein Bauelement von der Saugdüse gehalten ist,

Fig. 4A in einer perspektivischen Ansicht den Aufbau eines Ausführungsbeispiels der erfindungsgemäßen Bestückungsvor richtung,

Fig. 4B in einer perspektivischen Ansicht ein Teil der in Fig. 4A dargestellten Bestückungsvorrichtung,

Fig. 5 ist einer schematischen Ansicht ein erstes Aus führungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Anbringen von Bauelementen,

Fig. 6 ein Flußdiagramm zum Erläutern des ersten Aus führungsbeispiels des erfindungsgemäßen Verfahrens,

Fig. 7 in einer schematischen Ansicht ein zweites Aus führungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens zur Anbringung von Bauelementen,

Fig. 8 ein Flußdiagramm zur Erläuterung des zweiten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Verfahrens,

Fig. 9 und 10 die Zustände jeweils, in denen ein Fehler im Halten eines Bauelementes an einem Monitor eines Ausführungsbei spiels der erfindungsgemäßen Bestückungsvorrichtung erkannt wird,

Fig. 11 ein Flußdiagramm zum Erläutern eines Verfahrens der Bestimmung und Korrektur eines Fehlers beim Halten eines Bauelementes gemäß der Erfindung und

Fig. 12 in einer Draufsicht ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen Bestückungsvorrichtung vom Doppelbrückentyp.

Fig. 4A zeigt den Aufbau einer Bauelementbestückungsvor richtung zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Anbringen von Bauelementen. Gleiche Bezugszeichen wie in Fig. 1 bezeichnen gleiche Bauteile mit gleichen Funktionen. Wie es in Fig. 4A dargestellt ist, weist die Bestückungsvorrichtung eine erste und zweite Y-Achse 12 und 13, die parallel zueinander angebracht sind, eine X-Achse 11, die so angeordnet ist, daß sie sich entlang der ersten und der zweiten Y-Achse 12 und 13 bewegen kann, einen Kopf 14, der so angebracht ist, daß er sich entlang der X-Achse 11 bewegen kann, eine Saugdüse 15, die am Kopf 14 so angebracht ist, daß sie sich drehen und auf und ab bewegen kann, und einen Förderer 19 auf, der eine gedruckte Schaltungsplatte 25 in die Positionen befördert, in denen die Bauelemente angebracht werden. Der Kopf 14 bewegt sich zwischen Bauelementzu lieferern 18a, 18b, 18c, 18d und 18e und der gedrückten Schal tungsplatte 25. Die Saugdüse 15 bewegt sich auf und ab und dreht sich, um Bauelemente zu halten und die gehaltenen Bauelemente auf der gedruckten Schaltungsplatte 25 anzubringen.

Gemäß der Erfindung ist ein Bildsensor 46 zum Erfassen eines von der Saugdüse 15 am Kopf 14 gehaltenen Bauelementes so angebracht, daß er sich bewegen kann. Der Bildsensor 46 ist so angebracht, daß er sich bewegen kann, während er nahe an einen gegebenen Zulieferer zur Aufnahme eines Bauelementes unter den Zulieferern 18a, 18b, 18c, 18d und 18e angeordnet ist, von denen einer oder mehrere vorgesehen sein kann oder können. Nachdem die Saugdüse 15 abgesenkt ist, um ein Bauelement zu halten, bewegt sich der Kopf 14 direkt über den Bildsensor 46, der vorher in die Nähe des gegebenen Zulieferers bewegt worden ist, von dem das Bauelement abgenommen wird, und erfolgt eine Aufnahme. Das Bauelement wird dann auf der gedruckten Schaltungsplatte 25 angebracht.

Gemäß der Erfindung kann weiterhin die Bewegungsbahn des Bildsensors 46 zum Aufnehmen des Bauelementes, das von der Saugdüse 15 des Kopfes 14 gehalten ist, so festgelegt werden, daß sie die linearen Wege kreuzt, über die sich der Kopf 14 zu den Bauelementanbringungspositionen von den jeweiligen Zulieferern 18a, 18b, 18c, 18d und 18e aus bewegt.

Der Kopf 14 bewegt sich weiterhin entlang eines erheblich kürzeren Weges zwischen den Bauelementanordnungspositionen und den jeweiligen Zulieferern 18a, 18b, 18c, 18d und 18e und der Bildsensor 46 bewegt sich in die Position, in der sich die Bewegungsbahn des Bildsensors 46 und die Bewegungsbahn des Kopfes 14 treffen, so daß das Bauelement aufgenommen werden kann, das von der Saugdüse 15 gehalten ist.

Wie es in Fig. 4A dargestellt ist, sind ein Servomotor 13 und eine Kugelumlaufspindel 35 vorgesehen, um den Bildsensor 46 zu bewegen. Wenn sich der Servomotor 33 dreht, dreht sich auch die Kugelumlaufspindel 35, die drehbar in einem Lager 34 gelagert ist. Da die Kugelumlaufspindel 35 mit einer Buchse 32 gekoppelt ist, die am Bildsensor 46 angebracht ist, kann sich der Bildsen sor 46 nahe zu einem der Zulieferer 18a, 18b, 18c, 18d und 18e bewegen. Da eine nicht dargestellte Steuerung den Antrieb des Servomotors steuert, während die Saugdüse 15 des Kopfes 14 ein Bauelement von einem der Zulieferer 18a, 18b, 18c, 18d und 18e aufnimmt oder bevor das Bauelement gehalten ist, bewegt sich der Bildsensor 46 vorher zum Treffpunkt nahe an dem jeweiligen Zulieferer und wartet der Bildsensor 46 dort. Bei einem anderen Ausführungsbeispiel wird statt der Kugelumlaufspindel 35 ein Linearmotor benutzt.

Fig. 4B zeigt in einer perspektivischen Ansicht einen Teil des Kopfes 14 der in Fig. 4A dargestellten Vorrichtung. Wie es in Fig. 4B dargestellt ist, ist wenigstens ein Bezugsteil 132a und 132b auf einer Seite des Kopfes 14 angebracht. Der Bezugsteil 132a oder 132b ist so angebracht, daß dann wenn der Bildsensor 46 ein Bauelement 135 erfaßt, das von der Saugdüse 15 gehalten ist, wenigstens ein Bezugsteil sichtbar ist, das heißt nicht von dem Bauelement 135 verdeckt ist.

Das Anordnen der Bezugsteile 132a und 132b ist insofern wichtig, als der sich bewegende Bildsensor 46 (Fig. 4A) einen Fehler erkennt, der während der Aufnahme eines Bauelementes erzeugt wird. Da die Position der Bezugsteile 132a und 132b und der Mittelpunkt der Düse 15 bekannte Werte sind, kann dann, wenn der Bildsensor 46 wenigstens einen der Bezugsteile 132a und 132b wahrnimmt, die Position des Mittelpunktes der Saugdüse 15 aus der Position der Bezugsteile 132a und 132b bestimmt werden und können die relativen Positionen des Mittelpunktes der Saugdüse 15 und des Mittelpunktes des Bauelementes erhalten werden. Aus diesen Werten kann somit ein Fehler erkannt werden, der während der Aufnahme eines Bauelementes auftritt. Das Verfahren der Erkennung dieses Fehlers während der Aufnahme eines Bauelementes wird später beschrieben.

Fig. 5 zeigt eine schematische Ansicht zur Erläuterung eines ersten bevorzugten Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Verfahrens zum Anbringen von Bauelementen. Gleiche Bezugszeichen wie in Fig. 4A bezeichnen gleiche Bauteile mit gleichen Funktio nen. Der Bauelementzulieferer, der in Fig. 5 dargestellt ist, ist ein Trogförderer, ein Stabförderer oder ein üblicher Förderer, bei dem die Bauelemente um eine Rolle herum angeordnet sind. Bei dem bevorzugten Ausführungsbeispiel, dass in der Zeichnung dargestellt ist, sind fünf Bauelementezulieferer 18a, 18b, 18c, 18d und 18e vorgesehen. Der Bildsensor 46 (Fig. 4A) kann sich in eine Position nahe an jedem Bauelementzulieferer 18a, 18b, 18c, 18d und 18e bewegen, wie es in der Zeichnung dargestellt ist, und die Positionen des Bildsensors 46 zu diesem Zeitpunkt sind durch die Bezugszeichen 31a, 31b, 31c, 31d und 31e angegeben. Wenn die Kugelumlaufspindel 35 durch den Servomotor 33 angetrieben wird, so daß sie sich dreht, läuft der Bildsensor 46 linear entlang eines typischen Führungselementes hin und her, das bei dem in der Zeichnung dargestellten Ausführungsbeispiel ein Linearbewegungs führungselement ist.

Wenn die Saugdüse 15 ein Bauelement von dem Zulieferer 18b beispielsweise aufnimmt und das Bauelement an einer Position P2 auf der gedruckten Schaltungsplatte 25 anordnet, bewegt sich der Bildsensor 46 zur Position 31b, so daß er so nahe wie möglich an dem Zulieferer 18b angeordnet ist. Die Bewegungsbahn des Kopfes 14 kann daher auf die kürzeste Strecke vom Zulieferer 18b zur Position 31b des Bildsensors 46 reduziert werden. Gleichfalls wird die Bewegungsstrecke des Kopfes 14 von der Position 31b des Bildsensors 46 zur Position P2 zum Anbringen des Bauelementes zur kürzesten Strecke. Wenn in ähnlicher Weise ein Bauelement vom Zulieferer 18e abgenommen und an einer Position PS auf der gedruckten Schaltungsplatte 25 angeordnet wird, bewegt sich der Bildsensor 46 in die Position 31e. Anschließend bewegt sich die Saugdüse 15 des Kopfes 14, die das Bauelement hält, zur Position 31e des Bildsensors 46, so daß das Bauelement erfaßt werden kann.

Dann bewegt sich der Kopf 14 zur Position P5, um das Bauelement entlang des kürzesten Weges anzuordnen. Der obige Arbeitsvorgang gilt in gleicher Weise für die anderen Positionen P1, P2 und P3 und die anderen Zulieferer 18a, 18c und 18d.

Bei einem tatsächlichen Ausführungsbeispiel können mehrere Saugdüsen an einem Kopf vorgesehen sein. Der Kopf bewegt sich dementsprechend zwischen mehrerem Zulieferern derart, daß jede Saugdüse ein Bauelement aufnehmen kann, bevor sich der Kopf zu der Position direkt über einem Bildsensor bewegt. In diesem Fall bewegt sich der Bildsensor nahe zu dem Zulieferer, von dem das letzte Bauelement abgenommen wurde. Da jede Saugdüse des Kopfes über dem Bildsensor hindurchgeht, erfolgt eine Erfassung des Bauelementes. Anschließend werden Positionsfehler der Bauelemente nach Maßgabe der Information korrigiert, die aus der Erfassung der Bauelemente erhalten wird, die von den jeweiligen Saugdüsen des Kopfes gehalten sind. Der Kopf bewegt sich dann über eine gedruckte Schaltungsplatte und die Bauelemente werden darauf angeordnet.

Fig. 6 zeigt ein Flußdiagramm zur Erläuterung des Verfahrens zur Anbringung der Bauelemente, das anhand von Fig. 5 bereits beschrieben wurde. Wie es in Fig. 6 dargestellt ist, wird ein bestimmter Bauelementzulieferer, in dem ein anzubringendes Bauelement aufgenommen ist, unter der Vielzahl von Zulieferern erkannt, bevor jeweils ein Bauelement angeordnet wird, was im Schritt 51 erfolgt. Anschließend wird der Kopf 14 in die Position zum Abnehmen des Bauelementes vom Zulieferer bewegt (Schritt 52). Der Bildsensor 46 wird in eine Position nahe am Zulieferer bewegt (Schritt 53). Es wird festgestellt, ob sich der Bildsensor 46 in der richtigen Position befindet (Schritt 54). Wenn festgestellt wird, daß sich der Sensor 46 nicht in einer Position nahe am Zulieferer befindet, wird mit dem Schritt der Erkennung eines bestimmten Bauelementzuliefers erneut begonnen. Wenn festgestellt wird, daß sich der Bildsensor 46 in der Position nahe am Zulieferer befindet, nimmt die Saugdüse 15 ein Bauelement von dem gegebenen Zulieferer auf (Schritt 55). Der Kopf mit der Saugdüse 15, die das Bauelement hält, bewegt sich direkt über den Bildsensor 46 (Schritt 56). Es wird ein Bild des Bauelementes aufgenommen (Schritt 57). Ein Signal für das aufgenommene Bild des Bauelementes wird über eine Datenverarbeitung in Daten zur Bestimmung und Korrektur eines Fehlers beim Aufnehmen des Bauelementes und zum Bestimmen der Position zum Anbringen des Bauelementes umgewandelt. Der Kopf 14 wird vom Bildsensor 46 zur gedruckten Schaltungsplatte 25 bewegt (Schritt 58). Während ein Ansaugfehler des Bauelementes festgestellt wird, wird die Position zum Anbringen des Bauelementes bestimmt und wird das Bauelement auf der gedruckten Schaltungsplatte 25 angebracht (Schritt 59).

Fig. 7 zeigte eine Ansicht zur Erläuterung eines zweites bevorzugten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Verfahrens. Gleiche Bezugszeichen wie in Fig. 4A bezeichnen gleiche Bauteile mit gleichen Funktionen. In Fig. 7 sind Bauelementzulieferer 18a, 18b, 18c, 18d und 18e dargestellt. Ein nicht dargestellter Bildsensor kann sich entlang eines typischen nicht dargestellten Führungselementes hin- und herbewegen, wenn sich die von einem Servomotor 33 angetriebene Kugelumlaufspindel 35 dreht.

Wenn ein nicht dargestellter Kopf ein Bauelement vom Zulieferer 18b abnimmt, um das Bauelement an der Position 61b auf der gedruckten Schaltungsplatte 25 anzubringen, wird als Bewegungsbahn des Kopfes ein linearer Weg gewählt, der eine Position zum Aufnehmen eines Bauelementes am Zulieferer 18b und eine Position 61b zum Anbringen des Bauelementes auf der gedruckten Schaltungsplatte 25 verbindet. Da sich dabei der Bildsensor entlang der Kugelumlaufspindel 35 bewegt, fällt die Bewegungsbahn des Bildsensors mit der Längsrichtung der Kugel umlaufspindel 35 zusammen. Während sich der Kopf vom Zulieferer 18b in die Position 61b zum Anbringen eines Bauelementes auf der gedruckten Schaltungsplatte 25 bewegt, wird der Bildsensor direkt über dem Kopf zu dem Zeitpunkt angeordnet, an dem sich der Kopf und der Bildsensor kreuzen. Diese Position des Bildsensors ist in Fig. 7 mit 31b' bezeichnet.

Wenn Bauelemente von den anderen Zulieferern 18a, 18b, 18c, 18d und 18e aufgenommen werden, um sie an anderen Positionen 61a, 61b, 61c, 61d und 61e auf der gedruckten Schaltungsplatte 25 anzubringen, bewegt sich der Bildsensor in eine Position, in der sich eine Linie, die den relevanten Zulieferer und die An bringungsposition verbindet, und die Bewegungsbahn des Bildsen sors 31 kreuzen. Diese Positionen sind mit Bezugszeichen 31a', 31b', 31c', 31d' und 31e' bezeichnet.

Wenn das von der Saugdüse erfaßte Bauelement wahrgenommen wird, kann es erforderlich werden, daß eine Korrektur unter Berücksichtigung des Winkels durchgeführt wird, den der Bildsen sor 31 und die Saugdüse einschließen. Das tritt eher bei einer Bestückungsvorrichtung mit einem mehrgelenkigen Roboter und nicht bei der Brückenbestückungsvorrichtung auf, die in Fig. 4A dargestellt ist. Wenn sich beispielsweise der Kopf entlang eines linearen Weges vom Zulieferer 18a zu der Bauelementanbringungs position 61a auf der gedruckten Schaltungsplatte 25 bewegt und wenn das Bauelement an der Position 31a' erfaßt wird, ist ein Winkel θ zwischen einer rechtwinkeligen Koordinate des Kopfes und einer rechtwinkeligen Koordinate des Bildsensors gebildet. Es muß daher dieser Winkel berechnet werden, um einen Fehler im Aufnehmen eines Bauelementes zu bestimmen. Der Winkel θ kann automatisch dadurch berechnet werden, daß eine Datenbasis bezüglich der Positionen zum Anbringen eines Bauelementes auf der gedruckten Schaltungsplatte, der Position des Zulieferers und der laufenden Position des Bildsensors auf der Bewegungsbahn gebildet wird. Wenn die Saugdüse, die ein Bauelement hält, über dem Bildsensor hindurchgeht, wird eine Bildinformation erhalten, aus der gleichfalls ein Winkel berechnet werden kann.

Um den berechneten Winkel θ zu kompensieren, wird die Saugdüse 15 gedreht oder wird der Bildsensor 46 gedreht. Wenn beispielsweise die Saugdüse 15 durch die Antriebskraft vom nicht dargestellten Servomotor gedreht wird, wird der Winkel θ kompensiert. Bei einem anderen Ausführungsbeispiel ist der Bildsensor 46 so ausgebildet, daß er sich nicht nur hin- und herbewegt, sondern auch dreht, um den Winkel θ zu kompensieren.

Fig. 8 zeigt ein Flußdiagramm zur Erläuterung des Verfahrens zum Anbringen von Bauelementen, das bereits anhand von Fig. 7 beschrieben wurde. Gemäß Fig. 8 wird eine optimale Bewegungsbahn zwischen einer Position zum Aufnehmen eines Bauelementes vom Zulieferer und einer Position zum Anbringen des Bauelementes auf der gedruckten Schaltungsplatte durch die Steuerung der Bestüc kungsvorrichtung berechnet (Schritt 71). Der Kopf wird in die Position zum Aufnehmen des Bauelementes am Zulieferer bewegt (Schritt 72). Der Kreuzungspunkt der Bewegungsbahn des Bildsen sors und der Bewegungsbahn des Kopfes wird berechnet (Schritt 73). Der Bildsensor wird zum Kreuzungspunkt bewegt (Schritt 74). Es wird ermittelt, ob der Bildsensor tatsächlich zum Kreuzungs punkt bewegt worden ist (Schritt 75). Wenn der Bildsensor nicht genau zum Kreuzungspunkt bewegt ist, wird der Kreuzungspunkt erneut berechnet und wird der Schritt der Bewegung des Bildsen sors zum Kreuzungspunkt wiederholt.

Wenn sich der Bildsensor am Kreuzungspunkt befindet, nimmt die Saugdüse des Kopfes ein Bauelement auf (Schritt 76) und wird der Kopf direkt über den Bildsensor bewegt (Schritt 77). Das Bild des aufgenommenen Bauelementes wird aufgenommen (Schritt 78). Das aufgenommene Bild des Bauelementes wird nach einem bestimmten Verfahren verarbeitet, um es als eine Information zum Bestimmen der Anbringungsposition des Bauelementes zu verwenden, nachdem ein Fehler in der Aufnahme des Bauelementes bestimmt ist. Der Kopf wird dann zu der Position zum Anbringen des Bauelementes auf der gedruckten Schaltungsplatte bewegt (Schritt 79). Das Bauelement wird ausgerichtet und an der bestimmten Position auf der gedruckten Schaltungsplatte mit Fehlerkorrektur angebracht (Schritt 80).

Bei einem Kopf mit mehreren Saugdüsen wird der Bildsensor an einer Stelle positioniert, an der sich die Bewegungsbahn des Bildsensors und der kürzeste Abstand zwischen der Bauelement aufnahmeposition des Zulieferers, an der das letzte Bauelement durch eine der Saugdüsen des Kopfes aufgenommen wurde, und der Position zum Anbringen des Bauelementes kreuzen. Der Kopf bewegt sich entlang des kürzesten linearen Weges von der Position, an der das letzte Bauelement aufgenommen wurde, zu der Position an der das Bauelement angebracht wird. Während sich der Kopf direkt über den Bildsensor bewegt, der sich auf der oben erwähnten Bewegungsbahn befindet, wird eine Information über die Position des Bauelementes dadurch erhalten, daß ein Bild des Bauelementes aufgenommen wird. Jede Saugdüse des Kopfes dreht das Bauelement nach Maßgabe der Positionsinformation, die durch die Aufnahme erhalten wurde, während sie sich bewegt, und ordnet das Bauele ment auf der gedruckten Schaltungsplatte an.

Fig. 9 zeigt das Bild eines Bauelementes, das vom Bildsensor aufgenommen wurde. Wenn gemäß Fig. 9 der Mittelpunkt eines Monitors 97 gleich B ist, fällt der Mittelpunkt B des Monitors 97 mit dem Mittelpunkt der Saugdüse 94 zusammen, die ein Bauelement 91 hält. Die Elemente 92 und 93 am Monitor 97 sind die Bezugsteile 132a und 132b in Fig. 4B, die erfaßt und am Monitor 97 angezeigt werden. Da der Mittelpunkt der Saugdüse 94, die das Bauelement 91 hält, durch die Bezugsteile 92 und 93 bestimmt werden kann, kann die Versetzung zwischen dem Mittelpunkt der Saugdüse 94 und dem Mittelpunkt O des Bauelementes 91 berechnet werden.

Wie es in Fig. 4B dargestellt ist, kann die Versetzung zwischen den Bezugsteilen 132a und 132b und dem Mittelpunkt der Saugdüse 15 bestimmt werden, da wenigstens eines der Bezugsteile 132a und 132b, die am Kopf 14 vorgesehen sind, an dem sich die Saugdüse 94 befindet, vom Bauelement nicht verdeckt wird, wenn dieses aufgenommen wird. Die Position des Mittelpunktes der Saugdüse 13 wird somit aus dem am Monitor 97 angezeigten Bild erhalten, indem die Bezugsteile 132a und 132b erfaßt werden, so daß die Versetzung des Mittelpunktes O des Bauelementes problem los erhalten werden kann.

Fig. 10 zeigt ein weiteres Beispiel eines Bildes, das vom Bildsensor aufgenommen und am Monitor angezeigt wird. Wenn in Fig. 10 der Mittelpunkt des Monitors 97 gleich B ist, fallen der Mittelpunkt B des Monitors 97 und der Mittelpunkt der Saugdüse 94, die ein Bauelement 95 hält, nicht zusammen. Selbst wenn der Mittelpunkt B des Monitors 97 und der Mittelpunkt der Saugdüse 94 nicht zusammenfallen, kann ein Positionsfehler des Bauelementes 95 gemessen werden. Selbst wenn in diesem Fall die festen Koordinaten des Bildensors nicht gegeben sind, kann die genaue Position zum Anbringen eines Bauelementes dadurch erhalten werden, daß die Koordinaten des Mittelpunktes des Bauelementes 95 und der Wert der relativen Position der Saugdüse 94 berechnet werden.

Das heißt, daß der Mittelpunkt der Saugdüse 94, die das Bauelement 95 hält, durch das Bauelementes 95 verdeckt wird und am Monitor 97 nicht angezeigt wird. Die Position des Mittel punktes der Saugdüse 94 wird jedoch aus den Bezugsteilen 92 und 93 erhalten, die am Monitor 97 dargestellt werden, indem die Bezugsteile 132a und 132b in Fig. 4B erfaßt werden. Die Position des Mittelpunktes des Hauelementes wird aus dem erfaßten Bild berechnet und die Versetzung zwischen den beiden Mittelpunkten wird erhalten. Die Versetzung kann in rechtwinkelige Koordinaten oder in Winkelkoordinaten behandelt werden.

Fig. 11 zeigt ein Flußdiagramm zur Erläuterung eines Ver fahrens zum Bestimmen eines Fehlers beim Aufnehmen eines Bauelementes mittels des Bildsensors, das bereits anhand der Fig. 9 und 10 beschrieben wurde. Gemäß Fig. 11 wird das von der Saugdüse 94 gehaltene Bauelement bewegt, geht das Bauelement direkt über dem Bildsensor durch und wird ein Bild des Bauelemen tes aufgenommen (Schritt 210). Um das Maß an Abweichung der Bauelemente 91 und 95 vom Mittelpunkt der Saugdüse 94 zu erfassen, wird die Position des Mittelpunktes der Saugdüse 94 unter Verwendung der Position der Bezugsteile 92 und 93 berech net, die von den Bauelementen 91 und 94 nicht verdeckt werden, und wird ein Wert der relativen Position erhalten (Schritt 220). Der Mittelpunkt jedes Bauelementes 91 und 95 wird aus dem Bild der Bauelemente erhalten (Schritt 230). Ein Versetzungswert der Bauelemente wird dadurch erhalten, daß der Wert der relativen Position und der Wert der Position des Mittelpunkts der Bauele mente verglichen wird und es wird ein Wert des Fehlers in der Position des Bauelementes erhalten (Schritt 240). Während die Steuerung nach Maßgabe des Fehlerkorrekturwertes arbeitet, wird schließlich die Saugdüse 94 so gesteuert, daß die Bauelemente 91 und 95 ausgerichtet angeordnet werden (Schritt 250). Dann werden die Bauelemente angebracht.

Die Erzielung der relativen Position der Düse mit wenigstens einem Bezugsteil in der oben beschriebenen Weise ist möglich, da sich der Kopf selbst in einer brückenartigen Bestückungsvor richtung nicht dreht und die relative Position sich nicht ändert, die am Anfang zwischen dem Bezugsteil der Kopfeinheit und dem Mittelpunkt der Saugdüse festgelegt ist. Der Wert kann daher mit wenigstens einem Bezugsteil berechnet werden. Wenn jedoch die Messung mit zwei Bezugsteilen erfolgt, können selbst dann, wenn eine Änderung im relativen Winkel zwischen den Achsen zum Bewegen des Kopfes in X-Richtung und Y-Richtung bei einer Brückenbestüc kungsvorrichtung auftritt, der Mittelpunkt des gerade gehaltenen Bauelementes und die relative Position der Saugdüse berechnet werden. Der Wert kann selbst dann berechnet werden, wenn sich der Kopf selbst dreht.

Fig. 12 zeigt eine Draufsicht auf eine Bestückungsvor richtung mit Doppelbrücke, bei der die erfindungsgemäße Aus bildung vorgesehen ist. Wie es in Fig. 12 dargestellt ist, sind eine erste X-Achse 310 und eine zweite X-Achse 320 bewegbar auf einer ersten Y-Achse 330 und einer zweiten Y-Achse 340 ange bracht. Ein erster Kopf 380 ist auf der ersten X-Achse 310 angeordnet, derart, daß er sich entlang der ersten X-Achse 310 bewegen kann. Ein zweiter Kopf 390 ist auf der zweiten X-Achse 320 so angebracht, daß er sich entlang der zweiten X-Achse 320 bewegen kann. Eine gedruckte Schaltungsplatte 400 wird durch einen Förderer 370 bewegt und Zulieferer 410 und 420 für die jeweiligen Köpfe sind nahe an beiden Seiten des Förderers 370 angeordnet.

Bei einer Doppelbrückenbestückungsvorrichtung, wie sie in Fig. 12 dargestellt ist, sind zwei Bildsensoren vorgesehen. Wie es in Fig. 12 dargestellt ist, sind somit ein erster Bildsensor 350 und ein zweiter Bildsensor 360 nahe an beiden seiten des Förderers 370 angeordnet. Wenn jeder Kopf 380 und 390 ein Bauelement vom Zulieferer 410 und 420 aufnimmt, wird jeder Bildsensor 350 und 360 nahe zu jedem Zulieferer 410 und 420 bewegt, um ein Bild des aufgenommenen Bauelementes aufzunehmen. Somit nimmt die Geschwindigkeit der Anbringung der Bauelemente zu.

Da in der oben beschriebenen Weise bei der erfindungsgemäßen Bestückungsvorrichtung und bei dem erfindungsgemäßen Verfahren zum Anbringen von Bauelementen sich der Bildsensor nahe zu einem gegebenen Zulieferer bewegt und die Bewegungsbahn des Bauteils zum Aufnehmen des Bauelementes kreuzt, wird die Bewegungsbahn des das Bauelements aufnehmenden Bauteils verkürzt, nimmt daher die Geschwindigkeit der Anbringung des Bauelementes zu und wird der Wirkungsgrad der Anbringung verbessert. Ein während der Aufnahme des Bauelementes erzeugter Fehler kann leicht mit dem sich bewegenden Bildsensor bestimmt und korrigiert werden.

Claims

1. Bauelementbestückungsvorrichtung gekennzeichnet durch mehrere Bauelementzulieferer (18a bis 18e) zum Aufnehmen und Zuliefern mehrerer Bauelemente,
einen Förderer (19) zum Transportieren einer gedruckten Schaltungsplatte (25)
einen Kopf (14), der sich bewegen kann und eine Saugdüse (15) zum Aufnehmen eines Bauelementes von den Zulieferern (18a bis 18e) und zum Anbringen des Bauelementes auf der gedruckten Schaltungsplatte (25) auf den Förderern (19) aufweist, und
einen Bildsensor (46), der so angebracht ist, daß er sich entlang eines Weges bewegt, der die Bewegungsbahn des Kopfes (14) kreuzt, um ein Bild des Bauelementes aufzuneh men, das von der Saugdüse (15) gehalten ist.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß wenigstens ein Bezugsteil (132a, 132b) am Kopf (14) vor gesehen wird, der dann, wenn der Bildsensor (46) ein Bild des Bauelementes aufnimmt, das von der Saugdüse (15) gehalten ist, erfaßt wird, da er von dem Bauelement nicht verdeckt ist.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich der Bildsensor (46) nahe zum Zulieferer (18a bis 18e) bewegt, an dem ein Bauelement aufgenommen wird.

4. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß sich der Bildsensor (46) zu einer Position bewegt, an der der Weg, über den sich der Kopf (14) zwischen der Position, an der ein Bauelemente von dem Zulieferer (18a bis 18e) aufgenommen wird, und einer Position bewegt, an der das Bauelement auf der gedruckten Schaltungsplatte (25) ange bracht wird, und ein Weg kreuzen, über den sich der Bild sensor (46) bewegt.

5. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Bildsensor (46) von einem Motor, der eine Antriebskraft liefert, einer Kugelumlaufspindel, die vom Motor gedreht wird, und einem Buchsen- und Linearführungselement bewegt wird, das auf einer Seite des Bildsensors (46) angeordnet ist und mit der Kugelumlaufspindel gekoppelt ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Bildsensor (46) von einem Linearmotor bewegt wird.

7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Kopf (14) so angebracht ist, daß er sich längs einer X- Achse bewegen kann, die so angeordnet ist, daß sie sich längs einer ersten Y-Achse und einer zweiten Y-Achse bewegen kann, die parallel zueinander angeordnet sind.

8. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei X-Achsen angeordnet sind, die sich entlang einer ersten Y-Achse und einer zweiten Y-Achse bewegen können, die parallel zueinander angeordnet sind, zwei Köpfe so vorgesehen sind, daß sich einer längs jeder der X-Achsen bewegen kann, und zwei Bildsensoren nahe an beiden Seiten des Förderers angeordnet sind.

9. Verfahren zum Anbringen von Bauelementen dadurch gekenn zeichnet, daß
ein bestimmter Zulieferer unter einer Anzahl von Zuliefe rern erkannt wird, in dem ein anzubringendes Bauelement aufgenommen ist,
ein Kopf in eine Position zum Aufnehmen eines Bauelementes am Zulieferer bewegt wird,
ein Bildsensor bewegt wird, der so angebracht ist, daß er sich in eine Position nahe an dem gegebenen Zulieferer bewegen kann,
ein Bauelement von dem gegebenen Zulieferer mit einer Saugdüse aufgenommen wird, die am Kopf angebracht ist,
der Kopf in eine Position über dem Bildsensor bewegt wird,
ein Bild des Bauelementes aufgenommen wird, das von der Saugdüse gehalten ist,
die Saugdüse vom Bildsensor zu gedruckten Schaltungsplatte bewegt wird, und
das Bauelement zu der gedruckten Schaltungsplatte ausge richtet wird, während ein beim Aufnehmen des Bauelementes erzeugter Fehler bestimmt und kompensiert wird, und das ausgerechnete Bauelement auf der gedruckten Schaltungs platte angebracht wird.

10. Verfahren nach Anspruch 9 dadurch gekennzeichnet, daß erkannt wird, ob der Bildsensor tatsächlich zu einer Position nahe am gegebenen Förderer bewegt worden ist, nachdem davon ausgegangen wird, daß das der Fall sein sollte.

11. Verfahren nach Anspruch 9 dadurch gekennzeichnet, daß beim Bestimmen und Kompensieren des Fehlers
die Koordinaten des Mittelpunktes der Saugdüse dadurch bestimmt werden, daß die Position eines Bezugsteils erfaßt wird, der durch das Bauelement nicht verdeckt ist, wenn das Bild aufgenommen wird,
die Koordinaten des Mittelpunktes des Bauelementes aus dem vom Bildsensor erhaltenen Bild bestimmt werden,
ein Korrekturwert der Bauelementposition dadurch berechnet wird, daß eine Versetzung des Bauelementes aus der Ver setzung des Mittelpunktes des Bauelementes, das von der Saugdüse gehalten wird, vom Mittelpunkt der Saugdüse bestimmt wird, und
die Position zum Anbringen des Bauelementes mit der Saug düse nach Maßgabe des Korrekturwertes gesteuert wird.

12. Verfahren zum Anbringen eines Bauelementes dadurch gekenn zeichnet, daß
eine optimale Bewegungsbahn zwischen einer Position zum Aufnehmen eines Bauelementes von einem Zulieferer und einer Position zum Anbringen des Bauelementes auf einer gedruck ten Schaltungsplatte berechnet wird,
ein Kopf in die Position zum Aufnehmen eines Bauelementes von einem Zulieferer bewegt wird,
eine Position berechnet wird, an der die Bewegungsbahn des Bildsensors den Weg zwischen dem Zulieferer und der Posi tion zum Anbringen des Bauelementes kreuzt, über den sich der Kopf bewegt,
der Bildsensor zur Kreuzungsposition bewegt wird,
ein Bauelement mit einer Saugdüse des Kopfes aufgenommen wird,
der Kopf in eine Position über dem Bildsensor bewegt wird, das Bauelement, das von der Saugdüse gehalten ist, vom Bildsensor aufgenommen wird,
der Kopf in die Position zum Anbringen des Bauelementes auf der gedruckten Schaltungsplatte bewegt wird, und
das Bauelement ausgerichtet wird, während ein beim Auf nehmen des Bauelementes erzeugter Fehler bestimmt und kompensiert wird, und das ausgerichtete Bauelement ange bracht wird.

13. Verfahren nach Anspruch 12 dadurch gekennzeichnet, daß erkannt wird, ob der Bildsensor tatsächlich zur Kreuzungs position bewegt worden ist, nachdem davon ausgegangen wird, daß das der Fall ist.

14. Verfahren nach Anspruch 12 dadurch gekennzeichnet, daß die Bestimmung und Kompensation des Fehlers dadurch erfolgt, daß
die Koordinaten des Mittelpunktes der Saugdüse dadurch bestimmt werden, daß die Position eines Bezugsteils erfaßt wird, der von dem Bauelement nicht verdeckt wird, wenn das Bild aufgenommen wird,
die Koordinaten des Mittelpunktes des Bauelementes aus dem vom Bildsensor erhaltenen Bild bestimmt werden,
ein Korrekturwert der Bauelementposition dadurch berechnet wird, daß die Versetzung des Bauelementes aus der Ver setzung des Mittelpunktes des Bauelementes, das von der Saugdüse gehalten wird, vom Mittelpunkt der Saugdüse bestimmt wird, und
die Position zum Anbringen des Bauelementes mit der Saugdü se nach Maßgabe des Korrekturwertes gesteuert wird.