DE10016925A1 - Irisblende - Google Patents

Abstract

Eine Irisblende, insbesondere für ein Belichtungsobjektiv in der Halbleiter-Lithographie, ist mit einem Blendenboden (2) und mit einem Nutenring (1), welche relativ zueinander drehbar sind, mit einer Vielzahl von Lamellen (4), die jeweils in dem Blendenboden (2) und in dem Nutenring (1) gelagert und durch im Nutenring (1) angeordnete Kurvenbahnen (6) zur Verstellung der Blendenöffnung geführt sind, versehen. Eine Antriebseinrichtung (11) dient zur Verdrehung von Blendenboden (2) und Nutenring (1) zueinander. Die Kurvenbahnen sind als Umlaufbahnen (6) in dem Nutenring (1) ausgebildet. Die Umlaufbahn (6) ist in sich abwechselnde Nutzbereichskurven (6a) und Rückführkurven (6b) aufgeteilt. Der Blendenboden (2) oder der Nutenring (1) ist durch eine Antriebseinrichtung (11) in eine vorgewählte Antriebsdrehrichtung drehbar, wobei die Lamellen (4) umlaufend in der Umlaufbahn (6) geführt sind.

Description

Die Erfindung betrifft eine Irisblende, insbesondere für ein Belichtungsobjektiv in der Halbleiter-Lithographie, nach der im Oberbegriff von Anspruch 1 näher definierten Art.

Bei bisherigen Irisblenden, auch bei Irisblenden für Belich­ tungsobjektive in der Halbleiter-Lithographie, werden Durchmes­ seränderungen der Blendenöffnung durch eine oszillierende Bewe­ gung erreicht. Die Durchmesserveränderung wird dabei durch eine Vielzahl von Lamellen durchgeführt, die jeweils mit einem Ende in einem sogenannten Blendenboden und mit ihrem anderen Ende jeweils in einem Nutenring gelagert sind. Die Lamellen sind sichelartig gekrümmt und eine oszillierende Antriebseinrichtung führt die Lamellen je nach Drehrichtung mehr oder minder tief sehnenartig in die Blendenöffnung ein, wodurch das durchtreten­ de Lichtbündel beschnitten wird.

Die oszillierende Bewegung, wobei nicht unerhebliche Massen zu bewegen sind, wirkt sich mit den daraus resultierenden Bela­ stungen nachteilig auf die Lebensdauer der Irisblende aus. Dies gilt insbesondere, wenn hohe Zyklen gegeben sind, wie dies z. B. bei einem Belichtungsobjektiv in der Halbleiter-Lithographie der Fall ist.

Der vorliegenden Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, eine Irisblende der eingangs erwähnten Art zu schaffen, die eine hohe Lebensdauer besitzt, insbesondere die auch bei hohen Öffnungs- und Schließzyklen für die Lamellen präzise und ver­ schleißarm arbeitet.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe durch die im kennzeichnenden Teil von Anspruch 1 genannten Merkmale gelöst.

Anstelle einer oszillierenden Bewegung wird durch die erfin­ dungsgemäße Ausgestaltung des Nutenringes mit den Nutzbereichskurven und den Rückführkurven in der gewählten Ausgestaltung eine lineare bzw. kontinuierliche Drehbewegung mit einer in sich geschlossenen Umlaufbahn erreicht. Eine kontinuierliche Drehbewegung wirkt im Vergleich zu einer oszillierenden Bewe­ gung wesentlich geringer belastend auf die an der Bewegung be­ teiligten Teile.

In einer erfindungsgemäßen Ausgestaltung kann vorgesehen sein, daß die Rückführbereiche wenigstens annähernd als Mehrfachpo­ lynome ausgebildet sind. Durch ein Mehrfachpolynom kann er­ reicht werden, daß eine hohe Kräftefreiheit während der Drehbe­ wegung geschaffen wird, womit auch sehr schnelle Schaltbewegun­ gen zur Verstellung der Lamellen möglich sind. Durch das erfin­ dungsgemäße Mehrfachpolynom wird auch ein stetiger Übergang und damit ein stetiger Kraftverlauf ohne Sprünge erreicht.

In einer weiteren Ausgestaltung der Erfindung kann vorgesehen sein, daß die Lamellen jeweils mit einem Lager versehen sind, über die sie jeweils in der Umlaufbahn geführt sind, wobei bei Verwendung der Lager als Wälzlager, was bei der Lösung nach dem Stand der Technik nicht ohne weiteres möglich war, eine hohe Reibungsarmut erreicht wird.

In einer sehr vorteilhaften Ausgestaltung kann dabei vorgesehen sein, daß jede Lamelle jeweils zwei Wälzlager nach Art einer Parallelführung besitzt.

Da in der Regel die Lamellenbleche relativ dünn sind und des­ halb bei Dauerbelastungen entsprechend gefährdet sind, läßt sich durch die erfindungsgemäße Lagerung eine höhere Sicherheit und damit eine längere Standzeit erreichen.

Eine sehr vorteilhafte Weiterbildung der Erfindung kann darin bestehen, daß die Antriebsdrehrichtung der Antriebseinrichtung und die Verläufe der Nutzbereichskurven und der Rückführkurven so gewählt sind, daß sich beim Öffnen der Blendenöffnung in den Bahnbereichen der Rückführkurven eine Zugkraft auf die Lamellen einstellt.

Diese erfindungsgemäße Kraftrichtung ist entgegengesetzt zu der Bewegungsrichtung beim Stand der Technik, wobei auf die Lamel­ len eine Zugkraft ausgeübt wird, wenn sich die Blende schließt. Auf diese Weise erhält man nämlich bei den oszillierenden Bewe­ gungen sogenannte gleichläufige Kurven, womit die Kräfte auf die Lamellen und die Nieten, über die die Lamellen mit dem Nu­ tenring und den Blenden verbunden sind, leichter zu beherrschen sind.

Zwar ist mit der erfindungsgemäßen Lösung in den Nutzkurvenbe­ reichen nunmehr ein etwas schlechterer Kraftverlauf gegeben, aber aufgrund der Möglichkeit der besseren Lagerung der Lamel­ len, z. B. mit Wälzlager, und der kontinuierlichen Drehbewegung ist dies ohne Schwierigkeiten möglich. Andererseits wird durch diesen Bewegungsverlauf in den Rückführkurven ein besserer Kraftverlauf erreicht.

Aus Montagegründen kann es von Vorteil sein, wenn die Nutzbe­ reichskurven oder die Rückführkurven als durchgehende Schlitze in dem Nutenring ausgeführt sind.

Nachfolgend ist anhand der Zeichnung ein Ausführungsbeispiel der Erfindung prinzipmäßig beschrieben.

Es zeigt:

Fig. 1 eine halbseitige Darstellung (teilweise im Schnitt) der erfindungsgemäßen Irisblende mit einer An­ triebseinrichtung in perspektivischer Darstellung;

Fig. 2 eine perspektivische Darstellung eines Nutenringes; und

Fig. 3 eine Ansicht der Irisblende im Halbschnitt und in ei­ ner perspektivischen Darstellung von schräg unten her gesehen.

Grundsätzlich ist die Irisblende von bekannter Bauart, weshalb nachfolgend nur auf die für die Erfindung wesentlichen Teile näher eingegangen wird.

Die Irisblende weist einen Nutenring 1 auf und einen darunter angeordneten Blendenboden 2. Jeweils über Wälzlager 3 sind La­ mellen 4 mit einem Ende in dem Nutenring 1 geführt und mit dem anderen Ende über Wälzlager 5 in dem Blendenboden 2 gelagert.

Der Nutenring 1 ist mit einer Umlaufbahn 6 versehen, die die Kurvenbahnen für die Verstellung der Lamellen 4 bildet und die in sich abwechselnde Nutzbereichskurven 6a und Rückführkurven 6b derart aufgeteilt ist, daß sich eine geschlossene Umlaufbahn ergibt (siehe Fig. 2). In der Umlaufbahn 6 laufen die Wälzlager 3, womit die Lamellen 4 entsprechend umlaufend geführt sind. Die Rückführbereiche 6b sind jeweils wenigstens annähernd als Mehrfachpolynome ausgebildet.

Aus Stabilitätsgründen und zur besseren Führung sind für jede Lamelle 4 jeweils zwei Wälzlagerpaare 3 bzw. 5 nach Art einer Parallelführung vorgesehen.

Ein großes Wälzlager 7 dient dazu, den Nutenring 1 bei seiner Drehung gegenüber dem Blendenboden 2 zu führen. Das Wälzlager 7 ist mit einem Lagerflansch 8 verbunden, der mit dem Blendenbo­ den 2 verbunden ist und daher mit dem Blendenboden 2 verdreht wird.

Die andere Seite des Wälzlagers 7 ist an einem Gehäuse 9 der Irisblende befestigt. An einer Flanschplatte 10 des Gehäuses 9 ist ein Antriebsmotor als Antriebsdreheinrichtung 11 befestigt. Der Antriebsmotor 11 ist mit einem Antriebsritzel 12 versehen, welches in Zahneingriff mit einem Zahnrad 13 steht. Das Zahnrad 13 ist mit dem Lagerflansch 8 verbunden und treibt damit diesen zusammen mit dem Blendenboden 2 an. Dies bedeutet, der Blenden­ boden 2 dreht sich, während der Nutenring 1, in welchem die Lamellen 4 mit ihren Wälzlagern 3 in der Umlaufbahn 6 geführt sind, feststeht. Selbstverständlich ist jedoch auch die umge­ kehrte Lösung denkbar, wobei sich der Nutenring 1 dreht und der Blendenboden 2 feststeht.

Die Antriebsdrehrichtung des Antriebsmotors 11 ist dabei so gewählt, daß sich beim Öffnen der Blendenöffnung, d. h. bei ei­ ner Bewegung der Lamellen 4 nach außen, eine Zugkraft auf die Lamellen 4 in den Rückführkurven 6b ergibt.

Aus Montagegründen ist die Umlaufbahn 6 zum Teil als durchge­ hender Schlitz ausgebildet. Dies ist jeweils im Bereich der Nutzbereichskurven 6a der Fall, während die Rückführkurven 6b lediglich als Einfräsungen in die Oberseite des Nutenringes 1 ausgebildet sind. In der Fig. 3 sind deshalb die Rückführkurven 6b nur gestrichelt angedeutet, da die Fig. 3 die Ansicht von schräg unten darstellt.

Da nunmehr anstelle einer oszillierenden Bewegung des Blenden­ bodens 2 eine umlaufende Bewegung stattfindet, sollte ein Weg­ meßsystem verbunden sein, um stets eine exakte Positionierung und eine entsprechende Kontrolle zu erhalten. Hierzu kann z. B. eine nicht näher dargestellte Schaltnocke 14 an dem Zahnrad 13 angeordnet sein, die durch einen Sensor, z. B. einen berührungs­ losen Sensor 15 (gestrichelte Darstellung in der Fig. 1), abge­ tastet wird. Derartige Wegmeßsysteme und hierzu erforderliche Einrichtungen sind allgemein bekannt, weshalb nachfolgend hier­ auf nicht näher eingegangen wird.

Claims (7)

1. Irisblende, insbesondere für ein Belichtungsobjektiv in der Halbleiter-Lithographie, mit einem Blendenboden und mit ei­ nem Nutenring, welche relativ zueinander drehbar sind, mit einer Vielzahl von Lamellen, die jeweils in dem Blendenbo­ den und in dem Nutenring gelagert und durch im Nutenring angeordnete Kurvenbahnen zur Verstellung der Blendenöffnung geführt sind, und mit einer Antriebseinrichtung zur Verdre­ hung von Blendenboden und Nutenring zueinander, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Kurvenbahnen als Umlaufbahn (6) in dem Nutenring (1) ausgebildet sind, welche in sich abwech­ selnde Nutzbereichskurven (6a) und Rückführkurven (6b) auf­ geteilt ist, und daß der Blendenboden (2) oder der Nuten­ ring (1) durch die Antriebseinrichtung (11) in eine vorge­ wählte Antriebsdrehrichtung drehbar ist, wobei die Lamellen (4) umlaufend in der Umlaufbahn (6) geführt sind.

2. Irisblende nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Rückführbereiche (6b) wenigstens annähernd als Mehrfachpo­ lynome ausgebildet sind.

3. Irisblende nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Lamellen (4) jeweils mit Lagern (3, 5) versehen sind, über die sie jeweils in der Umlaufbahn (6) geführt und in dem Blendenboden (2) gelagert sind.

4. Irisblende nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Lager als Wälzlager (3, 5) ausgebildet sind.

5. Irisblende nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß für jede Lamelle (4) jeweils zwei Wälzlager (3, 5) nach Art ei­ ner Parallelführung vorgesehen sind.

6. Irisblende nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Antriebsdrehrichtung der Antriebsein­ richtung (11) und die Verläufe der Nutzbereichskurven (6a) und der Rückführkurven (6b) so gewählt sind, daß sich beim Öffnen der Blendenöffnung in den Bahnbereichen der Rück­ führkurven (6b) eine Zugkraft auf die Lamellen (4) ein­ stellt.

7. Irisblende nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch ge­ kennzeichnet, daß die Nutzbereichskurven (6a) oder die Rückführkurven (6b) als durchgehende Schlitze in dem Nuten­ ring (1) ausgeführt sind.