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Die
vorliegende Erfindung betrifft einen Flußratensensor zum Detektieren
der Flußrate
oder Flußgeschwindigkeit
eines Fluids, und betrifft insbesondere einen wärmeempfindlichen Flußratensensor zum
Detektieren der Luftflußrate,
die in eine Brennkraftmaschine eintritt, die beispielsweise bei
Kraftfahrzeugen und dergleichen verwendet wird.
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Wie
in
der japanischen offengelegten
Patentanmeldung (Kokai) Nr. Hei 10-142020 und im
U.S.-Patent Nr. 5 631 416 beschrieben,
wird dort ein wärmeempfindlicher
Flußratensensor
mit einem Messelement vorgeschlagen. Hieraus ist ein wärmeempfindlicher
Flußratensensor
bekannt, bei welchem ein Aufheizwiderstand und ein Wärmemeßwiderstand,
die aus einem Platindünnfilm
bestehen, der als das Messelement dient, auf ein Siliziumsubstrat
aufgedampft werden, mit Hilfe eines Mikrobearbeitungsverfahrens,
oder auf dem Substrat durch ein Sputterverfahren und dergleichen
abgelagert werden.
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In 34 bezeichnet
das Bezugszeichen 101 einen Halter, der aus einer Meßrohrleitung 102, einem
Gehäuseabschnitt 103 und
einem Verbinderverbindungsabschnitt 104 besteht, die einstückig aus Harz
ausgebildet sind. Der Halter 101 ist als längliches
Rechteck ausgebildet, wobei die Länge in Richtung einer Steckerachse 105 verläuft, und
ist von einem Öffnungsabschnitt 20k einer
Hauptleitung 20 aus eingeführt, deren Zentrumsteil mit
der Meßrohrleitung 102 versehen
ist. Der Gehäuseabschnitt 103 weist
eine Ausnehmung 106 auf, auf welcher ein Gehäuse 107 angebracht
ist.
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Wie
in 35 gezeigt ist, wird dieses Gehäuse 107 durch
eine plattenförmige
Halterung 108 zum Haltern eines Messelements 4 und
einem plattenförmigen
Basisabschnitt 110 gebildet, der im Querschnitt U-förmig ist,
und die einstückig
aus einem dünnen,
plattenförmigen
Metallmaterial gebildet sind. Das Messelement 4 ist in
einem Gehäuseabschnitt 109 aufgenommen,
der auf der Halterung 108 vorgesehen ist, und durch ein
Klebemittel befestigt, das auf eine Bodenoberfläche des Gehäuseabschnitts 109 aufgebracht
ist.
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Weiterhin
ist ein Steuerschaltungssubstrat 22 aus keramischem Basismaterial
an dem Basisabschnitt 110 durch ein Klebemittel befestigt.
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Wie
in 34 gezeigt ist, wird die elektrische Verbindung
des Messelements 4 mit dem Steuerschaltungssubstrat 22 durch
Drahtbondieren einer Elektrode 5 auf dem Messelement 4 und
eines Leitungsabschnitts 111, der auf dem Steuerschaltungssubstrat 22 vorgesehen
ist, mit Hilfe eines Drahts 8 durchgeführt, der Abmessungen von einigen
10 bis einigen 100 μm
aufweist und aus Aluminium besteht.
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Ein
Ausgangssignal von dem Messelement 4 in Reaktion auf die
Luftflußrate
oder Luftflußgeschwindigkeit
der Luft, die in der Hauptleitung 20 fließt, kann
daher dem Verbinderverbindungsabschnitt 104 über das
Steuerschaltungssubstrat 22 zugeführt werden.
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Die
Elektrode 5 des Messelements 4 ist mit dem Leitungsabschnitt 111 des
Steuerschaltungssubstrats 22 durch Drahtbondieren verbunden.
Dies wird im allgemeinen so durchgeführt, daß zuerst eine vorbestimmte
Position der Elektrode 5 und des Leitungsabschnitts 110 mit
Hilfe einer Bilderkennungsverarbeitungseinrichtung festgestellt
wird, bevor ein Sondieren durch eine automatische Bondierungsmaschine
erfolgt. Sowohl die Elektrode 5 des Messelements 4 als
auch der Leitungsabschnitt 111 auf dem Steuerschaltungssubstrat 22 weisen
mikroskopische Abmessungen auf. Die Verarbeitbarkeit und die Verläßlichkeit
der Drahtbondierung hängen
daher stark davon ab, wie genau ihre Relativposition festgestellt werden
kann.
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Bei
einem derartigen Aufbau, wie er voranstehend geschildert wurde,
ist jedoch das Messelement 4 in dem Gehäuseabschnitt 109 der
Halterung 108 mit Hilfe des Klebemittels vorgesehen, und
ist das Steuerschaltungssubstrat 22 auf dem Basisabschnitt 110 mit
Hilfe eines Klebemittels angeordnet. Es gibt daher zwei variierende
Faktoren, wenn das Messelement 4 und das Steuerschaltungssubstrat 22 zusammengebaut
werden. Wenn eine Variation in Bezug auf die Aufbringungsmenge des
Klebemittels auftritt, besteht eine gewisse Wahrscheinlichkeit dafür, daß die Relativposition
der Elektrode 5 und des Leitungsabschnitts 111 nicht übereinstimmen.
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Bei
der Elektrode 5 oder dem Leitungsabschnitt 111 ist
es daher erforderlich, wenn die Bondierungsposition außerhalb
eines vorbestimmten Bereiches liegt eine zu große Abweichung aufweist, die Bondierungsposition
zu korrigieren, nachdem die Bilderkennung beendet ist, für eine Neueinstellung.
Daher wird leicht eine Beeinträchtigung
der Verläßlichkeit
des Bondierungsabschnitts hervorgerufen, sowie eine Beeinträchtigung
der Ausbeute, und wird auch der Bearbeitungswirkungsgrad herabgesetzt.
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Darüber hinaus
ist das Messelement 4 in dem Gehäuseabschnitt 109 der
Halterung 108 durch das Klebemittel befestigt, jedoch handelt
es sich um eine sogenannte Auslegeranordnung. Daher kann das Messelement 4 in
Bezug auf die Oberfläche
der Halterung 108 in einer Ausnehmung oder konvexartig
angeordnet sein, abhängig
von den Aufbringungsbedingungen für das Klebemittel. In diesem
Fall werden individuelle Unterschiede in Bezug auf den Fluß der Ansaugluft
hervorgerufen, und entstehen daher leicht Variationen der Meßgenauigkeit.
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In
der
DE 196 23 334
A1 wird ein wärmempfindlicher
Flussratensensor beschrieben, der einen Halter aufweist, um ein
plattenförmiges
Messelement in einem vorbestimmten Flusskanal anzuordnen, wobei
der Halter mit einem Gehäuseabschnitt
zum Anordnen des Messelements in einer vorbestimmten Position versehen
ist, und einen Vergleichmäßigungsabschnitt
zum Vergleichmäßigen des
Flusses eines Ansaugfluids aufweist, sowie einen Verbindungsleitungsanbringungsabschnitt,
in welchen eine Verbindungsleitung eingebettet ist, zur Aufnahme
eines Signals des Messelements, wobei der Vergleichmäßigungsabschnitt
und der Verbindungsleitungsanbringungsabschnitt einstückig aus
einem Isoliermaterial ausgebildet sind. Hierbei kann der Halter
schräg
in einem Flusskanal in Bezug auf die Flussrichtung des Fluids angeordnet
sein, wobei ein anderes Ende einer Kontaktklemme entgegengesetzt
zu deren einem Ende, das mit einer Elektrode des Messelements verbunden
ist, sich zu einem Steuerschaltungssubstrat zum Steuern des Messelements
erstreckt, so abgebogen ist, dass es im Wesentlichen parallel zu
einer Verbindungsklemmen-Einführungsöffnung verläuft, die
geradlinig am Außenrand
des Steuerschaltungssubstrats vorgesehen ist, und dann in die Verbindungsklemmen-Einführungsöffnung zum
Verbinden eingeführt
ist.
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Aus
der
DE 44 26 101 C2 ist
bekannt, in dem Gehäuseabschnitts
des Halters einen ausgenommenen Klebemittelaufbewahrungsabschnitt
zum Aufbewahren unerwünschten
Klebemittels in der Nähe
eines Abschnitts vorzusehen, an welchem ein Klebemittel aufgebracht
wird, um das Messelement fest anzubringen. Hierbei kann der Klebemittelaufbewahrungsabschnitt
zwischen einem Abschnitt, an welchen das Klebemittel aufgebracht
wird, und einem Membranabschnitt angeordnet sein, der auf der oberen
Oberfläche
des Messelements vorgesehen ist. Es kann auch der Klebemittelaufbewahrungsabschnitt
als Nut ausgebildet sein, um den Außenumfang des Abschnitts abzudecken,
an welchem das Klebemittel aufgebracht wird.
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Aus
der
DE 41 12 601 A1 ist
ein thermosensitiver Luftmengensensor mit einem thermosensitiven
Dünnschichtwiderstand
und einer Versorgungsstromsteuerschaltung zum Steuern des dem Dünnschichtwiderstand
zugeführten
Stroms bekannt, wobei beide auf einem gemeinsamen Trägermaterial ausgebildet
und durch dieselbe Herstellungstechnologie hergestellt sind. Ein
Trägermaterial,
auf welchem der thermosensitive Dünnschichtwiderstand vorgesehen
ist, dient zur Strömungsgleichrichtung der
zu erfassenden Luftströmung,
wodurch das Ausgangssignal des Luftmengensensors stabilisiert und geglättet wird.
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Aus
der nur in Bezug auf Neuheit zu berücksichtigenden älteren Anmeldung
gemäß
DE 199 41 330 A1 ist
ein wärmempfindlicher
Flussratensensor bekannt, der einen Halter mit Verbindungsklemmen und
einem Messelement einschließlich
Elektroden aufweist, die mittels Drahtbondierung mit den Verbindungsklemmen
verbunden sind, wobei die Verbindungsklemmen und ein Gehäuseabschnitt,
ausgebildet als Ausnehmungen in der Halteroberfläche, voneinander getrennt auf
dem Halter vorgesehen sind, ein vorspringender Bondierungsabschnitt
und vorspringende Positionierungsabschnitte innerhalb der Ausnehmung
an deren Enden vorgesehen sind, das Messelement innerhalb der Ausnehmung
mit seinen Elektroden nach oben weisend ausgerichtet ist, und die
untere Oberfläche
des Messelements an einer Oberfläche
des Bondierungsabschnitts durch ein Klebemittel befestig ist, wodurch
die untere Oberfläche
des Messelements Oberflächen
der Positionierungsabschnitte berührt, und ein Spalt zwischen
dem Messelement und einer unteren Oberfläche der Ausnehmung vorhanden
ist.
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Aus
der
DE 197 43 409
A1 ist eine Messvorrichtung zum Messen der Masse eines
entlang einer Strömungsrichtung
strömenden
Mediums bekannt, insbesondere der Ansaugluftmasse einer Brennkraftmaschine,
mit einem plattenförmigen
Sensorelement, das in einer Ausnehmung eines Sensorträgers eingesetzt
ist. Das Sensorelement umfasst eine ein Messelement tragende Membran,
die einen in dem Sensorelement ausgebildeten Hohlraum auf der dem Sensorträger abgewandten
Seite verschließt.
Das Sensorelement ist mittels einer Klebung zwischen einem dem Sensorträger zugewandten
Bodenfläche des
Sensorelements und dem Sensorträger
in der Ausnehmung gehaltert. Dabei umfasst die Klebung eine Klebenaht,
die sich zwischen der Bodenfläche des
Sensorelements und dem Sensorträger
um den Hohlraum des Sensorelements herum erstreckt, und nur auf
der der Strömungsrichtung
abgewandten Seite durch zumindest eine Aussparung geöffnet ist,
um den Hohlraum zu belüften.
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Daher
besteht ein Ziel der vorliegenden Erfindung in der Lösung der
voranstehend geschilderten Schwierigkeiten, und in der Bereitstellung
einer stabilen Sondierung, um die Verläßlichkeit eines Bondierungsabschnitts
zu verbessern.
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Gemäß der Erfindung
wird ein wärmeempfindlicher
Flussratensensor gemäß Patentanspruch
1 zur Verfügung
gestellt.
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Vorteilhafte
Ausgestaltungen der Erfindung sind in dem abhängigen Patentansprüchen angegeben.
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Die
Erfindung wird nachstehend anhand zeichnerisch dargestellter Ausführungsbeispiele
näher erläutert, aus
welchen weitere Vorteile und Merkmale hervorgehen. Es zeigt:
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1 eine
Ansicht von stromaufwärts
eines wärmeempfindlichen
Flußratensensors
gemäß einer ersten
Ausführungsform
der Erfindung;
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2 eine
Querschnittsansicht eines wesentlichen Bauteils, das bei dem wärmeempfindlichen
Flußratensensor
gemäß der ersten
Ausführungsform
verwendet wird;
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3 eine
Perspektivansicht eines Zustands, in welchem ein Messelement in
einem Halter gemäß der ersten
Ausführungsform
angeordnet ist;
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4 eine
Perspektivansicht eines wesentlichen Bauteils, das bei dem Halter
gemäß der ersten Ausführungsform
vorgesehen ist;
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5(a), (b), (c), (d), (e) und (f) Querschnittsansichten
einer Flügelform
eines Vergleichmäßigungsabschnitts
gemäß der ersten
Ausführungsform;
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6 eine
Perspektivansicht eines wesentlichen Bauteils eines Halters gemäß einer
zweiten Ausführungsform;
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7 eine
Querschnittsansicht entlang der Linie B-B von 6;
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8 eine
Aufsicht auf ein wesentliches Bauteil, das in einem Zustand eingesetzt
wird, in welchem ein Messelement in einem Halter gemäß einer dritten
Ausführungsform
angeordnet ist;
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9 eine
Aufsicht auf ein wesentliches Bauteil, das bei dem Halter gemäß einer
dritten Ausführungsform
verwendet wird;
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10 eine
Perspektivansicht eines wesentlichen Bauteils, das bei einem Halter
gemäß einer vierten
Ausführungsform
verwendet wird;
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11 eine
Querschnittsansicht entlang der Linie C-C von 10;
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12 eine
Aufsicht auf einen Halter gemäß einer
fünften
Ausführungsform;
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13 eine
Aufsicht auf einen Entfernungsabschnitt eines Leiterrahmens bei
einem Herstellungsvorgang für
den Halter gemäß der fünften Ausführungsform;
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14 eine
Aufsicht auf einen Halter gemäß einer
sechste Ausführungsform;
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15 eine
Querschnittsansicht entlang der Linie D-D von 14;
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16 eine
Aufsicht auf ein wesentliches Bauteil in einem Zustand, in welchem
ein Messelement auf einem Halter gemäß einer siebten Ausführungsform
angeordnet ist;
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17 eine
Aufsicht zur Erläuterung
eines Effekts gemäß der siebten
Ausführungsform
im Vergleich;
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18 eine
Aufsicht auf ein wesentliches Bauteil in einem Zustand, in welchem
ein Messelement auf einem Halter gemäß einer achten Ausführungsform
angeordnet ist;
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19 eine
vergrößerte Aufsicht
auf einen Abschnitt E in 18;
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20 eine
Aufsicht zur Erläuterung
eines Effekts bei dem Halter gemäß der achten
Ausführungsform
im Vergleich;
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21 eine
Querschnittsansicht entlang der Linie A-A von 1 gemäß einer
neunten Ausführungsform;
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22 eine
Aufsicht auf einen Zustand, bevor ein Halter bei der neunten Ausführungsform
abgebogen wird;
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23(a), (b) und (c) Ansichten eines Zustands, nachdem
der Halter bei der neunten Ausführungsform
gebogen wurde;
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24(a) eine Seitenansicht eines Zustands, in welchem
der Halter und ein Steuerschaltungssubstrat gemäß der neunten Ausführungsform zusammengebaut
sind, und 24(b) eine Aufsicht aus der
Richtung des Steuerschaltungssubstrats;
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25 eine
Querschnittsansicht eines wesentlichen Bauteils, das bei einem wärmeempfindlichen
Flußratensensor
gemäß einer
zehnten Ausführungsform
verwendet wird;
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26 eine
Perspektivansicht eines wesentlichen Bauteils in einem Zustand,
in welchem ein Messelement auf einem Halter gemäß einer elften Ausführungsform
angeordnet ist;
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27 eine
Querschnittsansicht entlang der Linie G-G von 26;
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28 eine
Perspektivansicht eines wesentlichen Bauteils, das bei dem Halter
gemäß der elften Ausführungsform
verwendet wird;
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29 eine
Perspektivansicht eines wesentlichen Bauteils, das bei einem Halter
gemäß einer zwölften Ausführungsform
verwendet wird;
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30 eine
Querschnittsansicht entlang der Linie H-H von 29;
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31 eine
Perspektivansicht eines wesentlichen Bauteils, das bei einem Halter
gemäß einer dreizehnten
Ausführungsform
verwendet wird;
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32 eine
Perspektivansicht eines wesentlichen Bauteils in einem Zustand,
in welchem ein Messelement auf dem Halter gemäß der dreizehnten Ausführungsform
angeordnet ist;
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33 eine
Querschnittsansicht entlang der Linie J-J von 32;
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34 eine
Querschnittsansicht eines wesentlichen Bauteils, das bei dem herkömmlichen wärmeempfindlichen
Flußratensensor
verwendet wird; und
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35 eine
Perspektivansicht eines Gehäuses,
das bei dem herkömmlichen
wärmeempfindlichen
Flußratensensor
verwendet wird.
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ERSTE AUSFÜHRUNGSFORM
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Die 1 bis 4 zeigen
den Aufbau eines wärmeempfindlichen
Flußratensensors
gemäß einer ersten
Ausführungsform
der vorliegenden Erfindung, und dieser wärmeempfindliche Flußratensensor
ist so dargestellt, daß er
die Flußrate
von Luft detektiert, die in einer Brennkraftmaschine für beispielsweise Kraftfahrzeuge
fließt. 1 ist
eine Ansicht des wärmeempfindlichen
Flußratensensors
von stromaufwärts
aus, und 2 ist eine Querschnittsansicht
eines wesentlichen Bauteils von 1. 3 ist
eine Perspektivansicht eines Zustands, in welchem ein Messelement
auf einem Halter angeordnet ist, und mit diesem durch einen Bondierungsdraht
verbunden ist. 4 ist eine Perspektivansicht
eines wesentlichen Bauteils, das bei dem Halter verwendet wird, wobei
jene Teile in jeder Figur, welche den Teilen des herkömmlichen
wärmeempfindlichen
Flußratensensors
gemäß 34 und 35 entsprechen,
mit denselben Bezugszeichen bezeichnet sind.
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Bei
der ersten Ausführungsform
weist, wie aus den 3 und 4 hervorgeht,
der Halter einen Vergleichmäßigungsabschnitt 2 auf,
der mit einem Gehäuseabschnitt 3 (4)
zur Aufnahme eines Messelements 4 versehen ist, und einen
Klemmenbefestigungsabschnitt 7, der als Verbindungsklemmenbefestigungsabschnitt
dient, der mehrere stangenförmige
Klemmen 6 aufweist, die als Verbindungsklemme dienen, und
parallel eingebettet sind. Der Vergleichmäßigungsabschnitt 2 und
der Klemmenbefestigungsabschnitt 7 sind einstückig aus
Isoliermaterial wie beispielsweise Harz ausgebildet.
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Wie
voranstehend geschildert sind das Messelement 4 und die
Klemmen 6 elektrisch mittels Drahtbondieren verbunden,
beispielsweise durch Aluminiumdraht. Wenn jedoch eine automatische Bondierungsmaschine
verwendet wird, ist es wesentlich, wie genau die Relativposition
der Elektroden 5 auf dem Messelement 4 und der
Klemmen 6 festgelegt ist.
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Da
jede Klemme 6 in einen vorbestimmten Ort des Klemmenbefestigungsabschnitts 7 eingebettet
ist, hängt
die Relativposition der Elektrode 5 des Messelements 4 und
der Klemmen nur von der Genauigkeit ab, mit welcher das Messelement 4 mit
dem Gehäuseabschnitt 3 verbunden
und befestigt wird. Für
den Zusammenbau und dergleichen gibt es daher nur einen sich ändernden
Faktor.
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Dies
führt dazu,
daß die
Positionsgenauigkeit wesentlich verbessert ist, im Vergleich mit
dem herkömmlichen
Sensor, der im
U.S.-Patent Nr.
5 631 416 gezeigt ist, und dergleichen.
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Wenn
die automatische Bondierungsmaschine verwendet wird, ist es daher
möglich,
sobald die Bondierungsposition eingestellt wurde, ein stabiles Sondieren
zur Verfügung
zu stellen, da die Abweichung gegenüber der gewünschten Position klein ist. Da
der Vergleichmäßigungsabschnitt 2 aus
Harz ausgebildet ist, wird der Ansaugluftfluß stabil dem Umfang des Messelements 4 zugeleitet.
Es ist daher möglich,
einfach einen Halter unter strömungsphysikalischen Überlegungen
zu entwerfen, und auch die Meßgenauigkeit
in Bezug auf die Ansaugluftflußrate oder
die Flußgeschwindigkeit
zu verbessern.
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Nachstehend
wird nunmehr der Aufbau gemäß der ersten
Ausführungsform
im einzelnen beschrieben. Wie in 1 gezeigt
ist, bildet eine Hauptleitung 20 beispielsweise einen Teil
eines Ansaugsystems von Kraftfahrzeugen, und ist so ausgebildet, daß sie Ansaugluft
zuführt.
Ein Halter 1 ist im wesentlichen im Zentrum der Längsrichtung
der Leitung 20 so angeordnet, daß der Abschnitt der Spitze
des Halters 1 im Zentrum der Leitung 20 liegt.
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Wie
in 2 gezeigt ist, weist dieser Halter 1 den
Vergleichmäßigungsabschnitt 2 auf,
den Klemmenbefestigungsabschnitt 7 und den Halterabschnitt 30,
die jeweils einstückig
aus Isoliermaterial wie beispielsweise Harz ausgebildet sind. Dieses
Isoliermaterial ist beispielsweise PBT (Polybutylenterephthalat),
PPS (Polyphenylensulfid), PET (Polyethylenterephthalat), oder üblicher
Kunststoff auf diesem Gebiet wie beispielsweise Nylon.
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Dieser
Halter 21 wird in der Hauptleitung 20 über einen
Zylinder 21 gehalten. Ein Flansch 21a der Basis
des Zylinders 21 steht im Eingriff mit einem Öffnungsabschnitt 20K der
Hauptleitung 20. Ein Vorsprung 20a zur Befestigung
der Steuerschaltungssubstrats 22 ist so ausgebildet, daß er nach
außen am
Randabschnitt des Öffnungsabschnitts 20k vorspringt,
der auf der Außenseite
des Zylinders 21 vorgesehen ist, und im Eingriff mit einem
Befestigungsloch steht, das auf dem Steuerschaltungssubstrat 22 vorgesehen
ist. Auf dem Außenumfang
des Vorsprungs 20a ist ein Zylinderabschnitt 20m so
vorgesehen, daß er
den Außenumfang
des Steuerschaltungssubstrats 22 umgibt. Ein Deckelkörper 20b ist auf
dem oberen Abschnitt des Zylinderabschnitts 20m angebracht,
um das Steuerschaltungssubstrat 22 abzudecken. Auf der
Seite des Zylinderabschnitts 20m ist ein Verbinder 104 angeordnet,
der dazu dient, den Flußratensensor
im Inneren mit Energie zu versorgen, und das Flußratenmeßsignal nach außen herauszuführen, und
ist eine abgedichtete Klemme des Verbinders 104 mit dem
Steuerschaltungssubstrat 22 verbunden.
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Wie
aus den 3 bis 4 hervorgeht,
ist der Vergleichmäßigungsabschnitt 2 so
ausgebildet, daß er
die Form einer runden Platte auf beiden Seiten aufweist, und wenn
das Messelement 4 fest an dem Gehäuse 3 befestigt ist,
wird der Vergleichmäßigungsabschnitt 2 als
Rippenplatte ausgebildet, damit stabil ein Fluß von Luft, die in die Hauptleitung 20 eingesaugt
wird, dem Umfang des Messelements 4 zugeführt werden
kann. Der Vergleichmäßigungsabschnitt 2 ist
an seinem Abschnitt im wesentlichen im Zentrum mit dem Gehäuseabschnitt 3 versehen,
der etwas größer ist
als die Außenabmessungen
des Messelements 4, und eine rechteckige Ausnehmung aufweist,
die gegenüber
der Oberfläche
zurückspringt,
zur Anordnung des Messelements 4 in einer vorbestimmten
Position. Der Gehäuseabschnitt 3 ist an
der Bodenoberfläche
mit einem Verbindungsabschnitt 11 versehen, an welchem
ein Klebemittel aufgebracht wird, um das Messelement 4 fest
zu befestigen. Der Verbindungsabschnitt 11 ist so ausgebildet,
daß er
eine derartige vorbestimmte Tiefe aufweist, daß die obere Oberfläche des
Messelements 4 im montierten Zustand dieselbe Höhe aufweist
wie die Oberfläche
des Halters 1. Wenn das Messelement 4 auf dem
Gehäuseabschnitt 3 angebracht
ist, wird eine ebene oder eine abgerundete Oberfläche durch
die obere Oberfläche
des Messelements 4 und die Oberfläche des Halters 1 ausgebildet.
Die obere Oberfläche
des Messelements 4 ist daher so ausgelegt, daß sie mit
der Oberfläche
des Halters 1 fluchtet. Wenn der Außenumfang des Vergleichmäßigungsabschnitts 2 ausgebildet
wird, ist es daher möglich,
den Fluß eines
Fluids zu vergleichmäßigen, das
am Umfang fließt,
und die Meßempfindlichkeit des
Messelements 4 zu verbessern.
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In
diesem Fall sind 4 kleine Elektroden 5 auf einer Linie
auf der oberen Endoberfläche
des Messelements 4 auf der Seite der Klemme 6 vorgesehen, wobei
ein Aufheizwiderstand und ein Wärmemeßwiderstand
(beide nicht gezeigt) vorgesehen sind, und mit den Elektroden 5 verbunden
sind.
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Der
Klemmenbefestigungsabschnitt 7, der als Verbindungsklemmenbefestigungsabschnitt dient,
weist die Form einer Platte auf, ist jedoch breiter als der Vergleichmäßigungsabschnitt 2,
und weist die Form einer runden Rippe auf beiden Seiten auf, wobei
vier stangenförmige
Klemmen 6 parallel angeordnet sind.
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Diese
Klemmen 6 bestehen aus einem Leiter, bei welchem beispielsweise
Kupfer, eine Kupferlegierung, eine Eisen-Nickellegierung und dergleichen
verwendet wird. Diese Klemmen 6 werden einstückig zum
gleichen Zeitpunkt ausgebildet, an welchem der Halter 1 ausgebildet
wird. Die stangenförmigen,
also schmalen, dünnen,
plattenförmigen Klemmen 6 werden
nämlich
in die Oberfläche
des Klemmenanbringungsabschnitts 7 durch Einsetzformen
eingebettet, so daß die
Oberfläche
der Klemmen 6 freiliegt, und jedes ihrer Enden so angeordnet ist,
daß es
der Elektrode 5 des Messelements 4 gegenüberliegt.
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Jedes
Ende einer Anschlußklemme 6 ist elektrisch
mit jeder Elektrode 5 des Messelements 4 durch
einen Draht verbunden, der beispielsweise aus Aluminium besteht.
Die zentralen Abschnitte der Klemmen 6 werden durch einen
Halteabschnitt 30 gehaltert, der dicker in Richtung der
Oberfläche
ist als die Basisseite des Klemmenanbringungsabschnitts 7.
Die anderen Enden der Klemmen 6 springen durch den Halteabschnitt 30 in
Richtung nach hinten vor, um dann auf dem Steuerschaltungssubstrat 22 zu
verlaufen, mit welchem sie durch Löten oder dergleichen verbunden
werden. Ein Ausgangssignal von dem Messelement 4, welches
dem Ansaugluftfluß oder
der Flußgeschwindigkeit
entspricht, wird über
diese Klemmen 6 erhalten.
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Der
Vergleichmäßigungsabschnitt 2 ist
hier so dargestellt, daß er
die Form einer runden Rippenplatte auf beiden Seiten aufweist, kann
jedoch auch, wie dies in den 5(a) bis
(f) gezeigt ist, flügelförmig ausgebildet
sein. In 5 sind sechs Flügelformen
als Beispiele dargestellt. Jede Form weist einen äußerst kleinen
minimalen Widerstandskoeffizienten auf, beispielsweise 0,004 bis
0,009.
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Weiterhin
ist die Oberfläche
des Vergleichmäßigungsabschnitts 2 hier
so dargestellt, daß sie eben
ist, jedoch kann ein konvexer Vorsprung oder ein konkaver Einlaßvorsprung
auf der Oberfläche oder
der Rückseite
des Vergleichmäßigungsabschnitts 2 vorgesehen
sein. Der Fluß des
Fluids am Umfang wird daher vergleichmäßigt, und daher kann eine hydrodynamische
Grenzschicht kontrolliert werden, die sich aufgrund des Vergleichmäßigungsabschnitts 2 ergibt.
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ZWEITE AUSFÜHRUNGSFORM
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6 ist
eine Perspektivansicht eines wesentlichen Bauteils des Halters gemäß einer
zweiten Ausführungsform,
und 7 ist eine Querschnittsansicht entlang der Linie
B-B von 6. Bei der zweiten Ausführungsform
sind Positionierungsabschnitte 9a bis 9f in dem
Gehäuseabschnitt 30 vorgesehen,
und ansonsten ist diese Ausführungsform
ebenso wie die erste Ausführungsform.
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Wie
in den 6 und 7 gezeigt ist, sind sechs säulenförmige Positionierungsabschnitte
vorspringend auf der Bodenoberfläche
des Gehäuseabschnitts 3 des
Halters 1 vorgesehen. Diese Positionierungsabschnitte 9a bis 9f sind
vorn, hinten und im Zentrum des Gehäuseabschnitts 3 angeordnet,
und springen von der Bodenoberfläche
des Gehäuseabschnitts 3 aus
vor. Sie sind daher so ausgebildet, daß sie eine derartige Dicke
haben, daß die
obere Oberfläche
des Messelements 4 dieselbe Höhe aufweist wie die Oberfläche des
Halters 1. Durch diese Dicke wird die Montagehöhe des Messelements 4 in
Richtung der Dicke kontrolliert.
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Die
Positionierungsabschnitte 9a bis 9f sind hier
als säulenförmige, kleine
Vorsprünge
dargestellt, jedoch sind sie auf diese Form nicht beschränkt, sondern
können
eine frei wählbare
Form aufweisen, soweit sie von der Bodenoberfläche des Gehäuseabschnitts 3 aus
vorspringen.
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Bei
der ersten Ausführungsform
wird bei der Montage des Messelements 4 am Gehäuseabschnitt 3 Bondierungspaste
als Klebemittel auf den Bondierungsabschnitt 11 aufgebracht.
Wenn in diesem Fall die Positionierungsabschnitte 9a bis 9f nicht vorgesehen
sind, kann das Messelement 4 in einem konkaven oder konvexen
Zustand in Bezug auf die Oberfläche
des Vergleichmäßigungsabschnitts 2 angeordnet
werden, infolge der Ebenheit der Bodenoberfläche des Gehäuseabschnitts 3 oder
einer ungleichförmigen
Auftragung des Klebemittels. Daher kann leicht eine individuelle
Differenz in Bezug auf den Fluß des
Ansaugfluids am Umfang des Messelements 4 hervorgerufen
werden, wodurch die Meßgenauigkeit
in Bezug auf den Ansaugluftfluß oder
die Flußgeschwindigkeit
beeinträchtigt
wird.
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Da
jedoch bei der zweiten Ausführungsform die
Positionierungsabschnitte 9a bis 9f in dem Gehäuseabschnitt 3 vorgesehen
sind, kann die Position der Höhe
des Messelements 4 in Richtung der Dicke kontrolliert werden,
selbst wenn die aufgebrachte Menge an Klebemittel ungleichmäßig ist.
Daher kann die Positionsabweichung des Messelements 4 in
Bezug auf die Höhe
kontrolliert werden, und die Meßgenauigkeit
für den
Ansaugluftfluß oder
die Flußgeschwindigkeit
sichergestellt werden. Da der Halter 1 aus Harz besteht,
ist es darüber
hinaus möglich,
die Positionierungsabschnitte 9a bis 9f einfach
auszubilden, so daß diese
Maßnahme
für die
Massenproduktion geeignet ist.
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Ein
Spalt wird zwischen der Rückseite
des Messelements 4 und der Bodenoberfläche des Gehäuseabschnitts 3 infolge
der Bereitstellung der Positionierungsabschnitte 9a bis 9f hervorgerufen. Durch
diese Anordnung ist es möglich,
die Meßempfindlichkeit
des Messelements 4 zu verbessern. Die Wärmemenge (Kalorie), die von
dem Aufheizwiderstand erzeugt wird, der auf der oberen Oberfläche des
Messelements 4 angeordnet ist, wird im wesentlichen durch
die Wärmeübertragung
infolge des Ansaugfluids entfernt.
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Allerdings
ist das Messelement 4 auf dem Gehäuseabschnitt 3 des
Halters 1 angeordnet, und wird Wärme des Aufheizwiderstands
auch durch den Halter 1 über den Gehäuseabschnitt 3 übertragen, und
abgeleitet. Eine Erhöhung
des Wärmeübertragungsverhältnisses
an den Halter 1 führt
zu einer Verringerung der Meßempfindlichkeit
des Messelements 4.
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Da
bei der zweiten Ausführungsform
der Spalt zwischen der Rückseite
des Messelements 4 und der Bodenoberfläche des Gehäuseabschnitts 3 vorgesehen
ist, wie dies voranstehend geschildert wurde, wird das Ausmaß der Wärmeleitung
zum Halter 1 so kontrolliert, daß die Meßempfindlichkeit des Messelements 4 verbessert
wird.
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DRITTE AUSFÜHRUNGSFORM
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8 ist
eine Aufsicht auf ein wesentliches Bauteil, das in 3 verwendet
wird, die einen Halter gemäß einer
dritten Ausführungsform
zeigt, und 9 ist eine Aufsicht entsprechend
der Aufsicht auf ein wesentliches Bauteil, das in 4 verwendet wird.
Bei der dritten Ausführungsform
ist der Aufbau ebenso wie bei der ersten Ausführungsform, mit Ausnahme der
Positionierungsabschnitte 9A bis 9C in dem Gehäuseabschnitt 3.
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Wie
in den 8 und 9 gezeigt ist, sind bei der
dritten Ausführungsform
auf der Bodenoberfläche
des Gehäuseabschnitts 3 des
Halters 1 zwei Positionierungsabschnitte 9A und 9B an
der linken und rechten Seite des Endes des Gehäuseabschnitts 3 in
der Nähe
einer Membran 10 angeordnet, die auf der oberen Oberfläche des
Messelements 4 vorgesehen ist, wogegen ein Positionierungsabschnitt 9C im Zentrum
des anderen Endes des Gehäuseabschnitts 3 angeordnet
ist. Es wird darauf hingewiesen, daß der Aufheizwiderstand und
der Wärmemeßwiderstand
(die beide nicht gezeigt sind) auf der Membran 10 angeordnet
sind.
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Wenn
bei der zweiten Ausführungsform
der Halter 1 aus beispielsweise Harz hergestellt wird,
und ein Unterschied in Bezug auf die Höhe zwischen den Positionierungsabschnitten 9a und 9f hervorgerufen wird,
wird die Höhe
des Messelements 4 durch den höheren der beiden Abschnitte
bestimmt. Daher besteht eine gewisse Wahrscheinlichkeit dafür, daß die Membran 10 auf
komplizierte Weise in Bezug auf die Flußrichtung geneigt angeordnet
werden kann, abhängig
davon, welcher unter den Positionierungsabschnitten 9a bis 9f höher angeordnet
ist.
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Da
bei der dritten Ausführungsform
drei Positionierungsabschnitte 9A, 9B und 9C in
der Nähe der
Membran 10 angeordnet sind, und das Messelement 4 durch
diese drei Punkte gehaltert wird, ist es möglich, die mögliche Neigung
der Membran 10 in Flußrichtung
zu kontrollieren, und daher die Meßgenauigkeit sicherzustellen.
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VIERTE AUSFÜHRUNGSFORM
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10 ist
eine Perspektivansicht eines wesentlichen Bauteils, nämlich eines
Halters gemäß einer
vierten Ausführungsform,
und 11 ist eine Querschnittsansicht entlang der Linie
C-C von 10. Bei der vierten Ausführungsform
ist ein Metallteil 12 auf dem Bodenende des Gehäuseabschnitts 3 vorgesehen,
und entspricht der Aufbau im übrigen
jenem gemäß der ersten
Ausführungsform.
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Wie
aus den 10 und 11 hervorgeht, ist
das Metallteil 12 auf der Bodenoberfläche des Gehäuseabschnitts 3 des
Halters 1 durch Einsetzformen vorgesehen, so daß ein Ende
des Metallteils 12 stufenförmig in eine Endoberfläche der
Seite der Klemme 6 des Gehäuseabschnitts 3 übergeht.
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Wenn
bei der voranstehend geschilderten, ersten Ausführungsform das Messelement 4 auf
dem Gehäuseabschnitt 3 angebracht
wird, wird es durch Aufbringen des Klebemittels auf den Bondierungsabschnitt 11 befestigt.
Bei der vierten Ausführungsform wird
der Bondierungsabschnitt 11 dadurch ausgebildet, daß die Bondierungspaste
auf die obere, freiliegende Oberfläche des Metallteils 12 aufgebracht wird.
Die Dicke des Metallteils 12 entspricht der Höhe des Positionierungsabschnitts 9C.
Wenn das Messelement 4 fest an dem Metallteil 12 befestigt
ist, wird es am entgegengesetzten Ende durch die Positionierungsabschnitte 9A und 9B gehaltert.
Dies führt
dazu, daß die
voranstehend geschilderte, mögliche
Neigung so kontrolliert wird, daß das Messelement 4 stabil
zusammengebaut werden kann (durch Kontrollieren der Ungleichförmigkeit).
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Durch
diese Anordnung ist es möglich,
die Klebeeigenschaften des Messelements 4 im Vergleich
zu jenem Fall zu verbessern, bei welchem die Bondierungspaste auf
die Bodenoberfläche
des aus Harz bestehenden Gehäuseabschnitts 3 aufgebracht wird,
und kann die Steifigkeit des Abschnitts direkt unter dem Ort erhöht werden,
an welchem sich die Elektrode 5 des Messelements 4 befindet.
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Wenn
daher ein Drahtbondieren mit einem beispielsweise aus Aluminium
bestehenden Draht für die
elektrische Verbindung zwischen der Elektrode 5 des Messelements 4 und
der Klemme 6 eingesetzt wird, ist es daher möglich, Störungen bei
der Übertragung
der eingesetzten Ultraschallenergie zu verringern, und eine stabile
Drahtbondierung bereitzustellen.
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Weiterhin
kann Kupfer oder eine Kupferlegierung als Material für das Metallteil 12 eingesetzt
werden. Weiterhin kann auch ein Material wie beispielsweise eine
Eisen-Nickellegierung eingesetzt werden, deren linearer Wärmeausdehnungskoeffizient ähnlich jenem
von Silizium und dergleichen ist, aus denen das Substrat für das Messelement 4 besteht.
Daher kann die Verläßlichkeit
des Drahtbondierungsabschnitts selbst bei derartig erschwerten Bedingungen sichergestellt
werden, in welchen Wechselbeanspruchungen aufgrund hoher und niedriger
Temperatur auftreten, und kann daher die Standfestigkeit verbessert
werden.
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FÜNFTE AUSFÜHRUNGSFORM
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12 ist
eine Aufsicht auf einen Fall, wenn ein Halter gemäß einer
fünften
Ausführungsform
hergestellt ist, und 13 ist eine Aufsicht, die zeigt, daß ein unerwünschter
Abschnitt in 12 entfernt ist. Diese fünfte Ausführungsform
ist ebenso aufgebaut wie die vierte Ausführungsform, mit Ausnahme eines
Leiterrahmens zur Ausbildung der Klemme 6 und des Metallteils 12.
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Wie
in den 12 und 13 gezeigt
ist, sind bei dieser fünften
Ausführungsform
das Metallteil 12, das auf dem Gehäuseabschnitt 3 des
Halters 1 vorgesehen ist, die Klemme 6 und ein
zu entfernender Abschnitt 14 aus demselben Material hergestellt wie
ein einstückig
ausgebildeter Leiterrahmen 13. Es wird beispielsweise Kupfer,
eine Kupferlegierung oder eine Eisen-Nickellegierung verwendet.
Der Leiterrahmen 13 wird einstückig mit dem Vergleichmäßigungsabschnitt 2 und
dem Klemmenanbringungsabschnitt 7 durch Einsetzformen ausgebildet.
Dann wird, wie in 13 gezeigt ist, ein Entfernungsabschnitt 14 des
unerwünschten
Bereiches des Leiterrahmens 13, der durch Schraffur dargestellt
ist, durch Stanzen oder dergleichen entfernt, um das Metallteil 12 und
die Klemme 6 auszubilden, und so den Halter 1.
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Durch
Herstellung des Halters 1 durch diesen Vorgang ist es möglich, einfach
das Metallteil 12 und die Klemme 6 anzuordnen,
und ist eine Massenproduktion möglich,
da Ausformung mittels Bandmaterial möglich ist.
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SECHSTE AUSFÜHRUNGSFORM
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14 ist
eine Aufsicht auf einen Halter gemäß einer sechsten Ausführungsform, 15 ist eine
Querschnittsansicht entlang der Linie D-D von 14.
Diese sechste Ausführungsform
ist ebenso wie die vierte Ausführungsform
aufgebaut, mit Ausnahme der oberen Endabschnitte der Klemmen 6.
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Wie
aus den 14 und 15 hervorgeht, ist
bei dieser sechsten Ausführungsform
die Klemme 6 abgebogen, am oberen Abschnitt 15 ihres
eines Endes, das elektrisch mit der Elektrode 5 des Messelements 4 verbunden
ist, in Richtung der Bodenoberfläche
des Halters 1, und dort eingebettet. Die Spitze 15a des
oberen Abschnitts 15 ist so angeordnet, daß sie zur
Rückseite
des Klemmenanbringungsabschnitts 7 reicht.
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Selbst
wenn eine Drahtverbindung zwischen dem Messelement 4 und
der Klemme 6 vorgenommen wird, beispielsweise durch Drahtbondierung
von Aluminium, ist es daher möglich,
die Befestigung der Klemme 6 an dem Klemmenanbringungsabschnitt 7 zu
verbessern. Da die Energiemenge der Ultraschallenergie, die für das Sondieren
verwendet wird, die sich auf die Klemmen verteilt, verringert wird,
ist es bei diesem Aufbau möglich,
wirksam die Ultraschallenergie auf den Draht 8 zu übertragen,
so daß eine stabile
Drahtbondierung erzielt werden kann.
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SIEBTE AUSFÜHRUNGSFORM
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16 ist
eine Aufsicht auf ein wesentliches Bauteil, das in 3 verwendet
wird, und zeigt einen Halter gemäß einer
siebten Ausführungsform.
Diese siebte Ausführungsform
ist ebenso aufgebaut wie die sechste Ausführungsform, mit Ausnahme der
Klemme 6, eines oberen Abschnitts 15 und der Elektrode 5 auf
dem Messelement 4.
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Wie
in 16 gezeigt ist, ist bei dieser siebten Ausführungsform
jede Klemme 6 so vorspringend angeordnet, daß der obere
Abschnitt 15 ihres einen Endes, der elektrisch mit dem
Messelement 4 verbunden ist, allmählich von dem zentralen Abschnitt zum
Umfangsabschnitt verlängert
ist, so daß er
die Elektrode 5 des Messelements 4 umgibt.
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Wenn
beispielsweise, wie dies in 17 gezeigt
ist, der vorspringende Abschnitt des oberen Abschnitts 15 eines
Endes der Klemme 6 in Richtung des Messelements 4 dieselbe
Länge aufweist,
und sich zur Elektrode 5 hin erstreckt, und wenn ein Drahtbondieren
durch den Draht 8 zwischen dem Messelement 4 und
der Klemme 6 erfolgt, ist jeder Draht 8 in der
Nähe angeordnet.
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Bei
der siebten Ausführungsform
kann jeder Draht so angeordnet werden, daß er nicht zu der anderen Klemme 6 neben
der zu verbindenden Klemme 6 gelangt. Da jeder Draht 8 getrennt
vorgesehen werden kann, ist es daher möglich, einen Kurzschluß des Drahtes 8 zu
verhindern, und die Verläßlichkeit
dieses Verbindungsabschnitts zu verbessern.
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Daher
kann die Anzahl an Klemmen 6 erhöht werden (im vorliegenden
Fall sind acht Klemmen dargestellt). Daher ist es möglich, mit
Mehrfunktions-Messelementen fertig zu werden, die einen zusätzlichen
Widerstand aufweisen, zusätzlich
zu einem Satz aus dem Aufheizwiderstand und dem Wärmemeßwiderstand,
der auf dem Messelement 4 vorgesehen ist. Weiterhin ist
es möglich,
die Breite der Klemme 6 oder den Abstand (Spalt) zwischen
jeweils zwei Klemmen 6 zu verringern, so daß der Flußratensensor
kleiner ausgebildet werden kann.
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ACHTE AUSFÜHRUNGSFORM
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8 ist
eine Aufsicht entsprechend der Aufsicht des wesentlichen Bauteils,
das in 3 verwendet wird, und zeigt einen Halter gemäß einer
achten Ausführungsform,
und 19 ist eine Aufsicht entsprechend der vergrößerten Aufsicht
auf den Abschnitt E von 18. Die
achte Ausführungsform
ist ebenso aufgebaut wie die siebte Ausführungsform, mit Ausnahme der
Form der Anordnung der Elektrode 5 auf dem Messelement 4.
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Wie
in den 18 und 19 gezeigt
ist, ist bei der achten Ausführungsform
die Elektrode 5 des Messelements 4 bogenförmig ausgebildet,
damit der zentrale Abschnitt weiter vorspringen kann als der Umfangsabschnitt,
auf einer Seite der Klemme 6, mit welcher die Elektrode 5 elektrisch
verbunden ist.
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Beispielsweise
ist, wie in 20 dargestellt, die Position
der Elektrode 5 in Richtung der Klemme 6 linear.
Wenn eine Drahtbondierung durch einen Draht 8 zwischen
der Elektrode 5 und der Klemme 6 durchgeführt wird,
und wenn eine große
Anzahl an Klemmen 6 vorhanden ist, besteht eine Möglichkeit dafür, daß ein hinterer
Abschnitt 16 des Drahts 8, der an der Verbindungsstelle
der Elektrode 5 vorhanden ist, die benachbarte Elektrode 5 stört, also
nicht die zu verbindende Elektrode 5, da die Elektrode 5 sehr klein
ist.
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Da
jedoch bei dieser achten Ausführungsform
die Position der Elektrode 5 in Richtung der Klemme 6 so
ausgebildet ist, daß der
zentrale Abschnitt weiter konvex von dem Umfangsabschnitt aus vorspringen
kann, stört
das hintere Ende 16 nicht die anderen, benachbarten Elektroden 5.
Daher ist es möglich,
einen Kurzschluß des
Drahts 8 zu verhindern, und die Verläßlichkeit der Verbindung zu
verbessern.
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Wie
voranstehend geschildert kann die Anzahl an Klemmen 6 erhöht werden,
während
es möglich
ist, die Breite der Klemme 6 oder den Abstand (Spalt) zwischen
jeweils zwei Klemmen zu verringern.
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NEUNTE AUSFÜHRUNGSFORM
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21 ist
eine Querschnittsansicht entlang der Linie A-A von 1 und
zeigt einen Halter 1 gemäß einer neunten Ausführungsform,
und 22 ist eine Aufsicht auf den Halter, bevor dieser
gebogen wird. Die 23(a),
(b) und (c) sind eine Aufsicht, Seitenansicht bzw. Ansicht der Klemme,
deren anderes Ende abgebogen ist. 24(a) ist
eine Seitenansicht und zeigt den Zustand, in welchem die Klemme des
Halters zum Steuerschaltungssubstrat verlängert ist, und 24(b) ist eine Aufsicht gesehen von der Oberseite
(Richtung F) des Steuerschaltungssubstrats aus. Die neunte Ausführungsform
ist ebenso aufgebaut wie die fünfte
Ausführungsform,
mit Ausnahme eines Leiterrahmens 13 zur Ausbildung der
Klemme 6.
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Wie
in 21 gezeigt ist, ist gemäß dieser neunten Ausführungsform
zu dem Zweck, die Empfindlichkeit des Messelements 4 in
Bezug auf den Ansaugluftfluß oder
die Flußgeschwindigkeit
in die Hauptleitung 20 hinein zu verbessern, der Halter 1 schräg angeordnet,
so daß ein
Winkel von β° in Bezug
auf die Flußrichtung
eines Fluids ausgebildet wird. Wie in 22 gezeigt
ist, ist das andere Ende der Klemme 6, das sich zur Seite
des Steuerschaltungssubstrats 22 des Halters 1 erstreckt,
so angeordnet, daß ein
Winkel von β° in Bezug
auf eine zentrale Achse ausgebildet wird, deren Länge sich
so ändert,
daß gilt:
(L1 > L2 > L3 > L4).
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Der
Leiterrahmen 13 ist so ausgebildet, daß er eine derartige Länge, Form
und einen derartigen Entfernungsabschnitt 14 aufweist,
und nachdem der Entfernungsabschnitt 14 entfernt wurde,
wird das andere Ende jeder Klemme 6 zweimal so gebogen,
wie dies in den 23 und 24 gezeigt
ist. Das andere Ende jeder Klemme 6, die gegenüber dem
Halter 1 vorspringt, ist auf der Seite einer Verbindungsklemmeneinführungsöffnung 22a so
gebogen, daß es
parallel zum Steuerschaltungssubstrat 22 verläuft. Darüber hinaus
wird diese abgebogene Oberseite parallel zu den Verbindungsklemmeneinführungsöffnungen 22a abgebogen,
die linear entlang dem Außenrand
des Steuerschaltungssubstrats 22 vorgesehen sind.
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Wenn
das andere Ende der Klemme 6, das zu dem Steuerschaltungssubstrat 22 geht,
geradlinig ohne Biegung ausgebildet wird, so wird ein Winkel von β° in Bezug
auf das Steuerschaltungssubstrat 22 ausgebildet, wenn der
Halter 1 schräg
in Bezug auf die Flußrichtung
eingeführt
wird. In diesem Fall ist es erforderlich, die Verbindungsklemmeneinführungsöffnungen 22a so
anzuordnen, daß ein
Winkel von β° in Bezug
auf den Randabschnitt ausgebildet wird. Dies führt dazu, daß die effektive
Fläche
des Steuerschaltungssubstrats 22 verringert wird, verglichen
mit einem Fall, in welchem der Halter 1 im wesentlichen parallel
in Flußrichtung
eingeführt
wird. Daher besteht eine gewisse Möglichkeit dafür, daß Einschränkungen
in Bezug auf den Musterentwurf hervorgerufen werden, beispielsweise
in Bezug auf die Ausgangsleitung des Meßsignals, und eine abgedichtete Leitung,
oder daß das
Layout für
die elektronischen Bauteile und das Steuerschaltungssubstrat 22 größer werden.
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Gemäß der neunten
Ausführungsform
sind, selbst wenn der Halter 1 schräg in Bezug auf die Flußrichtung
eingeführt
wird, die Verbindungsklemmeneinführungsöffnungen 22a entlang
dem Randabschnitt des Steuerschaltungssubstrats 22 vorgesehen,
mit welchem das andere Ende der Klemme 6 nach dem Abbiegen
verbunden wird.
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Es
ist daher möglich,
die Abmessungen des Flußratensensors
so zu steuern, daß er
nicht größer wird,
ohne die effektive Fläche
auf dem Steuerschaltungssubstrat 22 zu verringern.
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Obwohl
der Halter 1 schräg
angeordnet ist, ist es ebenfalls möglich, sowohl den Halter 1 als
auch das Steuerschaltungssubstrat 22 schräg anzuordnen.
In diesem Fall ist es erforderlich, die Position des Vorsprungs 20a,
der von dem Außenumfang
der Hauptleitung 20 vorspringt, um das Steuerschaltungssubstrat 22 zu
befestigen, zu ändern,
wie dies in 2 gezeigt ist. Gemäß der neunten
Ausführungsform
ist es nicht erforderlich, die Position des Vorsprungs 20a zu ändern, sondern
kann durch Abbiegen des anderen Endes der Klemme 6 derselbe Zweck
erreicht werden.
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Da
der Halter 1 und das Steuerschaltungssubstrat 22 vertikal
angeordnet sind, wird das andere Ende der Klemme 6 zweimal abgebogen.
Wenn jedoch der Halter 1 und das Steuerschaltungssubstrat 22 parallel
zueinander liegen, ist es nur erforderlich, das andere Ende der
Klemme 6 einmal abzubiegen.
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ZEHNTE AUSFÜHRUNGSFORM
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25 ist
eine Querschnittsansicht eines wesentlichen Bauteils, das in 1 verwendet
wird, und zeigt einen Halter gemäß einer
zehnten Ausführungsform.
Die zehnte Ausführungsform
ist ebenso aufgebaut wie die vierte Ausführungsform, mit Ausnahme des
Metallteils 12.
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Wie
aus 25 hervorgeht, ist gemäß der zehnten Ausführungsform
ein Teil des Metallteils 12, das auf der Bodenoberfläche des
Gehäuseabschnitts 3 vorgesehen
ist, elektrisch mit einem Stromversorgungsmassemuster verbunden,
das auf dem Steuerschaltungssubstrat 22 vorgesehen ist,
durch eine Verbindungsklemme 12a, die von dem Teil aus
vorspringt. Darüber
hinaus ist das Metallteil 12 so angeordnet, daß es die
Rückseite
des Messelements 4 abdeckt, und eine elektromagnetische
Abschirmanordnung zur Abschirmung gegen elektromagnetisches Rauschen
ausbildet, das auf das Messelement 4 einwirkt. Darüber hinaus
wird die Verbindungsklemme 12a als Teil des Leiterrahmens 13 zur
Ausbildung der Klemme 6 ausgebildet, und zwar parallel
zur Klemme 6.
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Selbst
unter derartigen Umgebungsbedingungen, bei welchen von außerhalb
elektromagnetisches Rauschen empfangen wird, ist es daher möglich, das
elektromagnetische Rauschen an die Stromversorgungsmasse am Umfang
des Messelements 4 abzuleiten. Daher ist es möglich, eine
Beeinträchtigung
der Meßgenauigkeit
für den
Ansaugluftfluß oder
die Flußgeschwindigkeit
zu verhindern, wenn elektromagnetisches Rauschen dem Meßsignal überlagert
ist. Weiterhin ist das Metallteil 12 auf der Stromversorgungsmasse
geerdet, jedoch kann es auch auf dem elektromagnetischen Teil geerdet sein.
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ELFTE AUSFÜHRUNGSFORM
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26 ist
eine Perspektivansicht eines wesentlichen Bauteils und zeigt jenen
Zustand, in welchem das Messelement 4 auf dem Halter gemäß einer
elften Ausführungsform
angeordnet ist, und 27 ist eine Querschnittsansicht
entlang der Linie G-G von 26. 28 ist
eine Perspektivansicht eines wesentlichen Bauteils, das bei dem
Halter verwendet wird. Diese elfte Ausführungsform ist ebenso aufgebaut
wie die vierte Ausführungsform,
mit Hilfe eines Klebemittelaufbewahrungsabschnitts 17.
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Wie
in den 27 und 28 gezeigt
ist, ist bei der elften Ausführungsform
das Metallteil 12 auf der Bodenoberfläche des Gehäuseabschnitts 3 angeordnet,
und weist einen Verbindungsabschnitt 11 auf der oberen
Oberfläche
auf. Ein ausgenommener Klebemittelaufbewahrungsabschnitt 17 ist
in der Nähe
des Metallteils 12 vorhanden.
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Wenn
daher das Messelement 4 auf dem Gehäuseabschnitt 3 durch
das Klebemittel angeordnet wird, und selbst wenn überschüssig aufgebrachtes
Klebemittel zwischen dem Messelement und dem Verbindungsabschnitt 11 herausgezwungen
wird, wird daher dieses Klebemittel in dem Klebemittelaufbewahrungsabschnitt 17 gespeichert.
Da es möglich ist,
zu verhindern, daß das überschüssige Klebemittel
auf der Oberfläche
des Messelements 4 und auf der Elektrode 5 herausgedrückt wird,
ist es daher möglich,
die Verläßlichkeit
des Messelements 4 sicherzustellen, und eine stabile Drahtbondierung
zur Verfügung
zu stellen, selbst wenn das Sondieren durch den Draht 8 zwischen
dem Messelement 4 und der Klemme 6 erfolgt.
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Der
Klebemittelaufbewahrungsabschnitt 17 ist in der Nähe des Metallteils 12 vorhanden,
kann jedoch auch wirksam sein, selbst wenn das Metallteil 12 nicht
vorgesehen ist, und das Klebemittel auf die Bodenoberfläche des
Gehäuseabschnitts 3 aufgebracht
wird.
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Darüber hinaus
kann der Klebemittelaufbewahrungsabschnitt 17 zwischen
dem Verbindungsabschnitt 11 und einer Membran 10 vorgesehen
sein, die dünner
ist als das Messelement 4. Mit einem derartigen Aufbau
wird es möglich,
einen Bruch der Membran 10 selbst dann zu verhindern, wenn
das Klebemittel zur Rückseite
der Membran 10 hin fließt.
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ZWÖLFTE AUSFÜHRUNGSFORM
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29 ist
eine Perspektivansicht eines wesentlichen Bauteils, das bei dem
Halter gemäß einer zwölften Ausführungsform
verwendet wird, und 30 ist eine Querschnittsansicht
entlang der Linie H-H von 29. Da
die Perspektivansicht des wesentlichen Bauteils in jenem Zustand,
in welchem das Messelement auf dem Halter angebracht ist, ebenso aussehen
würde wie 26,
ist sie hier weggelassen. Die zwölfte
Ausführungsform
ist ebenso aufgebaut wie 4, mit Ausnahme des Klebemittelaufbewahrungsabschnitts 17a.
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Wie
in den 29 und 30 gezeigt
ist, sind bei dieser zwölften
Ausführungsform
eine Nut und der Klebemittelaufbewahrungsabschnitt 17a auf der
oberen Oberfläche
des Metallteils 12 so vorgesehen, daß der Umfang des Verbindungsabschnitts 11 abgedeckt
wird, der dazu vorgesehen ist, an ihm das Messelement 4 zu
befestigen und es hiermit zu verbinden.
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Daher
ist es möglich
zu verhindern, daß das Klebemittel
auf die Elektrode 5 auf dem Messelement 4 herausgedrückt wird,
und ein stabiles Drahtbondieren zur Verfügung zu stellen, wenn Drahtbondieren durch
den Draht 8 zwischen dem Messelement 4 und der
Klemme 6 durchgeführt
wird.
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DREIZEHNTE AUSFÜHRUNGSFORM
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31 ist
eine Perspektivansicht eines wesentlichen Bauteils, das bei dem
Halter gemäß einer dreizehnten
Ausführungsform
verwendet wird. 32 ist eine Perspektivansicht
des wesentlichen Bauteils in einem Zustand, bei welchem das Messelement
auf dem Halter angebracht ist, und 33 ist eine
Querschnittsansicht entlang der Linie J-J von 32.
Diese dreizehnte Ausführungsform
ist ebenso aufgebaut wie die vierte Ausführungsform, mit Ausnahme eines
Verlängerungsabschnitts 18.
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Wie
in den 31 und 32 gezeigt
ist, ist bei der dreizehnten Ausführungsform ein Verlängerungsabschnitt 18 auf
der Seite des Gehäuses 3 und am
Umfang des Verbindungsabschnitts 11 vorgesehen, um das
Messelement 4 zu befestigen. Der Verlängerungsabschnitt 18 ist
so ausgebildet, daß er
einen Stufenabschnitt aufweist, der weiter nach außen geht
als die Seite des Messelements 4, und die Form einer Ausnehmung
hat.
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Mit
dieser Anordnung ist es möglich,
dieselben Auswirkungen wie bei der zwölften Ausführungsform zu erzielen. Darüber hinaus
können,
wie in 33 gezeigt ist, beide Enden
des Messelements 4 mit einer Pinzette P und dergleichen
von dem Verlängerungsabschnitt 18 abgenommen
und in den Gehäuseabschnitt 3 eingeführt werden.
Da die Oberseite der Pinzette nicht den Halter 1 stört, ist
es möglich, das
Messelement 4 sicher und exakt an seinem Ort anzuordnen.
Genauer gesagt ist es erforderlich, wenn der Verlängerungsabschnitt 18 nicht
vorhanden ist, zuzulassen, daß das
Messelement 4 die Spitze des Gehäuseabschnitts 3 für eine temporäre Positionierung
berührt,
bevor das Messelement 4 infolge seines Eigengewichts in
seine endgültige
Position gelangt. In diesem Fall kann eine Positionsabweichung des
Messelements 4 hervorgerufen werden, und ist es dann erforderlich,
die Abweichung zu korrigieren.
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Bei
der dreizehnten Ausführungsform
sorgt dagegen die Bereitstellung des Verlängerungsabschnitts 18 für eine stabile
Montage des Messelements 4 in dem Positionierungsabschnitt
innerhalb des Gehäuseabschnitts 3,
und kann daher der Einführungsvorgang
erleichtert werden.
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Wie
voranstehend geschildert wird gemäß der Erfindung, wie sie im
Patentanspruch 1 angegeben ist, ein Halter zum Anordnen eines plattenförmigen Messelements
in einem vorbestimmten Flußkanal
zur Verfügung
gestellt, wobei der Halter einen Gehäuseabschnitt zum Anordnen des
Messelements in einer vorbestimmten Position aufweist, und mit einem
Vergleichmäßigungsabschnitt
zum Vergleichmäßigen des
Flusses eines Ansaugfluids versehen ist, und weist einen Verbindungsklemmenanbringungsabschnitt
mit einer dort eingebetteten Verbindungsklemme auf, die zur Übertragung eines
Signals des Messelements dient, wobei der Vergleichmäßigungsabschnitt
und der Verbindungsklemmenanbringungsabschnitt einstückig aus
Isoliermaterial hergestellt sind. Bei dieser Anordnung ist es möglich, eine stabile
Drahtbondierung zum elektrischen Verbinden einer Elektrode des Messelements
zur Verbindungsklemme zur Verfügung
zu stellen.
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Gemäß der Erfindung,
wie sie im Patentanspruch 2 angegeben ist, ist die Verbindungsklemme in
den Verbindungsklemmenanbringungsabschnitt des Halters eingebettet.
Die Verbindungsklemme ist an einer vorbestimmten Position des Halters
angeordnet, und die Abweichung der Relativposition der Elektrode
des Messelements und der Verbindungsklemme wird klein.
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Gemäß der Erfindung,
wie sie im Patentanspruch 3 angegeben ist, ist der Vergleichmäßigungsabschnitt
so ausgebildet, daß er
die Form einer runden Rippenplatte oder die Form eines Flügels aufweist,
zumindest auf der stromaufwärtigen
Seite. Es ist daher möglich,
den Vergleichmäßigungsabschnitt aus
Harz auszubilden, und unter strömungsphysikalischen
Gesichtspunkten einfach die Form des Vergleichmäßigungsabschnitts zu entwerfen.
Darüber hinaus
kann die Meßgenauigkeit
in Bezug auf die Flußrate
oder die Flußgeschwindigkeit
verbessert erden.
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Gemäß der Erfindung,
wie sie im Patentanspruch 4 angegeben ist, ist auf der Bodenoberfläche des
Gehäuseabschnitts
ein Positionierungsabschnitt vorgesehen, um die Höhe der Anordnung
in Richtung der Dicke des Messelements zu kontrollieren, so daß die obere
Oberfläche
des Messelements dieselbe Höhe
aufweist wie die Oberfläche
des Halters. Da die Höhe
der Anordnung des Messelements gesteuert wird, ist es möglich, die
Meßgenauigkeit
für die
Flußrate
oder die Flußgeschwindigkeit
sicherzustellen.
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Gemäß der Erfindung,
wie sie im Patentanspruch 5 angegeben ist, ist der Positionierungsabschnitt
an zumindest drei Orten vorgesehen. Da hierdurch die Neigung einer
Membran in Bezug auf die Flußrichtung
gesteuert werden kann, ist es möglich, die
Meßgenauigkeit
für die
Flußrate
oder die Flußgeschwindigkeit
sicherzustellen.
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Gemäß der Erfindung,
wie sie im Patentanspruch 6 angegeben ist, ist ein Metallteil auf
der Bodenoberfläche
des Gehäuseabschnitts
vorgesehen, und ist ein Klebemittel auf das Metallteil aufgetragen, um
das Messelement fest dort zu verbinden. Daher ist es möglich, eine
stabile Verbindung bereitzustellen, und die Verläßlichkeit und die Lebensdauer
zu verbessern.
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Gemäß der Erfindung,
wie sie im Patentanspruch 7 angegeben ist, ist das Metallteil so
ausgebildet, daß es
die Form eines Leiterrahmens zusammen mit der Verbindungsklemme
aufweist, die aus demselben Material wie das Metallteil besteht,
und wird es dann einstückig
mit dem Vergleichmäßigungsabschnitt
und dem Verbindungsklemmenanbringungsabschnitt ausgebildet, um den
Halter so auszubilden, daß ein
unerwünschtes
Teil entfernt wird. Daher kann der Halter durch ein herstellungstechnisch
günstiges Verfahren
hergestellt werden.
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Gemäß der Erfindung,
wie sie im Patentanspruch 8 angegeben ist, weist die Verbindungsklemme
ein Ende auf, das elektrisch mit der Elektrode des Messelements
verbunden ist, und dessen Oberseite in Richtung der Bodenoberfläche des
Halters so abgebogen ist, daß es
in diese eingebettet ist. Daher ist es möglich, ein stabiles Drahtbondieren
bereitzustellen, und die Verläßlichkeit
und die Lebensdauer zu verbessern.
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Gemäß der Erfindung,
wie sie im Patentanspruch 9 angegeben ist, weist die Verbindungsklemme
ein Ende auf, das elektrisch mit der Elektrode des Messelements
verbunden ist, und dessen Oberseite so vorspringend angeordnet ist,
daß es
vom zentralen Abschnitt zum Umfangsabschnitt hin allmählich länger wird,
und die Elektrode des Messelements umgibt. Daher ist es möglich, die
Verläßlichkeit
des Drahtbondierungsabschnitts zu verbessern, und den Flußratensensor
kleiner auszubilden, sowie mit mehreren Funktionen.
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Gemäß der Erfindung,
wie sie im Patentanspruch 10 angegeben ist, ist die Elektrode des
Messelements bogenförmig
angeordnet, damit ihr zentraler Abschnitt weiter vorspringen kann
als das Umfangsteil, in Bezug auf ein Ende der Verbindungsklemme,
das elektrisch mit der Elektrode verbunden ist. Daher ist es möglich, die
Verläßlichkeit
des Drahtbondierungsabschnitts zu verbessern, und den Flußratensensor
kleiner und mit mehreren Funktionen auszubilden.
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Gemäß der Erfindung,
wie sie im Patentanspruch 11 angegeben ist, ist der Halter schräg in einem
Flußkanal
in Bezug auf die Flußrichtung
eines Fluids angeordnet, wobei das andere Ende der Verbindungsklemme
entgegengesetzt zu ihrem einen Ende, das mit der Elektrode des Messelements
verbunden ist, sich zu einem Steuerschaltungssubstrat zum Steuern
des Messelements erstreckt, so abgebogen ist, daß es im wesentlichen parallel
zu einer Verbindungsklemmeneinführungsöffnung verläuft, die
linear am Außenrand
des Steuerschaltungssubstrats vorgesehen ist, und dann in die Verbindungsklemmeneinführungsöffnung für die Verbindung
eingeführt
ist. Es ist daher möglich,
den Flußratensensor kleiner
auszubilden.
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Gemäß der Erfindung,
wie sie im Patentanspruch 12 angegeben ist, ist das Metallteil auf
der Bodenoberfläche
des Gehäuseabschnitts
so angeordnet, daß es
einen Teil oder die gesamte Rückseite des
Messelements abdeckt, und ist ein Teil des Metallteils mit Stromversorgungsmasse
verbunden, oder mit einem elektromagnetischen Abschirmteil, um eine
elektromagnetische Abschirmanordnung zum Abschirmen von elektromagnetischem
Rauschen auszubilden, das auf das Messelement einwirkt. Es ist daher
möglich,
zu verhindern, daß die Meßgenauigkeit
für die
Flußrate
oder die Flußgeschwindigkeit
infolge elektromagnetischen Rauschens beeinträchtigt wird.
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Gemäß der Erfindung,
wie sie im Patentanspruch 13 angegeben ist, ist ein ausgenommener Klebemittelaufbewahrungsabschnitt
vorgesehen, um unerwünschtes
Klebemittel in dem Gehäuseabschnitt
des Halters in der Nähe
eines Abschnitts aufzubewahren, an welchem ein Klebemittel aufgebracht
wird, um das Messelement fest zu verbinden. Daher ist es möglich, eine
Beschädigung
oder einen Bruch des Messelements oder der Elektrode zu verhindern,
und die Verläßlichkeit
des Drahtbondierungsabschnitts zu verbessern.
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Gemäß der Erfindung,
wie sie im Patentanspruch 14 angegeben ist, ist der Klebemittelaufbewahrungsabschnitt
zwischen einem Abschnitt, an welchem das Klebemittel aufgebracht
wird, und einem Membranabschnitt vorgesehen, der auf der oberen Oberfläche des
Messelements vorgesehen ist. Es ist daher möglich, eine Beschädigung oder
einen Bruch des Messelements zur Elektrode zu verhindern, und die
Verläßlichkeit
des Drahtbondierungsabschnitts zu verbessern.
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Gemäß der Erfindung,
wie sie im Patentanspruch 15 angegeben ist, ist der Klebemittelaufbewahrungsabschnitt
als Nut ausgebildet, um den Außenumfang
des Abschnitts abzudecken, an welchem das Klebemittel aufgebracht
wird. Daher ist es möglich,
einen Bruch oder eine Beschädigung
des Messelements und der Elektrode zu verhindern, und die Verläßlichkeit
des Drahtbondierungsabschnitts zu verbessern.
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Gemäß der Erfindung,
wie sie im Patentanspruch 16 angegeben ist, ist ein Verlängerungsabschnitt,
der eine ausgenommene Stufe aufweist, die sich von der Seite des
Messelements nach außen
erstreckt, auf der Seite des Gehäuseabschnitts
so vorgesehen, daß er
einen Abschnitt umgibt, an welchem das Klebemittel aufgebracht wird,
um das Messelement fest zu verbinden. Es ist daher möglich, einen Bruch
oder eine Beschädigung
des Messelements und der Elektrode zu verhindern, die Verläßlichkeit des
Drahtbondierungsabschnitts zu verbessern, und ein ordnungsgemäßes Einführen des
Messelements zu bewerkstelligen.