JP6361523B2 - 流量センサの製造方法 - Google Patents
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Description
さらに、センサチップ(40)を溝部(26)に組み付ける工程では、治具(80)として、センサチップ(40)の表面(41)を保持する保持面(81)が設けられた保持部(83)と、治具当て付けエリア(27a)に接触する接触面(82)が設けられた手つき部(84)と、保持部(83)と手つき部(84)とを保持面(81)に垂直な方向に相対的に移動させる機構部(85)と、を備えて構成されたものを用意する準備工程と、保持部(83)によってセンサチップ(40)の表面(41)を保持した状態で、センサチップ(40)の裏面(44)と保持面(81)とが接着剤(60)の厚みの狙い値の分だけ相対的に離れるように機構部(85)を駆動する調整工程と、調整工程の後、接着剤(60)を介してセンサチップ(40)を溝部(26)に組み付ける組付工程と、を含んでいることを特徴とする。
以下、本発明の第1実施形態について図を参照して説明する。図1に示されるように、流量センサ10は気体等の流体の流量を検出するように構成されたものであり、センサ支持体20、リード30、センサチップ40、及び封止材50を備えて構成されている。
本実施形態では、第1実施形態と異なる部分について説明する。図5に示されるように、溝部26の底面27は、当該溝部26の底面27の一部が突出した凸部27cを有している。本実施形態では、凸部27cが、接着剤60のフィレットが治具当て付けエリア27a側に移動することを阻止する阻止部として機能するものである。
本実施形態では、第1、第2実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、センサチップ40を溝部26に組み付ける工程において、センサチップ40の厚みに対応した治具80を用いる。
本実施形態では、第3実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、センサチップ40を溝部26に組み付ける工程において、センサチップ40の厚みに応じて手つき高さ寸法を変更することができる治具80を用いた接着を行う。
本実施形態では、第4実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、図12に示されるように、調整工程では、平坦面101とこの平坦面101から接着剤60の厚みの狙い値の分だけ突出した突出面102を有する平板100を用いる。つまり、平板100は段差部を有している。
本実施形態では、第4、5実施形態と異なる部分について説明する。本実施形態では、図13に示されるように、機構部85は、手つき部84の位置が固定されていると共に、手つき部84に対して吸着部83が移動可能に構成されている。なお、吸着部83の移動は、例えばサーボモータ等の機構によって実現している。
上記各実施形態で示された流量センサ10の構成は一例であり、上記で示した構成に限定されることなく、本発明を実現できる他の構成とすることもできる。例えば、治具当て付けエリア27aは上述のように複数箇所に設けられていても良いが、スペースの確保の観点から1カ所に設けられていても良い。
26 溝部
27 底面
27a 治具当て付けエリア
40 センサチップ
43 センシング部
60 接着剤
80 治具
Claims (6)
- 一面(25)と、この一面(25)の一部が凹んだ溝部(26)と、を有するセンサ支持体(20)と、
表面(41)及び当該表面(41)の反対側の裏面(44)を有する板状であり、前記表面(41)側に形成されたセンシング部(43)を有しており、前記センサ支持体(20)の溝部(26)に配置され、前記センシング部(43)の上方に流れる流体の流量を検出するセンサチップ(40)と、
前記センサチップ(40)の裏面(44)のうち前記センシング部(43)に対応する部分とは異なる部分を前記溝部(26)の底面(27)に固定する接着剤(60)と、
を備えた流量センサの製造方法であって、
前記センサ支持体(20)として、前記溝部(26)の底面(27)に繋がっていると共に当該底面(27)と同一平面に治具当て付けエリア(27a)が設けられたものを用意する工程と、
前記接着剤(60)を介して前記センサチップ(40)を前記溝部(26)に配置し、治具(80)で前記センサチップ(40)を前記溝部(26)の底面(27)側に押さえつけると共に、前記治具(80)の一部を前記治具当て付けエリア(27a)に接触させて前記センサチップ(40)を前記溝部(26)に組み付ける工程と、
を含み、
前記センサチップ(40)を前記溝部(26)に組み付ける工程では、
前記治具(80)として、前記センサチップ(40)の表面(41)を保持する保持面(81)が設けられた保持部(83)と、前記治具当て付けエリア(27a)に接触する接触面(82)が設けられた手つき部(84)と、前記保持部(83)と前記手つき部(84)とを前記保持面(81)に垂直な方向に相対的に移動させる機構部(85)と、を備えて構成されたものを用意する準備工程と、
前記保持部(83)によって前記センサチップ(40)の表面(41)を保持した状態で、前記センサチップ(40)の裏面(44)と前記保持面(81)とが前記接着剤(60)の厚みの狙い値の分だけ相対的に離れるように前記機構部(85)を駆動する調整工程と、
前記調整工程の後、前記接着剤(60)を介して前記センサチップ(40)を前記溝部(26)に組み付ける組付工程と、
を含んでいることを特徴とする流量センサの製造方法。 - 前記調整工程では、平坦面(101)を有する平板(100)を用意し、前記平坦面(101)と前記保持部(83)の保持面(81)とで前記センサチップ(40)を挟むと共に前記手つき部(84)の前記接触面(82)を前記平坦面(101)に接触させた後、前記治具(80)を前記平板(100)から離し、さらに、前記手つき部(84)の接触面(82)を前記センサチップ(40)の裏面(44)に対して前記接着剤(60)の厚みの狙い値の分だけ離すことを特徴とする請求項1に記載の流量センサの製造方法。
- 前記調整工程では、平坦面(101)とこの平坦面(101)から前記接着剤(60)の厚みの狙い値の分だけ突出した突出面(102)を有する平板(100)を用意し、前記突出面(102)と前記保持部(83)の保持面(81)とで前記センサチップ(40)を挟むと共に、前記手つき部(84)の接触面(82)を前記平坦面(101)に接触させることにより、前記手つき部(84)の接触面(82)を前記センサチップ(40)
の裏面(44)に対して前記接着剤(60)の厚みの狙い値の分だけ離すことを特徴とする請求項1に記載の流量センサの製造方法。 - 前記センサ支持体(20)を用意する工程では、前記溝部(26)の底面(27)に、当該底面(27)と前記センサチップ(40)の裏面(44)との間から染み出した前記接着剤(60)が前記治具当て付けエリア(27a)側に移動することを阻止する阻止部(27b、27c)が設けられたものを用意することを特徴とする請求項1ないし3のいずれか1つに記載の流量センサの製造方法。
- 前記センサ支持体(20)を用意する工程では、前記阻止部として、前記溝部(26)の底面(27)の一部が凹んだ凹部(27b)を有するものを用意することを特徴とする請求項4に記載の流量センサの製造方法。
- 前記センサ支持体(20)を用意する工程では、前記阻止部として、前記溝部(26)の底面(27)の一部が突出した凸部(27c)を有するものを用意することを特徴とする請求項4に記載の流量センサの製造方法。
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