DE05809888T1 - Spiralpumpe mit gesteuerter axialer wärmeausdehnung - Google Patents

Spiralpumpe mit gesteuerter axialer wärmeausdehnung Download PDF

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Jeffrey C. Westford WARREN
Robert M. Arlington CURRY
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Abstract

Vakuumpumpenvorrichtung, die aufweist:
einen Spiralsatz mit einem Einlass und einem Auslass, wobei der Spiralsatz ein feststehendes Spiralelement, das einen feststehenden Spiralflügel einschliesst, und ein kreisendes Spiralelement aufweist, das einen kreisenden Spiralflügel einschliesst, wobei der feststehende und der kreisende Spiralflügel unter Ausbildung von einer oder mehreren Zwischenflügeltaschen ineinandergreifen;
einen Motor; und
eine Kurbelwelle, die zwischen dem Motor und dem kreisenden Spiralelement wirkend gekoppelt ist, was eine kreisende Bewegung des kreisenden Spiralflügels relativ zu dem feststehenden Spiralflügel bewirkt, wenn der Motor mit Strom versorgt wird, wobei die Kurbelwelle eine erste Komponente eines ersten Materials aufweist, das starr mit einer zweiten Komponente eines zweiten Materials verbunden ist, wobei das erste und das zweite Material verschiedene Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen.

Claims (18)

  1. Vakuumpumpenvorrichtung, die aufweist: einen Spiralsatz mit einem Einlass und einem Auslass, wobei der Spiralsatz ein feststehendes Spiralelement, das einen feststehenden Spiralflügel einschliesst, und ein kreisendes Spiralelement aufweist, das einen kreisenden Spiralflügel einschliesst, wobei der feststehende und der kreisende Spiralflügel unter Ausbildung von einer oder mehreren Zwischenflügeltaschen ineinandergreifen; einen Motor; und eine Kurbelwelle, die zwischen dem Motor und dem kreisenden Spiralelement wirkend gekoppelt ist, was eine kreisende Bewegung des kreisenden Spiralflügels relativ zu dem feststehenden Spiralflügel bewirkt, wenn der Motor mit Strom versorgt wird, wobei die Kurbelwelle eine erste Komponente eines ersten Materials aufweist, das starr mit einer zweiten Komponente eines zweiten Materials verbunden ist, wobei das erste und das zweite Material verschiedene Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweisen.
  2. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das erste und das zweite Material Metalle sind.
  3. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 1, wobei das erste Material Stahl aufweist und das zweite Material eine Eisen-Nickel-Legierung mit einem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist.
  4. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 2, wobei die erste Komponente mit der zweiten Komponente reibverschweißt ist.
  5. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die erste Komponente mechanisch an der zweiten Komponente befestigt ist.
  6. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die erste Komponente an die zweite Komponente gesenkgeschmiedet ist.
  7. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 1, wobei die erste Komponente mit der zweiten Komponente mittels Gewinde verbunden ist.
  8. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 1, die weiter einen Pumpenrahmen aufweist, wobei der Motor und das feststehende Spiralelement an dem Pumpenrahmen gesichert sind.
  9. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 8, wobei die Kurbelwelle an einem Ende drehbar am Pumpenrahmen gesichert ist.
  10. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 1, wobei Abmessungen und Materialien der ersten und zweiten Komponente der Kurbelwelle ausgewählt sind, um eine gewünschte axiale Wärmeausdehnung vorzusehen.
  11. Vakuumpumpenvorrichtung, die aufweist: einen Pumpenrahmen; ein feststehendes Spiralelement, das am Pumpenrahmen gesichert ist, wobei das feststehende Spiralelement einen feststehenden Spiralflügel einschliesst; ein kreisendes Spiralelement, das einen in den feststehenden Spiralflügel eingreifenden, kreisenden Spiralflügel einschliesst; ein Motor, der am Pumpenrahmen gesichert ist; und eine Kurbelwelle, die zwischen den Motor und das kreisende Spiralelement gekoppelt ist und die eine kreisende Bewegung des kreisenden Spiralflügels relativ zu dem feststehenden Spiralflügel bewirkt, wenn der Motor mit Strom versorgt wird, wobei die Kurbelwelle eine erste Komponente mit einem ersten Wärmeausdehnungskoeffizienten und eine zweite Komponente mit einem zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist.
  12. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 11, wobei die erste Komponente Stahl aufweist und die zweite Komponente eine Eisen-Nickel-Legierung mit einem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist.
  13. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 11, wobei die erste und die zweite Komponente aus Metallen hergestellt sind.
  14. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 11, wobei die erste Komponente mit der zweiten Komponente reibverschweißt ist.
  15. Vakuumpumpenvorrichtung nach Anspruch 11, wobei die erste Komponente mechanisch an der zweiten Komponente befestigt ist.
  16. Verfahren zum Betrieb einer Vakuumpumpenvorrichtung desjenigen Typs, der ein erstes Spiralelement und ein zweites Spiralelement aufweist, aufweisend: Bewirken einer kreisenden Bewegung des zweiten Spiralelements relativ zum ersten Spiralelement mit einem Motor und einer exzentrischen Kurbelwelle, wobei die exzentrische Kurbelwelle eine erste Komponente mit einem ersten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist und die mit einer zweiten Komponente verbunden ist, die einen zweiten Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist.
  17. Verfahren nach Anspruch 16, wobei die erste Komponente Stahl aufweist und die zweite Komponente eine Eisen-Nickel-Legierung mit einem niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten aufweist.
  18. Verfahren nach Anspruch 16, das weiter das Auswählen von Abmessungen und Materialien der ersten und der zweiten Komponente der Kurbelwelle aufweist, um eine gewünschte axiale Wärmeausdehnung vorzusehen.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8047765B2 (en) * 2008-08-29 2011-11-01 General Electric Company Device, system and method for thermally activated displacement
US8622724B2 (en) * 2009-09-25 2014-01-07 Agilent Technologies, Inc. Scroll pump with isolation barrier
DE102010020356A1 (de) * 2010-05-12 2011-11-17 Audi Ag Schmiermittelpumpe, Regelkolben
US9328730B2 (en) * 2013-04-05 2016-05-03 Agilent Technologies, Inc. Angular synchronization of stationary and orbiting plate scroll blades in a scroll pump using a metallic bellows

Family Cites Families (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB987681A (en) 1960-08-02 1965-03-31 Plessey Co Ltd Improvements in or relating to rotary-displacement machines
US3801226A (en) * 1970-08-28 1974-04-02 Goulds Pumps Pump impeller
US4490099A (en) 1980-10-03 1984-12-25 Sanden Corporation Scroll type fluid displacement apparatus with thickened center wrap portions
US4382754A (en) 1980-11-20 1983-05-10 Ingersoll-Rand Company Scroll-type, positive fluid displacement apparatus with diverse clearances between scroll elements
DE3568823D1 (en) * 1984-05-14 1989-04-20 Prescant Pty Ltd Water ring vacuum pump
JPH0219599Y2 (de) * 1984-10-31 1990-05-30
JPS61197784A (ja) * 1985-02-25 1986-09-02 Hitachi Ltd スクロ−ル形流体機械
JPH0733828B2 (ja) 1986-12-29 1995-04-12 株式会社日立製作所 スクロール形真空ポンプ
JPH07217553A (ja) 1994-01-27 1995-08-15 Sanyo Electric Co Ltd スクロール型無給油式流体機械
JP3158938B2 (ja) 1995-03-20 2001-04-23 株式会社日立製作所 スクロール流体機械及びこれを用いた圧縮気体製造装置
US5616015A (en) 1995-06-07 1997-04-01 Varian Associates, Inc. High displacement rate, scroll-type, fluid handling apparatus
DE19528071A1 (de) * 1995-07-31 1997-02-06 Knorr Bremse Systeme Spiralverdichter
AU731955B2 (en) * 1997-09-16 2001-04-05 Ateliers Busch S.A. Scroll vacuum pump
JP2000145669A (ja) * 1998-11-05 2000-05-26 Toyota Autom Loom Works Ltd スクロール型圧縮機における旋回スクロールの回転バランス機構
JP2001123973A (ja) * 1999-10-22 2001-05-08 Tokico Ltd スクロール式流体機械
US6336797B1 (en) * 2000-06-01 2002-01-08 Westinghouse Air Brake Technologies Corp. Oiless rotary scroll air compressor air inlet valve
JP4531952B2 (ja) 2000-08-28 2010-08-25 株式会社日立製作所 スクロール式流体機械
US6579076B2 (en) * 2001-01-23 2003-06-17 Bristol Compressors, Inc. Shaft load balancing system
US6499967B2 (en) * 2001-05-04 2002-12-31 Tecumseh Products Company Shaft axial compliance mechanism
US7717684B2 (en) * 2003-08-21 2010-05-18 Ebara Corporation Turbo vacuum pump and semiconductor manufacturing apparatus having the same

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US7244113B2 (en) 2007-07-17

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