JP2008516146A - 軸方向の熱膨張が制御されたスクロールポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ポンプフレームと、固定スクロールブレードを含み前記ポンプフレームに固定された固定スクロール要素と、前記固定スクロールブレードとかみ合う旋回スクロールブレードを含む旋回スクロール要素と、前記ポンプフレームに固定されたモータと、前記モータを作動させたとき、前記固定スクロールブレードに対する前記旋回スクロールブレードの旋回運動を起こすように前記モータと前記旋回スクロール要素との間に連結されたクランク軸と、を含む真空ポンプ装置。前記クランク軸は、第1の熱膨張係数を有する第1構成要素及び第2の熱膨張係数を有する第2構成要素を含む。
【選択図】図1
Description
よって、改良型スクロール型ポンプ装置及び方法が必要とされる。
本発明の第2の局面によると、真空ポンプ装置が提供される。この真空ポンプ装置は、ポンプフレームと、固定スクロールブレードを含み、ポンプフレームに固定された固定スクロール要素と、固定スクロールブレードとかみ合う旋回スクロールブレードを含む旋回スクロール要素と、ポンプフレームに固定されたモータと、モータを作動させたとき、固定スクロールブレードに対する旋回スクロールブレードの旋回運動を起こすようにモータと旋回スクロール要素との間に結合されたクランク軸と、を具備する。クランク軸は、第1の熱膨張係数を有する第1構成要素、及び第2の熱膨張係数を有する第2構成要素を具備する。
本発明の実施形態のスクロールポンプを図1に示す。気体(一般的に空気)は、ポンプの吸気口12に接続されている真空室又は他の機器(図示せず)から排出される。ポンプハウジング14は、フレーム18に固定された固定スクロールプレート16を含む。ポンプは、ポンプ圧送される気体を排出する排気口20を更に含む。
軸方向への膨張が制御されたクランク軸を用いることで、固定スクロールブレードと旋回スクロールブレードとの間の軸方向ギャップを正確に制御できる。このことは、熱的中立なスクロールポンプの設計に貢献し得る。すなわち軸方向ギャップに関し、固体チップシールの使用を可能にし、バネ式で作動するシールの必要性をなくす。軸方向への膨張が制御されたクランク軸を用いることで、全体的な設計に著しい変更無しに固定スクロール要素と旋回スクロール要素との間の軸方向ギャップを正確に制御できる。クランク軸の2つの構成要素の長さは、全体的な設計又は材料の変更無しに軸方向位置を正確に制御するため調節され得る。二構成要素の設計を用いることで、場合によっては高価な材料をより経済的に用いることを可能にする。低熱膨張係数の材料の多くは高価である。二構成要素の設計は、より高価な材料を必要最低限量用いることを可能にする。
Claims (18)
- 吸気口及び排気口を有するスクロールセットであって、このスクロールセットは、固定スクロールブレードを含む固定スクロール要素、及び旋回スクロールブレードを含む旋回スクロール要素を具備し、前記固定スクロールブレードと前記旋回スクロールブレードとがブレード間のポケットを画定するように相互にかみ合わされているスクロールセットと、
モータと、
前記モータと前記旋回スクロール要素との間に動作可能なように連結され、前記モータを作動させたとき、前記固定スクロールブレードに対する前記旋回スクロールブレードの旋回運動を起こすクランク軸であって、このクランク軸は、第1の材料から成る第1構成要素を具備し、この第1構成要素は、第2の材料から成る第2構成要素に堅く接合されており、前記第1の材料と前記第2の材料とは、異なる熱膨張係数を有するクランク軸とを具備する真空ポンプ装置。 - 前記第1の材料及び前記第2の材料が金属であることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ装置。
- 前記第1の材料は鋼を含み、前記第2の材料は低い熱膨張係数を有する鉄−ニッケル合金を含むことを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ装置。
- 前記第1構成要素が前記第2構成要素に摩擦溶接されていることを特徴とする請求項2に記載の真空ポンプ装置。
- 前記第1構成要素が前記第2構成要素に機械的に固定されていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ装置。
- 前記第1構成要素が前記第2構成要素に対してスエージされていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ装置。
- 前記第1構成要素が前記第2構成要素に螺合されていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ装置。
- ポンプフレームを更に具備し、前記モータ及び前記固定スクロール要素が前記ポンプフレームに固定されていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ装置。
- 前記クランク軸が、その一端で前記ポンプフレームに回転自在に固定されていることを特徴とする請求項8に記載の真空ポンプ装置。
- 所望の軸方向の熱膨張を提供できるように、前記クランク軸の前記第1構成要素及び前記第2構成要素の寸法及び材料が選択されていることを特徴とする請求項1に記載の真空ポンプ装置。
- ポンプフレームと、
固定スクロールブレードを含み、前記ポンプフレームに固定された固定スクロール要素と、
前記固定スクロールブレードとかみ合う旋回スクロールブレードを含む旋回スクロール要素と、
前記ポンプフレームに固定されたモータと、
前記モータと前記旋回スクロール要素との間に結合され、前記モータを作動させたとき、前記固定スクロールブレードに対する前記旋回スクロールブレードの旋回運動を起こすクランク軸であって、このクランク軸は、第1の熱膨張係数を有する第1構成要素、及び第2の熱膨張係数を有する第2構成要素を具備するクランク軸と、を具備する真空ポンプ装置。 - 前記第1構成要素が鋼を含み、前記第2構成要素が低い熱膨張係数を有する鉄‐ニッケル合金を含むことを特徴とする請求項11に記載の真空ポンプ装置。
- 前記第1構成要素及び前記第2構成要素が金属から作られていることを特徴とする請求項11に記載の真空ポンプ装置。
- 前記第1構成要素が前記第2構成要素に摩擦溶接されていることを特徴とする請求項11に記載の真空ポンプ装置。
- 前記第1構成要素が前記第2構成要素に機械的に固定されていることを特徴とする請求項11に記載の真空ポンプ装置。
- 第1のスクロール要素及び第2のスクロール要素を具備するタイプの真空ポンプ装置の動作方法であって、
モータ及び偏心クランク軸により、前記第1のスクロール要素に対する前記第2のスクロール要素の旋回運動を起こすことを含み、前記偏心クランク軸は、第1の熱膨張係数を有する第1構成要素を具備し、この第1構成要素は、第2の熱膨張係数を有する第2構成要素に堅く接合されていることを特徴とする真空ポンプ装置の動作方法。 - 前記第1構成要素が鋼を含み、前記第2構成要素が低い熱膨張係数を有する鉄‐ニッケル合金を含むことを特徴とする請求項16に記載の真空ポンプ装置の動作方法。
- 所望の軸方向の熱膨張を提供できるように、前記クランク軸の前記第1構成要素及び前記第2構成要素の寸法及び材料を選択することを更に含むことを特徴とする請求項16に記載の真空ポンプ装置の動作方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011085132A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-28 | Varian Inc | 分離障壁を有するスクロール・ポンプ |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8047765B2 (en) * | 2008-08-29 | 2011-11-01 | General Electric Company | Device, system and method for thermally activated displacement |
DE102010020356A1 (de) * | 2010-05-12 | 2011-11-17 | Audi Ag | Schmiermittelpumpe, Regelkolben |
US9328730B2 (en) * | 2013-04-05 | 2016-05-03 | Agilent Technologies, Inc. | Angular synchronization of stationary and orbiting plate scroll blades in a scroll pump using a metallic bellows |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6180380U (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-28 | ||
JPS61197784A (ja) * | 1985-02-25 | 1986-09-02 | Hitachi Ltd | スクロ−ル形流体機械 |
JP2000145669A (ja) * | 1998-11-05 | 2000-05-26 | Toyota Autom Loom Works Ltd | スクロール型圧縮機における旋回スクロールの回転バランス機構 |
JP2001123973A (ja) * | 1999-10-22 | 2001-05-08 | Tokico Ltd | スクロール式流体機械 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB987681A (en) | 1960-08-02 | 1965-03-31 | Plessey Co Ltd | Improvements in or relating to rotary-displacement machines |
US3801226A (en) * | 1970-08-28 | 1974-04-02 | Goulds Pumps | Pump impeller |
US4490099A (en) | 1980-10-03 | 1984-12-25 | Sanden Corporation | Scroll type fluid displacement apparatus with thickened center wrap portions |
US4382754A (en) | 1980-11-20 | 1983-05-10 | Ingersoll-Rand Company | Scroll-type, positive fluid displacement apparatus with diverse clearances between scroll elements |
EP0168138B1 (en) * | 1984-05-14 | 1989-03-15 | Prescant Pty. Limited | Water ring vacuum pump |
JPH0733828B2 (ja) | 1986-12-29 | 1995-04-12 | 株式会社日立製作所 | スクロール形真空ポンプ |
JPH07217553A (ja) | 1994-01-27 | 1995-08-15 | Sanyo Electric Co Ltd | スクロール型無給油式流体機械 |
JP3158938B2 (ja) | 1995-03-20 | 2001-04-23 | 株式会社日立製作所 | スクロール流体機械及びこれを用いた圧縮気体製造装置 |
US5616015A (en) | 1995-06-07 | 1997-04-01 | Varian Associates, Inc. | High displacement rate, scroll-type, fluid handling apparatus |
DE19528071A1 (de) * | 1995-07-31 | 1997-02-06 | Knorr Bremse Systeme | Spiralverdichter |
US6290477B1 (en) * | 1997-09-16 | 2001-09-18 | Ateliers Busch Sa | Scroll vacuum pump |
US6336797B1 (en) * | 2000-06-01 | 2002-01-08 | Westinghouse Air Brake Technologies Corp. | Oiless rotary scroll air compressor air inlet valve |
JP4531952B2 (ja) | 2000-08-28 | 2010-08-25 | 株式会社日立製作所 | スクロール式流体機械 |
US6579076B2 (en) * | 2001-01-23 | 2003-06-17 | Bristol Compressors, Inc. | Shaft load balancing system |
US6499967B2 (en) * | 2001-05-04 | 2002-12-31 | Tecumseh Products Company | Shaft axial compliance mechanism |
US7717684B2 (en) * | 2003-08-21 | 2010-05-18 | Ebara Corporation | Turbo vacuum pump and semiconductor manufacturing apparatus having the same |
-
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6180380U (ja) * | 1984-10-31 | 1986-05-28 | ||
JPS61197784A (ja) * | 1985-02-25 | 1986-09-02 | Hitachi Ltd | スクロ−ル形流体機械 |
JP2000145669A (ja) * | 1998-11-05 | 2000-05-26 | Toyota Autom Loom Works Ltd | スクロール型圧縮機における旋回スクロールの回転バランス機構 |
JP2001123973A (ja) * | 1999-10-22 | 2001-05-08 | Tokico Ltd | スクロール式流体機械 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011085132A (ja) * | 2009-09-25 | 2011-04-28 | Varian Inc | 分離障壁を有するスクロール・ポンプ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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US7244113B2 (en) | 2007-07-17 |
WO2006041806A1 (en) | 2006-04-20 |
US20060078450A1 (en) | 2006-04-13 |
DE05809888T1 (de) | 2007-11-08 |
CN100447421C (zh) | 2008-12-31 |
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