CZ2020362A3 - Způsob zpracování obráběného kusu - Google Patents

Způsob zpracování obráběného kusu Download PDF

Info

Publication number
CZ2020362A3
CZ2020362A3 CZ2020362A CZ2020362A CZ2020362A3 CZ 2020362 A3 CZ2020362 A3 CZ 2020362A3 CZ 2020362 A CZ2020362 A CZ 2020362A CZ 2020362 A CZ2020362 A CZ 2020362A CZ 2020362 A3 CZ2020362 A3 CZ 2020362A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
grinding
workpiece
thickness
servomotor
clamping table
Prior art date
Application number
CZ2020362A
Other languages
English (en)
Inventor
Souichi Matsubara
Tetsuo Kubo
Original Assignee
Disco Corporation
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Disco Corporation filed Critical Disco Corporation
Publication of CZ2020362A3 publication Critical patent/CZ2020362A3/cs

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/20—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground
    • B24B7/22—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain
    • B24B7/228—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor characterised by a special design with respect to properties of the material of non-metallic articles to be ground for grinding inorganic material, e.g. stone, ceramics, porcelain for grinding thin, brittle parts, e.g. semiconductors, wafers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00—Other grinding machines or devices
    • B24B27/0076—Other grinding machines or devices grinding machines comprising two or more grinding tools
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/005—Control means for lapping machines or devices
    • B24B37/013—Devices or means for detecting lapping completion
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/04—Lapping machines or devices; Accessories designed for working plane surfaces
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/005—Feeding or manipulating devices specially adapted to grinding machines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00—Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/22—Equipment for exact control of the position of the grinding tool or work at the start of the grinding operation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/02—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation according to the instantaneous size and required size of the workpiece acted upon, the measuring or gauging being continuous or intermittent
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B51/00—Arrangements for automatic control of a series of individual steps in grinding a workpiece
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B7/00—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor
    • B24B7/04—Machines or devices designed for grinding plane surfaces on work, including polishing plane glass surfaces; Accessories therefor involving a rotary work-table
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
    • H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
    • H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
    • H01L21/302—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to change their surface-physical characteristics or shape, e.g. etching, polishing, cutting
    • H01L21/304—Mechanical treatment, e.g. grinding, polishing, cutting
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/02—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation according to the instantaneous size and required size of the workpiece acted upon, the measuring or gauging being continuous or intermittent
    • B24B49/04—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation according to the instantaneous size and required size of the workpiece acted upon, the measuring or gauging being continuous or intermittent involving measurement of the workpiece at the place of grinding during grinding operation
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • B24B49/10—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation involving electrical means
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B11/06—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness ; e.g. of sheet material
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
    • G01B2210/40—Caliper-like sensors
    • G01B2210/42—Caliper-like sensors with one or more detectors on a single side of the object to be measured and with a backing surface of support or reference on the other side
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B2210/00—Aspects not specifically covered by any group under G01B, e.g. of wheel alignment, caliper-like sensors
    • G01B2210/40—Caliper-like sensors
    • G01B2210/48—Caliper-like sensors for measurement of a wafer
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B5/00—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques
    • G01B5/02—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring length, width or thickness
    • G01B5/06—Measuring arrangements characterised by the use of mechanical techniques for measuring length, width or thickness for measuring thickness

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
  • Mechanical Treatment Of Semiconductor (AREA)
  • Grinding Of Cylindrical And Plane Surfaces (AREA)

Abstract

Způsob broušení obráběného kusu se provádí brusným zařízením zahrnujícím hřídel pro otáčení brusného kotouče, servomotor pro pohyb této hřídele a servomotorický ovladač pro odesílání signálů do tohoto servomotoru. Tento způsob zahrnuje krok vydání příkazu ohledně hloubky brusu spočívající ve vydání příkazu reprezentujícího plánovanou hloubku brusu servomotorickému ovladači a krok broušení spočívající v broušení obráběného kusu. V tomto kroku broušení servomotorický ovladač ukončí pohyb hřídele, když se tato hřídel posunula o cílovou vzdálenost, která odpovídá plánované hloubce brusu.

Description

Způsob zpracování obráběného kusu
Oblast techniky
Předložený vynález se týká způsobu zpracování obráběného kusu, jako je třeba polovodičový wafer, a sice prostřednictvím broušení tohoto obráběného kusu za účelem jeho ztenčení.
Dosavadní stav techniky
Cípy zařízení pro použití v elektronických zařízeních a přístrojích jsou například vytvořeny rozdělením kruhových polovodičových waferů. Konkrétně je to tak, že na čelní straně polovodičového waferu je ustaveno množství vzájemně se protínajících naplánovaných dělicích linií za účelem vymezení oblastí na této čelní straně, kde jsou vytvořena taková zařízení, jako jsou třeba integrované obvody (IC). Pak je tento polovodičový wafer rozdělen podle těchto naplánovaných dělicích linií na individuální přístrojové čipy. V nedávných letech zde byla významná tendence vyrábět menší elektronická zařízení a přístroje, a sice s výslednými rostoucími požadavky na menší a tenčí přístrojové čipy pro použití v takovýchto menších elektronických zařízeních a přístrojích. Pro výrobu tenčích přístrojových čipů jsou tím pádem polovodičové wafery, určené k rozdělení na přístrojové čipy, ztenčeny na předem určenou tloušťku prostřednictvím broušení.
Brusné zařízení zahrnuje upínací stůl pro přidržení obráběného kusu a brusnou jednotku, která je umístěna nad tímto upínacím stolem. Tato brusná jednotka zahrnuje hřídel táhnoucí se obecně vzato ve svislém směru, hřídelový motor připojený k hornímu konci této hřídele a brusný kotouč připojený k dolnímu konci této hřídele. Tento brusný kotouč zahrnuje na svém dolním povrchu množství brusných kamenů uspořádaných v anulámím seskupení, které jsou orientovány čelem k hornímu povrchu upínacího stolu. Toto brusné zařízení zahrnuje brusnou podávači jednotku, která má servomotor pro relativní pohybování této hřídele a upínacího stolu směrem k sobě a od sebe navzájem a servomotorický ovladač pro odesílání signálů do servomotoru.
Za účelem broušení obráběného kusu na tomto brusném zařízení je daný obráběný kus fixně umístěn na upínací stůl, přičemž tento upínací stůl se otáčí okolo své centrální osy podle směrů, které jsou kolmé k hornímu povrchu upínacího stolu, a tento brusný kotouč se rovněž otáčí okolo své centrální osy podle směrů, které jsou kolmé k jeho dolnímu povrchu. Pak se hřídel a upínací stůl posunou relativně vůči sobě navzájem. Brusné kameny na brusném kotouči, jak se pohybují podle anulámí dráhy, jsou přivedeny do kontaktu s obráběným kusem, přičemž brousí tento obráběný kus (viz například patentový dokument JP 2003209080 A). Toto brusné zařízení dále zahrnuje měřicí jednotku sloužící pro měření tloušťky obráběného kusu, který je broušen, přičemž tato měřicí jednotka je umístěna v blízkosti upínacího stolu. Za účelem broušení obráběného kusu řídící jednotka brusného zařízení vydá příkaz servomotorickému ovladači, aby začal pohybovat hřídelí a upínacím stolem relativně vůči sobě navzájem, a řídí brusnou jednotku, aby brousila obráběný kus, zatímco měřicí jednotka monitoruje tloušťku obráběného kusu. Když obráběný kus, který je broušen, dosáhne předem určené cílové tloušťky, řídící jednotka vydá příkaz servomotorickému ovladači, aby ukončil relativní pohyb hřídele a upínacího stolu.
Podstata vynálezu
Tato řídící jednotka brusného zařízení řídí provoz všech jednotek a měřících přístrojů brusného zařízení a konstantně zpracovává různé střípky informací. V důsledku toho, poté, co brusná jednotka začala brousit obráběný kus, může u řídící jednotky dojít k selhání, a to například kvůli nadměrné zátěži při zpracování dat. Tato řídící jednotka ve stavu selhání není schopna vydat příkaz
-1 CZ 2020 - 362 A3 servomotorickému ovladači pro ukončení relativního pohybu hřídele a upínacího stolu, když je obráběný kus ztenčen na předem určenou cílovou tloušťku. Jestliže tento relativní pohyb hřídele a upínacího stolu není ukončen ve chvíli, kdy by měl být ukončen, pak nejenže může být obráběný kus ztenčen za hranici cílové tloušťky, ale může být rovněž rozbroušen, což umožní, aby brusné kameny narazily do upínacího stolu a případně způsobily vážné poškození brusného zařízení.
Tím pádem je cílem předloženého vynálezu poskytnout způsob zpracování obráběného kusu na brusném zařízení, který by zabránil tomu, aby byl obráběný kus nadměrně zpracován, to jest zbroušen, a který by zabránil poškození brusného zařízení dokonce i v případě selhání řídící jednotky brusného zařízení v době, kdy je obráběný kus broušen.
V souladu s jedním aspektem předloženého vynálezu je zde poskytnut způsob zpracování obráběného kusu broušením tohoto obráběného kusu na brusném zařízení, které zahrnuje upínací stůl mající přídržný povrch pro přidržení obráběného kusu na tomto povrchu, přičemž tento upínací stůl se může otáčet okolo osy, který je příčná vůči tomuto přídržnému povrchu, hřídel pro obvodové otáčení brusného kotouče ve tvaru disku, který je na ní namontován, a který zahrnuje brusné kameny, brusnou podávači jednotku mající servomotor pro relativní pohyb upínacího stolu a hřídele směrem k sobě a od sebe navzájem, servomotorický ovladač pro odesílání signálů do servomotoru brusné podávači jednotky, a řídící jednotku pro řízení tohoto servomotorického ovladače. Tento způsob zahrnuje přidržovací krok spočívající v přidržení obráběného kusu na přídržném povrchu upínacího stolu, krok vydání příkazu ohledně hloubky brusu spočívající ve vypočtení plánované hloubky brusu za pomoci odečtení cílové tloušťky zanesené v předstihu v řídící jednotce pro daný obráběný kus od tloušťky daného obráběného kusu a vydání příkazu reprezentujícího vypočtenou plánovanou hloubku brusu od řídící jednotky do servomotorického ovladače brusné podávači jednotky, a krok broušení spočívající v relativním pohybu upínacího stolu a hřídele směrem k sobě navzájem s pomocí servomotoru brusné podávači jednotky, zatímco se upínací stůl a brusný kotouč otáčejí okolo svých příslušných os, čímž pádem dochází k broušení obráběného kusu přidržovaného na upínacím stole, a sice s pomocí brusných kamenů. V kroku broušení je relativní pohyb upínacího stolu a hřídele ukončen prostřednictvím servomotorického ovladače, když se upínací stůl a hřídel relativně posunuly o cílovou vzdálenost, která odpovídá naplánované hloubce brusu.
Toto brusné zařízení s výhodou dále zahrnuje jednotku měřící tloušťku sloužící pro měření tloušťky obráběného kusu přidržovaného na přídržném povrchu upínacího stolu. Krok vydání příkazu ohledně hloubky brusu zahrnuje opakované měření tloušťky obráběného kusu s pomocí jednotky měřící tloušťku, dokud tato tloušťka obráběného kusu nedosáhne cílové tloušťky, aktualizaci plánované hloubky brusu s pomocí hodnoty vypočtené odečtením cílové tloušťky od naměřené tloušťky obráběného kusu, a opakované vydání příkazu reprezentujícího aktualizovanou plánovanou hloubku brusu od řídící jednotky do servomotorického ovladače brusné podávači jednotky. Krok broušení zahrnuje aktualizaci cílové vzdálenosti na základě aktualizované plánované hloubky brusu prostřednictvím servomotorického ovladače, a to pokaždé, kdy je tomuto servomotorickému ovladači od řídící jednotky dodán příkaz reprezentující aktualizovanou plánovanou hloubku brusu, dokud se upínací stůl a hřídel neposunou relativně vůči sobě o cílovou vzdálenost.
U způsobu zpracování obráběného kusu v souladu s jedním aspektem předloženého vynálezu řídící jednotka nevydává příkaz pro zahájení a zastavení provozu směrem k servomotorickému ovladači. Když má být obráběný kus broušen, řídící jednotka vypočte plánovanou hloubku brusu odečtením cílové tloušťky pro daný obráběný kus od tloušťky obráběného kusu a vydá směrem k servomotorickému ovladači příkaz reprezentující plánovanou hloubku brusu. Tento servomotorický ovladač ukončí relativní pohyb upínacího stolu a hřídele, když se upínací stůl a hřídel posunuly o cílovou vzdálenost, která odpovídá plánované hloubce brusu. V tomto případě platí, že i když řídící jednotka selže v době, kdy je obráběný kus broušen, servomotorický ovladač dál dodržuje příkaz reprezentující plánovanou hloubku brusu, která zde dosud zbývá. Servomotorický ovladač ukončí relativní pohyb upínacího stolu a hřídele, když posunul upínací
- 2 CZ 2020 - 362 A3 stůl a hřídel o cílovou vzdálenost, která odpovídá plánované hloubce brusu. Tím pádem platí, dokonce i v případě selhání řídící jednotky v době, kdy je obráběný kus broušen, že je zabráněno tomu, aby byl obráběný kus nadměrně zbroušen a je zabráněno poškození brusného zařízení.
Tím pádem platí, u tohoto způsobu zpracování obráběného kusu podle předloženého vynálezu, že i když u řídící jednotky brusného zařízení dojde k selhání v době, kdy je obráběný kus broušen, nebude tento obráběný kus pravděpodobně nadměrně zbroušen a na brusném zařízení nebude způsobena žádná škoda.
Výše uvedené a další cíle, znaky a výhody předloženého vynálezu a způsob jejich realizace se stanou jasnějšími, a samotný vynález bude nejlépe pochopen, na základě studia následujícího popisu a přiložených nároků s odkazem na připojené výkresy ukazující výhodné provedení tohoto vynálezu.
Objasnění výkresů
Vynález bude blíže vysvětlen prostřednictvím konkrétních příkladů provedení znázorněných na výkresech, na kterých
OBR. 1 představuje schematický perspektivní pohled na brusné zařízení použité ve způsobu zpracování obráběného kusu v souladu s jedním provedením předloženého vynálezu;
OBR. 2 představuje schematický perspektivní pohled ilustrující krok vydání příkazu ohledně hloubky brusu a krok broušení v rámci způsobu zpracování obráběného kusu podle tohoto provedení;
OBR. 3 představuje schematický průřezový pohled ilustrující krok vydání příkazu ohledně hloubky brusu a krok broušení v rámci tohoto způsobu;
OBR. 4A představuje vývojový diagram posloupnosti kroků způsobu zpracování obráběného kusu podle tohoto provedení;
OBR. 4B představuje vývojový diagram posloupnosti kroků v rámci kroku vydání příkazu ohledně hloubky brusu u způsobu zpracování obráběného kusu podle tohoto provedení; a
OBR. 4C představuje vývojový diagram posloupnosti kroků v rámci kroku broušení u způsobu zpracování obráběného kusu podle tohoto provedení.
Příklady uskutečnění vynálezu
Způsob zpracování obráběného kusu podle provedení předloženého vynálezu bude popsán níže s odkazem na výkresy. U tohoto způsobu zpracování obráběného kusu podle tohoto provedení je obráběný kus, jako je třeba polovodičový wafer, který je v podstatě ve tvaru kruhové destičky, ztenčen na předem určenou tloušťku prostřednictvím broušení. Nejprve bude níže popsán obráběný kus. OBR. 1 schematicky ilustruje v perspektivě obráběný kus, označený číslem L Tento obráběný kus 1 představuje wafer vyrobený z křemíku (Si), karbidu křemíku (SiC), nitridu galného (GaN), arzenidu galného (GaAs) nebo z jakéhokoli jiného polovodičového materiálu. Alternativně může být obráběným kusem ]_ substrát, který je v podstatě ve tvaru kruhové destičky vyrobené ze safíru, ze skla, z křemene nebo z podobného materiálu. Tímto sklem může být alkalické sklo, nealkalické sklo, sodnovápenaté sklo, olovnaté sklo, borokřemičité sklo, křemenné sklo nebo podobně. Obráběný kus 1 má na své čelní straně la vytvořeno množství zařízení, jako j sou třeba integrované obvody IC nebo obvody velké integrace (LSI). Když je obráběný kus 1 rozříznut podle plánovaných dělicích linií mezi zařízeními, je tento obráběný kus 1 rozdělen na jednotlivé
-3CZ 2020 - 362 A3 přístrojové čipy zahrnující příslušná zařízení. Jestliže je obráběný kus 1 ztenčen tak, že je broušen před tím, než je tento obráběný kus 1 rozdělen, pak jsou tenké přístrojové čipy vytvořeny z tohoto obráběného kusu 1 následným rozdělením tohoto obráběného kusu L Celní strana la obráběného kusu 1, který má být broušen, může být i bez zařízení.
Tento způsob zpracování obráběného kusu podle tohoto provedení je uskutečněn prostřednictvím brusného zařízení zahrnujícího brusnou jednotku. Toto brusné zařízení, označené na OBR. 1 číslem 2, bude níže popsáno s odkazem na OBR. 1. OBR. 1 schematicky ilustruje v perspektivě brusné zařízení 2. Toto brusné zařízení 2 brousí rubovou stranu 1b obráběného kusu 1, která je ve směru nahoru obnažena. V případě, že jsou na čelní straně la obráběného kusu 1 vytvořena zařízení, je k čelní straně la obráběného kusu 1 připojen ochranný člen 3 ve tvaru pásky, a sice za účelem ochrany této čelní strany fa. Třebaže bude níže popsán obráběný kus 1 s tímto ochranným členem 3 připojeným na rubovou stranu 1b, a sice ve smyslu příkladu, předložený vynález není omezen na tento ilustrovaný obráběný kus L Tento ochranný člen 3 zahrnuje základní vrstvu a lepicí vrstvu, která je vytvořena na této základní vrstvě. Za účelem broušení rubové strany 1b obráběného kusu 1 je čelní strana la obráběného kusu 1 podporována na upínacím stole 8, jak bude popsáno později. Jestliže jsou čelní strana la a přídržný povrch 8a upínacího stolu 8 drženy ve vzájemném přímém kontaktu, pak mohou být zařízení na čelní straně la případně poškozena, když je tento obráběný kus 1 broušen. Z toho důvodu je k čelní straně la obráběného kusu 1 připojen ochranný člen 3.
Obráběný kus 1 je uložen v kazetě 28a, která je schopna sloužit pro uložení množství obráběných kusů 1, například, a je přenesen a zaveden do brusného zařízení 2. Toto brusné zařízení 2_zahmuje základnu 4, která na sobě podporuje své komponenty. K přednímu konci této základny 4 jsou připevněny opěrné desky 26a a 26b kazety. Kazeta 28a, v níž jsou uloženy obráběné kusy 1, které jsou určeny k broušení, je umístěna na opěrné desce 26a kazety, zatímco kazeta 28b. v níž jsou uloženy zbroušené obráběné kusy 1, je umístěna na opěrné desce 26b kazety. Na základně 4 je v pozici v blízkosti opěrných desek 26a a 26b kazety instalován transportní robot 30. Tento transportní robot 30 vyloží obráběný kus 1, který je určen k broušení, z kazety 28a na opěrnou desku 26a kazety a transportuje tento vyložený obráběný kus 1 na polohovací stůl 32 na základně 4 v pozici, která je blízko u transportního robotu 30.
Tento polohovací stůl 32 má množství polohovacích čepů, které jsou uspořádány v anulámím seskupení. Když je obráběný kus 1 umístěn na centrální opěrnou plochu polohovacího stolu 32, polohovací čepy jsou posunuty unisono radiálně směrem dovnitř, aby se zapojily a polohovaly obráběný kus 1 do předem určené pozice na polohovacím stole 32. V pozici na horním povrchu základny 4 jsou v blízkosti polohovacího stolu 32 rozmístěny nakládací rameno 34 a vykládací rameno 36. Obráběný kus 1 umístěný v předem určené pozici na polohovacím stole 32 s pomocí polohovacích čepů polohovacího stolu 32 je transportován s pomocí nakládacího ramena 34.
Na centrálním horním povrchu základny 4 je umístěna talířová točna 6, která má podobu kruhové destičky a může se otáčet ve vodorovné rovině. Tato talířová točna 6 podporuje na svém horním povrchu tři upínací stoly 8, které jsou od sebe navzájem v obvodovém směru odděleny úhlovými mezerami o velikosti například 120 stupňů. Když se talířová točna 6 otáčí okolo své centrální osy, upínací stoly 8 se úhlově posunují okolo centrální osy talířové točny 6.
Každý z upínacích stolů 8 má sací kanálek, který zde není ilustrován, a který je zde definován tak, že má jeden konec připojený k sacímu zdroji, který zde není ilustrován, a druhý konec připojený k přídržnému povrchu 8a upínacího stolu 8. OBR. 3 schematicky ilustruje upínací stůl 8 v průřezu. Přídržný povrch 8a je například poskytnut jakožto horní povrch porézního členu 8b. Když je nějaký objekt, jako je třeba obráběný kus 1, umístěn na tento přídržný povrch 8a, sací zdroj je aktivován, aby vytvářel podtlak, který působí přes sací kanálek a porézní člen 8b na obráběný kus 1, přičemž přidržuje tento obráběný kus 1 pod vlivem sání na přídržném povrchu 8a. Upínací stůl 8 je fixně namontován na stolní podpoře 8d umístěné na horním povrchu talířové točny 6. Tato stolní podpora 8d má dolní povrch připojený prostřednictvím hřídele ke stolnímu rotačnímu motoru 8e, který je fixně namontován na talířové točně 6. Když je tento stolní rotační motor 8e pod proudem, upínací
-4CZ 2020 - 362 A3 stůl 8 fixovaný ke stolní podpoře 8d se otáčí okolo stolní rotační osy 8c, která protíná přídržný povrch 8a.
Obráběné kusy 1 mohou být naloženy na a vyloženy z upínacího stolu 8 v nakládací/vykládací oblasti 6a nad talířovou točnou 6, jak je ilustrováno na OBR. 1. V této nakládací/vykládací oblasti 6a může nakládací rameno 34 naložit obráběný kus 1 najeden z upínacích stolů 8 a vykládací rameno 36 může vyložit obráběný kus 1 z jednoho z upínacích stolů 8. Za účelem broušení obráběného kusu 1 na brusném zařízení 2 je obráběný kus 1 naložen na upínací stůl 8 umístěný v nakládací/vykládací oblasti 6a za pomoci nakládacího ramena 34 a poté se talířová točna 6 otočí, aby posunula upínací stůl 8 s obráběným kusem který je na něm naložen, do další oblasti 6b pro hrubé broušení.
Toto brusné zařízení 2 zahrnuje první brusnou jednotku 10a namontovanou na zadním horním povrchu základny 4 mimo talířovou točnu 6. Tato první brusná jednotka 10a provádí hrubé broušení na rubové straně 1b obráběného kusu 1 přidržovaného na upínacím stole 8 umístěném v oblasti 6b pro hrubé broušení. Poté, co byl obráběný kus 1 na upínacím stole 8 v oblasti 6b pro hrubé broušení hrubě zbroušen, se talířová točna 6 otočí, aby posunula upínací stůl 8 z oblasti 6b pro hrubé broušení do oblasti 6c pro jemné broušení, která jev blízkosti oblasti 6b pro hrubé broušení. Toto brusné zařízení 2 zahrnuje druhou brusnou jednotku 10b namontovanou na dalším zadním horním povrchu základny 4 mimo talířovou točnu 6, Tato druhá brusná jednotka 10b provádí jemné broušení na rubové straně 1b obráběného kusu 1 přidržovaného na upínacím stole 8, který je umístěn v oblasti 6c pro jemné broušení. Poté, co byl obráběný kus 1 na upínacím stole 8 v oblasti 6c pro jemné broušení jemně zbroušen, se talířová točna 6 otočí, aby posunula upínací stůl 8 z oblasti 6c pro jemné broušení zpět do nakládací/vykládací oblasti 6a, která je v blízkosti oblasti 6c pro jemné broušení. Obráběný kus 1, který byl hrubě a jemně zbroušen, je vyložen z upínacího stolu 8 za pomoci vykládacího ramena 36.
V blízkosti vykládacího ramena 36 a transportního robotu 30 je na horním povrchu základny 4 umístěno rotační čisticí zařízení 38 pro čištění a sušení zbroušeného obráběného kusu L Tento obráběný kus 1, který byl vyčištěn a vysušen za pomoci tohoto rotačního čisticího zařízení 38, je transportován z tohoto rotačního čisticího zařízení 38 s pomocí transportního robotu 30 a je uložen do kazety 28b na opěrné desce kazety 26b.
Toto brusné zařízení 2 bude níže popsáno podrobněji s odkazem na OBR. 1 a 3. V zadní části základny 4 se tyčí sloupek 22a. Tento sloupek 22a podporuje na svém předním čele brusnou podávači jednotku 24a. která podporuje první brusnou jednotku 10a pro pohyb ve svislém směru. Tato brusná podávači jednotka 24a zahrnuje hřídel 50 táhnoucí se ve svislém směru, servomotor 48 připojený k hornímu konci této hřídele 50 a servomotorický ovladač 46, který je elektricky připojen k servomotoru 48. Tento servomotorický ovladač 46 odesílá signály do servomotoru 48 za účelem řízení tohoto servomotoru 48. Tímto servomotorickým ovladačem 46 je osobní počítač (PC) nebo mikropočítač zahrnující centrální procesorovou jednotku (CPU), hlavní paměť a úložné zařízení, atd. Toto úložné zařízení slouží pro uložení softwaru, jako jsou třeba programy pro realizaci funkcí servomotorického ovladače 46. Když CPU operuje podle softwaru uloženého v úložném zařízení, pak servomotorický ovladač 46 slouží jako specifické prostředky dosažené prostřednictvím spolupráce mezi softwarovými a hardwarovými zdroji. Alternativně může servomotorický ovladač 46 zahrnovat množství modulů, které integrálně realizují své funkce.
Hřídel 50 má podobu tyče, opatřené zvnějšku závitem, která je zašroubovaná skrze matici 52 namontovanou na zadním povrchu svisle pohyblivé destičky 54. Když servomotorický ovladač 46 vydá příkaz servomotoru 48, aby dodal energii servomotoru 48, hřídel 50 se otáčí okolo své vlastní centrální osy, což způsobí, že matice 52 pohybuje touto svisle pohyblivou destičkou 54 ve svislém směru. První brusná jednotka IQaje fixně namontována na předním povrchu této svisle pohyblivé destičky 54. První brusná jednotka 10a zahrnuje hřídel 14a, která se táhne ve svislém směru a hřídelový motor 12a, který je připojen k hornímu konci této hřídele 14a. Kotoučový montážní držák 16a. který má podobu kruhové destičky, je umístěn na dolním konci hřídele 14a. Tento kotoučový
-5CZ 2020 - 362 A3 montážní držák 16a má dolní povrch, na němž je namontován brusný kotouč 18a ve tvaru disku. Na dolním povrchu tohoto brusného kotouče 18a je upevněno množství brusných kamenů 20a. které jsou uspořádány v anulámím seskupení. Když je hřídelový motor 12a pod proudem, otáčí brusným kotoučem 18a v obvodovém směru okolo kotoučové rotační osy 12c, která je kolmá k dolnímu povrchu brusného kotouče 18a.
Za účelem broušení obráběného kusu 1 na upínacím stole 8 v oblasti 6b pro hrubé broušení se brusný kotouč 18a otáčí okolo kotoučové rotační osy 12c. aby posunoval brusné kameny 20a podle anulámí dráhy, a upínací stůl 8 se otáčí okolo stolní rotační osy 8c. Pak je aktivována brusná podávači jednotka 24a za účelem spuštění první brusné jednotky 10a, aby byly brusné kameny 20a přivedeny do kontaktu s rubovou stranou 1b obráběného kusu 1, který je přidržován na upínacím stole 8, čímž dochází k hrubému broušení rubové strany 1b obráběného kusu 1. Tyto brusné kameny 20a jsou například vyrobeny z pojivá smíchaného s abrazivními zrny z diamantu nebo z podobného materiálu, která jsou zde rozptýlena. Povrchy brusných kamenů 20a, které jsou určeny k tomu, aby byly drženy v kontaktu s obráběným kusem j_, mají v daném pojivu některá abrazivní zrna obnažena. Obráběný kus 1 je broušen brusnými kameny 20a. když jejich obnažená abrazivní zrna přijdou do kontaktu s obráběným kusem L
Jak je ilustrováno na OBR. 1, další sloupek 22b se tyčí v blízkosti sloupku 22a na zadní části základny 4. Tento sloupek 22b podporuje na svém předním čele brusnou podávači jednotku 24b, která podporuje druhou brusnou jednotku 10b pro pohyb ve svislém směru. Tato brusná podávači jednotka 24b má konfiguraci, která je podobná brusné podávači jednotce 24a. Tak jako je tomu u první brusné jednotky 10a, druhá brusná jednotka 10b zahrnuje hřídel 14b, která se táhne ve svislém směru, a hřídelový motor 12b připojený k hornímu konci této hřídele 14b. Kotoučový montážní držák 16b. který má podobu kruhové destičky, je umístěn na dolním konci této hřídele 14b. Tento kotoučový montážní držák 16b má dolní povrch, na němž je namontován brusný kotouč 18b ve tvaru disku. Na dolním povrchu tohoto brusného kotouče 18b je upevněno množství brusných kamenů 20b. které jsou uspořádány v anulámí seskupení. Když je hřídelový motor 12b pod proudem, otáčí brusným kotoučem 18b v obvodovém směru okolo kotoučové rotační osy, která je kolmá na dolní povrch brusného kotouče 18b.
Za účelem broušení obráběného kusu 1 na upínacím stole 8 v oblasti 6c pro jemné broušení se brusný kotouč 18b otáčí okolo kotoučové rotační osy, aby posunoval brusné kameny 20b podle anulámí dráhy, a upínací stůl 8 se otáčí okolo stolní rotační osy 8c. Pak je aktivována brusná podávači jednotka 24b za účelem spuštění dmhé bmsné jednotky 10b. aby byly brusné kameny 20b přivedeny do kontaktu s rubovou stranou 1b obráběného kusu 1, který je přidržován na upínacím stole 8, čímž dochází k jemnému broušení mbové strany 1b obráběného kusu L
Za účelem broušení obráběného kusu 1 za použití první bmsné jednotky 10a brusná podávači jednotka 24a provádí bmsné podávání při relativně vysoké rychlosti, aby došlo ke hmbému zbroušení obráběného kusu 1. V souladu s tímto bmsným podáváním prováděným za pomoci bmsné podávači jednotky 24a je většina vrstvy obráběného kusu 1, která je určena k odstranění za pomoci broušení prostřednictvím bmsného zařízení 2, efektivně odstraněna. Za účelem broušení obráběného kusu 1 za použití dmhé bmsné jednotky 10b brusná podávači jednotka 24b provádí bmsné podávání při relativně nízké rychlosti, aby došlo k jemnému zbroušení obráběného kusu L V souladu s tímto bmsným podáváním prováděným s pomocí bmsné podávači jednotky 24b je obráběný kus 1 obroušen s vysokou mírou přesnosti na konečnou tloušťku, která byla plánována.
Každá brusná podávači jednotka 24a a 24b zahrnuje servomotor 48, hřídel 50, matici 52, atd., které byly popsány jakožto svisle se pohybující mechanismy pro svislý pohyb bmsných jednotek 10a a 10b. Předložený vynález ovšem není omezen na takovéto detaily. Tyto bmsné podávači jednotky 24a a 24b mohou svisle pohybovat upínacími stoly 8 namísto brusnými jednotkami 10a a 10b. Jinými slovy, bmsné podávači jednotky 24a a 24b mají tu funkci, aby relativně posunovaly upínací stoly 8 a hřídele 14a a 14b směrem k sobě a od sebe navzájem.
-6CZ 2020 - 362 A3
Na horním povrchu základny 4 blízko oblasti 6b pro hrubé broušení je umístěna první jednotka 40 měřící tloušťku sloužící pro měření tloušťky obráběného kusu 1, který je hrubě broušen prostřednictvím první brusné jednotky 10a. Tato první jednotka 40 měřící tloušťku může například představovat kontaktní typ jednotky měřící tloušťku. Tato první jednotka 40 měřící tloušťku ovšem není omezena na kontaktní typ jednotky měřící tloušťku, ale může představovat jakýkoli jiný typ přístroje pro měření tloušťky. Jak je ilustrováno na OBR. 2 a 3, první jednotka 40 měřící tloušťku zahrnuje první sondu 40a pro měření výšky rubové strany 1b obráběného kusu 1 prostřednictvím kontaktu rubové strany 1b a druhou sondu 40b pro měření výšky přídržného povrchu 8a upínacího stolu 8 prostřednictvím kontaktu přídržného povrchu 8a. První jednotka 40 měřící tloušťku rovněž zahrnuje podpěru 40c podporující na sobě první sondu 40a a druhou sondu 40b. První jednotka 40 měřící tloušťku může vypočítat tloušťku obráběného kusu 1 na základě rozdílu mezi výškou rubové strany 1b obráběného kusu 1 a výškou přídržného povrchu 8a upínacího stolu 8.
Druhá jednotka 42 měřící tloušťku, která není kontaktního typu, sloužící pro měření tloušťky obráběného kusu 1, který byl jemně zbroušen za pomoci druhé brusné jednotky 10b. je umístěna na horním povrchu základny 4 poblíž oblasti 6c pro jemné broušení. Tato druhá jednotka 42 měřící tloušťku představuje laserovou jednotku měřící tloušťku, to jest spektrální interferenční laserový měřič posuvu, sloužící pro měření výšky rubové strany 1b obráběného kusu 1 prostřednictvím aplikace laserového paprsku na rubovou stranu 1b a detekce tohoto laserového paprsku, který je odsud odražen. Tato druhá jednotka 42 měřící tloušťku ovšem není omezena na takovouto laserovou jednotku měřící tloušťku.
Nyní bude níže podrobněji popsán způsob, jakým brusné kameny 20a a 20b a obráběný kus 1 přicházejí do vzájemného kontaktu, když je obráběný kus 1 broušen. Jak je ilustrováno na OBR. 3, přídržný povrch 8a upínacího stolu 8 má kuželovitý tvar, j ehož sklon j e extrémně malý, přičemž anulámí dráha, podle níž se brusné kameny 20a a 20b pohybují, leží nad středem přídržného povrchu 8a upínacího stolu 8. Za účelem broušení obráběného kusu 1 s pomocí brusných kamenů 20a a 20b vstupují tyto brusné kameny 20a a 20b do kontaktu s obráběným kusem 1 v obloukovité oblasti, která se rozprostírá od středu přídržného povrchu 8a k jeho vnějším obvodovým okrajům a tvoří podklad anulámí dráhy. Když je obráběný kus 1 broušen s pomocí bmsných kamenů 20a a 20b, bmsné kotouče 18a a 18b se otáčejí okolo kotoučové rotační osy 12c a upínací stůl 8 se otáčí okolo stolní rotační osy 8c, která protíná přídržný povrch 8a upínacího stolu 8. Tím pádem platí, že lokální oblasti rubové strany 1b obráběného kusu 1 postupně vstupují do obloukovité oblasti, kde jsou bmsné kameny 20a a 20b v kontaktu s obráběným kusem takže je mbová strana 1b obráběného kusu 1 broušena ve své celistvosti.
Bmsné zařízení 2 zahrnuje řídící jednotku 44 pro řízení komponent bmsného zařízení 2. Konkrétně j e to tak, že tato řídící j ednotka 44 řídí talířovou točnu 6, upínací stoly 8, bmsné podávači j ednotky 24a a 24b. bmsné jednotky 10a a 10b. servomotorický ovladač 46, jednotky 40 a 42 měřící tloušťku, atd. Kromě toho tato řídící jednotka 44 rovněž řídí transportního robota 30, polohovací stůl 32, nakládací rameno 34, vykládací rameno 36, rotační čisticí zařízení 38, atd. Tato řídící jednotka 44 má podobu počítače, který zahrnuje procesor, jako je třeba CPU, úložné zařízení, jako je třeba flash paměť, atd. Když procesor opemje podle softwaru, jako jsou třeba programy uložené v úložném zařízení, pak řídící jednotka 44 slouží jako specifické prostředky dosažené prostřednictvím spolupráce mezi softwarem a procesorem (hardwarové zdroje). Za účelem broušení obráběného kusu 1 na bmsném zařízení 2 řídící jednotka 44 provádí otáčení upínacích stolů 8 a bmsných jednotek 10a a 10b. Až dosud bylo běžné, aby řídící jednotka 44 vydala příkaz servomotorickému ovladači 46, aby dodal energii servomotoru 48, čímž pádem se začnou upínací stoly 8 a hřídele 14a a 14b bmsných jednotek 10a a 10b pohybovat směrem k sobě navzájem.
Až dosud byla předem určená cílová tloušťka pro daný obráběný kus 1 zanesena v předstihu do řídící jednotky 44. Tato řídící jednotka 44 řídí jednotky 40 a 42 měřící tloušťku za účelem měření tloušťky obráběného kusu 1, který je broušen. Když tloušťka obráběného kusu 1 dosáhne předem určené cílové tloušťky, pak řídící jednotka 44 vydá příkaz servomotorickému ovladači 46, aby odpojil od proudu servomotor 48, čímž dojde k ukončení broušení obráběného kusu L Řídící
-7 CZ 2020 - 362 A3 jednotka 44 řídí různé jednotky a měřící nástroje brusného zařízení 2 a konstantně zpracovává různé střípky informací, jak bylo popsáno výše. V důsledku toho platí, že poté, co brusné zařízení 2 začalo brousit obráběný kus 1, může u řídící jednotky 44 dojít k selhání, a to například kvůli nadměrné zátěži při zpracování dat. Tato řídící jednotka 44 ve stavu selhání není schopna vydat příkaz servomotorickému ovladači 46 pro ukončení relativního pohybu hřídelí 14a a 14b a upínacích stolů 8, když je obráběný kus 1 ztenčen na předem určenou cílovou tloušťku. Jestliže tento relativní pohyb hřídelí 14a a 14b a upínacích stolů 8 není ukončen ve chvíli, kdy by měl být ukončen, pak nejenže může být obráběný kus 1 ztenčen za hranici cílové tloušťky, ale může být rovněž rozbroušen, což umožní, aby brusné kameny 20a a 20b narazily do upínacích stolů 8 a případně způsobily vážné poškození brusného zařízení 2.
U brusného zařízení 2, které provádí tento způsob zpracování obráběného kusu podle předloženého provedení servomotorický ovladač 46 zastaví brusné podávání na hřídelích 14a a 14b, když toto brusné podávání pokročilo do takové míry, že se předpokládá, že obráběný kus 1 dosáhl cílové tloušťky. V takovém případě, i když řídící jednotka 44 není schopna vydat příkaz servomotorickému ovladači 46. aby odpojil od proudu servomotor 48, tak vzhledem k tomu, že tento servomotorický ovladač 46 odpojí od proudu servomotor 48, není obráběný kus 1 nadměrně zbroušen.
Podrobnosti takového kroku budou popsány níže. Řídící jednotka 44 vypočte plánovanou hloubku brusu odečtením předem určené cílové tloušťky pro daný obráběný kus 1, která byla zanesena do řídící jednotky 44 v předstihu, od tloušťky obráběného kusu 1. Řídící jednotka 44 dá příkaz reprezentující vypočtenou plánovanou hloubku brusu servomotorickému ovladači 46 pro brusné podávači jednotky 24a a 24b. Tloušťka obráběného kusu 1 může být zanesena do řídící jednotky 44 v předstihu nebo může být naměřena s pomocí jednotek 40 a 42 měřících tloušťku ještě před tím, než je obráběný kus 1 broušen.
Když je servomotorickému ovladači 46 od řídící jednotky 44 dodán příkaz reprezentující plánovanou hloubku brusu, pak tento servomotorický ovladač 46 začne posunovat upínací stoly 8 a hřídele 14a a 14b směrem k sobě navzájem. Když se upínací stoly 8 a hřídele 14a a 14b relativně posunuly o cílovou vzdálenost odpovídající plánované hloubce brusu, pak servomotorický ovladač 46 ukončí relativní pohyb upínacích stolů 8 a hřídelí 14a a 14b. V tomto případě, i když u řídící jednotky 44 dojde k selhání a není schopna vydat příkaz servomotorickému ovladači 46, servomotorický ovladač 46 může řídit servomotor 48. Jinými slovy, servomotorický ovladač 46 zastaví brusné podávání ve chvíli, kdy obráběný kus 1 dosáhl cílové tloušťky. V této chvíli mohou být brusné kameny 20a a 20b opotřebovány do takového stavu, který není dostatečně reflektován v cílové vzdálenosti. Nicméně, přinejmenším platí, že obráběný kus 1 není nadměrně broušen, a tudíž je zabráněno poškození brusného zařízení 2.
Řídící jednotka 44 může mít funkci, která umožňuje přimět jednotky 40 a 42 měřící tloušťku opakovaně měřit tloušťku obráběného kusu 1, dokud tato tloušťka obráběného kusu 1 nedosáhne cílové tloušťky pro daný obráběný kus L Řídící jednotka 44 s takovouto funkcí může vypočítat plánovanou hloubku brusu odečtením cílové tloušťky od naměřené tloušťky obráběného kusu 1 a může opakovaně vydat servomotorickému ovladači 46 příkaz reprezentující vypočtenou plánovanou hloubku brusu. Pokaždé, kdy je servomotorickému ovladači 46 dodán příkaz reprezentující plánovanou hloubku brusu, může tento servomotorický ovladač 46 aktualizovat cílovou vzdálenost na základě dodaného příkazu reprezentujícího plánovanou hloubku brusu. V tomto případě je tloušťka obráběného kusu 1, který je broušen, opakovaně monitorována, a cílová vzdálenost je korigována v závislosti na aktuální tloušťce obráběného kusu 1. Protože je stav, do něhož jsou brusné kameny 20a a 20b opotřebovány, reflektován v cílové vzdálenosti, když byl obráběný kus 1 zbroušen prostřednictvím brusných jednotek 10a a 10b, blíží se tloušťka obráběného kusu 1 s větší přesností k cílové tloušťce.
Níže bude popsán způsob zpracování obráběného kusu podle předloženého provedení, který je prováděn prostřednictvím brusného zařízení 2. V souladu se způsobem zpracování je obráběný kus
-8CZ 2020 - 362 A3 ztenčen tím, že je broušen prostřednictvím brusného zařízení 2. OBR. 4A představuje vývojový diagram posloupnosti kroků způsobu zpracování obráběného kusu podle tohoto provedení. Tento způsob zpracování zahrnuje přidržovací krok S1 spočívající v přidržení obráběného kusu 1 na přídržném povrchu 8a upínacího stolu 8, krok S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu spočívající v opakovaném vydávání příkazu servomotorickému ovladači 46, který reprezentuje plánovanou hloubku brusu, a krok S3 broušení spočívající v broušení obráběného kusu 1. Tyto kroky budou podrobně popsány níže.
U přidržovacího kroku Sl, jak je například ilustrováno na OBR. 1, obráběný kus 1 s ochranným členem 3 připojeným ke své čelní straně laje uložen v kazetě 28a, přičemž tato kazeta 28a je zavedena do brusného zařízení 2. Potom je například za použití transportního robotu 30 tento obráběný kus 1 uložený v kazetě 28a odsud vyložen a transportován na polohovací stůl 32. Poté, co byl obráběný kus 1 s pomocí polohovacího stolu 32 polohován do předem určené pozice, je tento obráběný kus 1 transportován na upínací stůl 8 umístěný v nakládací/vykládací oblasti 6a, a sice prostřednictvím nakládacího ramena 34. Celní strana la obráběného kusu 1 je orientována směrem dolů, a sice tak, že jeho rubová strana 1b. kteráje určena k broušení, je orientována směrem nahoru. Obráběný kus 1 je umístěn na přídržný povrch 8a upínacího stolu 8 a sací zdroj připojený k tomuto upínacímu stolu 8, je aktivován tak, aby přidržoval obráběný kus 1 pod vlivem sání na upínacím stole 8.
Podle tohoto způsobu zpracování jsou poté provedeny krok S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu a krok S3 broušení. OBR. 4B představuje vývojový diagram posloupnosti kroků v rámci kroku S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu a OBR. 4C představuje vývojový diagram posloupnosti kroků v rámci kroku S3 broušení. OBR. 2 představuje schematický perspektivní pohled ilustrující krok S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu a krok S3 broušení. OBR. 3 představuje schematický průřezový pohled ilustrující krok S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu a krok S3 broušení. V kroku S3 broušení je obráběný kus 1 hrubě broušen v oblasti 6b pro hrubé broušení prostřednictvím první brusné jednotky 10a. V kroku S3 broušení je kromě toho obráběný kus 1 jemně broušen v oblasti 6c pro jemné broušení prostřednictvím druhé brusné jednotky 10b. Tento krok hrubého broušení obráběného kusu 1 v oblasti 6b pro hrubé broušení prostřednictvím první brusné jednotky 10a bude ve smyslu příkladu popsán níže. Krok jemného broušení obráběného kusu 1 v oblasti 6c pro j emné broušení prostřednictvím druhé brusné j ednotky 10b je proveden podobně a jeho popis bude níže vynechán. Krok S3 broušení je zahájen, zatímco krok S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu stále ještě probíhá, a následně pak probíhá společně s krokem S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu. Krok S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu a krok S3 broušení budou jednotlivě popsány níže.
Nejprve bude níže popsán krok S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu. V řídící jednotce 44 je zanesena cílová tloušťka, které má být dosaženo pro daný obráběný kus 1, když je hrubé broušení dokončeno. V kroku S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu první jednotka 40 měřící tloušťku měří tloušťku obráběného kusu 1 v kroku S21 (viz OBR. 4B). Řídící jednotka 44 v kroku S22 vzájemně porovná tloušťku obráběného kusu 1 a cílovou tloušťku a určí, zda tloušťka obráběného kusu 1 dosáhla cílové tloušťku či nikoli. Normálně je to tak, že bezprostředně poté, co byl zahájen krok S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu, tloušťka obráběného kusu 1 dosud ještě nedosáhla cílové tloušťky. Jestliže tloušťka obráběného kusu 1 nedosáhla cílové tloušťky, pak řídící jednotka 44 v kroku S23 vypočte plánovanou hloubku brusu odečtením cílové tloušťky od naměřené tloušťky obráběného kusu 1. Následně řídící jednotka 44 v kroku S24 vydá příkaz reprezentující vypočtenou plánovanou hloubku brusu servomotorickému ovladači 46 brusné podávači jednotky 24a.
Když řídící jednotka 44 vydá příkaz reprezentující vypočtenou plánovanou hloubku brusu servomotorickému ovladači 46, je zahájen krok S3 broušení, jak bude popsáno později, který spočívá v tom, že je započato broušení a ztenčování obráběného kusu 1. V kroku S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu, zatímco je obráběný kus 1 ztenčován, první jednotka 40 měřící tloušťku periodicky měří v kroku S21 tloušťku obráběného kusu 1 a řídící jednotka 44 v kroku S22 znovu
-9CZ 2020 - 362 A3 určí, zda tloušťka obráběného kusu 1 dosáhla cílové tloušťky či nikoli.
Jestliže řídící jednotka 44 rozhodne, že tloušťka obráběného kusu 1 nedosáhla cílové tloušťky, pak tato řídící jednotka 44 vypočte v kroku S23 novou plánovanou hloubku brusu odečtením cílové tloušťky od tloušťky obráběného kusu 1, která byla opětovně naměřena. Normálně je to tak, že zatímco probíhá krok broušení, je obráběný kus 1 postupně ztenčován a plánovaná hloubka brusu je snížena o tolik, o kolik je obráběný kus 1 ztenčen. Řídící jednotka 44 vydá servomotorickému ovladači 46 v kroku S24 příkaz reprezentující nově vypočtenou plánovanou hloubku brusu. Na druhé straně, jestliže řídící jednotka 44 v kroku S22 rozhodne, že tloušťka obráběného kusu 1 dosáhla cílové tloušťky v důsledku postupu v kroku broušení, pak tato řídící jednotka 44 nevydá nový příkaz servomotorickému ovladači 46. Potom krok S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu končí.
Abychom si to zrekapitulovali, v kroku S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu první jednotka 40 měřící tloušťku opakovaně měří tloušťku obráběného kusu 1, dokud tato tloušťka obráběného kusu 1 nedosáhne cílové tloušťky, která byla pro daný obráběný kus 1 předem zanesena do řídící jednotky 44. Tato řídící jednotka 44 vypočte plánovanou hloubku brusu odečtením cílové tloušťky od naměřené tloušťky obráběného kusu 1 a opakovaně vydá příkaz reprezentující vypočtenou plánovanou hloubku brusu servomotorickému ovladači 46 brusné podávači jednotky 24a.
Jako další bude níže popsán krok S3 broušení. Krok S3 broušení začíná, zatímco krok S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu stále ještě probíhá. V kroku S3 broušení se upínací stůl 8 otáčí okolo stolní rotační osy 8c, přičemž zároveň se brusný kotouč 18a otáčí okolo kotoučové rotační osy 12c. Když servomotorický ovladač 46 přijme v kroku S31 (viz OBR. 4C) od řídící jednotky 44 příkaz reprezentující plánovanou hloubku brusu, servomotor 48 brusné podávači jednotky 24a zahájí v kroku S32 relativní pohyb upínacího stolu 8 a hřídele 14a směrem k sobě navzájem. Například je to tak, že servomotorický ovladač 46 začne dodávat energii do servomotoru 48 za účelem spuštění hřídele 14a první brusné jednotky 10a za předem určené rychlosti.
Servomotorický ovladač 46 řídí servomotor 48 pod kontrolou zpětné vazby, zatímco monitoruje provoz servomotoru 48, takže tento servomotor 48 může operovat za účelem dosažení předem určeného úkolu. Když se brusné kameny 20a pohybují podle anulámí dráhy v kontaktu s rubovou stranou 1b obráběného kusu 1, který je přidržován na přídržném povrchu 8a upínacího stolu 8, začne být obráběný kus 1 broušen prostřednictvím brusných kamenů 20a, čímž je započato jeho ztenčování. Servomotorický ovladač 46 řídí servomotor 48 za účelem dosažení stavu, v němž jsou upínací stůl 8 a hřídel 14a první brusné j ednotky 10a blízko u sebe navzáj em, přičemž j e dělí cílová vzdálenost, která odpovídá plánované hloubce brusu. Tento servomotorický ovladač 46 pak v kroku S33 určí, zda se upínací stůl 8 a hřídel 14a relativně posunuly o tuto cílovou vzdálenost či nikoli. Normálně je to tak, že bezprostředně poté, co byl zahájen krok S3 broušení, tak platí, že vzdálenost, o kterou se upínací stůl 8 a hřídel 14a relativně posunuly, nedosahuje cílové vzdálenosti.
Jestliže je rozhodnuto, že upínací stůl 8 a hřídel 14a se relativně neposunuly o cílovou vzdálenost, pak je určeno, zdaje třeba cílovou vzdálenost aktualizovat či nikoli. Konkrétně je to tak, že pokud byl příkaz reprezentující novou plánovanou hloubku brusu v kroku S34 dodán od řídící jednotky 44 do servomotorického ovladače 46 jakožto důsledek postupu kroku S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu, pak servomotorický ovladač 46 v kroku S35 aktualizuje cílovou vzdálenost na základě nové plánované hloubky brusu. Na druhé straně, jestliže příkaz reprezentující novou plánovanou hloubku brusu nebyl v kroku S34 dodán od řídící jednotky 44 do servomotorického ovladače 46, pak tento servomotorický ovladač 46 neaktualizuje cílovou vzdálenost a krok S3 broušení pokračuje tak, aby byl prováděn na základě poslední cílové vzdálenosti, která byla zanesena v servomotorickém ovladači 46.
V kroku S3 broušení, bez ohledu na to, zda byla cílová vzdálenost aktualizována či nikoli, je v kroku S33 opakovaně periodicky určeno, zda vzdálenost, o kterou se upínací stůl 8 a hřídel 14a
-10CZ 2020 - 362 A3 relativně posunuly, dosáhla cílové vzdálenosti či nikoli. Jestliže vzdálenost, o kterou se upínací stůl 8 a hřídel 14a relativně posunuly, nedosáhla cílové vzdálenosti, a jestliže řídící jednotka 44 v kroku S34 vydá servomotorickému ovladači 46 příkaz reprezentující novou plánovanou hloubku brusu, pak servomotorický ovladač 46 v kroku S35 aktualizuje cílovou vzdálenost na základě nové plánované hloubky brusu. Jinými slovy, pokaždé, kdy je servomotorickému ovladači 46 dodán od řídící jednotky 44 příkaz reprezentující nově vypočtenou hloubku brusu, tak platí, že dokud se upínací stůl 8 a hřídel 14a neposunuly o cílovou vzdálenost, tak servomotorický ovladač 46 aktualizuje tuto cílovou vzdálenost na základě nově vypočtené hloubky brusu.
Jestliže vzdálenost, o kterou se upínací stůl 8 a hřídel 14a relativně posunuly, dosáhla v kroku S33 cílové vzdálenosti, pak servomotorický ovladač 46 odpojí od proudu servomotor 48. čímž v kroku S36 ukončí relativní pohyb upínacího stolu 8 a hřídele 14a. U tohoto způsobu zpracování obráběného kusu podle předloženého provedení jsou krok S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu a krok S3 broušení provedeny za účelem broušení obráběného kusu 1, který je přidržován na upínacím stole 8, o plánovanou hloubku brusu za účelem ztenčení obráběného kusu 1 na cílovou tloušťku.
Například, když probíhá broušení obráběného kusu 1, pak se míra, v níž je tloušťka obráběného kusu 1 snížena, může stát malou v porovnání se vzdáleností, o niž se upínací stůl 8 a hřídel 14a relativně posunuly, a to kvůli opotřebení na brusných kamenech 20a nebo podobně. V tomto případě, pokud není cílová vzdálenost aktualizována, nemusí nezbytně tloušťka obráběného kusu 1 po dokončení kroku S3 broušení dosáhnout cílové tloušťky, která je zanesena v řídící jednotce 44. V tomto způsobu zpracování obráběného kusu podle předloženého provedení je tloušťka obráběného kusu 1 opakovaně měřena, přičemž hloubka brusu, která j e potřebná pro daný obráběný kus 1 za účelem dosažení cílové tloušťky, je kontinuálně vypočítávána jako plánovaná hloubka brusu. V této době, protože postup broušení a opotřebení na brusných kamenech 20a jsou reflektovány v plánované hloubce brusu, je obráběný kus 1 broušen za pomoci brusných kamenů 20a. dokud jeho tloušťka nedosáhne cílové tloušťky.
U tohoto způsobu zpracování obráběného kusu podle výše popsaného předloženého provedení platí, že i v případě selhání řídící jednotky 44 je obráběný kus 1 broušen obecně vzato do cílové tloušťky, aniž by bylo způsobeno poškození brusného zařízení 2. Jedním z důvodů je to, že krok S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu je realizován převážně prostřednictvím fúnkce řídící jednotky 44, zatímco krok S3 broušení je realizován převážně prostřednictvím fúnkce servomotorického ovladače 46. Jako další bude níže popsán případ, v němž u řídící jednotky 44 dojde k selhání, zatímco je prováděn způsob zpracování obráběného kusu podle předloženého provedení.
Selhání řídící jednotky 44 odkazuje ke stavu, v němž řídící jednotka 44 přestane v důsledku abnormální situace fungovat a není schopna zpracovávat informace a vydávat příkazy. Až dosud platilo, že řídící jednotka 44 řídí servomotorický ovladač 46, aby odpojila od proudu servomotor 48. když tloušťka obráběného kusu 1 dosáhla cílové tloušťky. V případě, v němž dojde k selhání řídící jednotky 44. není řídící jednotka 44 schopna vydávat servomotorickému ovladači 46 příkazy pro odpojení servomotoru 48 od proudu.
U způsobu zpracování obráběného kusu podle předloženého provedení platí, že v případě, kdy dojde k selhání řídící jednotky 44, zatímco probíhají kroky S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu a S3 broušení, a sice po provedení přidržovacího kroku Sl, není řídící jednotka 44 schopna pokračovat v kroku S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu. Konkrétně je to tak, že řídící jednotka 44 ve stavu selhání není v kroku S21 schopna měřit tloušťku obráběného kusu 1 za použití první jednotky 40 měřící tloušťku a není schopna v kroku S22 určit, zda tloušťka obráběného kusu 1 dosáhla cílové tloušťky či nikoli. Řídící jednotka 44 ve stavu selhání není schopna v kroku S23 vypočítat plánovanou hloubku brusu a není schopna v kroku S24 vydat servomotorickému ovladači 46 příkaz reprezentující plánovanou hloubku brusu.
-11 CZ 2020 - 362 A3
V kroku S3 broušení není v kroku S34 od řídící jednotky 44 dodán příkaz reprezentující novou plánovanou hloubku brusu a cílová vzdálenost není v kroku S35 aktualizována. Jinými slovy, v případě selhání řídící jednotky 44 je v rámci kroku S3 broušení v kroku S33 opakovaně určeno, zda se upínací stůl 8 a hřídel 14a relativně posunuly o cílovou vzdálenost. Když se upínací stůl 8 a hřídel 14a relativně posunuly o cílovou vzdálenost, pak servomotorický ovladač 46 v kroku S36 zastaví relativní pohyb upínacího stolu 8 a hřídele 14a. U způsobu zpracování obráběného kusu podle předloženého provedení je tím pádem krok S3 broušení normálně dokončen, i když dojde k selhání řídící jednotky 44.
V tomto případě, protože cílová vzdálenost není aktualizována, nemusí tloušťka zbroušeného obráběného kusu 1 případně dosáhnout cílové tloušťky, a sice v důsledku opotřebení brusných kamenů 20a. atd. Nicméně však platí, že jakákoli výsledná ztráta je daleko menší, než kdyby byl obráběný kus 1 nadměrně zbroušen, jako je tomu v případě konvenční praxe, protože brusné zařízení 2 neutrpí žádné fýzické poškození a obráběný kus 1 může být znovu broušen na cílovou tloušťku poté, co se řídící jednotka 44 zotaví ze svého selhání. Rozumí se samo sebou, že nemusí být nutné brousit obráběný kus 1 znovu.
U způsobu zpracování obráběného kusu podle předloženého provedení, jak byl popsán výše, může být krok S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu ukončen z důvodu, že u řídící jednotky 44 došlo k selhání. Tento způsob zpracování podle předloženého provedení je výhodný v tom, že obráběný kus 1 nebude ztracen v případě, kdy u řídící jednotky 44 dojde k selhání, přičemž jsou zde přínosy, které jsou dostupné i v případě, kdy u řídící jednotky 44 k žádnému selhání nedojde. U tohoto způsobu zpracování podle předloženého provedení je to například tak, že i v případě selhání řídící jednotky 44 je zabráněno tomu, aby brusné zařízení 2 utrpělo poškození, k němuž by jinak došlo, jestliže by například upínací stůl 8 byl broušen brusnými kameny 20a a 20b. To znamená, že poté, co došlo k selhání řídící jednotky 44, je zkrácen čas, nezbytný pro zotavení brusného zařízení 2 ze selhání, a jsou sníženy náklady, které jsou nezbytné pro zotavení brusného zařízení 2 ze selhání.
V důsledku toho platí, že jelikož má toto brusné zařízení 2 snížené prostoje, má toto brusné zařízení 2 zvýšenou zpracovatelskou efektivitu pro postupné zpracování množství obráběných kusů 1, přičemž počet obráběných kusů 1, které mohou být zpracovány za časovou jednotku, je navýšen. Protože nejsou nadměrným broušením ztraceny žádné obráběné kusy 1 a není třeba kompenzovat žádné ztráty, jsou náklady na zpracování sníženy. Jinými slovy platí, že efektivita zpracování pro zpracování obráběných kusů 1 v době, kdy řídící jednotka 44 není ve stavu selhání, je zvýšena. Konkrétně je to tak, že tento způsob zpracování podle předloženého provedení dává vzniknout situaci, v níž obráběný kus 1 není ztracen a brusné zařízení 2 není poškozeno, ani když u řídící jednotky 44 dojde k selhání, a činí smysluplným zpracovávat obráběný kus 1 i v takovéto situaci. Tím pádem platí, že způsob zpracování podle předloženého provedení nevyžaduje, aby u řídící jednotky 44 došlo k selhání a není omezen na případ, kdy u řídící jednotky 44 dojde k selhání.
Jak bylo popsáno výše, u tohoto způsobu zpracování podle předloženého provedení platí, že i když dojde u řídící jednotky 44 brusného zařízení 2 k selhání, zatímco je obráběný kus 1 broušen, není pravděpodobné, že by byl tento obráběný kus 1 nadměrně zbroušen a na brusném zařízení 2 není způsobeno žádné poškození.
Předložený vynález není omezen na výše uvedené podrobnosti předloženého provedení, přičemž platí, že zde mohou být učiněny různé změny a modifikace. Například v souladu s výše uvedeným provedením byl výše podrobně popsán způsob, v jehož rámci je obráběný kus 1 broušen v oblasti 6b pro hrubé broušení prostřednictvím první brusné jednotky 10a. Předložený vynález ovšem není omezen na broušení obráběného kusu 1 v oblasti 6b pro hrubé broušení prostřednictvím první brusné jednotky 10a a dá se aplikovat na broušení obráběného kusu 1 v oblasti 6c pro jemné broušení prostřednictvím druhé brusné jednotky 10b. Toto brusné zařízení 2 se dvěma brusnými jednotkami, to jest s první brusnou jednotkou 10a a s druhou brusnou jednotkou 10b. bylo ilustrováno výše. Předložený vynález ovšem není omezen na brusné zařízení se dvěma brusnými jednotkami. Tento způsob zpracování obráběného kusu v souladu s jedním aspektem předloženého
-12 CZ 2020 - 362 A3 vynálezu může být proveden s pomocí brusného zařízení s jednou brusnou jednotkou nebo brusného zařízení se třemi či více brusnými jednotkami.
Kromě toho u výše uvedeného provedení platí, že selhání řídící jednotky 44 brusného zařízení 2 a provoz servomotorického ovladače 46 byly výše popsány ve smyslu příkladu. Předložený vynález je výhodný rovněž v případě, kdy brusné zařízení 2 nepracuje normálně z jiných důvodů. Tento vynález je například rovněž výhodný v případě, kdy dojde k selhání jednotek 40 a 42 měřících tloušťku, které pak nejsou schopny měřit tloušťku obráběného kusu 1, zatímco je obráběný kus 1 broušen, a v případě, kdy dojde k přerušení signálních drátů sloužících jako dráha pro přenos příkazů od řídící jednotky 44 do servomotorického ovladače 46.
Kromě toho byl u výše uvedeného provedení popsán případ, kdy je tloušťka obráběného kusu 1 opakovaně naměřena, plánovaná hloubka brusu je aktualizována a příkaz reprezentující tuto aktualizovanou plánovanou hloubku brusu je odeslán od řídící jednotky 44 do servomotorického ovladače 46, a sice v rámci kroku S2 vydání příkazu ohledně hloubky brusu. Navíc byl výše popsán případ, kdy servomotorický ovladač 46 aktualizuje cílovou vzdálenost pokaždé, kdy je mu od řídící jednotky 44 v rámci kroku S3 broušení dodán příkaz reprezentující tuto aktualizovanou plánovanou hloubku brusu. Předložený vynález ovšem není omezen na takovéto detaily. V souladu s jedním aspektem předloženého vynálezu nemusí být tloušťka obráběného kusu 1 opakovaně měřena a plánovaná hloubka brusu a cílová vzdálenost nemusejí být aktualizovány. Konkrétně je to tak, že plánovaná hloubka brusu může být vypočtena odečtením cílové tloušťky pro daný obráběný kus 1 od tloušťky obráběného kusu 1 před tím, než byl broušen, a následně mohou být upínací stůl 8 a hřídele 14a a 14b relativně posunuty o cílovou vzdálenost, která odpovídá vypočtené plánované hloubce brusu, načež může být krok broušení obráběného kusu 1 ukončen.
V tomto případě podobně platí, že jelikož může být broušení obráběného kusu 1 ukončeno bez toho, že by řídící jednotka 44 vydala příkaz pro zastavení relativního pohybu upínacího stolu 8 a hřídelí 14a a 14b. nedochází k problémům, jako je ztráta obráběného kusu 1 v případě selhání řídící jednotky 44. Kromě toho, protože tloušťka obráběného kusu 1, který je broušen za pomoci brusného zařízení 2, nemusí být naměřena, mohou být jednotky 40 a 42 měřící tloušťku zjednodušeny či vynechány.
Předložený vynález není omezen na detaily výše popsaných výhodných provedení. Rozsah patentové ochrany tohoto vynálezu je definován prostřednictvím přiložených nároků a veškeré změny a modifikace, tak jak spadají do rámce ekvivalence rozsahu patentové ochrany podle těchto nároků, mají být tím pádem považovány za spadající do rozsahu tohoto vynálezu.

Claims (2)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY
    1. Způsob zpracování obráběného kusu broušením tohoto obráběného kusu na brusném zařízení, vyznačující se tím, že brusné zařízení zahrnuje upínací stůl mající přídržný povrch pro přidržení obráběného kusu na tomto povrchu, přičemž tento upínací stůl se může otáčet okolo osy, která je příčná vůči přídržnému povrchu, hřídel pro obvodové otáčení brusného kotouče ve tvaru disku, který je na ní namontován, a který zahrnuje brusné kameny, brusnou podávači jednotku mající servomotor pro relativní pohyb upínacího stolu a hřídele směrem k sobě a od sebe navzájem, servomotorický ovladač pro odeslání signálů do servomotoru brusné podávači jednotky, a
    řídící jednotku pro řízení tohoto servomotorického ovladače, přičemž způsob zahrnuje:
    přidržovací krok spočívající v přidržení obráběného kusu na přídržném povrchu upínacího stolu;
    krok vydání příkazu ohledně hloubky brusu spočívající ve vypočtení plánované hloubky brusu odečtením cílové tloušťky zanesené v předstihu v řídící jednotce pro daný obráběný kus od tloušťky obráběného kusu a vydání příkazu reprezentujícího tuto vypočtenou plánovanou hloubku brusu od řídící jednotky do servomotorického ovladače brusné podávači jednotky; a krok broušení spočívající v relativním pohybu upínacího stolu a hřídele směrem k sobě navzájem s pomocí servomotoru brusné podávači jednotky, zatímco se upínací stůl a brusný kotouč otáčejí okolo svých příslušných os, čímž pádem dochází k broušení obráběného kusu přidržovaného na upínacím stole za pomoci brusných kamenů, kde v kroku broušení je relativní pohyb upínacího stolu a hřídele ukončen servomotorickým ovladačem, když se upínací stůl a hřídel relativně posunuly o cílovou vzdálenost, která odpovídá plánované hloubce brusu.
  2. 2. Způsob zpracování obráběného kusu podle nároku 1, vyznačující se tím, že brusné zařízení dále zahrnuje jednotku měřící tloušťku sloužící pro měření tloušťky obráběného kusu přidržovaného na přídržném povrchu upínacího stolu, krok vydání příkazu ohledně hloubky brusu zahrnuje opakované měření tloušťky obráběného kusu za pomoci jednotky měřící tloušťku, dokud tloušťka obráběného kusu nedosáhne cílové tloušťky, aktualizaci plánované hloubky brusu za pomoci hodnoty vypočtené odečtením cílové tloušťky od naměřené tloušťky obráběného kusu, a opakované vydávání příkazu reprezentujícího aktualizovanou plánovanou hloubku brusu od řídící jednotky do servomotorického ovladače brusné podávači jednotky, a
    -14CZ 2020 - 362 A3 krok broušení zahrnuje aktualizaci cílové vzdálenosti na základě aktualizované plánované hloubky brusu za pomoci servomotorického ovladače pokaždé, když je do servomotorického ovladače dodán od řídící jednotky příkaz reprezentující aktualizovanou plánovanou hloubku brusu, dokud 5 se upínací stůl a hřídel relativně neposunou o cílovou vzdálenost.
CZ2020362A 2019-06-24 2020-06-24 Způsob zpracování obráběného kusu CZ2020362A3 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2019116599A JP7242141B2 (ja) 2019-06-24 2019-06-24 被加工物の加工方法

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CZ2020362A3 true CZ2020362A3 (cs) 2021-01-06

Family

ID=73654504

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ2020362A CZ2020362A3 (cs) 2019-06-24 2020-06-24 Způsob zpracování obráběného kusu

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20200398400A1 (cs)
JP (1) JP7242141B2 (cs)
CN (1) CN112123063B (cs)
CZ (1) CZ2020362A3 (cs)
DE (1) DE102020207765A1 (cs)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114288999A (zh) * 2021-12-27 2022-04-08 东莞市鹏锦机械科技有限公司 一种特异性吸水复合材料及其制备方法和在高水分低nmp含量废气处理中的应用

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2022168720A (ja) * 2021-04-26 2022-11-08 株式会社ディスコ 加工方法

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3828594C2 (de) * 1987-08-24 2002-04-25 Toshiba Machine Co Ltd Numerisch gesteuerte Werkzeugmaschine und Verfahren zum Steuern des damit durchgeführten Schleifvorgangs
JP2001260021A (ja) * 2000-03-16 2001-09-25 Toshiba Mach Co Ltd ロール研削盤の数値制御装置
JP2003209080A (ja) * 2002-01-11 2003-07-25 Disco Abrasive Syst Ltd 半導体ウェーハ保護部材及び半導体ウェーハの研削方法
JP2003300155A (ja) * 2002-04-10 2003-10-21 Disco Abrasive Syst Ltd 研削方法及び研削装置
JP2004078895A (ja) * 2002-06-17 2004-03-11 Sanyo Electric Co Ltd 分散制御システムおよび分散制御方法
JP2006021264A (ja) * 2004-07-07 2006-01-26 Disco Abrasive Syst Ltd 研削装置
JP4763478B2 (ja) * 2006-02-23 2011-08-31 株式会社ディスコ 研削装置
JP2007245315A (ja) * 2006-03-17 2007-09-27 Taiwa Seisakusho:Kk 非導通性被加工物の研削加工方法およびその装置
JP4913481B2 (ja) * 2006-06-12 2012-04-11 株式会社ディスコ ウエーハ研削装置
WO2008003129A1 (en) * 2006-07-03 2008-01-10 Anca Pty Ltd Probe emulation and spatial property measurement in machine tools
JP5276823B2 (ja) * 2007-10-04 2013-08-28 株式会社ディスコ ウェーハの研削加工装置
JP5335245B2 (ja) * 2008-01-09 2013-11-06 株式会社ディスコ ウェーハの研削方法および研削加工装置
JP5219569B2 (ja) * 2008-03-21 2013-06-26 株式会社東京精密 ウェーハ研削装置における加工良否判定方法およびウェーハ研削装置
JP5356740B2 (ja) * 2008-07-09 2013-12-04 株式会社ディスコ 研削装置
JP5379500B2 (ja) * 2009-01-29 2013-12-25 株式会社エム・エー・ティ 半導体チップの薄片化の加工装置及びその加工方法
JP5554601B2 (ja) * 2010-03-25 2014-07-23 株式会社ディスコ 研削装置
JP2013046939A (ja) * 2011-08-29 2013-03-07 Disco Corp 研削装置
US9180559B2 (en) * 2012-08-16 2015-11-10 Nsk Americas, Inc. Apparatus and method for measuring bearing dimension
JP2015116637A (ja) * 2013-12-18 2015-06-25 株式会社ディスコ 研削方法
JP6251614B2 (ja) * 2014-03-18 2017-12-20 株式会社ディスコ 被加工物の研削方法
JP6300654B2 (ja) * 2014-06-13 2018-03-28 株式会社ディスコ 研削方法
US9656370B2 (en) * 2015-10-06 2017-05-23 Disco Corporation Grinding method
JP6803171B2 (ja) * 2016-08-18 2020-12-23 株式会社ディスコ 研削装置及び加工装置
JP6909598B2 (ja) * 2017-03-13 2021-07-28 光洋機械工業株式会社 平面研削方法及び平面研削装置
WO2018179368A1 (ja) * 2017-03-31 2018-10-04 三菱電機株式会社 制御装置およびモータ制御システム

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114288999A (zh) * 2021-12-27 2022-04-08 东莞市鹏锦机械科技有限公司 一种特异性吸水复合材料及其制备方法和在高水分低nmp含量废气处理中的应用

Also Published As

Publication number Publication date
JP7242141B2 (ja) 2023-03-20
US20200398400A1 (en) 2020-12-24
CN112123063A (zh) 2020-12-25
DE102020207765A1 (de) 2020-12-24
CN112123063B (zh) 2024-07-12
JP2021000711A (ja) 2021-01-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9656370B2 (en) Grinding method
CZ2020362A3 (cs) Způsob zpracování obráběného kusu
JP6731793B2 (ja) ウェーハ加工システム
JP2013193156A (ja) 研削装置、及び、研削方法
JP2018160627A (ja) ウエーハの研磨方法及び研磨装置
JP5357477B2 (ja) 研削方法および研削装置
US12062569B2 (en) Processing apparatus and processing method
JP2017056523A (ja) 研削装置
JP6598668B2 (ja) 研削装置
JP5335245B2 (ja) ウェーハの研削方法および研削加工装置
KR20190010438A (ko) 연삭 장치
JP4966069B2 (ja) 加工装置
JP5036426B2 (ja) 研削装置
US20220184774A1 (en) Grinding method of workpiece
JP7242142B2 (ja) 被加工物の加工方法
JP7451043B2 (ja) 被加工物の研削方法及び研削装置
JP2022032755A (ja) 加工システム及び加工方法
TW202032644A (zh) 基板處理裝置及基板處理方法
JP2019160903A (ja) 被加工物の研削方法。
WO2024171883A1 (ja) 研削方法及び研削装置
JP2022018648A (ja) 基板処理装置及び記憶媒体
US20240198489A1 (en) Grinding wheel and grinding method
TW202346024A (zh) 研削裝置以及晶圓的研削方法
JP2024114432A (ja) ドレッサー、ドレッシング方法、及びバイト切削装置
JP2020127973A (ja) 研削装置