CZ2002256A3 - Inspekční zařízení pro součástky - Google Patents

Inspekční zařízení pro součástky Download PDF

Info

Publication number
CZ2002256A3
CZ2002256A3 CZ2002256A CZ2002256A CZ2002256A3 CZ 2002256 A3 CZ2002256 A3 CZ 2002256A3 CZ 2002256 A CZ2002256 A CZ 2002256A CZ 2002256 A CZ2002256 A CZ 2002256A CZ 2002256 A3 CZ2002256 A3 CZ 2002256A3
Authority
CZ
Czechia
Prior art keywords
image
component
light
video camera
images
Prior art date
Application number
CZ2002256A
Other languages
English (en)
Inventor
Peter Bollinger
Original Assignee
Pulsotronic Merten Gmbh & Co. Kg
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Pulsotronic Merten Gmbh & Co. Kg filed Critical Pulsotronic Merten Gmbh & Co. Kg
Publication of CZ2002256A3 publication Critical patent/CZ2002256A3/cs

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08Monitoring manufacture of assemblages
    • H05K13/081Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines
    • H05K13/0812Integration of optical monitoring devices in assembly lines; Processes using optical monitoring devices specially adapted for controlling devices or machines in assembly lines the monitoring devices being integrated in the mounting machine, e.g. for monitoring components, leads, component placement

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Operations Research (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Adjustment And Processing Of Grains (AREA)
  • Beans For Foods Or Fodder (AREA)
  • Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
  • Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
  • Transplanting Machines (AREA)
  • Control Of Motors That Do Not Use Commutators (AREA)
  • Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
  • Ceramic Capacitors (AREA)
  • Studio Devices (AREA)
  • Measurement Of The Respiration, Hearing Ability, Form, And Blood Characteristics Of Living Organisms (AREA)
  • Closed-Circuit Television Systems (AREA)
  • Sorting Of Articles (AREA)

Description

INSPEKČNÍ ZAŘÍZENÍ PRO SOUČÁSTKY
Oblast techniky
Vynález se týká inspekčního zařízení pro součástky, s videokamerou, která snímá obrazy součástky.
Dosavadní stav techniky
Osazení elektrických desek plošných spojů součástkami se provádí sériovým zpracováváním na osazovacích automatech, které vždy přivádějí součástku na její místo, aby se zde mohlo pájet nebo vázat. Součástky, u nichž se často jedná o miniaturizované součástky, jejichž velikost leží v oblasti řádově 1 až 10 mm, se musí před jejich zpracováváním kontrolovat, aby bylo jisté, že součástka je pro zpracování intaktní. Zejména musí být zabezpečeno, aby součástka měla všechny vývody (nožky) a aby tyto zaujímaly správnou polohu. Taková inspekce se provádí obvykle videokamerou a připojeným počítačem, který je vhodný pro zpracování obrazu a snímaný videoobraz se porovnává se standardním obrazem součástky předem uloženým v paměti. Tímto způsobem se může bez zásahu člověka posoudit, je neporušený.
Pro kompletní inspekci je zapotřebí snímat součástku z různých směrů. U obrazu, který je snímán jenom v jednom jediném směru, mohou zůstat vady součástky skryty.
U miniaturizovaných součástek je současné snímání více obrazů obtížné z prostorových důvodů kvůli nutnosti několika videokamer.
Vynález si klade za úkol, poskytnout inspekční zařízení pro součástky, které dovoluje snímat současně obrazy součástky z různých směrů a které je také vhodné pro miniaturní součástky.
• 4
4 • 4 * ·44 ··· 444 444 ··· «4 44 4444 «4 444«
Podstata vynálezu
Řešení této úlohy se provádí podle vynálezu s význaky uvedenými v patentovém nároku 1.
U inspekčního zařízení podle vynálezu se jednou jedinou kamerou snímá více obrazů součástky z různých směrů, přičemž v dráze paprsků alespoň jednoho obrazu je umístěno optické odchylovací zařízení. Tím mohou být oba obrazy, které jsou snímány současně z různých směrů, přiváděny do videokamery ze stejného směru příjmu, takže oba obrazy mohou být reprodukovány na různých místech videoobrazu. Podle vynálezu se využívá pro reprodukci více obrazů jedna jediná videokamera. Tím se provádí také vyhodnocení obrazu automatickým zpracováním obrazu na základě jednoho jediného videoobrazu. Inspekční zařízení může být použito za prostorově velmi omezených poměrů a hodí se zejména pro vyhodnocování a posuzování miniaturních součástek, protože není nutné zaměřovat více videokamer na jedinou součástku.
Jako videokamera se hodí zejména CCD-kamera se senzorovým polem z paměťových nábojových elementů, které jsou ovlivněny světelnými signály. Rozdílné obrazy dopadají sice vzájemně vůči sobě paralelně na objektiv videokamery, jsou však bočně navzájem posunuty, takže se navzájem nemohou překrývat.
Podle jednoho dalšího výhodného provedení vynálezu existuje v dráze paprsku jednoho z obrazů mezi součástkou a videokamerou zařízení vyrovnávající délky, které dává dráze tohoto paprsku stejnou délku, jakou má druhá dráha paprsku.
Tímto způsobem se videokamerou ostře zobrazí oba obrazy společně. Toto délky vyrovnávající zařízení může sestávat ze zrcadel nebo s výhodou z uspořádání hranolů, které produkují klikatou dráhu paprsku.
Vynález nabízí možnost současně zobrazovat a
- 3 • · · « · • · · · 1 ·* ···· vyhodnocovat více součástek videokamerou. K tomu slouží zařízení na sloučení drah paprsků, které přivádí obrazy obou od sebe vzdálených součástek současně na videokameru. Takové zařízení, které paprsky skládá dohromady, sestává ze zařízení se zrcadly nebo s uspořádáním hranolů. Jeho použití předpokládá, že součástky jsou vždy současně ve dvou definovaných polohách s distancí.
Pro definovanou a reprodukovatelnou inspekci jsou vyžadovány definované poměry osvětlení. Při osvětlování objektu je třeba zamezit výskytu oslnění a podobných vlivů. Podle dalšího provedení vynálezu existují dvě osvětlovací zařízení, z nichž je jedno určeno pro první obraz a druhé pro druhý obraz součástky. Obě osvětlovací zařízení vysílají světlo s různými vlastnostmi světla tak, aby světlo prvního obrazu nebylo rušeno osvětlením druhého obrazu. Různými vlastnostmi světla mohou být například rozdílné vlnové délky nebo také různé směry polarizace. Důležité je, že se provádí pro každý obraz selektivní osvětlení, které druhý obraz nepostřehne. Separace snímaných obrazů se může provádět příslušnými filtry.
U jedné výhodné formy provedení vynálezu osvětluje osvětlovací zařízení součástku v dopadajícím světle na stejné straně, ze které je obraz snímán, a druhé osvětlovací zařízení osvětluje součástku v odraženém světle. Směry snímání obou obrazů jsou s výhodou vzájemně pravoúhlé.
Jestliže osvětlovací zařízení vysílají světlo různých vlnových délek, může se jako videokamera použít černobílá kamera nebo barevná kamera. U černobílé kamery musí být zajištěno, že je citlivá pro obě zvolené vlnové délky.
• · ·
Přehled obrázků na výkresech
Vynález bude blíže vysvětlen - s ohledem na vztahové značky - prostřednictvím konkrétních příkladů provedení znázorněných na výkresech, na kterých představuje obr. 1 schematický bokorys inspekčního zařízení, obr. 2 pohled ze směru šipky II z obr. 4, obr. 3 schematický pohled konstrukčního provedení inspekčního zařízení ze stejného pohledu jako na obr. 1, obr. 4 pohled z obr. 3 ze směru šipky IV, obr. 5 zobrazení videoobrazu produkovaného ve videokameře obr. 6 mechanické znázornění osvětlovacích zařízení nařízených na součástku obr. 7 pohled ze směru šipky VII z obr. 6.
Příklady provedení vynálezu
Inspekční zařízení vykazuje početná nosná zařízení 10, u kterých se zde jedná o sací pipety, které nasávají tenkým sacím otvorem vzduch, čímž přitahují součástku 11 proti vzduchovému sacímu otvoru a přidržují ji. Nosná zařízení 10 jsou uspořádána v řadě na nekonečně probíhajícím transportéru, který se pohybuje krokově ve strojovém taktu.
Součástkami 11 jsou zde například tranzistory s tělem 12 a vývody 13,14/které z něho na protější straně vystupují. Na jedné straně stojí dva vývody 13 a na druhé jeden vývod 14. Vývody jsou dvakrát ohnuty a mají vždy jeden nasazovací úsek 15, který se plošně nasazuje na desku plošných spojů a s vodivou dráhou může být připájen. Inspekční zařízení kontroluje mimo jiné, jestli existují všechny vývody 13 a 14 a jestli tyto „nožky stoji správně.
Podle obrázku 1 jsou na dvou místech transportní cesty nosného zařízení desek polohy snímání 16,17, ve kterých se provádí zobrazení součástek 11, 11a videokamerou. Mezi oběma polohami snímání se rozprostírá zařízení na sloučení paprsků 18 sestávající z prvního hranolu 19 a druhého hranolu 20. Každý z těchto hranolů 19,20 vede obraz příslušné součástky 11, respektive 11a k objektivu kamery 21, přičemž dráhy paprsků obou obrazů jsou znázorněny čárkovaně. Je vidět, že oba obrazy jsou dodávány do objektivu 21 vzájemně paralelně, avšak bočně přesazeny, takže na senzoru videokamery se zobrazují oba obrazy na různých místech. Dráhy paprsků obou součástek 11,11a k objektivu 21 jsou na obrázku 1 znázorněny čárkovaně. Tyto dráhy paprsků probíhají nejprve vzájemně paralelně ve velkém odstupu, aby se potom pravoúhle navzájem přiblížily a konečně paralelně spolu vyústily s malým odstupem do objektivu 21.
Zařízení na sloučení paprsků 18 a polohy snímání 16,17 se nacházejí na předsazení objektivu 22, které upevňuje kameru na objektivu 21 a je umístěno před ním. Podél tohoto předsazení 22 se pohybují nosná zařízení 10.
Obrázek 2 ukazuje součástku 11, která je přisávána a držena nosným zařízením 10, ze směru šipky II z obr. 1. Součástka se snímá videokamerou z prvního směru 23 (zdola) a z druhého směru 24 (ze strany). Oba směry 23,24 jsou navzájem kolmé. Směr 23 je součástí dráhy paprsku 25 a směr 24 je součástí dráhy paprsku 26. Směry 23,24 udávají zorný směr videokamery. Světelné paprsky probíhají naproti tomu v opačném směru od součástky k videokameře.
V dráze paprsku 25 se nachází zařízení na vyrovnávání délek drah 27 skládající se ze dvou hranolů, které prodlužuje dráhu paprsku 25 a činí ji tak dlouhou, jako je dráha druhého paprsku 26. Tím, že obě dráhy paprsků 25,26 mají do značné míry stejnou délku, je možné zaostření obou
4 4 4 4 4 4 * 4 4 4
44·· 4 » 4«» »
4» 444 44» ··· »· «« 4*44 «· <·* obrazů na videokameře. Zařízení na vyrovnávání délek drah 27 je zdokonaleno tak, aby přicházející paprsek a odcházející paprsek probíhaly paralelně.
Obrázek 5 ukazuje videoobraz, který se zhotovuje z obou součástek 11,11a. Součástka 11 je reprodukována ve dvou obrazech (28,29), přičemž obraz 28 představuje pohled shora, a obraz 29 pohled z boku. Součástka 11a je reprodukována rovněž ve dvou obrazech 28a, 29a. Všechny čtyři obrazy jsou produkovány společně na senzoru videokamery a mohou být společně reprodukovány na obrazovce.
Dráha paprsku 26, která nejprve probíhá paralelně s dráhou paprsku 25, se optickým odchylovacím zařízením 30 pravoúhle vede tak, aby potom dopadal ze směru 24 bočně na součástku 11.
Osvětlení součástky se provádí pro každý z obou obrazů 28,29 světlem různých vlastností. První osvětlovací zařízení 31 (obrázky 6 a 7) osvětluje součástku zdola. Toto osvětlovací zařízení vykazuje dva zdroje světla 32, které jsou uspořádány horizontálně a jejích světlo je pokaždé usměrňováno kolmo nahoru hranolem 33. Zdroje světla 32 se mohou spolu s příslušným hranolem 33 otáčet kolem hlavní osy odraženého paprsku 34 a nastavovat tak, aby byly nastaveny různé úhly nachýlení, jak je to znázorněno na obr. 7 u 34, Zdroje světla 32 jsou umístěny se vzájemným odstupem tak, že se každý zdroj světla nachází šikmo pod součástkou 11- Dráha paprsku videokamery prochází mezi oběma zdroji světla 32. Spodní strana součástky 11 je snímána v dopadajícím světle tím, že je osvěcována osvětlovacím zařízením 31.
Druhé osvětlovací zařízení 35 je umístěno bočně vedle součástky 11, a sice na protilehlé straně ke straně snímání. To znamená, že směr snímání 24 ukazuje na osvětlovací zařízení 35. Součástka 11 je snímána z tohoto směru 24 v odraženém světle, to znamená že odpovídající obraz 29 • · · · • t · • ··· • · · • · · «··· · • · · » * · • · · • · ··«· • v · • fr • · • · «·· · ukazuje siluetu součástky.
Osvětlovací zařízení 31,35 pracují se světlem různých vlnových délek. Zdroje světla osvětlovacího zařízení 31 vysílají například červené světlo a ty z osvětlovacího zařízení 35 vysílají zelené světlo. Podle toho se nachází podle obrázku 2 - v dráze paprsku 2 5 červený filtr R, který propouští jenom červené světlo, a v dráze paprsku 26 se nachází zelený filtr G, který propouští jenom zelené světlo. Tím se snímá obraz 28 při červeném světle a obraz 29 při zeleném světle. Oba druhy světla se navzájem neruší a nevyskytují se žádné rušivé jevy oslnění.
Obrázky 3 a 4 ukazují konstrukční uspořádání inspekčního zařízení. Bezprostředně před objektivem 21 videokamery 40 je upevněno předsazení 22, které obsahuje komponenty představené na obrázcích 1 a 2. Objektiv 21 videokamery 40 je upevněn držákem 41 na rámu přístroje 42. Úhlový držák 43 nese osvětlovací zařízení 31. Na tomto úhlovém držáku jsou upevněny zdroje světla 32 pomocí šroubů 44. Hranol 33, který světlo zdroje 32 směruje nahoru, se nachází pod dráhou chodu držáku 10. Součástky 11 probíhají dráhou transportu tím způsobem, že jejich vývody 13,14 ukazují dopředu a dozadu. Osvětlovací zařízení 35 se nachází jako pole světelné diody na úhlovém držáku 43.

Claims (7)

  1. PATENTOVÉ NÁROKY
    1. Inspekční zařízení pro součástku (11) s videokamerou (40), která snímá první obraz (28) součástky (11) z prvního směru (23), a optickým odchylovacím zařízením (30), kterým se získává druhý obraz (29) součástky (11), z druhého směru (24) se přivádí do videokamery, přičemž oba obrazy (28,29) jsou reprodukovány na různých místech videokamerou vytvořeného obrazu, vyznačující se tím, že směry, ze kterých jsou oba obrazy snímány, jsou namířeny na různé strany snímací oblasti a v dráze paprsku (25) jednoho obrazu (28,29) mezí součástkou (11) a videokamerou (40) je zařízení [27} vyrovnávající délku dráhy paprsku,
    které dá dráze tohoto paprsku stejnou délku, jakou má druhá dráha paprsku (26). 2. Inspekční zařízení podle nároku 1, vyznačující se tím, že dráhy paprsků (25,26) obou
    obrazů (28,29) dopadají vzájemně paralelně na videokameru (40) .
  2. 3. Inspekční zařízení podle nároku 1 nebo 2, vyznačující se tím, že je opatřeno zařízením na slučování paprsků (18), které přivádí obrazy dvou od sebe vzdálených oblastí snímání součástek (11,11a) současně do videokamery.
  3. 4. Inspekční zařízení podle některého z nároků 1 až 3, vyznačující se tím, že je opatřeno prvním osvětlovacím zařízením (31), které osvětluje součástku (11) pro zhotovení prvního obrazu (28), a druhým osvětlovacím zařízením (35), které osvětluje součástku (11) pro zhotovení • I φ • ··· φ * φφφ φ • · φ φφφ φ·· ···· ·· ·« ·Φ·Φ ·· φφφφ druhého obrazu (29), a že osvětlovací zařízení (31,35) vysílá světlo s různými světelnými vlastnostmi tak, že světlo jednoho obrazu není osvětlením druhého obrazu rušeno.
  4. 5. Inspekční zařízení podle nároku 4, vyznačující se tím, že různými světelnými vlastnostmi jsou různé vlnové délky.
  5. 6. Inspekční zařízení podle některého z nároků 1 až 5, vyznačující se tím, že osvětlovací zařízení (31) osvětluje součástku (11) v dopadajícím světle na téže straně, ze které je snímán obraz (28), a že druhé osvětlovací zařízení (35) osvětluje součástku (11) v odraženém světle.
  6. 7. Inspekční zařízení podle některého z nároků 1 až 6, vyznačující se tím, že alespoň jedno osvětlovací zařízení (31,35) obsahuje zdroj světla (32), který je namontován otočně kolem hlavní osy paprsku (34) a je spojen se spolu rotujícím odchylovacím zařízením (33).
  7. 8. Inspekční zařízení podle některého z nároků 1 až 7, vyznačující se tím, že osvětlovací zařízení (31) vykazuje dva zdroje světla (32), a že dráha paprsku (25) jednoho z obrazů (28) prochází mezi těmito zdroji světla.
CZ2002256A 1999-07-23 2000-06-30 Inspekční zařízení pro součástky CZ2002256A3 (cs)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
DE19934619A DE19934619A1 (de) 1999-07-23 1999-07-23 Inspektionsvorrichtung für Bauteile

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CZ2002256A3 true CZ2002256A3 (cs) 2002-06-12

Family

ID=7915831

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CZ2002256A CZ2002256A3 (cs) 1999-07-23 2000-06-30 Inspekční zařízení pro součástky

Country Status (17)

Country Link
US (1) US7019771B1 (cs)
EP (1) EP1198979B1 (cs)
JP (1) JP4415155B2 (cs)
KR (1) KR20020024308A (cs)
CN (1) CN1364403A (cs)
AT (1) ATE233988T1 (cs)
AU (1) AU5535800A (cs)
CA (1) CA2380276A1 (cs)
CZ (1) CZ2002256A3 (cs)
DE (2) DE19934619A1 (cs)
HK (1) HK1048044B (cs)
IL (2) IL147678A0 (cs)
MY (1) MY122774A (cs)
NO (1) NO20020323L (cs)
SK (1) SK842002A3 (cs)
TW (1) TW508984B (cs)
WO (1) WO2001008461A1 (cs)

Families Citing this family (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102004008082A1 (de) * 2004-02-19 2005-09-08 Marconi Communications Gmbh Verfahren zum Bestücken eines Schaltungsträgers
JP4652883B2 (ja) * 2005-04-28 2011-03-16 日本発條株式会社 測定装置及び測定方法
US20080141795A1 (en) * 2006-12-13 2008-06-19 Gagnon Daniel F Micro-surface inspection tool
JP5094428B2 (ja) * 2008-01-09 2012-12-12 ヤマハ発動機株式会社 部品認識装置および実装機
JP5094534B2 (ja) * 2008-04-30 2012-12-12 富士機械製造株式会社 電子部品の実装装置
JP4897076B2 (ja) * 2010-08-19 2012-03-14 日本発條株式会社 測定装置及び測定方法
JP2012042436A (ja) * 2010-08-23 2012-03-01 Hitachi High-Technologies Corp Fpdモジュールの位置決めマーク認識装置及びfpdモジュールの組立装置
DE102010053912B4 (de) * 2010-12-09 2013-01-31 Mühlbauer Ag Optische Untersuchungseinrichtung und optisches Untersuchungsverfahren
JP5963500B2 (ja) * 2012-03-29 2016-08-03 ヤマハ発動機株式会社 電子部品装着装置
JP5954757B2 (ja) * 2015-01-09 2016-07-20 上野精機株式会社 外観検査装置
JP6786593B2 (ja) * 2015-08-26 2020-11-18 アーベーベー・シュバイツ・アーゲーABB Schweiz AG 多視点による対象検査装置及び方法
CH711570B1 (de) 2015-09-28 2019-02-15 Besi Switzerland Ag Vorrichtung für die Montage von Bauelementen auf einem Substrat.

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4914513A (en) * 1988-08-02 1990-04-03 Srtechnologies, Inc. Multi-vision component alignment system
JPH03203399A (ja) * 1989-12-29 1991-09-05 Matsushita Electric Ind Co Ltd 部品装着装置
US4959898A (en) * 1990-05-22 1990-10-02 Emhart Industries, Inc. Surface mount machine with lead coplanarity verifier
NL9100215A (nl) * 1991-02-07 1992-09-01 Asm Lithography Bv Inrichting voor het repeterend afbeelden van een maskerpatroon op een substraat.
SE515418C2 (sv) * 1994-10-12 2001-07-30 Mydata Automation Ab Metod och anordning att avbilda i en rad fasthållna komponenter för automatisk utvärdering av komponenternas lägen samt användning av en sådan anordning
JP3647146B2 (ja) * 1996-06-20 2005-05-11 松下電器産業株式会社 電子部品実装装置および電子部品実装方法
JPH10313197A (ja) * 1997-05-13 1998-11-24 Kiyoshi Matsumoto 表面実装用電子部品位置決め装置
AU8472898A (en) * 1997-06-30 1999-01-19 Semiconductor Technologies & Instruments, Inc. Method and apparatus for inspecting a workpiece
US6072898A (en) * 1998-01-16 2000-06-06 Beaty; Elwin M. Method and apparatus for three dimensional inspection of electronic components
DE19821800A1 (de) * 1998-05-15 1999-12-02 Foerderung Angewandter Informa Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen von Seitensichten und Draufsicht von Objekten aus einer Sichtposition
US6410872B2 (en) * 1999-03-26 2002-06-25 Key Technology, Inc. Agricultural article inspection apparatus and method employing spectral manipulation to enhance detection contrast ratio
US6879390B1 (en) * 2000-08-10 2005-04-12 Kla-Tencor Technologies Corporation Multiple beam inspection apparatus and method
JP2003130808A (ja) * 2001-10-29 2003-05-08 Hitachi Ltd 欠陥検査方法及びその装置
US6813016B2 (en) * 2002-03-15 2004-11-02 Ppt Vision, Inc. Co-planarity and top-down examination method and optical module for electronic leaded components

Also Published As

Publication number Publication date
DE19934619A1 (de) 2001-01-25
CN1364403A (zh) 2002-08-14
JP4415155B2 (ja) 2010-02-17
ATE233988T1 (de) 2003-03-15
IL147678A (en) 2006-07-05
NO20020323L (no) 2002-03-19
JP2003517723A (ja) 2003-05-27
HK1048044B (zh) 2003-07-18
CA2380276A1 (en) 2001-02-01
AU5535800A (en) 2001-02-13
HK1048044A1 (en) 2003-03-14
DE50001407D1 (de) 2003-04-10
EP1198979A1 (de) 2002-04-24
KR20020024308A (ko) 2002-03-29
EP1198979B1 (de) 2003-03-05
SK842002A3 (en) 2002-10-08
MY122774A (en) 2006-05-31
NO20020323D0 (no) 2002-01-21
WO2001008461A1 (de) 2001-02-01
US7019771B1 (en) 2006-03-28
IL147678A0 (en) 2002-08-14
TW508984B (en) 2002-11-01

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6141040A (en) Measurement and inspection of leads on integrated circuit packages
EP0385625B1 (en) Method and apparatus for inspection of substrates
US4965665A (en) 3D imaging of a substrate using perpendicular scanning directions
US6055055A (en) Cross optical axis inspection system for integrated circuits
JP2002529711A (ja) ステレオ映像ライン走査センサを有する電子部品組立装置
CZ2002256A3 (cs) Inspekční zařízení pro součástky
JP2009168582A (ja) 外観検査装置
EP1278853A2 (en) Listeria monocytogenes genome, polypeptides and uses
JPH07502408A (ja) 植物の光学的品質管理および/または分類方法および装置
KR20060129791A (ko) 자동 광학 검사 시스템 및 방법
JPH1068614A (ja) 撮像装置
EP0871027A2 (en) Inspection of print circuit board assembly
EP1978353B1 (en) Multiple surface inspection system and method
JPH09304030A (ja) 半導体パッケージの端子検査装置
JP4278386B2 (ja) 改良された照明器を有するカメラ
KR20020093507A (ko) 부품 검사 장치
JP3002389B2 (ja) 皮剥端子圧着機における電線処理部検査装置
JPH05288527A (ja) 実装基板外観検査方法およびその装置
KR100576392B1 (ko) 비전 검사 장치
JP3687392B2 (ja) 電子部品のリード検査方法及び装置
JPH1078309A (ja) 撮像装置
JPH09155786A (ja) 電子部品の撮像装置
JP2001513594A (ja) 素子の端子の位置検出および/またはコプラナリティ検査および/または分離検査のための方法および装置
JP3315000B2 (ja) X線フィルム検査装置及び電力ケーブルのx線検査方法
JP2005093906A (ja) 部品認識装置及び同装置を搭載した表面実装機並びに部品試験装置