DE19821800A1 - Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen von Seitensichten und Draufsicht von Objekten aus einer Sichtposition - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen von Seitensichten und Draufsicht von Objekten aus einer SichtpositionInfo
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Abstract
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Prüfen von Objekten aus Seitensichten und Draufsicht von Objekten aus einer Sichtposition unter Nutzung einer Aufnahmeeinrichtung (2) sowie einer Auswerte- und Speichereinheit (6) mit Bildverarbeitung und Bildauswertung. Erfindungsgemäß werden gemäß Figur 1 von den Objekten (1) mit den sich auf ihnen befindlichen Symbolen und Strukturen strukturellen und texturellen Charakteristika durch eine Aufnahmeeinrichtung (2) aus einer Sichtposition gleichzeitig Bilder, die die Draufsicht und die Seitensichten des Objektes (1) enthalten, erstellt und an die Auswerte- und Speichereinheit (6), die z. B. ein PC sein kann, weitergeleitet. Diese Auswerte- und Speichereinheit (6) bestimmt in dem Bild Bereiche, die der Draufsicht bzw. den Seitensichten entsprechen und wertet diese für einen Vergleich mit vorgegebenen Parametern aus.
Description
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Prüfen von
Seitensichten und Draufsicht von Objekten aus einer Sichtposition.
Die Erfindung liegt im Bereich des Prüfen von Seitensichten und Draufsicht von
Objekten aus einer Sichtposition, so wie es z. B. im Prozeß der Schaltkreisfertigung
und -konfektionierung, aber auch bei anderen Objektkontrollen durchzuführen ist.
Hierbei ist es insbesondere notwendig, die sich auf der Oberseite von Schaltkreisen
befindlichen Aufdrucke auf ihr Vorhandensein und auf ihre Qualität sowie ihre
Erkennbarkeit hin zu prüfen, um Verwechslungen auszuschließen. Gleichzeitig ist es
notwendig, die sich an der Unterseite der Schaltkreise befindlichen Beinchen in ihrer
wechselseitigen Lage dahingehend zu vermessen, ob sie alle in einer Ebene liegen
oder nicht um mehr als ein gegebenes Maß von dieser Ebenheit abweichen, damit
sie z. B. in einem nachfolgenden Lötprozeß vom Lot gleichzeitig und sicher erfaßt
werden können. Die Erfassung dieses Maßes, also die Abweichung der Beinchen
von einer ebenen Auflagefläche, wird als Koplanaritätsprüfung bezeichnet. Diese
Koplanaritätsprüfung kann dabei aus der Seitensicht auf die Beinchenreihen an den
einzelnen Seiten des Schaltkreises erfolgen.
Bekannt im Stand der Technik ist, daß in mit Durchlicht erzeugten Bildern, die im
Grundsatz binären Charakter, der nur in Kantenbereichen durchbrochen wird, haben,
d. h. von ihren eigentlichen physikalisch zu erwartenden Gegebenheiten nur zwei
Helligkeitsniveaus aufweisen, geometrische Größen wie Abstände in diesen Bildern
vermessen und auf die realen Größenverhältnisse umgerechnet werden können
(Stand und Trends der Bildverarbeitung in NRW, S. 64-65 u. S. 94-95, Ministerium
für Wirtschaft, Mittelstand und Technologie des Landes Nordrhein-Westfalen,
Düsseldorf 1955; R. Mende, Messende Bildverarbeitung in der Automati
sierungstechnik, in Symposium Aktuelle Entwicklungen und Realisierungen der
Bildverarbeitung, 5. u. 6. September 1996, Aachen, Ministerium für Wirtschaft,
Mittelstand und Technologie des Landes Nordrhein-Westfalen). In mit Durchlicht
aufgenommenen Bildern können bekanntermaßen Subpixelverfahren angesetzt
werden. Durchlichtverfahren mit Subpixelvermessungen werden gleichfalls in der von
Qtec angegebenen Lösung (in: Industrielle Bildverarbeitung/Machine Vision, VDMA,
Fachgemeinschaft Robotik+Automation, Maschinenbau Verlag GmbH, Frankfurt/M.
1997) beschrieben, allerdings nur aus einem direkt von der Oberfläche aufge
nommenen Bild und ohne integrierte Schriftqualitätskontrolle. Subpixelverfahren
nutzen gängigerweise die Bestimmung eines Kantenüberganges zwischen einem
unteren und einem oberen Intensitätswert zur Ableitung eines präzisen
geometrischen Ortes. Der Einsatz des Lesens von auf Produkten aufgebrachter
Klarschrift ist Stand der Technik (R. Koy-Oberthür, Übersicht industrieller
Anwendungen der Klarschrift- und Barcode-Identifikation, Symposium, Aktuelle
Entwicklungen und Realisierungen der Bildverarbeitung, 11. u. 12. September 1997,
Aachen, Ministerium für Wirtschaft, Mittelstand und Technologie des Landes
Nordrhein-Westfalen. In T. Schroeter, Einsatz der Bildverarbeitung zur
Druckvollständigkeitskontrolle, Symposium, Aktuelle Entwicklungen und Reali
sierungen der Bildverarbeitung, 11. u. 12. September 1997, Aachen, Ministerium für
Wirtschaft, Mittelstand und Technologie des Landes Nordrhein-Westfalen), ist
gleichfalls ein Verfahren beschrieben, das die Vollständigkeit eines Aufdruckes
feststellt, d. h. diesen auf fehlende Zeichen hin kontrolliert. Dieses Verfahren nutzt
die sogenannte Histogramminformation aus. Bekannt aus dem Stand der Technik
(ICOS-Produktbeschreibung) ist, daß die Koplanaritätsprüfung mit Hilfe optischer
Verfahren, die Spaltbreiten vermessen können, durchgeführt wird. In der von QTec
beschriebenen Lösung wird hierbei aus der Untersicht des zu kontrollierenden
Schaltkreises ein Bild, das die Sichten auf Schattenwürfe der Beinchenreihen zuläßt,
aufgenommen. Das von der Trigon Adcotech beschriebene
Koplanaritätskontrollgerät SMD9000 verwendet fünf CCD-Kameras zur Aufnahme
der auszuwertenden Bilder zur Kontrolle der Koplanarität, eine für jede Seitensicht
und eine für die Draufsicht. Nachteilig ist die Anzahl der benötigten Kameras sowie
das Nichtaneinandergebundensein der einzelnen Sichten.
In der von Qtec angegebenen Lösung (in: Industrielle Bildverarbeitung/Machine
Vision, VDMA, Fachgemeinschaft Robotik+Automation, Maschinenbau Verlag
GmbH, Frankfurt/M. 1997) ist nachteilig, daß die Auswertung nur aus einem direkt
von einer einzelnen Seite des zu kontrollierenden Objektes aufgenommenen Bild
heraus erfolgt und daß so auch keine Schriftqualitätskontrolle integriert ist. Nachteilig
an Subpixelverfahren, die die Bestimmung eines Kantenüberganges zwischen
unterem und oberem Intensitätsniveau für die Angabe eines präzisen geometrischen
Ortes nutzen, ist, daß sich diese beiden Intensitätsniveaus insbesondere bei sehr
kleinen Spalten nur ungenügend ausbilden, so daß z. B. das obere Intensitätsniveau
sich bei Spalten unterschiedlicher Breite voneinander unterscheidet.
Nachteilig bei den zum Stand der Technik angegebenen Lösungen zur
Schriftdetektion (R. Koy-Oberthür, Übersicht industrieller Anwendungen der
Klarschrift- und Barcode-Identifikation, Symposium, Aktuelle Entwicklungen und
Realisierungen der Bildverarbeitung, 11. u. 12. September 1997, Aachen,
Ministerium für Wirtschaft, Mittelstand und Technologie des Landes Nordrhein-
Westfalen) ist, daß sie das Ziel anstreben, die einzelnen in der Schrift enthaltenen
Symbole zu erkennen, nicht aber ein bewertendes Maß für deren überhaupt
gegebene Lesbarkeit ableiten. Gerade dies ist aber in solchen Fällen notwendig und
vernünftig, wenn der Inhalt des Aufdruckes an sich bekannt ist, aber dessen
potentielle Lesbarkeit, z. B. für Haftungs- und Kontrollfälle garantiert sein muß.
Nachteilig bei dem in T. Schroeter, Einsatz der Bildverarbeitung zur
Druckvollständigkeitskontrolle, Symposium, Aktuelle Entwicklungen und Realisierungen
der Bildverarbeitung, 11. u. 12. September 1997, Aachen, Ministerium für
Wirtschaft, Mittelstand und Technologie des Landes Nordrhein-Westfalen genannten
Verfahren ist, daß es die gesamte bedruckte Fläche abschätzt, nicht aber ein
bewertendes Maß für deren überhaupt gegebene Lesbarkeit, das sich an den
Kontrastübergängen von Aufdruck und Nichtaufdruck, die letztendlich die Lesbarkeit
bestimmen, festhält, ableitet. Nachteilig ist bei der ICOS-Produktbeschreibung, daß
die beschriebene Einrichtung nicht direkt einen in der Aufnahme zu sehenden Spalt,
der letztendlich zur Beurteilung der Koplanarität dient, auf dessen Breite hin vermißt,
sondern den Ort eines erzeugten Schattens zu Vermessung benutzt. Der Ort des
Schattens eines zu vermessenen Beinchens auf einer Grundfläche wird aber nicht
nur durch dessen Abstand von dieser Grundfläche, auf der sich der Schatten
abbildet, sondern auch von dem Ort des Beinchens über dieser Grundfläche sowie
von der konkreten Form des Beinchens beeinflußt. Nachteilig an der beschriebenen
Einrichtung ist gleichfalls, daß sie a-priori nicht die gleichfalls zu kontrollierende
Schrift auf der Oberfläche des Objektes sieht und daß sie darüber hinaus mehrere
einzelne Lichtquellen benötigt, um das für die Auswertung benötigte Schattenbild zu
erzeugen. Das von der Trigon Adcotech beschriebene Koplanaritätskontrollgerät
SMD9000 verwendet fünf CCD-Kameras zur Aufnahme der auszuwertenden Bilder
zur Kontrolle der Koplanarität, wenigstens eine für jede Seitensicht. Nachteilig ist die
Anzahl der benötigten Kameras sowie deren nicht aneinander gebundene Sichten.
Es ist daher Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren und eine Vorrichtung
zu schaffen, die es gestatten, strukturelle und/oder texturelle Inhalte in der Draufsicht
und den Seitensichten von Objekten aus einer Sichtposition heraus zu prüfen.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt erfindungsgemäß durch ein Verfahren und eine
Vorrichtung mit den in Anspruch 1 bzw. 5 angegebenen Merkmalen.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung ergeben sich aus den jeweiligen
Unteransprüchen.
Weitere Einzelheiten und Vorteile von Ausführungsbeispielen der Erfindung ergeben
sich aus der nachfolgenden Beschreibung unter Verweis auf die angefügten Zeich
nungen.
Fig. 1: Teilweise vereinfachter Gesamtaufbau einer Ausführungsform einer erfin
dungsgemäßen Vorrichtung zum Prüfen von strukturellen und/oder texturellen
Inhalten in Seitensichten und der Draufsicht von Objekten aus einer Sicht
position unter Nutzung einer Aufnahmeeinrichtung sowie Auswerte- und
Speichereinrichtung mit Bildverarbeitung und Bildauswertung.
Fig. 2: Beispiel eines Objektes mit aus einer Sichtposition aufgenommenen Seiten
sichten und Draufsicht.
Fig. 3: Ein Ausschnitt einer Ausführungsform der Vorrichtung mit in den über die
Strahlumlenkeinrichtungen auf die Seitensichten zwischen Aufnahmeeinrich
tung und Strahlumlenkeinrichtungen in den Strahlengang eingebrachten Lin
sensystemen zur Änderung des Detailliertheitsgrades in den Seitenan
sichten.
Fig. 4: Ein Ausschnitt einer Ausführungsform der Vorrichtung mit vorteilhaft ange
ordneten Beleuchtungseinrichtungen zur Erzeugung von Drauflicht und
relativem Durchlicht.
Fig. 5: Draufsicht einer Ausführungsform einer Lichtstreueinrichtung mit Durchbruch.
Fig. 6: Darstellung des Intensitätsprofiles eines Spaltenschnittes zwischen einem
Beinchen des Objektes und der Auflage.
Fig. 1 zeigt den Gesamtaufbau einer Ausführungsform einer erfindungsgemäßen
Vorrichtung zum Prüfen von strukturellen und/oder texturellen Inhalten in den Seiten
sichten und der Draufsicht von Objekten (1) aus einer Sichtposition unter Nutzung
einer Aufnahmeeinrichtung (2) sowie Bildverarbeitung und Bildauswertung in einer
nicht näher beschriebenen Auswerte- und Speichereinheit (6). Die Aufnahme
einrichtung (2) nimmt ein Bild des Objektes (1) auf und leitet dieses Bild an eine nicht
weiter ausgeführte Auswerte- und Speichereinrichtung (6), die ein Personalcomputer
sein kann, weiter. Die Auswerte- und Speichereinrichtung (6) extrahiert mit an sich
bekannten Methoden der Bildverarbeitung und Bildauswertung relevante Informa
tionen und Parameter aus dem Bild und stellt diese für eine vergleichende Aus
wertung bereit.
Eine typische Darstellung der durch die Aufnahmeeinrichtung (1) aufgenommenen
und an die an die Auswerte- und Speichereinheit (6) weitergeleiteten Bilder zeigt das
Bild im Sichtfeld (4) der Fig. 2, wobei in den Überlagerungsstrukturen (12) die
Kennzeichnungen der für die Draufsicht (12a) bzw. für die Seitensichten (12b) ge
nutzten Bereiche zu sehen sind. Zwischen den Beinchen des Objektes und der
Auflage treten Spalten unterschiedlicher Breite auf (13). Der sich auf dem Objekt
befindliche Aufdruck (14) hebt sich in seiner Intensität von der Intensität der
Umgebung ab.
Die Fig. 3 zeigt ein Detail der Ausführungsform der Anordnung aus Fig. 1, bei der
in den Strahlengang (9) zwischen der Aufnahmeeinrichtung (2) und den Bereichen
der Seitensichten des Objektes (1) Linsensysteme (7), hier eine Linse, für die
Änderung der Detailliertheit der Aufnahme in diesen Bereichen des Strahlenganges
eingebracht sind.
Die Fig. 4 zeigt ein Detail der Ausführungsform der Anordnung aus Fig. 1, bei der
vorteilhaft Beleuchtungseinrichtungen (8) zur Erzeugung von Drauflicht (8a) an der
Oberfläche des Objektes (1) und zur Erzeugung von Durchlicht (8b) über eine
Lichtstreueinrichtung (11) für die Seitensichten angeordnet sind.
Die Fig. 5 zeigt ein Detail der Ausführungsform Lichtstreueinrichtung (11) aus Fig.
4, bei der diese vorteilhaft durchbrochen ist.
Fig. 6 zeigt eine Splinekurve (15) für den Intensitätsverlauf in den Pixeln für einen
der Spalte (13) zwischen Beinchen und Auflage, sowie die Fläche (16) unter der
Splinekurve begrenzt durch die Anstiegspunkte (17), die zur Berechnung der
Spaltbreite genutzt wird.
1
Objekt
2
Aufnahmeeinrichtung
3
Sichtwinkel
4
Sichtfeld
5
Strahlumlenkeinrichtungen
6
Auswerte- und Speichereinrichtung
7
Linsensysteme
8
a Beleuchtungseinrichtung für Drauflicht
8
b Beleuchtungseinrichtung für relatives Durchlicht
9
Strahlengang
10
Objektteil (Beinchen)
11
Lichtstreueinrichtung
12
a Überlagerungsstruktur für die Draufsicht
12
b Überlagerungsstruktur für die Seitensichten
13
Spalte zwischen Objektbeinchen und Auflage
14
Schriftaufdruck auf einem Objekt
15
Splinekurve
16
Fläche
17
Anstiegspunkte
Claims (20)
1. Verfahren zur gleichzeitigen Prüfung von geometrischen und/oder texturellen
Erscheinungsstrukturen in den Seitensichten und in der Draufsicht von Objekten
unter Nutzung einer Bildaufnahmeeinrichtung sowie Auswerte- und Speicherein
heit, Bildverarbeitung und Bildauswertung mit den weiteren Merkmalen, daß
- - von der Struktur und/oder von der Textur in den Seitensichten sowie in der Draufsicht Informationen aufgenommen werden und damit bildlich gleichzeitig zur Verfügung stehen, die zur einer Aussage über den Zustand des Objektes herangezogen werden können,
- - von dem Objekt mindestens ein Bild, in dem gleichzeitig sowohl die Seiten sichten als auch die Draufsicht enthalten sind, aufgenommen wird,
- - das aufgenommene Bild verarbeitet und ausgewertet wird derart, daß die sichtbaren strukturellen und texturellen Charakteristika des Objektes sichtbe zogen abgeleitet und zu einem Vergleich mit vorgegebenen Parametern und damit zu einer Qualitätsbeurteilung des Objektes herangezogen werden kön nen.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß in dem durch die Bildaufnahmeeinrichtung aufgenommenen Bild Bereiche
durch die Auswerte- und Speichereinheit so positioniert und gekennzeichnet
werden, daß sie den einzelnen Sichten auf das Objekt zugeordnet werden
können.
3. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Szene aus Sicht der Aufnahmeeinrichtung ohne Objekt aufgenommen
und in der Auswerte- und Speichereinrichtung zu Vergleichs- und Kalibrier
zwecken ausgewertet und abgelegt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Szene aus Sicht der Aufnahmeeinrichtung mit einem vorgegebenen, in
seinen Erscheinungsparametern bekannten Objekt aufgenommen und in der
Auswerte- und Speichereinrichtung zu Vergleichs- und Kalibrierzwecken ausge
wertet und abgelegt wird.
5. Verfahren nach den Ansprüchen 1, 2 und 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß in den einzelnen Bereichen, die den Seitensichten auf das Objekt zugeord
net sind, in den verfügbaren Bildinformationen durch Analyse der Grauwertver
teilungen die Orte (Beinchen), an denen das Objekt der Unterlage sehr nahe
kommt, gesucht werden und nachfolgend die Lichtmenge, die zwischen Objekt
und Unterlage hindurchtritt und sich in den Bildpunkten als Intensitätswert nie
derschlägt, unter Nutzung dieser Intensitätswerte, der die Spaltweite charakteri
sierende Lichtmengenverlauf, der nach einer mathematischen Vorschrift unter
Nutzung von Kalibrierinformation in eine Spaltweite umgerechnet wird, bestimmt
wird.
6. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 5,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Vorschrift für die Umrechnung eines Intensitätsverlaufes zwischen Objekt
und Auflage auf Basis einer Splineapproximation, der Bestimmung von Anstiegs
werten sowie der Kalibrierung so erfolgt, daß ein Flächenanteil unter der Spline
kurve den Wert der Spaltweite zwischen Objekt und Auflagefläche bestimmt.
7. Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß in dem gekennzeichneten Objektbereich, der die Draufsicht auf das Objekt
betrifft, über an sich bekannte Faltungsfilter der Bildverarbeitung, Bereiche mit
starken lokalen Intensitätsunterschieden hervorgehoben, gesucht und in ihren
geometrischen Abmaßen quantifiziert werden.
8. Verfahren nach den Ansprüchen 1, 2 und 7,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Quantifizierung der Information in den geometrischen Bereichen mit ge
gebenen Werten verglichen und nachfolgend Qualitätsaussagen für die beob
achteten Objekte abgeleitet werden.
9. Vorrichtung zur gleichzeitigen Prüfung von strukturellen, geometrischen und/oder
texturellen Erscheinungsstrukturen in den Seitensichten und in der Draufsicht
von Objekten unter Nutzung einer Aufnahmeeinrichtung sowie Auswerte- und
Speichereinheit, Bildverarbeitung und Bildauswertung mit den weiteren Merkma
len,
daß das Objekt (1) derart unter einer Aufnahmeeinrichtung (2) positioniert wird,
daß das Objekt (1) nur einen Teilbereich des durch den Sichtwinkel (3) be
stimmten Sichtfeldes (4) der Aufnahmeeinrichtung (2) ausfüllt, so daß in den ver
bleibenden Bereichen des Sichtfeldes (4) Strahlumlenkeinrichtungen (5) ange
ordnet sind, die Seitensichten auf das Objekt (1) zulassen, daß die Aufnahme
einrichtung (2) ein Bild des Sichtfeldes (4), in dem die strukturellen und texturel
len Informationen der Sichten des Objektes (1) enthalten sind, aufnimmt und an
die Auswerte- und Speichereinrichtung (6) weiterleitet, in der die enthaltenen In
formationen so in ihrer Eigenschaften bestimmt werden, daß sie zu einer Beur
teilung des Zustandes des Objektes (1) dienen können.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß im Sichtfeld (4) der Aufnahmeeinrichtung (2) Strahlumlenkeinrichtungen (5)
so positioniert sind, daß sie die Draufsicht auf das Objekt (1) nicht beeinflussen,
aber die Seitensichten auf das Objekt (1) zulassen.
11. Vorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die im Sichtfeld (4) der Aufnahmeeinrichtung (2) angeordneten Strahlum
lenkeinrichtungen (5) durch Spiegel, die fest angeordnet oder auch verstellbar sein
können, realisiert sind.
12. Vorrichtung nach Anspruch 9 und Anspruch 11,
dadurch gekennzeichnet,
daß die die Strahlumlenkeinrichtung (5) realisierenden Spiegel gekrümmte Ober
flächen haben.
13. Vorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Strahlumlenkeinrichtungen (5) mit Hilfe von Glasfaserbündeln realisiert
sind.
14. Vorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Strahlumlenkeinrichtungen (5) durch Prismen in Höhe der Objektauf
lageebene realisiert sind.
15. Vorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß in den Strahlengang (9) der Aufnahmeeinrichtung (2), der auf die Strahlum
lenkeinrichtungen (5) gerichtet ist, vor oder hinter den Strahlumlenkeinrichtungen
(5) Linsensysteme (7) eingebracht sind, die Teile der Seitensichten in ihrer De
tailliertheit aus Sicht der Aufnahmeeinrichtung (2) ändern.
16. Vorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Aufnahme der Seitensichten durch genau eine einzige geeignete Be
leuchtungseinrichtung (8a) unterstützt wird, die vorteilhaft Freiräume in der Geo
metrie des Objektes (1) so nutzt, daß sie aus Sicht der Strahlumlenkeinheiten (5)
hinter Objektteilen angeordnet ist.
17. Vorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die die Aufnahmen der Seitensichten unterstützende Beleuchtungseinrichtung
(7) vorteilhaft mit einer Lichtstreueinrichtung (11), die einen gleichmäßigen Licht
fluß unter dem Objekt (1) hervorruft, ergänzt ist.
18. Vorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Lichtstreueinrichtung (11) so durchbrochen ist, daß die Freiräume die
Sicht auf die Unterseite des Objektes zulassen.
19. Vorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß für die Aufnahme der Draufsicht eine weitere geeignete Beleuchtungsein
richtung (8b), die geeignet über dem Objekt angeordnet ist und damit eine vor
teilhafte Beleuchtung für die Draufsicht erzeugt, angeordnet wird.
20. Vorrichtung nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet,
daß die Strahlumlenkungseinrichtungen so in der Höhe der Objektauflageebene
angeordnet sind, daß eine Sicht parallel zur Auflageebene gegeben ist und die
Vorrichtung dadurch für Koplanaritätsmessungen eingesetzt werden kann.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19821800A DE19821800A1 (de) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen von Seitensichten und Draufsicht von Objekten aus einer Sichtposition |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19821800A DE19821800A1 (de) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen von Seitensichten und Draufsicht von Objekten aus einer Sichtposition |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19821800A1 true DE19821800A1 (de) | 1999-12-02 |
Family
ID=7867855
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19821800A Withdrawn DE19821800A1 (de) | 1998-05-15 | 1998-05-15 | Verfahren und Vorrichtung zum Prüfen von Seitensichten und Draufsicht von Objekten aus einer Sichtposition |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE19821800A1 (de) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001008461A1 (de) * | 1999-07-23 | 2001-02-01 | Pulsotronic Merten Gmbh & Co. Kg | Inspektionsvorrichtung für bauteile |
WO2003032252A2 (en) * | 2001-10-09 | 2003-04-17 | Dimensional Photonics, Inc. | Device for imaging a three-dimensional object |
EP1602001B1 (de) * | 2003-03-07 | 2009-05-27 | ISMECA Semiconductor Holding SA | Optische einrichtung und inspektionsmodul |
-
1998
- 1998-05-15 DE DE19821800A patent/DE19821800A1/de not_active Withdrawn
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001008461A1 (de) * | 1999-07-23 | 2001-02-01 | Pulsotronic Merten Gmbh & Co. Kg | Inspektionsvorrichtung für bauteile |
WO2003032252A2 (en) * | 2001-10-09 | 2003-04-17 | Dimensional Photonics, Inc. | Device for imaging a three-dimensional object |
WO2003032252A3 (en) * | 2001-10-09 | 2003-10-09 | Dimensional Photonics Inc | Device for imaging a three-dimensional object |
EP1602001B1 (de) * | 2003-03-07 | 2009-05-27 | ISMECA Semiconductor Holding SA | Optische einrichtung und inspektionsmodul |
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