DE3505331C2 - Verfahren und Gerät zur Vermessung des bei der Eindringhärteprüfung in einer Probe hinterlassenen Eindrucks - Google Patents
Verfahren und Gerät zur Vermessung des bei der Eindringhärteprüfung in einer Probe hinterlassenen EindrucksInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und ein Gerät zur Vermessung
des bei der Eindringhärteprfüfung in einer Probe
hinterlassenden Eindrucks, insbesondere zur Bestimmung der
Position charakteristischer Punkte des Eindrucks, wie im
Oberbegriff der Ansprüche 1 und 8 angegeben.
Ein Verfahren und ein Gerät der angegebenen Art sind aus
der Zeitschrift Microscope (1972), 20, Seiten 341-352, bekannt.
Dabei wird die den Härteprüfungseindruck enthaltende
Probe durch ein Microskop beleuchtet und mit einem Bildanalysiergerät
mit zeilenweiser Abtastung bildpunktmäßig
erfaßt, und die den Bildpunkten zugeordneten Leuchtdichtewerte
werden rechnerisch ausgewertet. Die Leuchtdichte wird
jedoch stark durch den Oberflächenzustand der Probe beeinflußt,
so daß Materialfehler und andere Oberflächenunregelmäßigkeiten,
die mit dem Härteprüfungseindruck nichts zu
tun haben, das Ergebnis verfälschen können. Dies zeigt sich
auch darin, daß bei dem bekannten Verfahren Messungen mit
unterschiedlich starker Beleuchtungsstärke zu unterschiedlichen
Härtewerten führen. Oft weichen die Werte, die auf
einer Bestimmung der Eckwerte bzw. der diagonalen Länge des
Eindrucks beruhen, stark von den durch Flächenmessung des
Eindrucks gewonnenen Härtewerten ab. Auch setzt die Auswertung
eine rechtwinkelige Orientierung der Eindruckdiagonale
zu den Abtastzeilen voraus. Die für die Härtemessung
besonders wichtige Bestimmung der Lage der Eckpunkte des
Eindrucks ist deshalb bei dem bekannten Verfahren mit erheblichen
Ungenauigkeiten behaftet.
Ein Verfahren und Gerät ähnlicher Art, bei dem ebenfalls
ein Härteprüfungseindruck zeilenweise abgetastet und das
entstehende Leuchdichtesignal ausgewertet wird, ist aus FR
24 10 267 A1 bekannt. Bei einem weiteren, aus DE 27 37 554
A1 bekannten Verfahren und Gerät zur Härteprüfung wird ein
Bild des den Eindruck enthaltenden Oberflächenbereiches auf
einen Bildwandler projiziert, der aus einer Vielzahl von
parallel zueinander angeordneten, streifenförmigen, nichtelektrischen
Wandlerelementen besteht. Jedes Wandlerelement
erzeugt ein über einen streifenförmigen Bereich des Bildes
des Eindrucks integriertes Leuchtdichtesignal, und aus der
Zu- oder Abnahme des Leuchtesignals in Richtung auf die
Endpunkte der Eindrucksdiagnolanen kann die Länge der Diagonale
bestimmt werden. Auch bei diesem Verfahren ist das
Meßergebnis von Oberflächenfehlern, Ungleichmäßigkeiten der
Reflexionseigenschaften und dem Leuchtdichtekontrast zwischen
dem Eindruck und seiner Umgebung abhängig, und ebenso
von einer exakten Ausrichtung der Diagonale des Eindrucks
zur Längsachse des Bildwandlers.
Aus EP 00 48 346 A1 und DE 28 03 149 A1 sind Verfahren und Geräte
zur Auswertung von Härteprüfungseindrücken bekannt, bei
denen der Eindruck zeilenweise abgetastet und das dabei erhaltene
Leuchtedichtesignal über alle Abtastzeilen integriert
wird, so daß ein der Fläche des Eindrucks proportionaler
Meßwert erhalten wird. Auch für diese Verfahren bzw.
Geräte gelten die vorgenannten Nachteile.
Aus Proceedings of the IEEE, Vol. 67, No. 5, (May 1979), S.
753-763, sind Bildverarbeitungsverfahren zur Mustererkennung
und Analyse von Objektkonturen bekannt, bei denen u. a.
mittels Differentialoperatoren eine Gradientenbildung im
Bereich von Bereichsgrenzen und Konturen vorgenommen wird,
um diese hervorzuheben und umrißhafte Bilddarstellungen zu
erhalten. Eine rechnerische Auswertung der so erhaltenen
Umrißlinien oder -punkte, sowie auch eine Anwendung des
Verfahrens auf die Auswertung von Härteprüfungseindrücken
sind nicht vorgesehen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren und
ein Gerät der eingangs genannten Art so auszubilden, daß
sie eine genauere und zuverlässigere Bestimmung der charakteristischen
Punkte eines Härteprüfungseindrucks ermöglichen,
die weitgehend unabhängig von den vorstehend erörterten
Fehlerquellen, wie Materialfehlern und Reflexionseigenschaften
der Probenoberfläche, Beleuchtungsschwankungen
u. dgl. und auch unabhängig von subjektiven Beurteilungskriterien
der die Auswertung durchführenden Person ist, und
die somit auch rasch und zuverlässig durch nicht geschultes
oder spezialisiertes Bedienungspersonal durchgeführt werden
kann.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß mit dem in Anspruch 1
angegebenen Verfahren und dem in Anspruch 8 angegebenen Gerät
gelöst. Die Unteransprüche beziehen sich auf vorteilhafte
weitere Ausgestaltungen der Erfindung.
Im folgenden sei die Erfindung anhand der Zeichnungen näher
erläutert, die sich exemplarisch auf die Vermessung des
Vickers-Eindrucks beziehen:
Fig. 1 zeigt eine stark vergrößerte Aufsicht eines Teils einer
Probe in der sich ein Vickers-Eindruck befindet,
Fig. 2 zeigt ein Geräte, mit dem das Verfahren gemäß der Erfindung durchführbar ist.
Fig. 3 zeigt ein Flußdiagramm zur Veranschaulichung des mit
dem Gerät nach Fig. 2 durchgeführten Verfahrens,
Fig. 4 zeigt eine graphische Darstellung des Leuchtdichtegradienten
des in Fig. 1 dargestellten Bildes eines
Eindrucks,
Fig. 5 zeigt eine Reihe von geometrischen Figuren zur Erläuterung
einiger Operationen, die Bestandteil des in
Fig. 3 schematisch dargestellten Verfahrens sind.
In Fig. 1 und 2 ist eine mit P bezeichnete Probe dargestellt,
in der in an sich bekannter Weise mittels eines pyramidenförmigen
Eindringkörpers ein mit I bezeichneter Eindruck
(Vickers-Eindruck) hergestellt wurde. Wie aus Fig. 1
hervorgeht, besitzt die Kontur des Eindrucks I eine pseudoquadratische
Form, deren Seiten einen gekrümmten Verlauf
aufweisen. Zur Verdeutlichung dieser charakteristischen Eigenschaft
des Eindrucks ist die Krümmung dieser Seiten in
Fig. 1 stärker akzentuiert, als es der Wirklichkeit entspricht.
Die den Eindruck I ausweisende Seite der Probe P wird durch
ein optisches System OS mit kollimiertem Licht beleuchtet,
wie dies durch die Pfeile H in Fig. 2 angedeutet ist, so
daß der Eindruck I sich als dunkler Bereich mit niedriger
Leuchtdichte auf einem helleren Grund mit relativ höherer
Leuchtdichte darstellt, wie dies in Fig. 1 angedeutet ist.
Der in Fig. 1 mit R bezeichnete Bereich der Probe P, der
den Eindruck I umgibt, wird in den Bildausschnitt des optischen
Systems OS (Fig. 2) gebracht und vergrößert. Das optische
System OS besteht beispielsweise aus einem Mikroskop
mit 100- bis 600facher Vergrößerung. Das optische System
OS ist mit einer Videokamera VC zur Erzeugung von elektrischen
Videosignalen gekoppelt, die Information über die
Leuchtdichte des Bereichs R der Probe beinhaltet. Die von
der Videokamera VC erzeugen Videosignale werden mittels
eines Analog-Digital-Wandlers C digitalisiert. Der Ausgang
des Wandlers C ist mit einem in seiner Gesamtheit mit CS
bezeichneten Rechner verbunden.
Dieser Rechner behandelt die Videosignale mittels an sich
bekannter Bildverarbeitungsverfahren, so daß Daten gewonnen
werden, die für die Position einer Menge von Punkten des
analysierten Bildes kennzeichnend sind. Diese Punkte, die
auf der Basis von vorgegebenen Selektionskriterien gewonnen
werden, gehören den Seiten der Kontur des Eindrucks I an.
Der Rechner CS extrapoliert außerdem die Position der Ecken
des Eindrucks I auf der Grundlage der Positionsdaten von
wenigstens einem Teil der genannten Punkte.
Eine optische Anzeigevorrichtung D, die mit dem Rechner CS
verbunden ist, liefert eine Sichtanzeige der errechneten
Resultate.
Im Folgenden sei anhand von Fig. 3 ein Verfahren zur Verarbeitung
des Bildes R beschrieben, das die Bestimmung der
Position der Ecken des Eindrucks I erlaubt.
Die Leuchtdichteinformation des Bildes des Bereichs r wird
mit Hilfe der Videokamera VC und des Wandlers C in eine Matrix
L(i, j) transformiert. Jedes Element L(i, j) dieser Matrix
kennzeichnet den Leuchtdichtewert eines entsprechenden
Bildpunktes mit den Koordinaten (i, j). Das Bild des Bereichs
R wird also von dem Rechner CS in Form einer Leuchtdichtematrix
L(i, j) aufgenommen und gespeichert, wie dies durch
den Block 1 von Fig. 3 angedeutet ist.
Der Rechner CS bedient sich bei der Ermittlung der Kontur
des Eindrucks I eines Verfahrens, bei dem die Leuchtdichte
des untersuchten Bildes hervorgehoben und mit einem
Schwellwert verglichen (enhancement/treshholding edge detection).
Diese auf dem Gebiet der digitalen Bildverarbeitung
bekannte Technik ist beispielsweise in der eingangs genannten Literaturstelle
Proceedings of the IEEE, Vol. 67, No. 5, (Mai 1979), S. 753-763,
ausführlich beschrieben.
Bei diesem Verfahren wird die oben definierte Leuchtdichtematrix
L mit einem diskreten Differentialoperator behandelt,
um die Punkte hervorzuheben, die der Kontur des Eindrucks
I entsprechen. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung werden die vertikalen und horizontalen
Sobel-Differentialoperatoren verwendet. Maßgebend hierfür
sind die Isotropizitätseigenschaften dieser Operatoren und
ihre gute Empfindlichkeit in Bezug auf die Position der
Kontur des Bildes. Die horizontalen und vertikalen Sobel-
Operatoren So und Sv können folgendermaßen in Matrixform
definiert werden:
Mittels räumlicher zweidimensionaler Faltung der Leuchtdichtematrix
L mit den Operatoren So und Sv erhält man die
Matrizen Go(i, j) und Gv(i, j) der horizontalen und vertikalen
Komponenten des Leuchtdichtegradienten des untersuchten
Bildes:
Gv(i, j) = <L(i-l, j-l)+2L(i-l, j)+L(i-l, j+l)<
+<L(i+l, j-l)+2L(i+l, j)+L(i+l, j+l)<
Go(i, j) = <L(i-l, j-l)+2L(i, j-l)+L(i-l, j-l)< +<L(i-l, j+l)+2L(i, j+l)+L(i+l, j+l)<
Go(i, j) = <L(i-l, j-l)+2L(i, j-l)+L(i-l, j-l)< +<L(i-l, j+l)+2L(i, j+l)+L(i+l, j+l)<
Die Erzeugung des vertikalen und des horizontalen Leuchtdichtegradienten
ist in Fig. 3 durch die Blöcke 2 bzw. 3
angedeutet.
Auf der Basis von Go und Gv werden sodann der Absolutwert G
und die Richtung R des Leuchtdichtegradienten jedes Bildelements
(Pixel) berechnet (Blöcke 4 und 5 in dem Flußdiagramm
von Fig. 3):
Der Absolutwert des Leuchtdichtegradienten jedes Bildelements
wird sodann mit einem Schwellwert T verglichen (Block
6). Es werden diejenigen Pixel ausgewählt, für die der Gradient
zahlenmäßig größer ist als der Wert T (Block 7).
Der Richtungswinkel R(i, j) des Leuchtdichtegradienten jedes
Bildelements wird vorzugsweise in k Werte quantisiert
(Block 8).
In diesem Verarbeitungsschritt wird das den Eindruck I enthaltende
Bild R mittels einer Gradientenmatrix GT und der
quantisierten Richtungsmatrix T des Gradienen kodiert
(Block 9 des in Fig. 3 dargestellten Flußdiagramms). Die
Matrix Gt ist folgendermaßen definiert:
Fig. 4 zeigt als Ausführungsbeispiel ein Bild mit 27×27
Bildelementen, welches die Matrix G graphisch darstellt.
Jedem weißen Bildelement entspricht der Wert Null des
Leuchtdichtegradienten, den anderen Bildelementen entspricht
ein von Null verschiedener und oberhalb der Schwelle
T liegender Wert des Gradienten.
In Fig. 4 ist die Kontur des Vickers-Eindrucks, analog zu
Fig. 11 mit I bezeichnet.
Der Gradient GT ist an solchen Punkten von Null verschieden,
die im Bereich der Kontur I des Eindrucks liegen. Er
ist außerdem in einigen außerhalb und innerhalb der Kontur
liegenden Punkten von Null verschieden, die in Fig. 4 mit
pe bzw. pi bezeichnet. Die Punkte pe und pi sind durch Störungen
oder Unregelmäßigkeiten der Leuchtdichte (Flecken)
des analysierten Bildes verursacht. Diese Punkte stellen
eine Störung dar, die bei der weiteren Verarbeitung zu Ungenauigkeiten
bei der Bestimmung der Kontur des Eindrucks
führen können.
Um den Einfluß dieser Störpunkte zu eliminieren oder zumindest
zu verringern, macht man sich die
Kenntnisse zunutze, die a priori über die ungefähre Form
der Kontur der zu Identifizierenden Figur vorhanden sind.
Im vorliegenden Fall besitzt die Kontur des Eindrucks I eine
pseudoquadratische Form.
Es sei zunächst unterstellt, daß die Kontur des Eindrucks I
eine vollkommen quadratische Form habe, beispielsweise die
Form des in Fig. 5 mit SQ bezeichneten Quadrats. Die Kontur
dieses Quadrats liegt zwischen dem einbeschriebenen Kreis
C1 mit dem Durchmesser R1 und dem Umkreis C2 mit dem Durchmesser
R2. Die Durchmesser R1 und R2 stehen bekanntlich
über folgende Beziehungen mit dem Trägheitshalbmesser RI
des Quadrats SQ in Verbindung:
R1 = · RIR2 = 3/ RI
Um den Einfluß der Punkte pe und pi zu eliminieren, verfährt
man folgendermaßen:
Zunächst wird der Schwerpunkt des Systems von Punkten berechnet, die von Bildelementen gebildet werden, denen ein von Null verschiedener Wert GT entspricht, d. h. der in Fig. 4 nicht weißen Bildelemente. Dieser Schwerpunkt, der in Fig. 4 mit 0 bezeichnet ist, fällt grundsätzlich mit dem geometrischen Zentrum der von der Kontur des Eindrucks I gebildeten Figur zusammen oder ist ihm gegenüber nur geringfügig versetzt. Man führt ein polares Bezugssystem r, ϑ ein, dessen Ursprung in dem Schwerpunkt liegt, und berechnet den Trägheitshalbmesser RI des von den Bildelementen mit einem von Null verschiedenen Wert GT gebildeten Punktesystems (Block 10 in dem Fig. 3 dargestellten Flußdiagramm).
Zunächst wird der Schwerpunkt des Systems von Punkten berechnet, die von Bildelementen gebildet werden, denen ein von Null verschiedener Wert GT entspricht, d. h. der in Fig. 4 nicht weißen Bildelemente. Dieser Schwerpunkt, der in Fig. 4 mit 0 bezeichnet ist, fällt grundsätzlich mit dem geometrischen Zentrum der von der Kontur des Eindrucks I gebildeten Figur zusammen oder ist ihm gegenüber nur geringfügig versetzt. Man führt ein polares Bezugssystem r, ϑ ein, dessen Ursprung in dem Schwerpunkt liegt, und berechnet den Trägheitshalbmesser RI des von den Bildelementen mit einem von Null verschiedenen Wert GT gebildeten Punktesystems (Block 10 in dem Fig. 3 dargestellten Flußdiagramm).
Sodann werden nach folgenden Formeln ein minimaler Halbmesser
Rm und ein Maximaler Halbmesser RM berechnet:
Rm = RI-0,2 RI≃0,67 RIRM = / RI+0,2 RI≃1,42 RI
Die Radien Rm und RM entsprechen im wesentlichen den Radien
R1 und R2 von Fig. 5 mit einer Abweichung nach unten bzw.
nach oben von 20% gegenüber dem Trägheitshalbmesser RI,
durch die die Tatsache berücksichtigt ist, daß die Kontur I
niemals genau quadratisch ist.
Diese Operation ist im Flußdiagramm von Fig. 3 durch den Block
11 angedeutet.
In der Matrix GT(i, j) werden sodann alle Ausdrücke eliminiert,
denen ein radialer Abstand vom Schwerpunkt (0) entspricht,
der kleiner ist als Rm oder größer als RM. Auf
diese Weise werden in der Matrix GT des Leuchtdichtegradienten
die Punkte eliminiert, die in Fig. 4 mit pe und pi
bezeichnet sind.
Zur Verbesserung der Ergebnisse können die durch die Blöcke
10 bis 12 von Fig. 3 gekennzeichneten Operationen gegebenenfalls
einige Male iterativ durchlaufen werden. In dem
polaren Bezugssystem (r, ϑ) mit dem Ursprung im Schwerpunkt 0
wird der Variationsbereich (0 . . . 2π) der Winkelkoordinaten ϑ
anschließend in eine Zahl N von Winkelsektoren mit gleicher
Öffnung unterteilt. In jedem dieser Winkelsektoren wählt
der Rechner dasjenige Bildelement aus, dem der größte Wert
von GT entspricht (Block 13 von Fig. 13). Dieses Bildelement
wird als potentieller Punkt "Kandidat" der Kontur des
Eindrucks I in diesem Winkelsektor in Betracht gezogen. Die
Menge der N Punkt-"Kanditaten" die als Punkte der Kontur zu
betrachten sind, bildet somit eine durch die Nummer n (von
1 bis N) geordnete Folge, wobei die Ordnungszahl n den
Sektor kennzeichnet, dem sie zugeordnet ist. Aufgrund von
Rauscheffekten oder eventueller Störungen (Flecken, Riefelung
usw.) können einige dieser Punkt-"Kandidaten" in Wirklichkeit
fehlerhaft sein, d. h. der Kontur nicht angehören.
Um diese Punkte zu eliminieren, führt man eine "Filterung"
durch (Block 14). Diese Filterung besteht darin, daß jeder
Punkt der Folge mit einer Menge von Punkten verglichen
wird, die innerhalb der Folge seine Umgebung bilden. Wenn
die Differenz zwischen der radialen Koordinaten des geprüften
"Kanditaten" und dem Mittelwert der radialen Koordinaten
der Punkte dieser Umgebung unter einem vorbestimmten
Wert liegt, wird der jeweilige Punkt-"Kanditat" definitiv
als Punkt der Kontur betrachtet. Anderenfalls wird er durch
einen Wert ersetzt, den man durch Interpolation der die Umgebung
bildenden Punkte erhält.
Auf diese Weise wird die Kontur des Eindrucks I durch N
Punkte bestimmt.
Die Ecken der Kontur des Eindrucks I werden sodann durch
Extrapolation oder durch Interpolation auf der Basis wenigstens
eines Teils der N Punkte der Kontur ermittelt, die in
der oben beschriebenen Weise bestimmt wurden (Block 15 in
Fig. 3).
Aufgrund der Koordinaten der Ecken der Kontur des Eindrucks
lassen sich sodann die Abmessungen der Diagonalen des Eindrucks
und damit die Vickers-Härte der untersuchten Probe
berechnen.
Das in Fig. 3 dargestellte Flußdiagramm kann leicht in ein
Programm für den Rechner CS übersetzt werden.
Die Ergebnisse der Verarbeitung werden in dem Display D optisch
angezeigt.
Das Verfahren und das Gerät gemäß der Erfindung ermöglichen
eine wiederholbare Bewertung der Härte mit minimalen Abweichungen,
da jeder mögliche subjektive Bewertungseinfluß von
Seiten der Bedienungsperson eliminiert ist. Falls das optische
System OS mit einer automatischen Focusierungseinrichtung
ausgestattet ist, ist der gesamte Betriebsablauf des
Geräts seinerseits ebenfalls automatisch.
Dadurch daß die Kontur unter Verwendung von Differentialoperatoren
"extrahiert" wird, ist es möglich, sie unabhängig
von dem Absolutwert der Leuchtdichte des Bildes zu
identifizieren, so daß ihre Lokalisierung nach den Maxima
des Leuchtdichtegradienten zumindest in erster Annäherung
gegenüber leichten Einstellunschärfen des Bildes relativ
unempfindlich ist.
Der Gradient der Leuchtdichte des Bildes läßt sich auch
durch anderen Differentialoperatoren z. B. durch die Prewitt-
Operatoren gewinnen.
Das Gerät und das Verfahren gemäß der Erfindung ermöglichen
eine Aufnahme des Vickers-Eindrucks und insbesondere eine
Positionsbestimmung der Ecken des Eindrucks in besonders
schneller und genauer und vor allem wiederholbarer Weise.
Das Verfahren und das Gerät lassen sich leicht so modifizieren
und angepassen, daß sie sich auch für die Erfassung
anderer Arten von Eindrücken eignen, beispielsweise des
Knoop-Peters-Emerson Eindrucks (Rauteneindruck), des Berkowitch-
Eindrucks (dreieckförmiger Eindruck) des Grodzinsky-
Eindrucks (sichelförmiger Eindruck) oder, wie bereits erwähnt,
zur Erfassung zweier orthogonaler Durchmesser des
Brinell-Eindrucks.
Claims (14)
1. Verfahren zur Vermessung des bei der Eindringhärteprüfung
in einer Probe (P) hinterlassenen Eindrucks (I), insbesondere
zur Bestimmung der Position charakteristischer
Punkte des Eindrucks, z. B. der Eckpunkte bei der Vickers-
Eindringhärteprüfung, mit den Schritten:
- a) Beleuchten eines den Eindruck (I) enthaltenden Oberflächenbereichs (R) der Probe derart, daß der Eindruck und die ihn umgebende Fläche unterschiedliche Leuchtdichte haben;
- b) Erzeugen eines vergrößerten Bildes des den Eindruck enthaltenden Oberflächenbereiches (r) mittels eines optischen Systems (OS);
- c) punktweises Abtasten des Bildes des den Eindruck (I) enthaltenden Oberflächenbereiches (R) mittels einer optoelektrischen Wandlereinrichtung (VC) und Erzeugen von elektrischen Bildsignalen, die der Leuchtdichte der Bildpunkte entsprechen, und
- d) rechnerische Verarbeitung der Bildsignale derart, daß aufgrund der Änderung der Leuchtdichte die gesuchten charakteristischen Punkte bestimmt werden,
gekennzeichnet durch folgende Merkmale:
- e) die der Leuchtdiode entsprechenden Bildsignale der abgetasteten Bildpunkte werden durch Differenzieren mittels eines Differentialoperators (So, Sv) zu differentiellen Bildsignalen (Go, Gv) verarbeitet, die dem Betrag des Leuchtdichtegradienten (G) an den jeweiligen Bildpunkten entsprechen;
- f) die dem Betrag des Leuchtdichtegradienten (G) entsprechenden differentiellen Bildsignale (Go, Gv) werden mit mindestens einem vorgegebenen Bezugswert (T) verglichen;
- g) diejenigen Bildpunkte, an denen der Leuchtdichtegradient (G) größer als der Bezugswert (t) ist, werden als auf dem Umriß des Eindrucks (I) liegende Umrißpunkte definiert und ihre Position bestimmt;
- h) aus der Position der so bestimmten Umrißpunkte wird durch Extrapolation die Position der gesuchten charakteristischen Punkte bestimmt.
2. Verfahren nach Anspruch 1,
gekennzeichnet durch folgende weitere Verfahrensschritte:
es wird die Position des Schwerpunkts (0) des Leuchtdichtegradienten (GT) des abgetasteten Bildes berechnet,
dieser Schwerpunkt (0) wird zum Ursprungspunkt eines polaren Bezugssystems (0, r, ϑ) bestimmt,
der Variationsbereich der Winkelkoordination (ϑ) dieses Bezugssystems (0, r, ϑ) wird in eine vorbestimmte Anzahl (N) von gleichen Winkelsektoren unterteilt,
in jedem dieser Winkelsektoren wird derjenige Punkt ausgewählt, dem der größte Absolutwert des Leuchtdichtegradienten (GT) entspricht, und dieser Punkt zu einem der Kontur des Bildes des Eindrucks (I) angehörenden Punkt bestimmt.
es wird die Position des Schwerpunkts (0) des Leuchtdichtegradienten (GT) des abgetasteten Bildes berechnet,
dieser Schwerpunkt (0) wird zum Ursprungspunkt eines polaren Bezugssystems (0, r, ϑ) bestimmt,
der Variationsbereich der Winkelkoordination (ϑ) dieses Bezugssystems (0, r, ϑ) wird in eine vorbestimmte Anzahl (N) von gleichen Winkelsektoren unterteilt,
in jedem dieser Winkelsektoren wird derjenige Punkt ausgewählt, dem der größte Absolutwert des Leuchtdichtegradienten (GT) entspricht, und dieser Punkt zu einem der Kontur des Bildes des Eindrucks (I) angehörenden Punkt bestimmt.
3. Verfahren nach Anspruch 2,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Trägheitshalbmesser (RI) des Leuchtdichtegradienten (GT) der Punkte des abgetasteten Bildes relativ zu dem genannten Schwerpunkt (0) berechnet wird,
daß in Abhängigkeit von der Größe des Trägheitshalbmessers (RI) ein Maximalwert (RM) der radialen Koordinaten (r) in dem genannten polaren Bezugssystem (0, r, ϑ) festgelegt wird, und
daß in jedem der genannten Winkelsektoren diejenigen Punkte ausgewählt werden, deren radiale Koordinate (r) gleich oder kleiner ist als der Maximalwert (RM), und unter diesen Punkten derjenige Punkt ausgewählt wird, dem der größte Absolutwert des Leuchtdichtegradienten (G) entspricht und dieser Punkt als ein Punkt der Kontur des Bildes des Eindrucks (I) bestimmt wird.
daß der Trägheitshalbmesser (RI) des Leuchtdichtegradienten (GT) der Punkte des abgetasteten Bildes relativ zu dem genannten Schwerpunkt (0) berechnet wird,
daß in Abhängigkeit von der Größe des Trägheitshalbmessers (RI) ein Maximalwert (RM) der radialen Koordinaten (r) in dem genannten polaren Bezugssystem (0, r, ϑ) festgelegt wird, und
daß in jedem der genannten Winkelsektoren diejenigen Punkte ausgewählt werden, deren radiale Koordinate (r) gleich oder kleiner ist als der Maximalwert (RM), und unter diesen Punkten derjenige Punkt ausgewählt wird, dem der größte Absolutwert des Leuchtdichtegradienten (G) entspricht und dieser Punkt als ein Punkt der Kontur des Bildes des Eindrucks (I) bestimmt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 3,
dadurch gekennzeichnet,
daß in Abhängigkeit von dem Trägheitshalbmesser (RI) ein Minimalwert (Rm) der radialen Koordinaten (r) in dem genannten polaren Bezugssystem (0, r, ϑ) festgelegt wird,
daß in jedem der Winkelsektoren die Punkte ausgewählt werden, deren radiale Koordinate (r) zwischen dem Maximalwert (RM) und dem Minimalwert (RM) liegt,
daß unter diesen Punkten anschließend derjenige Punkt ausgewählt wird, dem der größte Absolutwert des Leuchtdichtegradienten (GT) entspricht,
und daß dieser Punkt als ein Punkt der Kontur des Bildes des Eindrucks (I) bestimmt wird.
daß in Abhängigkeit von dem Trägheitshalbmesser (RI) ein Minimalwert (Rm) der radialen Koordinaten (r) in dem genannten polaren Bezugssystem (0, r, ϑ) festgelegt wird,
daß in jedem der Winkelsektoren die Punkte ausgewählt werden, deren radiale Koordinate (r) zwischen dem Maximalwert (RM) und dem Minimalwert (RM) liegt,
daß unter diesen Punkten anschließend derjenige Punkt ausgewählt wird, dem der größte Absolutwert des Leuchtdichtegradienten (GT) entspricht,
und daß dieser Punkt als ein Punkt der Kontur des Bildes des Eindrucks (I) bestimmt wird.
5. Verfahren nach Anspruch 4,
dadurch gekennzeichnet, daß der Minimalwert
(Rm) der radialen Koordinaten (r) kleiner ist als der Trägheitshalbmesser
(RI).
6. Verfahren nach Anspruch 3 oder 4,
dadurch gekennzeichnet,
daß der Wert der radialen Koordinate (r) jedes der als zur Kontur gehörig angenommenen Punkte mit dem Mittelwert der radialen Koordinaten einer vorbestimmten Anzahl von Punkten verglichen wird, die in der Umgebung des jeweils untersuchten Punktes liegen,
und daß der untersuchte Punkt nur dann definitiv als ein Punkt der Kontur des Eindrucks übernommen wird, wenn die Differenz zwischen seiner radialen Koordinate und dem genannten Mittelwert unter einem vorbestimmten Wert liegt.
daß der Wert der radialen Koordinate (r) jedes der als zur Kontur gehörig angenommenen Punkte mit dem Mittelwert der radialen Koordinaten einer vorbestimmten Anzahl von Punkten verglichen wird, die in der Umgebung des jeweils untersuchten Punktes liegen,
und daß der untersuchte Punkt nur dann definitiv als ein Punkt der Kontur des Eindrucks übernommen wird, wenn die Differenz zwischen seiner radialen Koordinate und dem genannten Mittelwert unter einem vorbestimmten Wert liegt.
7. Verfahren nach Anspruch 6,
dadurch gekennzeichnet, daß der untersuchte
Punkt durch einen durch Interpolation der Koordinaten der
in der Umgebung des untersuchten Punkts liegenden Punkte
bestimmten fiktiven Punkt ersetzt wird, wenn die Differenz
zwischen der radialen Koordinate des untersuchten Punkts
und dem genannten Mittelwert den vorbestimmten Wert übersteigt.
8. Gerät zur Vermessung des bei der Eindringhärteprüfung in
einer Probe (P) hinterlassenen Eindrucks (I), insbesondere
zur Bestimmung der Position charakteristischer Punkte dieses
Eindrucks z. B. der Eckpunkte des Eindrucks bei der Vickers-
Eindringhärteprüfung, gemäß dem Verfahren nach
Anspruch 1
mit Mitteln zur Beleuchtung der Probe (P) derart, daß im Bereich des Eindrucks (I) eine gegenüber der umliegenden Zone veränderte Leuchtdichte entsteht,
einem optischen System (OS) zur Erzeugung eines vergrößerten Bildes des den Eindruck enthaltenden Oberflächenbereichs (R),
optoelektrischen Wandlermitteln (VC) zur punktweisen Abtastung des Bildes der Probe (P) und zur Erzeugung elektrischer Bildsignale, welche Informationen (L) enthalten, die für die Leuchtdichte der abgetasteten Bildpunkte kennzeichnend sind, und
eine Recheneinrichtung (CS) zur rechnerischen Auswertung der Bildsignale,
dadurch gekennzeichnet, daß die Recheneinrichtung (CS) derart programmiert ist, daß sie
die Bildsignale mit einem Differenzialoperator (So, Sv) zu differentiellen Bildsignalen (Go, Gv) verarbeitet, die für den Betrag des Leuchtdichtegradienten (G) an den jeweiligen Bildpunkten kennzeichnend sind,
daß sie die differentiellen Bildsignale mit wenigstens einem vorbestimmten Bezugswert (T) vergleicht;
daß sie diejenigen Bildpunkte, an denen der Leuchtdichtegradient (G) größer als der Bezugswert (T) ist, als auf dem Umriß des Eindrucks (I) liegende Umrißpunkte definiert und ihre Position bestimmt, und
daß sie aus der Position der so bestimmten Umrißpunkte durch Extrapolation die Position der gesuchten charakteristischen Punkte bestimmt.
mit Mitteln zur Beleuchtung der Probe (P) derart, daß im Bereich des Eindrucks (I) eine gegenüber der umliegenden Zone veränderte Leuchtdichte entsteht,
einem optischen System (OS) zur Erzeugung eines vergrößerten Bildes des den Eindruck enthaltenden Oberflächenbereichs (R),
optoelektrischen Wandlermitteln (VC) zur punktweisen Abtastung des Bildes der Probe (P) und zur Erzeugung elektrischer Bildsignale, welche Informationen (L) enthalten, die für die Leuchtdichte der abgetasteten Bildpunkte kennzeichnend sind, und
eine Recheneinrichtung (CS) zur rechnerischen Auswertung der Bildsignale,
dadurch gekennzeichnet, daß die Recheneinrichtung (CS) derart programmiert ist, daß sie
die Bildsignale mit einem Differenzialoperator (So, Sv) zu differentiellen Bildsignalen (Go, Gv) verarbeitet, die für den Betrag des Leuchtdichtegradienten (G) an den jeweiligen Bildpunkten kennzeichnend sind,
daß sie die differentiellen Bildsignale mit wenigstens einem vorbestimmten Bezugswert (T) vergleicht;
daß sie diejenigen Bildpunkte, an denen der Leuchtdichtegradient (G) größer als der Bezugswert (T) ist, als auf dem Umriß des Eindrucks (I) liegende Umrißpunkte definiert und ihre Position bestimmt, und
daß sie aus der Position der so bestimmten Umrißpunkte durch Extrapolation die Position der gesuchten charakteristischen Punkte bestimmt.
9. Gerät nach Anspruch 8,
dadurch gekennzeichnet, daß die Recheneinrichtung
(CS) derart programmiert ist,
daß sie die Position des Schwerpunkts (0) des Leuchtdichtegradienten (GT) der abgetasteten Region (r) berechnet,
daß sie diesen Schwerpunkt (0) zum Ursprungspunkt eines polaren Bezugssystems (0, r, ϑ) bestimmt,
daß sie den Variationsbereich der Winkelkoordinaten (ϑ) dieses Bezugssystems (0, r, ϑ) in eine vorbestimmte Anzahl (N) von gleichen Winkelsektoren unterteilt,
und daß sie in jedem dieser Winkelsektoren denjenigen Punkt auswählt, dem der größte Absolutwert des Leuchtdichtegradienten (GT) entspricht, und diesen Punkt als einen auf dem Umriß des Bildes des Eindrucks (I) liegenden Punkt bestimmt.
daß sie die Position des Schwerpunkts (0) des Leuchtdichtegradienten (GT) der abgetasteten Region (r) berechnet,
daß sie diesen Schwerpunkt (0) zum Ursprungspunkt eines polaren Bezugssystems (0, r, ϑ) bestimmt,
daß sie den Variationsbereich der Winkelkoordinaten (ϑ) dieses Bezugssystems (0, r, ϑ) in eine vorbestimmte Anzahl (N) von gleichen Winkelsektoren unterteilt,
und daß sie in jedem dieser Winkelsektoren denjenigen Punkt auswählt, dem der größte Absolutwert des Leuchtdichtegradienten (GT) entspricht, und diesen Punkt als einen auf dem Umriß des Bildes des Eindrucks (I) liegenden Punkt bestimmt.
10. Gerät nach Anspruch 9,
dadurch gekennzeichnet, daß die Recheneinrichtung
(CS) derart programmiert ist,
daß sie zunächst den Trägheitsradius (RI) des Leuchtdichtegradienten (I) der Punkte des abgetasteten Bildes relativ zu dem Schwerpunkt (0) berechnet,
daß sie sodann in Anhängigkeit von der Größe des Trägheitsradius (RI) einen Maximalwert (M) der radialen Koordinate (r) in dem polaren Bezugssystem (0, r, ϑ) festlegt,
und daß sie schließlich in jedem der genannten Winkelsektoren diejenigen Punkte auswählt, deren radiale Koordinate (r) gleich oder kleiner ist als der Maximalwert (RM), und unter diesen Punkten denjenigen Punkt, dem der größte Absolutwert des Leuchtdichtegradienten (GT) entspricht, und daß diesen Punkt als einen Punkt auf dem Umriß des Bildes des Eindrucks (I) bestimmt.
daß sie zunächst den Trägheitsradius (RI) des Leuchtdichtegradienten (I) der Punkte des abgetasteten Bildes relativ zu dem Schwerpunkt (0) berechnet,
daß sie sodann in Anhängigkeit von der Größe des Trägheitsradius (RI) einen Maximalwert (M) der radialen Koordinate (r) in dem polaren Bezugssystem (0, r, ϑ) festlegt,
und daß sie schließlich in jedem der genannten Winkelsektoren diejenigen Punkte auswählt, deren radiale Koordinate (r) gleich oder kleiner ist als der Maximalwert (RM), und unter diesen Punkten denjenigen Punkt, dem der größte Absolutwert des Leuchtdichtegradienten (GT) entspricht, und daß diesen Punkt als einen Punkt auf dem Umriß des Bildes des Eindrucks (I) bestimmt.
11. Gerät nach Anspruch 10,
dadurch gekennzeichnet, daß die Recheneinrichtung
(CS) derart programmiert ist,
daß sie in Abhängigkeit von dem Trägheitsradius (RI) einen Minimalwert (Rm) der radialen Koordinate (r) in dem polaren Bezugssystem (0, r, ϑ) festlegt,
daß sie in jedem der Winkelsektoren die Punkte auswählt, deren radiale Koordinate (r) zwischen dem Maximalwert (RM) und dem Minimalwert (Rm) liegt,
daß sie unter diesen Punkten anschließend denjenigen Punkt auswählt, dem der größte Absolutwert des Leuchtdichtegradienten (GT) entspricht,
und daß sie diesen Punkt als einen Punkt auf dem Umriß des Bildes des Eindrucks (I) bestimmt.
daß sie in Abhängigkeit von dem Trägheitsradius (RI) einen Minimalwert (Rm) der radialen Koordinate (r) in dem polaren Bezugssystem (0, r, ϑ) festlegt,
daß sie in jedem der Winkelsektoren die Punkte auswählt, deren radiale Koordinate (r) zwischen dem Maximalwert (RM) und dem Minimalwert (Rm) liegt,
daß sie unter diesen Punkten anschließend denjenigen Punkt auswählt, dem der größte Absolutwert des Leuchtdichtegradienten (GT) entspricht,
und daß sie diesen Punkt als einen Punkt auf dem Umriß des Bildes des Eindrucks (I) bestimmt.
12. Gerät nach Anspruch 10 oder 11,
dadurch gekennzeichnet, daß die Recheneinrichtung
(CS) derart programmiert ist,
daß sie den Wert der radialen Koordinate (r) jedes der als auf dem Umriß liegend angenommenen Punkte mit dem Mittelwert der radialen Koordinaten einer vorbestimmten Anzahl von Punkten vergleicht, die in der Umgebung des jeweils untersuchten Punktes liegen,
und daß sie den untersuchten Punkt nur dann definitiv als einen Punkt auf dem Umriß des Eindrucks (I) bestimmt, wenn die Differenz zwischen seiner radialen Koordinate und dem Mittelwert unter einem vorbestimmten Wert liegt.
daß sie den Wert der radialen Koordinate (r) jedes der als auf dem Umriß liegend angenommenen Punkte mit dem Mittelwert der radialen Koordinaten einer vorbestimmten Anzahl von Punkten vergleicht, die in der Umgebung des jeweils untersuchten Punktes liegen,
und daß sie den untersuchten Punkt nur dann definitiv als einen Punkt auf dem Umriß des Eindrucks (I) bestimmt, wenn die Differenz zwischen seiner radialen Koordinate und dem Mittelwert unter einem vorbestimmten Wert liegt.
13. Gerät nach Anspruch 12,
dadurch gekennzeichnet, daß die Recheneinrichtung
(CS) derart programmiert ist,
daß sie den untersuchten Punkt durch einen durch Interpolation
der Koordinaten der in seiner Umgebung liegenden
Punkte bestimmten fiktiven Punkt ersetzt, wenn die Differenz
zwischen der radialen Koordinate des untersuchten
Punktes und dem genannten Mittelwert den vorbestimmten
Wert übersteigt.
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|---|---|
| DE3505331A1 DE3505331A1 (de) | 1985-08-29 |
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