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HINTERGRUND DER ERFINDUNG
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Die
vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung
zum Messen der Höhe
der Oberfläche
eines Objekts. Insbesondere betrifft die vorliegende Erfindung ein
Meßverfahren,
das zur Messung der Höhe
eines kugeligen Objekts wie zum Beispiel einer im TAB-Verfahren
(automatisches Filmboden) ausgebildeten Lötperle auf einer elektronischen
Komponente oder auf einem Halbleitermodul wie einem LSI geeignet
ist. Des weiteren betrifft die vorliegende Erfindung ein Meßverfahren
für die
Höhe des
Scheitels eines kugeligen Objekts, dessen Position nicht genau festgelegt
ist und das einen Oberflächenzustand
aufweist, der aufgrund von kleinen Rauhigkeiten und Verfärbungen
nicht gleichmäßig ist.
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Beim
CBB-Bonden und dergleichen wird auf einer elektronischen Komponente
wie einem LSI in Gitterform eine große Anzahl von kleinen kugeligen Lötperlen
aufgebracht, die als Elektroden verbunden werden. Um eine zuverlässige Verbindung
sicherzustellen, ist es daher unerläßlich, die Höhe der einzelnen
Lötperlen
vor der Verbindung zu prüfen.
Es ist daher erforderlich, die Höhe
des Scheitels eines kugeligen Objekts mit hoher Geschwindigkeit
und hoher Genauigkeit zu messen.
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Es
sind verschiedene Verfahren zum kontaktfreien Messen der Höhe eines
Objekts mittels des Triangulationsverfahrens mit einem Lichtstrahl
bekannt. Bei diesen Verfahren wird zum Messen der Höhe des Scheitels
eines Objekts, das kugelig ist und dessen Position nicht genau bekannt
ist, das heißt wobei
die Position des Scheitels des Objekts nicht genau bekannt ist,
die X-, Y- und Z-Achse von dreidimensionalen orthogonalen Koordinaten
festgelegt, und es erfolgt eine Abtastung durch einen optischen Strahl
relativ zur Richtung der X-Achse des Objekts, wie es in der 8A gezeigt
ist (801). Aus der Menge des reflektierten Lichts wird
mit einem Verfahren, das später
noch beschrieben wird, die Position des Umlenkpunktes auf der abgetasteten
Linie ermittelt. Dann erfolgt relativ zur Richtung der Y-Achse unter Einschluß des Umlenkpunktes
mit dem optischen Strahl eine weitere Abtastoperation (802),
um wieder durch die Menge des reflektierten Lichts die Position des
Umlenkpunktes auf der abgetasteten Linie zu erhalten. Diese Position
wird dann als die Position 803 des Scheitels des Objekts
definiert, wie es in der 8B gezeigt
ist, um die Höhe
an dieser Stelle als die Höhe
des Objekts festzulegen.
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Bei
diesem Festlegungsverfahren zum Erhalten des Umlenkpunktes aus der
Menge des reflektierten Lichts wird die Mittenposition zwischen
der Position, an der die reflektierte Lichtmenge einen vorgegebenen
Entscheidungspegel übersteigt,
und der Position, an der die Menge des reflektierten Lichts auf
den Entscheidungspegel oder darunter abgefallen ist, als Umlenkpunkt
festgelegt.
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Ein
Verfahren dieser Art ist zum Beispiel in der JP-A-60-196608 beschrieben.
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Die
US-A-5 064 291 beschreibt ein Verfahren zum Bestimmen der Integrität von Lötverbindungen durch
Bestrahlen eines Lötpunktes
unter verschiedenen Winkeln, Messen der Intensität des reflektierten Lichts
und Vergleichen der Meßwerte
mit vorgegebenen Kriterien.
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Die
US-A-5 023 916 beschreibt ein Verfahren zum Untersuchen von Anschlüssen von
elektrischen Komponenten auf gedruckten Leiterplatten durch Aufnehmen
einer Abbildung jedes der Anschlüsse, Projizieren
von Pixelintensitätswerten
innerhalb jedes Polygons, das ein Segment der Abbildung darstellt,
auf eine axiale Dimension, um eine Meßwellenform zu erhalten, und
Vergleichen der Meßwellenform
mit einer Modell-Wellenform.
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ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
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Bei
dem beschriebenen Stand der Technik wird der Oberflächenzustand
des Objekts nicht in Betracht gezogen. Wenn auf der Oberfläche des
Objekts ein Abschnitt verfärbt
oder rauh ist, wird die Reflektion des Lichts an der Oberfläche des
Objekts gestört,
so daß in
der reflektierten Lichtmenge eine Anzahl von Spitzen erscheint.
Die Position des Umlenkpunktes wird daher falsch festgelegt, und
die Höhe des
Scheitels kann nicht mit hoher Genauigkeit bestimmt werden.
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Aufgabe
der vorliegenden Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung
zum Messen der Höhe
des Scheitels eines Objekts mit hoher Genauigkeit zu schaffen, ohne
daß der
Oberflächenzustand des
Objekts darauf einen Einfluß hat.
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Diese
Aufgabe wird mit dem Verfahren nach Patentanspruch 1 und der Vorrichtung
nach Patentanspruch 6 gelöst.
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Wie
es genauer weiter unten beschrieben wird, werden eine Wellenform,
die aus digitalen Daten erhalten wird, die die Höhe des Objekts anzeigen und
die vom Kopfabschnitt eines Detektors erfaßt werden, und eine vorher
erstellte Standard-Wellenform miteinander verglichen, während die
Wellenformen in den vertikalen und horizontalen Richtungen verschoben
und an den verschobenen Positionen Korrelationskoeffizienten berechnet
werden, so daß die
Höhe des
Scheitels des Objekts auf der Basis des Ausmaßes der Verschiebung mit dem
größten Korrelationskoeffizienten
aus den berechneten Ergebnissen und die Höhe vor der Verschiebung der
Standard-Wellenform bestimmt werden kann.
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Entsprechend
läßt sich
die Höhe
des Scheitels aus der gesamten erfaßten Wellenform bestimmen,
ohne daß lokale
Unregelmäßigkeiten
in der Wellenform der reflektierten Lichtmenge aufgrund von kleinen
Rauhigkeiten oder Verfärbungen
an der Oberfläche
des Objekts darauf einen Einfluß haben.
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Beim
Vergleichen der Wellenformen werden für jedes Objekt auf der Basis
der Daten über
die reflektierte Lichtmenge (digitale Daten) der Objekte die Breiten
der zu vergleichenden Wellenformen bestimmt.
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Die
zum Vergleich herangezogene Standard-Wellenform wird wie folgt erstellt:
Wenn
zum Beispiel eine Anzahl von kugeligen Objekten zu vermessen ist,
die in der Form eines Gitters auf einer Basis angeordnet sind, etwa
Lötperlen
auf einer elektronischen Komponente, wird die Standard-Wellenform
aus den Höhendaten
der Anzahl Objekte ge bildet, die erhalten werden, wenn die Objekte
in einer vorgegebenen Richtung in einer Reihe abgetastet werden,
wobei bei jedem Abtasten einer Reihe eine Aktualisierung erfolgt.
Auch wenn durch eine Änderung
innerhalb einer Herstellungsserie, in einem Herstellungsprozeß und dergleichen
sich die Krümmung,
der Glanz und dergleichen der Oberfläche der einzelnen Objekte ändert, kann
die Standard-Wellenform daher den Änderungen folgen, so daß eine stabile
Messung erhalten wird.
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Da
bei dem Meßverfahren
die Bezugsdaten der Standard-Wellenform nicht vorher festgelegt
werden, sondern für
jede Abtastreihe erstellt werden, können mit dem gleichen Verfahren
und der gleichen Vorrichtung Objekte mit verschiedenen Höhen und Durchmessern
gemessen werden.
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KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
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1 ist
eine schematische Darstellung des Prinzips des Wellenformabgleichs
gemäß der vorliegenden
Erfindung;
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2 zeigt
die Konturlinien, die die Verteilung der Korrelationskoeffizienten
in jeder Verschiebung ausdrücken;
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3 ist
eine Darstellung der Variationen und der erhaltenen Lichtmengen,
wenn Erhebungen in einer Reihe abgetastet werden;
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4 eine
Darstellung zur Erläuterung
des Rechenprinzips an effektiven Daten, die bezüglich einer Erhebung in der
Reihe von abgetasteten Erhebungen die Originaldaten für die Standard-Wellenform
sind;
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5 ist
ein Flußdiagramm
für die
Prozedur bei der Erstellung einer Standard-Wellenform;
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6 eine
schematische Darstellung einer Höhenmeßvorrichtung
zur Ausführung
der vorliegenden Erfindung;
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7 eine
Darstellung zur Erläuterung
des Abtastverfahrens in einer Stufe; und
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8A und 8B sind
Darstellungen zum herkömmlichen
Meßverfahren.
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BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN
AUSFÜHRUNGSFORMEN
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Anhand
der beiliegenden Zeichnungen wird nun eine Ausführungsform der vorliegenden
Erfindung näher
erläutert.
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Die
Beschreibung erfolgt für
den Fall, daß bei der
Ausführungsform
eine große
Anzahl von Lötperlen
vermessen wird, die in Gitterform auf einer Basis angeordnet sind,
etwa bei einer elektronischen Komponente, wobei die Höhe des Scheitels
der Lötperlen gemessen
wird.
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Die 6 zeigt
schematisch eine Höhenmeßvorrichtung
zur Ausführung
der vorliegenden Erfindung.
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Auf
einer Basis 602 befindet sich eine Anzahl von kugeligen
Erhebungen 601, die zu messen sind. Die Erhebungen 601 sind
in der Form eines Gitters nahe beieinander angeordnet.
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Bei
der vorliegenden Ausführungsform
haben die zu messenden Erhebungen einen Durchmesser von etwa 100 μm und einen
Abstand von etwa 300 μm.
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Ein
Detektor 603 umfaßt
einen Detektorkopf zum Messen der Höhe und eine Lichtquelle zum
Aussenden eines optischen Strahls in schräger Richtung sowie ein Element
zum Erfassen der Position des reflektierten Lichts. Der Abstand
zwischen der Erhebung 601 und dem Detektor 603 wird
nach dem Triangulationsverfahren gemessen, und die Höhe der Erhebung
wird auf der Basis des Meßwerts
und des Abstands von Detektor 603 und Basis 602 bestimmt.
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Von
einer Meßeinrichtung 604 wird
ein Signal 608 über
die reflektierte Lichtmenge und das am Detektor 603 erfaßte Höhensignal 609 zu
einer Steuerung 607 mit einem Speicher 605 und
einer Feststellungseinrichtung 606 gesendet. Die Basis 602 kann
durch Bewegen eines X-Tisches 610 und eines Y-Tisches 611 in
Reaktion auf entsprechende Befehle von der Steuerung 607 relativ
zum Detektor 603 in der X- und der Y-Richtung bewegt werden.
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Die 7 zeigt
das Abtastverfahren zum Vermessen der Erhebungen 601 mit
dem Detektor 603.
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Der
Detektor 603 tastet die Umgebung der Scheitel der Erhebungen 601 auf
der Basis 602 für jede
Reihe in der X-Richtung mehrmals ab und nimmt die Signale 608 für die reflektierte
Lichtmenge und die Höhensignale 609 für eine Reihe
auf. Die Signale werden in der Steuerung 607 gespeichert.
Diese Abtastoperation wird wiederholt, während der Y-Tisch 611 zu
jeder Reihe von Erhebungen verfahren wird, um alle Erhebungen 601 auf
der Basis 602 abzutasten.
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Die 1 ist
eine Darstellung zum Erläutern des
Prinzips zur Festlegung des Scheitels bei der Ausführungsform.
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Die
Variationswellenform 102 entspricht dem Höhensignal
einer Erhebung 601. Die Standard-Wellenform 101 ist
eine Wellenform nach einem Standardmodell in der Umgebung des Scheitels
der Erhebung, die mit dem später
beschriebenen Verfahren erstellt wird. Die vorläufige Mittenposition 104 der
Variationswellenform 102 stellt die vorläufige Mittenposition
dar, die auf der Basis einer vorgesehenen Position berechnet wird,
wenn die Erhebung abgetastet wird und die Höheninformation und die Information über die
reflektierte Lichtmenge mit einem herkömmlichen Verfahren erhalten
werden.
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Zuerst
wird die Position 103 des Scheitels der Standard-Wellenform
und die Position 105 des vorläufigen Scheitels der Variationswellenform 102 überlagert,
um einen Korrelationskoeffizienten zu berechnen. Die Scheitelposition 103 der
Standard-Wellenform zu dem Zeitpunkt, wenn die Mittelachse der Standard-Wellenform
mit der Mittelachse der Variationswellenform ausgerichtet ist, wird
als Ursprung festgelegt, und in der Abtastrichtung des Detektors bzw.
in der Höhenrichtung
wird die X-Achse bzw. die Z-Achse festgelegt. Der Korrelationskoeffizient
wird aus den Werten der X-Koordinaten der Standard-Wellenform und der
Variationswellenform berechnet, die Ansammlungen von Datenpunk ten
sind, und die Werte für
die Z-Koordinaten bei den X-Koordinaten und das berechnete Ergebnis
wird im Speicher 605 der Steuerung 607 gespeichert.
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Der
Korrelationskoeffizient gibt den Grad der Übereinstimmung in der Form
der Variationswellenform 102 und der Standard-Wellenform 101 quantitativ
wieder, und ein großer
Korrelationskoeffizient zeigt an, daß die beiden Wellenformen einander
sehr ähnlich
sind.
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Bei
der vorliegenden Ausführungsform
wurde die Breite in der X-Koordinate auf 2 μm eingestellt. Die Breite kann
jedoch entsprechend der Größe der Erhebung
und der Genauigkeit auf jeden Wert eingestellt werden.
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Des
weiteren wird die Standard-Wellenform 101 in der X- oder
Z-Richtung verschoben. Das heißt, daß eine Schnittposition
im Bereich des Vergleichs mit der Variationswellenform 102 in
vertikaler Richtung oder in horizontaler Richtung verschoben und wieder
der Korrelationskoeffizient berechnet wird. Der Vergleich und die
Berechnung werden bei jeder Verschiebung in vertikaler und horizontaler
Richtung innerhalb eines vorgegebenen Bereichs wiederholt, und in
den einzelnen Fällen
werden die Korrelationskoeffizienten berechnet. Die Summe des Verschiebungsausmaßes in der
Z-Richtung vom Ursprung zu der Position mit dem größten Korrelationskoeffizienten
der berechneten Werte wird bestimmt, und die Höhe der Position 103 des
Scheitels der Standard-Wellenform 101 wird als die Höhe des Scheitels der
Erhebung auf der Abtastlinie festgelegt.
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Der
Verschiebungsbereich in der Z-Richtung wird vorher entsprechend
der Genauigkeit der Vorrichtung zum Ausbilden der Lötperlen
bestimmt. Zum Beispiel wird der Verschiebungsbereich auf das etwa anderthalbfache
des Unterschieds der mit einer Lötperlen-Ausbildungsvorrichtung
erzeugten niedrigsten und höchsten
Lötperle
eingestellt. Der Verschiebungsabstand wird auf etwa die Meßauflösung des Detektors 603 eingestellt.
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Bei
der Ausführungsform
werden, da wie in der 7 gezeigt der Abtastvorgang
für die
Lötperlen
einer Reihe drei Mal wiederholt wird, für eine Erhebung drei Scheitelhöhenwerte
erhalten. Als wirkliche Scheitelhöhe wird der Scheitelhöhenwert
mit der größten Breite
der Lichtmengenwellenform über
einem Schwellenwert der reflektierten Lichtmenge angenommen, wie
es in der 4 gezeigt ist.
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Die 2 zeigt
ein Beispiel für
die Relation der Korrelationskoeffizienten, die mit dem obigen Verfahren
und dessen Positionen durch eine ±5-fache Verschiebung in der
X- und der Z-Richtung
erhalten werden.
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In
der 2 geben die mit A, B, C, D und E (A > B > C > D > E) bezeichneten Abschnitte
Punkte an, die die Korrelationskoeffizienten anzeigen, die im wesentlichen
für jeden
Buchstaben identisch sind und die durch X- und Z-Verschiebungsausmaße ausgedrückt werden.
Die Korrelationskoeffizienten sind in konzentrischen Kreisen um
die Position A (201) mit dem größten Korrelationskoeffizienten
verteilt.
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Die
reflektierten Lichtmengen an den einzelnen Stellen werden in dem
zu vergleichenden Bereich der Variationswellenform 102 geprüft, so daß die Höhensignale
von Positionen, die einen vorher eingestellten Bezugswert nicht
erreichen, nicht dem Vergleich und der Berechnung unterworfen werden. Dadurch
wird eine Herabsetzung der Entscheidungsgenauigkeit durch falsche
Signale verhindert.
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Anhand
der 3, 4 und 5 wird nun ein
Verfahren zum Erstellen der Standard-Wellenform 101 beschrieben.
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Die 3 zeigt
Variationswellenformen 301, 302, 303 und 304 und
eine Lichtmengen-Wellenform 311 von Erhebungen, die durch
Abtasten von Erhebungen in einer Reihe (n Erhebungen) erhalten wird. Die 4 ist
eine vergrößerte Ansicht
der Wellenform einer Erhebung. Die 5 ist ein
Floßdiagramm für die Prozedur
bei der Erstellung der Standard-Wellenform.
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Das
grundlegende Prinzip bei der Erstellung der Standard-Wellenform
als Modell für
den Vergleich und die Entscheidung ist das Mitteln der Wellenformen
von zu vergleichenden und zu messenden Erhebungen.
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Es
werden nun die effektiven Daten zum Erhalten der Standard-Wellenform
beschrieben.
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In
der 4 bezeichnet das Bezugszeichen 403 eine
erfaßte
Variationswellenform und das Bezugszeichen 404 die Wellenform
einer reflektierten Lichtmenge. Es werden nur die durch die Wellenform 404 ausgedrückten reflektierten
Lichtmengen für
die effektiven Variationsdaten zum Erhalten der Standard-Wellenform
verwendet, die über
einem zweiten Schwellenwert 406 für die effektiven Daten liegen. Variationsdaten,
die unter dem zweiten Schwellenwert 406 liegen, werden
nicht für
die effektiven Daten verwendet. Das heißt, daß in der 4 für die effektiven
Daten zum Erstellen der Standard-Wellenform nur die Abschnitte 401(a) und 401(b) verwendet
werden, bei denen die reflektierten Lichtmengen über dem zweiten Schwellenwert 406 liegen.
Die Variationsdaten der anderen Abschnitte werden nicht für die effektiven
Daten zur Erstellung der Standard-Wellenform verwendet.
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Es
wird nun die Prozedur zum Erstellen der Standard-Wellenform beschrieben.
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Zuerst
werden in jeder Reihe die Variationen und reflektierten Lichtmengen
der Erhebungen erfaßt,
um Variationswellenformen und Lichtmengen-Wellenformen abzuleiten
(501). Zum Beispiel werden die Variationswellenformen und
die Lichtmengen-Wellenformen für
die in der 3 mit 301, 302, 303 und 304 bezeichneten
Erhebungen abgeleitet. In der 3 sind in
einer Reihe nur vier Erhebungen dargestellt. Tatsächlich gibt
es jeweils einige zehn bis einige hundert Erhebungen.
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Dann
wird die Position eines vorläufigen Scheitels
für jede
Wellenform ermittelt (502). In der 4 wird die
vorläufige
Mittenposition 402 als die Mittenposition für die Breite
der Wellenform bis zum Abfallen der reflektierten Lichtmenge unter
einen ersten Schwellenwert 405 erhalten. Die Mittenposition wird
aus dem Überschreiten
des ersten Schwellenwertes 405 durch die reflektierte Lichtmenge
festgelegt, und der Schnittpunkt der Mittenposition und der Variationswellenform
wird als vorläufige
Scheitelposition definiert.
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In
der vorliegenden Ausführungsform
werden zwei Schwellenwerte für
die Festlegung der effektiven Daten und die Festlegung der Mittenposition aus
der reflektierten Lichtmenge verwendet. Bei den effektiven Daten
sollte die reflektierte Lichtmenge so groß wie möglich sein, um die Genauigkeit
zu erhöhen.
Wenn ein solcher hoher Schwellenwert für die Mittenposition verwendet
wird, kann jedoch möglicherweise
keine genaue Mittenposition bestimmt werden, da, wenn in der reflektierten
Lichtmenge aufgrund des Oberflächenzustands
einer Erhebung zwei oder mehr Spitzen auftreten, für jede Spitze
eine Mittenposition erhalten wird. Zur Festlegung der Mittenposition
wird daher ein kleinerer Schwellenwert verwendet, so daß für jede Erhebung
nur eine Mittenposition erhalten wird. Der Schwellenwert kann jedoch auch
auf einen Zwischenwert eingestellt werden, der die Funktionen beider
Schwellenwerte für
die Festlegung der effektiven Daten und der Mittenposition übernimmt.
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Der
zweite Schwellenwert wird zum Ableiten der effektiven Daten aus
der abgeleiteten Wellenform verwendet. Die effektiven Daten 321, 322, 323 und 324 werden
für alle
Erhebungen der abgetasteten Reihe addiert und gemittelt (503, 504).
Das Additions- und Mittelungsverfahren ist folgendes: Die X-Achse
(der Ursprung O ist die vorläufige
Mittenposition) wird in die Abtastrichtung gelegt und die Z-Achse
(der Ursprung O ist die Basisebene) in die Höhenrichtung. Die Werte der
Z-Koordinaten der effektiven Daten für jede der X-Koordinaten werden
für alle
Erhebungen addiert (503) und die Summe dann durch die Anzahl
der addierten Koordinaten geteilt (504). Wenn zum Beispiel
die Z-Koordinaten (Z1 ... Zn) für
eine bestimmte X-Koordinate X1 von 100 Erhebungen in einer Reihe
für 80
Erhebungen effektive Daten sind, werden die jeweiligen Werte der
80 Z-Koordinaten addiert und die Summe dann durch 80 geteilt. In
der 3 werden die Werten von Z1, Z2 und Zn addiert
und die Summe dann durch 3 geteilt, da nur Z1, Z2 und Zn effektive
Daten sind und Z3 nicht zu den effektiven Daten gehört.
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Wie
oben angegeben bildet die Sammlung der addierten und gemittelten
Werte der Z-Koordinaten der effektiven Daten in den X-Koordinaten
die Standard-Wellenform.
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Wenn
die Standard-Wellenform erstellt ist, wird sofort die oben genannte
Vergleichsoperation durchgeführt
und der Korrelationskoeffizient berechnet, während die erfaßte Variationswellenform
und die Standard-Wellenform verschoben werden. Wenn die Vergleichsoperation
in der Abtastreihe vollständig durchgeführt ist,
werden die gespeicherten Daten über
die Standard-Wellenform gelöscht
und der Abtastvorgang für
die nächste
Reihe ausgeführt,
um für die
nächste
Reihe die Standard-Wellenform zu erstellen und die Vergleichsoperation
durchzuführen. Dieser
Vorgang wird für
alle Erhebungsreihen wiederholt.
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In
der 4 werden die effektiven Daten in zwei Abschnitte
unterteilt, während
die Mittelung für die
effektiven Daten für
alle Punkte aller Erhebungen einer Reihe erfolgt, so daß die Unterteilung
der effektiven Daten kein Problem ist. Auch wenn die schließlich erstelle
Standard-Wellenform unterteilt wird, wird sie als Zusammenstellung
von Punkten für
den Vergleich und die Berechnung behandelt, so daß eine Unterteilung
der Standard-Wellenform
kein Hindernis darstellt.
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Die
Standard-Wellenform für
den Vergleich wird aus den Höhendaten
einer Anzahl von Erhebungen erstellt, die erhalten werden, wenn
die Lötperlen einer
Reihe abgetastet werden, wobei für
jede Abtastung der Reihe eine Aktualisierung erfolgt, so daß auch dann,
wenn die Krümmung,
der Glanz und dergleichen der Oberfläche der Erhebung sich aufgrund von Änderungen
in der Herstellungsserie, im Herstellungsprozeß und dergleichen ändern, die
Standard-Wellenform den Änderungen
folgen kann und so eine stabile Messung erreicht wird. Bei dem vorliegenden
Meßverfahren
werden die Daten für
die Bezugs-Standard-Wellenformn
nicht vorher festgelegt, sondern für jede Abtastung der Reihe
erstellt. Erhebungen mit verschiedenen Höhen und Durchmessern können so
mit dem gleichen Verfahren und der gleichen Vorrichtung vermessen
werden.
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Da
bei dem erfindungsgemäßen Verfahren durch
Vergleichen der Standard-Wellenform mit der Variationswellenform
in der Umgebung des Scheitels die Höhe des Scheitels des Objekts
wie zum Beispiel einer kugeligen Lötperle bestimmt wird, statt
die Wellenform der reflektierten Lichtmenge zu verwenden, hat die
Festlegung der Höhe
keinen Bezug zu Störungen
der Wellenform der reflektierten Lichtmenge und wird von der Rauhigkeit
der Oberfläche
des Objekts nicht beeinflußt.
Da die Standard-Wellenform keine absolute Referenz darstellt und
in Echtzeit aus dem zu messenden Objekt selbst erstellt wird, reagiert
sie flexibel auf Änderungen
in der Art des Objekts und dergleichen.