DE112008003337B4

DE112008003337B4 - Eigenschaftsanalysegerät

Info

Publication number: DE112008003337B4
Application number: DE112008003337T
Authority: DE
Inventors: Yoshinori Hayashi; Hiroshi Wakaba; Koichi Miyazono; Yoko Ono; Hideki Mori
Original assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Current assignee: Shibaura Mechatronics Corp
Priority date: 2007-12-05
Filing date: 2008-12-01
Publication date: 2013-05-16
Anticipated expiration: 2028-12-02
Also published as: KR20100072080A; US20100310150A1; CN101889196B; US8700498B2; DE112008003337T5; JPWO2009072458A1; JP5327973B2; CN101889196A; KR101193728B1; WO2009072458A1

Abstract

Eigenschaftsanalysegerät, wobei eine Anzahl Kategorien, die die Eigenschaften eines durch die Untersuchungsgegenstandsinformation in einem festgelegten Format definierten Untersuchungsgegenstandes wiedergeben, als Anzahl von Schichten eingestellt wird, eine Anzahl Eigenschaftsparameter, die jeweils der Anzahl Kategorien angehören, eingestellt wird, und Richtungen auf der gleichen Ebene der Anzahl der entsprechenden Eigenschaftsparameter zugeordnet werden, mit einer Einrichtung zum Gewinnen von Untersuchungsgegenstandsinformationen eines zu analysierenden Untersuchungsgegenstandes, einer Einrichtung zum Bestimmen von Parameterwerten, mit der die erhaltenen Untersuchungsgegenstandsinformation analysiert werden und die Eigenschaftsparameterwerte für jede der Anzahl Schichten bestimmt werden, einer Einrichtung zur Parametervektor-Erstellung, mit der ein einzelner Parametervektor auf der Basis von Werten der Anzahl von Eigenschaftsparametern und der entsprechenden Richtungen für jede der Anzahl Schichten erstellt wird, einer Vektorumwandlungseinrichtung, mit der der für jede der Anzahl Schichten erhaltene Parametervektor in einen Schichtvektor eines 3D-Vektors in einem festgelegten 3D-Raum umgewandelt wird, und einer Eigenschaftsinformations-Erzeugungseinrichtung, mit der ein Satz von Koordinatenwerten in...

Description

TECHNISCHES GEBIET
Die Erfindung betrifft ein Eigenschaftsanalysegerät, das die Eigenschaften eines aufgenommenen Bildes oder eines anderen Untersuchungsgegenstandes analysiert, wenn ein Bild von der Oberfläche eines zu untersuchenden Halbleiterwafers aufgenommen wird.
STAND DER TECHNIK
In der Vergangenheit wurde ein Gerät vorgeschlagen, das die Art eines Fehlers bei einem Halbleiterwafer anhand eines Bildes desselbigen klassifiziert (siehe JP 2001-256480 A ; EP 0 783 170 B1 ). Dieses Gerät nimmt ein Bild eines Halbleiterwafers (des zu untersuchenden Gegenstandes) auf, analysiert das erhaltene Bild und klassifiziert den Fehler usw. des in dem Bild erscheinenden Halbleiterwafers. Es wandelt spezifisch eine Anzahl von Parametern, die die Form, Farbe, Bildhelligkeit und andere in dem Bild erscheinende Eigenschaften eines Fehlers wiedergeben, in numerische Werte um, so dass ein Vektor erzeugt wird, der durch den Satz der Anzahl Parameter als Eigenschaftsvektor definiert wird, der die Eigenschaften des Fehlers wiedergibt. Es klassifiziert zudem einen auf dem Bild enthaltenen Fehler auf der Basis der Position eines Punktes in einem Eigenschaftsraum, der diesem Eigenschaftsvektor (Eigenschaftspunkt) entspricht.
Mit einem solchen Eigenschaftsanalysegerät, das dazu ausgelegt ist, dass es Bilddaten, die ein Bild (einen untersuchten Gegenstand) wiedergeben (Information über den untersuchten Gegenstand: beispielsweise Helligkeitswerte der Pixeleinheiten) derart analysiert, dass ein Eigenschaftsvektor erhalten wird, der de Eigenschaften des Bildes ausdrückt, lässt sich beispielsweise ein Fehler oder ein anderer untersuchter Gegenstand eines Halbleiterwafers auf der Basis des Eigenschaftsvektors klassifizieren.
OFFENBARUNG DER ERFINDUNG
Technisches Problem
Versucht man bei dem vorstehenden herkömmlichen Eigenschaftsanalysegerät die Genauigkeit der Analyse durch Verwendung einer größeren Zahl von Eigenschaftsparametern zu verbessern, wird der Eigenschaftsvektor dieser größeren Zahl von Eigenschaftsparameter jedoch zu einem 3D- oder noch höherdimensionalen Vektor. Aus diesem Grund ist es schwierig, eine geeignete Anwender-Schnittstelle bereitzustellen, die eine optische Bestätigung der Eigenschaften eines Untersuchungsgegenstandes oder des Zustandes ihrer Verteilung ermöglicht.
Da zudem die Eigenschaften des Untersuchungsgegenstandes mit einem einzelnen Punkt im Eigenschaftsraum verknüpft sind, ist der Freiheitsgrad der Klassifizierung letztendlich eingeschränkt.
Die Erfindung wurde in Erwägung dieser Situation gemacht und stellt ein Eigenschaftsanalysegerät bereit, das einfach eine Anwenderschnittstelle bereitstellt, die eine optische Bestätigung der Eigenschaften eines Untersuchungsgegenstandes ermöglicht, und das es ermöglicht, dass die Einschränkungen des Freiheitsgrades der Klassifikation auf der Basis der Eigenschaften relativ verringert werden können.
Technische Lösung
Das erfindungsgemäße Eigenschaftsanalysegerät ist als Gerät konfiguriert, bei dem eine Anzahl von Kategorien, die die Eigenschaften eines durch die Untersuchungsgegenstandsinformation in einem festgelegten Format definierten Untersuchungsgegenstandes wiedergeben, als Anzahl von Schichten eingestellt wird, eine Anzahl Eigenschaftsparameter, die jeweils der Anzahl Kategorien angehören, eingestellt wird, und Richtungen auf der gleichen Ebene der Anzahl der entsprechenden Eigenschaftsparameter zugeordnet werden, und zwar mit einer Einrichtung zum Gewinnen von Untersuchungsgegenstandsinformation eines zu analysierenden Untersuchungsgegenstandes, einer Einrichtung zum Bestimmen von Parameterwerten, mit der die erhaltenen Untersuchungsgegenstandsinformation analysiert werden und die Eigenschaftsparameterwerte für jede der Anzahl Schichten bestimmt werden, einer Einrichtung zur Parametervektor-Erstellung, mit der ein einzelner Parametervektor auf der Basis von Werten der Anzahl Eigenschaftsparameter und der entsprechenden Richtungen für jede der Anzahl Schichten erstellt wird, einer Vektorumwandlungseinrichtung, mit der der für jede der Anzahl Schichten erhaltene Parametervektor in einen Schichtvektor eines 3D-Vektors in einem festgelegten 3D-Raum umgewandelt wird, und einer Eigenschaftsinformations-Erzeugungseinrichtung, mit der ein Satz von Koordinatenwerten in dem 3D-Raum einer Anzahl von Knoten, die durch Koppeln einer für die Anzahl Schichten erhaltenen Anzahl von Schichtvektoren erhalten wurden, in der Reihenfolge der Schichten als Eigenschaftsinformation erzeugt wird, die die Eigenschaften des analysierten Untersuchungsgegenstandes wiedergibt.
Aufgrund dieser Konfiguration können die Eigenschaften eines Untersuchungsgegenstandes durch einen Satz von Koordinatenpunkten einer Anzahl von Knoten, die erhalten werden durch Koppeln von Schichtvektoren, die 3D-Vektoren bilden, entsprechend der Anzahl der Schichten eines 3D-Raums in der Reihenfolge der Schichten wiedergegeben werden.
Das erfindungsgemäße Eigenschaftsanalysegerät kann zudem so konfiguriert sein, dass die Vektorumwandlungseinrichtung den Schichtvektor einer festgelegten Länge erzeugt, wobei eine Richtungskomponente des Parametervektors der Größe des Parametervektors entspricht.
Aufgrund dieser Konfiguration kann man eine Anzahl von Schichtvektoren der gleichen Längen erzeugen, und die Abstände zwischen einer Anzahl von Knoten, die durch Koppeln der Anzahl von Schicht-Vektoren erhalten werden, die als Eigenschaftsinformation erzeugt werden, werden konstant.
Das erfindungsgemäße Eigenschaftsanalysegerät kann zudem so konfiguriert sein, dass es eine Einrichtung zum Steuern der Eigenschaftsanzeige aufweist, mit der die gekoppelten Körper der Knoten und Arme, die der gekoppelten Anzahl Schichtvektoren entsprechen, auf einer Anzeigeeinheit auf der Basis der Eigenschaftsinformation angezeigt werden.
Aufgrund dieser Konfiguration kann man die Eigenschaften der Untersuchungsgegenstände als gekoppelte Körper von Knoten und Armen optisch darstellen.
Das erfindungsgemäße Eigenschaftsanalysegerät kann darüber hinaus zudem so konfiguriert sein, dass es eine Einrichtung zum Erzeugen von Ähnlichkeitsgrad aufweist, mit der eine Positionsbeziehung zwischen Knoten, die durch die entsprechenden Koordinatenwerte eines Satzes von Koordinatenwerten festgelegt werden, die in der ersten Eigenschaftsinformation enthalten sind, und Knoten, die durch die entsprechenden Koordinatenwerte eines Satzes von Koordinatenwerten festgelegt werden, die in der zweiten Eigenschaftsinformation enthalten sind, dazu verwendet wird, dass man Ähnlichkeitsgradinformation erzeugt, die das Ausmaß der Ähnlichkeit der ersten Eigenschaftsinformation und der zweiten Eigenschaftsinformation wiedergibt.
Werden bei dieser Konfiguration Knoten, die durch entsprechende Koordinatenwerte eines Satzes von Koordinatenwerten festgelegt werden, die in der ersten Eigenschaftsinformation enthalten sind, und Knoten, die durch entsprechende Koordinatenwerte eines Satzes von Koordinatenwerten festgelegt werden, die in einer zweiten Eigenschaftsinformation enthalten sind, in einem 3D-Raum angezeigt, kann die Positionsbeziehung zwischen der Gruppe der Knoten, die der ersten Eigenschaftsinformation entsprechen und der Gruppe der Knoten, die der zweiten Eigenschaftsinformation entsprechen, dazu verwendet werden, um das Ausmaß der Ähnlichkeit von zwei Untersuchungsgegenständen mit Eigenschaften, die durch die erste Eigenschaftsinformation und die zweite Eigenschaftsinformation wiedergegeben werden, zu beurteilen.
Das erfindungsgemäße Eigenschaftsanalysegerät kann zudem so konfiguriert sein, dass es eine Einrichtung zum Steuern der Anzeige der Ähnlichkeitsgradinformation aufweist, mit der die Ähnlichkeitsgradinformation auf der Anzeigeeinheit angezeigt wird.
Aufgrund dieser Konfiguration kann man das Ausmaß der Ähnlichkeit zweier Untersuchungsgegenstände mit Eigenschaften die durch die erste Eigenschaftsinformation und die zweite Eigenschaftsinformation wiedergegeben werden, quantitativ bestimmen.
Das erfindungsgemäße Eigenschaftsanalysegerät kann zudem so konfiguriert sein, dass es eine Gruppenstelleinrichtung aufweist, mit der die Eigenschaftsinformation für jede einer Anzahl von Untersuchungsgegenständen als Lehrinformation gehalten wird und ein Verteilungszustand der Lehrinformation für die Anzahl der Untersuchungsgegenstände verwendet wird, so dass man eine Anzahl Gruppen einstellt, durch die sich die Untersuchungsgegenstände klassifizieren lassen.
Aufgrund dieser Konfiguration wird die Eigenschaftsinformation der tatsächlichen Untersuchungsgegenstände als Lehrinformation verwendet, und die Gruppe, durch die ein untersuchter Gegenstand klassifiziert werden sollte, wird auf der Basis des Verteilungszustandes der Lehrinformation eingestellt, so dass die Klassifizierung entsprechend dem tatsächlichen Zustand der Eigenschaften eines Untersuchungsgegenstandes ermöglicht wird.
Das erfindungsgemäße Eigenschaftsanalysegerät kann zudem so konfiguriert sein, dass es eine Eigenschaftsregistriereinrichtung aufweist, mit der die Eigenschaftsinformation des Untersuchungsgegenstandes als Lehrinformation einer bestimmten Gruppe registriert wird.
Aufgrund dieser Konfiguration kann man die Eigenschaftsinformation der Untersuchungsgegenstände als Lehrinformation in einer bestimmten Gruppe registrieren.
Das erfindungsgemäße Eigenschaftsanalysegerät kann zudem so konfiguriert sein, dass es eine Einrichtung aufweist, mit der man anhand einer Positionsbeziehung zwischen Knoten, die durch entsprechende Koordinatenwerte eines Satzes von Koordinatenwerten festgelegt sind, die in der für einen zu analysierenden Untersuchungsgegenstand erhaltenen Eigenschaftsinformation enthalten sind, und Knoten, die durch entsprechende Koordinatenwerte eines Satzes von Koordinatenwerten festgelegt sind, die in mindestens einer in einer Gruppe enthaltenen Lehrinformation enthalten sind, beurteilt, ob der zu analysierende Untersuchungsgegenstand zu der Gruppe gehört.
Aufgrund dieser Konfiguration kann man einen Untersuchungsgegenstand entsprechend der Eigenschaftsinformation beurteilen, einschließlich eines Satzes von Koordinatenwerten, die die Knoten genauer spezifizieren als diejenigen Knoten, die durch die Koordinatenwerte eines Satzes von Koordinatenwerten festgelegt werden, die in mindestens einer Lehrinformation enthalten sind, welche in einer Gruppe als gruppenzugehörig enthalten sind.
Die Lehrinformation kann eine einzelne Lehrinformation sein, die in der Gruppe enthalten ist, oder kann eine Anzahl von Lehrinformationen sein. Bei einer Anzahl von Lehrinformationen kann anhand der Positionsbeziehung mit der einzelnen Lehrinformation beurteilt werden, ob der Untersuchungsgegenstand zu der Gruppe gehört, oder anhand der Positionsbeziehung mit der jeweiligen Lehrinformation, die aus der Anzahl der Lehrinformationen erzeugt wurde, kann beurteilt werden, ob der Untersuchungsgegenstand zu der Gruppe gehört.
Das erfindungsgemäße Eigenschaftsanalysegerät kann zudem so konfiguriert sein, dass es eine Klassifizierungsbewertungseinrichtung aufweist, mit der man anhand eines Knotenverteilungsbereichs, der durch die Koordinatenwerte der Sätze von Koordinatenwerten festgelegt wird, die in der Anzahl von Lehrinformation enthalten sind, die als diejenige Information bestimmt wird, die der ersten Gruppe entspricht, und eines Knotenverteilungsbereichs, der durch die Koordinatenwerte der Sätze von Koordinatenwerten festgelegt wird, die in der Anzahl von Lehrinformation enthalten sind, die als diejenige Information registriert ist, die der zweiten Gruppe entspricht, bestimmt, ob eine Klassifizierung der Lehrinformation in die erste Gruppe und die zweite Gruppe geeignet ist oder nicht.
Sind bei dieser Konfiguration der Knotenverteilungsbereich, der durch die Koordinatenwerte der Sätze der Koordinatenwerte festgelegt ist, die in der Anzahl der Lehrinformation enthalten ist, die als Information entsprechend der ersten Gruppe bestimmt ist, und der Knotenverteilungsbereich, der durch die Koordinatenwerte der Sätze von Koordinatenwerten, die in der Anzahl von Lehrinformation enthalten sind, die als Information entsprechend der zweiten Gruppe registriert ist, klar voneinander im 3D-Raum getrennt, kann man beurteilen, dass die Klassifizierung der Lehrinformation durch diese erste Gruppe und die zweite Gruppe geeignet ist.
Darüber hinaus kann das erfindungsgemäße Eigenschaftsanalysegerät so konfiguriert sein, dass der Untersuchungsgegenstand zumindest ein Teil eines aufgenommenen Bildes einer Oberfläche eines Gegenstandes ist, dessen Oberflächenbedingungen untersucht werden sollen.
Aufgrund dieser Konfiguration können die Eigenschaften eines auf der Oberfläche eines Halbleiterwafers entstandenen Fehlers usw. auf der Basis des aufgenommenen Bildes analysiert werden.
Das erfindungsgemäße Eigenschaftsanalysegerät kann zudem so konfiguriert werden, dass die als Anzahl Schichten eingestellte Anzahl Kategorien beinhaltet: eine Kategorie, die die Eigenschaften in Bezug auf Farben des Bildes wiedergibt, eine Kategorie, die die Eigenschaften in Bezug auf die Frequenzeigenschaften des Bildes wiedergibt, eine Kategorie, die die Eigenschaften in Bezug auf einen Verteilungszustand von Dunkelheit oder Helligkeit des Bildes wiedergibt, und eine Kategorie, die die Eigenschaften in Bezug auf physikalische Größen, wie die Form, Größe und Helligkeit einer Eigenschaftsstelle in dem Bild wiedergibt.
Das erfindungsgemäße Eigenschaftsanalysegerät kann zudem so konfiguriert sein, dass die die Kategorie, die die Eigenschaften in Bezug auf die Farben des Bildes wiedergibt, als unterste Schicht (erste Schicht) eingestellt wird, die Kategorie, die die Eigenschaften in Bezug auf die Frequenzeigenschaften des Bildes wiedergibt, als zweite Schicht eingestellt wird, die Kategorie, die die Eigenschaften in Bezug auf den Verteilungszustand von Dunkelheit oder Helligkeit eines Bildes ausdrückt, als dritte Schicht eingestellt wird, und die Kategorie, die die Eigenschaften in Bezug auf physikalische Größen, wie Form, Größe und Helligkeit, wiedergibt, als vierte Schicht eingestellt wird.
Vorteilhafte Effekte
Gemäß dem erfindungsgemäßen Eigenschaftsanalysegerät können die Eigenschaften eines Untersuchungsgegenstandes durch einen Satz von Koordinatenpunkten einer Anzahl von Knoten wiedergegeben werden, die durch Kopplung von Schichtvektoren, die 3D-Vektoren bilden, entsprechend der Anzahl Schichten eines 3D-Raums, in der Reihenfolge der Schichten erhalten werden, so dass man leicht eine Anwenderschnittstelle bereitstellen kann, die es ermöglicht, dass die Eigenschaften eines Untersuchungsgegenstandes optisch bestätigt werden können. Die Eigenschaften des Untersuchungsgegenstandes werden zudem nicht durch einen einzelnen Punkt in einem Eigenschaftsraum wie in der Vergangenheit wiedergegeben, sondern werden als Satz von Koordinatenpunkten einer Anzahl von Knoten in dem 3D-Raum wiedergegeben, so dass man die Einschränkungen bezüglich der Freiheitsgrade der Klassifizierung auf der Basis der Eigenschaften relativ verringern kann.
KURZE BESCHREIBUNG DER ZEICHNUNGEN
Es zeigt:
1 eine Ansicht einer grundlegenden Konfiguration eines Mechanismus eines Oberflächenuntersuchungsgerätes für einen Halbleiterwafer, bei dem ein Eigenschaftsanalysegerät gemäß einer erfindungsgemäßen Ausführungsform eingesetzt wird.
2 ein Blockschema einer grundlegenden Konfiguration eines Verarbeitungssystems eines Oberflächenuntersuchungsgerätes für einen Halbleiterwafer, bei dem ein Eigenschaftsanalysegerät gemäß einer erfindungsgemäßen Ausführungsform eingesetzt wird.
3 eine Ansicht von Kategorien einer Schichtstruktur, die in einem Eigenschaftsanalysegerät eingestellt sind, und Eigenschaftsparameter, die gemäß den Kategorien eingestellt sind.
4 eine Ansicht eines Parametervektors PV↑, der aus den Eigenschaftsparametern p1 bis pn erzeugt wurde.
5 ein Fließschema der Verarbeitungsroutine der Verarbeitung in Bezug auf die Eigenschaftsanalyse.
6A eine Ansicht eines Schichtvektors LV↑, der aus dem Parametervektor PV1↑ erzeugt wurde.
6B eine Ansicht eines Schichtvektors LV2↑, der aus dem Parametervektor PV2↑ erzeugt wurde.
7 eine Ansicht des Zustandes der Kopplung der Schichtvektoren LV1↑ und LV2↑ für zwei benachbarte Schichten.
8 eine Ansicht des Zustandes der Kopplung der Schichtvektoren LV1↑ bis LV4↑ für vier Schichten.
9 eine Ansicht eines gekoppelten Körpers von Knoten und Armen, die durch Koppeln von vier Schichtvektoren erhalten wurden.
10A eine Ansicht einer ersten Positionsbeziehung von zwei gekoppelten Körpern, ausgedrückt durch zwei charakteristische Daten.
10B eine Ansicht einer zweiten Positionsbeziehung von zwei gekoppelten Körpern, ausgedrückt durch zwei charakteristische Daten.
10C eine Ansicht einer dritten Positionsbeziehung von zwei gekoppelten Körpern, ausgedrückt durch zwei charakteristische Daten.
10D eine Ansicht einer vierten Positionsbeziehung von zwei gekoppelten Körpern, ausgedrückt durch zwei charakteristische Daten.
11 eine Ansicht einer Liste von Positionsbeziehungen von zwei gekoppelten Körpern, wie sie in der 10A bis 10D gezeigt sind.
12 ein Fließschema einer Verarbeitungsroutine zur Erzeugung eines Ähnlichkeitsgrades.
13 eine Ansicht eines Beispiels eines Anzeigebildschirms (GUI-Bildschirms), der als Anwender-Schnittstelle verwendet wird.
14 eine Ansicht eines Beispiels eines Anzeigebildschirms, der Eigenschaftsdaten als gekoppelte Körper von vier Schichten zeigt.
15 eine Ansicht des Zustands der in vier Gruppen unterteilten Lehrdaten.
16 eine Ansicht des Prinzips der Verarbeitung zur Beurteilung, ob die Klassifizierung der Lehrdaten in Gruppen geeignet ist.
17 eine Ansicht eines Beispiels eines Anzeigebildschirms (GUI-Bildschirms), der als Anwender-Schnittstelle verwendet wird, zur Beurteilung, ob die Klassifizierung der Lehrdaten in Gruppen geeignet ist.
Bezugszeichenliste

10: Wafer (Halbleiterwafer)
100: Stufe
110: Motor für Rotationsantrieb
130: Kameraeinheit
200: Verarbeitungseinheit
210: Arbeitseinheit
220: Anzeigeeinheit
220a, 220b, 220c: Bildschirm (GUI-Bildschirm)
221: Gesamtanzeigefenster
222: Anzeigefenster für bestimmte Region
223: Anzeigefenster für ausgewähltes Bild
224: Anzeigefenster für registriertes Fehlerbild
225: Datenanzeigefenster
226: Knopf zum Anzeigen der gekoppelten Körper
227: Suchknopf
228: Registrierknopf
230: Einheit zum Eingeben der Fehlerart
231: Auswahlschaltereinheit
232: Einheit zum Einstellen der Tauglichkeitsbedingung
233: Einheit zum Anzeigen der ersten Bewertungsbasis
234: Einheit zum Anzeigen der ersten Bewertung
235: Einheit zum Anzeigen der zweiten Bewertungsbasis
236: Einheit zum Anzeigen der zweiten Bewertung
237: Parameter-Anzeigeeinheit
238: Aktualisierungsknopf
239: OK-Knopf

BESTE ART UND WEISE ZUR DURCHFÜHRUNG DER ERFINDUNG
Nachstehend werden die erfindungsgemäßen Ausführungsformen anhand der Zeichnungen erläutert.
Ein Untersuchungsgerät für einen Halbleiterwafer, bei dem das Eigenschaftsanalysegerät von einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung angewendet wird, ist wie in 1 gezeigt konfiguriert.
In 1 wird eine Stufe 100 an einer Welle 110a eines Rotationsantriebsmotors 110 gehalten und kann in einer Richtung gedreht werden.
Die Stufe 100 wird mit einem scheibenförmigen Substrat, das einen Halbleiterwafer (nachstehend einfach als ”Wafer” bezeichnet) 10 umfasst, in einem horizontalen Zustand eingestellt. Man beachte, dass die Stufe 100 mit einem Ausrichtemechanismus versehen ist (nicht gezeigt). Das Zentrum des Wafers 10 passt weitgehend auf das Drehzentrum der Stufe 100 (axialen Zentrum der Welle 110a), indem der Wafer 10 auf der Stufe 100 entsprechend eingestellt wird.
In einer festgelegten Position über dem ungefähren Mittelteil von Stufe 100 befindet sich eine Kameraeinheit 130 zum Aufnehmen eines Bildes der Oberfläche des Wafers 10. Die Kameraeinheit 130 umfasst beispielsweise ein Bildgebungselement (Flächensensor) und ein optisches System, so dass etwa die gesamte Region der Oberfläche des auf der festen Stufe 100 im Bereich des Aufnahmefeldes untergebrachten Wafers 10 eingeschlossen ist, sie nimmt ein Bild der Oberfläche des Wafers 10 auf, und gibt es als Bildsignal aus. Man beachte, dass ein nicht gezeigtes Beleuchtungsgerät zum Ausleuchten einer Oberfläche des Wafers 10 auf der Stufe 100 untergebracht ist. Durch Drehen der Stufe 100 durch einen Rotationsantriebmotor 110 kann die Kameraeinheit 130 ein Bild der Oberfläche des Wafers 10 an einer beliebigen Drehposition aufnehmen.
Das Verarbeitungssystem des Untersuchungsgerätes mit dem Mechanismus der vorstehend genannten Konfiguration ist wie in 2 gezeigt konfiguriert.
In 2 wird das Bildsignal der Kameraeinheit 130 in eine Verarbeitungseinheit 200 eingegeben. Die Verarbeitungseinheit 200 steuert gemäß einem festgelegten Arbeitssignal von einer Arbeitseinheit 210, den Arbeitsantrieb des Rotationsantriebsmotors 110, so dass sich die Stufe 100 dreht, und verarbeitet das Signal von der Kameraeinheit 130 wie später erläutert. Die Verarbeitungseinheit 200 kann zudem Information anzeigen, die in dem Ablauf dieser Verarbeitung auf einer Anzeigeeinheit 220 erhalten wurde.
Dieses Untersuchungsgerät umfasst ein Eigenschaftsanalysegerät zum Analysieren eines aufgenommenen Bildes (Untersuchungsgegenstandes), das durch Aufnehmen eines Bildes der Oberfläche des Wafers 10 erhalten wurde. Dieses Eigenschaftsanalysegerät analysiert die Eigenschaften des aufgenommenen Bildes von den Bilddaten, die das aufgenommene Bild zeigen (beispielsweise Helligkeitswerte der Pixeleinheiten). Diese Funktion wird durch die Verarbeitungseinheit 200 realisiert. Durch derartige Analyse der Eigenschaften des aufgenommenen Bildes kann man Fehler, Defekte usw. an der Oberfläche von Wafer 10, die sich in dem aufgenommenen Bild widerspiegeln, analysieren und klassifizieren.
In diesem Eigenschaftsanalysegerät (Verarbeitungseinheit 200) wird eine Reihe von Kategorien, die die Eigenschaften des gezeigten aufgenommenen Bildes (definiert) zeigen, durch die Bilddaten auf der Basis des von Kameraeinheit 130 ausgegebenen Bildsignals nach dem Aufnehmen (beispielsweise Helligkeitswerte der Pixeleinheiten) als Anzahl von ”Schichten” eingestellt. Wie spezifisch in 3 gezeigt wird die Kategorie, die die Eigenschaften in Bezug auf die Farben eines Bildes zeigt (farbscharakteristische Eigenschaftsgrößen) als erste Schicht (erste Zustandsschicht: unterste Position) eingestellt, die Kategorie, die die Eigenschaften in Bezug auf die Frequenzeigenschaften eines Bildes (frequenzcharakteristische Eigenschaftsgrößen) zeigt, wird als zweite Schicht (zweite Zustandsschicht) eingestellt, die Kategorie, die die Eigenschaften in Bezug auf den Verteilungszustand der Helligkeit eines Bildes (Histogramm, das die Beziehung einer Reihe von Pixel zu Helligkeitswerten zeigt) (Histogramm-Eigenschaftsgrößen) zeigt, wird als dritte Schicht (dritte Zustandsschicht) eingestellt, und die Kategorie, die die Eigenschaften in Bezug auf physikalischen Größen, wie u. a. Formen, Größen und Helligkeiten der Eigenschaftsteile in dem Bild (kann als Fehler oder Defekte angesehen werden), Pixeldichte, usw. (Einheitsgrößen-Eigenschaftsgrößen) zeigt, wird als vierte Schicht (vierte Zustandsschicht: oberste Schicht) eingestellt.
Jede Kategorie (Schicht) wird mit einer dazu gehörigen Anzahl Eigenschaftsparameter eingestellt. Spezifisch wird die erste Schicht (Kategorie der farbcharakteristischen Eigenschaftsgrößen) mit einer Anzahl von Eigenschaftsparametern p1 bis ph eingestellt, die rote bis violette Farbe oder RGB, HSV, und andere Farbkomponenten wiedergeben. Die zweite Schicht (Kategorie der frequenzcharakteristischen Eigenschaftsgrößen) wird mit einer Anzahl von Eigenschaftsparametern p1 bis pi eingestellt, die die zweidimensionale Fast Fourier Transformation von Daten des Bildes usw. umfassen. Die dritte Schicht (Kategorie der Histogramm-Eigenschaftsgrößen) wird mit einer Anzahl von Eigenschaftsparametern p1 bis pj eingestellt, die die Peakwerte, unteren Werte, oder Anzahl der Histogramme wiedergeben, die die Beziehung der Anzahl Pixel in Bezug auf die Helligkeitswerte und andere Formeigenschaften von Histogrammen ausdrücken, die in numerische Werte umgewandelt werden. Darüber hinaus wird die vierte Schicht (Kategorie der Einheitsgrößen-Eigenschaftsgrößen) mit einer Anzahl von Eigenschaftsparametern p1 bis pk eingestellt, die die Formen (Punkte, Linien und Oberflächen), Größen (Fläche und Länge), usw. von Eigenschaftsteilen in dem Bild (kann als Fehler oder Defekte angesehen werden) wiedergeben.
Darüber hinaus werden, wie in 4 gezeigt, der Anzahl Eigenschaftsparameter p1 bis pn, die an jeder Schicht eingestellt sind, Richtungen auf derselben Ebene zugeordnet. Diese Zuordnung der Richtungen kann von Anwender durch Ausführen von Arbeitseinheit 210 durchgeführt werden.
Das in der Verarbeitungseinheit 200 eingebaute Eigenschaftsanalysegerät übt eine Verarbeitung in Bezug auf die Eigenschaftsanalyse gemäß der in 5 gezeigten Verarbeitung aus. Man beachte, dass die Verarbeitungseinheit 200 Bilder von Stellen, die als Fehler oder Defekte angesehen werden können (nachstehend als ”die zu analysierenden Bilder” bezeichnet), von dem aufgenommenen Bild, das durch Aufnehmen eines Bildes von Wafer 10 erhalten wurde, extrahiert und registriert. In diesem Zustand übt die Verarbeitungseinheit 200 die Verarbeitung in Bezug auf die Eigenschaftsanalyse aus.
In 5 wählt die Verarbeitungseinheit 200 gemäß einem Betrieb durch den Anwender an Arbeitseinheit 210, ein einzelnes zu analysierendes Bild aus, das von der registrierten Anzahl der zu analysierenden Bilder verarbeitet werden soll (ausgedrückt durch Helligkeitswerte der Pixeleinheiten) (S1). Zudem analysiert die Verarbeitungseinheit 200 das ausgewählte Bild zur Analyse und erzeugt Schichtvektoren, die den verschiedenen Schichten entsprechen (siehe S2 bis S5). Sie bestimmt spezifisch die Eigenschaftsparameterwerte an jeder Schicht (beispielsweise die Kategorie der farbcharakteristischen Eigenschaftsgrößen, die Werte der RGB-Komponenten usw.) und kombiniert die Vektoren P1↑ bis Pn↑ (↑ zeigt einen Vektor an, entspricht dem Nachstehenden), die durch solche Werte (Größen) definiert sind und wie in 4 gezeigt, Richtungen, die für die Eigenschaftsparameter eingestellt werden (beispielsweise Vektoraddition), so dass ein Einzelparameter-Vektor PV↑ (zweidimensionaler Vektor) erzeugt wird.
Wird ein Einzelparameter-Vektor PV↑ für jede Schicht erzeugt, wird der aus dem Parametervektor PV↑ bestehende 2D-Vektor in einen aus dem Schichtvektor LV↑ bestehenden 3D-Vektor in einem 3D-Raum umgewandelt. Spezifisch werden wie in 6A und 6B gezeigt, die Schichtvektoren LV1↑ und LV2↑ mit Längen eines festgelegten Wertes R und mit Komponenten in den Richtungen der Parametervektoren PV1↑, PV2↑, die den Größen der Parametervektoren PV1↑, PV2↑ selbst entsprechen, erzeugt. Demzufolge hat der Schichtvektor LV↑ eine Länge einer Konstanten R. Je größer der entsprechende Parametervektor PV↑, desto kleiner die Z-Komponente (siehe 6A, 6B, H1, H2), wohingegen je kleiner der entsprechende Parametervektor PV↑, desto größer die Z-Komponente (siehe 6A, 6B, H1, H2).
Auf diese Weise (S2 bis S5) wird für die erste Schicht ein erster Schichtvektor LV1↑ auf der Basis des ersten Parametervektors PV1↑ erzeugt, für die zweite Schicht wird ein zweiter Schichtvektor LV2↑ auf der Basis des zweiten Parametervektors PV2↑ erzeugt, für die dritte Schicht wird ein dritter Schichtvektor LV3↑ auf der Basis des dritten Parametervektors PV3↑ erzeugt, und für die vierte Schicht wird ein vierter Schichtvektor LV4↑ auf der Basis des vierten Parametervektors PV4↑ erzeugt.
Anschließend koppelt die Verarbeitungseinheit 200 die aus den verschiedenen Schichten erhaltenen vier (Anzahl von) Schichtvektoren LV1↑ bis LV4↑, in der Reihenfolge der Schichten, so dass Koordinatenwerte von gekoppelten Knoten Q1 bis Q4 in dem 3D-Raum als Eigenschaftsdaten erhalten werden, die die Eigenschaften des zu analysierenden Bildes wiedergeben (S6). Spezifisch wird zuerst wie in 7 gezeigt, am vorderen Ende des für die erste Schicht erzeugten Schichtvektors LV1↑ der für die zweite Schicht erzeugte zweite Schichtvektors LV2↑ gekoppelt. Zudem wird wie in 8 gezeigt, am vorderen Ende des zweiten Schichtvektors LV2↑ der für die dritte Schicht erzeugte dritte Schichtvektor LV3↑ gekoppelt. Zudem wird am vorderen Ende des dritten Schichtvektors LV3↑ der für die vierte Schicht erzeugte vierte Schicht Vektor LV4↑ gekoppelt. Der Satz der Koordinatenwerte (x1, y1, z1), (x2, z2, z2), (x3, y3, y3), und (x4, y4, y4) eines festgelegten Koordinatensystems (beispielsweise Koordinatensystem X-Y-Z entspricht dem Koordinatensystem X1-Y1-Z1, das den ersten Schichtvektor LV1 erzeugt) der Knoten Q1, Q2, Q3, und Q4 der vier Schichtvektoren LV1↑ bis LV4↑, die auf diese Weise gekoppelt sind, wird als Eigenschaftsdaten erzeugt, die die Eigenschaften des zu analysierenden Bildes wiedergeben, d. h. die Eigenschaften eines Teils, der als Fehler angesehen werden kann usw., spiegeln sich in dem zu analysierenden Bild wider.
Die Verarbeitungseinheit 200 kann die Eigenschaftsdaten verwenden, die aus dem Satz von Koordinatenwerten der vier Knoten Q1 bis Q4 bestehen, so dass ein gekoppelter Körper CB der Knoten Q1 bis Q4 und der Arme A1 bis A4 mit fester Länge R entsprechend den in 9 gezeigten gekoppelten vier Schichtvektoren LV1↑ bis LV4↑ auf der Anzeigeeinheit 220 angezeigt wird. Dieser gekoppelte Körper CB kann zum optischen Wiedergeben der Eigenschaften des zu analysierenden Bildes (Fehlerteil) verwendet werden.
Werden beispielsweise zwei gekoppelte Körper CB1 und CB2 (gekoppelte Schichtvektoren LV1↑ bis LV4↑), die für zwei zu analysierende Bilder erhalten wurden, wie beispielsweise in 10A, 10B, 10C, und 10D gezeigt, geraten die Positionsbeziehungen (Abstände) f1, f2, f3 und f4 der entsprechenden Knotenpaare Q11–Q21, Q12–Q22, Q13–Q23 und Q14–Q24 wie in 11 gezeigt. Man beachte, dass in 11, F₁ bis F₄ Schwellenwerte zur Bewertung der Ähnlichkeit der beiden gekoppelten Körper CB1 und CB2 auf der Basis der Abstände der entsprechenden Knotenpaare für die verschiedenen Schichten sind. In einem solchen Fall sind bei beiden zu analysierenden Bildern, die durch die gekoppelten Körper CB1 und CB2 in der Positionsbeziehung, wie in 10B gezeigt (Fall B in 11) wiedergegeben werden, sämtliche Abstände der entsprechenden Knotenpaare sehr nah aneinander, und können so eindeutig als ähnlich angesehen werden. Bei beiden zu analysierenden Bilder, die durch die gekoppelten Körper CB1 und CB2 in der Positionsbeziehung, wie in 10D (Fall D in 11) gezeigt, wiedergegeben werden, sind sämtliche Abstände der entsprechenden Knotenpaare weit voneinander entfernt, und können so als eindeutig nicht ähnlich beurteilt werden.
Die beiden zu analysierenden Bilder, die durch die gekoppelten Körper CB1 und CB2 in der Positionsbeziehung wiedergegeben werden, wie in 10A (Fall A in 11) gezeigt, können als ähnlich angesehen werden, wenn die Eigenschaftsparameter der ersten Schicht bis zur vierten Schicht (insgesamt gekoppelte Vektoren) insgesamt beurteilt werden (Vorderendknoten Q14 und Vorderendknoten Q24 liegen nah beieinander), können aber notwendigerweise nicht als ähnlich angesehen werden, wenn die erste bis zur zweiten Schicht (Positionsbeziehung von Knoten Q12 und Knoten Q22p) und die erste bis zur dritten Schicht (Positionsbeziehung von Knoten Q13 und Knoten Q23) beurteilt werden (können als ähnlich angesehen werden, haben aber unterschiedliche Merkmale). Zudem können die beiden zu analysierenden Bilder, die durch die gekoppelten Körper CB1 und CB2 in der Positionsbeziehung wiedergegeben werden, wie in 10C (Fall C in 11) gezeigt, umgekehrt nicht als ähnlich angesehen werden, wenn die Eigenschaftsparameter der ersten bis zur vierten Schicht insgesamt bewertet werden (Vorderendknoten Q14 und Vorderendknoten Q24 liegen weit aus einander), können jedoch notwendigerweise nicht als ähnlich angesehen werden, wenn die erste bis zur zweiten Schicht (Positionsbeziehung von Knoten Q12 und Knoten Q22p) und die erste bis zur dritten Schicht (Positionsbeziehung von Knoten Q13 und Knoten Q23) beurteilt werden (können nicht als ähnlich angesehen werden, haben aber ähnlich Merkmale).
Da die Eigenschaften eines zu analysierenden Bildes durch Eigenschaftsdaten wiedergegeben werden, die einen Satz von Koordinatenwerten der Knoten bilden, die durch Koppeln der vier Schichtvektoren LV1↑ bis LV4↑ erhalten wurden, die 3D-Vektoren bilden, wie nachstehend erläutert (siehe 10A bis 10D und 11), kann man die Eigenschaften zur Klassifizierung mit einem relativ hohen Freiheitsgrad verwenden.
Man beachte, dass die erhaltenen Eigenschaftsdaten {Q1 (x1, y1, z1), Q2 (x2, y2, z2), Q3 (x3, y3, z3), und Q4 (x4, y4, z4)} bei der in 5 gezeigten Verarbeitung durch einen festgelegten Betrieb bei der Arbeitseinheit 210 zusammen mit dem entsprechenden Bild (Bild unter der Analyse) als Lehrdaten zur Bewertung der Gruppen von Klassifizierungen registriert werden können {Qt1 (X, Y, Z), Qt2 (X, Y, Z), Qt3 (X, Y, Z), Qt4 (X, Y, Z)} (S7).
Nachstehend wird ein Beispiel für den Betrieb des vorstehend genannten Eigenschaftsanalysegerätes erläutert.
Gemäß der in 12 gezeigten Routine kann die Verarbeitungseinheit 200 einen Ähnlichkeitsgrad erzeugen, der den Ähnlichkeitsgrad von zwei zu analysierenden Bildern wiedergibt. In der in 12 gezeigten Verarbeitung werden die beiden Bilder eines ausgewählten registrierten Bildes und eines Bildes, das die Basis der Lehrdaten (Eigenschaftsdaten) bildet, als die beiden zu analysierenden Bilder unter Analyse verwendet. Demzufolge wird der Ähnlichkeitsgrad der beiden Bilder auf der Basis der Eigenschaftsdaten (S11, S12) des registrierten Bildes und der Lehrdaten (S13) (S14) berechnet. Der Ähnlichkeitsgrad wird auf der Anzeigeeinheit 210 (S15) angezeigt.
Die Eigenschaftsdaten {Q1a (x1a, y1a, z1a), Q2a (x2a, y2a, z2a), Q3a (x3a, y3a, z3a), und Q4a (x4a, y4a, z4a) und {Q1b (x1b, y1b, z1b), Q2b (x2b, y2b, z2b), Q3b (x3b, y3b, z3b), und Q4b (x4b, y4b, z4b)}, die beispielsweise die Eigenschaften der zu analysierenden beiden Bilder wiedergeben, werden zur Berechnung des Ähnlichkeitsgrades auf der Basis der Abstände der entsprechenden Knoten verwendet. Spezifisch werden die Abstände der Knoten berechnet gemäß α = {(xna – xnb)² + (yna – ynb)² + (zna – znb)²}^1/2 wobei n entweder 1, 2, 3, oder 4 ist.
Die Durchschnittswerte α_AVE der Abstände zwischen den vier Sätzen von Knoten wird als endgültiger Ähnlichkeitsgrad berechnet.
Bei der Erzeugung von Eigenschaftsdaten, die die Eigenschaften eines zu analysierenden Bildes wiedergeben, kann man zudem beispielsweise die Parametervektoren verwenden, die für die verschiedenen Schichten erzeugt werden (siehe Verarbeitung bei S2 bis S5 von 5), so dass man den Ähnlichkeitsgrad erzeugt. Dies kann durch das Verhältnis des Abstandes zwischen den Endpunkten beim Anschluss an die Startpunkte der beiden entsprechenden Parametervektoren bei den verschiedenen Schichten der beiden zu analysierenden Bilder und dem Maximalwert des Abstandes zwischen den Endpunkten spezifisch wiedergegeben werden. Der Abstand zwischen den Endpunkten wird höchstens 2R (Maximalwert), wenn die Größen der beiden Parametervektoren die festgelegten Längen R der Schichtvektoren haben und die beiden entsprechenden Parametervektoren entgegen gesetzte Richtungen haben.
Wenn man die entsprechenden Parametervektoren bei den verschiedenen Schichten als PVna↑ und PVnb↑ wiedergibt und die Komponenten als (pxna, pyna) und (pxnb, pynb) definiert, wird der Ähnlichkeitsgrad αn für die verschiedenen Schichten αn = 100 – {Abstand zwischen Endpunkten der beiden entsprechenden Parametervektoren/Maximalwert}·100 = 100 – [{(pxna – pxnb)² + (pyna – pynb)²}^1/2/2R]·100
Dieser Ähnlichkeitsgrad αn nähert sich dem Wert 100, wenn die beiden entsprechenden Parametervektoren ähnlich sind, während er sich jedoch einem Wert nahe 0 nähert, wenn diese sich nicht ähneln. Zudem kann man den Durchschnittswert α_AVE der Ähnlichkeitsgrade verwenden, die für die verschiedenen Schichten als endgültiger Ähnlichkeitsgrad erhalten wurden.
Der Ähnlichkeitsgrad α_AVE, der wie oben erläutert erhalten wurde, kann als grundlegende Information zur Klassifizierung verwendet werden, wie eine Klassifizierung von zu analysierenden Bildern mit hohen Ähnlichkeitsgraden (reflektierte Fehler von Halbleiterwafer 10 usw.) in der gleichen Gruppe.
Durch Auswählen eines Bildes, das einen Fehler des Halbleiterwafers 10 aufweist, als zu analysierendes Bild und Verknüpfen dieses Bildes mit der Art des Fehlers (Beschädigung, Kratzer, usw.), kann man beispielsweise zudem die Eigenschaftsdaten (ausgedrückt durch 3D-Vektoren, die aus vier Schichtvektoren bestehen), die aus dem Bild (zu analysierenden Bild) erhalten werden, gemäß der Art des Fehlers des Halbleiters 10 klassifizieren. Demzufolge kann ein Fehler des Halbleiterwafers 10 gemäß den Eigenschaftsdaten klassifiziert werden. Man kann zudem einen Fehler, der sich in dem Bild widerspiegelt, aus den Eigenschaftsdaten festlegen.
Unter der Kontrolle von Verarbeitungseinheit 200 wird eine Anwenderschnittstelle, die einen Bildschirm 220a (GUI-Bildschirm) wie in 13 gezeigt, umfasst, auf der Anzeigeeinheit 220 angezeigt. Dieser Bildschirm 220a hat ein Gesamtanzeigefenster 221, das den aufgenommenen Halbleiterwafer 10 als Ganzen zeigt, ein Anzeigefenster 222 für eine bestimmte Region, das einen rechtwinkligen Bereich vergrößert zeigt, der in dem Gesamtanzeigefenster 221 durch Betreiben von Arbeitseinheit 210 bestimmt wird, ein Anzeigefenster 223 für ein ausgewähltes Bild, das ein Bild anzeigt, das durch Betreiben von Arbeitseinheit 210 aus dem Bild in dem Anzeigefenster 222 für die bestimmte Region ausgewählt wird und Eigenschaftsparameter zeigt, die von dem Bild erhalten wurden (Histogramm der Helligkeitswert, Frequenzeigenschaften (FFT Daten), usw..), ein Fenster 224 zum Anzeigen eines registrierten Fehlerbildes, das eine Anordnung von Miniaturbildern von Fehlerbildern anzeigt, die in einer festgelegten Gruppe registriert sind, und ein Datenanzeigefenster 225, das verschiedene Arten von Daten anzeigt. Man beachte, dass das ausgewählte Bildanzeigefenster 223 eine Region zum Eingeben der Bezeichnung eines Fehlers (Bezeichnung der Klassifizierung) aufweist. Der Bildschirm 220a hat zudem einen Knopf 226 zum Anzeigen eines gekoppelten Körpers, mit dem die Eigenschaftsdaten als gekoppelter Körper von Knoten, die den vier Schichten entsprechen (siehe 9), angezeigt werden, einen Suchknopf 227 zur Anweisung der Suchverarbeitung, und einen Registrierknopf 228 zum Registrieren der Eigenschaftsdaten als Lehrdaten.
Auf einem solchen Bildschirm 220a wird ein Bild, das als Defektteil (Beschädigung, Kratzer, usw.) aus einem Teilbild des Halbleiterwafers 10 ausgewählt wird und in dem Fenster 222 zum Anzeigen der bestimmten Region vergrößert angezeigt wird, in dem Fenster 223 zum Anzeigen des ausgewählten Bildes angezeigt. Wird ein Bild eines Fehlerteils aus dem Teilbild des Halbleiterwafers 10 auf diese Weise ausgewählt, erzeugt die Verarbeitungseinheit 200 Eigenschaftsdaten in Bezug auf das ausgewählte Bild (siehe S2 bis S6 in 5) und zeigt zusätzlich die Eigenschaftsparameter, die in dem Verfahren zur Erzeugung der Eigenschaftsdaten (Histogramm der Helligkeitswerte, Frequenzeigenschaften (FFT Daten), usw.) erhalten wurden, in dem Fenster 223 zum Anzeigen des ausgewählten Bildes an.
Wird in diesem Zustand beispielsweise der Suchknopf 227 betätigt, berechnet die Verarbeitungseinheit 200 den Ähnlichkeitsgrad zwischen den Eigenschaftsdaten in Bezug auf das Bild, das in dem Fenster 223 zum Anzeigen des ausgewählten Bildes angezeigt wird, und die Eigenschaftsdaten einer Anzahl von Bildern, die bereits als Fehlerbilder gespeichert sind (siehe 12) und zeigt die ID eines mit Eigenschaftsdaten verknüpften Fehlerbildes (Bild, das einen Fehler zeigt) in einem festgelegten Bereich des Ähnlichkeitsgrades mit den Eigenschaftsdaten des Bildes, das in dem Fenster 223 zum Anzeigen des ausgewählten Bildes angezeigt wird, zusammen mit seinem Ähnlichkeitsgrad in dem Datenanzeigefenster 225 an. Aufgrund dessen kann der Anwender lernen, dass ein Fehlerbild, das einem ausgewählten Bild ähnelt, d. h. ein ähnlicher Fehler wie bei dem bestimmten Halbleiterwafer 10 (Beschädigung, Kratzer, usw.) bereits gespeichert ist.
Wird zudem der Registrierknopf 228 in dem Fenster 223 zum Anzeigen des ausgewählten Bildes in dem Zustand betätigt, in dem die Bezeichnung des Fehlers (Beschädigung, Kratzer, usw.) eingegeben wird, registriert die Verarbeitungseinheit 200 das Bild, das in dem Fenster 223 zum Anzeigen des ausgewählten Bildes angezeigt wird, als Fehlerbild der Gruppe, die durch die Bezeichnung des eingegebenen Fehlers festgelegt wird und registriert die Eigenschaftsdaten als Lehrdaten dieser Gruppe. Zudem zeigt die Verarbeitungseinheit 200 Fehlerbilder, die bereits in der Gruppe registriert sind, die durch die Bezeichnung des Fehlers festgelegt wird, zusammen mit dem neu registrierten Fehlerbild (das Bild, das in dem Fenster 223 zum Anzeigen des ausgewählten Bildes angezeigt wird) als Miniaturbilder in dem Fenster 224 zum Anzeigen des registrierten Fehlerbildes an. Aufgrund dessen kann der Anwender bestätigen, dass das Bild des ausgewählten Fehlers in der Gruppe der ähnlichen Fehlerbilder registriert war. Verwendet man beispielsweise die Arbeitseinheit 210 zum Auswählen und Entfernen jedes der Miniaturbilder, wird das Fehlerbild, das dem ausgewählten Miniaturbild entspricht und seine Eigenschaftsdaten (Lehrdaten) aus der Gruppe der Fehlerbilder entfernt (jedoch werden die Fehlerbilder und die Eigenschaftsdaten weiterhin in der Verarbeitungseinheit 200 in einem verknüpften Zustand angesammelt).
Wird in diesem Zustand der Knopf 226 zum Anzeigen des gekoppelten Körpers betätigt, schaltet die Verarbeitungseinheit 200 den in 13 gezeigten Bildschirm 220a, auf den in 14 gezeigten Bildschirm 220b. Zudem verwendet die Verarbeitungseinheit 200 die Lehrdaten, die in der durch die Bezeichnung des Fehlers festgelegten Gruppe registriert sind, und zeigt die gekoppelten Körper CB der Knoten Q1 bis Q4 und die Arme fester Länge R, die den gekoppelten vier Schichtvektoren LV1↑ bis LV4↑ entsprechen, auf dem Bildschirm 220b an. Auf diesem Bildschirm 220b werden die gekoppelten Körper CB1 und CB2, die den bereits registrierten Lehrdaten entsprechen (zur Vereinfachung sind nur die beiden gekoppelten Körper CB1 und CB2 gezeigt), und der gekoppelte Körper CB_N, der den derzeit registrierten Lehrdaten (Eigenschaftsdaten) entspricht, in einem optisch differenzierten Zustand (durch die Farbe des Knotens, Art der Armlinie, etc.) angezeigt. Der Anwender kann beurteilen, ob die aktuelle Registrierung der Lehrdaten geeignet war oder nicht, und zwar durch den Grad der Trennung oder Grad der Nähe auf dem Bildschirm 220b des gekoppelten Körpers CB_N, der den aktuell registrierten Lehrdaten entspricht, und der gekoppelten Körper CB1 und CB2, die den bereits registrierten Lehrdaten entsprechen.
Wenn die gekoppelten Körper, die die Eigenschaften eines Fehlerbildes (eines zu untersuchenden Bildes) (Eigenschaftsdaten und Lehrdaten) wie in 15 gezeigt wiedergeben, in die drei Gruppen G1, G2, und G3, unterteilt werden, kann man mit dem Zustand des Bereichs der Verteilung der Knoten bewerten, ob die Klassifizierung der Lehrdaten (Eigenschaftsdaten) in zwei Gruppen geeignet ist.
Bei der Betrachtung der Gruppe G1 und der Gruppe G2, wie es anschaulich in 16 gezeigt ist für die Bereiche der Verteilung der Knoten (nachstehend als ”Knotenverteilungsbereiche” bezeichnet) E4_G1 und E4_G2 die der vierten Schicht entsprechen, wenn es auf der Basis der Beziehung des Abstandes D4 zwischen den Mittelpunkten der Knotenverteilungsbereiche E4_G1 und E4_G2 (beispielsweise kugelförmige Bereiche), des Abstandes D3 zwischen den Rändern der beiden Knotenverteilungsbereiche E4_G1, E4_G2, und der Durchmesser D1 und D2 der Knotenverteilungsbereiche E4_G1, E4_G2 festgestellt wird, dass die Knotenverteilungsbereiche E4_G1 und E4_G2 zu nahe aneinander sind, lässt sich bestimmen, dass die Klassifizierung der Lehrdaten (Eigenschaftsdaten) durch die beiden Gruppen nicht geeignet ist. Wird dagegen bestimmt, dass die beiden Knotenverteilungsbereiche E4_G1 und E4_G2 hinreichend voneinander getrennt sind, kann man bewerten, dass die Klassifizierung der Lehrdaten (Eigenschaftsdaten) durch die beiden Gruppen geeignet ist.
Hinsichtlich der Bewertung der Klassifizierung der Lehrdaten kann die Verarbeitungseinheit 200 eine Anwenderschnittstelle anzeigen, wie sie in der 17 gezeigt ist, und die aus einem Bildschirm 220c (GUI-Bildschirm) auf der Anzeigeeinheit 220 besteht. Dieser Bildschirm 220c hat eine Einheit 230 zur Eingabe des Fehlertyps zum Eingeben der Art (der Bezeichnung) des Fehlers, der eine Gruppe festlegt, und eine Auswahlschalteinheit 231 zum Schalten und Auswählen einer Gruppe zum Vergleich mit einer Gruppe, die der Art des angegebenen Fehlers (beispielsweise Kratzer) entspricht (nachstehend als bestimmte Gruppe” bezeichnet) (Vergleichsgruppe). Die Zahlen ”1”, ”2”, und ”3” der Auswahlschalteinheit 231 zeigen die Reihenfolge des Abstandes der Vergleichsgruppen in einer bestimmten Gruppe. Ist ”1” bestimmt, wird die zur bestimmten Gruppe nächste Gruppe als Vergleichsgruppe herangezogen. Man beachte, dass der Abstand zwischen den beiden Gruppen der Durchschnitt der Abstände zwischen den Knoten sein kann oder ihr Mindestwert oder Höchstwert sein kann. Zudem kann es auch der Abstand zwischen den Vorderendknoten der vierten Schicht sein, in denen sich die Eigenschaften als Ganzes widerspiegeln.
Der Bildschirm 220c hat zudem eine Einheit 232 zum Einstellen der Tauglichkeitsbedingung, eine Einheit 233 zum Anzeigen der ersten Bewertungsbasis, eine Einheit 234 zum Anzeigen der ersten Bewertung, eine Einheit 235 zum Anzeigen der zweiten Bewertungsbasis, eine Einheit 236 zum Anzeigen der zweiten Bewertung, und eine Parameteranzeigeeinheit 237. Die Parameteranzeigeeinheit 237 zeigt die Parameter, die zur Feststellung nötig ist, ob die Klassifizierung der Lehrdaten durch die bestimmte Gruppe und die Vergleichsgruppe geeignet ist (auf die gleiche Weise, wie in 16 gezeigt, der Abstand D4 zwischen den Mittelpunkten der beiden Knotenverteilungsbereiche, der Abstand D3 zwischen den Rändern der beiden Knotenverteilungsbereiche, und die Durchmesser D1 und D2 der Knotenverteilungsbereiche). Die Einheit 232 zum Einstellen der Tauglichkeitsbedingung zeigt die Bedingungen (”sinnvolle” Bedingungen) für die Klassifizierung der Lehrdaten durch die beiden Gruppen an, die durch die Arbeitseinheit 210 als geeignet eingestellt werden. Man beachte, dass D1 den Durchmesser eines Knotenverteilungsbereichs jeder Schicht des gekoppelten Körpers in einer bestimmten Gruppe anzeigt, wohingegen D2 den Durchmesser eines Knotenverteilungsbereichs jeder Schicht des gekoppelten Körpers in einer Vergleichsgruppe anzeigt.
In diesem Fall gelten,
in Bezug auf die zweite Schicht (Schicht 2) und die dritte Schicht (Schicht 3),
D4/D1 > 1
(wenn der Abstand D4 zwischen den Mittelpunkten der beiden Knotenverteilungsbereiche größer ist als der Durchmesser D1 des Knotenverteilungsbereichs der bestimmten Gruppe)
D4/D2 > 1
(wenn der Abstand D4 zwischen den Mittelpunkten der beiden Knotenverteilungsbereiche größer ist als der Durchmesser D2 des Knotenverteilungsbereichs der Vergleichsgruppe)
D3/D4 > 0
(wenn der Abstand D3 zwischen den Rändern der beiden Knotenverteilungsbereiche nicht ”0” ist: die beiden Knotenverteilungsbereiche überlappen nicht)
Hinsichtlich der vierten Schicht werden die Bedingungen:
D4/D1 > 1,5
(wenn der Abstand D4 zwischen den Mittelpunkten der beiden Knotenverteilungsbereiche größer ist als der 1,5 fache Durchmesser D1 des Knotenverteilungsbereichs der bestimmten Gruppe)
D4/D2 > 1,5
(wenn der Abstand D4 zwischen den Mittelpunkten der beiden Knotenverteilungsbereiche größer ist als der 1,5 fache Durchmesser D2 des Knotenverteilungsbereichs der Vergleichsgruppe)
D3/D4 > 0,2
(wenn der Abstand D3 zwischen den Rändern der beiden Knotenverteilungsbereiche größer ist als 20% des Abstandes D4 zwischen den Mittelpunkten der beiden Knotenverteilungsbereiche)
als Bedingungen zur Klassifizierung der Lehrdaten in die zwei geeigneten (”sinnvollen”) Gruppen eingestellt. Man beachte, dass die Bedingungen nicht für die erste Schicht eingestellt werden.
Die Einheit 233 zum Anzeigen der ersten Bewertungsbasis zeigt die Werte der Parameter D1, D2, D3, und D4, die für die Knotenverteilungsbereiche der verschiedenen Schichten der gekoppelten Körper in einer bestimmten Gruppe eingestellt werden, und die Werte der Bedingungsparameter D4/D1, D4/D2, und D3/D4, die daraus für die verschiedenen Schichten als Basisinformation zur Bewertung berechnet werden. Man beachte, dass in diesem Fall die Bedingungen nicht für die ersten Schicht eingestellt werden (siehe Einheit 232 zum Einstellen der Tauglichkeitsbedingung), so dass die Parameterwerte und Bedingungsparameter nicht angezeigt werden. Zudem zeigt die Einheit 234 zum Anzeigen der ersten Bewertung die Ergebnisse der Bewertung für die verschiedenen Schichten. Ist sie geeignet, wird ”sinnvoll” angezeigt, ist sie hingegen nicht geeignet, wird ”schlecht” angezeigt.
Die Einheit 235 zum Anzeigen der zweiten Bewertungsbasis zeigt die Werte der Parameter (D1, D2, D3, und D3) und die Werte der Bedingungsparameter (D4/D1, D4/D2, und D3/D4) an, die in der vorhergehenden Bewertung eingestellt wurden, wohingegen die Einheit 236 zum Anzeigen der zweiten Bewertung die vorhergehenden Bewertungsergebnisse anzeigt.
Der in 17 gezeigte Bildschirm 220c ist zudem mit einem Aktualisierungsknopf 238 ausgestattet, der die derzeit registrierten Lehrdaten in der Zukunft widerspiegelt, und einem OK-Knopf 239 zum Bestätigen des Inhalts der Einheit 232 zum Einstellen der Tauglichkeitsbedingung.
Wird die Art des Fehlers in die Einheit 230 zur Eingabe des Fehlertyps eingegeben, weist die Verarbeitungseinheit 200 die bestimmte Gruppe und die Gruppe, ausgewählt durch die Auswahlschalteinheit 231 (Standard ist ”1”) als die Vergleichsgruppe zu, berechnet die Werte der Durchmesser D1 der Knotenverteilungsbereiche der verschiedenen Schichten aus sämtlichen Lehrdaten, die zu der bestimmten Gruppe gehören, und die Werte der Durchmesser D2 der Knotenverteilungsbereiche der verschiedenen Schichten aus sämtlichen Lehrdaten, die zu der ausgewählten Vergleichsgruppe gehören, und berechnet die Werte der anderen Parameter D3 und D4 und die Werte der Bedingungsparameter D4/D1, D4/D2, und D3/D4. Zudem zeigt die Verarbeitungseinheit 200 diese Werte an der Einheit 233 zum Anzeigen der ersten Bewertungsbasis von Bildschirm 220c an. Zudem werden die Werte der Parameter D1, D2, D3, und D4, die in der vorhergegangenen Zeit erhalten wurden, und bis zu diesem Zeitpunkt gehalten wurden und die Werte der Bedingungsparameter D4/D1, D4/D2, und D3/D4, die in der vorhergegangenen Zeit erhalten wurden, in die entsprechenden Regionen der Einheit 235 zum Anzeigen der zweiten Bewertungsbasis überführt. Zu diesem Zeitpunkt werden die Ergebnisse der Bewertung, die an der Einheit 234 zum Anzeigen der ersten Bewertung bis zu diesem Zeitpunkt angezeigt wurden (geeignet (”sinnvoll”) und ungeeignet (”schlecht”)) ebenfalls in die entsprechenden Regionen der Einheit 236 zum Anzeigen der zweiten Bewertung überführt.
In diesem Zustand vergleicht die Verarbeitungseinheit 200 die Werte der Bedingungsparameter D4/D1, D4/D2, und D3/D4, die an der Einheit 233 zum Anzeigen der ersten Bewertungsbasis angezeigt werden, und die Schwellenwerte, die die Bedingungen zeigen, die an der Einheit zum Einstellen der Tauglichkeitsbedingung eingestellt werden und zeigt geeignet (”sinnvoll”) für Schichten, die die Bedingungen erfüllen, und ungeeignet (”schlecht”) für Schichten, die die Bedingungen nicht erfüllen, an der Einheit 234 zum Anzeigen der ersten Bewertung an. Im Beispiel von Bildschirm 220c, das in 17 gezeigt ist, war zum vorhergehenden Zeitpunkt die Klassifizierung der Lehrdaten durch die bestimmte Gruppe (Art des Fehlers ist ein Kratzer) und die Vergleichsgruppe (”sinnvoll”) an jeder Schicht (siehe Einheit 236 zum Anzeigen der zweiten Bewertung) geeignet, aber zum aktuellen Zeitpunkt war die Klassifizierung der Lehrdaten durch die die bestimmte Gruppe und die Vergleichsgruppe an der vierten Schicht nicht geeignet (”schlecht”), da der Verteilungsbereich der Vorderendknoten zu eng ist (D3/D4 = 0.03 < 0.2).
Wie beispielsweise vorstehend erwähnt (siehe 13), lässt sich bei der Registrierung der Lehrdaten feststellen, ob die zusätzliche Registrierung der Klassifizierung der Lehrdaten durch die bestimmte Gruppe und die Vergleichsgruppe geeignet ist. Wenn trotz der Tatsache, dass das Bewertungsergebnis vor der Zugabe der Lehrdaten (zum vorhergehenden Zeitpunkt) geeignet (”sinnvoll”) ist, das Bewertungsergebnis nach der Zugabe der Lehrdaten (zum aktuellen Zeitpunkt) ungeeignet (”schlecht”) ist, kann geurteilt werden, dass die zugefügten Lehrdaten als Lehrdaten ungeeignet sind. Wenn bei dem Prozess der aufeinanderfolgenden Registrierung der Lehrdaten zudem eine Tendenz besteht, dass sich das Bewertungsergebnis allmählich ungeeignet (”schlecht”) nähert (weil die Verteilungsregion der Knoten allmählich enger wird), lässt sich ebenfalls urteilen, dass sich der Trend in der gleichen Art von Fehlern (beispielsweise Beschädigung und Kratzer) ändert. Mit dieser Beurteilung lässt sich das Verfahren der Herstellung des Halbleiterwafers 10 überprüfen.
Ist das Bewertungsergebnis ungeeignet (”schlecht”), wird angenommen, dass die Eigenschaftsparameter (siehe 3) und die Richtungen oder Schichten, die den Eigenschaftsparametern zugewiesen werden, ungeeignet sind und dass man sie brauchbar machen kann.
Man beachte, dass in dem Bildschirm 220c, der in 17 gezeigt ist, bei Betätigung von Aktualisierungsknopf 238 die aktuellen Lehrdaten eingestellt und registriert werden und zu Lehrdaten hinsichtlich der Klassifizierung vom nächsten Zeitpunkt an werden. Wird zudem der OK-Knopf 239 betätigt, werden die Werte, die in der Einheit 232 zum Einstellen der Tauglichkeitsbedingung angezeigt werden, als neue ”sinnvolle” Bedingungen eingestellt, in der Verarbeitungseinheit 200 gespeichert, und als neue Anzeigebedingungen in der Einheit 233 zum Anzeigen der ersten Bewertungsbasis und Einheit 235 zum Anzeigen der zweiten Bewertungsbasis wiedergegeben.
Auf die vorstehende Weise kann die Verarbeitungseinheit 200 in dem Stadium, in dem festgestellt wird, dass die Gruppierung der Lehrdaten geeignet ist, Eigenschaftsdaten, die für ein Bild erhalten wurden, das einen beliebigen Fehler ausdrückt (Fehlerbild) (siehe die in 5 gezeigte Verarbeitung) und mindestens eine in jeder Gruppe enthaltene Lehrdateninformation verwenden, um die Art des Fehlers festzustellen. Der Ähnlichkeitsgrad der Eigenschaftsdaten eines erfassten Fehlerbildes und die in jeder Gruppe enthaltenen Lehrdaten (siehe Verarbeitung von 12) können spezifisch berechnet werden und der Fehler der Gruppe zugeordnet werden, zu der die Lehrdaten mit dem höchsten Ähnlichkeitsgrad gehören. Zudem können die Knoten eines gekoppelten Körpers, die aus den Eigenschaftsdaten eines erfassten Fehlerbildes erhalten werden, als Fehler einer Gruppe eingestuft werden, die in dem Knotenverteilungsbereich enthalten ist, der den gekoppelten Körpern der Lehrdaten entspricht.
In dem vorstehenden Beispiel wurde ein aufgenommenes Bild eines Halbleiterwafers als Untersuchungsgegenstand erläutert, jedoch ist der Untersuchungsgegenstand nicht darauf eingeschränkt. Es lässt sich auch das aufgenommene Bild eines anderen Gegenstandes als Untersuchungsgegenstand verwenden. Zudem kann jeder Gegenstand und nicht nur ein aufgenommenes Bild als Untersuchungsgegenstand verwendet werden, solange dieser durch ein bestimmtes Format der Information bezüglich des Untersuchungsgegenstandes definiert ist.
Industrielle Anwendbarkeit
Die vorliegende Erfindung stellt einfach eine Anwender-Schnittstelle bereit, die die optische Erkennung der Eigenschaften eines Untersuchungsgegenstandes ermöglicht und die es ermöglicht, dass die Einschränkungen des Freiheitsgrades der Klassifizierung auf der Basis von Eigenschaften relativ verringert werden können, so dass es sich als Eigenschaftsanalysegerät zum Analysieren der Eigenschaften eines aufgenommenen Bildes oder eines anderen Untersuchungsgegenstandes eignet, wenn ein Bild von der Oberfläche eines Halbleiterwafers zur Untersuchung aufgenommen wird.

Claims

Eigenschaftsanalysegerät, wobei eine Anzahl Kategorien, die die Eigenschaften eines durch die Untersuchungsgegenstandsinformation in einem festgelegten Format definierten Untersuchungsgegenstandes wiedergeben, als Anzahl von Schichten eingestellt wird, eine Anzahl Eigenschaftsparameter, die jeweils der Anzahl Kategorien angehören, eingestellt wird, und Richtungen auf der gleichen Ebene der Anzahl der entsprechenden Eigenschaftsparameter zugeordnet werden, mit einer Einrichtung zum Gewinnen von Untersuchungsgegenstandsinformationen eines zu analysierenden Untersuchungsgegenstandes, einer Einrichtung zum Bestimmen von Parameterwerten, mit der die erhaltenen Untersuchungsgegenstandsinformation analysiert werden und die Eigenschaftsparameterwerte für jede der Anzahl Schichten bestimmt werden, einer Einrichtung zur Parametervektor-Erstellung, mit der ein einzelner Parametervektor auf der Basis von Werten der Anzahl von Eigenschaftsparametern und der entsprechenden Richtungen für jede der Anzahl Schichten erstellt wird, einer Vektorumwandlungseinrichtung, mit der der für jede der Anzahl Schichten erhaltene Parametervektor in einen Schichtvektor eines 3D-Vektors in einem festgelegten 3D-Raum umgewandelt wird, und einer Eigenschaftsinformations-Erzeugungseinrichtung, mit der ein Satz von Koordinatenwerten in dem 3D-Raum einer Anzahl von Knoten, die durch Koppeln einer für die Anzahl Schichten erhaltenen Anzahl von Schichtvektoren erhalten wurden, in der Reihenfolge der Schichten als Eigenschaftsinformation erzeugt wird, die die Eigenschaften des zu analysierenden Untersuchungsgegenstandes wiedergibt.
Eigenschaftsanalysegerät nach Anspruch 1, wobei die Vektorumwandlungseinrichtung den Schichtvektor einer festgelegten Länge erzeugt, wobei die Richtungskomponente des Parametervektors der Größe des Parametervektors entspricht.
Eigenschaftsanalysegerät nach Anspruch 1, das zudem eine Einrichtung zum Steuern der Eigenschaftsanzeige aufweist, mit der die gekoppelten Körper der Knoten und Arme, die der gekoppelten Anzahl Schichtvektoren entsprechen, auf einer Anzeigeeinheit (220) auf der Basis der Eigenschaftsinformation angezeigt werden.
Eigenschaftsanalysegerät nach Anspruch 1, das zudem eine Einrichtung zum Erzeugen einer Ähnlichkeitsgradinformation aufweist, mit der eine Positionsbeziehung zwischen Knoten, die durch die entsprechenden Koordinatenwerte eines Satzes von Koordinatenwerten festgelegt werden, die in der ersten Eigenschaftsinformation enthalten sind, und Knoten, die durch die entsprechenden Koordinatenwerte eines Satzes von Koordinatenwerten festgelegt werden, die in der zweiten Eigenschaftsinformation enthalten sind, dazu verwendet wird, dass man eine Ähnlichkeitsgradinformation erzeugt, die das Ausmaß der Ähnlichkeit der ersten Eigenschaftsinformation und der zweiten Eigenschaftsinformation wiedergibt.
Eigenschaftsanalysegerät nach Anspruch 1, das zudem eine Einrichtung zum Steuern der Anzeige der Ähnlichkeitsgradinformation aufweist, mit der die Ähnlichkeitsgradinformation auf der Anzeigeeinheit angezeigt wird.
Eigenschaftsanalysegerät nach Anspruch 1, das zudem eine Gruppenstelleinrichtung aufweist, mit der die Eigenschaftsinformation für jede einer Anzahl von Untersuchungsgegenständen als Lehrinformation gehalten wird und ein Verteilungszustand der Lehrinformation für die Anzahl der Untersuchungsgegenstände dazu verwendet wird, dass man eine Anzahl Gruppen einstellt, in die sich die Untersuchungsgegenstände klassifizieren lassen.
Eigenschaftsanalysegerät nach Anspruch 6, das zudem eine Eigenschaftsregistriereinrichtung aufweist, mit der die Eigenschaftsinformation des Untersuchungsgegenstandes als Lehrinformation einer bestimmten Gruppe registriert wird.
Eigenschaftsanalysegerät nach Anspruch 6, das zudem eine Einrichtung aufweist, mit der eine Positionsbeziehung zwischen Knoten, die durch entsprechende Koordinatenwerte eines Satzes von Koordinatenwerten festgelegt sind, die in der für einen zu analysierenden Untersuchungsgegenstand erhaltenen Eigenschaftsinformation enthalten sind, und Knoten, die durch entsprechende Koordinatenwerte eines Satzes von Koordinatenwerten festgelegt sind, die in mindestens einer in einer Gruppe enthaltenen Lehrinformation enthalten sind, dazu verwendet wird, dass man beurteilt, ob der zu analysierende Untersuchungsgegenstand zu der Gruppe gehört.
Eigenschaftsanalysegerät nach Anspruch 6, das zudem eine Klassifizierungsbewertungseinrichtung aufweist, mit der man anhand eines Knotenverteilungsbereichs, der durch die Koordinatenwerte der Sätze von Koordinatenwerten festgelegt wird, die in der Anzahl von Lehrinformation enthalten sind, die als diejenige Information bestimmt wird, die der ersten Gruppe entspricht, und eines Knotenverteilungsbereichs, der durch die Koordinatenwerte der Sätze von Koordinatenwerten festgelegt wird, die in der Anzahl von Lehrinformation enthalten sind, die als diejenige Information registriert ist, die der zweiten Gruppe entspricht, bestimmt, ob eine Klassifizierung der Lehrinformation durch die erste Gruppe und die zweite Gruppe geeignet ist oder nicht
Eigenschaftsanalysegerät nach Anspruch 1, wobei der Untersuchungsgegenstand zumindest Teil eines aufgenommenen Bildes einer Oberfläche eines Gegenstandes ist, dessen Oberflächenbedingungen untersucht werden sollen.
Eigenschaftsanalysegerät nach Anspruch 10, wobei die als Anzahl von Schichten eingestellte Anzahl Kategorien beinhaltet: eine Kategorie, die die Eigenschaften in Bezug auf Farben des Bildes wiedergibt, eine Kategorie, die Eigenschaften in Bezug auf die Frequenzeigenschaften des Bildes wiedergibt, eine Kategorie, die Eigenschaften in Bezug auf einen Verteilungszustand von Dunkelheit oder Helligkeit des Bildes wiedergibt, und eine Kategorie, die Eigenschaften in Bezug auf physikalische Größen, wie die Form, Größe und Helligkeit einer Eigenschaftsstelle in dem Bild wiedergibt.
Eigenschaftsanalysegerät nach Anspruch 11, wobei die Kategorie, die die Eigenschaften in Bezug auf die Farben des Bildes wiedergibt, als unterste Schicht (erste Schicht) eingestellt wird, die Kategorie, die die Eigenschaften in Bezug auf die Frequenzeigenschaften des Bildes wiedergibt, als zweite Schicht eingestellt wird, die Kategorie, die die Eigenschaften in Bezug auf den Verteilungszustand von Dunkelheit oder Helligkeit eines Bildes ausdrückt, als dritte Schicht eingestellt wird, und die Kategorie, die die Eigenschaften in Bezug auf physikalische Größen, wie Form, Größe und Helligkeit, wiedergibt, als vierte Schicht eingestellt wird.