CN219106108U - 一种吸盘搬运装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及硅片生产技术领域，具体涉及一种吸盘搬运装置。包括移动机构和吸盘组件，吸盘组件对称移动设置于移动机构的底部上；移动机构包括外壳，轨道和滑块设置于外壳内部，对称设置的滑块移动设置于轨道上的两端；齿轮设置于外壳内部的两端，两端齿轮上缠绕设置有皮带，两端的滑块分别与皮带的上端和下端进行连接；电机设置于外壳的外部，驱动其中一个齿轮进行旋转；吸盘组件包括对称设置的安装块，安装块的顶部分别与滑块进行连接，安装块的底部设置有气缸，气缸的活塞杆连接设置有吸盘机构。即可实现对两侧的硅片向中间搬运的工作，直至将两侧的硅片全部放置在中间的跑道上。

Description

一种吸盘搬运装置

技术领域

本实用新型涉及硅片生产技术领域，具体涉及一种吸盘搬运装置。

背景技术

硅片，是制作集成电路的重要材料，通过对硅片进行光刻、离子注入等手段，可以制成各种半导体器件。同时用硅片制成的芯片有着惊人的运算能力。使得硅片已广泛应用于航空航天、工业、农业和国防等领域。

申请号为CN202221485977.3的实用新型专利公开了一种硅片搬运装置，它包括驱动机构和用于吸取硅片的吸取部件，驱动机构与吸取部件连接，用于驱动吸取部件在流水线上移动；吸取部件沿流水线方向上依次包括第一吸取部件和第二吸取部件，第一吸取部件和第二吸取部件分别与流水线上的相邻两个工位相对应，且第一吸取部件和第二吸取部件可在驱动机构驱动作用下移动至与流水线上其他的相邻两工位相对应。能实现多个工位上的硅片同时搬运和加工，节省单个工位上硅片单独搬运和加工的时间，提高硅片的搬运效率和生产效率。但是该装置只能够一侧对硅片进行搬运，无法实现对两侧的硅片向中间搬运的工作。

上述问题是本领域亟需解决的问题。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种吸盘搬运装置，从而能够将两侧的硅片同时向中间进行搬运。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供的方案是：一种吸盘搬运装置，包括移动机构和吸盘组件，所述吸盘组件对称移动设置于所述移动机构的底部上；

所述移动机构包括外壳，轨道和滑块设置于所述外壳内部，对称设置的所述滑块移动设置于所述轨道上的两端；齿轮设置于所述外壳内部的两端，两端所述齿轮上缠绕设置有皮带，两端的所述滑块分别与所述皮带的上端和下端进行连接；电机设置于所述外壳的外部，驱动其中一个所述齿轮进行旋转；

所述吸盘组件包括对称设置的安装块，所述安装块的顶部分别与所述滑块进行连接，所述安装块的底部设置有气缸，所述气缸的活塞杆连接设置有吸盘机构。

作为本实用新型的进一步改进，所述吸盘机构包括横梁，所述横梁上间隔设置有若干的支架，所述支架上设置有吸盘，所述吸盘上设置有气管。

作为本实用新型的进一步改进，所述支架的四角处设置有连接杆，所述连接杆的底端与所述吸盘进行连接。

作为本实用新型的进一步改进，所述吸盘上连接设置有电容传感器。

作为本实用新型的进一步改进，所述滑块通过夹板与所述皮带进行连接，所述夹板包括设置于所述滑块上的齿板和固定所述皮带和所述齿板的固定板。

作为本实用新型的进一步改进，所述滑块的侧面上设置有传感器。

本实用新型的有益效果：

本实用新型结构合理、简单，操作便捷，电机驱动齿轮进行旋转，控制滑块在轨道上同时向两侧进行移动，进而使得两个吸盘组件向两侧移动。当吸盘组件移动至两侧的硅片时，气缸控制吸盘组件向下移动，对硅片进行吸取，气缸再控制吸盘组件上升至原始位置。之后电机反转，使得两个吸盘组件同时向内侧进行移动，当吸盘组件移动至跑道上方时，气缸控制吸盘组件向下移动，并且吸盘组件取消对硅片的吸取，使得硅片下落至跑道上，气缸再控制吸盘组件上升至原始位置。

重复上述的动作，即可实现对两侧的硅片向中间搬运的工作，直至将两侧的硅片全部放置在中间的跑道上。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型移动机构的结构示意图；

图3是本实用新型吸盘组件的结构示意图；

图4是本实用新型吸盘机构的结构示意图。

附图标记：1、移动机构；11、外壳；12、轨道；13、滑块；14、齿轮；15、皮带；16、电机；17、齿板；18、固定板；19、传感器；2、吸盘组件；21、安装块；22、气缸；23、吸盘机构；231、横梁；232、支架；233、吸盘；234、连接杆；235、气管；236、电容传感器。

具体实施方式

下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施，但所举实施例不作为对本实用新型的限定。

参照图1至图3所示，为本实用新型的一实施例，包括移动机构1和两个吸盘组件2，两个吸盘组件2分别安装在移动机构1上底部的两侧上。其中移动机构1包括外壳11，在外壳11内部设置有轨道12，两个滑块13分别安装在轨道12上的两端，之后将齿轮14安装在外壳11内部位于轨道12的两端，之后将皮带15缠绕在两个齿轮14上，皮带15的内侧面上设置有与齿轮14啮合的齿。并且两个滑块13分别与皮带15的上端和下端进行连接，将电机16安装在外壳11的外部，用来驱动其中一个齿轮14旋转。在电机16驱动齿轮14旋转时，皮带15会随着齿轮14的旋转进行转动，由于两个滑块13是分别与皮带15的上端和下端进行连接，因此在上端皮带15向左移动时，下端皮带15将向右移动。从而能够实现两个滑块13在轨道12上进行反向地移动。

吸盘组件2包括两个安装块21，两个安装块21的顶部分别与两个滑块13的底部进行连接，将气缸22安装在安装块21的底部，吸盘组件23与气缸22的活塞杆进行连接。

在实际使用过程中，将两个平行的跑道安装在两个吸盘组件2之间，将硅片放置在吸盘组件2的外侧。电机16驱动齿轮14进行旋转，控制滑块13在轨道12上同时向两侧进行移动，进而使得两个吸盘组件2向两侧移动。当吸盘组件2移动至两侧的硅片时，气缸22控制吸盘组件23向下移动，对硅片进行吸取，气缸22再控制吸盘组件23上升至原始位置。之后电机16反转，使得两个吸盘组件2同时向内侧进行移动，当吸盘组件2移动至跑道上方时，气缸22控制吸盘组件23向下移动，并且吸盘组件23取消对硅片的吸取，使得硅片下落至跑道上，气缸22再控制吸盘组件23上升至原始位置。重复上述的动作，直至将硅片全部放置在跑道上。

如图2所示，滑块13和皮带15采用夹板进行连接，其中夹板由齿板17和固定板18组成，齿板17的一面固定在滑块13上，其另一面朝向皮带15，之后再使用固定板18将皮带15和齿板17进行固定，使得齿板17带齿的一面与皮带15的齿面进行啮合连接，从而实现滑块13和皮带15的连接。

如图2所述，在滑块13的侧面上设置有传感器19，在轨道12的两端设置有感应片，通过传感器19和感应片的配合，使得滑块13能够在指定的行程内进行双向移动。

如图1所示，吸盘机构23包括与气缸22连接的横梁231，在横梁231的底部间隔设置有三个支架232，在每个支架232的底部上设置有吸盘233，吸盘233底部设置有吸孔，内部设置气路，在吸盘233连接有气管235，气管235与气路进行连通。将气管235与气源进行连接，为吸盘233提供吸力。通过设置三个支架232，能够实现同时对三个硅片吸附，极大地提高硅片搬运的效率。

如图1所示，在支架232的四角处均设置有连接杆234，连接杆234的底端与吸盘233进行连接，通过增设四个连接杆234，能够提高吸盘233的稳定性。

如图1所示，在吸盘233上设置有电容传感器236，通过电容传感器236的作用，能够测量吸盘233的抖动量。

实际工作时，将跑道和硅片分别设置在吸盘组件2的之间和两侧。电机16带动皮带15进行转动，使得滑块13带动安装块21移动至两侧硅片的正上方，之后气缸22控制吸盘组件23下降，使得吸盘233同时吸取三个硅片，接着气缸22控制吸盘组件23上升至初始位置。电机16反向驱动，使得滑块13带动安装块21移动至跑道的上方，之后气缸22控制吸盘组件23下降，使得吸盘233同时取消对三个硅片的吸取，使得硅片下落至跑道上，接着气缸22控制吸盘组件23上升至初始位置。重复上述步骤，即可实现对两侧的硅片向中间搬运的工作。

应当理解的是，当在本说明书中如使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

如出现术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等，其所指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

如出现术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

除非另有明确的规定和限定，如出现术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接或间接运用在其他相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (6)

1.一种吸盘搬运装置，其特征在于，包括移动机构(1)和吸盘组件(2)，所述吸盘组件(2)对称移动设置于所述移动机构(1)的底部上；

所述移动机构(1)包括外壳(11)，轨道(12)和滑块(13)设置于所述外壳(11)内部，对称设置的所述滑块(13)移动设置于所述轨道(12)上的两端；齿轮(14)设置于所述外壳(11)内部的两端，两端所述齿轮(14)上缠绕设置有皮带(15)，两端的所述滑块(13)分别与所述皮带(15)的上端和下端进行连接；电机(16)设置于所述外壳(11)的外部，驱动其中一个所述齿轮(14)进行旋转；

所述吸盘组件(2)包括对称设置的安装块(21)，所述安装块(21)的顶部分别与所述滑块(13)进行连接，所述安装块(21)的底部设置有气缸(22)，所述气缸(22)的活塞杆连接设置有吸盘机构(23)。

2.如权利要求1所述的一种吸盘搬运装置，其特征在于，所述吸盘机构(23)包括横梁(231)，所述横梁(231)上间隔设置有若干的支架(232)，所述支架(232)上设置有吸盘(233)，所述吸盘(233)上设置有气管(235)。

3.如权利要求2所述的一种吸盘搬运装置，其特征在于，所述支架(232)的四角处设置有连接杆(234)，所述连接杆(234)的底端与所述吸盘(233)进行连接。

4.如权利要求2所述的一种吸盘搬运装置，其特征在于，所述吸盘(233)上连接设置有电容传感器(236)。

5.如权利要求1所述的一种吸盘搬运装置，其特征在于，所述滑块(13)通过夹板与所述皮带(15)进行连接，所述夹板包括设置于所述滑块(13)上的齿板(17)和固定所述皮带(15)和所述齿板(17)的固定板(18)。

6.如权利要求1所述的一种吸盘搬运装置，其特征在于，所述滑块(13)的侧面上设置有传感器(19)。

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