CN218893736U - 一种新型真空镀膜设备 - Google Patents
一种新型真空镀膜设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN218893736U CN218893736U CN202320073559.1U CN202320073559U CN218893736U CN 218893736 U CN218893736 U CN 218893736U CN 202320073559 U CN202320073559 U CN 202320073559U CN 218893736 U CN218893736 U CN 218893736U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- vacuum coating
- film
- blowing
- air
- winding
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E60/00—Enabling technologies; Technologies with a potential or indirect contribution to GHG emissions mitigation
- Y02E60/10—Energy storage using batteries
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种新型真空镀膜设备，包括真空腔室以及设置于所述真空腔室内的放卷机构、真空镀膜单元、吹气机构和收卷机构；所述的真空镀膜单元位于放卷机构与收卷机构之间，所述的放卷机构提供待镀膜的薄膜，该薄膜在通过真空镀膜单元进行镀膜后，通过收卷机构实现收卷；所述的吹气机构包括吹气口，且该吹气口设置在所述薄膜进入收卷机构之前的位置，通过吹气口向薄膜的膜面吹出惰性气体。本实用新型的有益效果是：降低了生产成本，保证了生产产品的质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及薄膜防氧化处理设备技术领域，更具体的说，本实用新型涉及一种新型真空镀膜设备。
背景技术
在基膜的两侧面通过真空蒸发的方式进行镀膜可以得到复合铝箔。通常情况下，需要镀很多次才可以得到产品。例如镀膜厚度为n，需要镀膜10次，那每一次镀膜厚度则为n/10。薄膜卷从放卷经过真空镀膜单元镀膜到收卷，为一次镀膜。一次镀膜完成后，需要打开真空腔室将收卷的薄膜卷取出冷却，并等待下一次镀膜时，再放进真空蒸发镀膜腔室。取出的复合铝箔薄膜卷被暴露在空气中时，极易发生氧化反应，从而导致产品质量问题。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种新型真空镀膜设备，解决了当前薄膜卷暴露在空气中易氧化的问题，降低了生产成本，保证了生产产品的质量。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种新型真空镀膜设备，其改进之处在于，包括真空腔室以及设置于所述真空腔室内的放卷机构、真空镀膜单元、吹气机构和收卷机构；
所述的真空镀膜单元位于放卷机构与收卷机构之间，所述的放卷机构提供待镀膜的薄膜，该薄膜在通过真空镀膜单元进行镀膜后，通过收卷机构实现收卷；
所述的吹气机构包括吹气口，且该吹气口设置在所述薄膜进入收卷机构之前的位置，通过吹气口向薄膜的膜面吹出惰性气体。
在上述结构中，所述的吹气机构包括吹气管，吹气管上阵列排布设置有多个吹气口。
在上述结构中，所述镀膜设备还包括容纳箱，所述的收卷机构设置于容纳箱内，且容纳箱上设置有用于使薄膜进入收卷机构的条形通孔。
在上述结构中，所述吹气机构的吹气口设置在容纳箱的内部或外部。
在上述结构中，当所述吹气口设置于容纳箱的外部时，所述吹气口的吹气方向与膜片的行进方向所呈夹角为锐角。
在上述结构中，所述的容纳箱包括顶部开口的箱体以及铰接在顶部开口处的顶板。
在上述结构中，所述放卷机构包括放卷辊和第一过辊。
在上述结构中，所述收卷机构包括旋转驱动机构、支撑座、气涨轴以及卷芯；
所述气涨轴的两端均转动安装在支撑座上，气涨轴上套有卷芯，通过卷芯实现对薄膜的收卷；
所述气涨轴的一端穿过于支撑座，与所述的旋转驱动机构相连接，通过旋转驱动机构驱使气涨轴转动。
在上述结构中，所述镀膜设备还包括第二过辊和第三过辊，所述第二过辊和第三过辊设置于所述真空镀膜单元与所述收卷机构之间。
在上述结构中，所述真空镀膜单元包括蒸发机构和主轴；所述蒸发机构设置于所述主轴下方。
本实用新型的有益效果是：针对当前薄膜产品暴露在空气中极易发生氧化反应，从而导致生产产品的质量问题，提供了一种新型真空镀膜设备，通过吹气机构将薄膜产品表面附着一层惰性气体，防止薄膜产品暴露在空气中产生氧化反应，降低了生产成本，保证了生产质量。
附图说明
图1为本实用新型的一种新型真空镀膜设备的整体截面示意图一；
图2为本实用新型的一种新型真空镀膜设备的整体截面示意图二；
图3为本实用新型的一种新型真空镀膜设备的容纳箱俯视图；
图4为本实用新型的一种新型真空镀膜设备的容纳箱截面图；
图5为本实用新型的一种新型真空镀膜设备的吹风机构示意图；
其中：1、吹气机构；2、收卷机构；3、吹气口；4、容纳箱；5、箱体；6、顶板；7、放卷辊；8、第一过辊；9、旋转驱动机构；10、支撑座；11、气涨轴；12、卷芯；13、第二过辊；14、第三过辊；15、蒸发机构；16、主轴。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
以下将结合实施例和附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本实用新型的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。另外，专利中涉及到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。本实用新型创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。
实施例1：参照图1所示，本实用新型揭示了一种新型真空镀膜设备，包括真空腔室以及设置于所述真空腔室内的放卷机构、真空镀膜单元、吹气机构1和收卷机构2；所述的真空镀膜单元位于放卷机构与收卷机构2之间，所述的放卷机构提供待镀膜的薄膜，该薄膜在通过真空镀膜单元进行镀膜后，通过收卷机构2实现收卷；本实施例中，所述放卷机构包括放卷辊7和第一过辊8，真空镀膜单元包括蒸发机构15和主轴16，蒸发机构15设置于所述主轴16下方；另外，镀膜设备还包括第二过辊13和第三过辊14，且第二过辊13和第三过辊14设置于所述真空镀膜单元与所述收卷机构2之间。
参照图1所示，薄膜由放卷辊7提供，薄膜经过第一过辊8后，从主轴16上绕过，并在此过程中，通过蒸发机构15对薄膜进行蒸镀，形成复合铝箔薄膜，该复合铝箔薄膜依次经过第二过辊13和第三过辊14，再通过收卷机构2实现收卷。本实施例中，所述的蒸发机构15为蒸发镀膜设备；在另一个具体的实施例中，该蒸发机构为磁控溅射镀膜设备。
现有技术中，当复合铝箔薄膜暴露在空气中时，极易发生氧化反应。而在上述的实施例中，继续参照图1所示，所述的吹气机构1包括吹气口，且该吹气口设置在所述薄膜进入收卷机构2之前的位置，通过吹气口向薄膜的膜面吹出惰性气体。本实施例中，该惰性气体为氮气。因此，吹出的氮气可以进入复合铝箔薄膜被收卷后的相邻的层与层之间，可以避免薄膜短时间暴露在空气中时，由于空气进入复合铝箔薄膜的层与层之间发生的氧化。需要说明的是，虽然放卷机构、真空镀膜单元、吹气机构1和收卷机构2均被置于真空腔室内，抽真空机构一直在对真空腔室进行抽真空，使真空腔室保持真空状态，但真空腔室内残留的空气会导致复合铝箔薄膜发生氧化；此时吹气口吹入少量的氮气后，即可以实现上文所称的技术效果。
对于吹气机构的具体形式，参照图5所示，本实用新型提供了一具体实施例，所述的吹气机构1包括吹气管，吹气管上阵列排布设置有多个吹气口3。通过阵列分布的吹气口，可以使吹出的氮气分散，氮气更为均匀的分布在复合铝箔薄膜的层与层之间，抗氧化效果更佳。
继续参照图1所示，所述镀膜设备还包括容纳箱4，所述的收卷机构2设置于容纳箱4内，且容纳箱4上设置有用于使薄膜进入收卷机构2的条形通孔。本实施例中，所述吹气机构1的吹气口设置在容纳箱4的外部，且所述吹气口的吹气方向与膜片的行进方向所呈夹角为锐角；所述吹气口的吹气方向与膜片的行进方向所呈夹角为锐角是为了便于将氮气从所述条形孔吹入容纳箱4内。吹气机构1另外，参照图4所示，所述的容纳箱4包括顶部开口的箱体5以及铰接在顶部开口处的顶板6；顶板可拆卸是为了便于将收卷机构从容纳箱4中取出。
参照图3所示，对于收卷机构2的具体结构，本实用新型提供了一具体实施例，所述收卷机构2包括旋转驱动机构9、支撑座10、气涨轴11以及卷芯12；所述气涨轴11的两端均转动安装在支撑座10上，气涨轴11上套有卷芯12，通过卷芯12实现对薄膜的收卷；所述气涨轴11的一端穿过于支撑座，与所述的旋转驱动机构9相连接，通过旋转驱动机构9驱使气涨轴11转动气涨轴11带动卷芯12转动进行收卷。本实施例中，所述的旋转驱动机构9为电机。
实施例2：参照图2所示，本实施例提供了一种新型真空镀膜设备，本实施例中，与实施例1的不同之处仅在于：所述吹气机构1的吹气口设置在容纳箱4的内部，吹气机构1设置于所述容纳箱4内，可以避免惰性气体流失；并且，由于吹气机构1与膜片呈一定角度布置，以便于将氮气送入容纳箱4内。其他部分与实施例1相同，在此不做赘述。
以上是对本实用新型的较佳实施进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
Claims (10)
1.一种新型真空镀膜设备，其特征在于，包括真空腔室以及设置于所述真空腔室内的放卷机构、真空镀膜单元、吹气机构和收卷机构；
所述的真空镀膜单元位于放卷机构与收卷机构之间，所述的放卷机构提供待镀膜的薄膜，该薄膜在通过真空镀膜单元进行镀膜后，通过收卷机构实现收卷；
所述的吹气机构包括吹气口，且该吹气口设置在所述薄膜进入收卷机构之前的位置，通过吹气口向薄膜的膜面吹出惰性气体。
2.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜设备，其特征在于，所述的吹气机构包括吹气管，吹气管上阵列排布设置有多个吹气口。
3.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括容纳箱，所述的收卷机构设置于容纳箱内，且容纳箱上设置有用于使薄膜进入收卷机构的条形通孔。
4.根据权利要求3所述的一种新型真空镀膜设备，其特征在于，所述吹气机构的吹气口设置在容纳箱的内部或外部。
5.根据权利要求4所述的一种新型真空镀膜设备，其特征在于，当所述吹气口设置于容纳箱的外部时，所述吹气口的吹气方向与膜片的行进方向所呈夹角为锐角。
6.根据权利要求3所述的一种新型真空镀膜设备，其特征在于，所述的容纳箱包括顶部开口的箱体以及铰接在顶部开口处的顶板。
7.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜设备，其特征在于，所述放卷机构包括放卷辊和第一过辊。
8.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜设备，其特征在于，所述收卷机构包括旋转驱动机构、支撑座、气涨轴以及卷芯；
所述气涨轴的两端均转动安装在支撑座上，气涨轴上套有卷芯，通过卷芯实现对薄膜的收卷；
所述气涨轴的一端穿过于支撑座，与所述的旋转驱动机构相连接，通过旋转驱动机构驱使气涨轴转动。
9.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜设备，其特征在于，所述镀膜设备还包括第二过辊和第三过辊，所述第二过辊和第三过辊设置于所述真空镀膜单元与所述收卷机构之间。
10.根据权利要求1所述的一种新型真空镀膜设备，其特征在于，所述真空镀膜单元包括蒸发机构和主轴；所述蒸发机构设置于所述主轴下方。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320073559.1U CN218893736U (zh) | 2023-01-10 | 2023-01-10 | 一种新型真空镀膜设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202320073559.1U CN218893736U (zh) | 2023-01-10 | 2023-01-10 | 一种新型真空镀膜设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN218893736U true CN218893736U (zh) | 2023-04-21 |
Family
ID=85998005
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202320073559.1U Active CN218893736U (zh) | 2023-01-10 | 2023-01-10 | 一种新型真空镀膜设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN218893736U (zh) |
-
2023
- 2023-01-10 CN CN202320073559.1U patent/CN218893736U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2012136724A (ja) | 巻取り式連続成膜装置 | |
| CN218893736U (zh) | 一种新型真空镀膜设备 | |
| TW201250038A (en) | Vacuum processing apparatus | |
| US20100071722A1 (en) | Film roll, and cleaning method for film depositing apparatus | |
| CN216998566U (zh) | 一种真空镀膜设备 | |
| JP2004019958A (ja) | 乾燥装置および乾燥方法、ならびに磁気記録媒体の製造装置および製造方法 | |
| CN209162185U (zh) | 镀膜设备 | |
| CN114086147B (zh) | 一种制备光子晶体薄膜卷绕式真空镀膜设备 | |
| JP2000290389A (ja) | 成膜装置 | |
| JP2007077478A (ja) | 成膜方法及び成膜装置 | |
| JP2009179446A (ja) | 巻取装置および巻取部材の作製方法 | |
| JP2001003168A (ja) | 真空成膜装置 | |
| KR20210100935A (ko) | 배터리 전극 제조 방법 | |
| CN218089774U (zh) | 一种双面真空磁控溅射卷绕镀膜机 | |
| JPH03122276A (ja) | 連続真空蒸着装置 | |
| CN218197397U (zh) | 一种双复合干式复合机穿模系统 | |
| JP2000178717A (ja) | 成膜装置 | |
| CN220335337U (zh) | 一种弧形板结构、分切机、复卷机以及镀膜机 | |
| WO2020020179A1 (zh) | 镀膜设备及镀膜方法 | |
| CN213950040U (zh) | 一种卷绕机 | |
| CN216639638U (zh) | 一种薄膜蒸镀装置 | |
| CN209636312U (zh) | 高亮反光复合膜真空镀铝设备 | |
| JPH03295033A (ja) | 磁気記録媒体の製造装置 | |
| JPS59173268A (ja) | 薄膜形成装置 | |
| JPS61159573A (ja) | 真空蒸着装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |