CN216639638U - 一种薄膜蒸镀装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种薄膜蒸镀装置，包括真空腔体，所述真空腔体包括顶端开口的本体和设置到所述本体的开口端的盖板，所述本体具有相对的第一侧壁和第三侧壁、相对的第二侧壁和第四侧壁，还包括设置到所述本体内的第一辊筒组件，所述第一辊筒组件设有至少一个第一辊组件；所述第一辊组件包括分别与所述第一侧壁相对的第一放卷辊、第一过辊、第二过辊、第三过辊和第一收卷辊；所述本体的内部设有用于对薄膜的A面和B面分别进行蒸镀的第一下部蒸发源和第一上部蒸发源。本实用新型可实现薄膜的两面的镀膜工作，生产效率高，生产成本低，生产时间少，生产场地的占用空间小。

Description

一种薄膜蒸镀装置

技术领域

本实用新型涉及薄膜蒸镀技术领域，具体的是涉及一种薄膜蒸镀装置。

背景技术

薄膜蒸镀，是指在薄膜的表面采用真空镀膜方法，将蒸镀材料沉积到薄膜的表面上。现有的薄膜蒸镀装置，在进行镀膜工作时，只可实现薄膜的其中一面的蒸镀工作，对薄膜的另一面的蒸镀则需将薄膜搬运到另外一个装置进行，生产效率低下，生产成本高，生产时间长，同时生产场地的占用空间大。

实用新型内容

为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种薄膜蒸镀装置，可解决上述的技术问题。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：

一种薄膜蒸镀装置，包括真空腔体，所述真空腔体包括顶端开口的本体和设置到所述本体的开口端的盖板，所述本体具有相对的第一侧壁和第三侧壁、相对的第二侧壁和第四侧壁，还包括设置到所述本体内的第一辊筒组件，所述第一辊筒组件设有至少一个第一辊组件；所述第一辊组件包括分别与所述第一侧壁相对的第一放卷辊、第一过辊、第二过辊、第三过辊和第一收卷辊，所述第一放卷辊靠近所述第四侧壁，所述第二过辊靠近所述第二侧壁，所述第一过辊位于第一放卷辊的正上方，所述第三过辊位于第二过辊的正上方，第二过辊和第三过辊位于第一放卷辊和第一过辊之间，所述第一收卷辊位于第三过辊的正上方，第一过辊位于第三过辊和第一收卷辊之间；所述本体的内部设有用于对薄膜的A面和B面分别进行蒸镀的第一下部蒸发源和第一上部蒸发源。

作为优选的技术方案，所述第一辊筒组件包括第一辊筒和第二辊筒，所述第一辊筒、第二辊筒的一端分别设置到所述盖板，另一端分别与所述本体内的底部相对，所述第一辊筒与所述第一侧壁和第四侧壁之间的拐角对应，所述第二辊筒与所述第一侧壁和第二侧壁之间的拐角对应，所述第一辊筒和第二辊筒沿所述本体的长度方向呈并排设置；所述第一放卷辊、第一过辊的一端分别可转动地设置到所述第一辊筒的靠近所述第一侧壁的一侧，另一端分别与所述第一侧壁相对，所述第二过辊、第三过辊、第一收卷辊的一端分别可转动地设置到所述第二辊筒的靠近所述第一侧壁的一侧，另一端分别与所述第一侧壁相对；所述本体内的底部在对应所述第一放卷辊和第二过辊之间的位置设有所述第一下部蒸发源；所述第一上部蒸发源与所述盖板平行，第一上部蒸发源位于所述第一过辊和第三过辊的下方且位于所述第一放卷辊和第二过辊的上方，第一上部蒸发源的一端固定设置到所述第一辊筒的靠近所述第一侧壁的一侧，另一端靠近所述第二辊筒。

作为优选的技术方案，还包括设置到所述本体内的第二辊筒组件，所述第二辊筒组件设有至少一个第二辊组件；所述第二辊组件包括分别与所述第三侧壁相对的第二放卷辊、第四过辊、第五过辊、第六过辊和第二收卷辊，所述第二放卷辊靠近所述第二侧壁，所述第五过辊靠近所述第四侧壁，所述第四过辊位于第二放卷辊的正上方，所述第六过辊位于第五过辊的正上方，第五过辊和第六过辊位于第二放卷辊和第四过辊之间，所述第二收卷辊位于第六过辊的正上方，第四过辊位于第六过辊和第二收卷辊之间；所述本体的内部设有用于对薄膜的A面和B面分别进行蒸镀的第二下部蒸发源和第二上部蒸发源。

作为优选的技术方案，所述第二辊筒组件包括第三辊筒和第四辊筒，所述第三辊筒、第四辊筒的一端分别设置到所述盖板，另一端分别与所述本体内的底部相对，所述第三辊筒与所述第三侧壁和第二侧壁之间的拐角对应，所述第四辊筒与所述第三侧壁和第四侧壁之间的拐角对应，所述第四辊筒和第三辊筒沿所述本体的长度方向呈并排设置；所述第二放卷辊、第四过辊的一端分别可转动地设置到所述第三辊筒的靠近所述第三侧壁的一侧，另一端分别与所述第三侧壁相对，所述第五过辊、第六过辊、第二收卷辊的一端分别可转动地设置到所述第四辊筒的靠近所述第三侧壁的一侧，另一端分别与所述第三侧壁相对；所述本体内的底部在对应所述第二放卷辊和第五过辊之间的位置设有所述第二下部蒸发源；所述第二上部蒸发源与所述盖板平行，第二上部蒸发源位于所述第四过辊和第六过辊的下方且位于所述第二放卷辊和第五过辊的上方，第二上部蒸发源的一端固定设置到所述第三辊筒的靠近所述第三侧壁的一侧，另一端靠近所述第四辊筒。

作为优选的技术方案，所述第一辊筒的一端固定设置到所述盖板，所述第二辊筒的一端可转动地设置到所述盖板；所述第一辊筒组件还包括第五辊筒，所述第五辊筒的一端固定设置到所述盖板，另一端与所述本体内的底部相对，所述第五辊筒与所述第三侧壁和第二侧壁之间的拐角相靠近，所述第二辊筒和第五辊筒沿所述本体的宽度方向呈并排设置；所述第一辊组件还包括分别与所述第二侧壁相对的第七过辊和第八过辊，所述第七过辊、第八过辊的一端分别可转动地设置到所述第五辊筒的靠近第二侧壁的一侧，另一端分别与所述第二侧壁相对，所述第七过辊位于所述第八过辊的正上方，当所述第二辊筒转动到使所述第二过辊、第三过辊、第一收卷辊分别与所述第二侧壁相对时，所述第七过辊与所述第一收卷辊平齐，所述第八过辊位于所述第一收卷辊和第三过辊之间；所述本体内的底部在对应所述第八过辊和第三过辊之间的位置设有第三下部蒸发源；所述本体的内部设有第三上部蒸发源，所述第三上部蒸发源与所述盖板平行，第三上部蒸发源的一端固定设置到所述第五辊筒的靠近所述第二侧壁的一侧，另一端靠近所述第二辊筒，当所述第二辊筒转动到使所述第二过辊、第三过辊、第一收卷辊分别与所述第二侧壁相对时，第三上部蒸发源位于所述第一收卷辊和第七过辊的下方且位于第八过辊和第三过辊的上方。

作为优选的技术方案，所述第三辊筒的一端固定设置到所述盖板，所述第四辊筒的一端可转动地设置到所述盖板；所述第二辊筒组件还包括第六辊筒，所述第六辊筒的一端固定设置到所述盖板，另一端与所述本体内的底部相对，所述第六辊筒与所述第一侧壁和第四侧壁之间的拐角相靠近，所述第六辊筒和第四辊筒沿所述本体的宽度方向呈并排设置；所述第二辊组件还包括分别与所述第四侧壁相对的第九过辊和第十过辊，所述第九过辊、第十过辊的一端分别可转动地设置到所述第六辊筒的靠近所述第四侧壁的一侧，另一端分别与所述第四侧壁相对，所述第九过辊位于所述第十过辊的正上方，当所述第四辊筒转动到使所述第五过辊、第六过辊、第二收卷辊分别与所述第四侧壁相对时，所述第九过辊与所述第二收卷辊平齐，所述第十过辊位于所述第二收卷辊和第六过辊之间；所述本体内的底部在对应所述第十过辊和第六过辊之间的位置分别设有第四下部蒸发源；所述本体的内部设有第四上部蒸发源，所述第四上部蒸发源与所述盖板平行，第四上部蒸发源的一端固定设置到所述第六辊筒的靠近所述第四侧壁的一侧，另一端靠近所述第四辊筒，当所述第四辊筒转动到使所述第五过辊、第六过辊、第二收卷辊分别与所述第四侧壁相对时，第四上部蒸发源位于所述第二收卷辊和第九过辊的下方且位于第十过辊和第六过辊的上方。

作为优选的技术方案，所述第一辊筒、第二辊筒的一端固定设置到所述盖板；所述第一辊筒组件还包括第五辊筒，所述第五辊筒的一端固定设置到所述盖板，另一端与所述本体内的底部相对，所述第五辊筒与所述第三侧壁和第二侧壁之间的拐角相靠近，所述第二辊筒和第五辊筒沿所述本体的长度方向呈并排设置；所述第一辊组件还包括分别与所述第二侧壁相对的第七过辊、第八过辊、第九过辊、第十过辊和第三收卷辊，所述第七过辊、第八过辊的一端分别可转动地设置到所述第五辊筒的靠近所述第二侧壁的一侧，另一端分别与所述第二侧壁相对，所述第九过辊、第十过辊、第三收卷辊的一端分别可转动地设置到所述第二辊筒的靠近第二侧壁的一侧，另一端分别与所述第二侧壁相对，所述第七过辊位于所述第八过辊的正上方并与所述第三收卷辊平齐，所述第十过辊、第九过辊依次位于第三收卷辊的正下方，所述第八过辊位于所述第三收卷辊和第十过辊之间；所述本体内的底部在对应所述第八过辊和第十过辊之间的位置设有第三下部蒸发源；所述本体的内部设有第三上部蒸发源，所述第三上部蒸发源与所述盖板平行，第三上部蒸发源的一端固定设置到所述第五辊筒的靠近所述第二侧壁的一侧，另一端靠近所述第二辊筒，第三上部蒸发源位于所述第三收卷辊和第七过辊的下方且位于第八过辊和第十过辊的上方。

作为优选的技术方案，所述第三辊筒、第四辊筒的一端固定设置到所述盖板；所述第二辊筒组件还包括第六辊筒，所述第六辊筒的一端固定设置到所述盖板，另一端与所述本体内的底部相对，所述第六辊筒与所述第一侧壁和第四侧壁之间的拐角相靠近，所述第六辊筒和第四辊筒沿所述本体的宽度方向呈并排设置；所述第二辊组件还包括分别与所述第四侧壁相对的第十一过辊、第十二过辊、第十三过辊、第十四过辊和第四收卷辊，所述第十一过辊、第十二过辊的一端分别可转动地设置到所述第六辊筒的靠近所述第四侧壁的一侧，另一端分别与所述第四侧壁相对，所述第十三过辊、第十四过辊、第四收卷辊的一端分别可转动地设置到所述第四辊筒的靠近所述第四侧壁的一侧，另一端分别与所述第四侧壁相对，所述第十一过辊位于所述第十二过辊的正上方并与所述第四收卷辊平齐，所述第十四过辊、第十三过辊依次位于第四收卷辊的正下方，所述第十二过辊位于所述第四收卷辊和第十四过辊之间；所述本体内的底部在对应所述第十二过辊和第十四过辊之间的位置分别设有第四下部蒸发源；所述本体的内部设有第四上部蒸发源，所述第四上部蒸发源与所述盖板平行，第四上部蒸发源的一端固定设置到所述第六辊筒的靠近所述第四侧壁的一侧，另一端靠近所述第四辊筒，第四上部蒸发源位于所述第四收卷辊和第十一过辊的下方且位于第十二过辊和第十四过辊的上方。

作为优选的技术方案，所述第一下部蒸发源、第二下部蒸发源分别为多个，所述多个第一下部蒸发源、多个第二下部蒸发源分别沿所述本体的长度方向呈并排设置；相邻的两个第一下部蒸发源、相邻的两个第二下部蒸发源之间分别设有挡板。

作为优选的技术方案，所述第一过辊、第二过辊、第三过辊、第四过辊、第五过辊、第六过辊均为冷却辊。

本实用新型的有益效果是：本实用新型可实现对薄膜的两面分别进行蒸镀，从而可实现薄膜的两面的镀膜工作，相对现有的薄膜蒸镀装置，不需分两个装置进行，不需搬运，大大提高了生产效率，降低了生产成本和生产时间，减小了生产场地的占用空间。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

图1是本实用新型第一实施例提供的一种薄膜蒸镀装置的俯视示意图；

图2是图1所述薄膜蒸镀装置的从前面看过去的示意图；

图3是图1所示薄膜蒸镀装置的从后面看过去的示意图；

图4是图1所示薄膜蒸镀装置的从右面看过去的示意图，图4中未展示第三辊筒；

图5是图1所示薄膜蒸镀装置的从左面看过去的示意图，图5中未展示第一辊筒；

图6是本实用新型第二实施例提供的一种薄膜蒸镀装置的从前面看过去的示意图；

图7是图6所示薄膜蒸镀装置的从后面看过去的示意图；

图8是图6所示薄膜蒸镀装置的从右面看过去的示意图；

图9是图6所示薄膜蒸镀装置的从左面看过去的示意图。

具体实施方式

以下将结合实施例和附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本实用新型的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。另外，专利中涉及到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。本实用新型创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。

第一实施例

请参照图1和图2，本实用新型第一实施例提供的一种薄膜蒸镀装置，包括真空腔体和第一辊筒组件。真空腔体包括顶端开口的本体和设置到本体的开口端的盖板20。本体具有第一侧壁12、第二侧壁14、第三侧壁16和第四侧壁18。第一侧壁12和第三侧壁16相对，第二侧壁14和第四侧壁18相对。第一辊筒组件设置到本体的内部。第一辊筒组件设有一个第一辊组件。

第一辊筒组件包括第一辊筒32和第二辊筒34。第一辊筒32、第二辊筒34的一端分别设置到盖板20，另一端分别与本体内的底部相对。第一辊筒32与第一侧壁12和第四侧壁18之间的拐角对应，第二辊筒34与第一侧壁12和第二侧壁14之间的拐角对应。第一辊筒32和第二辊筒34沿本体的长度方向呈并排设置。

第一辊组件包括分别与第一侧壁12相对的第一放卷辊51、第一过辊52、第二过辊53、第三过辊54和第一收卷辊55。第一放卷辊51、第一过辊52的一端分别可转动地设置到第一辊筒32的靠近第一侧壁12的一侧，另一端分别与第一侧壁12相对，第二过辊53、第三过辊54、第一收卷辊55的一端分别可转动地设置到第二辊筒34的靠近第一侧壁12的一侧，另一端分别与第一侧壁12相对。第一放卷辊51靠近第四侧壁18，第二过辊52靠近第二侧壁14，第一过辊52位于第一放卷辊51的正上方，第三过辊54位于第二过辊53的正上方，第二过辊53和第三过辊54位于第一放卷辊51和第一过辊52之间，第一收卷辊55位于第三过辊54的正上方，第一过辊52位于第三过辊54和第一收卷辊55之间。

本体内的底部在对应第一放卷辊51和第二过辊53之间的位置设有第一下部蒸发源91。

本体的内部设有第一上部蒸发源96，第一上部蒸发源96与盖板20平行。第一上部蒸发源96的一端固定设置到第一辊筒32的靠近第一侧壁12的一侧，另一端靠近第二辊筒34。第一上部蒸发源96位于第一过辊52和第三过辊54的下方且位于第一放卷辊51和第二过辊53的上方。

本实用新型在实际应用时，如图2所示，将第一卷薄膜200安装到第一放卷辊51，通过第一放卷辊51可实现对第一卷薄膜200进行放卷，第一卷薄膜200的外端从第一放卷辊51拉出来后，依次经第二过辊53、第三过辊54、第一过辊52，然后到达第一收卷辊55，从而通过第一收卷辊55实现对第一卷薄膜200进行收卷，蒸镀工作开始后，第一下部蒸发源91可将蒸镀材料例如金属蒸发成蒸镀粒子，从而使得蒸镀粒子可沉积到第一卷薄膜200的A面，第一上部蒸发源96可将蒸镀材料例如金属蒸发成蒸镀粒子，从而使得蒸镀粒子可沉积到第一卷薄膜的B面，随着第一卷薄膜200的移动从而可实现对第一卷薄膜200的A面和B面分别进行第一次蒸镀。本实用新型可实现对薄膜的两面分别进行蒸镀，从而可实现薄膜的两面的镀膜工作，相对现有的薄膜蒸镀装置，不需分两个装置进行，不需搬运，大大提高了生产效率，降低了生产成本和生产时间，减小了生产场地的占用空间。

结合图3所示，本实用新型的薄膜蒸镀装置还包括第二辊筒组件，第二辊筒组件设有一个第二辊组件。

第二辊筒组件包括第三辊筒42和第四辊筒44，第三辊筒42、第四辊筒44的一端分别设置到盖板20，另一端分别与本体内的底部相对。第三辊筒42与第三侧壁16和第二侧壁14之间的拐角对应，第四辊筒44与第三侧壁16和第四侧壁18之间的拐角对应。第三辊筒42和第四辊筒44沿本体的长度方向呈并排设置。

第二辊组件包括分别与第三侧壁16相对的第二放卷辊71、第四过辊72、第五过辊73、第六过辊74和第二收卷辊75。第二放卷辊71、第四过辊72的一端分别可转动地设置到第三辊筒42的靠近第三侧壁16的一侧，另一端分别与第三侧壁16相对。第五过辊73、第六过辊74、第二收卷辊75的一端分别可转动地设置到第四辊筒44的靠近第三侧壁16的一侧，另一端分别与第三侧壁16相对。第二放卷辊71靠近第二侧壁14，第五过辊73靠近第四侧壁。第四过辊72位于第二放卷辊71的正上方，第六过辊74位于第五过辊73的正上方，第五过辊73和第六过辊74位于第二放卷辊71和第四过辊72之间，第二收卷辊75位于第六过辊74的正上方，第四过辊72位于第六过辊74和第二收卷辊75之间。

本体内的底部在对应第二放卷辊71和第五过辊73之间的位置分别设有第二下部蒸发源92。

本体的内部设有第二上部蒸发源97，第二上部蒸发源97与盖板20平行。第二上部蒸发源97的一端固定设置到第三辊筒42的靠近第三侧壁16的一侧，另一端靠近第四辊筒44。第二上部蒸发源97位于第四过辊72和第六过辊74的下方且位于第二放卷辊71和第五过辊73的上方。

本实用新型在实际应用时，如图3所示，将第二卷薄膜300安装到第二放卷辊71，通过第二放卷辊71可实现对第二卷薄膜300进行放卷，第二卷薄膜300的外端从第二放卷辊71拉出来后，依次经第五过辊73、第六过辊74、第四过辊72，然后到达第二收卷辊75，从而通过第二收卷辊75实现对第二卷薄膜300进行收卷，蒸镀工作开始后，第二下部蒸发源92可将蒸镀材料例如金属蒸发成蒸镀粒子，从而使得蒸镀粒子可沉积到第二卷薄膜300的A面。第二上部蒸发源97可将蒸镀材料例如金属蒸发成蒸镀粒子，从而使得蒸镀粒子可沉积到第二卷薄膜300的B面，随着第二卷薄膜300的移动从而可实现对第二卷薄膜300的A面和B面分别进行第一次蒸镀。本实用新型可实现对两卷薄膜的两面分别进行蒸镀，从而可实现两卷薄膜的两面的镀膜工作，相对现有的薄膜蒸镀装置，进一步提高了生产效率，降低了生产成本和生产时间，进一步减小了生产场地的占用空间。

进一步地，第一辊筒32、第三辊筒42的一端分别固定设置到盖板20，第二辊筒34、第四辊筒44的一端分别可转动地设置到盖板20。

结合图4所示，第一辊筒组件还包括第五辊筒36，第五辊筒36的一端固定设置到盖板20，另一端与本体内的底部相对。第五辊筒36与第三侧壁16和第二侧壁14之间的拐角相靠近，并位于第二辊筒34和第三辊筒42之间，第二辊筒34和第五辊筒36沿本体的宽度方向呈并排设置。

第一辊组件还包括分别与第二侧壁14相对的第七过辊56和第八过辊57，第七过辊56、第八过辊57的一端分别可转动地设置到第五辊筒36的靠近第二侧壁14的一侧，另一端分别与第二侧壁14相对。第七过辊56位于第八过辊57的正上方，当第二辊筒34转动到使第二过辊53、第三过辊54、第一收卷辊55分别与第二侧壁14相对时，第七过辊56与第一收卷辊55平齐，第八过辊57位于第一收卷辊55和第三过辊54之间。第二辊筒34转动例如沿逆时针方向转动90度。

结合图5所示，第二辊筒组件还包括第六辊筒46，第六辊筒46的一端固定设置到盖板20，另一端与本体内的底部相对。第六辊筒46与第一侧壁12和第四侧壁18之间的拐角相靠近，并位于第四辊筒44和第一辊筒32之间，第六辊筒46和第四辊筒44沿本体的宽度方向呈并排设置。

第二辊组件还包括分别与第四侧壁18相对的第九过辊76和第十过辊77，第九过辊76、第十过辊77的一端分别可转动地设置到第六辊筒46的靠近第四侧壁18的一侧，另一端分别与第四侧壁18相对。第九过辊76位于第十过辊77的正上方，当第四辊筒44转动到使第五过辊73、第六过辊74、第二收卷辊75分别与第四侧壁18相对时，第九过辊76与第二收卷辊75平齐，第十过辊77位于第二收卷辊75和第六过辊74之间。第四辊筒44转动例如沿逆时针方向转动90度。

本体内的底部在对应第八过辊57和第三过辊54之间的位置、第十过辊77和第六过辊74间的位置分别设有第三下部蒸发源94、第四下部蒸发源95。

本体的内部设有第三上部蒸发源98，第三上部蒸发源98与盖板20平行。第三上部蒸发源98的一端固定设置到第五辊筒36的靠近第二侧壁14的一侧，另一端靠近第二辊筒34，当第二辊筒34转动到使第二过辊53、第三过辊54、第一收卷辊55分别与第二侧壁14相对时，第三上部蒸发源98位于第一收卷辊55和第七过辊56的下方且位于第八过辊57和第三过辊54的上方。

本体的内部设有第四上部蒸发源99，第四上部蒸发源99与盖板20平行。第四上部蒸发源99的一端固定设置到第六辊筒46的靠近第四侧壁18的一侧，另一端靠近第四辊筒44，当第四辊筒44转动到使第五过辊73、第六过辊74、第二收卷辊75分别与第四侧壁18相对时，第四上部蒸发源99位于第二收卷辊75和第九过辊76的下方且位于第十过辊77和第六过辊74的上方。

在对第一卷薄膜200、第二卷薄膜300的两面进行第一次蒸镀完成后，通过转动第二辊筒34使第二过辊53、第三过辊54、第一收卷辊55分别与第二侧壁14相对，如图4所示，通过第一收卷辊55可实现对第一卷薄膜200进行放卷，第一卷薄膜200的外端从第一收卷辊55拉出来后，依次经过第七过辊56、第八过辊57、第三过辊54，然后到达第二过辊53，从而通过第二过辊53实现对第一卷薄膜200进行收卷，通过转动第四辊筒44使第五过辊73、第六过辊74、第二收卷辊75分别与第四侧壁18相对，如图5所示，通过第二收卷辊75可实现对第二卷薄膜300进行放卷，第二卷薄膜300的外端从第二收卷辊75拉出来后，依次经过第九过辊76、第十过辊77、第六过辊74，然后到达第五过辊73，从而通过第五过辊73实现对第二卷薄膜300进行收卷，蒸镀工作开始后，第三下部蒸发源94、第四下部蒸发源95可将蒸镀材料例如金属蒸发成蒸镀粒子，从而使得蒸镀粒子可沉积到第一卷薄膜200的A面、第二卷薄膜300的A面，第三上部蒸发源98、第四上部蒸发源99可将蒸镀材料例如金属蒸发成蒸镀粒子，从而使得蒸镀粒子可沉积到第一卷薄膜200的B面、第二卷薄膜300的B面，随着第一卷薄膜200、第二卷薄膜300的移动从而可实现对第一卷薄膜200的A面和B面分别进行第二次蒸镀以及对第二卷薄膜300的A面和B面分别进行第二次蒸镀，从而可实现对两卷薄膜的两面分别进行第二次蒸镀。

通过上述的结构，本实用新型可实现对两卷薄膜的两面分别进行两次蒸镀，以满足镀膜要求，两次蒸镀不需分两个装置进行，不需搬运，可连续生产，进一步提高了生产效率和降低了生产成本，进一步减小了生产场地的占用空间。

本实施例中，第二过辊53与第一放卷辊51相切，第三过辊54与第一过辊52相切，第八过辊57与第三过辊54相切，第五过辊73与第二放卷辊71相切，第四过辊72与第六过辊74相切，第十过辊77与第六过辊74相切，通过该种结构，能够使得位于第二过辊53与第一放卷辊51之间的薄膜200、第三过辊54与第一过辊52之间的薄膜200、第八过辊57与第三过辊54之间的薄膜200、第五过辊73与第二放卷辊71之间的薄膜300、第四过辊72与第六过辊74之间的薄膜300、第十过辊77与第六过辊74之间的薄膜300均处于水平状态，从而可使得薄膜的A面和B面的蒸镀粒子沉积均匀。

本实施例中，盖板20活动设置到本体的开口端，蒸镀装置还包括升降驱动装置，升降驱动装置可驱动盖板20上下移动，通过盖板20的上下移动，从而可带动所有的辊筒上下移动，从而方便操作人员安装和取出薄膜。升降驱动装置例如为升降电机、升降气缸等。

盖板20设有用于驱动第二辊筒34转动的第一旋转驱动装置和用于驱动第四辊筒44转动的第二旋转驱动装置。通过第一旋转驱动装置、第二旋转驱动装置从而可实现驱动第二辊筒34转动、第四辊筒44转动，操作方便。第一旋转驱动装置、第二旋转驱动装置例如为旋转电机、旋转气缸等。

本实施例的所有的放卷辊、收卷辊和过辊分别通过一驱动电机进行驱动，以使放卷辊、收卷辊和过辊能够进行转动。驱动电机设置到对应的辊筒内。

优选地，第一过辊52、第二过辊53、第三过辊54、第四过辊72、第五过辊73、第六过辊74、第七过辊56、第八过辊57、第九过辊76和第十过辊77均为冷却辊，以实现对薄膜进行冷却。

进一步地，第一下部蒸发源91、第二下部蒸发源92、第三下部蒸发源94和第四下部蒸发源95分别为普通蒸发源，且分别多个，多个第一下部蒸发源91、多个第二下部蒸发源92分别沿本体的长度方向呈并排设置，多个第三下部蒸发源94、多个第四下部蒸发源95分别沿本体的宽度方向呈并排设置。相邻的两个第一下部蒸发源91、相邻的两个第二下部蒸发源92、相邻的两个第三下部蒸发源94、相邻的两个第四下部蒸发源95之间分别设有挡板。设置的挡板，可防止蒸发源里面的蒸镀材料飞溅，也可防止蒸镀材料向上沉积到辊筒的底部。

本实施例中，第一下部蒸发源91、第二下部蒸发源92、第三下部蒸发源94和第四下部蒸发源95分别为三个，可以理解地，第一下部蒸发源91、第二下部蒸发源92、第三下部蒸发源94和第四下部蒸发源95的数量可以根据实际情况进行设置。

本实施例中，本体的第一侧壁12、第二侧壁14、第三侧壁16和第四侧壁18分别设有透明的观察窗，方便操作人员观察镀膜情况。

本实施例的辊筒的截面形状例如为圆形、椭圆形、矩形等。第一上部蒸发源96、第二上部蒸发源97、第三上部蒸发源98、第四上部蒸发源99均为一长方形蒸发源。

优选地，第一辊筒32和第二辊筒34之间的直线距离与第二辊筒34和第五辊筒36之间的直线距离相同，第三辊筒42和第四辊筒44之间的直线距离与第四辊筒44和第六辊筒46之间的直线距离相同，从而使得第一卷薄膜200、第二卷薄膜300两次蒸镀的时间相同，可控性强。

第二实施例

请参照图6和图7，本实施例与第一实施例不同的是，本实施例的第二辊筒34、第四辊筒44的一端分别固定设置到盖板20，即第二辊筒34和第四辊筒44是不可转动的，因而盖板20没有设置第一旋转驱动装置和第二旋转驱动装置。

结合图8所示，第一辊筒组件还包括第五辊筒36，第五辊筒36的一端固定设置到盖板20，另一端与本体内的底部相对。第五辊筒36与第三侧壁16和第二侧壁14之间的拐角相靠近，并位于第二辊筒34和第三辊筒42之间，第二辊筒34和第五辊筒36沿本体的长度方向呈并排设置。

第一辊组件还包括分别与第二侧壁14相对的第七过辊56、第八过辊57、第九过辊58、第十过辊59和第三收卷辊60，第七过辊56、第八过辊57的一端分别可转动地设置到第五辊筒36的靠近第二侧壁14的一侧，另一端分别与第二侧壁14相对。第九过辊58、第十过辊59、第三收卷辊60的一端分别可转动地设置到第二辊筒34的靠近第二侧壁14的一侧，另一端分别与第二侧壁14相对。第七过辊56位于第八过辊57的正上方并与第三收卷辊60平齐，第十过辊59位于第三收卷辊60的正下方，第九过辊58位于第十过辊59的正下方，第八过辊57位于第三收卷辊60和第十过辊59之间。

结合图9所示，第二辊筒组件还包括第六辊筒46，第六辊筒46的一端固定设置到盖板20，另一端与本体内的底部相对。第六辊筒46与第一侧壁12和第四侧壁18的拐角相靠近，并位于第四辊筒44和第一辊筒32之间，第六辊筒46和第四辊筒44沿本体的宽度方向呈并排设置。

第二辊组件还包括分别与第四侧壁18相对的第十一过辊78、第十二过辊79、第十三过辊80、第十四过辊81和第四收卷辊82。第十一过辊78、第十二过辊79的一端分别可转动地设置到第六辊筒46的靠近第四侧壁18的一侧，另一端分别与第四侧壁18相对。第十三过辊80、第十四过辊81、第四收卷辊82的一端分别可转动地设置到第四辊筒46的靠近第四侧壁18的一侧，另一端分别与第四侧壁18相对。第十一过辊78位于第十二过辊79的正上方并与第四收卷辊82平齐，第十四过辊81位于第四收卷辊82的正下方，第十三过辊80位于第十四过辊81的正下方，第十二过辊79位于第四收卷辊82和第十四过辊81之间。

本体内的底部在对应第八过辊57和第十过辊59之间的位置、第十二过辊79和第十四过辊81之间的位置分别设有第三下部蒸发源94、第四下部蒸发源95。

本体的内部设有第三上部蒸发源98，第三上部蒸发源98与盖板20平行。第三上部蒸发源98的一端固定设置到第五辊筒36的靠近第二侧壁14的一侧，另一端靠近第二辊筒34，第三上部蒸发源98位于第三收卷辊60和第七过辊56的下方且位于第八过辊57和第十过辊59的上方。

本体的内部设有第四上部蒸发源99，第四上部蒸发源99与盖板20平行。第四上部蒸发源99的一端固定设置到第六辊筒46的靠近第四侧壁18的一侧，另一端靠近第四辊筒44，第四上部蒸发源99位于第四收卷辊82和第十一过辊78的下方且位于第十二过辊79和第十四过辊81的上方。

通过上述的结构，本实施例对第一卷薄膜200的两面、第二卷薄膜300的两面进行第一次蒸镀的原理与第一实施例相同，在对第一卷薄膜200、第二卷薄膜300的两面进行第一次蒸镀完成后，先将第一卷薄膜200、第二卷薄膜300分别从第二辊筒34的第一收卷辊55、第四辊筒44的第二收卷辊75上取下，然后分别安装到第二辊筒34的第三收卷辊60、第四辊筒44的第四收卷辊82，如图8所示，通过第三收卷辊60可实现对第一卷薄膜200进行放卷，第一卷薄膜200的外端从第三收卷辊60拉出来后，依次经过第七过辊56、第八过辊57、第十过辊59，然后到达第九过辊58，从而通过第九过辊58实现对第一卷薄膜200进行收卷，如图9所示，通过第四收卷辊82可实现对第二卷薄膜300进行放卷，第二卷薄膜300的外端从第四收卷辊82拉出来后，依次经过第十一过辊78、第十二过辊79、第十四过辊81，然后到达第十三过辊80，从而通过第十三过辊80实现对第二卷薄膜300进行收卷，蒸镀工作开始后，第三下部蒸发源94、第四下部蒸发源95可将蒸镀材料例如金属蒸发成蒸镀粒子，从而使得蒸镀粒子可沉积到第一卷薄膜200的A面、第二卷薄膜300的A面，第三上部蒸发源98、第四上部蒸发源99可将蒸镀材料例如金属蒸发成蒸镀粒子，从而使得蒸镀粒子可沉积到第一卷薄膜200的B面、第二卷薄膜300的B面，随着第一卷薄膜200、第二卷薄膜300的移动从而可实现对第一卷薄膜200的A面和B面进行第二次蒸镀以及对第二卷薄膜300的A面和B面进行第二次蒸镀，从而可实现对第一卷薄膜200的两面和第二卷薄膜300的两面分别进行第二次蒸镀。

通过上述的结构，本实用新型可达到与第一实施例相同的技术效果。

本实施例中，辊筒的截面形状优选为矩形。

优选地，第一过辊52、第二过辊53、第三过辊54、第四过辊72、第五过辊73、第六过辊74、第七过辊56、第八过辊57、第九过辊58、第十过辊59、第十一过辊78、第十二过辊79、第十三过辊80和第十四过辊81均为冷却辊，以实现对薄膜进行冷却。

在其他实施方式中，第一辊组件、第二辊组件的数量还可以是例如两个、两个以上等，从而可实现四卷、四卷以上等多卷的薄膜的镀膜工作，可以理解地，第一辊组件、第二辊组件的数量可根据实际情况进行设置。

以上是对本实用新型的较佳实施进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (10)

1.一种薄膜蒸镀装置，包括真空腔体，所述真空腔体包括顶端开口的本体和设置到所述本体的开口端的盖板，所述本体具有相对的第一侧壁和第三侧壁、相对的第二侧壁和第四侧壁，其特征在于，还包括设置到所述本体内的第一辊筒组件，所述第一辊筒组件设有至少一个第一辊组件；

所述第一辊组件包括分别与所述第一侧壁相对的第一放卷辊、第一过辊、第二过辊、第三过辊和第一收卷辊，所述第一放卷辊靠近所述第四侧壁，所述第二过辊靠近所述第二侧壁，所述第一过辊位于第一放卷辊的正上方，所述第三过辊位于第二过辊的正上方，第二过辊和第三过辊位于第一放卷辊和第一过辊之间，所述第一收卷辊位于第三过辊的正上方，第一过辊位于第三过辊和第一收卷辊之间；

所述本体的内部设有用于对薄膜的A面和B面分别进行蒸镀的第一下部蒸发源和第一上部蒸发源。

2.根据权利要求1所述的薄膜蒸镀装置，其特征在于，所述第一辊筒组件包括第一辊筒和第二辊筒，所述第一辊筒、第二辊筒的一端分别设置到所述盖板，另一端分别与所述本体内的底部相对，所述第一辊筒与所述第一侧壁和第四侧壁之间的拐角对应，所述第二辊筒与所述第一侧壁和第二侧壁之间的拐角对应，所述第一辊筒和第二辊筒沿所述本体的长度方向呈并排设置；

所述第一放卷辊、第一过辊的一端分别可转动地设置到所述第一辊筒的靠近所述第一侧壁的一侧，另一端分别与所述第一侧壁相对，所述第二过辊、第三过辊、第一收卷辊的一端分别可转动地设置到所述第二辊筒的靠近所述第一侧壁的一侧，另一端分别与所述第一侧壁相对；

所述本体内的底部在对应所述第一放卷辊和第二过辊之间的位置设有所述第一下部蒸发源；

所述第一上部蒸发源与所述盖板平行，第一上部蒸发源位于所述第一过辊和第三过辊的下方且位于所述第一放卷辊和第二过辊的上方，第一上部蒸发源的一端固定设置到所述第一辊筒的靠近所述第一侧壁的一侧，另一端靠近所述第二辊筒。

3.根据权利要求1所述的薄膜蒸镀装置，其特征在于，还包括设置到所述本体内的第二辊筒组件，所述第二辊筒组件设有至少一个第二辊组件；

所述第二辊组件包括分别与所述第三侧壁相对的第二放卷辊、第四过辊、第五过辊、第六过辊和第二收卷辊，所述第二放卷辊靠近所述第二侧壁，所述第五过辊靠近所述第四侧壁，所述第四过辊位于第二放卷辊的正上方，所述第六过辊位于第五过辊的正上方，第五过辊和第六过辊位于第二放卷辊和第四过辊之间，所述第二收卷辊位于第六过辊的正上方，第四过辊位于第六过辊和第二收卷辊之间；

所述本体的内部设有用于对薄膜的A面和B面分别进行蒸镀的第二下部蒸发源和第二上部蒸发源。

4.根据权利要求3所述的薄膜蒸镀装置，其特征在于，所述第二辊筒组件包括第三辊筒和第四辊筒，所述第三辊筒、第四辊筒的一端分别设置到所述盖板，另一端分别与所述本体内的底部相对，所述第三辊筒与所述第三侧壁和第二侧壁之间的拐角对应，所述第四辊筒与所述第三侧壁和第四侧壁之间的拐角对应，所述第四辊筒和第三辊筒沿所述本体的长度方向呈并排设置；

所述第二放卷辊、第四过辊的一端分别可转动地设置到所述第三辊筒的靠近所述第三侧壁的一侧，另一端分别与所述第三侧壁相对，所述第五过辊、第六过辊、第二收卷辊的一端分别可转动地设置到所述第四辊筒的靠近所述第三侧壁的一侧，另一端分别与所述第三侧壁相对；

所述本体内的底部在对应所述第二放卷辊和第五过辊之间的位置设有所述第二下部蒸发源；

所述第二上部蒸发源与所述盖板平行，第二上部蒸发源位于所述第四过辊和第六过辊的下方且位于所述第二放卷辊和第五过辊的上方，第二上部蒸发源的一端固定设置到所述第三辊筒的靠近所述第三侧壁的一侧，另一端靠近所述第四辊筒。

5.根据权利要求2所述的薄膜蒸镀装置，其特征在于，所述第一辊筒的一端固定设置到所述盖板，所述第二辊筒的一端可转动地设置到所述盖板；

所述第一辊筒组件还包括第五辊筒，所述第五辊筒的一端固定设置到所述盖板，另一端与所述本体内的底部相对，所述第五辊筒与所述第三侧壁和第二侧壁之间的拐角相靠近，所述第二辊筒和第五辊筒沿所述本体的宽度方向呈并排设置；

所述第一辊组件还包括分别与所述第二侧壁相对的第七过辊和第八过辊，所述第七过辊、第八过辊的一端分别可转动地设置到所述第五辊筒的靠近第二侧壁的一侧，另一端分别与所述第二侧壁相对，所述第七过辊位于所述第八过辊的正上方，当所述第二辊筒转动到使所述第二过辊、第三过辊、第一收卷辊分别与所述第二侧壁相对时，所述第七过辊与所述第一收卷辊平齐，所述第八过辊位于所述第一收卷辊和第三过辊之间；

所述本体内的底部在对应所述第八过辊和第三过辊之间的位置设有第三下部蒸发源；

所述本体的内部设有第三上部蒸发源，所述第三上部蒸发源与所述盖板平行，第三上部蒸发源的一端固定设置到所述第五辊筒的靠近所述第二侧壁的一侧，另一端靠近所述第二辊筒，当所述第二辊筒转动到使所述第二过辊、第三过辊、第一收卷辊分别与所述第二侧壁相对时，第三上部蒸发源位于所述第一收卷辊和第七过辊的下方且位于第八过辊和第三过辊的上方。

6.根据权利要求4所述的薄膜蒸镀装置，其特征在于，所述第三辊筒的一端固定设置到所述盖板，所述第四辊筒的一端可转动地设置到所述盖板；

所述第二辊筒组件还包括第六辊筒，所述第六辊筒的一端固定设置到所述盖板，另一端与所述本体内的底部相对，所述第六辊筒与所述第一侧壁和第四侧壁之间的拐角相靠近，所述第六辊筒和第四辊筒沿所述本体的宽度方向呈并排设置；

所述第二辊组件还包括分别与所述第四侧壁相对的第九过辊和第十过辊，所述第九过辊、第十过辊的一端分别可转动地设置到所述第六辊筒的靠近所述第四侧壁的一侧，另一端分别与所述第四侧壁相对，所述第九过辊位于所述第十过辊的正上方，当所述第四辊筒转动到使所述第五过辊、第六过辊、第二收卷辊分别与所述第四侧壁相对时，所述第九过辊与所述第二收卷辊平齐，所述第十过辊位于所述第二收卷辊和第六过辊之间；

所述本体内的底部在对应所述第十过辊和第六过辊之间的位置分别设有第四下部蒸发源；

所述本体的内部设有第四上部蒸发源，所述第四上部蒸发源与所述盖板平行，第四上部蒸发源的一端固定设置到所述第六辊筒的靠近所述第四侧壁的一侧，另一端靠近所述第四辊筒，当所述第四辊筒转动到使所述第五过辊、第六过辊、第二收卷辊分别与所述第四侧壁相对时，第四上部蒸发源位于所述第二收卷辊和第九过辊的下方且位于第十过辊和第六过辊的上方。

7.根据权利要求2所述的薄膜蒸镀装置，其特征在于，所述第一辊筒、第二辊筒的一端固定设置到所述盖板；

所述第一辊筒组件还包括第五辊筒，所述第五辊筒的一端固定设置到所述盖板，另一端与所述本体内的底部相对，所述第五辊筒与所述第三侧壁和第二侧壁之间的拐角相靠近，所述第二辊筒和第五辊筒沿所述本体的长度方向呈并排设置；

所述第一辊组件还包括分别与所述第二侧壁相对的第七过辊、第八过辊、第九过辊、第十过辊和第三收卷辊，所述第七过辊、第八过辊的一端分别可转动地设置到所述第五辊筒的靠近所述第二侧壁的一侧，另一端分别与所述第二侧壁相对，所述第九过辊、第十过辊、第三收卷辊的一端分别可转动地设置到所述第二辊筒的靠近第二侧壁的一侧，另一端分别与所述第二侧壁相对，所述第七过辊位于所述第八过辊的正上方并与所述第三收卷辊平齐，所述第十过辊、第九过辊依次位于第三收卷辊的正下方，所述第八过辊位于所述第三收卷辊和第十过辊之间；

所述本体内的底部在对应所述第八过辊和第十过辊之间的位置设有第三下部蒸发源；

所述本体的内部设有第三上部蒸发源，所述第三上部蒸发源与所述盖板平行，第三上部蒸发源的一端固定设置到所述第五辊筒的靠近所述第二侧壁的一侧，另一端靠近所述第二辊筒，第三上部蒸发源位于所述第三收卷辊和第七过辊的下方且位于第八过辊和第十过辊的上方。

8.根据权利要求4所述的薄膜蒸镀装置，其特征在于，所述第三辊筒、第四辊筒的一端固定设置到所述盖板；

所述第二辊筒组件还包括第六辊筒，所述第六辊筒的一端固定设置到所述盖板，另一端与所述本体内的底部相对，所述第六辊筒与所述第一侧壁和第四侧壁之间的拐角相靠近，所述第六辊筒和第四辊筒沿所述本体的宽度方向呈并排设置；

所述第二辊组件还包括分别与所述第四侧壁相对的第十一过辊、第十二过辊、第十三过辊、第十四过辊和第四收卷辊，所述第十一过辊、第十二过辊的一端分别可转动地设置到所述第六辊筒的靠近所述第四侧壁的一侧，另一端分别与所述第四侧壁相对，所述第十三过辊、第十四过辊、第四收卷辊的一端分别可转动地设置到所述第四辊筒的靠近所述第四侧壁的一侧，另一端分别与所述第四侧壁相对，所述第十一过辊位于所述第十二过辊的正上方并与所述第四收卷辊平齐，所述第十四过辊、第十三过辊依次位于第四收卷辊的正下方，所述第十二过辊位于所述第四收卷辊和第十四过辊之间；

所述本体内的底部在对应所述第十二过辊和第十四过辊之间的位置分别设有第四下部蒸发源；

所述本体的内部设有第四上部蒸发源，所述第四上部蒸发源与所述盖板平行，第四上部蒸发源的一端固定设置到所述第六辊筒的靠近所述第四侧壁的一侧，另一端靠近所述第四辊筒，第四上部蒸发源位于所述第四收卷辊和第十一过辊的下方且位于第十二过辊和第十四过辊的上方。

9.根据权利要求3所述的薄膜蒸镀装置，其特征在于，所述第一下部蒸发源、第二下部蒸发源分别为多个，所述多个第一下部蒸发源、多个第二下部蒸发源分别沿所述本体的长度方向呈并排设置；

相邻的两个第一下部蒸发源、相邻的两个第二下部蒸发源之间分别设有挡板。

10.根据权利要求3所述的薄膜蒸镀装置，其特征在于，所述第一过辊、第二过辊、第三过辊、第四过辊、第五过辊、第六过辊均为冷却辊。

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