CN210367888U - 一种用于真空镀膜机的真空室 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于真空镀膜机的真空室，包括：真空腔体；波浪形遮挡板，其可拆卸连接在真空腔体的内壁上；主传动辊，其设置在真空腔体的下部居中的位置；所述真空腔体的上部左右对称设置放卷辊和收卷辊；三个镀膜靶材，其等距离地放置在主传动辊的外圆周围，且位于主传动辊的下方；本实用新型将真空腔体内部的遮挡板设置为波浪形遮挡板，其有效增加了挡板的整体面积，让挡板能更好、更多的吸附靶材材料，减少保养次数，从而增加设备有效生产时间。

Description

一种用于真空镀膜机的真空室

技术领域

本实用新型属于真空镀膜机设备领域，更具体地说，本实用新型涉及一种用于真空镀膜机的真空室。

背景技术

溅射镀膜的原理是稀薄气体在异常辉光放电产生的等离子体在电场的作用下，对阴极靶材表面进行轰击，把靶材表面的分子、原子、离子及电子等溅射出来，被溅射出来的粒子带有一定的动能，沿一定的方向射向基体表面，在基体表面形成镀层。

目前真空腔体内部靶材溅射是无法杜绝的现象，对靶材溅射出的靶材材料的有效吸附的最大面积为真空腔体内部表面和遮挡板，由于长时间靶材溅射必然会产生遮挡板表面靶材材料堆积，当遮挡板上堆积的靶材材料达到一定厚度时，需对遮挡板进行清理；现有技术中真空腔体内部的遮挡板结构为平面形状，采用平面结构的遮挡板，则平面结构堆积的靶材材料较少，需要频繁进行维护清理，降低了真空镀膜机的利用效率。

实用新型内容

本实用新型的一个目的是解决至少上述问题和/或缺陷，并提供至少后面将说明的优点。

为了实现根据本实用新型的这些目的和其它优点，提供了一种用于真空镀膜机的真空室，包括：

真空腔体；

波浪形遮挡板，其可拆卸连接在真空腔体的内壁上；

主传动辊，其设置在真空腔体的下部居中的位置；所述真空腔体的上部左右对称设置放卷辊和收卷辊；

三个镀膜靶材，其等距离地放置在主传动辊的外圆周围，且位于主传动辊的下方。

优选的是，所述波浪形遮挡板的在真空腔体的内壁的铺设面与真空腔体的内壁相匹配。

优选的是，所述波浪形遮挡板与真空腔体的内壁的可拆卸连接方式为采用螺栓连接。

优选的是，所述波浪形遮挡板与真空腔体的内壁的可拆卸连接方式为：在所述波浪形遮挡板的端部设置有弯折部，所述真空腔体的内壁上设置有与弯折部相匹配的卡槽，所述卡槽和弯折部相匹配连接以实现波浪形遮挡板与真空腔体的内壁的可拆卸连接。

优选的是，所述真空腔体上设置有用于连接真空抽气机组的抽气孔和用于连接充气系统的充气孔。

优选的是，还包括导向辊，其设置在真空腔体内，且导向辊分别位于主传动辊与放卷辊之间、主传动辊与收卷辊之间。

本实用新型至少包括以下有益效果：本实用新型将真空腔体内部的遮挡板设置为波浪形遮挡板，其有效增加了挡板的整体面积，让挡板能更好、更多的吸附靶材材料，减少保养次数，从而增加设备有效生产时间。

本实用新型的其它优点、目标和特征将部分通过下面的说明体现，部分还将通过对本实用新型的研究和实践而为本领域的技术人员所理解。

附图说明：

图1为本实用新型的用于真空镀膜机的真空室的结构示意图；

图2为本实用新型的另一种用于真空镀膜机的真空室的结构示意图；

图3为本实用新型的波浪形遮挡板的结构示意图。

具体实施方式：

下面结合附图对本实用新型做进一步的详细说明，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。

应当理解，本文所使用的诸如“具有”、“包含”以及“包括”术语并不排除一个或多个其它元件或其组合的存在或添加。

图1～3示出了本实用新型的一种用于真空镀膜机的真空室，包括：

真空腔体1；

波浪形遮挡板2，其可拆卸连接在真空腔体1的内壁上；

主传动辊3，其设置在真空腔体1的下部居中的位置；所述真空腔体1的上部左右对称设置放卷辊4和收卷辊5；

三个镀膜靶材6，其等距离地放置在主传动辊3的外圆周围，且位于主传动辊6的下方。

在上述技术方案中，在真空腔体中将被镀基材从放卷辊经过主传动辊后收到到收卷辊上，将真空腔体抽到一定的真空度，充入工作气体，启动真空镀膜机的镀膜控制电源，使三个镀膜靶材进行反应溅射，当通过主传动辊、放卷辊和收卷辊连续传送的被镀基材通过该三个镀膜靶材的溅射区域时，在其上就沉积了膜层；溅射到真空腔体内的靶材被波浪形遮挡板吸收；通过在真空腔体内部设置波浪形遮挡板，其有效增加了挡板的整体面积，让挡板能更好、更多的吸附靶材材料，减少保养次数，从而增加设备有效生产时间，例如，以1000mm*800mm遮挡板为列，更改为波浪形挡板后，理论上能够增大25％的挡板面积；假如遮挡板进行5次/月保养，而每次保养需3h，现在增加25％的挡板面积，一月就能节省3*5*25％＝3.75h的保养时间；如果设备以0.8m/min的速度运转，能多增加0.8*225＝180m的产品生产；如果设备以1.2m/min的速度运转，能多增加1.2*225＝270m的产品生产。

在上述技术方案中，所述波浪形遮挡板2的在真空腔体的内壁的铺设面与真空腔体的内壁相匹配，采用这种方式，可以更大面积的吸收溅射靶材，且不会使真空腔体内的空间减少。

在上述技术方案中，所述波浪形遮挡板与真空腔体的内壁的可拆卸连接方式为采用螺栓8连接，采用这种方式，可以方便的对波浪形遮挡板进行拆卸和安装。

在上述技术方案中，所述波浪形遮挡板2与真空腔体1的内壁的可拆卸连接方式为：在所述波浪形遮挡板2的端部设置有弯折部21，所述真空腔体1的内壁上设置有与弯折部相匹配的卡槽11，所述卡槽11和弯折部21相匹配连接以实现波浪形遮挡板与真空腔体的内壁的可拆卸连接，采用这种方式，可以更方便的对波浪形遮挡板进行拆卸和安装。

在上述技术方案中，所述真空腔体1上设置有用于连接真空抽气机组的抽气孔13和用于连接充气系统的充气孔14。

在上述技术方案中，还包括导向辊7，其设置在真空腔体1内，且导向辊7分别位于主传动辊3与放卷辊4之间、主传动辊3与收卷辊5之间；采用导向辊可以对被镀基材进行导向，使其准确的在真空腔内运转。

尽管本实用新型的实施方案已公开如上，但其并不仅仅限于说明书和实施方式中所列运用，它完全可以被适用于各种适合本实用新型的领域，对于熟悉本领域的人员而言，可容易地实现另外的修改，因此在不背离权利要求及等同范围所限定的一般概念下，本实用新型并不限于特定的细节和这里示出与描述的图例。

Claims (6)

1.一种用于真空镀膜机的真空室，其特征在于，包括：

真空腔体；

波浪形遮挡板，其可拆卸连接在真空腔体的内壁上；

主传动辊，其设置在真空腔体的下部居中的位置；所述真空腔体的上部左右对称设置放卷辊和收卷辊；

三个镀膜靶材，其等距离地放置在主传动辊的外圆周围，且位于主传动辊的下方。

2.如权利要求1所述的用于真空镀膜机的真空室，其特征在于，所述波浪形遮挡板的在真空腔体的内壁的铺设面与真空腔体的内壁相匹配。

3.如权利要求1所述的用于真空镀膜机的真空室，其特征在于，所述波浪形遮挡板与真空腔体的内壁的可拆卸连接方式为采用螺栓连接。

4.如权利要求1所述的用于真空镀膜机的真空室，其特征在于，所述波浪形遮挡板与真空腔体的内壁的可拆卸连接方式为：在所述波浪形遮挡板的端部设置有弯折部，所述真空腔体的内壁上设置有与弯折部相匹配的卡槽，所述卡槽和弯折部相匹配连接以实现波浪形遮挡板与真空腔体的内壁的可拆卸连接。

5.如权利要求1所述的用于真空镀膜机的真空室，其特征在于，所述真空腔体上设置有用于连接真空抽气机组的抽气孔和用于连接充气系统的充气孔。

6.如权利要求1所述的用于真空镀膜机的真空室，其特征在于，还包括导向辊，其设置在真空腔体内，且导向辊分别位于主传动辊与放卷辊之间、主传动辊与收卷辊之间。

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