CN218893735U - 卷绕镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种卷绕镀膜机，包括安装箱体、安装门板、卷绕组件及线性源组件，所述安装箱体形成有朝后呈开口设置的真空腔；所述安装门板相对所述真空腔的开口沿前后向活动设置，以具有向前封闭所述真空腔的安装位置以及向后显露所述真空腔的取放位置；所述卷绕组件包括沿前后向轴线转动设置于所述安装门板的前端面的多个卷绕辊，多个所述卷绕辊用以卷绕柔性基材；所述线性源组件用以向所述柔性基材表面溅射镀膜。解决现有卷绕镀膜机的镀膜过程中操作人员收放卷效率低下的问题。

Description

卷绕镀膜机

技术领域

本实用新型涉及磁控溅射镀膜技术领域，特别涉及一种卷绕镀膜机。

背景技术

以磁控溅射为技术基础的卷绕镀膜机，大量应用于装饰、包装、光学、导电和各类高精尖特种材料邻域；随着我国在磁控溅射邻域的应用深入在更高端的行业和邻域，柔性镀膜也将拓展到更深层次的领域。柔性镀膜必不可少的要经历放卷和收卷过程，在放卷过程中，需要将柔性基材绕至冷却辊上，而由于冷却辊处于真空腔体内部，受到腔体侧壁的限制，导致操作人员操作不便，使得收放卷效率降低。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出卷绕镀膜机，旨在解决现有卷绕镀膜机的镀膜过程中操作人员收放卷效率低下的问题。

为实现上述目的，本实用新型提出的卷绕镀膜机包括：

安装箱体，形成有朝后呈开口设置的真空腔；

安装门板，相对所述真空腔的开口沿前后向活动设置，以具有向前封闭所述真空腔的安装位置以及向后显露所述真空腔的取放位置；

卷绕组件，包括沿前后向轴线转动设置于所述安装门板的前端面的多个卷绕辊，多个所述卷绕辊用以卷绕柔性基材；以及，

线性源组件，用以向所述柔性基材表面溅射镀膜。

可选地，所述卷绕镀膜机还包括：

限位基座，设于所述安装箱体的上端面；以及，

滑移吊杆，所述滑移吊杆能沿前后向活动设置于所述限位基座，所述安装门板连接至所述滑移吊杆的后端。

可选地，所述限位基座包括沿前后向相对设置的两个座体支架，各所述座体支架上均形成有前后贯通的限位通道，所述限位通道的上下两壁面上分别设有沿左右向轴线转动的滑移辊轴，所述滑移吊杆的上下两端面分别抵接至两个所述滑移辊轴。

可选地，所述安装门板能沿上下向轴线转动设置于所述滑移吊杆。

可选地，多个所述卷绕辊包括放卷辊、收卷辊及冷却辊，所述冷却辊具有用以承接卷绕所述柔性基材的卷绕端；

所述线性源组件包括多个阴极溅射源，多个所述阴极溅射源相对所述冷却辊的卷绕端沿所述冷却辊的周向设于所述真空腔的侧壁；

所述卷绕镀膜机还包括驱动组件，所述驱动组件用以驱动所述放卷辊、所述收卷辊及所述冷却辊同步转动。

可选地，多个所述卷绕辊还包括两个张力辊，其中一所述张力辊设于所述放卷辊与所述冷却辊之间，另一所述张力辊设于所述收卷辊与所述冷却辊之间，以使所述柔性镀膜分别绕经两个所述张力辊。

可选地，所述线性源组件还包括离子辅助沉积源，所述离子辅助沉积源相对所述冷却辊的卷绕端设于所述真空腔的侧壁。

可选地，所述真空腔具有相对所述冷却辊的卷绕端设置的圆弧形侧壁，多个所述阴极溅射源设于所述圆弧形侧壁。

可选地，所述驱动组件包括一个第一驱动电机及两个第二驱动电机，所述第一驱动电机的电机输出轴传动连接至所述冷却辊的辊轴，两个所述第二驱动电机的电机输出轴分别传动连接至所述放卷辊与所述收卷辊的辊轴；

所述第一驱动电机和两个所述第二驱动电机同步转动。

可选地，所述真空腔的左右两侧壁上均贯通设有泵气口，所述卷绕镀膜机还包括两个分子泵，两个所述分子泵设于所述安装箱体，且分别连通至对应的所述泵气口。

本实用新型提供的技术方案中，通过将所述安装门板沿所述真空腔的开口方向活动安装，使得所述安装门板可以直线推拉完成密封和解封所述真空腔，同时，将所述卷绕组件设置在所述安装门板上，在所述安装门板活动至所述取放位置时，所述卷绕组件可以被所述安装门板带动而整体脱出所述真空腔，如此，即可在所述真空腔的外部进行所述柔性基材的收卷和放卷操作，不受所述真空腔体侧壁的限制，使得操作人员操作高效，同时，由于不用考虑在所述真空腔内进行收卷和放卷的操作，所述真空腔的侧壁可以设置得距离所述卷绕组件较近，也即是很大程度上减小了所述真空腔的体积，而所述真空腔体积的缩小则意味着镀膜前对所述真空腔进行抽真空的速度更快，进一步减少了卷绕镀膜的整体耗时，提高了生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型提供的卷绕镀膜机的一实施例的结构示意图；

图2为图1中的卷绕镀膜机的安装门板处于取放位置时的结构示意图；

图3为图1中的安装箱体与线性源组件装配的结构示意图；

图4为图2中的安装门板与卷绕组件装配的侧视示意图；

图5为图2中的安装门板与卷绕组件装配的前视示意图。

附图标号说明：

标号	名称	标号	名称
				100	卷绕镀膜机	4	线性源组件
1	安装箱体	41	阴极溅射源
				11	真空腔	5	限位基座
2	安装门板	51	座体支架
				3	卷绕组件	6	滑移吊杆
31	放卷辊	7	驱动组件
				32	收卷辊	71	第一驱动电机
33	冷却辊	72	第二驱动电机
				331	卷绕端	8	分子泵
34	张力辊

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

以磁控溅射为技术基础的卷绕镀膜机，大量应用于装饰、包装、光学、导电和各类高精尖特种材料邻域；随着我国在磁控溅射邻域的应用深入在更高端的行业和邻域，柔性镀膜也将拓展到更深层次的领域。柔性镀膜必不可少的要经历放卷和收卷过程，在放卷过程中，需要将柔性基材绕至冷却辊上，而由于冷却辊处于真空腔体内部，受到腔体侧壁的限制，导致操作人员操作不便，使得收放卷效率降低。

鉴于此，本实用新型提出一种卷绕镀膜机，旨在解决现有卷绕镀膜机的镀膜过程中操作人员收放卷效率低下的问题，其中图1至图5为本实用新型提供卷绕镀膜机的一实施例的结构示意简图。

请参阅图1至图2，所述卷绕镀膜机100包括安装箱体1、安装门板2、卷绕组件3及线性源组件4，所述安装箱体1形成有朝后呈开口设置的真空腔11；所述安装门板2相对所述真空腔11的开口沿前后向活动设置，以具有向前封闭所述真空腔11的安装位置以及向后显露所述真空腔11的取放位置；所述卷绕组件3包括沿前后向轴线转动设置于所述安装门板2的前端面的多个卷绕辊，多个所述卷绕辊用以卷绕柔性基材；所述线性源组件4用以向所述柔性基材表面溅射镀膜。

本实用新型提供的技术方案中，通过将所述安装门板2沿所述真空腔11的开口方向活动安装，使得所述安装门板2可以直线推拉完成密封和解封所述真空腔11，同时，将所述卷绕组件3设置在所述安装门板2上，在所述安装门板2活动至所述取放位置时，所述卷绕组件3可以被所述安装门板2带动而整体脱出所述真空腔11，如此，即可在所述真空腔11的外部进行所述柔性基材的收卷和放卷操作，不受所述真空腔11体侧壁的限制，使得操作人员操作高效，同时，由于不用考虑在所述真空腔11内进行收卷和放卷的操作，所述真空腔11的侧壁可以设置得距离所述卷绕组件3较近，也即是很大程度上减小了所述真空腔11的体积，而所述真空腔11体积的缩小则意味着镀膜前对所述真空腔11进行抽真空的速度更快，进一步减少了卷绕镀膜的整体耗时，提高了生产效率。

需要说明的是，所述多个所述卷绕辊的结构形式有多种，只要能实现对所述柔性基材的同步收放的同时方便对其进行溅射镀膜的作用即可，本实施例对其不作限定；同时，所述安装门板2的活动形式有多种，只要能实现所述安装门板2沿前后方向的活动即可，可以是驱动气缸的顶推形式，还可以是滑轨滑块的滑动推拉形式，本实施例对其不作限定；同时，所述线性源组件4是以磁控溅射为基础的溅射源，只要能实现对所述柔性基材的溅射镀膜即可，本实施例对其不作限定。

具体地，请参阅图1至图3，本实施例中，所述卷绕镀膜机100还包括限位基座5及滑移吊杆6，所述限位基座5设于所述安装箱体1的上端面；所述滑移吊杆6能沿前后向活动设置于所述限位基座5，所述安装门板2连接至所述滑移吊杆6的后端。通过所述滑移吊杆6在所述限位基座5上的滑移运动，可以带动所述安装门板2进行前后向的移动，同时还能提供给所述安装门板2与所述卷绕组件3足够的支撑力，连接方式简单可靠；同时，需要说明的是，本实施例中，所述滑移吊杆6可以连接至所述安装门板2周侧的任意一位置；所述限位基座5对所述滑移吊杆6的限位形式有多种可以滑槽进行限位，可以通过其他形式进行限位，本实施例对此不作限定。

进一步地，本实施例中，所述限位基座5包括沿前后向相对设置的两个座体支架51，各所述座体支架51上均形成有前后贯通的限位通道，所述限位通道的上下两壁面上分别设有沿左右向轴线转动的滑移辊轴，所述滑移吊杆6的上下两端面分别抵接至两个所述滑移辊轴。通过两个所述座体支架51一前一后的布设方式，可以提供给所述滑移吊杆6足够的杠杆支撑力，以便于所述滑移吊杆6能够稳定可靠的吊起所述安装门板2，同时，由于两个所述滑移辊轴的转动，通过滚动摩擦的形式，使得操作人员能够轻松的推拉所述滑移吊杆6活动，减轻了操作人员的工作负担，提高了生产效率。

由于所述安装门板2被拉出后，所述卷绕组件3仍然朝向所述所述真空腔11，若要将卷绕镀膜完成后的所述柔性基材取下，仍需要较大的前后方向的空间，为了减小所述卷绕镀膜机100的占用空间，本实施例中，所述安装门板2能沿上下向轴线转动设置于所述滑移吊杆6。通过将所述安装门板2转动安装至所述滑移吊杆6，可以在将所述安装门板2向后适量拉出，以使所述卷绕组件3带着所述柔性基材完全脱离所述真空腔11，此时，再将所述安装门板2转动至朝向操作人员，从而方便操作人员上卷和下卷，缩短了上下卷的时间，提高了生产效率。需要解释的是，所述安装门板2转动安装至所述滑移吊杆6的形式有很多，本实用新型实施例对此不作限定。

具体地，请参阅图2至图5，本实施例中，多个所述卷绕辊包括放卷辊31、收卷辊32及冷却辊33，所述冷却辊33具有用以承接卷绕所述柔性基材的卷绕端331；所述线性源组件4包括多个阴极溅射源41，多个所述阴极溅射源41相对所述冷却辊33的卷绕端331沿所述冷却辊33的周向设于所述真空腔11的侧壁；所述卷绕镀膜机100还包括驱动组件7，所述驱动组件7用以驱动所述放卷辊31、所述收卷辊32及所述冷却辊33同步转动。通过所述放卷辊31和所述收卷辊32的一放一收的转动形式，方便所述柔性基材的传动，同时，由于所述放卷辊31、所述收卷辊32和所述冷却辊33是同步转动的，确保了所述柔性基材不会受到较大的拉应力而被拉坏；多个所述阴极溅射源41的设置，可以实现多种膜层的复合膜镀膜，适合各类新型材料的研发和开发。需要说明的是，所述阴极溅射源41至少包括平面阴极和旋转阴极。需要说明的是，所述冷却辊33用于撑紧所述柔性基材，使得所述柔性基材能均匀沉积来自所述阴极溅射源41的溅射粒子，同时对所述柔性基材进行冷却，避免所述柔性基材的温度过高受损，而所述冷却辊33的冷却作用是通过分水器的通水实现，此为本领域常规技术手段，本实施对此不作赘述；同时，由于所述冷却辊33是转动的，所述冷却辊33的卷绕端331为时刻相对多个所述阴极溅射源41的一端。

进一步地，请参阅图5，本实施例中，多个所述卷绕辊还包括两个张力辊34，其中一所述张力辊34设于所述放卷辊31与所述冷却辊33之间，另一所述张力辊34设于所述收卷辊32与所述冷却辊33之间，以使所述柔性镀膜分别绕经两个所述张力辊34。通过两个所述张力辊34的设置，能确保所述柔性基材被充分张紧，从而充分贴合至所述冷却辊33，确保了镀膜的均匀性，同时提高了所述柔性基材与各个辊子之间的摩擦力，避免出现打滑的现象。

另一实施例中，所述线性源组件4还包括离子辅助沉积源，所述离子辅助沉积源相对所述冷却辊33的卷绕端331设于所述真空腔11的侧壁。通过所述离子辅助沉积源的设置，实现了对所述柔性基材的镀膜前处理，保证了所述真空腔11的清洁度要求。

请参阅图3和图5，又一实施例中，所述真空腔11具有相对所述冷却辊33的卷绕端331设置的圆弧形侧壁，多个所述阴极溅射源41设于所述圆弧形侧壁。通过所述圆弧形的侧壁适配所述冷却辊33的设置，减少了所述真空腔11不必要的腔体空间，从而减小了所述卷绕镀膜机100的整体体积，使得抽真空快，加快了卷绕镀膜的节拍。

所述驱动组件7的结构形式有多种，具体地，请参阅图1，本实施例中，所述驱动组件7包括一个第一驱动电机71及两个第二驱动电机72，所述第一驱动电机71的电机输出轴传动连接至所述冷却辊33的辊轴，两个所述第二驱动电机72的电机输出轴分别传动连接至所述放卷辊31与所述收卷辊32的辊轴；所述第一驱动电机71和两个所述第二驱动电机72同步转动。通过分别对应所述收卷辊32、所述放卷辊31及所述冷却辊33各设置一个驱动电机进行驱动控制，能够提供足够的驱动力，同时，三个驱动电机同步转动，能确保所述柔性基材只被张紧而不受过大的拉应力而受损。

请参阅图1，本实施例中，所述真空腔11的左右两侧壁上均贯通设有泵气口，所述卷绕镀膜机100还包括两个分子泵8，两个所述分子泵8设于所述安装箱体1，且分别连通至对应的所述泵气口。通过两个所述分子泵8的设置，大大提高了抽真空效率，加快了卷绕镀膜的节拍。

其他实施例中，所述卷绕镀膜机100还包括设置于所述真空腔11的多组加热组件，通过所述加热组件的设置，改善了所述柔性基材的表面温度，便于来自所述阴极溅射源41的溅射粒子的粘附沉积

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所做的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (9)

1.一种卷绕镀膜机，其特征在于，包括：

安装箱体，形成有朝后呈开口设置的真空腔；

安装门板，相对所述真空腔的开口沿前后向活动设置，以具有向前封闭所述真空腔的安装位置以及向后显露所述真空腔的取放位置；

卷绕组件，包括沿前后向轴线转动设置于所述安装门板的前端面的多个卷绕辊，多个所述卷绕辊用以卷绕柔性基材；以及，

线性源组件，用以向所述柔性基材表面溅射镀膜；

多个所述卷绕辊包括放卷辊、收卷辊及冷却辊，所述冷却辊具有用以承接卷绕所述柔性基材的卷绕端；

所述线性源组件包括多个阴极溅射源，多个所述阴极溅射源相对所述冷却辊的卷绕端沿所述冷却辊的周向设于所述真空腔的侧壁；

所述卷绕镀膜机还包括驱动组件，所述驱动组件用以驱动所述放卷辊、所述收卷辊及所述冷却辊同步转动。

2.如权利要求1所述的卷绕镀膜机，其特征在于，所述卷绕镀膜机还包括：

限位基座，设于所述安装箱体的上端面；以及，

滑移吊杆，所述滑移吊杆能沿前后向活动设置于所述限位基座，所述安装门板连接至所述滑移吊杆的后端。

3.如权利要求2所述的卷绕镀膜机，其特征在于，所述限位基座包括沿前后向相对设置的两个座体支架，各所述座体支架上均形成有前后贯通的限位通道，所述限位通道的上下两壁面上分别设有沿左右向轴线转动的滑移辊轴，所述滑移吊杆的上下两端面分别抵接至两个所述滑移辊轴。

4.如权利要求2所述的卷绕镀膜机，其特征在于，所述安装门板能沿上下向轴线转动设置于所述滑移吊杆。

5.如权利要求1所述的卷绕镀膜机，其特征在于，多个所述卷绕辊还包括两个张力辊，其中一所述张力辊设于所述放卷辊与所述冷却辊之间，另一所述张力辊设于所述收卷辊与所述冷却辊之间，以使所述柔性基材分别绕经两个所述张力辊。

6.如权利要求1所述的卷绕镀膜机，其特征在于，所述线性源组件还包括离子辅助沉积源，所述离子辅助沉积源相对所述冷却辊的卷绕端设于所述真空腔的侧壁。

7.如权利要求1所述的卷绕镀膜机，其特征在于，所述真空腔具有相对所述冷却辊的卷绕端设置的圆弧形侧壁，多个所述阴极溅射源设于所述圆弧形侧壁。

8.如权利要求1所述的卷绕镀膜机，其特征在于，所述驱动组件包括一个第一驱动电机及两个第二驱动电机，所述第一驱动电机的电机输出轴传动连接至所述冷却辊的辊轴，两个所述第二驱动电机的电机输出轴分别传动连接至所述放卷辊与所述收卷辊的辊轴；

所述第一驱动电机和两个所述第二驱动电机同步转动。

9.如权利要求1所述的卷绕镀膜机，其特征在于，所述真空腔的左右两侧壁上均贯通设有泵气口，所述卷绕镀膜机还包括两个分子泵，两个所述分子泵设于所述安装箱体，且分别连通至对应的所述泵气口。

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