CN209428594U - 一种磁控溅射用节能装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种磁控溅射用节能装置，包括放卷辊和主动转轴，所述放卷辊设置在真空室内腔的顶部，放卷辊的下方设置收卷辊，所述主动转轴设置在真空室的左侧，真空室的右侧设置辅助转轴，本实用新型采用轴环与支撑座配合，将放卷辊和收卷辊定位，并初步支撑，同时由轴环保证放卷辊和收卷辊11转动的平稳，更方便的进行上膜和下膜工作；采用同步轴套与放卷辊和收卷辊配合连接，并由端盖与滑座连接将同步轴套夹装，保证同步轴套转动的稳定性，同时由气缸驱动滑座滑移，实现同步轴套与放卷辊和收卷辊的配合，效率更高，并对放卷辊和收卷辊形成双点固定，放卷辊和收卷辊安装更稳定，便于放卷辊和收卷辊的安装拆卸。

Description

一种磁控溅射用节能装置

技术领域

本实用新型涉及一种材料合成设备技术领域，具体是一种磁控溅射用节能装置。

背景技术

目前，磁控溅射真空设备对抽气机组只要是抽气就一直运行，造成电能的消耗和泵的磨损。经我们理论和试验证明，在正常溅射时只要有一个泵维持空间内的真空度，其他前级泵就可以关闭，节省大量的电能，并且不影响溅射产品的性能，并且现有的海绵卷筒大多通过轴承座安装固定，安装拆卸过程繁复，费时费力，严重制约加工效率。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种磁控溅射用节能装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种磁控溅射用节能装置，包括真空室、牵引辊、挡板、靶极、放卷辊、收卷辊、电机、主动转轴、轴承盖、同步链轮、链条、套壳、端盖、气缸、滑座、同步轴套、辅助转轴、弹簧、轴环、支撑座、支撑侧板和辅助链轮，所述真空室的内腔中设置靶极，并在靶极的上端和下端设置挡板，并且挡板与真空室内壁配形成半封闭结构，并在挡板内设置牵引辊，所述放卷辊设置在真空室内腔的顶部，并在放卷辊的下方设置收卷辊，放卷辊和收卷辊的两端设置轴环，并在真空室两侧的内壁上设置支撑座，支撑座上加工与轴环配合的插槽，所述主动转轴设置在真空室的左侧，并在真空室的右侧设置辅助转轴，同时在真空室的两侧设置支撑侧板，支撑侧板与真空室通过螺钉连接，并且主动转轴与真空室左侧的支撑侧板通过轴承连接，辅助转轴与真空室右侧的支撑侧板通过轴承连接，另在支撑侧板的内侧设置轴承盖，轴承盖分别与主动转轴和辅助转轴配合，所述同步链轮设置在主动转轴的外伸轴端，并在真空室的底部设置电机，电机的轴端设置同步链轮，同时在真空室左侧的支撑侧板上设置辅助链轮，并且同步链轮和辅助链轮与链条连接，所述同步轴套设置在主动转轴和辅助转轴上，并在真空室的两侧加工与同步轴套配合的通孔，同时在同步轴套的外侧设置滑座，并且同步轴套与滑座通过轴承配合，另在滑座的开口端设置端盖，端盖与滑座通过螺钉连接，所述套壳设置在轴承盖的外侧，并与真空室通过螺钉连接，并在套壳上加工与滑座配合的滑槽，同时在套壳的外侧设置气缸，气缸与滑座两侧的凸台连接，另分别在轴承盖与端盖之间的主动转轴和辅助转轴上设置弹簧。

作为本实用新型进一步的方案：所述真空室的背面连接分子泵，并且分子泵的两个出口设置电磁阀，并且分子泵的粗抽端口连接罗茨泵，罗茨泵连接滑阀泵，分子泵的精抽端口通过管道分别连接维持泵和罗茨泵。

作为本实用新型进一步的方案：所述放卷辊和收卷辊均采用气胀轴，并在放卷辊和收卷辊的两端均加工截面为正方形的轴端，并与同步轴套配合。

作为本实用新型再进一步的方案：所述主动转轴共两个，并在主动转轴与同步轴套配合的一端加工与放卷辊和收卷辊对应的正方形轴端，与同步轴套配合，并分别与同步链轮连接。

作为本实用新型再进一步的方案：所述辅助转轴共两个，并与主动转轴对应设置，并在辅助转轴与同步轴套配合的一端加工与放卷辊和收卷辊对应的正方形轴端，并且辅助转轴与同步轴套配合。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型结构简单，采用轴环与支撑座配合，将放卷辊和收卷辊定位，并初步支撑，同时由轴环保证放卷辊和收卷辊11转动的平稳，便于放卷辊和收卷辊的取放，从而更方便的进行上膜和下膜工作，并有效地提高加工效率；采用同步轴套与放卷辊和收卷辊配合连接，并由端盖与滑座连接将同步轴套夹装，保证同步轴套转动的稳定性，同时由气缸驱动滑座滑移，实现同步轴套与放卷辊和收卷辊的配合，效率更高，并对放卷辊和收卷辊形成双点固定，放卷辊和收卷辊安装更稳定，便于放卷辊和收卷辊的安装拆卸；采用主动转轴和辅助转轴配合，将同步轴套支撑，并有效地保证同步轴套的稳定，传动效率更高；采用电磁阀将维持泵与罗茨泵关联，真空室内不工作时，由维持泵独立维持真空室内的真空，更加节能，减少能源消耗。

附图说明

图1为磁控溅射用节能装置的结构示意图。

图2为磁控溅射用节能装置中真空室的结构示意图。

图中：真空室1、维持泵2、滑阀泵3、罗茨泵4、电磁阀5、分子泵6、牵引辊7、挡板8、靶极9、放卷辊10、收卷辊11、电机12、主动转轴13、轴承盖14、同步链轮15、链条16、套壳17、端盖18、气缸19、滑座20、同步轴套21、辅助转轴22、弹簧23、轴环24、支撑座25、支撑侧板26和辅助链轮27。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1～2，本实用新型实施例中，一种磁控溅射用节能装置，包括真空室1、牵引辊7、挡板8、靶极9、放卷辊10、收卷辊11、电机12、主动转轴13、轴承盖14、同步链轮15、链条16、套壳17、端盖18、气缸19、滑座20、同步轴套21、辅助转轴22、弹簧23、轴环24、支撑座25、支撑侧板26和辅助链轮27，所述真空室1的内腔中设置靶极9，并在靶极9的上端和下端设置挡板8，并且挡板8与真空室内壁配形成半封闭结构，并在挡板8内设置牵引辊7，如此通过牵引辊7牵引海绵垫传送，并由靶极9进行磁控溅射，所述放卷辊10设置在真空室1内腔的顶部，并在放卷辊10的下方设置收卷辊11，放卷辊10和收卷辊11的两端设置轴环24，并在真空室1两侧的内壁上设置支撑座25，支撑座25上加工与轴环24配合的插槽，如此通过轴环24与支撑座25配合，将放卷辊10和收卷辊11定位，并初步支撑，同时由轴环24保证放卷辊10和收卷辊11转动的平稳，便于放卷辊10和收卷辊11的取放，从而更方便的进行上膜和下膜工作，并有效地提高加工效率，所述主动转轴13设置在真空室1的左侧，并在真空室1的右侧设置辅助转轴22，同时在真空室1的两侧设置支撑侧板26，支撑侧板26与真空室1通过螺钉连接，并且主动转轴13与真空室1左侧的支撑侧板26通过轴承连接，辅助转轴22与真空室1右侧的支撑侧板26通过轴承连接，另在支撑侧板26的内侧设置轴承盖14，轴承盖14分别与主动转轴13和辅助转轴22配合，如此通过轴承盖14与支撑侧板26连接，将主动转轴13与辅助转轴22初步固定，并保证主动转轴13与辅助转轴22的稳定，所述同步链轮15设置在主动转轴13的外伸轴端，并在真空室1的底部设置电机12，电机12的轴端设置同步链轮15，同时在真空室1左侧的支撑侧板26上设置辅助链轮27，并且同步链轮15和辅助链轮27与链条16连接，如此电机12带动同步链轮15转动，从而通过链条16分别带动真空室1左侧的主动转轴13转动，转动效率更高，并由辅助链轮27提高链条27传动的稳定，所述同步轴套21设置在主动转轴13和辅助转轴22上，并在真空室1的两侧加工与同步轴套21配合的通孔，同时在同步轴套21的外侧设置滑座20，并且同步轴套21与滑座20通过轴承配合，另在滑座20的开口端设置端盖18，端盖18与滑座20通过螺钉连接，如此通过端盖18与滑座20连接将同步轴套21夹装，保证同步轴套21转动的稳定性，所述套壳17设置在轴承盖14的外侧，并与真空室1通过螺钉连接，并在套壳17上加工与滑座20配合的滑槽，同时在套壳17的外侧设置气缸19，气缸19与滑座20两侧的凸台连接，另分别在轴承盖14与端盖18之间的主动转轴13和辅助转轴22上设置弹簧23，如此气缸19加压带动滑座20沿主动转轴13和辅助转轴22横向滑移，并带动同步轴套21沿主动转轴13和辅助转轴22水平滑移，并由同步轴套21与放卷辊10和收卷辊11两侧的的轴端连接，从而由主动转轴13为放卷辊10和收卷辊11和辅助转轴22提供动力，并由辅助转轴22与同步轴套21配合，提高放卷辊10和收卷辊11的稳定，更加方便放卷辊10和收卷辊11的取放，加工效率更高。

所述真空室1的背面连接分子泵6，并且分子泵6的两个出口设置电磁阀5，并且分子泵6的粗抽端口连接罗茨泵4，罗茨泵4连接滑阀泵3，分子泵6的精抽端口通过管道分别连接维持泵2和罗茨泵4。

所述放卷辊10和收卷辊11均采用气胀轴，并在放卷辊10和收卷辊11的两端均加工截面为正方形的轴端，并与同步轴套21配合。

所述主动转轴13共两个，并在主动转轴13与同步轴套21配合的一端加工与放卷辊10和收卷辊11对应的正方形轴端，与同步轴套21配合，并分别与同步链轮15连接。

所述辅助转轴22共两个，并与主动转轴13对应设置，并在辅助转轴22与同步轴套21配合的一端加工与放卷辊10和收卷辊11对应的正方形轴端，并且辅助转轴22与同步轴套21配合。

本实用新型的工作原理是：使用时，维持泵2、滑阀泵3、罗茨泵4三个泵同时抽气作为分子泵6的前级泵进行快速抽气。当抽气到足够气压时，就不需要真空室的真空度持续下降了，只要将真空度稳定到满足磁控溅射工艺要求的范围内，就不需要再用滑阀泵3和罗茨泵4工作了，只需要一个维持泵2就可以满足，从而实现节能降耗的目的；通过轴环24与支撑座25配合，将放卷辊10和收卷辊11定位，并初步支撑，同时气缸19加压带动滑座20沿主动转轴13和辅助转轴22横向滑移，并带动同步轴套21沿主动转轴13和辅助转轴22水平滑移，并由同步轴套21与放卷辊10和收卷辊11两侧的的轴端连接，从而由主动转轴13为放卷辊10和收卷辊11和辅助转轴22提供动力，并由辅助转轴22与同步轴套21配合，提高放卷辊10和收卷辊11的稳定，更加方便放卷辊10和收卷辊11的取放，从而更方便的进行上膜和下膜工作，并有效地提高加工效率；并通过牵引辊7牵引海绵垫传送，并由靶极9进行磁控溅射。

尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种磁控溅射用节能装置，包括真空室、牵引辊、挡板、靶极、放卷辊、收卷辊、电机、主动转轴、轴承盖、同步链轮、链条、套壳、端盖、气缸、滑座、同步轴套、辅助转轴、弹簧、轴环、支撑座、支撑侧板和辅助链轮，其特征在于，所述真空室的内腔中设置靶极，并在靶极的上端和下端设置挡板，并且挡板与真空室内壁配形成半封闭结构，并在挡板内设置牵引辊，所述放卷辊设置在真空室内腔的顶部，并在放卷辊的下方设置收卷辊，放卷辊和收卷辊的两端设置轴环，并在真空室两侧的内壁上设置支撑座，支撑座上加工与轴环配合的插槽，所述主动转轴设置在真空室的左侧，并在真空室的右侧设置辅助转轴，同时在真空室的两侧设置支撑侧板，支撑侧板与真空室通过螺钉连接，并且主动转轴与真空室左侧的支撑侧板通过轴承连接，辅助转轴与真空室右侧的支撑侧板通过轴承连接，另在支撑侧板的内侧设置轴承盖，轴承盖分别与主动转轴和辅助转轴配合，所述同步链轮设置在主动转轴的外伸轴端，并在真空室的底部设置电机，电机的轴端设置同步链轮，同时在真空室左侧的支撑侧板上设置辅助链轮，并且同步链轮和辅助链轮与链条连接，所述同步轴套设置在主动转轴和辅助转轴上，并在真空室的两侧加工与同步轴套配合的通孔，同时在同步轴套的外侧设置滑座，并且同步轴套与滑座通过轴承配合，另在滑座的开口端设置端盖，端盖与滑座通过螺钉连接，所述套壳设置在轴承盖的外侧，并与真空室通过螺钉连接，并在套壳上加工与滑座配合的滑槽，同时在套壳的外侧设置气缸，气缸与滑座两侧的凸台连接，另分别在轴承盖与端盖之间的主动转轴和辅助转轴上设置弹簧。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射用节能装置，其特征在于，所述真空室的背面连接分子泵，并且分子泵的两个出口设置电磁阀，并且分子泵的粗抽端口连接罗茨泵，罗茨泵连接滑阀泵，分子泵的精抽端口通过管道分别连接维持泵和罗茨泵。

3.根据权利要求1所述的磁控溅射用节能装置，其特征在于，所述放卷辊和收卷辊均采用气胀轴，并在放卷辊和收卷辊的两端均加工截面为正方形的轴端，并与同步轴套配合。

4.根据权利要求1或3所述的磁控溅射用节能装置，其特征在于，所述主动转轴共两个，并在主动转轴与同步轴套配合的一端加工与放卷辊和收卷辊对应的正方形轴端，与同步轴套配合，并分别与同步链轮连接。

5.根据权利要求1或3所述的磁控溅射用节能装置，其特征在于，所述辅助转轴共两个，并与主动转轴对应设置，并在辅助转轴与同步轴套配合的一端加工与放卷辊和收卷辊对应的正方形轴端，并且辅助转轴与同步轴套配合。