CN216871923U - 一种载板回转移动装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种载板回转移动装置，涉及硅片生产设备技术领域，包括基座、移动框架、回转框架和载板，移动框架沿水平方向左右滑动设置在基座上，移动框架上设置有回转驱动齿轮、从动内齿轮及旋转电机，回转驱动齿轮与从动内齿轮啮合而能带动从动内齿轮沿水平方向旋转，回转框架设置在从动内齿轮上而能随从动内齿轮同步旋转，移动框架上设置有夹紧装置以对回转框架进行夹紧，限制回转框架旋转，回转框架上设置有导轨，载板沿水平方向前后滑动设置在导轨上。本实用新型的有益效果是载板既能沿水平方向左右、前后移动，也能够沿水平方向旋转180°，使两块载板都能以相同的朝向与自动化设备对接，方便地对接自动化产线或镀膜设备腔体的载板导轨。

Description

一种载板回转移动装置

技术领域

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，具体涉及一种载板回转移动装置。

背景技术

单晶硅异质结太阳电池转换效率高，被光伏行业公认为下一代大规模产业化关键技术之一。异质结硅片载板从自动化过渡至镀膜设备内的移动效率，也是影响硅片生产效率的关键因素之一。现有技术中，两块镀膜载板上的硅片相向放置，工艺气体从中间对载板上的硅片进行镀膜，载板出腔体后载板及硅片相向放置，不方便自动化产线对不同朝向的硅片进行抓取动作，生产效率低。为了能够更好地利用设备产线使用空间，兼顾到镀膜设备同时对两片载板上的硅片进行镀膜，以及增强所配套的自动化产线的适应性，故需要开发一种能够对硅片进行移动和回转的设备。

实用新型内容

本实用新型的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种载板回转移动装置。

本实用新型的技术解决方案如下：

一种载板回转移动装置，其特征在于，包括基座、移动框架、回转框架和载板，

所述移动框架沿水平方向左右滑动设置在基座上，

所述移动框架上设置有回转驱动齿轮、从动内齿轮以及旋转电机，所述旋转电机沿移动框架高度方向设置，所述回转驱动齿轮和从动内齿轮均沿水平方向设置，所述回转驱动齿轮设置在旋转电机的输出轴上而能够在旋转电机的驱动下沿水平方向旋转，所述回转驱动齿轮与从动内齿轮啮合而能够带动从动内齿轮沿水平方向旋转，所述回转框架设置在所述从动内齿轮上而能够随从动内齿轮同步旋转，所述移动框架上还设置有夹紧装置，所述夹紧装置能够对所述回转框架进行夹紧而能够限制回转框架旋转，

所述回转框架上设置有导轨，所述载板沿水平方向前后滑动设置在所述导轨上，所述回转框架上还设置有载板驱动电机、载板驱动齿轮以及载板齿条，所述载板驱动电机沿水平方向设置，所述载板齿条与所述导轨平行设置，所述载板驱动齿轮设置在载板驱动电机的输出轴上，所述载板驱动齿轮与所述载板齿条啮合而能够带动载板齿条沿水平方向前后移动，所述载板与载板齿条连接而能够随载板齿条同步移动。

本实用新型的一种具体实施方式中，所述回转框架上还设置有用于控制载板驱动电机和载板驱动齿轮之间通断的电磁离合器，所述电磁离合器连接在载板驱动电机和载板驱动齿轮之间。

本实用新型的一种具体实施方式中，还包括上导轮，所述上导轮对称设置在载板上端两侧的导轨上。

本实用新型的一种具体实施方式中，还包括下导轮，所述下导轮设置在载板的下端，所述载板通过下导轮设置在导轨上。

本实用新型的一种具体实施方式中，所述夹紧装置为夹紧气缸，所述夹紧气缸包括缸体、活塞杆以及与活塞杆连接的杠杆压臂，所述杠杆压臂在活塞杆的驱动下朝向所述回转框架移动并夹紧所述回转框架。

本实用新型的一种具体实施方式中，所述夹紧气缸的数量为四个，分别设置在移动框架的四个角上。

本实用新型的一种具体实施方式中，所述从动内齿轮能够带动回转框架作180°回转运动。

本实用新型的一种具体实施方式中，还包括回转支承，所述从动内齿轮通过回转支承设置在移动框架上。

本实用新型的一种具体实施方式中，还包括移动驱动装置，所述基座上具有沿水平方向左右设置的滑轨，所述滑轨上设置有与其配合的滑块，所述移动框架设置在所述滑块上，所述移动驱动装置与所述移动框架连接而能够驱动所述移动框架沿所述滑轨滑动。

本实用新型的一种具体实施方式中，所述移动驱动装置包括移动电机、减速机、齿轮以及齿条，所述齿条沿平行于滑轨的方向设置在基座上，所述移动电机和减速机设置在移动框架上，所述齿轮设置在移动电机的输出轴上，所述齿轮与齿条啮合而能够带动移动框架沿滑轨移动。

本实用新型的一种具体实施方式中，还包括与滑轨平行设置的拖链，所述拖链的一端设置在基座上，另一端设置在移动框架。

本实用新型至少具有以下有益效果之一：

1、本实用新型的载板回转移动装置既能够带动载板沿水平方向左右移动，也能够使载板沿水平方向旋转，还可以带动载板沿水平方向前后移动，方便载板的移动和旋转，从而能够方便地对接自动化产线或镀膜设备腔体的载板导轨，使用电动驱动齿轮，带动回转支承旋转，使回转框架旋转180°，通过配合框架移动，使两块载板都能以相同的朝向与自动化设备对接，增强自动化产线的适应性，以更好地适应硅片生产产线节拍的要求。

2、本实用新型通过在回转框架的导轨和载板上分别安装上导轮和下导轮，能够增强载板移动平顺性。

3、本实用新型通过设置电磁离合器连接载板驱动电机与载板驱动齿轮，可使对接设备的齿条齿轮对接不太精准时不会卡死，实现有效对接。

4、本实用新型通过设置夹紧气缸对回转框架进行夹紧，能够对回转框架实现更精准定位，能有效减弱齿轮间隙对设备运行的影响。

5、本实用新型通过设置回转支承，回转框架通过回转支承设置在移动框架，能有效增强回转框架刚性，增加设备运行平稳性。

附图说明

图1为本实用新型载板回转移动装置的正视结构示意图；

图2为本实用新型载板回转移动装置的俯视结构示意图；

图3为本实用新型载板回转移动装置的侧视结构示意图；

图4为本实用新型载板回转移动装置的部分结构示意图；

附图标记：1、载板驱动电机，2、回转框架，3、载板，4、移动框架，5、基座，6、回转支承，7、回转驱动齿轮，8、齿条，9、滑轨，10、拖链，11、旋转电机，12、移动电机，13、夹紧气缸，14、载板驱动齿轮，15、滑块，16、上导轮，17、下导轮，18、电磁离合器，19、从动内齿轮。

具体实施方式

下面用具体实施例对本实用新型做进一步详细说明，但本实用新型不仅局限于以下具体实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1～3所示，一种载板回转移动装置，包括基座5、移动框架4、回转框架2和载板3。

如图1～2所示，所述移动框架4沿水平方向左右滑动设置在基座5上，本实施例中的“左右方向”为图1中的左右方向，具体地，所述基座5上具有沿水平方向左右设置的滑轨9，所述滑轨9上设置有与其配合的滑块15，所述移动框架4设置在所述滑块15上，还包括移动驱动装置，所述移动驱动装置与所述移动框架4连接而能够驱动所述移动框架4沿所述滑轨9滑动，本实施例中，所述移动驱动装置包括移动电机12、减速机、齿轮以及齿条8，所述齿条8沿平行于滑轨9的方向设置在基座5上，所述移动电机12和减速机设置在移动框架4上，所述齿轮设置在移动电机12的输出轴上，从而齿轮能够移动电机12的带动下旋转，所述齿轮与齿条8啮合而能够带动移动框架4沿滑轨9移动，即带动移动框架4沿水平方向左右移动。

本实施例中，还包括与滑轨9平行设置的拖链10，所述拖链10的一端设置在基座5上，另一端设置在移动框架4，从而拖链10与移动框架4连接的一端能够随着移动框架4沿水平方向左右移动，并使得拖链10被弯折成U字形，本实施例中载板回转移动装置上的电缆及气缸的气管等穿过拖链10而设置在基座5，通过设置拖链10，使得线缆或气管在随移动框架4移动时能够保持正常形态而不会缠绕。

如图1～3所示，所述移动框架4上设置有回转驱动齿轮7、从动内齿轮19以及旋转电机11，所述旋转电机11沿移动框架4高度方向设置，所述回转驱动齿轮7和从动内齿轮19均沿水平方向设置，所述回转驱动齿轮7设置在旋转电机11的输出轴上而能够在旋转电机11的驱动下沿水平方向旋转，从动内齿轮19转动设置在移动框架4上，本实施例中，回转驱动齿轮7为外齿轮，从动内齿轮19为内齿轮，所述回转驱动齿轮7与从动内齿轮19啮合，从而从动内齿轮19在回转驱动齿轮7的驱动下能够带动从动内齿轮19沿水平方向旋转，所述回转框架2设置在所述从动内齿轮19上而能够随从动内齿轮19同步旋转，即回转框架2能够沿水平方向旋转，通过设定旋转电机11即可设定回转框架2的旋转角度，本实施例，设定回转框架2的作180°回转运动。

本实施例中，还包括回转支承6，回转支承6设置在移动框架4上，从动内齿轮19通过回转支承6转动设置在移动框架4上，本实施例通过回转支承能有效增强回转框架刚性，增加设备运行平稳性。

如图3所示，所述移动框架4上还设置有夹紧装置，所述夹紧装置能够对所述回转框架2进行夹紧而能够限制回转框架2旋转，如图3所示，本实施例中，所述夹紧装置为夹紧气缸13，所述夹紧气缸13包括缸体、活塞杆以及与活塞杆连接的杠杆压臂，所述杠杆压臂在活塞杆的驱动下朝向所述回转框架2移动而能够夹紧所述回转框架2，夹紧气缸13的结构和原理为本领域技术人员所熟知，本实施例中不再赘述。所述夹紧气缸13的数量为四个，分别设置在移动框架4的四个角上。

如图1所示，所述回转框架2上下均具有沿水平方向前后设置的导轨，本实施例中的“前后方向”为图1中的前后方向，所述载板3设置在所述导轨上，所述回转框架2上还设置有载板驱动电机1、减速机、载板驱动齿轮14以及载板齿条，所述载板驱动电机1沿水平方向设置，所述载板齿条与所述导轨平行设置，所述载板驱动齿轮14设置在载板驱动电机1的输出轴上，从而在载板驱动电机1的驱动下载板驱动齿轮14能够旋转，所述载板驱动齿轮14与所述载板齿条啮合而能够带动载板齿条沿水平方向前后移动，所述载板3与载板齿条连接，从而能够随载板齿条同步移动，即载板3能够沿水平方向前后移动。

本实施例中，如图1所示，所述回转框架2上还设置有用于控制载板驱动电机1和载板驱动齿轮14之间通断的电磁离合器18，所述电磁离合器18连接在载板驱动电机1和载板驱动齿轮14之间。电磁离合器18通电之前，载板驱动齿轮14可自由空转，载板3从其他位置移动到载板齿条与驱动齿轮14啮合位置并通过一定距离，给电磁离合器18通电，载板驱动电机1带动载板3继续移动到所需位置，本实施例通过设置电磁离合器18连接载板驱动电机1与载板驱动齿轮14，可使对接设备的齿条齿轮对接不太精准时不会卡死，实现有效对接。

本实施例中，如图1所示，还包括上导轮16和下导轮17，所述上导轮16对称设置在载板3上端两侧的导轨上，且上导轮16与载板3接触。所述下导轮17设置在载板3的下端，所述载板3通过下导轮17设置在导轨上。通过设置上导轮16和下导轮17有助于载板3沿水平方向前后移动，增强载板移动平顺性。

本实用新型的载板回转移动装置既能够带动载板3沿水平方向左右移动，也能够使载板3沿水平方向旋转，还可以带动载板3沿水平方向前后移动，方便载板3的移动和转动，而能够方便地对接自动化产线或镀膜设备腔体的载板导轨，使用电动驱动齿轮，带动回转支承旋转，使回转框架旋转180度，通过配合框架移动，使两块载板都能以相同的朝向与自动化设备对接，增强自动化产线的适应性，以更好地适应硅片生产产线节拍的要求。

本实用新型使用于热丝CVD真空镀膜设备，但此实用新型不限于使用在CVD设备中，也不限于使用在真空设备中，且不限于使用在镀膜设备中。

以上仅是本实用新型的特征实施范例，对本实用新型保护范围不构成任何限制。凡采用同等交换或者等效替换而形成的技术方案，均落在本实用新型权利保护范围之内。

Claims (10)

1.一种载板回转移动装置，其特征在于，包括基座(5)、移动框架(4)、回转框架(2)和载板(3)，

所述移动框架(4)沿水平方向左右滑动设置在基座(5)上，

所述移动框架(4)上设置有回转驱动齿轮(7)、从动内齿轮(19)以及旋转电机(11)，所述旋转电机(11)沿移动框架(4)高度方向设置，所述回转驱动齿轮(7)和从动内齿轮(19)均沿水平方向设置，所述回转驱动齿轮(7)设置在旋转电机(11)的输出轴上而能够在旋转电机(11)的驱动下沿水平方向旋转，所述回转驱动齿轮(7)与从动内齿轮(19)啮合而能够带动从动内齿轮(19)沿水平方向旋转，所述回转框架(2)设置在所述从动内齿轮(19)上而能够随从动内齿轮(19)同步旋转，所述移动框架(4)上还设置有夹紧装置，所述夹紧装置能够对所述回转框架(2)进行夹紧而能够限制回转框架(2)旋转，

所述回转框架(2)上设置有导轨，所述载板(3)沿水平方向前后滑动设置在所述导轨上，所述回转框架(2)上还设置有载板驱动电机(1)、载板驱动齿轮(14)以及载板齿条，所述载板驱动电机(1)沿水平方向设置，所述载板齿条与所述导轨平行设置，所述载板驱动齿轮(14)设置在载板驱动电机(1)的输出轴上，所述载板驱动齿轮(14)与所述载板齿条啮合而能够带动载板齿条沿水平方向前后移动，所述载板(3)与载板齿条连接而能够随载板齿条同步移动。

2.根据权利要求1所述的一种载板回转移动装置，其特征在于，所述回转框架(2)上还设置有用于控制载板驱动电机(1)和载板驱动齿轮(14)之间通断的电磁离合器(18)，所述电磁离合器(18)连接在载板驱动电机(1)和载板驱动齿轮(14)之间。

3.根据权利要求1所述的一种载板回转移动装置，其特征在于，还包括上导轮(16)，所述上导轮(16)对称设置在载板(3)上端两侧的导轨上。

4.根据权利要求1所述的一种载板回转移动装置，其特征在于，还包括下导轮(17)，所述下导轮(17)设置在载板(3)的下端，所述载板(3)的下端通过下导轮(17)设置在导轨上。

5.根据权利要求1所述的一种载板回转移动装置，其特征在于，所述夹紧装置为夹紧气缸(13)，所述夹紧气缸(13)包括缸体、活塞杆以及与活塞杆连接的杠杆压臂，所述杠杆压臂在活塞杆的驱动下朝向所述回转框架(2)移动并夹紧所述回转框架(2)。

6.根据权利要求1所述的一种载板回转移动装置，其特征在于，所述从动内齿轮(19)能够带动回转框架(2)作180°回转运动。

7.根据权利要求1所述的一种载板回转移动装置，其特征在于，还包括回转支承(6)，所述从动内齿轮(19)通过回转支承(6)设置在移动框架(4)上。

8.根据权利要求1所述的一种载板回转移动装置，其特征在于，还包括移动驱动装置，所述基座(5)上具有沿水平方向左右设置的滑轨(9)，所述滑轨(9)上设置有与其配合的滑块(15)，所述移动框架(4)设置在所述滑块(15)上，所述移动驱动装置与所述移动框架(4)连接而能够驱动所述移动框架(4)沿所述滑轨(9)滑动。

9.根据权利要求8所述的一种载板回转移动装置，其特征在于，所述移动驱动装置包括移动电机(12)、减速机、齿轮以及齿条(8)，所述齿条(8)沿平行于滑轨(9)的方向设置在基座(5)上，所述移动电机(12)和减速机设置在移动框架(4)上，所述齿轮设置在移动电机(12)的输出轴上，所述齿轮与齿条(8)啮合而能够带动移动框架(4)沿滑轨(9)移动。

10.根据权利要求9所述的一种载板回转移动装置，其特征在于，还包括与滑轨(9)平行设置的拖链(10)，所述拖链(10)的一端设置在基座(5)上，另一端设置在移动框架(4)。

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