CN216234502U - 硅片传送装置、烘干系统及太阳能电池生产线 - Google Patents
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Abstract
本申请提供一种硅片传送装置、烘干系统及太阳能电池生产线,涉及电池制备技术领域。硅片传送装置包括第一输送组件、第一输送带和第一顶升件,第一输送组件用于纵向传输硅片;第一输送带设于第一输送组件的一侧,并用于输送硅片,第一顶升件包括基座、与基座连接的挡板以及能够相对基座升降的顶升台,挡板设于第一输送带的传输方向的一端,基座与第一输送组件的纵向传输的下止点具有距离;第一输送带能够将硅片传输至基座,且挡板能够阻挡硅片继续前进;顶升台能够将基座上的硅片顶升使得第一输送组件承接硅片进行纵向传输。其能够改善硅片因位置偏移向上转移时发生破碎的问题。
Description
技术领域
本申请涉及电池制备技术领域,具体而言,涉及一种硅片传送装置、烘干系统及太阳能电池生产线。
背景技术
烘干炉是丝网印刷产线的主要工艺设备,每道丝网印刷后将硅片上印刷银电极在烘干炉中进行加热烘干,从而将印刷的银浆表面由液态转变为固态。常规的烘干方法是将硅片以平铺的方式进行传输,或者采用支架支撑硅片,将硅片倾斜放置进行传输。
但是采用这些方式对硅片进行传输在烘干炉中烘干时,出料时一般是硅片一排一排地出料,然后以多排的方式进行烘干,下工序印刷则需要将多排合为一排,烘干炉占用的平面位置较大,且多排传输的方式温控比较困难。
为了改善上述问题,现有技术中有通过两个传输设备自下而上、自上而下进行传输硅片并在烘干炉内进行烘干,再通过搬运设备完成两个传输设备上的硅片的转移,但是现有技术中均是通过输送带直接将硅片输送至传输设备,本申请的发明人发现,这样的结构设计很容易造成硅片向传输设备转运时位置偏移,而造成硅片向上传输时发生破碎。
实用新型内容
本申请提供一种硅片传送装置、烘干系统及太阳能电池生产线,其能够改善因硅片位置偏移向上转移时发生破碎的问题。
第一方面,本申请实施例提供一种硅片传送装置,包括:
第一输送组件,第一输送组件用于纵向传输硅片;
第一输送带,设于第一输送组件的一侧,第一输送带用于输送硅片;以及
第一顶升件,第一顶升件包括基座、与基座连接的挡板以及能够相对基座升降的顶升台,挡板设于第一输送带的传输方向的一端,基座与第一输送组件的纵向传输的下止点具有距离;
第一输送带能够将硅片传输至基座,且挡板能够阻挡硅片继续前进;顶升台能够将基座上的硅片顶升使得第一输送组件承接硅片进行纵向传输。
在上述技术方案中,通过第一输送带将硅片传输至第一顶升件的基座上,由于挡板能够阻挡硅片继续前进,则硅片在基座上位置不会因为硅片继续前进而发生偏移。基座与第一输送组件的纵向传输的下止点具有距离,则第一输送组件传输硅片与第一输送带将硅片传输至基座不会互相干扰,顶升台将基座上的硅片顶升起来后,第一输送组件承接硅片进行纵向传输,由于硅片在基座上的位置没有发生偏移,则顶升台将硅片顶升起来之后由第一输送组件承接时不容易发生破碎。
在一种可能的实施方案中,硅片传送装置还包括第二输送组件、搬运机构以及设于第二输送组件的一侧的第二输送带;第二输送组件用于纵向传输硅片,并与第一输送组件的传输方向相反,搬运机构用于将硅片在第一输送组件和第二输送组件转移。
在上述技术方案中,通过搬运机构将第一输送组件传输的硅片转移至第二输送组件,硅片在第一输送组件和第二输送组件进行烘干,烘干后的硅片能够通过第二输送带传输出去。由于第一输送组件和第二输送组件是纵向输送硅片的,因而能够节约占地空间,且方便进行温区控制。
在一种可能的实施方案中,第一输送组件和第二输送组件均包括相对且间隔设置的两个传输组件,每个传输组件均包括支架、链条、安装于支架的主动轮、从动轮和第一驱动件,链条绕置于主动轮和从动轮,主动轮和从动轮与支架可转动地连接,第一驱动件用于驱动主动轮转动;链条上间隔设置有多个能够支撑硅片的支承件,第一顶升件设于第一输送组件的两个传输组件之间。
在上述技术方案中,通过第一驱动件驱动主动轮转动,从而带动链条运动并带动从动轮转动,两个传输组件的链条朝相反的方向传送,通过两个传输组件的链条上的支承件共同支撑硅片,从而实现从上向下或是从下向上传输硅片。另外,当第一输送组件的支承件运动至下止点时,两个传输组件的支承件之间的距离较宽,顶升台能够将硅片顶升至目标位置,待支承件向上运动时,两个传输组件的支承件之间的距离变窄,从而将顶升台上的硅片承接并向上传输。
在一种可能的实施方案中,第一输送组件的其中一个传输组件和第二输送组件的其中一个传输组件均位于第一侧,第一输送组件的另一个传输组件和第二输送组件的另一个传输组件均位于第二侧。
在上述技术方案中,第一输送组件和第二输送组件如上述设置,能够方便将硅片在两者之间进行转移。
在一种可能的实施方案中,第一输送带与第二输送带位于同一高度,第一输送组件和第二输送组件的纵向传输的下止点在同一高度,硅片传送装置还具有第二顶升件,第二顶升件通过升降能够完成硅片在第二输送组件和第二输送带之间的转移。
在上述技术方案中,第一输送带与第二输送带位于同一高度,第一输送组件和第二输送组件的纵向传输的下止点在同一高度,但是这样使得第二输送带与第二输送组件的下止点之间具有距离,通过第二顶升件的升降来完成硅片在第二输送组件和第二输送带之间的转移,硅片下料时不容易卡死。
在一种可能的实施方案中,搬运机构包括用于支撑硅片的第一方向的相对两端的第一搬运组件和第二搬运组件,第一输送组件和第二输送组件均能够承载硅片的第二方向的相对两端,第一方向和第二方向垂直,第一搬运组件和第二搬运组件能够沿第一输送组件和第二输送组件的布设方向运动,且第一搬运组件和第二搬运组件之间的距离可调。
在上述技术方案中,通过第一搬运组件和/或第二搬运组件沿第一输送组件和第二输送组件的布设方向运动来调节第一搬运组件和第二搬运组件之间的距离,则能够方便去承接硅片,并将硅片稳定地承接。由于第一搬运组件和第二搬运组件支撑硅片的第一方向的相对两端,第一输送组件和第二输送组件均能够承载硅片的第二方向的相对两端,第一方向和第二方向垂直,则搬运机构在搬运硅片时不会干扰到第一输送组件和第二输送组件对硅片的传输。
在一种可能的实施方案中,第一搬运组件和第二搬运组件均包括至少一个支撑件,支撑件包括连接的第一支撑部和第二支撑部,第一支撑部和第二支撑部呈L型设置,分别用于支撑硅片的底面和侧面。
在上述技术方案中,通过第一支撑部和第二支撑部对硅片的底面和侧面进行支撑,能够减少硅片在转移过程中掉落的几率。
在一种可能的实施方案中,硅片传送装置还包括设于设于第一搬运组件和第二搬运组件一侧的导轨,第一搬运组件和第二搬运组件均包括搬运部件和第二驱动件,搬运部件的一端延伸至第一输送组件和第二输送组件的上方并与第二支撑部连接,且搬运部件与导轨可滑动地连接,第二驱动件用于驱动搬运部件沿导轨往复运动。
在上述技术方案中,通过第二驱动件驱动搬运部件沿导轨往复运动,能够提高搬运部件运动时的稳定性,且通过第一搬运组件的第二驱动件驱动搬运部件运动,和/或通过第二搬运组件的第二驱动件驱动搬运部件运动,能够方便调节第一搬运组件和搬运组件之间的距离。
第二方面,本申请实施例提供一种烘干系统,包括第一方面实施例的硅片传送装置及烘干箱体,第一输送组件和第一顶升件均设于烘干箱体内。
第三方面,本申请实施例提供一种太阳能电池生产线,包括第二方面实施例的烘干系统。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本申请的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1为本申请实施例1的第一视角下的硅片传送装置的结构示意图;
图2为本申请实施例1的第二视角下的硅片传送装置的结构示意图;
图3为本申请实施例1的第一输送组件的结构示意图;
图4为本申请实施例1的第一输送组件和输送机构的配合示意图;
图5为本申请实施例1的输送机构的示意图;
图6为图3中的第一顶升件的爆炸图。
图标:10-硅片传送装置;11-第一输送组件;111-传输组件;1111-支架;1112-链条;1113-主动轮;1114-从动轮;1115-第一驱动件;1116-支承件;12-第二输送组件;13-第一输送带;14-第二输送带;15-第一顶升件;151-基座;152-挡板;153-顶升台;16-第二顶升件;17-搬运机构;171-第一搬运组件;172-第二搬运组件;173-支撑件;1731-第一支撑部;1732-第二支撑部;174-搬运部件;1741-搬运件;175-连接件;176-滚轮;177-第三驱动件;18-导轨。
具体实施方式
为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本申请实施例中的附图,对本申请实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例是本申请一部分实施例,而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本申请实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
因此,以下对在附图中提供的本申请的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本申请的范围,而是仅仅表示本申请的选定实施例。基于本申请中的实施例,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本申请保护的范围。
应注意到:相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项,因此,一旦某一项在一个附图中被定义,则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
在本申请的描述中,需要说明的是,术语“上”、“下”、“左”、“右”、“纵向”、“水平”、“内”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,或者是该申请产品使用时惯常摆放的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。此外,术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于区分描述,而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本申请的描述中,还需要说明的是,除非另有明确的规定和限定,术语“设置”、“安装”、“连接”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或一体地连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
实施例1
本实施例提供一种硅片传送装置10,请参照图1和图2,其包括第一输送组件11、第二输送组件12、第一输送带13、第二输送带14、第一顶升件15、第二顶升件16和搬运机构17。
其中,第一输送组件11和第二输送组件12均纵向输送硅片,其中,第一输送组件11能够从下向上输送硅片,第二输送组件12能够从上向下输送硅片。另外,硅片在第一输送组件11和第二输送组件12转移是通过搬运机构17实现的。
第一输送带13设于第一输送组件11的一侧,且第一输送带13用于输送硅片。第二输送带14设于第二输送组件12的一侧,且第二输送带14用于输送硅片。示例性地,第一输送带13和第二输送带14均沿水平方向传输。
其中,第一输送带13、第一输送组件11、第二输送组件12和第二输送带14的布设方向可以是与第一输送带13、第二输送带14的传输方向一致,呈直线排布的方式,也可以是第一输送带13、第一输送组件11、第二输送组件12和第二输送带14是成L型的排布方式,本申请实施例对其排布方式不做限定。
第一顶升件15包括基座151、与基座151连接的挡板152以及能够相对基座151升降的顶升台153(参照图3和图6),挡板152设于第一输送带13的传输方向的一端,基座151与第一输送组件11的纵向传输的下止点具有距离。需要说明的是,本申请实施例的下止点指的是,第一输送组件11和第二输送组件12沿纵向方向传输硅片时,硅片能够到达的最下端的位置。
第一输送带13能够将硅片传输至基座151,且挡板152能够阻挡硅片继续前进;顶升台153能够将基座151上的硅片顶升使得第一输送组件11承接硅片进行纵向传输。
使用过程中,通过第一输送带13将硅片传输至第一顶升件15的基座151上,由于挡板152能够阻挡硅片继续前进,则硅片在基座151上位置不会因为硅片继续前进而发生偏移。基座151与第一输送组件11的纵向传输的下止点具有距离,则第一输送组件11传输硅片与第一输送带13将硅片传输至基座151不会互相干扰,顶升台153将基座151上的硅片顶升起来后,第一输送组件11承接硅片进行纵向传输,由于硅片在基座151上的位置没有发生偏移,则顶升台153将硅片顶升起来之后由第一输送组件11承接时不容易发生破碎。
另外,通过搬运机构17能够将第一输送组件11传输的硅片至转移第二输送组件12,硅片在第一输送组件11和第二输送组件12进行烘干,烘干后的硅片能够被第二输送带14传输出去。由于第一输送组件11和第二输送组件12是纵向输送硅片的,因而能够节约占地空间,且方便进行温区控制。
可选地,为了适应其他设备,本申请实施例将第一输送带13与第二输送带14设置为同一高度,第一输送组件11和第二输送组件12的纵向传输的下止点在同一高度。但是本申请的发明人发现这样的设置会使得第二输送带14与第二输送组件12的下止点之间具有距离,硅片从第二输送组件12下料至第二输送带14时容易卡死。为了改善该情况,进一步地,硅片传送装置10还具有第二顶升件16,第二顶升件16通过升降能够完成硅片在第二输送组件12和第二输送带14之间的转移,硅片下料时不容易卡死。
请参照图1、图2和图5,进一步地,搬运机构17包括用于支撑硅片的第一方向的相对两端的第一搬运组件171和第二搬运组件172,第一输送组件11和第二输送组件12均能够承载硅片的第二方向的相对两端,第一方向(如图2中箭头B所指示的方向)和第二方向(如图2中箭头C所指示的方向)垂直。如此设置时,搬运机构17在搬运硅片时不会干扰到第一输送组件11和第二输送组件12对硅片的传输。
另外,第一搬运组件171和第二搬运组件172均能够沿第一输送组件11和第二输送组件12的布设方向(如图2中箭头A所指示的方向)往复运动,且第一搬运组件171和第二搬运组件172之间的距离可调。
通过第一搬运组件171和/或第二搬运组件172沿第一输送组件11和第二输送组件12的布设方向运动来调节第一搬运组件171和第二搬运组件172之间的距离,当需要承接硅片时,将第一搬运组件171和第二搬运组件172之间的距离调宽,能够方便去承接硅片,然后将第一搬运组件171和第二搬运组件172之间的距离调窄,能够将硅片稳定地承接住。需要说明的是,在其他实施例中,搬运机构17也可以采用搬运机器人等。
示例性地,第一搬运组件171和第二搬运组件172均包括搬运部件174、第二驱动件和至少一个支撑件173,支撑件173包括连接的第一支撑部1731和第二支撑部1732,第一支撑部1731和第二支撑部1732呈L型设置,分别用于支撑硅片的底面和侧面。其中,搬运部件174与第二支撑部1732连接,第二驱动件用于驱动搬运部件174沿第一输送组件11和第二输送组件12的布设方向运动(如图2中箭头A所指示的方向)。
通过第二驱动件驱动搬运部件174沿第一输送组件11和第二输送组件12的布设方向运动,能够调节第一搬运组件171和第二搬运组件172之间的距离,通过第一支撑部1731和第二支撑部1732对硅片的底面和侧面进行支撑,能够减少硅片在转移过程中掉落的几率。
可选地,烘干系统还包括导轨18,导轨18设于第一输送组件11和第二输送组件12的一侧并沿第一输送组件11和第二输送组件12的布设方向延伸,且搬运部件174与导轨18可滑动地连接,第二驱动件用于驱动搬运部件174沿导轨18往复运动。通过第二驱动件驱动搬运部件174沿导轨18往复运动,能够提高搬运部件174运动时的稳定性。
进一步地,为了更加方便地承接硅片,搬运部件174包括搬运件1741和第三驱动件177,搬运件1741的一端延伸至第一输送组件11和第二输送组件12的上方并与第二支撑部1732连接,第三驱动件177用于驱动搬运件1741升降,第三驱动件177与导轨18可滑动地连接且与第二驱动件传动连接。示例性地,第二驱动件和第三驱动件177均可以为气缸或者液压缸等,本申请对第三驱动件177的具体结构不做限定,只要能够实现升降即可。
通过第三驱动件177驱动搬运件1741升降从而带动支撑件173升降,能够更加方便地去承接硅片以及更加方便地将硅片在第一输送组件11和第二输送组件12之间转移。例如,当需要将硅片从第一输送组件11搬运至第二输送组件12时,第三驱动件177驱动搬运件1741下降通过支撑件173将硅片承接,然后第三驱动件177驱动搬运件1741上升避免对第一输送组件11输送硅片造成干扰,再通过第二驱动件驱动搬运部件174沿导轨18运动至第二输送组件12的一侧,将硅片转移至第二输送组件12。
其中,搬运件1741包括连接的第一搬运段和第二搬运段,第一搬运段和第二搬运段呈L型设置,第一搬运段与第三驱动件177的动力输出端连接,第二搬运段与第二支撑部1732连接。第一搬运段能够在第一输送组件11和第二输送组件12的上方运动,第二搬运段位于第一输送组件11和第二输送组件12的一侧。
示例性地,第三驱动件177通过连接件175与导轨18可滑动地连接,第三驱动件177固定于连接件175,连接件175安装有滚轮176,导轨18具有滑槽,滚轮176被限制在滑槽内滑动。
通过滑槽限定了滚轮176的运动轨道,能够提高连接件175运动的稳定性,且滚轮176更加有利于滑动。
下面对第一输送组件11和第二输送组件12进行介绍,请参照图3和图4,示例性地,第一输送组件11和第二输送组件12均包括相对且间隔设置的两个传输组件111,每个传输组件111均包括支架1111、链条1112、安装于支架1111的主动轮1113、从动轮1114和第一驱动件1115,链条1112绕置于主动轮1113和从动轮1114,主动轮1113和从动轮1114与支架1111可转动地连接,第一驱动件1115用于驱动主动轮1113转动;链条1112上间隔设置有多个能够支撑硅片的支承件1116。其中,第一顶升件15设于第一输送组件11的两个传输组件111之间,第二顶升件16设于第二输送组件12的两个传输组件111之间。
通过第一驱动件1115驱动主动轮1113转动,从而带动链条1112运动并带动从动轮1114转动。其中,两个传输组件111相对且间隔设置,则两个传输组件111的链条1112朝相反的方向传送,则通过两个传输组件111的链条1112上的支承件1116共同支撑硅片,从而实现从上向下或是从下向上传输硅片。
请参照图2和图3,第一输送组件11的位于左边的传输组件111的链条1112朝逆时针方向转动,位于右边的传输组件111的链条1112朝顺时针方向转动,从而能够从下向上传输硅片。第二输送组件12的位于左边的传输组件111的链条1112朝顺时针方向转动,位于右边的传输组件111的链条1112朝逆时针方向转动,能够从上向下传输硅片。另外,当支承件1116运动至下止点时,两个传输组件111的支承件1116之间的距离较宽,顶升台153能够将硅片顶升至目标位置,待支承件1116向上运动时,两个传输组件111的支承件1116之间的距离变窄,从而将顶升台153上的硅片承接并向上传输。
示例性地,第一输送组件11的其中一个传输组件111和第二输送组件12的其中一个传输组件111均位于第一侧,第一输送组件11的另一个传输组件111和第二输送组件12的另一个传输组件111均位于第二侧。上述设置,能够方便将硅片在两者之间进行转移。
实施例2
本实施例提供一种烘干系统(图中未示出),其包括实施例1的硅片传送装置10及烘干箱体,其中,第一输送组件11、第二输送组件12、第一顶升件15、第二顶升件16和搬运机构17均设于烘干箱体内。
实施例3
本实施例提供一种太阳能电池生产线,其包括实施例2的烘干系统。
以上仅为本申请的优选实施例而已,并不用于限制本申请,对于本领域的技术人员来说,本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本申请的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种硅片传送装置,其特征在于,包括:
第一输送组件,所述第一输送组件用于纵向传输硅片;
第一输送带,设于所述第一输送组件的一侧,所述第一输送带用于输送所述硅片;以及
第一顶升件,所述第一顶升件包括基座、与所述基座连接的挡板以及能够相对所述基座升降的顶升台,所述挡板设于所述第一输送带的传输方向的一端,所述基座与所述第一输送组件的纵向传输的下止点具有距离;
所述第一输送带能够将所述硅片传输至所述基座,且所述挡板能够阻挡硅片继续前进;所述顶升台能够将所述基座上的硅片顶升使得第一输送组件承接所述硅片进行纵向传输。
2.根据权利要求1所述的硅片传送装置,其特征在于,所述硅片传送装置还包括第二输送组件、搬运机构以及设于所述第二输送组件的一侧的第二输送带;所述第二输送组件用于纵向传输硅片,并与所述第一输送组件的传输方向相反,所述搬运机构用于将所述硅片在所述第一输送组件和所述第二输送组件转移。
3.根据权利要求2所述的硅片传送装置,其特征在于,所述第一输送组件和所述第二输送组件均包括相对且间隔设置的两个传输组件,每个所述传输组件均包括支架、链条、安装于所述支架的主动轮、从动轮和第一驱动件,所述链条绕置于所述主动轮和从动轮,所述主动轮和所述从动轮与所述支架可转动地连接,所述第一驱动件用于驱动所述主动轮转动;所述链条上间隔设置有多个能够支撑所述硅片的支承件;所述第一顶升件设于所述第一输送组件的两个所述传输组件之间。
4.根据权利要求3所述的硅片传送装置,其特征在于,所述第一输送组件的其中一个传输组件和所述第二输送组件的其中一个传输组件均位于第一侧,所述第一输送组件的另一个传输组件和所述第二输送组件的另一个传输组件均位于第二侧。
5.根据权利要求2~4任一项所述的硅片传送装置,其特征在于,所述第一输送带与所述第二输送带位于同一高度,所述第一输送组件和所述第二输送组件的纵向传输的下止点在同一高度,所述硅片传送装置还具有第二顶升件,所述第二顶升件通过升降能够完成所述硅片在所述第二输送组件和所述第二输送带之间的转移。
6.根据权利要求2~4任一项所述的硅片传送装置,其特征在于,所述搬运机构包括用于支撑所述硅片的第一方向的相对两端的第一搬运组件和第二搬运组件,所述第一输送组件和所述第二输送组件均能够承载所述硅片的第二方向的相对两端,所述第一方向和所述第二方向垂直,所述第一搬运组件和所述第二搬运组件能够沿所述第一输送组件和所述第二输送组件的布设方向运动,且所述第一搬运组件和所述第二搬运组件之间的距离可调。
7.根据权利要求6所述的硅片传送装置,其特征在于,所述第一搬运组件和所述第二搬运组件均包括至少一个支撑件,所述支撑件包括连接的第一支撑部和第二支撑部,所述第一支撑部和所述第二支撑部呈L型设置,分别用于支撑所述硅片的底面和侧面。
8.根据权利要求7所述的硅片传送装置,其特征在于,所述硅片传送装置还包括设于所述第一搬运组件和所述第二搬运组件一侧的导轨,所述第一搬运组件和所述第二搬运组件均包括搬运部件和第二驱动件,所述搬运部件的一端延伸至所述第一输送组件和所述第二输送组件的上方并与所述第二支撑部连接,且所述搬运部件与所述导轨可滑动地连接,所述第二驱动件用于驱动所述搬运部件沿所述导轨往复运动。
9.一种烘干系统,其特征在于,包括权利要求1~8任一项所述的硅片传送装置及烘干箱体,所述第一输送组件和所述第一顶升件均设于所述烘干箱体内。
10.一种太阳能电池生产线,其特征在于,包括权利要求9所述的烘干系统。
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CN202122836785.4U CN216234502U (zh) | 2021-11-18 | 2021-11-18 | 硅片传送装置、烘干系统及太阳能电池生产线 |
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Cited By (1)
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2021
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN115069585A (zh) * | 2022-08-22 | 2022-09-20 | 无锡京运通科技有限公司 | 单晶硅制备分选上料台碎片剔除装置 |
CN115069585B (zh) * | 2022-08-22 | 2022-10-25 | 无锡京运通科技有限公司 | 单晶硅制备分选上料台碎片剔除装置 |
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GR01 | Patent grant | ||
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