CN211238193U - 一种多工位传送装置 - Google Patents
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Abstract
一种多工位传送装置，包括第一传送部分和第二传送部分，第一传送部分和第二传送部分之间设有可调整工位，被配置为能够改变自身位置使被传送物处于不同的工位和/或状态，所述可调整工位包括至少两个工位和/或状态。在一些优选的方式中，可调整工位本身可以提供至少两个工位，在一些优选的方式中，不同状态下的可调整工位能够提供不同的工位；本实用新型提供了一种传送装置，能够提供至少两个工位，例如一个工位用于传送，另一个工位用于和流程中下个环节衔接，这样就能够充分利用工艺流转过程中的空隙时间，使得同一时间段内传送的物料增加，提高传送效率，配合CVD设备的其他环节，有效提升CVD设备的产能。
Description
技术领域
本实用新型涉及多个工位的传送装置，尤其涉及用于CVD设备上下料的传送装置。
背景技术
半导体或光伏材料广泛应用于电子、新能源等行业，半导体和光伏材料通常都需要经过化学处理才能够应用到产品上，CVD技术是其中的一种处理方式，CVD即化学气相沉积，CVD技术目前已经广泛用于半导体或光伏材料加工，常见的加工设备有PECVD、LPCVD、APCVD等，除了CVD之外还有扩散工艺，例如磷扩散、硼扩散等，都可以采用气体扩散的方式来对原材料进行加工，目前行业内已有不少相关的设备，可以针对具体的加工需求来选择相应的设备进行加工，半导体或光伏材料的加工，通常是将片状材料送入炉中在一定温度和压力的条件下进行反应来实现，在对半导体或者光伏材料加工的过程中，通常采用一些装置来装载或移动待加工的、加工中的或者加工后的材料，行业内通常把这种装载或者移动的装置称为舟、小舟或者花篮。舟或者花篮作为承载片状材料的载体，在加工过程中，其本身也需要空载或满载进行搬运，这种搬运如果采用人工必然会费时费力且容易发生损坏和偏差。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种多工位传送装置，能够适用于上述CVD设备中舟的搬运，对空载或满载的舟进行上下料或者调整到合适的工位，以适应CVD设备全自动化的需求。
本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是：
一种多工位传送装置，包括第一传送部分和第二传送部分，第一传送部分和第二传送部分之间设有可调整工位，被配置为能够改变自身位置使被传送物处于不同的工位和/或状态。
进一步地，所述可调整工位包括至少两个工位和/或状态。在一些优选的方式中，可调整工位本身可以提供至少两个工位，在一些优选的方式中，不同状态下的可调整工位能够提供不同的工位，在一些优选的方式中，不同的工位可以使被传送物处于不同的位置，这个不同的位置可以是传送过程中的不同位置，也可以是传送的起始位置或者目的位置。
进一步地，第一传送部分被配置为能够用于上料，相应地，第二传送部分被配置为能够用于下料；或者，第一传送部分被配置为能够用于下料，相应地，第二传送部分被配置为能够用于上料。第一传送部分和第二传送部分可以分别作为上下料的机构，例如，从第一传送部分上料，从第二传送部分下料，或者反之。在一些优选的方式中，第一传送部分既可以上料也可以下料，例如从第一传送部分上料之后经过一系列的流程，被传送物仍然从第一传送部分下料，第二传送部分也可以实现这种功能。
进一步地，所述第一传送部分和所述第二传送部分均设有用于传送舟和/或舟托的传送工位。在一些优选的方式中，第一传送部分上可以设置一个传送工位或多个传送工位，在一些优选的方式中，
进一步地，所述第一传送部分和第二传送部分分别包括传送带，被配置为能够通过电机驱动从而传动舟或者舟托。
进一步地，所述第一传送部分和所述第二传送部分分别设有用于检测被传送物是否到位的检测装置。
进一步地，所述可调整工位包括调节装置，所述调节装置被配置为能够调整所述可调整工位所处的工位和/或状态。
进一步地，当所述可调整工位处于一个状态时，其中的至少一个工位能够和第一传送部分或第二传送部分中的至少一个形成接续状态，当所述可调整工位处于另一个状态时，其中的另一个工位能够和第一传送部分或第二传送部分中的至少一个形成接续状态。
进一步地，所述可调整工位包括升降装置和传送支架，所述传送支架固定设置在升降装置上并能够在升降装置的带动下上下移动，所述传送支架包括至少两个传送工位，所述两个传送工位上下布置，且两个传送工位之间的间距不小于被传送物的高度；所述每层传送支架上均设有用于检测被传送物是否到位的检测装置。
进一步地，所述被传送物为用于承载或搬运半导体或光伏片状材料的舟，所述舟上设有用于半导体或光伏片状材料插片的第一齿槽，所述第一传送部分、第二传送部分以及可调整工位上均设有与所述舟上的第一齿槽匹配的第二齿槽，当舟被放置在第一传送部分、第二传送部分或可调整工位，相应的第一齿槽和第二齿槽位置对应。
本实用新型的有益效果是：本实用新型提供了一种传送装置，能够提供至少两个工位，例如一个工位用于传送，另一个工位用于和流程中下个环节衔接，这样就能够充分利用工艺流转过程中的空隙时间，使得同一时间段内传送的物料增加，提高传送效率，配合CVD设备的其他环节，有效提升CVD设备的产能。
附图说明
图1是本实用新型的整体结构图。
图2是第二传送部分的示意图。
图3是可调整工位的正面示意图。
图4是可调整工位的背面示意图。
图5是可调整工位的侧面示意图。
图6是舟托的示意图。
图7是图6中“A”区域的局部放大示意图。
图8是图3中“B”区域的局部放大示意图。
图9是第一传送部分与可调整工位接续的示意图。
图10是图7中“C”区域的局部放大示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的具体实施方案做进一步详细说明，应当指出的时，实施例只是对本实用新型的具体阐述，不应视为对本实用新型的限定。
首先对本实用新型中所涉及到的技术术语结合实施例进行解释，对术语的解释是为了使本领域技术人员更为准确地理解本实用新型的技术方案，并不一定是对本实用新型的保护范围进行限定。
首先说明一下本实施例中的一种具体应用场景，即被传送物的形态和传送要求。在本实施例中，被传送物是舟100(行业内也称花篮)，可以用于存放片状的半导体或者光伏材料，这种半导体或者光伏材料可以是待加工的，也可以是加工完成的，在一些实施方式中，还可以是加工过程中的，舟100可以在加工过程中也对被加工的材料始终处于支承的状态。如图6所示，舟100可以包括对应片状材料的四根舟支架101，四根舟支架101上对应地设有第一齿槽102，在一些实施方式中，每个第一齿槽102内可以容纳一片材料，在一些实施方式中，每个第一齿槽102内也可以容纳两片材料，可以根据实际需要来选择，在一些实施方式中，舟100也可以非四边形，而采用其他的形状，本实用新型并不限定舟的具体形态。在一些实施方式中，舟100还可以包括两端的挡板103，用于固定舟支架101以及保护片材。在一些实施方式中，舟100的四壁是镂空的，在一些实施方式中，舟100可以选用一定的规格，例如长度和宽度，便于检测装置进行到位和计数检测。
第一传送部分1和第二传送部分2的结构大致相同，在组装成本实用新型时，第一传送部分1和第二传送部分2可以同向布置，也可以相向布置，第一传送部分和第二传送部分的传送方向可以根据需要被改变。本实用新型不限定第一传送部分和第二传送部分中哪个作为上料，哪个作为下料，二者也可以互换。以下将以其中一个第一传送部分1为例来说明二者的结构。
如图2和7所示，第一传送部分1包括传送支架11和传送带组件，传送带组件包括传送带框架14、位于传送带框架14两侧的传送带转轴15以及传送带17，其中一侧的传送带转轴15连接驱动电机16，传送带组件上设有与舟上的第一齿槽102相对应的第二齿槽12，在一些实施方式中，传送带上可以设置与至少一个舟100(长度、齿槽)相匹配的传送工位，当用传送部分进行传送时，可以放置在传送工位上，传送工位上可以设置齿条13，齿条上设置第二齿槽12，在一些实施方式中，齿条12可以成对布置，使其对片状材料的支撑更加平稳可靠。在一些优选的方式中，齿条12可以随舟被移动。在一些其他的方式中，齿条12可以被固定在传送带上。在一些方式中，第一传送部分1还可以设置传感器18，用于检测第一传送部分上是否有舟或者是舟的数量。
如图3-5所示，可调整工位3包括两层传送带组件32，这两层传送带组件32可以采用和图2中所示的(即上一段中所述的)传送带组件相同的结构，这两层传送带组件通过竖向连接件31连接，使得两层传送带组件之间形成固定的间距，这个间距需要满足能够允许舟顺利从中通过。可调整工位还包括升降装置33，升降装置33连接在其中一个或者，两个传送带组件32上，通过电机驱动带动两层传送带组件上下移动。
如图1和8所示，使用时，先将舟防止第一传送部位或第二传送部位，通过第一传送部位或第二传送部位将舟传送到可调整工位3上，可调整工位3根据需要上下移动后，可以再次进行上料，可调整工位可以根据需要进行上下移动，或者给下一次上料让位，或者移动至合适的位置，配合后续工艺的操作。
Claims (10)
1.一种多工位传送装置，其特征是，包括第一传送部分和第二传送部分，第一传送部分和第二传送部分之间设有可调整工位，被配置为能够改变自身位置使被传送物处于不同的工位和/或状态。
2.根据权利要求1所述的一种多工位传送装置，其特征是，所述可调整工位包括至少两个工位和/或状态。
3.根据权利要求1所述的一种多工位传送装置，其特征是，第一传送部分被配置为能够用于上料，相应地，第二传送部分被配置为能够用于下料；
或者，
第一传送部分被配置为能够用于下料，相应地，第二传送部分被配置为能够用于上料。
4.根据权利要求2所述的一种多工位传送装置，其特征是，所述第一传送部分和所述第二传送部分均设有用于传送舟和/或舟托的传送工位。
5.根据权利要求3或4所述的一种多工位传送装置，其特征是，所述第一传送部分和第二传送部分分别包括传送带，被配置为能够通过电机驱动从而传动舟或者舟托。
6.根据权利要求1、3或4所述的一种多工位传送装置，其特征是，所述第一传送部分和所述第二传送部分分别设有用于检测被传送物是否到位的检测装置。
7.根据权利要求1或2所述的一种多工位传送装置，其特征是，所述可调整工位包括调节装置，所述调节装置被配置为能够调整所述可调整工位所处的工位和/或状态。
8.根据权利要求7所述的一种多工位传送装置，其特征是，当所述可调整工位处于一个状态时，其中的至少一个工位能够和第一传送部分或第二传送部分中的至少一个形成接续状态，当所述可调整工位处于另一个状态时，其中的另一个工位能够和第一传送部分或第二传送部分中的至少一个形成接续状态。
9.根据权利要求8所述的一种多工位传送装置，其特征是，所述可调整工位包括升降装置和传送支架，所述传送支架固定设置在升降装置上并能够在升降装置的带动下上下移动，所述传送支架包括至少两个传送工位，所述两个传送工位上下布置，且两个传送工位之间的间距不小于被传送物的高度；所述每层传送支架上均设有用于检测被传送物是否到位的检测装置。
10.根据权利要求9所述的一种多工位传送装置，其特征是，所述被传送物为用于承载或搬运半导体或光伏片状材料的舟，所述舟上设有用于半导体或光伏片状材料插片的第一齿槽，所述第一传送部分、第二传送部分以及可调整工位上均设有与所述舟上的第一齿槽位置相对应的齿条，齿条上设有第二齿槽，当舟被放置在第一传送部分、第二传送部分或可调整工位，相应的第一齿槽和第二齿槽位置对应。
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