CN201410458Y - 匀胶机基片的固定装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型是关于一种基片固定装置，尤其是指用于薄膜工艺设备匀胶机的基片固定装置。按照本实用新型提供的技术方案，所述匀胶机基片的固定装置，包括承片平台，其特征是：在承片平台的上表面设置用于承接工件的盘面，在承片平台的边缘设置数个用于定位工件的定位卡，所述定位卡的定位端指向承片平台的中心，所述定位端呈锥形，并且，所述定位端位于盘面的一侧。本实用新型能实现带有通孔的方形基片采用旋转方式涂覆光刻胶。
Description
技术领域
本实用新型是关于一种基片固定装置，尤其是指用于薄膜工艺设备匀胶机的基片固定装置。
背景技术
随着薄膜工艺技术的迅速发展，旋转涂覆式匀胶机的应用日趋广泛，作旋转匀胶的基片的类型也陈出不穷。通常基片是通过带有真空吸附通孔的圆形平盘式基片固定装置实现与电机的同步高速旋转。但对于带有通孔的方形基片，则无法采用真空吸附方式固定基片。
发明内容
本实用新型所欲解决的技术问题是提供一种基片固定装置，以解决带有通孔的基片旋转匀胶时在匀胶机上的固定问题。
按照本实用新型提供的技术方案，所述匀胶机基片的固定装置，包括承片平台，其特征是：在承片平台的上表面设置用于承接工件的盘面，在承片平台的边缘设置数个用于定位工件的定位卡，所述定位卡的定位端指向承片平台的中心，所述定位端呈锥形，并且，所述定位端位于盘面的一侧。
在所述承片平台的下表面设置数个定位槽，所述定位卡被一一对应地定位于所述定位槽内；定位槽的走向指向承片平台的中心。所述定位卡上有定位座，所述定位端位于所述定位座的上面。所述定位座呈长条状；并且，所述定位端的长轴与所述定位座的长轴方向一致。所述定位端的端部的正投影面呈锐角三角形，所述锐角小于30度。
所述定位卡与所述承片平台利用螺纹件相互连接。所述定位卡有均匀分布的4个。在承片平台的下表面设置向下突出的环形体，所述环形体的中轴线与盘面的中轴线重合。
匀胶机马达轴心设有真空管道，将承片平台下面的环形体与匀胶机马达轴相扣并真空吸附，本实用新型将带有通孔的基片(即所述工件)固定，再同时配合匀胶机的马达旋转，带动基片高速旋转，从而达到将光刻胶旋转涂覆于基片表面的目的。
本实用新型所能达到的技术效果是，采用本实用新型的固定装置，可以将含有通孔的基片直接采用旋转方式涂覆光刻胶。
附图说明
图1是承片平台的俯视示意图。
图2是承片平台的仰视示意图。
图3是挡卡的示意图。
图4是承片平台与挡卡的组合示意图。
具体实施方式
所述匀胶机基片的固定装置，包括承片平台1，其特征是：在承片平台1的上表面设置用于承接工件的盘面3，在承片平台1的边缘设置四个用于定位工件的定位卡9，所述定位卡9的定位端7指向承片平台1的中心，所述定位端7呈锥形，并且，所述定位端7位于盘面3的一侧。
在所述承片平台1的下表面设置四个定位槽2，所述定位卡9被一一对应地定位于所述定位槽2内；定位槽2的走向指向承片平台1的中心。
所述定位卡9上有定位座6，所述定位端7位于所述定位座6的上面。所述定位座6呈长条状；并且，所述定位端7的长轴与所述定位座6的长轴方向一致。所述定位端7的端部的正投影面呈锐角三角形，所述锐角小于30度。
所述定位卡9与所述承片平台1利用螺纹件相互连接。所述定位卡有均匀分布的4个。在承片平台1的下表面设置向下突出的环形体4，所述环形体4的中轴线与盘面3的中轴线重合。
安装时，承片平台1和定位卡9需要固定在一起，所述承片平台1和定位卡9可以采用螺钉连接。所述的带有通孔的基片放置在承片平台1上表面的圆形盘面3上，并由设置在承片平台1四周的定位卡9固定，使带有通孔的基片不能前后左右的滑动。承片平台1与匀胶机之间的固定是通过其下方的环形体4与匀胶机的马达轴相扣。
本实用新型的工作原理如下：当匀胶机开始工作时，真空会通过马达轴心的管道将承片平台1固定，马达带动承片平台1同步旋转，进而带动承片平台1上的基片同步旋转。光刻胶从上方滴落于基片中心处，在离心力的作用下平铺于基片表面。
图中的5与8分别为安装螺栓的孔。
Claims (8)
1、一种匀胶机基片的固定装置，包括承片平台(1)，其特征是：在承片平台(1)的上表面设置用于承接工件的盘面(3)，在承片平台(1)的边缘设置数个用于定位工件的定位卡(9)，所述定位卡(9)的定位端(7)指向承片平台(1)的中心，所述定位端(7)呈锥形，并且，所述定位端(7)位于盘面(3)的一侧。
2、如权利要求1所述匀胶机基片的固定装置，其特征是：在所述承片平台(1)的下表面设置数个定位槽(2)，所述定位卡(9)被一一对应地定位于所述定位槽(2)内；定位槽(2)的走向指向承片平台(1)的中心。
3、如权利要求1所述匀胶机基片的固定装置，其特征是：所述定位卡(9)上有定位座(6)，所述定位端(7)位于所述定位座(6)的上面。
4、如权利要求3所述匀胶机基片的固定装置，其特征是：所述定位座(6)呈长条状；并且，所述定位端(7)的长轴与所述定位座(6)的长轴方向一致。
5、如权利要求1、3或4所述匀胶机基片的固定装置，其特征是：所述定位端(7)的端部的正投影面呈锐角三角形，所述锐角小于30度。
6、如权利要求1所述匀胶机基片的固定装置，其特征是：所述定位卡(9)与所述承片平台(1)利用螺纹件相互连接。
7、如权利要求1所述匀胶机基片的固定装置，其特征是：所述定位卡有均匀分布的4个。
8、如权利要求1所述匀胶机基片的固定装置，其特征是：在承片平台(1)的下表面设置向下突出的环形体(4)，所述环形体(4)的中心与盘面(3)的中心重合。
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2009
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