CN103302002A - 可加热自动对心匀胶机 - Google Patents

可加热自动对心匀胶机 Download PDF

Info

Publication number
CN103302002A
CN103302002A CN2013102632105A CN201310263210A CN103302002A CN 103302002 A CN103302002 A CN 103302002A CN 2013102632105 A CN2013102632105 A CN 2013102632105A CN 201310263210 A CN201310263210 A CN 201310263210A CN 103302002 A CN103302002 A CN 103302002A
Authority
CN
China
Prior art keywords
clamping
slide holder
automatic centering
pneumatic cylinder
piston rod
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN2013102632105A
Other languages
English (en)
Other versions
CN103302002B (zh
Inventor
王凌云
陈梦月
梁楚尉
蔡建法
周如海
杜晓辉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Xiamen University
Original Assignee
Xiamen University
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Xiamen University filed Critical Xiamen University
Priority to CN201310263210.5A priority Critical patent/CN103302002B/zh
Publication of CN103302002A publication Critical patent/CN103302002A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN103302002B publication Critical patent/CN103302002B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Abstract

可加热自动对心匀胶机，涉及用于薄膜工艺的匀胶机。设有感应加热控制器和自动对心平台；感应加热控制器安装在自动对心平台上部，自动对心平台设有3个夹紧定位装置，3个夹紧定位装置均匀地安装在载片台下表面突出的环形体周围；感应加热控制器设有加热盖和涡流发生线圈，涡流发生线圈设在加热盖上；载片台上均匀设有3个导向槽，夹紧定位装置一一对应地定位在所述导向槽处，通过螺钉连接固定，3个夹紧定位装置随载片台同步旋转，且导向槽和夹紧定位装置都指向载片台的中心；夹紧定位装置设有互相配合的气压缸和活塞杆，3个夹紧定位装置的无杆腔一侧靠近并指向载片台中心，而气压缸的有杆腔一侧指向自动对心平台边缘。

Description

可加热自动对心匀胶机
技术领域
本发明涉及用于薄膜工艺的匀胶机，尤其是涉及一种可加热自动对心匀胶机。
背景技术
随着薄膜工艺的迅速发展，旋转涂覆式匀胶机的应用日趋广泛。旋转匀胶的基片是通过带有真空吸附通孔的圆形平盘式基片固定装置实现与电机的同步高速旋转。在每次使用匀胶机之前，都要进行的至关重要一步就是对心，即将圆形基片的圆心与承接工件的圆形平盘的圆心对齐，使之重合，以实现材料在离心力作用下的均匀涂覆。这一步骤通常是手动进行，一般很难实现，需要反复调整，故要花费大量的时间。虽然目前出现了一些机械式的基片固定装置，如专利号为200920045252.0的中国实用新型专利提供了一种匀胶机基片的固定装置，但对于如何简便而又准确地实现基片与平盘的圆心重合的问题并没有得到很好的解决。
另一方面，对于一些粘度较大、流动性较差的材料，如厚胶、石蜡等，很难以实现或者无法均匀旋涂。依据流体粘度与温度间关系，当温度提高时，对应流体粘度会大幅度降低。所以就为高粘度流动性差的材料旋涂提供了可能。但是由于光刻胶等材料往往具有较好的光敏特性，因此无法采用传统的热辐射工艺实现加热。
涡流加热是一种利用电磁感应效应的加热方式，通过感应线圈内的金属产生感生电流，实现电阻热。因为其非接触、效率高、速度快、低损耗、易控制、高加工精度等优势，广泛应用于局部加热，是一种适合应用于集成于匀胶机内的加热方式。
发明内容
本发明的目的在于提供以拓宽匀胶机可旋涂材料范围并解决手动对心难等问题的一种可加热自动对心匀胶机。
本发明设有感应加热控制器和自动对心平台；所述感应加热控制器安装在自动对心平台上部，自动对心平台设有3个夹紧定位装置，所述3个夹紧定位装置均匀地安装在载片台下表面突出的环形体周围；
所述感应加热控制器设有加热盖和涡流发生线圈，所述涡流发生线圈设在加热盖上；
所述载片台上均匀设有3个导向槽，夹紧定位装置一一对应地定位在所述导向槽处，通过螺钉连接固定，3个夹紧定位装置随载片台同步旋转，且导向槽和夹紧定位装置都指向载片台的中心；
所述夹紧定位装置设有互相配合的气压缸和活塞杆，所述3个夹紧定位装置的无杆腔一侧靠近并指向载片台中心，而气压缸的有杆腔一侧指向自动对心平台边缘。
所述涡流发生线圈可采用螺旋形线圈，螺旋形线圈均布在加热盖上。
所述活塞杆可采用弯折形活塞杆，活塞杆在导向槽内来回移动以控制基片的对心。
所述气压缸可采用附弹簧式单活塞杆气压缸，在未抽真空时，弹簧弹力作用使活塞杆处于靠近载片台边缘的极限位置。
所述气压缸无杆腔一侧通过真空管道与载片台下部环形体连接，通向匀胶机马达轴心处的真空管道。
所述3个夹紧定位装置的3对互相配合的气压缸和活塞杆均为相同规格和尺寸，这样才能够保证匀胶机开始工作时，真空会通过马达的轴心和真空管道进入气压缸的无杆腔，3个活塞杆实现等速向平台中心移动，从而也实现了基片与平台的快速自动而又准确的对心和夹紧。
本发明利用气动原理，在载片平台的下表面突出的环形体周围均匀设置3个夹紧定位装置，所述夹紧定位装置为互相配合的气压缸和活塞杆，3个夹紧定位装置气压缸有杆腔一侧指向平台边缘，而气压缸的无杆腔一侧靠近平台中心。所述载片台上均匀设置3个导向槽，所述夹紧定位装置一一对应地定位在所述导向槽处，通过螺钉固定，3个夹紧定位装置跟随载片台同步高速旋转。所述气压缸为弹簧式，即弹簧存在于无杆腔一侧，初始状态下（未抽真空时），活塞杆在弹簧弹力的作用下处于靠近平台边缘的极限位置。匀胶机马达轴心设有真空管道，所述气压缸无杆腔一侧通过真空管道与载片台下部环形体连接，当轴心内抽真空的时候，气压缸无杆腔通过真空管道被抽真空，使无杆腔一侧的气压低于有杆腔一侧的气压，当气压推动力大于弹簧弹力，便推动活塞杆向载片台中心移动。所述3个互相配合的气压缸和活塞杆采用相同规格和型号，于是当抽真空时3个活塞杆便对称等速地向平台中心推进，从而实现了基片与平台的快速自动而又准确的对心和夹紧。
附图说明
图1是本发明实施例整体装配及感应加热控制器示意图；
图2是本发明实施例的自动对心平台的仰视示意图；
图3是本发明实施例的自动对心平台的俯视示意图；
图4是本发明实施例的夹紧定位装置的示意图。
具体实施方式
以下的实施例将结合附图对本发明作进一步说明：
参见图1～4，本发明实施例设有感应加热控制器1和自动对心平台2；所述感应加热控制器1安装在自动对心平台2上部，自动对心平台2设有3个夹紧定位装置21，所述3个夹紧定位装置21均匀地安装在载片台22下表面突出的环形体周围。所述感应加热控制器1设有加热盖11和涡流发生线圈12，所述涡流发生线圈12设在加热盖11上；所述载片台22上均匀设有3个导向槽23，夹紧定位装置21一一对应地定位在所述导向槽23处，通过螺钉连接固定，3个夹紧定位装置21随载片台22同步旋转，且导向槽23和夹紧定位装置21都指向载片台22的中心；所述夹紧定位装置21设有互相配合的气压缸211和活塞杆213，所述3个夹紧定位装置21的无杆腔一侧靠近并指向载片台22中心，而气压缸211的有杆腔一侧指向自动对心平台2边缘。
所述涡流发生线圈12可采用螺旋形线圈，螺旋形线圈均布在加热盖11上。
所述活塞杆213可采用弯折形活塞杆，活塞杆213在导向槽23内来回移动以控制基片的对心。
所述气压缸211可采用附弹簧式单活塞杆气压缸，在未抽真空时，弹簧弹力作用使活塞杆213处于靠近载片台22边缘的极限位置。
所述气压缸211无杆腔一侧通过真空管道212与载片台22下部环形体连接，通向匀胶机马达轴心处的真空管道。
所述3个夹紧定位装置21的3对互相配合的气压缸211和活塞杆213均为相同规格和尺寸，这样才能够保证匀胶机开始工作时，真空会通过马达的轴心和真空管道进入气压缸211的无杆腔，3个活塞杆212实现等速向平台中心移动，从而也实现了基片与平台的快速自动而又准确的对心和夹紧。

Claims (6)

1.可加热自动对心匀胶机，其特征在于设有感应加热控制器和自动对心平台；所述感应加热控制器安装在自动对心平台上部，自动对心平台设有3个夹紧定位装置，所述3个夹紧定位装置均匀地安装在载片台下表面突出的环形体周围；
所述感应加热控制器设有加热盖和涡流发生线圈，所述涡流发生线圈设在加热盖上；
所述载片台上均匀设有3个导向槽，夹紧定位装置一一对应地定位在所述导向槽处，通过螺钉连接固定，3个夹紧定位装置随载片台同步旋转，且导向槽和夹紧定位装置都指向载片台的中心；
所述夹紧定位装置设有互相配合的气压缸和活塞杆，所述3个夹紧定位装置的无杆腔一侧靠近并指向载片台中心，而气压缸的有杆腔一侧指向自动对心平台边缘。
2.如权利要求1所述可加热自动对心匀胶机，其特征在于所述涡流发生线圈采用螺旋形线圈，螺旋形线圈均布在加热盖上。
3.如权利要求1所述可加热自动对心匀胶机，其特征在于所述活塞杆采用弯折形活塞杆，活塞杆在导向槽内来回移动以控制基片的对心。
4.如权利要求1所述可加热自动对心匀胶机，其特征在于所述气压缸采用附弹簧式单活塞杆气压缸。
5.如权利要求1所述可加热自动对心匀胶机，其特征在于所述气压缸无杆腔一侧通过真空管道与载片台下部环形体连接，通向匀胶机马达轴心处的真空管道。
6.如权利要求1所述可加热自动对心匀胶机，其特征在于所述3个夹紧定位装置的3对互相配合的气压缸和活塞杆均为相同规格和尺寸。
CN201310263210.5A 2013-06-27 2013-06-27 可加热自动对心匀胶机 Active CN103302002B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310263210.5A CN103302002B (zh) 2013-06-27 2013-06-27 可加热自动对心匀胶机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201310263210.5A CN103302002B (zh) 2013-06-27 2013-06-27 可加热自动对心匀胶机

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN103302002A true CN103302002A (zh) 2013-09-18
CN103302002B CN103302002B (zh) 2015-05-13

Family

ID=49127972

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201310263210.5A Active CN103302002B (zh) 2013-06-27 2013-06-27 可加热自动对心匀胶机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN103302002B (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114962402A (zh) * 2022-04-17 2022-08-30 河北汉光重工有限责任公司 一种用于航空托盘生产的涡流感应复合装置

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09148416A (ja) * 1995-11-27 1997-06-06 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板回転保持装置および回転式基板処理装置
CN101121160A (zh) * 2006-08-10 2008-02-13 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 点胶机及其载台
JP2009158767A (ja) * 2007-12-27 2009-07-16 Tokyo Electron Ltd 回転塗布装置
CN201410458Y (zh) * 2009-05-22 2010-02-24 无锡华测电子系统有限公司 匀胶机基片的固定装置
KR20110028817A (ko) * 2009-09-14 2011-03-22 이재철 스타킹과 같은 양말류용 미끄럼방지부재 도포장치
CN102714276A (zh) * 2009-10-29 2012-10-03 大日精化工业株式会社 有机半导体材料、有机半导体薄膜以及有机薄膜晶体管

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH09148416A (ja) * 1995-11-27 1997-06-06 Dainippon Screen Mfg Co Ltd 基板回転保持装置および回転式基板処理装置
CN101121160A (zh) * 2006-08-10 2008-02-13 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 点胶机及其载台
JP2009158767A (ja) * 2007-12-27 2009-07-16 Tokyo Electron Ltd 回転塗布装置
CN201410458Y (zh) * 2009-05-22 2010-02-24 无锡华测电子系统有限公司 匀胶机基片的固定装置
KR20110028817A (ko) * 2009-09-14 2011-03-22 이재철 스타킹과 같은 양말류용 미끄럼방지부재 도포장치
CN102714276A (zh) * 2009-10-29 2012-10-03 大日精化工业株式会社 有机半导体材料、有机半导体薄膜以及有机薄膜晶体管

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114962402A (zh) * 2022-04-17 2022-08-30 河北汉光重工有限责任公司 一种用于航空托盘生产的涡流感应复合装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN103302002B (zh) 2015-05-13

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US20120171372A1 (en) Automatic shutter for adhesive dispenser
CN109759278A (zh) 一种挤压式狭缝涂布封装设备
CN103302002B (zh) 可加热自动对心匀胶机
CN204078688U (zh) 一种石英坩埚的搬运装置
CN205128271U (zh) 一种涂胶机器人
CN105301911A (zh) 一种用于高精密工件台的无管路物料吸附装置及方法
CN205945458U (zh) 一种电机刷架定子智能装配设备
CN109445140B (zh) 用于不规则液晶调光玻璃的边口封装装置
CN107638994A (zh) 一种吸附式点胶机及其方法
CN201410458Y (zh) 匀胶机基片的固定装置
CN206064744U (zh) 便于对注油针进行精确调节的自动涂油设备
CN204276273U (zh) 真空点胶机
CN103433627A (zh) 一种简易的飞片粘贴及夹紧专用装置及其使用方法
CN105119434B (zh) 一种永磁无刷外转子轮毂电机的永磁体贴装半自动机
CN106826522B (zh) 一种新型磁流变阻尼可控高速玻璃抛光机
CN203245090U (zh) 一种自动点胶机
CN205755273U (zh) 一种真空吸附装置
CN109291701B (zh) 高精度绘图装置
CN209448969U (zh) 一种用于贴片机的贴合机构
CN112221863A (zh) 清污型工件上胶机
CN215476277U (zh) 一种立式圆瓶定位贴标机
CN207463570U (zh) 一种吸附式点胶机
CN203993511U (zh) 单面研磨机的重锤盘自动定位升降机构
CN207377931U (zh) 工件内孔安装防撞件装置
CN214119534U (zh) 一种用于流体泵内磁转子加工的升降装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
CP02 Change in the address of a patent holder

Address after: 363000 the southern tip of Xiamen University Zhangzhou campus, Zhangzhou, Fujian

Patentee after: XIAMEN University

Address before: Xiamen City, Fujian Province, 361005 South Siming Road No. 422

Patentee before: XIAMEN University

CP02 Change in the address of a patent holder