CN1986358A - 零件供给装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种具有可提高耐久性并且可自由选择刚性而激发适当的振动的振动板，且使防振效率提高并且可降低弹簧上质量的重心位置的高度而实现稳定的零件的输送以及零件供给装置自身的低矮化的零件供给装置。压电元件(411)粘贴在平板状弹性部件(420)上。可使振动板(400)的铅直板部分的刚性高于水平板部分地选择厚度，还可提高水平板部分以及铅直板部分的结合部的刚性地选择厚度。又，连接在锤部(302)和压电式振动部(303)上的支承弹簧(380)与连接在基础部(301)以及压电式振动部(303)上的防振用板簧(390)在铅直方向重迭设置。

Description

零件供给装置

技术领域

本发明涉及可利用振动传送零件的零件供给装置。

技术背景

现在，作为通过给予零件振动而使零件排列同时进行零件的供给的零件供给装置之一，众所周知的是零件供给部。该零件供给部可通过给予零件振动而调整零件的姿势，供给到后面工序。

在专利文献1中，介绍了即使是高频驱动时也可确保充分的振幅并且抑制作用在振动发生机构上的应力，容易进行振动发生机构的更换或共振频率的改变以及调整的压电驱动式零件供给部。

又，在专利文献2中，介绍了可减少作用在压电元件上的荷重，可望放大振动振幅，获得充分实用的输送速度的压电驱动型输送装置。

在专利文献2所述的压电驱动型输送装置上，利用弹性板状的连结部件的下端部和上端部分别连接将压电元件安装在弹性板上而构成的加振体与输送体，并且通过改变这些连结部件的板宽或板厚，而将连结部件的弯曲刚性设定得低于上述弹性板的弯曲刚性。

从而在振动中利用其弯曲刚性设得低的部分的弹性变形容许加振体与输送体之间的角度变化，作用在加振体上的荷重减少而可望增大加振体以及输送体上的振动振幅。

又，在专利文献3中，介绍了通过增大连结部件的部位的弯曲刚性之比而可进行输送零件的高速输送的压电驱动型输送装置。

在专利文献3所述的压电驱动型输送装置上，是将作为压电驱动型输送装置的构成要素之一的连结部件层叠二个以上的连结部件而作为层叠连结部件的。

从而可通过比现在更进一步地提高连结部件的部位的弯曲刚性之比而可进行输送零件的高速输送。

专利文献1：国际公开第2004/067413号目录；

专利文献2：特公平6-13369号公报；

专利文献3：特开平7-257724号公报。

但是，在现在的零件供给部上存在2个问题。下面分别说明。首先第1个问题，是在现在的零件供给部上，构成为将基础部、平衡锤、加振部以及输送通道顺序从下向上层叠的结构，所以支承弹簧上的摆动方向与防振用板簧上的摆动方向为相反的方向而存在不能给予输送通道均匀的振动的问题。下面详细说明。

图18是用于说明现在的零件供给部900的支承弹簧的摆动方向与防振用板簧的摆动方向的模式图。

如图18所示，连接加振部902与平衡锤903的支承弹簧980，是向图中的箭头R1的方向摆动的状态，但连接平衡锤903与基础部901的防振用板簧990是向图中的箭头R11的方向摆动的状态，弯曲模式是相互反相位，向相对的方向摆动。结果，存在输送通道905上的摆动不稳定，零件的输送停止或反送的问题。

并且在使用了支承弹簧980以及防振用板簧990的零件供给装置上，由于直线状配置支承弹簧980以及防振用板簧990，所以零件供给装置的尺寸(图中H₁₀)大。

又，不限于专利文献1所述的零件供给装置，在一般的使用支承弹簧以及防振用板簧的零件供给装置上，由于使用2种弹簧，所以弹簧上质量的重心位置与防振用板簧的支点的距离大，存在输送零件不稳定、斜传、滞留或发生零件供给装置的驱动不稳定、横摆的问题。

下面说明第2个问题。第2个问题是在专利文献2所述的压电驱动型输送装置上，在激发振动的压电弹簧上直接安装连结弹簧，使该连结弹簧共振而驱动压电驱动型输送装置，所以在压电弹簧上直接作用作为输送体的槽或螺旋状输送通道的荷重。而且由于支承该荷重并且激发振动，所以存在不能在压电弹簧上激发适当的振动的问题。又，在激发振动时，也由于输送体的荷重作为与本来的压电元件的驱动方向不同的剪切方向的负荷而作用在压电元件上，所以存在担心长期寿命的问题。

又，在专利文献3所述的压电驱动型输送装置上，也由于在压电元件上串联安装连结弹簧，并且使连结弹簧层叠以提高弯曲刚性，所以与专利文献2所述的压电驱动型输送装置一样，在压电弹簧上直接作用输送体的荷重。其结果，存在不能激发适当的振动的问题以及长期寿命存在问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种提高防振效率，并且可降低弹簧上质量的重心位置的高度而实现稳定的零件的输送以及零件供给装置自身的低矮化的零件供给装置。

本发明的另一目的在于提供一种具有可提高耐久性并且可自由选择刚性而激发适当的振动的振动板的零件供给装置。

本发明的又一目的在于提供一种具有如下振动板的零件供给装置：可提高耐久性，并且可自由选择刚性；使安装精度提高，可削减制造工时以及保养工时，并且可激发适当的振动；使防振效率提高，并且可降低弹簧上质量的重心位置的高度而实现稳定的零件输送以及零件供给装置自身的低矮化。

(1)本发明的零件供给装置是给予零件振动而进行输送的零件供给装置，包含：输送部，具有用于输送零件的输送通道；加振部，支承输送部；固定部，作为与加振部不同的部件设置；驱动部件，一端安装在加振部上，另一端安装在锤部上，可弹性变形；振子，对应电信号产生应力；振动板，具有水平配置的水平板部分以及铅直配置的铅直板部分，在铅直板部分的正反面的至少一面上粘贴振子而激发振动；振动板是水平板部分以及铅直板部分中的某一方安装在锤部上，水平板部分以及铅直板部分的另一方安装在加振部上，水平板部分以及铅直板部分的某一方上的水平板部分以及铅直板部分的接合部的厚度至少比另一方的厚度厚。

在本发明的零件供给装置上，振子粘贴在振动板上。而且在给予振子电信号时，粘贴了振子的振动板驱动，而激发振动，安装在振动板的铅直板部分以及水平板部分的某一面上的固定部与安装在振动板的另一面上的加振部反相位振动。而且，振动传递到支承在加振部上的输送部，从输送部的上游向下游方向输送零件。

此时，振动板的水平板部分与铅直板部分的厚度不同，所以可将振动板的水平板部分与铅直板部分的刚性设计为不同的值。又，可在振动板的水平板部分以及铅直板部分的至少接合部增加厚度。从而可通过在需要刚性的部分增加厚度，削减刚性要求少的部分的厚度，实现包含具有最佳刚性和最佳振动频率的振动板的零件供给装置。

又，由于可利用驱动部件支承加振部和输送部的荷重，所以可望提高振动板以及振子的耐久性，并且可从粘贴了振子的振动板激发适当的振动。

(2)振动板也可以包含：第1平板状弹性部件，形成水平板部分；第2平板状弹性部件，形成铅直板部分，与第1平板状弹性部件不同；结合部件，结合利用第1平板状弹性部件形成的水平板部分与利用第2平板状弹性部件形成的铅直板部分。

此时，通过利用结合部件结合第1平板状弹性部件与第2平板状弹性部件形成振动板。而且，形成水平板部分的第1平板状弹性部件利用与形成铅直板部分的第2平板状弹性部件不同的部件形成。因此，可自由调整第1平板状弹性部件的厚度和第2平板状弹性部件的厚度。通过使用结合部件，对现在的弯曲部分也可提高刚性。这样可将振动板的水平面和铅直面的刚性设计为不同的值。从而通过在增加需要刚性的面的厚度，削减刚性要求小的部分的厚度，可实现包含具有最佳刚性和最佳振动频率的振动板的零件供给装置。

并且由于利用结合部件结合第1平板状弹性部件与第2平板状弹性部件，所以与弯曲单一的平板状弹性部件形成水平板部分以及铅直板部分时相比可大幅提高直角精度。其结果，可防止将振动板安装在固定部以及加振部上时的安装错位，可削减制造工时。

又，由于可利用与振动板一起设置的驱动部件支承加振部以及输送部的荷重。所以可望提高振动板以及振子的耐久性，并且可从振动板以及振子激发适当的振动。

(3)振动板也可由平板状弹性部件构成，所述平板状弹性部件具有纵向，在沿纵向的一部分的区域具有厚度较厚的部分；通过使平板状弹性部件的厚度较厚的部分弯曲，形成铅直板部分以及水平板部分。

此时，由于通过加工而减薄水平板部分和铅直板部分的某一方的厚度，所以可自由调整水平板部分的厚度和铅直板部分的厚度。其结果，可将振动板的水平板部分和铅直板部分的刚性设计为不同的值。从而可通过增加需要刚性的面的厚度，削减刚性要求小的部分的厚度，实现包含具有最佳刚性和最佳振动频率的振动板的零件供给装置。

(4)输送通道也可是直线状输送通道。

此时，由于输送通道也可是直线状输送通道，所以可给予直线状输送通道振动而输送零件。

(5)本发明的零件供给装置还具有基础部和和防振部件，防振部件安装在加振部和基础部上，使从加振部向基础部传递的振动减弱；驱动部件安装在加振部、和在比加振部更下方且比配置在最下部的基础部更上方的固定部上，通过弹性变形，在固定部和加振部上发生相互反相位的振动。

此时，从下部顺序设置基础部、固定部、加振部，防振部件安装在加振部和基础部上，驱动部件安装在加振部和固定部上。其结果，由于驱动部件和防振部件在加振部以及固定部之间重迭配置，所以驱动部件以及防振部件的相互的弯曲模式成反相位，可提高防振效率。又，相对现在驱动部件以及防振部件相互直线状配置的状态，驱动部件的纵向的长度与防振部件的纵向的一部分重迭设置，所以可实现零件供给装置的低矮化，可缩短部件上质量的重心位置与防振部件的支点的距离。其结果，可防止输送零件不稳定、斜传、滞留或发生零件供给装置的驱动不稳定、横摆。

(6)驱动部件以及防振部件也可配置成在上下方向的高度方向具有高度相互重合的部分。

此时，由于驱动部件以及防振部件在上下方向的高度方向具有高度相互重合的部分，所以可实现零件供给装置的低矮化，可缩短部件上质量的重心位置与防振部件的支点的距离。其结果，可防止输送零件不稳定、斜传、滞留或发生零件供给装置的驱动不稳定、横摆。

(7)驱动部件以及防振部件也可以以相互层叠的状态配置。

此时，由板状的弹性板构成的防振部件以及驱动部件由于以相互层叠的状态配置，所以驱动部件以及防振部件的相互的弯曲模式成反相位，可提高防振效率。

(8)驱动部件以及防振部件分别由具有孔的平板状的弹性板形成，防振部件以及驱动部件也可利用相同的轴部件贯通防振部件的孔以及驱动部件的孔而相对加振部固定。

此时，驱动部件以及防振部件利用同轴部件、例如螺栓等贯通孔中而固定在加振器上。因此，相当对于现在驱动部件以及防振部件相互直线状配置的状态，驱动部件的纵向的长度与防振部件的纵向的一部分重迭设置，所以可实现零件供给装置本身的低矮化，可缩短部件上质量的重心位置与防振部件的支点的距离。并且可削减螺栓等固定部件的零件数量，所以可望降低零件自身的成本以及制造时的成本。

附图说明

图1是表示本发明的一实施形式的微型零件供给装置的一例的模式图。

图2是表示本发明的一实施形式的微型零件供给装置的一例的模式图。

图3是表示在本实施形式中输送的微型零件的形状的一例的模式立体图。

图4是切除第1实施形式的线性送料器的一部分后的模式侧视图。

图5是表示图4的振动板的一例的模式组装图。

图6是图5的振动板的模式侧视图。

图7是用于说明图4所示的本实施形式的线性送料器的低矮化的一例的模式侧视图。

图8是表示支承弹簧以及防振用板簧的构造的一例的模式图。

图9是用于说明图8的支承弹簧以及防振用板簧的构造的模式剖面图。

图10是用于说明线性送料器的效果的图。

图11是用于说明线性送料器的效果的图。

图12是表示图5以及图6的振动板的另一例的侧视图。

图13是表示图5的振动板以及图12的振动板的又一例的侧视图。

图14是表示图7的线性送料器的另一例的模式侧视图。

图15是表示图14的支承弹簧以及防振用板簧的构造的一例的模式图。

图16是表示图14的支承弹簧以及防振用板簧的构造的一例的模式图。

图17是表示线性送料器的另一例的模式侧视图。

图18是用于说明现在的零件供给部的支承弹簧的摆动方向和防振用板簧的摆动方向的模式图。

具体实施方式

以下参照图说明本发明的一实施形式。作为本发明的零件供给装置的一例，说明适合输送微型零件的微型零件供给装置的情况。

(一实施形式)

图1以及图2是表示本发明的一实施形式的微型零件供给装置100的一例的模式图。图1表示微型零件供给装置100的上面，图2表示零件微型供给装置100的侧面。

如图1以及图2所示，微型零件供给装置100包含零件供给部200、线性送料器300以及载物台900。

又，如图2所示，零件供给部200包含碗状输送部210和压电式振动部220。

在本实施形式的微型零件供给装置100上，在载物台900上设置零件供给部200以及线性送料器300。在零件供给部200的微型零件排出部211上连接线性送料器300的微型零件送入部311。并且在线性送料器300的环流式输送部317上连接零件供给部200的收纳通道217。

由零件供给部200的压电式振动部220上设置的振子400(未图示)振荡的振动给予压电式振动部220上部载置的碗状输送部210。在碗状输送部210内，沿碗状输送部210的内周设置螺旋状的微型零件输送通道。微型零件800供给到碗状输送部210的中央底部，利用来自压电式振动部220的振动微型零件800在螺旋状的输送通道上输送，从微型零件排出部211送到线性送料器300的微型零件送入部311。

又，在线性送料器300上设置主要由压电式振动部303、振动板400以及锤部(平衡锤)302构成的1台加振器，利用加振器振荡的振动给予线性送料器300的各输送通道。从而微型零件供给装置100可向微型零件供给装置100的后面工序提供微型零件800。

又，在线性送料器300的输送通道上存在没有整理成既定姿势的微型零件800时，或者在后面工序发生故障而使微型零件800不输送到后面工序侧时，微型零件800从环流式输送部317通过零件供给部200的收纳通道217返回碗状输送部210的中央底部。

然后，图3是表示在本实施形式中输送的微型零件800的形状的一例的模式立体图。

如图3所示，微型零件800由具有长度L、高度H、宽度B的长方体构成。长度L、高度H以及宽度B的关系为H＜B＜L的关系。这样，微型零件800由平板状的微型零件构成。

又，微型零件供给装置100多在微型零件800的一面形成电极，一般微型零件800的大小是长度L为3.2mm～8mm程度、宽度B为2.5mm～5.0mm程度、长度H为0.8mm～1.7mm程度。

然后，图4是去掉第1实施形式的线性送料器300的一部分后的模式侧视图。

线性送料器300主要包含防振台301(基础部)、锤部(平衡锤)302、压电式振动部303、第1输送部件(直线状输送通道部件)320、第2输送部件(直线状输送通道部件)330、连接部件340和第3输送部件(环流输送部件)350、连结板370、支承弹簧380、防振用板簧390以及振子400。

如图4所示，在防振台301的上方设置锤部(平衡锤)302，在锤部(平衡锤)302的上方设置压电式振动部303。锤部(平衡锤)302由与压电式振动部303以及第1输送部件320等的重量对应地形成的重量构成。

如图4所示，压电式振动部303从防振台301的侧面利用多个支承弹簧380保持。又，压电式振动部303从锤部(平衡锤)302的侧面利用多个支承弹簧380保持。又，在本实施形式中的线性送料器300上，支承弹簧380以及防振用板簧390相对铅直方向重迭配设。并且支承弹簧380以及防振用板簧390以离铅直方向大致同角度地倾斜的状态设置。

又，在图4的锤部(平衡锤)302以及压电式振动部303的内部设置振动板400。该振动板400由形成铅直板部分的平板状弹性部件420、形成水平板部分的平板状弹性部件421、结合平板状弹性部件420以及平板状弹性部件421的结合部件422、以及压电元件411构成。平板状弹性部件420安装在压电式振动部303上，平板状弹性部件421安装在锤部(平衡锤)302上。该振动板400的详细构造后面叙述。

在压电式振动部303的上部固定第1输送部件320，在第1输送部件320的一端侧连接第2输送部件330，在第1输送部件320的侧面同时设置连接部件340。又，在第1输送部件320上通过多个弹性板状部件360设置第3输送部件350。即，构成平板状的多个弹性板状部件360的一端利用螺栓固定在第1输送部件320上，另一端利用螺栓固定在第3输送部件350的背面。在该状态下，多个弹性板状部件360以比铅直面更接近水平面的角度倾斜设置。

如以上那样，在本实施形式的线性送料器300上，利用粘贴了后述的压电元件411的振动板400激发振动，利用支承弹簧380保持的压电式振动部303以及锤部(平衡锤)302反相位振动，压电式振动部303上的振动给予第1输送部件320，微型零件800沿第1输送部件320上的输送通道输送。

然后，图5是表示图4的振动板400的一例的模式组装图，图6是图5的振动板400的模式侧视图。

首先如图5所示，在平板状弹性部件420的正反面的中央部配设压电元件411。该平板状弹性部件420以及压电元件411构成的弹簧常数根据由输送的微型零件800的重量、大小以及第1输送部件320的重量等决定的任意的共振频率的条件适当选择。

具体地说，在振子400上，分极处理压电陶瓷而在平板状弹性部件420的一面(表面)粘贴具有阳极的分极电位的压电元件411，在平板状弹性部件420的另一面(背面)粘贴具有阴极的分极电位的压电元件411。从而在平板状弹性部件420的正反面形成由多个压电元件411构成的双压电晶片式压电元件构造。

而且，通过在该多个压电元件411上给予(附加)电荷而在振动板400上激发振动，利用支承弹簧380保持的压电式振动部303与锤部(平衡锤)302相互反方向振动。

接下来如图5所示，在振动板400上设置粘贴了压电元件411的平板状弹性部件420作为铅直板部分，设置平板状弹性部件421作为水平板部分。又，铅直板部分包含的振动板400的结合部件422构成具有纵向的大致四棱柱形状。结合部件422具有将纵向的边作为一边的相邻的2面423、424，由该2面423、424形成的角度设为90度。又，在面423以及面424上设置可螺纹固定的孔(未图示)。

在平板状弹性部件420上，在正反面的大致中央部分粘贴压电元件41 1，在没有粘贴压电元件41 1的部分设置贯通孔430、440。另一方面，在平板状弹性部件421上设置贯通孔431、450。

螺栓A通过平板状弹性部件420的下面的部分设置的贯通孔430紧固在结合部件422的面423上设置的孔内，螺栓B通过平板状弹性部件421的贯通孔431紧固在结合部件422的面424上设置的孔内。

从而平板状弹性部件420以及平板状弹性部件421以大约90度的角度利用螺栓A、B固定在结合部件422上，形成图6所示的大致L字形的振动板400。

然后如图4以及图6所示，振动板400的平板状弹性部件421利用螺栓C紧固在锤部(平衡锤)302上，振动板400的平板状弹性部件420安装在压电式振动部302上。从而振动板400内装在线性送料器300中。另外，在本实施形式中，平板状弹性部件420为厚度L1、刚性值Nm1；平板状弹性部件421为厚度L2、刚性值Nm2。这样，由于平板状弹性部件420、421可分别由不同的部件形成，所以不存在相互部件的依赖而可自由选择厚度以及刚性值。

如以上那样，由于在本实施形式中的零件供给装置上，振动板400的水平板部分的平板状弹性部件421与铅直板部分的平板状弹性部件421的厚度不同，所以可将振动板400的水平板部分的平板状弹性部件421与铅直板部分的平板状弹性部件420的刚性值Nm1、Nm2设为不同的值。又，可在振动板400的水平板部分和铅直板部分的至少接合部增加厚度。从而可通过在需要刚性的接合部分等部分增加厚度，削减刚性要求少的部分的厚度，实现包含具有最佳刚性和最佳振动频率的振动板400的零件供给装置100。特别是，由于利用结合部件422结合第1平板状弹性部件420与第2平板状弹性部件421，所以与弯曲单一的平板状弹性部件形成水平板部分以及铅直板部分时相比可大幅提高直角精度。其结果，可防止将振动板400安装在锤部(平衡锤)302以及压电式振动部303上时的安装错位，可削减制造工时以及保养工时。

又，由于可利用支承弹簧380支承第1输送部件320以及压电式振动部303的荷重，所以可望提高振动板400以及压电元件411的耐久性，并且可从粘贴了压电元件411的振动板400激发适当的振动。

并且，可自由调节第1平板状弹性部件420的厚度和第2平板状弹性部件421的厚度。其结果，可将振动板的水平面与铅直面的刚性设计为不同的值。又，由于增大了介入这些部件之间的接合部422的刚性，所以可通过增加需要刚性的面的厚度，削减刚性要求少的部分的厚度，实现包含具有最佳刚性和最佳振动频率的振动板的零件供给装置。

然后，图7是用于说明图4所示的本实施形式的线性送料器300的低矮化的一例的模式侧视图。图7所示的线性送料器300与图4的线性送料器300一样。下面说明支承弹簧380以及防振用板簧390的构造。

如图7所示，在本实施形式的线性送料器300上，重迭配置支承弹簧380以及防振用板簧390。

然后，图8是表示支承弹簧380以及防振用板簧390的构造的一例的模式图。

如图8所示，支承弹簧380以及防振用板簧390分别由平板状的弹性部件构成。在支承弹簧380以及防振用板簧390之间设置2个平板状衬垫391以及2个环状衬垫392。

如图8所示，在支承弹簧380的一端侧设置2个贯通孔380a，在另一端侧设置2个贯通孔380b。又，在防振用板簧390的一端侧设置2个贯通孔390a，在中央部附近设置2个贯通孔390b，在另一端侧设置2个贯通孔390c。

螺栓385具有弹簧垫圈以及平垫片，并且贯通支承弹簧380的贯通孔380a、贯通板状衬垫391的贯通孔391a以及防振用板簧390的贯通孔390a，固定在压电式振动部303上。

又，螺栓386具有弹簧垫圈以及平垫片，并且贯通支承弹簧380的贯通孔380b、环状衬垫392以及防振用板簧390的贯通孔390b，固定在锤部(平衡锤)302上。

又，螺栓395具有弹簧垫圈以及平垫片，并且贯通贯通孔390c而固定在基础部301上。

图9是用于说明图8所示的支承弹簧380以及防振用板簧390的构造的模式剖面图。

如图8以及图9所示，防振用板簧390的贯通孔390b的直径比其他的贯通孔380a、380b、390a、390c大。即，防振用板簧390的贯通孔390b的直径形成比螺栓386的头部大的孔径。从而支承弹簧380不会干涉防振用板簧390的活动，可将压电式振动部303的振动传递到锤部(平衡锤)302侧。

下面说明本实施形式的线性送料器300的效果。

图10以及图11是用于说明线性送料器300的效果的图。图10(a)是表示线性送料器300的支承弹簧380以及防振用板簧390的构造的图，图10(b)是表示现在的线性送料器(参照图18)的支承弹簧980以及防振用板簧990的构造的图。又，图11(a)是表示本发明的支承弹簧380以及防振用板簧390的初始状态(添加符号Z)以及最大振幅状态(没有添加符号)的图，图11(b)是表示现在的支承弹簧980以及防振用板簧990的初始状态(添加符号Z)以及最大振幅状态(没有添加符号)的图。

图10(a)所示的支承弹簧380以及防振用板簧390在线性送料器300驱动时以同样的模式变形。另一方面，图10(b)所示的支承弹簧980以及防振用板簧990在线性送料器300驱动时以相互不同的模式(图中X1以及X2)变形。以下说明模式。

在此，如图11(a)所示，初始状态的支承弹簧380Z以及防振用板簧390Z以相互重迭的状态设置，支承弹簧380Z的端部与防振用板簧390Z的端部的距离是距离L1。又，在最大振幅的状态支承弹簧380以及防振用板簧390活动(模式)一致，支承弹簧380的端部与防振用板簧390的端部的距离L2与距离L1大致相等，距离的变化率L2/L1所示为极近似1的值。

另一方面，如图10(b)以及图11(b)所示，初始状态的支承弹簧980Z以及防振用板簧990Z配置在一直线上，相互的间隔为距离L3。又，在最大振幅的状态支承弹簧980以及防振用板簧990活动(模式)相反，间隔为距离L4。该距离L3与距离L4是距离L3＜距离L4的关系，距离的变化率L4/L3大于1，例如在图11(b)中变化率接近6。

如上那样，图10(b)以及图11(b)所示的现在的支承弹簧980以及防振用板簧990，由于振动时相互的间隔从距离L3的状态扩大到距离L4的状态，所以变成相互拉紧的状态，从而发生振动的紊乱。其结果使支承弹簧980和防振用板簧990活动(模式)不一致，分别进行各不相同的活动，难以发挥防振用板簧990的防振效果。

另一方面，图10(a)以及图11(a)所示的支承弹簧380以及防振用板簧390以相同活动(模式)振动，振动时相互的间隔从距离L1的状态移到与距离L1大致一样的距离L2，所以不会发生支承弹簧380以及防振用板簧390上的振动的紊乱。其结果支承弹簧380以及防振用板簧390活动(模式)一致，容易发挥防振用板簧390的防振效果。

从以上可了解到在本实施形式的线性送料器300上，与具有图10(b)构造的线性送料器比较，防振效率提高。

又，如图10(a)所示，支承弹簧380与防振用板簧390的纵向的一部分重迭配设，所以可缩短铅直方向的长度。从而与图18所示的线性送料器的全高H₁₀比较，图7的线性送料器300的全高H₁变低。又，与图18所示的防振用板簧990的支点高度H₂₀比较，图7的防振用板簧390的支点高度H₂变低。并且从防振用板簧990的支点高度到防振用板簧990上的质量的重心W的距离L₃₀+H₂₀也比从图7所示的防振用板簧390的支点高度到防振用板簧990上的质量的重心W的距离L₃+H₂短。

如以上那样，如果是本发明的线性送料器300，则可防止输送零件不稳定、斜传、滞留或线性送料器300的驱动不稳定、横摆，可进行稳定的零件输送。

(另一例)

然后，图12是表示图5以及图6的振动板400的另一例的侧视图。图12所示的振动板400a与图5以及图6所示的振动板400的不同点如下。

图12所示的振动板400a与图5以及图6所示的振动板400不同，由平板状弹性部件420a以及压电元件411构成。图12所示的平板状弹性部件420a是将一部分区域的厚度从厚度L1切削加工到厚度L2，由具有不同厚度的平板状弹性部件构成。具有不同厚度的平板状弹性部件420a通过在厚度L1的位置弯曲大约90度而形成。在图12所示的平板状弹性部件420a上，厚度L1的区域被设为铅直板部分，厚度L2的区域被设为水平板部分。

又，在平板状弹性部件420a的铅直面的正反面粘贴压电元件411。而且，通过在压电元件411上附加电信号而在平板状弹性部件420a上产生应力。在此，在本实施形式中，由于在刚性高的厚度L1的区域，将平板状弹性部件420a弯曲90度，所以可提高弯曲部分的刚性，在振动板400a上可激发稳定的振动。

此时，通过加工或使部件层叠，可将振动板400a的水平板部分与铅直板部分的刚性以及厚度设计为不同的值。从而通过增加需要刚性的面的厚度，削减刚性要求少的部分的厚度，可实现包含具有最佳刚性和最佳振动频率的振动板400a的微型零件供给装置100。

(又一例)

然后，图13是表示图5的振动板400以及图12的振动板400a的又一例的侧视图。

图13所示的振动板400b与图5、图6以及图12所示的振动板400、400a的不同点如下。

图13所示的振动板400b由平板状弹性部件420b、平板状弹性部件421b、压电元件411以及螺栓D构成。

平板状弹性部件420b构成厚度L1，平板状弹性部件421b构成厚度L2。另外，在本实施形式中，将平板状弹性部件420b、421b的厚度设计为不同的厚度，但不限于此，也可由相同厚度形成。

平板状弹性部件420b通过将部件前端弯曲大约90度而形成。又，平板状弹性部件421b向与该平板状弹性部件420b的弯曲方向相差180度的反方向延伸地沿弯曲的平板状弹性部件420b的前端面设置。而且，如图13所示，该弯曲的平板状弹性部件420b的前端面与平板状弹性部件421b的端面利用螺栓D紧固。

这样在图13的振动板400b上，形成厚度L1的铅直板部分，形成厚度L2的水平板部分，形成厚度L1+L2的铅直板部分以及水平板部分的结合部。其结果，可在结合部形成具有高刚性的振动板400b。另外该结合部包含水平板部分。

又，在平板状弹性部件420b的铅直面的正反面粘贴压电元件411。而且，通过在压电元件411上附加电信号而在平板状弹性部件420b上产生应力。在此，在本实施形式中，由于在刚性高的厚度L1+L2的平板状弹性部件420b、421b使其弯曲90度，所以可提高弯曲部分的刚性，在振动板400b可激发稳定的振动。

此时，通过使部件层叠，可将振动板400b的水平板部分与铅直板部分的刚性以及厚度设计为不同的值。从而可通过增加需要刚性的面的厚度，削减刚性要求少的部分的厚度，实现包含具有最佳刚性和最佳振动频率的振动板400b的微型零件供给装置100。

(又一例)

然后，图14是表示图7的线性送料器300的另一例的模式侧视图。

图14所示的线性送料器300a与图7所示的线性送料器300的不同点如下。

如图14所示，在线性送料器300a上，在图7的支承弹簧380的配置场所设置防振用板簧390，在图7的防振用板簧390的配置场所设置支承弹簧380。即，防振用板簧390设置在支承弹簧380与锤部302之间，支承弹簧380设置在防振用板簧390以及线性送料器300的外侧。以下详细说明其配置。

图15是表示图14的支承弹簧380以及防振用板簧390的构造的一例的模式图。

如图15所示，支承弹簧380以及防振用板簧390分别由平板状的弹性部件构成。在支承弹簧380以及防振用板簧390之间设置平板状衬垫391。

如图15所示，在支承弹簧380的一端侧设置2个贯通孔380a，在另一端侧设置2个贯通孔380b。又，在防振用板簧390的一端侧设置2个贯通孔390a，在中央部附近设置2个贯通孔390d，在另一端侧设置2个贯通孔390c。在此，贯通孔390d具有比螺栓386a的头部大的孔径。

螺栓385具有弹簧垫圈以及平垫片，并且贯通防振用板簧390的贯通孔390a、平板状衬垫391的贯通孔391a以及支承弹簧380的贯通孔380a固定在压电式振动部303上。

又，螺栓386a具有弹簧垫圈以及平垫片，并且通过支承弹簧380的贯通孔380a固定在锤部(平衡锤)302上。

又，螺栓395a具有弹簧垫圈以及平垫片，并且贯通贯通孔390c固定在基础部301上。

图16是表示图14的支承弹簧380以及防振用板簧390的构造的一例的模式图。

如图15以及图16所示，防振用板簧390的贯通孔390d的直径大于其他的贯通孔380a、380b、390a、390c。从而支承弹簧380不会干涉防振用板簧390的活动，可将锤部(平衡锤)302的振动传递到压电式振动部303侧。

如以上那样，如果是本发明的线性送料器300a，则可防止输送零件不稳定、斜传、滞留或线性送料器300a的驱动不稳定、横摆，可进行稳定的零件输送。

然后，图17是表示线性送料器300、300a的又一例的模式侧视图。

图17所示的线性送料器300b，将防振用板簧390设置在与设置支承弹簧380的面不同的面上。即，在基础部301以及压电式振动部303的各自上形成凸部，利用螺栓将防振用板簧390安装固定在压电式振动部303和基础部301上形成的凸部上。

此时，由于可使支承弹簧380以及防振用板簧390的振动模式一致，所以可防止输送零件不稳定、斜传、滞留或线性送料器300b的驱动不稳定、横摆，可进行稳定的零件输送。

在本发明的零件供给装置上，线性送料器300、300a、300b相当于零件供给装置，基础部301相当于基础部，锤部(平衡锤)302相当于锤部，压电式振动部303相当于加振部，防振用板簧390相当于防振部件，支承弹簧380相当于驱动部件，螺栓385相当于相同的轴部件，压电元件411相当于振子，振动板400、400a以及400b相当于振动板，结合部件422相当于连结部件，平板状弹性部件420、420a、420b相当于第1平板状弹性部件，平板状弹性部件421、421b相当于第2平板状弹性部件，厚度L1、L2、(L1+L2)相当于厚度，第1输送部件320、第2输送部件330、第3输送部件350相当于输送部，微型零件800相当于零件。

本发明于以上述优选的一实施形式记述，但本发明不限于此。应理解为在不超出本发明的精神和范围可另外实施各种实施形式。并且在本实施形式中，叙述了本发明的构成的作用和效果，但这些作用和效果是一个例子，本发明不限于此。

Claims (8)

1、一种零件供给装置，给予零件振动而进行输送，其特征在于，包含：

输送部，具有用于输送上述零件的输送通道；

加振部，支承上述输送部；

固定部，作为与上述加振部不同的部件设置；

驱动部件，一端安装在上述加振部上，另一端安装在上述锤部上，可弹性变形；

振子，对应电信号产生应力；

振动板，具有水平配置的水平板部分以及铅直配置的铅直板部分，在上述铅直板部分的正反面的至少一面上粘贴上述振子而激发振动；

上述振动板是上述水平板部分以及上述铅直板部分中的某一方安装在上述锤部上，上述水平板部分以及上述铅直板部分的另一方安装在上述加振部上，上述水平板部分以及上述铅直板部分的某一方上的上述水平板部分以及上述铅直板部分的接合部的厚度至少比另一方的厚度厚。

2、如权利要求1所述的零件供给装置，其特征在于，上述振动板包含：

第1平板状弹性部件，形成上述水平板部分；

第2平板状弹性部件，形成上述铅直板部分，与上述第1平板状弹性部件不同；

结合部件，结合利用上述第1平板状弹性部件形成的水平板部分与利用上述第2平板状弹性部件形成的铅直板部分。

3、如权利要求1所述的零件供给装置，其特征在于，

上述振动板由平板状弹性部件构成，所述平板状弹性部件具有纵向，在沿纵向的一部分的区域具有厚度较厚的部分；

通过使上述平板状弹性部件的上述厚度较厚的部分弯曲，形成上述铅直板部分以及上述水平板部分。

4、如权利要求1至3中任一项所述的零件供给装置，其特征在于，上述输送通道是直线状输送通道。

5、如权利要求1所述的零件供给装置，其特征在于，

还具有基础部和防振部件，所述防振部件安装在上述加振部和上述基础部上，使从上述加振部向上述基础部传递的振动减弱；

上述驱动部件安装在上述加振部、和在上述加振部的下方且在配置于最下部的上述基础部的上方设置的上述固定部上，通过弹性变形，在上述固定部和上述加振部上发生相互反相位的振动。

6、如权利要求5所述的零件供给装置，其特征在于，

上述驱动部件以及上述防振部件配置成在上下的高度方向具有高度相互重合的部分。

7、如权利要求6所述的零件供给装置，其特征在于，

上述驱动部件以及上述防振部件以相互层叠的状态配置。

8、如权利要求5至7中任一项所述的零件供给装置，其特征在于，

上述驱动部件以及上述防振部件分别由具有孔的平板状的弹性板形成，

上述防振部件以及上述驱动部件利用相同的轴部件贯通上述防振部件的孔以及上述驱动部件的孔而相对上述加振部固定。

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