JP2007168936A - 部品供給装置 - Google Patents

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修一 成川
Tetsuyuki Kimura
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Abstract

【課題】耐久性の向上を図ることができるとともに、自由に剛性を選択して適切な振動を励起させることができる振動板を有する部品供給装置を提供することである。
【解決手段】圧電素子411が平板状弾性部材420に貼着される。電気的信号が圧電素子411に与えられた場合、平板状弾性部材420において振動が励起され、振動板400の鉛直板部分および水平板部分のいずれか一方の面に取り付けられた錘部302と、振動板400の他方の面に取り付けられた圧電式振動部303とが、支持ばね380に保持されつつ逆位相で振動する。また、振動板400の水平板部分よりも鉛直板部分の方の剛性が高くなるように厚みを選択でき、また水平板部分および鉛直板部分の結合部の剛性を高めるように、厚みを厚くすることができる。
【選択図】図4

Description

本発明は、部品を振動により移送することが可能な部品供給装置に関する。
従来、部品に対して振動を与えることにより、部品を整列させるとともに、部品の供給を行う部品供給装置の一つとしてパーツフィーダがよく知られている。このパーツフィーダは、部品に振動を与えることにより部品の姿勢を整え、次工程に供給することができる。
特許文献1には、圧電素子に加わる荷重を減少でき、振動振幅の拡大を図り、十分実用として使用できる搬送速度が得られる圧電駆動形搬送装置について開示されている。
特許文献1に記載された圧電駆動形搬送装置では、弾性板に圧電素子を取り付けてなる加振体と搬送体とを、弾性板状の連結部材の下端部と上端部とで、それぞれ連結し、且つ、これらの連結部材の板幅または板厚を変化させることで、連結部材の曲げ剛性を前記弾性板のそれよりも低く設定している。
それにより、振動中にその曲げ剛性を低くした部分での弾性変形により加振体と搬送体との間の角度変化が許容され、加振体に加わる荷重が減少して加振体及び搬送体における振動振幅の増大を期待することができる。
また、特許文献2には、連結部材の部所による曲げ剛性の比を大ならしめることにより搬送部品の高速搬送を可能ならしめる圧電駆動型搬送装置について開示されている。
特許文献2に記載された圧電駆動型搬送装置では、圧電駆動型搬送装置の構成要素の一つである連結部材を二以上の連結部材を積層して積層連結部材としたものである。
それにより、連結部材の部所による曲げ剛性の比を従来より格段に大ならしめたことにより搬送部品の高速搬送を可能にすることができる。
特公平6−13369号公報 特開平7−257724号公報
しかしながら、特許文献1に記載の圧電駆動形搬送装置においては、振動を励起させる圧電ばねに直接連結ばねを取り付け、当該連結ばねを共振させて圧電駆動形搬送装置の駆動を行っているため、圧電ばねに搬送体であるトラフ、または螺旋状搬送路の荷重が直接的に加わる。そして、当該荷重を支持するとともに振動の励起を行っているため、圧電ばねにおいて適切な振動を励起することができないという課題が生じる。また、振動を励起させる場合においても、搬送体の荷重が、本来の圧電素子の駆動方向と異なるせん断方向の負荷として圧電素子に加わるため、長期寿命を考慮すると課題が残る。
また、特許文献2に記載の圧電駆動形搬送装置においても、圧電素子に直列に連結ばねを付け、さらに連結ばねを積層させて曲げ剛性の向上を図っているので、特許文献1に記載の圧電駆動形搬送装置と同様に、圧電ばねに搬送体の荷重が直接的に加わる。その結果、適切な振動を励起することができないという課題および長期寿命の観点において課題が残る。
本発明の目的は、耐久性の向上を図ることができるとともに、自由に剛性を選択して適切な振動を励起させることができる振動板を有する部品供給装置を提供することである。
本発明の他の目的は、耐久性の向上を図ることができるとともに、自由に剛性を選択し、かつ取り付け精度を向上させ、製造工数および整備工数を削減することができるとともに、適切な振動を励起させることができる振動板を有する部品供給装置を提供することである。
課題を解決するための手段及び効果
(1)
本発明に係る部品供給装置は、部品に振動を付与して搬送を行う部品供給装置であって、部品を搬送するための搬送路を有する搬送部と、搬送部を支持する可動部と、可動部とは別部材として設けられる錘部と、一端が可動部に取り付けられ、他端が錘部に取り付けられ、弾性変形することが可能な弾性部材と、電気的信号に応じて応力を発生する振動子と、水平に配される水平板部分および鉛直に配される鉛直板部分を有し、鉛直板部分の表裏面の少なくとも一面に貼着され、振動を励起する振動板と、を含み、振動板は、水平板部分および鉛直板部分のうちいずれか一方が錘部に取り付けられ、水平板部分および鉛直板部分の他方が可動部に取り付けられ、水平板部分および鉛直板部分のいずれか一方における水平板部分および鉛直板部材の少なくとも接合部の厚みが、少なくとも他方の厚みよりも厚いものである。
本発明に係る部品供給装置においては、振動子が振動板に貼着される。そして、電気的信号が振動子に与えられた場合、振動子が貼着された振動板が駆動し、振動が励起され、振動板の鉛直板部分および水平板部分のいずれか一方の面に取り付けられた錘部と、振動板の他方の面に取り付けられた可動部とが、逆位相で振動する。そして、振動は、可動部に支持された搬送部に伝達され、搬送路の上流から下流方向へ部品が搬送される。
この場合、振動板の水平板部分と鉛直板部分との厚みが異なるので、振動板の水平板部分と鉛直板部分との剛性を異なる値にすることができる。また、振動板の水平板部分と鉛直板部分との少なくとも接合部において厚みを厚くすることができる。それにより、剛性の必要な部分に厚みを増加し、剛性を少なくすべき部分の厚みを削減することにより最適な剛性と最適な振動周波数とを有する振動板を含む部品供給装置を実現することができる。
また、弾性部材により可動部および搬送部の荷重を支持することができるので、振動板および振動子の耐久性の向上を図ることができるとともに、振動子が貼着された振動板から適切な振動を励起させることができる。
(2)
振動板は、水平板部分を形成する第1の平板状弾性部材と、鉛直板部分を形成する第1の平板状弾性部材とは異なる第2の平板状弾性部材と、第1の平板状弾性部材により形成される水平板部分および第2の平板状弾性部材により形成される鉛直板部分を結合する結合部材とを含んでもよい。
この場合、第1の平板状弾性部材と第2の平板状弾性部材とを結合部材で結合することにより振動板が形成される。そして、水平板部分を形成する第1の平板状弾性部材が、鉛直板部分を形成する第2の平板状弾性部材と異なる部材により形成される。したがって、第1の平板状弾性部材の厚みと第2の平板状弾性部材の厚みとを自由に調節することができる。さらに結合部材を用いることにより従来の屈曲部分に対しても剛性を高めることができる。このように、振動板の水平面と鉛直面との剛性を異なる値にすることができる。それにより、剛性の必要な面の厚みを増加し、剛性を少なくすべき部分の厚みを削減することにより最適な剛性と最適な振動周波数とを有する振動板を含む部品供給装置を実現することができる。
さらに、第1の平板状弾性部材と第2の平板状弾性部材とを結合部材により結合させるので、単一の平板状弾性部材を屈曲させて水平板部分および鉛直板部分を形成する場合と比較して直角精度を大幅に高めることができる。その結果、振動板を錘部および可動部に取り付ける際の取り付け位置のずれを防止することができ、製造工数を削減することができる。
また、振動板と併設された弾性部材により可動部および搬送部の荷重を支持することができるので、振動板および振動子の耐久性の向上を図ることができるとともに、振動板および振動子から適切な振動を励起させることができる。
(3)
振動板は、長手方向を有し、長手方向に沿った一部の領域において厚みが厚い部分を有する平板状弾性部材からなり、平板状弾性部材の厚みが厚い部分を屈曲させることにより鉛直板部分および水平板部分が形成されてもよい。
この場合、水平板部分と鉛直板部分とのうちいずれか一方の厚みを加工により薄くするので、水平板部分の厚みと鉛直板部分の厚みとを自由に調節することができる。その結果、振動板の水平板部分と鉛直板部分との剛性を異なる値にすることができる。それにより、剛性の必要な面の厚みを増加し、剛性を少なくすべき部分の厚みを削減することにより最適な剛性と最適な振動周波数とを有する振動板を含む部品供給装置を実現することができる。
(4)
搬送路は、直線状搬送路であってもよい。
この場合、搬送路は、直線状搬送路であるので、直線状搬送路に対して振動を付与し、部品を搬送することができる。
以下、本発明に係る一実施の形態について図面を用いて説明を行う。本発明に係る部品供給装置の一例として、微小な部品を搬送する微小部品供給装置に適合させた場合について説明を行う。
(一実施の形態)
図1および図2は、本発明の一実施の形態に係る微小部品供給装置100の一例を示す模式的斜視図である。図1は微小部品供給装置100の上面を示し、図2は微小部品供給装置100の側面を示す。
図1および図2に示すように、微小部品供給装置100は、パーツフィーダ200、リニアフィーダ300およびステージ900を含む。
また、図2に示すように、パーツフィーダ200は、ボウル状搬送部210と圧電式振動部220とを含む。
本実施の形態における微小部品供給装置100においては、ステージ900上にパーツフィーダ200およびリニアフィーダ300が設けられる。パーツフィーダ200の微小部品排出部211には、リニアフィーダ300の微小部品搬入部311が接続されている。さらに、リニアフィーダ300の還流搬送路317には、パーツフィーダ200の受け入れ路217が接続されている。
パーツフィーダ200の圧電式振動部220に設けられた振動子400(図4参照)により発振された振動が、圧電式振動部220の上部に載置されたボウル状搬送部210に与えられる。ボウル状搬送部210内には、ボウル状搬送部210の内周に沿って螺旋状の微小部品搬送路が設けられる。ボウル状搬送部210の中央底部に微小部品800が供給され、圧電式振動部220からの振動により微小部品800が螺旋状の搬送路上を搬送され、微小部品排出部211からリニアフィーダ300の微小部品搬入部311に与えられる。
また、リニアフィーダ300には、主に圧電式振動部303、振動板400および錘部302からなる1台の加振器が設けられており、加振器により発振された振動が、リニアフィーダ300の各搬送路に与えられる。それにより、微小部品供給装置100は、微小部品供給装置100の次工程に微小部品800を供給することができる。
また、リニアフィーダ300の搬送路において所定姿勢に整理されなかった微小部品800が存在する場合、または次工程においてトラブルが生じて次工程側に微小部品800を搬送させないようにする場合、微小部品800が、微小部品還流路317からパーツフィーダ200の受け入れ路217を介してボウル状搬送部210の中央底部に戻される。
次に、図3は本実施の形態において搬送される微小部品800の形状の一例を示す模式的斜視図である。
図3に示すように、微小部品800は、長さL、高さH、幅Bを有する直方体からなる。長さL、高さHおよび幅Bの関係は、H<B<Lの関係を有する。このように、微小部品800は平板状の微小部品からなる。
また、微小部品供給装置100は、微小部品800の一方の面に電極が形成されたものである場合が多く、一般に微小部品800の大きさは、長さLが3.2mm〜8mm程度であり、幅Bが2.5mm〜5.0mm程度であり、高さHが0.8mm〜1.7mm程度である。
次に、図4は、第1の実施の形態に係るリニアフィーダ300の一部を切り欠いた模式的側面図である。
リニアフィーダ300は、主に防振台(ベース部)301、錘部(カウンターウェイト)302、圧電式振動部303、第1搬送部材(直線状搬送部材)320、第2搬送部材(直線状搬送部材)330、接続部材340および第3搬送部材(還流搬送部材)350、連結板370、支持ばね380、防振用板ばね390および振動子400を含む。
図4に示すように、防振台301の上方には、錘部302が設けられ、錘部302の上方には、圧電式振動部303が設けられる。錘部302は、圧電式振動部303および第1搬送路320等の重量に応じて形成された重さからなる。
図4に示すように、圧電式振動部303は、防振台301の側面から複数の防振用板ばね380により保持される。また、圧電式振動部303は、錘部302の側面から複数の支持ばね380により保持される。また、本実施の形態におけるリニアフィーダ300においては、支持ばね380および防振用板ばね390が鉛直方向に対して重複して配設される。さらに、支持ばね380および防振用板ばね390は、鉛直方向よりほぼ同角度傾斜した状態で設けられる。
また、図4の錘部302および圧電式振動部303の内部には、振動板400が設けられる。この振動板400は、鉛直板部分を形成する平板状弾性部材420、水平板部分を形成する平板状弾性部材421、平板状弾性部材420および平板状弾性部材421を結合する結合部材422および圧電素子411からなる。平板状弾性部材420が圧電式振動部303に取り付けられ、平板状弾性部材421が錘部302に取り付けられる。この振動板400の詳細構造については後述する。
圧電式振動部303の上部には、第1搬送部材320が固定され、第1搬送部材320の一端側には、第2搬送部材330が接続され、第1搬送部材320の側面には、接続部材340が併設される。また、第1搬送部材320には複数の平板状弾性部材360を介して第3搬送部材350が設けられる。すなわち、平板状からなる複数の平板状弾性部材360の一端がボルトにより第1搬送部材320に固定され、他端がボルトにより第3搬送部材350の裏面に固定されている。この状態において複数の平板状弾性部材360は、鉛直面よりも水平面に近い角度で斜めに設けられる。
以上のように、本実施の形態におけるリニアフィーダ300においては、後述する圧電素子411が貼着された振動板400により振動の励起が行われ、支持ばね380により保持された圧電式振動部303および錘部302が逆位相で振動し、圧電式振動部303における振動が、第1搬送部材320に与えられ、第1搬送部材320上の搬送路を微小部品800が搬送される。
次に、図5は、図4の振動板400の一例を示す模式的組み立て図であり、図6は図5の振動板400の模式的側面図である。
まず、図5に示すように、平板状弾性部材420の表裏面の中央部に圧電素子411が配設される。この平板状弾性部材420および圧電素子411からなるばね定数は、搬送する微小部品800の重量、大きさおよび第1搬送部材320の重量等によって定められる任意の共振周波数の条件に応じて適宜選択される。
具体的に、振動子400においては、圧電セラミックスを分極処理して平板状弾性部材420の一方の面(表面)にプラス極性の分極電位を持たせた圧電素子411を貼り付け、平板状弾性部材420の他方の面(裏面)にマイナス極性の分極電位を持たせた圧電素子411を貼り付ける。それにより、平板状弾性部材420の表裏面に複数の圧電素子411からなるバイモルフ型圧電素子構造が形成される。
そして、この複数の圧電素子411に電荷を付与(印加)することにより振動板400において、振動が励起され、支持ばね380により保持された圧電式振動部303と錘部302とが互いに逆方向に振動する。
次いで、図5に示すように、振動板400においては、圧電素子411が貼着された平板状弾性部材420が鉛直板部分として設けられ、平板状弾性部材421が水平板部分として設けられている。また、鉛直板部分に含まれる振動板400の結合部材422は、長手方向を有する略四角柱形状からなる。結合部材422は、長手方向の辺を一辺とした隣接する2面423,424を有し、当該2面423,424により形成される角度が90度となるように設けられている。また、面423および面424には、ネジ固定が可能な孔(図示せず)が設けられている。
平板状弾性部材420には、表裏面のほぼ中央部分に圧電素子411が貼着されており、圧電素子411の貼着されていない部分に貫通孔430,440が設けられる。一方、平板状弾性部材421には、貫通孔431,450が設けられる。
ボルトAが平板状弾性部材420の下の部分に設けられた貫通孔430を介して結合部材422の面423に設けられた孔に締結され、ボルトBが平板状弾性部材421の貫通孔431を介して結合部材422の面424に設けられた孔に締結される。
それにより、平板状弾性部材420および平板状弾性部材421が、約90度の角度で結合部材422にボルトA、Bにより固定され、図6に示す略L字形状の振動板400が形成される。
次いで、図4および図6に示すように、振動板400の平板状弾性部材421は、ボルトCにより錘部302に締結され、振動板400の平板状弾性部材420は、圧電式振動部302に取り付けられる。それにより、振動板400がリニアフィーダ300に内蔵される。なお、本実施の形態においては、平板状弾性部材420は厚みL1で、剛性値Nm1であり、平板状弾性部材421は厚みL2で、剛性値Nm2である。このように、平板状弾性部材420、421がそれぞれ別部材から形成することができるので、互いの部材に依存することなく厚みおよび剛性値を自由に選択することができる。
以上のように、本実施の形態における部品供給装置においては、振動板400の水平板部分の平板状弾性部材421と鉛直板部分の平板状弾性部材420との厚みが異なるので、振動板400の水平板部分の平板状弾性部材421と鉛直板部分の平板状弾性部材420との剛性Nm1,Nm2を異なる値にすることができる。また、振動板400の水平板部分と鉛直板部分との少なくとも接合部において厚みを厚くすることができる。それにより、剛性の必要な接合部分等の部分に厚みを増加し、剛性を少なくすべき部分の厚みを削減することにより最適な剛性と最適な振動周波数とを有する振動板400を含む部品供給装置100を実現することができる。特に、第1の平板状弾性部材420と第2の平板状弾性部材421とを結合部材422により結合させるので、単一の平板状弾性部材を屈曲させて水平板部分および鉛直板部分を形成する場合と比較して、直角精度を大幅に高めることができる。その結果、振動板400を錘部302および圧電式振動部303に取り付ける際の取り付け位置のずれを防止することができ、製造工数および整備工数を削減することができる。
また、支持ばね380により第1搬送部材320および圧電式振動部303の荷重を支持させることができるので、振動板400および圧電素子411の耐久性の向上を図ることができるとともに、圧電素子411が貼着された振動板400から適切な振動を励起させることができる。
さらに、第1の平板状弾性部材420の厚みと第2の平板状弾性部材421の厚みとを自由に調節することができる。その結果、振動板の水平面と鉛直面との剛性を異なる値にすることができる。また、これらの部材の間に入れた接合部422の剛性が追加されるので、剛性の必要な面の厚みを増加し、剛性を少なくすべき部分の厚みを削減することにより最適な剛性と最適な振動周波数とを有する振動板を含む部品供給装置を実現することができる。
(他の例)
次に、図7は、図5の振動板400の他の例を示す側面図である。
図7に示す振動板400aが図5および図6に示す振動板400と異なるのは以下の点である。
図7に示す振動板400aは、図5および図6の振動板400と異なり、平板状弾性部材420aおよび圧電素子411からなる。図7に示す平板状弾性部材420aは、一部領域の厚さを厚みL1から厚みL2まで切削加工したものであり、異なる厚さを有する平板状弾性部材からなる。この異なる厚さを有する平板状弾性部材420aは、厚みL1の位置で約90度屈曲させることにより形成される。図7に示す平板状弾性部材420aにおいては、厚みL1の領域が鉛直板部分として設けられ、厚みL2の領域が水平板部分として設けられる。
また、平板状弾性部材420aの鉛直面の表裏面には、圧電素子411が貼着される。そして、圧電素子411に電気的信号が印加されることにより平板状弾性部材420aに応力が発生する。ここで、本実施の形態においては、剛性の高い厚さL1の領域において、平板状弾性部材420aを90度屈曲させているので、曲げ部分の剛性を高めることができ、振動板400aにおいて安定した振動を励起させることができる。
この場合、加工を行う、または部材を積層させることにより、振動板400aの水平板部分と鉛直板部分との剛性および厚みを異なる値にすることができる。それにより、剛性の必要な面の厚みを増加し、剛性を少なくすべき部分の厚みを薄くすることにより最適な剛性と最適な振動周波数とを有する振動板400aを含む部品供給装置100を実現することができる。
(さらに他の例)
次に、図8は図5の振動板400および図7の振動板400aのさらに他の例を示す側面図である。
図8に示す振動板400bが図5、図6および図7に示す振動板400、400aと異なるのは以下の点である。
図8に示す振動板400bは、平板状弾性部材420b、平板状弾性部材421b、圧電素子411およびボルトDからなる。
平板状弾性部材420bは厚みL1からなり、平板状弾性部材421bは厚みL2からなる。なお、本実施の形態においては、平板状弾性部材420b、421bの厚みを異なる厚みとしたが、これに限定されず、同一の厚みからなるもので形成してもよい。
平板状弾性部材420bは、部材の先端を約90度屈曲させることにより形成される。また、平板状弾性部材421bが、当該平板状弾性部材420bの屈曲された方向と180度逆の方向に延在するように、屈曲された平板状弾性部材420bの先端面に沿って設けられる。そして、図8に示すように、当該屈曲された平板状弾性部材420bの先端面と平板状弾性部材421bの端面とがボルトDにより締結される。
このように、図8の振動板400bにおいては、厚みL1の鉛直板部分が形成され、厚みL2の水平板部分が形成され、厚みL1+L2の鉛直板部分および水平板部分の結合部が形成される。その結果、結合部において高い剛性を有する振動子400bを形成することができる。なお、この結合部は、水平板部分に含まれる。
また、平板状弾性部材420bの鉛直面の表裏面には、圧電素子411が貼着される。そして、圧電素子411に電気的信号が印加されることにより平板状弾性部材420bに応力が発生する。ここで、本実施の形態においては、剛性の高い厚さL1+L2の平板状弾性部材420b,421bにおいて90度屈曲させているので、曲げ部分の剛性を高めることができ、振動板400bにおいて安定した振動を励起させることができる。
この場合、部材を積層させることにより、振動板400bの水平板部分と鉛直板部分との剛性および厚みを異なる値にすることができる。それにより、剛性の必要な面の厚みを増加し、剛性を少なくすべき部分の厚みを薄くすることにより最適な剛性と最適な振動周波数とを有する振動板400bを含む部品供給装置100を実現することができる。
本発明に係る部品供給装置においては、微小部品供給装置100が部品供給装置に相当し、錘部302が錘部に相当し、圧電式振動部303が可動部に相当し、支持ばね380が弾性部材に相当し、圧電素子411が振動子に相当し、振動板400、400aおよび400bが振動板に相当し、結合部材422が結合部材に相当し、平板状弾性部材420,420a,420bが第1の平板状弾性部材に相当し、平板状弾性部材421,421bが第2の平板状弾性部材に相当し、厚みL1、L2、(L1+L2)が厚みに相当し、第1搬送部材320、第2搬送部材330、第3搬送部材350が搬送部に相当し、微小部品800が部品に相当する。
本発明は、上記の好ましい第1の実施の形態に記載されているが、本発明はそれだけに制限されない。本発明の精神と範囲から逸脱することのない様々な実施形態が他になされることは理解されよう。さらに、本実施形態において、本発明の構成による作用および効果を述べているが、これら作用および効果は、一例であり、本発明を限定するものではない。
本発明の一実施の形態に係る微小部品供給装置の一例を示す模式的斜視図 本発明の一実施の形態に係る微小部品供給装置の一例を示す模式的斜視図 本実施の形態において搬送される微小部品の形状の一例を示す模式的斜視図 第1の実施の形態に係るリニアフィーダの一部を切り欠いた模式的側面図 図4の振動板の一例を示す模式的組み立て図 図5の振動板の模式的側面図 図5の振動板の他の例を示す側面図 図5の振動板および図7の振動板のさらに他の例を示す側面図
符号の説明
100 微小部品供給装置
302 錘部
303 圧電式振動部
320 第1搬送部材
330 第2搬送部材
350 第3搬送部材
800 微小部品
380 支持ばね
390 防振用板ばね
400、400a、400b 振動板
411 圧電素子
420,420a,420b 平板状弾性部材
421,421b 平板状弾性部材
422 結合部材
L1、L2、(L1+L2) 厚み

Claims (4)

  1. 部品に振動を付与して搬送を行う部品供給装置であって、
    前記部品を搬送するための搬送路を有する搬送部と、
    前記搬送部を支持する可動部と、
    前記可動部とは別部材として設けられる錘部と、
    一端が前記可動部に取り付けられ、他端が前記錘部に取り付けられ、弾性変形することが可能な弾性部材と、
    電気的信号に応じて応力を発生する振動子と、
    水平に配される水平板部分および鉛直に配される鉛直板部分を有し、前記鉛直板部分の表裏面の少なくとも一面に貼着され、振動を励起する振動板と、
    を含み、
    前記振動板は、前記水平板部分および前記鉛直板部分のうちいずれか一方が前記錘部に取り付けられ、前記水平板部分および前記鉛直板部分の他方が前記可動部に取り付けられ、前記水平板部分および前記鉛直板部分のいずれか一方における前記水平板部分および前記鉛直板部材の接合部の厚みが、少なくとも他方の厚みよりも厚いことを特徴とする部品供給装置。
  2. 前記振動板は、
    前記水平板部分を形成する第1の平板状弾性部材と、
    前記鉛直板部分を形成する前記第1の平板状弾性部材とは異なる第2の平板状弾性部材と、
    前記第1の平板状弾性部材により形成される水平板部分および前記第2の平板状弾性部材により形成される前記鉛直板部分を結合する結合部材とを含むことを特徴とする請求項1記載の部品供給装置。
  3. 前記振動板は、
    長手方向を有し、前記長手方向に沿った一部の領域において厚みが厚い部分を有する平板状弾性部材からなり、
    前記平板状弾性部材の前記厚みが厚い部分を屈曲させることにより前記鉛直板部分および前記水平板部分が形成されることを特徴とする請求項1記載の部品供給装置。
  4. 前記搬送路は、直線状搬送路であることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに1項に記載の部品供給装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2015037335A (ja) * 2013-08-12 2015-02-23 株式会社村田製作所 アクチュエータ装置

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