CN1976760A - 糊料涂敷装置及糊料涂敷方法 - Google Patents

Abstract

糊料涂敷装置(10)具备：使与电机(41)的旋转速度对应的量的糊料从喷嘴(33)吐出的泵机构(32)，使喷嘴(33)和基板(31)沿着基板面相对地移动的移动装置(17、18)，和控制泵机构(32)的电机(41)和移动装置(17、18)的控制装置。

Description

糊料涂敷装置及糊料涂敷方法

技术领域

本发明涉及在液晶显示板等玻璃基板之间涂敷用于密封液晶等液状物质的糊料的糊料涂敷装置及糊料涂敷方法。

背景技术

作为在玻璃基板上用糊料描绘图案的技术，已知有通过一边从喷嘴吐出糊料一边使基板和喷嘴中的任一个在相对于另一个平行的水平面内移动来描绘图案的方法。

在上述方法中，在以往的糊料涂敷装置中，如专利文献1公开那样，通过对注射器内施加预先设定的压力的气体压力，从喷嘴(针)吐出糊状的密封剂而涂敷在基板上。此时，使将基板保持在上表面的载物台相对于喷嘴平行地移动。

专利文献1：日本特开平11-119232号公报

但是，在利用气体压力从喷嘴吐出糊状的密封剂的方式中，如果基板上表面与喷嘴之间的间隙变动，则从喷嘴的密封剂的吐出阻力变动，密封剂的吐出量变化。此外，如果因周围温度的变化而使密封剂的粘度变化，则从喷嘴的吐出量变化。结果，有不能在目的部位以需要的涂敷量涂敷糊料的问题。

此外，如图6所示，如果图案109的描绘速度、即载物台或头的移动速度变为高速，则因在角部附近的载物台或头的急剧减速而使头产生上下振动，由此，基板与喷嘴之间的间隙变动，发生图案断裂110或涂敷量的不均匀111。

因此，考虑通过在角部跟前预先使描绘速度减速来减轻在角部附近的头的振动、防止图案断裂或涂敷量的不均匀111。但是，由于向注射器内供给压力气体，使得在每单位时间吐出的密封剂的量一定，所以如果减慢描绘速度，则如图7所示，减慢部分112的涂敷量增多。

因此，在将两片基板贴合而制造液晶显示板时，发生如下不良状况：图案109中的部分涂敷量较多的部分112的密封剂没有充分地被压扁，两片基板的间隔变得不均匀，或者在该部分被压扁的密封剂的宽度比其他部分宽，在规定的部位以外露出等。

为了防止这些不良状况，考虑在图案109的角部附近使描绘速度减速的同时降低注射器内的气体压力。但是，一般气体具有较大的压缩性(通过施加压力而容易减小体积的性质)，所以从气体压力变更到吐出量变化的响应性变差，并且应答时间还根据注射器内的密封剂的剩余量的多少而变化。此外，由于响应性较差，所以存在在涂敷开始点113涂敷量过少、在涂敷结束点114涂敷量过多的问题。

发明内容

本发明的目的是在基板的目的部位以需要的量涂敷糊料。

本发明的糊料涂敷装置，使在两片基板之间密封液状物质用的糊料从喷嘴吐出，在至少一片基板上涂敷糊料，具备：泵机构，具有：设有喷嘴的泵体，旋转自如地设置在该泵体内、使与旋转量相应的量的糊料从上述喷嘴吐出的螺杆，和使该螺杆旋转的电机；移动装置，使该喷嘴和上述基板沿着该基板面相对地移动；控制装置，控制上述泵机构的电机和该移动装置。

本发明的糊料涂敷方法，使在两片基板间密封液状物质用的糊料从喷嘴吐出，在至少一片基板上涂敷糊料，利用使与螺杆的旋转量对应的量的糊料从上述喷嘴吐出的泵机构使该糊料从该喷嘴吐出，而在上述基板上涂敷糊料时，控制上述螺杆的旋转，以便上述糊料以规定的涂敷量被涂敷在该基板上。

附图说明

图1是表示糊料涂敷装置的整体图。

图2是将图1的吐出泵放大表示的示意图。

图3是用来说明涂敷动作的示意图。

图4是表示涂敷位置与吐出泵的电机的速度的关系的图。

图5是用来说明以往例的凹部中的密封剂的涂敷图案的示意图。

图6是表示以往例的密封剂的涂敷图案的示意图。

图7是表示以往例的密封剂的涂敷图案的示意图。

图8是表示吐出泵的泵体与螺杆的另一例的示意图。

具体实施方式

图1所示的本发明的糊料涂敷装置10具有四边平板形的基座11，基座11固定在4个脚12上。X轴方向(图1中的左右方向)的进给台13设置在基座11的上面并通过进给机构14沿左右方向移动自如，Y轴方向(图1中的前后方向)的进给台15设置在X轴方向的进给台13上并通过进给机构16沿前后方向移动自如。

此外，在基座11上固定有门型的支柱20，在支柱20的沿X轴方向延伸的水平梁部20A的前面部固定的直线导引部21上，沿左右方向隔开规定的间隔而设有两个头22，两个头22设置成通过进给机构23沿X轴方向(左右方向)移动自如。由此，能够使两个头22的X轴方向的间隔与在后述的基板31上的多个图案的X轴方向的配置间隔对应。

进给机构14、16、23分别由未图示的进给螺钉和螺母、和使进给螺钉转动的驱动用伺服电机24、25、26构成。另外，作为进给机构，也可以是由直线状的固定元件和在该固定元件上移动的可动元件构成的线性电机。

在Y轴方向的进给台15上固定有四边平板形的载物台30，在载物台30上保持液晶显示板的玻璃基板31。

在两个头22上分别通过未图示的Z轴方向的移动装置(Z轴移动装置)设置吐出泵32(泵机构)。如图2所示，吐出泵32由在前端部具有喷嘴33的中空的泵体34、通过连结部件35旋转自如地设置在泵体34内的螺杆36、和与泵体34并列设置的贮存容器40构成。

螺杆36在外周具有螺纹部36A，与固定在泵体34的基端部的驱动用伺服电机41连结。在贮存容器40内贮存有液状的密封剂44(糊料)，在密封剂44的上部设有压力气体室45，压力气体室45经由软管46连结到未图示的气体压力源。

在比开始螺杆36的旋转的定时早预先设定的时间的定时，开始从气体压力源向压力气体室45供给压力气体，并在停止螺杆36的旋转的定时停止供给压力气体。

贮存容器40的底部经由管42连结到泵体34上部的开口43，泵体34上部的开口43朝向螺杆36的螺纹部36A的上端外周开口。在泵体34的内周与上下的螺纹部36A之间形成由密封剂填充的螺旋状的液室。这里，为了用密封剂填满液室内，作为预先吐出动作而进行下述的动作。

即，向压力气体室45内供给压力气体，在该状态下使螺杆36旋转。液室内由密封剂充满，继续螺杆36的旋转直到从喷嘴33吐出密封剂。此时，在从喷嘴吐出密封剂36之后也使螺杆继续旋转设定的时间，能够不在液室内残留空气而使密封剂充满液室内而优选。

吐出泵32具有与喷嘴33一体设置的未图示的激光位移计等的距离测量器。后述的控制装置通过根据由该距离测量器得到的到基板31表面的距离的测量值进行的反馈控制来进行控制(间隙控制)，从而使喷嘴33与基板31面之间的间隙保持预先设定的间隙。

如果使吐出泵32的电机41旋转，则螺杆36旋转，从喷嘴33吐出泵体34的内周和螺杆36的外周的螺纹部36A之间的密封剂，从喷嘴33吐出与电机41的旋转量对应的量的密封剂。

例如，当螺杆36旋转一周时，则从喷嘴33吐出与螺纹部36A的间距相当的量的密封剂。并且，由于从喷嘴33的密封剂的每单位时间的吐出量与电机41的旋转速度(每单位时间的旋转量)成正比，所以能够通过改变电机41的旋转速度来改变从喷嘴33的密封剂的每单位时间的吐出量。

吐出泵32不是像以往技术那样通过压力气体推出密封剂，而是螺杆36通过其螺纹部36A直接机械地将液状的密封剂推出，所以可得到与电机41的旋转量成比例的吐出量。

由载物台30的X轴方向和Y轴方向的进给台13、15及进给机构14、16构成的移动装置17、18、以及由两个头22及进给机构23构成的移动装置19，使吐出泵32的喷嘴33与载物台30上的基板31沿着基板31表面平行地相对移动。

此外，糊料涂敷装置10具备未图示的控制装置，根据喷嘴33与基板31的沿着基板面的方向的相对移动速度，即，X方向的相对移动速度、Y方向的相对移动速度、及合成了X轴方向的相对移动速度和Y轴方向的相对移动速度的相对移动速度，控制装置控制吐出泵32的电机41的旋转速度。

接着，参照图1、图3、图4，对通过上述结构的涂敷装置10在保持于载物台30上的液晶显示板用的玻璃基板31的周缘部涂敷密封剂的动作进行说明。另外，这里由于两个头22并行地描绘相同的图案P，所以为了简化说明，仅对两个头22中的1个头22的涂敷动作进行说明。

涂敷装置10沿着矩形的玻璃基板31的周缘部将密封剂沿图3中顺时针方向涂敷成线状，描绘矩形状的涂敷图案P。

首先，控制装置使喷嘴33移动到涂敷开始点O的正上方。接着，通过一边控制Z轴移动装置使喷嘴33下降、一边通过根据距离测量器的测量值的反馈控制，控制喷嘴33与基板31表面之间的间隙成为预定的间隙。

然后，控制装置使由进给台13构成的X轴方向的移动装置17的电机24旋转，使基板31相对于喷嘴33向图3中X轴的右向移动。同时，控制装置与X轴方向的移动装置17(以下，设移动X轴方向的进给台13并进行说明)的电机24同步地使吐出泵32的电机41旋转，从喷嘴33吐出密封剂。

图4的横轴表示从涂敷开始点O到达涂敷结束点F的过程中的基板上的涂敷位置，纵轴表示吐出泵32的电机41的旋转速度。

在涂敷开始点O，X轴方向的移动装置17的电机24从停止状态加速到对应于直线部分S而设定的旋转速度Vs，所以控制装置与X轴方向的移动装置17的电机24的旋转速度的变化同步地使吐出泵32的电机41的旋转从停止状态加速到对应于旋转速度Vs的第1旋转速度V1。

在该涂敷开始点O附近(图4中用W1表示)，移动装置17的移动速度比涂敷图案P的直线部分S(图4所示)的移动速度低。在该涂敷开始点O的低速移动区域，使密封剂的每单位时间的吐出量比对应于直线部分S的高速移动区域的吐出量少，使得每单位长度的涂敷量与高速移动区域的涂敷量相同。结果，防止在涂敷开始点O附近涂敷量增多，阻止涂敷图案的线宽及厚度的膨胀。

接着，如果接近于左前方的角部C1跟前，则控制装置使X轴方向的移动装置17的电机24减速到对应于角部C1附近(图4中用W2表示)的低速移动区域而设定的旋转速度Vw。与X轴方向的移动装置17的电机24的减速同步，控制装置使吐出泵32的电机41的旋转从第1旋转速度V1减速到对应于旋转速度Vw的第2旋转速度V2。

接着，如果到达了左前方的角部C1，则控制装置使X轴方向的移动装置17的电机24减速而停止。控制装置与该减速的开始同时开始Y轴方向的移动装置18的电机25的旋转，控制其旋转速度以使在角部C1部分的描绘中基板31与喷嘴33的沿着基板31表面的方向上的相对移动速度一定。如图4所示，控制装置在此期间将吐出泵32的电机41的旋转维持为第2旋转速度V2。

在该角部C1附近(图4中用W2表示)，移动装置17的移动速度以比涂敷图案P的直线部分S的移动速度低的速度移动。在该角部C1附近W2的低速移动区域，使密封剂的每单位时间的吐出量比高速移动区域的吐出量少，使得每单位长度的涂敷量与高速移动区域的涂敷量相同。

结果，防止在角部C1附近W2涂敷量增多，阻止涂敷图案的线宽及厚度的膨胀。此外，由于在角部C1附近W2使基板31与喷嘴33的相对移动速度比直线部分S的移动速度低，所以防止由在角部C1的移动装置17、18的加减速引起的头22的上下振动，能够防止在角部C1附近W2的图案断裂及涂敷量的不均匀的发生。

接着，与上述左前方的角部C1同样，经过左后方的角部C2、右后方的角部C3、右前方的角部C4，到达涂敷结束点F的跟前。在角部C2、C3、C4附近的低速移动区域，与上述角部C1同样减少每单位时间的吐出量而使每单位长度的涂敷量与高速移动区域相同。

在涂敷结束点F附近，控制装置与使X轴方向的移动装置17的电机24减速同步，使吐出泵32的电机41的旋转逐渐变慢，减少密封剂的吐出量。结果，防止在涂敷结束点F附近涂敷量变多，阻止涂敷图案的线宽方向及厚度的膨胀。

接着，使喷嘴33从涂敷结束点F移动到下一个图案的涂敷开始点O。在此次的图案是应形成在基板31上的最后的图案的情况下，不需要从涂敷结束点F向涂敷开始点O的移动。以上结束将密封剂涂敷在玻璃基板31上的1个周期。

如以上所述，在以矩形状的涂敷图案P在基板31上涂敷时，在涂敷开始点O附近、角部C1～C4(以下用角部C表示)的涂敷中，在涂敷结束点F附近，喷嘴33和基板31的相对移动速度比直线部分S慢，所以减慢电机41的旋转速度而减少从喷嘴33的密封剂的吐出量。结果，能够将由均匀的涂敷量形成的涂敷图案P描绘在基板31上。

此外，如图5所示，在因基板31A表面的膜厚及电路等的结构而在平坦的基板31A上有阶差或凹部G的情况下，提高从喷嘴33吐出密封剂的电机41的旋转速度而局部地使密封剂的涂敷量比凹部G以外的其他部分I增加。

在以矩形状的涂敷图案P将密封剂涂敷在基板31A上以使每单位长度的涂敷量一定时，如果在基板31A表面上存在凹部G，则在凹部G中密封剂的绝对的涂敷高度变低。在此情况下，加快电机41的旋转速度，使得在凹部G处从喷嘴33的密封剂的每单位时间的吐出量增大。由此进行控制，以使涂敷后的密封剂的高度(不是距离基板31A表面的相对高度，而是绝对的高度)一定。

结果，在基板31A表面上描绘均匀的高度的涂敷图案，在将两片基板31A、31B贴合时，在基板31A、31B之间不会产生间隙H，能够防止由密封剂封入的液晶从被贴合的两片基板31A、31B之间泄漏、或空气侵入到由密封剂包围的区域内。由此，能够提高制造的液晶显示板的品质。

另外，通过在基板31A表面形成有凹部的例子进行了说明，但在形成有凸部的情况下，也可以在对应于凸部的位置减慢电机41的旋转速度，以减少从喷嘴33的密封剂的吐出量。

此外，形成在基板31A表面上的凹部或凸部的位置，可以通过使用基板31A的设计数据或预先测量基板31A的表面的高度数据来取得。

根据本实施例，可发挥以下的作用效果。

(a)吐出泵32通过由电机41使螺杆36旋转来机械地推出与电机41的旋转量成比例的量(体积)的密封剂，所以即使因周围温度的变化而使密封剂的粘度变化、或吐出泵32的泵体34内的密封剂的残余量减少，也能够通过使吐出泵32的电机41的旋转速度保持一定，从而使从喷嘴33的密封剂的每单位时间的吐出量保持一定。

此外，在由气体压力进行吐出的情况下，如果喷嘴33与基板31之间的间隙变动，则从喷嘴33的密封剂的吐出阻力变动，通过该影响使密封剂的吐出量变化。

但是，根据本实施例的涂敷装置10或涂敷方法，由于使通过伴随螺杆36的旋转的螺杆36的螺纹部36A的机械的推出而推出的量的密封剂从喷嘴33吐出，所以能够使由螺纹部36A推出的量的密封剂从喷嘴33吐出，从吐出泵32的喷嘴的密封剂的吐出量不易受间隙的变动的影响，总是机械地将一定量的密封剂推出。

结果，能够将密封剂以均匀的涂敷量涂敷到基板31上，能够提高密封剂对基板31的涂敷精度。因而，能够制造防止了液晶泄漏及空气的侵入的品质较好的液晶显示板。

此外，根据上述，可以不需要在通过气体压力从喷嘴吐出密封剂的情况下必须的、将喷嘴33与基板31之间的间隙保持一定的控制(间隙控制)、或减少控制的频率，能够实现控制的简洁化。此外，由此能够不需要或者减少间隙控制的处理所需的时间，所以能够缩短密封剂的涂敷所需的时间，能够提高效率。

(b)在以矩形状的涂敷图案P将密封剂涂敷在基板31上时，在涂敷开始点O附近、角部C附近、涂敷结束点F附近，由于喷嘴33与基板31的相对移动速度比直线部分S慢，所以减慢吐出泵32的电机41的旋转速度，减少从喷嘴33的密封剂的每单位时间的吐出量。

此时，从喷嘴33的密封剂的每单位时间的吐出量通过由螺杆36的旋转进行的机械的推出而响应性良好地被控制。结果，能够将由均匀的涂敷量构成的涂敷图案描绘在基板31上。

(c)在涂敷开始点O附近，在角部C附近的涂敷中，在涂敷结束点F附近吐出泵32的喷嘴33与基板31的相对移动速度减速的情况下，使吐出泵32的螺杆36的电机41的旋转速度与基板31的移动装置17、18的电机24、25的旋转速度同步地减速。

结果，能够防止以往那样在涂敷开始点O附近或角部C附近的涂敷中或涂敷结束点F附近密封剂的涂敷量变多，能够以均匀的涂敷量将涂敷图案描绘在基板31上。

(d)通过同步控制X轴的移动装置17的电机24或Y轴方向的移动装置18的电机25与吐出泵32的电机41的旋转速度，在涂敷开始点O处能够使从喷嘴33吐出密封剂的定时与载物台30或头22开始运动的定时如设定那样每次相同。

同样，在涂敷结束点F，也能够使载物台30或头22停止的定时与停止从喷嘴33吐出密封剂的定时每次相同。由此，能够如设定那样再现性良好地描绘密封剂的涂敷开始点O与涂敷结束点F的形状。

(e)由于将密封剂通过螺杆36的旋转机械地从喷嘴33推出，所以通过改变使螺杆36旋转的电机41的旋转速度，能够响应性良好地增减密封剂的每单位时间的吐出量。

因此，在因基板31的表面的膜厚及电路等的结构而在基板31上有阶差或凹部G的情况下，通过配合该阶差或凹部G而改变使密封剂从喷嘴33吐出的电机41的旋转速度来增减密封剂的涂敷量，与以往的改变施加给泵体34的气体压力来控制涂敷量的方式相比，能够更容易地以目的部位所需要的密封剂的涂敷量再现性良好地描绘涂敷图案。

(f)在使螺杆36旋转时，将压力气体供给贮存容器40的压力气体室45内，在使螺杆36的旋转停止的定时停止压力气体的供给。压力气体在螺杆36旋转的期间将贮存容器40内的密封剂朝向开口43推压，所以不会发生开口43部分处的密封剂的吸入不足，能够可靠地将密封剂供给泵体34内。

结果，能够使密封剂从喷嘴稳定地吐出，能够防止密封剂的涂敷量不均匀、或描绘的密封剂的涂敷图案P断线等的不良状况。特别是，在密封剂的粘度较高的情况下、或在螺杆36的旋转速度较快的情况下有效。

此外，通过在使螺杆36的旋转停止的定时停止压力气体的供给，在螺杆36的停止中，停止由压力气体对密封剂的推压力的赋予，所以能够防止泵体34内的密封剂从喷嘴33泄漏。

由此，在下一次向基板31上涂敷密封剂时，能够防止从喷嘴33泄漏而积留在喷嘴33的前端的密封剂附着在基板31上的涂敷开始位置从而涂敷量在该部分变得过多。由此，也能够以均匀的涂敷量品质良好地涂敷密封剂。

以上根据附图详细地说明了本发明的实施例，但本发明的具体的结构并不限于该实施例，如果有不脱离本发明的主旨的范围的设计变更，也包含在本发明中。例如，在实施例中，根据喷嘴33与基板31的相对移动速度控制吐出泵32的电机41的旋转速度，但也可以控制吐出泵32的电机41的旋转速度以使密封剂的每单位长度的涂敷量一定。

此外，用在角部C附近使基板31和喷嘴33的相对移动速度减速的例子进行了说明，但也可以仍然是直线部分S的相对移动速度。在此情况下，即使因在角部C部的移动装置17、18的加减速而在头22产生上下振动，由此使从喷嘴33的密封剂的吐出阻力变动，由于螺杆36使通过其螺纹部36A的机械的推出而推出的量的密封剂从喷嘴33吐出，所以能够防止从喷嘴的糊料的吐出量变化。

因此，能够对基板以需要的涂敷量涂敷糊料，即使在角部C附近也能够以均匀的涂敷量以线状涂敷糊料，能够高精度地形成涂敷图案。

此外，用进行间隙控制的例子进行了说明，但也可以省去间隙控制。在此情况下，既可以完全不进行间隙控制，也可以仅在使喷嘴33位于涂敷开始点O时进行间隙控制、而在图案描绘中省去间隙控制。

此外，如图2所示，用将螺杆36配置成其下端到达泵体34的设有喷嘴33的底部(前端部)的例子进行了说明，但也可以如图8所示，配置成在其下端和泵体34的底部之间设置空间47。

即，螺杆48设置在泵体34内，上端部经由连结部件35连结在电机41的旋转轴上，下端部为自由端。并且，螺杆48在其自由端与泵体34的设有喷嘴33的底部之间具有比图2所示的螺杆36的自由端与泵体34的底部的间隔大的间隔，能够使密封剂贮存在其之间。

此外，用螺杆34的螺纹部36A为一条的例子进行了说明，但也可以是两条以上的多根。这样，在设置了多条(n条)具有间距P的螺纹部36A的情况下，导程L为L＝nP。并且，在以与具有一条螺纹部36A的螺杆36相同的间距P的等间距而具有n条螺纹部36A的螺杆36的情况下，为了得到与具有一条螺纹部36A的螺杆36相同的吐出量而需要的电机41的转速为1/n。

因此，由于旋转驱动螺杆36的电机41的转速为1/n就可以，所以能够抑制因螺杆36和密封剂、或密封剂彼此的摩擦、或者电机41的发热传递给密封剂等而使密封剂发热硬化或劣化等，能够防止因废弃昂贵的密封剂而发生的损失。

工业实用性

根据本发明，能够将糊料以需要的涂敷量涂敷在基板上的目的部位上，能够进一步提高糊料相对于基板的涂敷精度。因而，在两片基板为用来制造液晶显示板的玻璃基板、液状物质为液晶的情况下，能够制造可防止液晶泄漏及空气的侵入的品质良好的液晶显示板。

Claims (14)

1、一种糊料涂敷装置，使在两片基板之间密封液状物质用的糊料从喷嘴吐出，在至少一片基板上涂敷糊料，其特征在于，具备：

泵机构，具有：设有喷嘴的泵体，旋转自如地设置在该泵体内、使与旋转量相应的量的糊料从上述喷嘴吐出的螺杆，和使该螺杆旋转的电机；

移动装置，使该喷嘴和上述基板沿着该基板面相对地移动；

控制装置，控制上述泵机构的电机和该移动装置。

2、如权利要求1所述的糊料涂敷装置，其特征在于，上述控制装置根据上述喷嘴与上述基板的相对移动速度来控制上述泵机构的电机。

3、如权利要求2所述的糊料涂敷装置，其特征在于，上述控制装置控制上述泵机构的电机，以使上述糊料对上述基板的每单位长度的涂敷量一定。

4、如权利要求1所述的糊料涂敷装置，其特征在于，上述控制装置根据上述喷嘴与上述基板的相对位置信息控制上述泵机构的电机，以使上述糊料对上述基板的每单位长度的涂敷量不同。

5、如权利要求4所述的糊料涂敷装置，其特征在于，上述控制装置控制上述泵机构的电机，对于具有凹部的基板，使该凹部处的每单位长度的涂敷量比该凹部以外的其他部分处的每单位长度的涂敷量多。

6、如权利要求1所述的糊料涂敷装置，其特征在于，

上述泵体在其前端部具有上述喷嘴；

上述螺杆使和上述电机的连结端的相反侧的端部与上述前端部相对置，并且在该端部与上述前端部之间设置规定的间隔。

7、如权利要求1所述的糊料涂敷装置，其特征在于，上述两片基板是用于制造液晶显示板的玻璃基板，上述液状物质是液晶。

8、如权利要求1所述的糊料涂敷装置，其特征在于，具有：

贮存容器，与上述泵体连结，贮存上述糊料；

气体压力源，向该贮存容器内供给气体压力；

上述气体压力源构成为，在上述螺杆旋转时向上述贮存容器内供给压力气体，在上述螺杆停止时停止压力气体的供给。

9、如权利要求1所述的糊料涂敷装置，其特征在于，上述螺杆具有多条螺纹部。

10、一种糊料涂敷方法，使在两片基板间密封液状物质用的糊料从喷嘴吐出，在至少一片基板上涂敷糊料，其特征在于，

利用使与螺杆的旋转量对应的量的糊料从上述喷嘴吐出的泵机构使该糊料从该喷嘴吐出，而在上述基板上涂敷糊料时，控制上述螺杆的旋转，以便上述糊料以规定的涂敷量被涂敷在该基板上。

11、如权利要求10所述的糊料涂敷方法，其特征在于，根据上述喷嘴与上述基板的相对移动速度来控制上述螺杆的旋转。

12、如权利要求11所述的糊料涂敷方法，其特征在于，控制上述螺杆的旋转，以使上述糊料对上述基板的每单位长度的涂敷量一定。

13、如权利要求10所述的糊料涂敷方法，其特征在于，根据上述喷嘴与上述基板的相对位置信息控制上述螺杆的旋转，以使上述糊料对上述基板的每单位长度的涂敷量不同。

14、如权利要求13所述的糊料涂敷方法，其特征在于，控制上述螺杆的旋转，对于具有凹部的基板，使该凹部处的每单位长度的涂敷量比该凹部以外的其他部分处的每单位长度的涂敷量多。

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