CN1922696B

CN1922696B - 电子射线照射装置

Info

Publication number: CN1922696B
Application number: CN2005800055304A
Authority: CN
Inventors: 中尾诚太郎
Original assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Current assignee: Dai Nippon Printing Co Ltd
Priority date: 2004-03-09
Filing date: 2005-03-09
Publication date: 2010-05-26
Anticipated expiration: 2025-03-09
Also published as: CN1922696A; JP4183727B2; US7435980B2; JPWO2005086176A1; US20070205381A1; KR101098085B1; HK1101217A1; WO2005086176A1; KR20060129036A

Abstract

一种电子射线照射装置，其至少具有电子射线生成部(R)、向被照射体(F)照射电子射线的照射室(E)、在照射室的上游侧对被照射体(F)吹出惰性气体(N)的氧气隔断部(S)，将氧气隔断部的把被照射体夹在中间的隔壁之间的间隙(Ws)，相对照射室的把被照射体夹在中间的隔壁之间的间隙(We)设定为Ws＜We，并且使间隙(Ws)在氧气隔断部的全区域上相同或大致相同，把向被照射体的处理面吹出惰性气体的吹出狭缝(S5)在隔壁上设置成既不突出也不凹陷的状态。

Description

电子射线照射装置

技术领域

本发明涉及电子射线照射装置。特别涉及一种通过使用惰性气体而提高了效率的电子射线照射装置。

背景技术

公知有一种通过对带状被照射体照射电子射线，来对该被照射体实施交联、固化、改良等处理的电子射线照射装置。作为被照射体，可代表性地列举出例如树脂薄膜本身、以及涂敷了电子射线固化性树脂涂料的树脂薄膜等。但是，一般由电子射线诱发的分子交联等反应(处理)会受到气氛中的氧气的阻碍。为了防止这种情况，例如，采取了下述的措施。

在专利文献1所记载的电子射线照射装置中，把涂敷了电子射线固化性树脂的薄膜作为被照射体。当对被涂敷在该薄膜上的涂膜利用电子射线交联并使其固化时，把被进行了涂敷的薄膜隔着上述涂膜紧贴在金属鼓上，该金属鼓以和该薄膜的运行速度同步的圆周速度进行旋转，在此状态下，从薄膜一侧照射电子射线。该电子射线照射装置所采用的方式是，利用与金属鼓的紧密接触，把电子射线固化性树脂涂料与气氛中的氧气隔离，由此来防止固化(利用电子射线进行被照射体的处理)阻碍。以下，把这种方式称为“方式A”。

在采用方式A的电子射线照射装置中，电子射线在透过、贯通了被照射体所有层之后才到达需要进行电子射线处理的层(涂膜)。因此，本来不需要进行电子射线处理的中途层受到电子射线的影响，对薄膜而言，会发生不希望的反应(变黄、强度下降等)。由于能量被中途的薄膜层吸收，所以造成到达本来需要进行处理的层(涂膜)的电子射线的能量的浪费。由于在电子射线照射装置中需要金属鼓及其旋转驱动机构，因此，使得装置过重过大。并且，尤其在电子射线照射的处理内容是涂膜的固化处理的情况下，涂膜的表面光泽被强制限制为金属鼓的表面光泽。

作为采用没有上述缺点的方式的电子射线照射装置，例如公知有下述的装置。

专利文献2、专利文献3、专利文献4所记载的电子射线照射装置，采用了在由向内部供给、填充了氮气等惰性气体的封闭空间构成的照射室中，对被照射体进行电子射线照射的方式。以下，把这种方式称为“方式B”。

上述照射室具有用于把带状被照射体送入该照射室内的送入开口部和用于放出该被照射体的放出开口部。在照射室的送入开口部的上游侧(相对被照射体的搬送方向的上游侧)，形成有用于捕捉制动放射的X射线的空洞、以及导管，并且设有用于向该空洞内吹出惰性气体(氮)、并呈喷嘴状朝向被照射体突出的气刀。利用该气刀来阻挡附随被照射体从外部流入的空气中的氧气，或稀释未被阻挡住的氧气。

即，方式B是通过把被照射体放置在不阻碍利用电子射线进行处理反应的氮等惰性气体中，来防止氧气对利用电子射线进行被照射体的处理的阻碍。

专利文献1：特公平5-36212号公报

专利文献2：特公昭63-8440号公报

专利文献3：特开平5-60899号公报

专利文献4：实开平6-80200号公报

采用方式B的电子射线照射装置，具有可防止装置的体积和重量的增加，并且尤其在利用电子射线进行被照射体的处理是涂膜的固化的情况下，处理面(涂膜面)的光泽不受限制的优点。然而，在一边使带状被照射体行进，一边进行电子射线照射期间，随着被照射体不断地从外部向照射室流入氧气。因此，为了确保充分低水平的氧气浓度，必须不断地供给多量的惰性气体。而且，为此需要花费大量的经费。

特别是，如果使被照射体的处理速度(行进速度)高速化，则随着速度的增加，流入的氧气量也增加，使得照射室内的氧气浓度急剧上升，由此将不能完全防止对电子射线处理的阻碍。

发明内容

本发明的目的是，对具有可抑制电子射线照射装置的体积和重量的增加，特别是在涂膜的固化情况下处理面的光泽不受限制的优点，即方式B的电子射线照射装置，进行进一步的改良，使得即便带状被照射体的行进速度高速化，也能够抑制照射室的氧气浓度的增加，并且可减少惰性气体的消耗量。

为了达到上述的目的，本发明的电子射线照射装置用于一边使带状被照射体行进，一边对该被照射体照射电子射线，具有：

电子射线生成部，其生成电子射线，并把该电子射线从透过窗部向外部放射；

照射室，其与该电子射线生成部的透过窗部邻接，并具有围绕周围的隔壁、在该隔壁上开口的送入带状被照射体的照射室送入开口部和照射室放出该被照射体的放出开口部，其本身是填充了惰性气体的封闭空间，使从所述透过窗部放射的电子射线照射从外部送入、行进的带状被照射体；

氧气隔断部，其被设置在邻接该照射室的被照射体行进方向的上游侧，是具有送入带状被照射体的氧气隔断部送入开口部和放出该被照射体的氧气隔断部放出开口部的封闭空间，使该带状被照射体在该封闭空间内行进，并把其导入所述照射室的同时，通过对该被照射体的照射面侧吹出惰性气体，来稀释或隔断附随该在被照射体的表面附近而流入的空气中的氧气，

所述氧气隔断部由表面侧隔壁、背面侧隔壁和一对侧面隔壁，将该被照射体围绕，所述表面侧隔壁面向行进的带状被照射体的照射面，所述背面侧隔壁面向该被照射体的照射面的相反面，所述一对侧面隔壁分别面向该被照射体的两侧面，并且

在该氧气隔断部的表面侧隔壁与背面侧隔壁之间的间隙Ws，与在所述照射室中把在该照射室中行进的带状被照射体夹在中间的表面侧隔壁与背面侧隔壁之间的间隙We之间，具有Ws＜We的关系，

该氧气隔断部的表面侧隔壁与背面侧隔壁之间的间隙Ws在该氧气隔断部的全区域上相同或大致相同，

在该氧气隔断部的表面侧隔壁上，具有吹出惰性气体的狭缝，并且其吹出口形成为在该表面侧隔壁上既不突出也不凹陷的状态。

通过采用这样的结构，由于是不需要金属鼓的方式，所以，首先可抑制电子射线照射装置的体积重量的增加，尤其是在涂膜的固化处理的情况下，处理面的光泽不会受到限制。而且，利用本发明固有结构的氧气隔断部，即便使带状被照射体的行进速度高速化，也可以抑制照射室的氧气浓度的增加，而且还可降低惰性气体的消耗量。因此，提高惰性气体的使用效率。

在本发明的电子射线照射装置的一种实施方式中，也可以在所述氧气隔断部的被照射体通过方向上的上游侧，进一步设有对该被照射体上表面涂敷未固化的电子射线固化性树脂的涂敷部。

通过采用这样的结构，可以在同一工艺流程中高效率地进行电子射线固化性树脂的涂膜形成、和对该涂膜的电子射线照射处理。

在本发明的电子射线照射装置的一种实施方式中，也可以把所述氧气隔断部的表面侧隔壁与背面侧隔壁之间的间隙Ws，设定为比所述被照射体的厚度大1～20mm的范围。只要设定在该范围内，即使把被照射体的行进速度提高到200m/min.的程度，也可以把照射室E的氧气浓度抑制在100ppm以下。

在本发明的电子射线照射装置的一种实施方式中，也可以把所述狭缝形成为使来自所述狭缝的所述惰性气体的吹出方向，相对与被照射体的行进方向正交的方向，偏向于所述行进方向的上游侧。通过这样地使狭缝倾斜，可以使从狭缝吹出的惰性气体，针对附随被照射体而侵入的空气起到相当于刀刃的作用，从而可有效地将附随空气从被照射体剥离，并将其从氧气隔断部的送入开口部推出。

在本发明的电子射线照射装置的一种实施方式中，也可以在相对所述狭缝的所述被照射体的行进方向下游侧，设置从与所述狭缝同一侧向所述被照射体吹出惰性气体的给气孔。根据本实施方式，能够利用从狭缝吹出的惰性气体，将被照射体的附随空气剥离，抑制附随空气向照射室的侵入，并且，能够利用从给气孔给气的惰性气体形成的支撑层来支撑被照射体。由此，对于因伴随来自狭缝的惰性气体的吹出，使被照射体的表面和背面的压力平衡发生变化，从而导致被照射体发生晃动的现象，可以得到有效抑制，并且能够使被照射体在氧气隔断部中顺畅地行进。

在设置所述给气孔的方式中，也可以具有使从所述给气孔吹出的惰性气体的流速低于从所述狭缝吹出的惰性气体的流速的节流阀。通过设置这样的节流阀，可以从狭缝高速吹出惰性气体充分地排出附随空气，同时通过从给气孔提供支撑被照射体所必要的程度的惰性气体，可切实地抑制被照射体的晃动。

另外，在设置给气孔的方式中，所述给气孔也可以形成为在与所述被照射体的行进方向正交的方向上延伸的贯通孔。利用这样的贯通孔，使从给气孔供给的惰性气体在给气孔的周围相对滞留，可高效率地形成基于惰性气体的被照射体的支撑层。并且，通过把所述给气孔的孔径设定为大于所述狭缝的间隙，能够比较容易地抑制从给气孔给气的惰性气体的流速。

(发明效果)

(1)根据本发明的电子射线照射装置，首先，可抑制装置的体积重量的增加，并在涂膜的固化处理时，处理面的光泽不会受到限制，可形成任意的光泽面。而且，在使带状被照射体的行进速度高速化时，可抑制照射室的氧气浓度的增加，而且可降低惰性气体的消耗量。由此可提高惰性气体的使用效率。

(2)另外，如果在氧气隔断部的上游侧设置了涂敷部，则可在同一工艺流程中高效率地进行电子射线固化性树脂涂膜的形成和对该涂膜的电子射线处理。

附图说明

图1是利用概念性的局部剖面图，来说明本发明电子射线照射装置的基本结构(无涂敷部)的说明图。

图2是表示本发明的特征部分，即氧气隔断部S的一种实施方式的放大剖面图。

图3是表示能够将氧气隔断部S和照射部E分别2分割的一种方式的说明图。

图4是表示还具有涂敷部的电子射线照射装置的一种方式的说明图。

图5是表示与氧气隔断部相关的其它方式的剖面图。

图6是表示从图5的箭头VI方向观察该图的氧气隔断部的表面侧隔壁的一部分时的图。

图7是表示用于向图5的氧气隔断部供给惰性气体的配管结构的立体图。

图中：C-冷却器；D-干燥机；e-电子射线；E-照射室；E_A-照射室可动侧；E_B-照射室固定侧；E1-照射室的送入开口部；E2-照射室的放出开口部；E3-表面侧隔壁；E4-背面侧隔壁；E5-透过窗部；F-被照射体；Lc-搬送辊；Ln-搬送辊；M-移动单元；M_W-滑车；M1-滑轨；N-惰性气体；P-导管；P1-集合部；P2-集合部；P3-分配管；P4-分配管；P5-合流部；P6-主配管；P7-节流阀；P8-节流阀；P9-节流阀；P10-节流阀；R-电子射线生成部；Ra-卷出辊；Rr-卷取辊；S-氧气隔断部；S_A-氧气隔断部可动侧；S_B-氧气隔断部固定侧；S1-氧气隔断部的送入开口部；S2-氧气隔断部的放出开口部；S3-表面侧隔壁；S4-背面侧隔壁；S5-吹出狭缝；S6-空间；S7-给气孔；S8-空间；T-涂敷部；T1-版体；T2-墨水盘；T3-刮板；T4-按压体；V-行进方向；Ws-氧气隔断部中的隔壁的间隔；We-照射室中的隔壁的间隔。

具体实施方式

下面，参照附图对用于实施本发明的最佳实施方式进行说明。

(附图概要)

首先，图1是利用概念性的局部剖面图，来说明本发明电子射线照射装置的基本结构(无涂敷部)的说明图。图2是表示本发明的特征部分，即氧气隔断部S的放大剖面图。图3是表示能够将氧气隔断部S和照射部E分别2分割的一种方式的说明图。即，图3是说明在氧气隔断部S上设置了能够相互嵌合、且在水平方向分割并可拉开的氧气隔断部可动侧S_A和氧气隔断部固定侧S_B；在照射部E上设置了能够相互嵌合、且在水平方向分割并可拉开的照射部可动侧E_A和照射部固定侧E_B的说明图。图4是表示在氧气隔断部S的上游侧具有涂敷部的方式的说明图。另外，本发明的电子射线照射装置在不超出本发明的宗旨的范围内，不受这些附图的限定。

(装置整体概要)

参照图1所示的本发明的电子射线照射装置的一基本方式，来说明装置整体的概要。

如图1所示例的那样，本发明的电子射线照射装置具有生成电子射线e的电子射线生成部R、对行进的带状被照射体F照射电子射线的照射室E、和邻接配置在该照射室E的上游侧的氧气隔断部S。另外，图中，带状被照射体F从卷出辊Ra被卷出，由搬送辊Lc引导，从氧气隔断部S的送入开口部S1进入电子射线照射装置，在照射室E内一边行进一边被照射电子射线e，然后从照射室的放出开口部E2行进出装置外部，接着由搬送辊Ln引导，被卷在卷取辊Rr上。

如图2的剖面图所示，氧气隔断部S被邻接设置在照射室E的上游侧。另外，在本发明中，所谓“上游”和“下游”是以带状被照射体F的行进方向V为基准，把从电子射线照射装置看去的被照射体F的供给侧方向，即卷出辊Ra的方向称为“上游”。而且，把从电子射线照射装置看去的被照射体F的放出方向，即卷取辊Rr的方向称为“下游”。

在这样的电子射线照射装置中，本发明的特征性结构是，氧气隔断部S中的把被照射体F夹在中间的表面侧隔壁与背面侧隔壁之间的间隙Ws，与在照射室E中的把被照射体夹在中间的表面侧隔壁与背面侧隔壁之间的间隙We之间，具有Ws＜We的关系，并且，该间隙Ws在氧气隔断部的全区域上相同或大致相同，且在该表面侧隔壁上具有吹出惰性气体的吹出狭缝S5，该狭缝S5的吹出口形成为在该表面侧隔壁上既不突出也不凹陷的状态。

另外，通过从导管P向照射室E导入惰性气体N，使室内的氧气浓度被维持在低浓度状态。而且，电子射线生成部R生成的电子射线e从透过窗部E5透过，该电子射线照射到被照射体F上。另外，在被电子射线照射到位置上的被照射体的背侧，设有冷却器C(电子射线捕捉器)。

另外，在氧气隔断部和照射室中使用的惰性气体N例如是氩气、氦气、氖气等稀有气体元素以及氮气等，但从成本等方面考虑，通常主要使用氮气。

另外，被照射体F只要是带状薄膜的膜(或薄板)状的材料，就没有特别的限制。被照射体F的厚度通常是以5～300μm左右的材料作为对象。作为电子射线处理的具体例，例如把聚乙烯等树脂薄膜本身作为被照射体，通过电子射线对其照射，进行分子交联(反应)的处理等。除此之外，例如，在由聚酯等树脂构成的薄膜、纸、金属箔等薄膜状的基材表面上，涂敷形成了由丙烯酸酯的单体或预聚合物等构成的电子射线固化性树脂涂料的涂膜，把其作为被照射体，通过电子射线照射使该被照射体具有的上述涂膜发生交联、固化反应的处理等。

(氧气隔断部)

下面，参照表示其一种方式的图2，对本发明的特征性的部分，即氧气隔断部S的结构进行详细说明。

氧气隔断部S形成为周围被隔壁包围的密闭空间(其中，不包括被照射体F的送入/放出部分)。这些隔壁包括与行进的带状被照射体F的照射面侧对面的表面侧隔壁S3、与该被照射体的照射面的反面侧对面的背面侧隔壁S4、以及与该被照射体的两侧面对面的一对侧面隔壁(未图示)。这些隔壁的材料通常使用铁、铝等金属。

氧气隔断部S另外具有把被照射体F送入该氧气隔断部S中的送入开口部S1以及从该氧气隔断部S放出的放出开口部S2。另外，在氧气隔断部S的表面侧隔壁S3上，形成至少一个向氧气隔断部吹出惰性气体的狭缝S5。

而且，在本发明中，设定该氧气隔断部S的表面侧隔壁S3与背面侧隔壁S4之间的间隙Ws，和在后述的照射室E中把在照射室中行进的带状被照射体F夹在中间的该照射室的表面侧隔壁E3与背面侧隔壁E4之间的间隙We，使两者之间具有Ws＜We的关系。

因此，首先，在进入氧气隔断部S的送入开口部S1的阶段，送入开口部S1外侧的空气被隔壁阻隔，阻挡其侵入。然后，对于由于粘性阻抗而附着在被照射体F的表背面并随之侵入氧气隔断部S内的高氧气浓度的空气，由于间隙Ws狭窄，其流体阻抗增大。由此，随之侵入的空气从被照射体的表面剥离，而且，朝向照射室E的随之侵入的空气的速度也被减速。

在此基础上，从设在表面侧隔壁S3上的吹出惰性气体的狭缝S5连续地向氧气隔断部S供给惰性气体N。因此，氧气隔断部S内的氧气被稀释(低浓度化)。而且，氧气隔断部S内的上游部的氧气受到从送入开口部S1流出的惰性气体的强制拖拽，被向外部推出。

而且，间隙Ws被设定为在氧气隔断部S的被照射体行进方向的全区域上相同或大致相同的值。关于间隙Ws的值，从阻止因空气中的氧气的流入而导致的照射室内氧气浓度的上升的方面考虑，希望越小越好，但是如果过窄，则可能会发生与行进的被照射体接触的不良情况，因此，应权衡两者的利弊来决定适宜的数值。通常是把间隙Ws的值设定为比被照射体的厚度大1～20mm左右。在设定于该范围内的情况下，即使把被照射体的行进速度增加到200m/min.左右，也能够将照射室E的氧气浓度抑制到100ppm以下。

另外，在氧气隔断部S的表面侧隔壁S3上，形成有至少一个向氧气隔断部吹出惰性气体的狭缝S5。如图2所示，该吹出狭缝S5在表面侧隔壁S3，更具体是在隔壁3的内面上，形成为既不突出也不凹陷的状态。即，表面侧隔壁S3也包含吹出狭缝S5部分，其被照射体F侧的内面形成为实质上可忽略凹凸的大致平坦面。但除了如图示的完全平面以外，也可以形成平滑的弯曲面。在这种情况下，被搬送的带状被照射体的搬送路径同样也是与上述隔壁相同或大致相同的弯曲面。

如上所述，由于不仅使氧气隔断部S内的间隙Ws窄，而且间隙Ws在氧气隔断部S的全区域上也相同或大致相同，并且吹出狭缝S5形成为从表面侧隔壁S3上既不突出也不凹陷(大致平面)的状态，所以向氧气隔断部S内吹出的惰性气体流不会出现对流或沉降，可顺利地进行随带空气层的剥离、氧气的稀释以及向上游外部的挤出等。因此，可大幅减少从氧气隔断部S流入照射室E内的氧气量。

另外，从惰性气体使用量方面考虑，由于把氧气隔断部S的表面侧隔壁与背面侧隔壁之间的间隙设定得小，或窄，而且使间隙Ws在氧气隔断部S的全区域上相同或大致相同，所以能够把氧气隔断部S的内容积抑制到必要的最小限度。因此，也能够把应向氧气隔断部S内供给的惰性气体量抑制到必要的最小限度。由此，可以节约用于降低氧气浓度的惰性气体的使用量。

另外，从阻止空气中的氧气流入方面考虑，吹出惰性气体的吹出狭缝S5最好设置在氧气隔断部S内的更上游侧。

吹出狭缝S5连接有导管P，经由导管P供给惰性气体N。另外，在图2实例中，为了缓冲惰性气体的喷出量和吹出压力的变动，在吹出狭缝S5的背后设有空间S6。因此，来自导管P的惰性气体N经由空间6被供给到狭缝S5。

此外，吹出狭缝S5至少设置在被照射体F的电子射线进行照射处理的面侧。通常，电子射线照射侧为处理面，所以在图2示例的结构中，吹出狭缝S5被设置在表面侧隔壁S3上。另外，也可以把吹出狭缝S5设置在基于电子射线照射的处理面以及其反面的两面上。

(电子射线生成部)

电子射线生成部R用于生成电子射线，并把该电子射线从透过窗部E5向外部放射，可适当使用现有的电子射线生成装置。另外，这种电子射线生成装置例如有在市场销售的由株式会社NHV Corporation、美国能源·科学公司(ESI公司)等生产的产品。

(照射室)

如上述图1所示，照射室E与电子射线生成部R的透过窗部E5邻接，构成把周围用隔壁包围的密闭空间(除了被照射体的送入/放出部分以外)。在照射室E内，通过填充惰性气体N来保持低氧气浓度(通常为小于等于300ppm左右)，并在这样的低氧气浓度气氛中对被照射体F照射电子射线e，来实施交联、聚合、分解、固化等规定的电子射线处理。

照射室E的隔壁通常使用铁、铝等金属。特别是对于具有需要遮蔽制动放射的X射线的部分，使用铅等X射线遮蔽能力强的金属，并形成充分的厚度。

并且，照射室E还与其上游侧的氧气隔断部S连接。在照射室E的氧气隔断部S侧的隔壁上，具有送入被照射体F的送入开口部E1，而且在照射室E中的下游侧，具有放出被照射体F的放出开口部E2。而且，使带状被照射体F在送入开口部E1和放出开口部E2之间行进。另外，为了协助被照射体F的行进，在照射室内部适当地设置有搬送辊Lc。另外，在图1和图2的方式中，氧气隔断部S的放出开口部S2与照射室E的送入开口部E1一致，或且可兼用。

为了确保照射室E中的低氧气浓度，经由导管P向照射室E内进行惰性气体N的供给、填充。另外，在被照射体F的与电子射线生成部R的相反侧，具有用于捕捉透过了被照射体F而来的电子射线，并且冷却在捕捉时所产生的热量的冷却器(电子射线捕捉器)C。

此外，如上所述，照射室E的把被照射体F夹在中间的两隔壁之间的间隙We，比氧气隔断部S的表面侧隔壁S3与背面侧隔壁S4之间的间隙Ws大，或宽。在氧气隔断部S未被完全除去的氧气随着被照射体F的行进流入到照射室E。虽然量很少，但如果长时间的蓄积，其氧气浓度的增加则成为不容忽视的程度。因此，为了也经由导管P向照射室E内持续供给惰性气体，并且稀释流入的氧气，减缓浓度的增加，需要一定程度大的容积。因此，在满足We＞Ws的条件下，设定稍大的间隙We。

在这样形成的We＞Ws关系下，通过使照射室E的容积大于氧气隔断部S的容积，使得从氧气隔断部S流入照射室E内的氧气被更大幅地稀释。

而且，基于氧气隔断部S中的氧气低浓度化以及照射室E中的氧气低浓度化，可将照射室内的氧气浓度保持为低浓度，即使在使被照射体F的行进速度高速化的情况下，氧气浓度也不容易增加。

并且，即使从惰性气体的使用量方面考虑，照射室E由于在其上游部设置了氧气隔断部S，所以在跟随被照射体周围的空气进入到照射室E内时，氧气浓度已经降低。因此，可减少向照射室E内供给的惰性气体量。

此外，由于在上述的氧气隔断部S内也把表面侧隔壁与背面侧隔壁之间的间隙Ws设定得小，或者设定得窄，并且间隙Ws在氧气隔断部S全区域上相同或大致相同，所以可把氧气隔断部S的内容积抑制在必要的最小限度。因此，也可以把应供给到氧气隔断部S内的惰性气体量减少到需要的最小限度。

由此，可节约用于降低氧气浓度的惰性气体使用量。

(分割构造)

此外，虽然在图1和图2中未明确地描述，但是，为了容易地进行使被照射体通过电子射线照射装置内的装带操作，或能够容易地进行装置的维护操作等，电子射线照射装置通常把在该装置内行进的被照射体的行进面或该行进面附近做成分割面，构成可分割的构造。当然，在不妨碍装带操作和维护操作等的情况下，也可以不构成分割构造。

图3是本发明的电子射线照射装置所采用的分割构造的一例，是电子射线照射装置内的被照射体行进面为垂直或大致垂直，能够把该装置在水平方向2分割的构造。

在图3所示的分割构造中，本发明的电子射线照射装置把其氧气隔断部S2分割为能够嵌合的氧气隔断部可动侧S_A、和氧气隔断部固定侧S_B，而且，也把照射部E2分割为可相互嵌合的照射部可动侧E_A、和照射部固定侧E_B。而且，使氧气隔断部可动侧S_A和照射部可动侧E_A在水平方向上可动，把氧气隔断部固定侧S_B和照射部固定侧E_B固定。而且，在氧气隔断部可动侧S_A和照射部可动侧E_A的可动侧、以及氧气隔断部固定侧S_B和照射部固定侧E_B的固定侧的各个嵌合面上设置衬垫等密封部件，由此，在两者嵌合时，使照射室E和氧气隔断部S构成与外部的密封、隔断。在停止电子射线照射装置的动作，进行内部的维护、检查、清洁等时，将氧气隔断部可动侧S_A和照射部可动侧E_A的可动侧、以及氧气隔断部固定侧S_B和照射部固定侧E_B的固定侧两者分离，图3图示出了该分离的状态。

可动侧的氧气隔断部可动侧S_A和照射部可动侧E_A，通过移动机构M，能够与被固定在台面上的氧气隔断部固定侧以及照射部固定侧E_B自由地接近或分离。

此外，作为移动机构M，可利用具有设置在台面上的滑轨M1、滑车Mw、以及根据需要而设置的油缸和活塞等的驱动机构(未图示)的机构。在图3中，虽然是把设有电子射线生成部R的一侧作为固定侧S_B、E_B，但也可以把电子射线生成部R的一侧作为可动侧。

下面，参照图4，对本发明的电子射线照射装置的其它实施方式进行说明。

图4是表示通过在图1所表示的电子射线照射装置上进一步设置涂敷部T而构成的电子射线照射装置的一个实施方式的说明图。图4所示的电子射线照射装置，在图1的电子射线照射装置的氧气隔断部S与卷出辊Ra之间沿着被照射体F，具有涂敷部T。涂敷部T虽然只需适宜地采用公知的涂敷装置即可，但在图示的例中，涂敷部T是公知的凹版涂料器，由以下各部分构成，即：盛有由电子射线固化性树脂构成的液状墨水的墨水盘T2；由在下半部分被含浸在墨水盘T2的涂料中的状态下进行旋转的凹版印刷板构成的版体T1；刮落版体T1表面上的剩余涂料的刮板T3；和用于通过从版体T1的反面侧对被照射体F加压，把被填充在版体T1表面的微小单元内的涂料转印到被照射体F表面上的按压体T4。此外，作为涂敷部T，除了图示的凹版涂料器以外，也可以使用辊筒涂料器、窗式流动涂料器、以及逗点涂料器等。

并且，在图示的方式中，在涂敷部T与氧气隔断部S之间，沿着被照射体F，还具有干燥机D。该干燥机D在涂料中含有稀释溶剂的情况下，用于进行干燥，以除去该稀释溶剂。在涂料中不含稀释溶剂的情况下，可省略干燥机D。关于干燥机D，可使用吹热风、红外线辐射等公知方式和构造的干燥机。

下面，参照图5～图7，对氧气隔断部S的其它方式进行说明。对与上述图1～图4的方式相同的部分标记相同的符号，重点说明其不同点。

如图5所示，本方式中，在氧气隔断部S的上游侧设有狭缝S5，并且在该狭缝S5的下游侧设有多个给气孔S7。狭缝S5被设置成其惰性气体N的吹出方向从与被照射体F的行进方向V正交的方向，向上游侧方向倾斜。即，在图5中，吹出角度θ为锐角，作为一例设定为60°。这样，从狭缝S5向被照射体F吹出的惰性气体对被照射体F起刀刃的作用，从而可提高对附随空气的剥离效果，并可有效地抑制附随空气向照射室E内的侵入。另外，与图2的方式相同，以相对表面侧隔壁S3既不突出也不凹陷的状态形成有狭缝S5的吹出口，以及在狭缝S5的背后设有来自导管P的惰性气体N被导入的空间S6。在本方式中，如图6所示，狭缝S5被设置成在氧气隔断部S的宽度方向、即图6的左右方向上，以等于或大于被照射体F的长度直线状连续。另外，狭缝S5的个数不限于一个，也可以在被照射体F的行进方向上设置多个狭缝S5。

另一方面，如图5和图6所示，各个给气孔S7具有圆形吹出口，并且形成为在与被照射体F的行进方向正交的方向上延伸的贯通孔。给气孔S7被设置在表面侧隔壁S3上，并形成为从与狭缝S5的同一侧向被照射体F供给惰性气体的状态。在氧气隔断部S的宽度方向上，给气孔S7排列成错齿状。给气孔S7的个数、配置以及尺寸可以适宜地设定，但根据后述的理由，在从给气孔S7的惰性气体的给气中，不必考虑如狭缝S5那样剥离附随空气的刀刃作用。因此，给气孔S7的剖面形状可以是圆形等无各向异性或各向异性小的形状，其孔径d也可以比狭缝S5的间隙t(参照图6)大。给气孔S7的在表面侧隔壁S3上的开口部分形成为相对表面侧隔壁S3既不突出也不凹陷的状态。在给气孔S7的背后，设有来自导管P的惰性气体N被导入的空间S8。

图7表示针对氧气隔断部S的配管。针对空间S6、S8，分别连接有多根导管P，这些导管P沿着氧气隔断部S的宽度方向以适当的间隔排列。针对空间S6的导管P在集合部P1集合，针对空间S8的导管P在集合部P2集合。集合部P1、P2进而通过分配管P3、P4在合流部P5合流，该合流部P5通过主配管P6与共用的气体供给源连接。在分配管P3、P4上设有用于调节惰性气体的流量或压力的节流阀P7、P8，并且在集合部P2、P3与导管P之间也同样地设有节流阀P9、P10。通过设有节流阀P7、P8，能够相互独立地调整从狭缝S5吹出的惰性气体的流速、和从各个给气孔S7吹出的惰性气体的流速。而且，通过调整各个节流阀P9的开度，可抑制在氧气隔断部S的宽度方向上从狭缝S5吹出的惰性气体的流速的偏差。通过调整节流阀P10的开度，可抑制在氧气隔断部S的宽度方向上从各个给气孔S7吹出的惰性气体的流速的偏差。

以上的方式中，利用从氧气隔断部S的狭缝S5吹出的惰性气体将被照射体F的附随空气剥离，并把其从送入开口部S1推出，与此同时，利用从给气孔S7给气的惰性气体的压力，抑制被照射体F的晃动，由此，可进一步有效地抑制氧气向照射室E的侵入。即，在从如狭缝S5那样的细长孔高速地吹出惰性气体的情况下，薄膜状的被照射体F的表面和背面的压力平衡被破坏，使被照射体F靠在表面侧隔壁S3上。由于对被照射体F作用有向行进方向的张力，所以当被照射体F靠在表面侧隔壁S3上时，产生使其返回的力，这些力的交互作用，可能使被照射体F在间隙Ws的方向上晃动。如果发生晃动，则通过氧气隔断部S侵入照射室E的氧气量有可能增加。特别是在本方式中，由于间隙Ws小，所以这种可能性高，而且，被照射体F的速度越高，这种可能性就越大。但是，根据图5～图7的方式，由于邻接狭缝S5的下游侧设有多个给气孔S7，所以可利用从这些给气孔S7给气的惰性气体，形成针对被照射体F的惰性气体的支撑层，由该支撑层抑制被照射体F在间隙Ws方向的晃动，使被照射体F直向顺畅地行进，由此可提高氧气隔断部S的氧气隔断效果。

另外，关于节流阀P7～P10，只要能够将从给气孔S7吹出的惰性气体的流速调整到小于从狭缝S5吹出的惰性气体的流速，可以适当地省略或追加。如果利用固定节流阀能够由狭缝S5和给气孔S7分别以所希望的状态吹出惰性气体，则也可以省略开度可调的节流阀。对于给气孔S7的个数，只要能够抑制被照射体F的晃动，可以设定一个或一个以上的适宜个数。

Claims

1.一种电子射线照射装置，其用于一边使带状被照射体行进，一边对该被照射体照射电子射线，具有：

电子射线生成部，生成电子射线，并让该电子射线从透过窗部向外部放射；

照射室，与该电子射线生成部的透过窗部邻接，并具有围绕周围的隔壁、在该隔壁上开口的送入带状被照射体的照射室送入开口部和放出该被照射体的照射室放出开口部，该照射室是填充了惰性气体的封闭空间，使从所述透过窗部放射的电子射线照射从外部送入并行进的带状被照射体；

氧气隔断部，被设置在邻接该照射室的被照射体行进方向的上游侧，是具有送入带状被照射体的氧气隔断部送入开口部和放出该被照射体的氧气隔断部放出开口部的封闭空间，使该带状被照射体在该封闭空间内行进，并将其导入所述照射室，同时通过对该被照射体的照射面侧吹出惰性气体，来稀释或隔断附随在该被照射体的表面附近而流入的空气中的氧气，

该氧气隔断部的表面侧隔壁与背面侧隔壁之间的间隙Ws，与在所述照射室中把在该照射室中行进的带状被照射体夹在中间的表面侧隔壁与背面侧隔壁之间的间隙We，具有Ws＜We的关系，

2.根据权利要求1所述的电子射线照射装置，其特征在于：在所述氧气隔断部的被照射体通过方向的上游侧，还设有对该被照射体上表面涂敷未固化的电子射线固化性树脂的涂敷部。

3.根据权利要求1或2所述的电子射线照射装置，其特征在于：所述氧气隔断部的表面侧隔壁与背面侧隔壁之间的间隙Ws，被设定为比所述被照射体的厚度大1～20mm的范围。

4.根据权利要求1所述的电子射线照射装置，其特征在于：所述狭缝形成为使来自所述狭缝的所述惰性气体的吹出方向相对于与被照射体的行进方向正交的方向，偏向于所述行进方向的上游侧。

5.根据权利要求1所述的电子射线照射装置，其特征在于：相对于所述狭缝，在所述被照射体的行进方向下游侧，设有从与所述狭缝同一侧向所述被照射体吹出所述惰性气体的给气孔。

6.根据权利要求5所述的电子射线照射装置，其特征在于：具有使从所述给气孔吹出的惰性气体的流速低于从所述狭缝吹出的惰性气体的流速的节流阀。

7.根据权利要求5或6所述的电子射线照射装置，其特征在于：所述给气孔形成为在与所述被照射体的行进方向正交的方向上延伸的贯通孔。

8.根据权利要求7所述的电子射线照射装置，其特征在于：所述给气孔的孔径大于所述狭缝的间隙。