KR101098085B1

KR101098085B1 - 전자선 조사 장치

Info

Publication number: KR101098085B1
Application number: KR1020067017403A
Authority: KR
Inventors: 세이따로 나까오
Original assignee: 다이니폰 인사츠 가부시키가이샤
Priority date: 2004-03-09
Filing date: 2005-03-09
Publication date: 2011-12-26
Also published as: US7435980B2; US20070205381A1; KR20060129036A; CN1922696A; WO2005086176A1; JP4183727B2; HK1101217A1; CN1922696B; JPWO2005086176A1

Abstract

본 발명은 전자선 발생부(R) 및 피조사체(F)에 전자선을 조사하는 조사실(E) 및 조사실 상류측에서 피조사체(F)에 불활성 기체(N)를 송풍하는 산소 차단부(S)를 적어도 구비하는 전자선 조사 장치에 대해,

산소 차단부는 피조사체를 협지한 격벽 사이의 간극(Ws)을, 조사실에서의 피조사체를 협지한 격벽 사이의 간극(We)에 대해 Ws ＜ We로 하고, 또한 간극(Ws)을 산소 차단부 전역에서 동일하게 하여, 불활성 기체를 피조사체의 처리면에 송풍하는 취출 슬릿(S5)을 돌출도 함몰도 하지 않은 평면 상태로 격벽에 마련한다.

냉각기, 건조기, 전자선, 조사실, 피조사체

Description

전자선 조사 장치{ELECTRON BEAM IRRADIATION DEVICE}

본 발명은 전자선 조사 장치에 관한 것이다. 특히, 불활성 기체의 사용이 효율적으로 되는 전자선 조사 장치에 관한 것이다.

띠 형상의 피조사체에 전자선을 조사하여 상기 피조사체에 가교, 경화, 개질 등의 처리를 실시하는 전자선 조사 장치가 알려져 있다. 피조사체로서는, 예를 들어 수지 필름 자체 및 전자선 경화성 수지 도료를 도공한 수지 필름 등이 대표적이다. 그런데, 일반적으로 전자선에 의해 유기되는 분자의 가교 등의 반응(처리)은 분위기 중의 산소에 의해 저해된다. 이를 방지하기 위해, 예를 들어 하기와 같은 고안이 이루어지고 있다.

특허 문헌 1에 기재된 전자선 조사 장치에서는 전자선 경화성 수지 도료를 도공한 필름을 피조사체로 한다. 상기 필름에 도공된 도포막을 전자선으로 가교 및 경화시킬 때, 도공된 필름을 상기 도포막을 사이에 통하여 상기 필름의 주행 속도와 동기하는 주위 속도로 회전하는 금속 드럼 상에 밀착시키고, 이 상태에서 필름측으로부터 전자선을 조사한다. 이 전자선 조사 장치는 금속 드럼 밀착에 의해 전자선 경화성 수지 도료를 분위기 중의 산소로부터 차단하여 경화(전자선에 의한 피조사체의 처리) 저해를 방지하는 방식이다. 이하, 이 방식을「방식 A」라 칭하 는 일이 있다.

방식 A에 의한 전자선 조사 장치에서는 전자선이 피조사체 전체층을 투과 및 관통한 후, 전자선의 처리를 필요로 하는 층(도포막)에 도달한다. 그로 인해, 전자선 처리가 본래 불필요한 도중의 층까지 전자선의 영향을 받아 필름에 대해 바람직하지 않은 반응(황변, 강도 열화 등)이 생긴다. 도중의 필름층에 에너지가 흡수되기 때문에, 본래 처리가 필요한 층(도포막)에 도달하는 전자선의 에너지가 불필요해진다. 전자선 조사 장치에 금속 드럼 및 그 회전 구동 기구가 필요하고, 그로 인해 장치가 필요 이상으로 중후장대해진다. 또한, 전자선 조사의 처리 내용이, 특히 도포막의 경화 처리의 경우 도포막의 표면 윤기가 금속 드럼의 표면 윤기에 강제적으로 규제된다.

상기 결점이 없는 방식의 전자선 조사 장치로서, 예를 들어 하기와 같은 장치가 알려져 있다.

특허 문헌 2 내지 특허 문헌 4에 기재된 전자선 조사 장치는, 내부에 질소 등의 불활성 기체를 공급 및 충전한 폐쇄 공간으로 이루어지는 조사실 속에서 피조사체에 전자선을 조사하는 방식이다. 이하, 이 방식을「방식 B」라 칭하는 일이 있다.

상기 조사실은 띠 형상의 피조사체를 상기 조사실 내에 반입시키기 위한 반입 개구부 및 반출시키기 위한 반출 개구부를 갖는다. 조사실의 반입 개구부의 상류측(피조사체 반송 방향에 대해 상류측)에는 제동 방사의 X선을 포착하기 위한 구멍 및 덕트가 형성되는 동시에, 상기 구멍 내에 불활성 기체(질소)를 취출하기 위 한 피조사체를 향해 노즐 형상으로 돌출되는 에어나이프가 설치되어 있다. 상기 에어나이프에 의해 외부로부터 피조사체에 수반하여 유입되는 공기 중의 산소를 차단하거나 차단할 수 없는 산소는 희석한다.

즉, 방식 B는 피조사체를 전자선에 의한 처리 반응을 저해하지 않은 질소 등의 불활성 기체 중에 담금으로써, 전자선에 의한 피조사체의 처리에 대한 산소의 저해를 방지하는 방식이다.

[특허 문헌 1] 일본 특허 공고 평5-36212호 공보

[특허 문헌 2] 일본 특허 공고 소63-8440호 공보

[특허 문헌 3] 일본 특허 공개 평5-60899호 공보

[특허 문헌 4] 실용신안 공개 평6-80200호 공보

방식 B에 의한 전자선 조사 장치에서는 장치의 중후장대화를 방지할 수 있고, 또한 전자선에 의한 피조사체의 처리가 특히 도포막의 경화인 경우에 처리면(도포막면)이 윤기의 규제를 받지 않는다는 이점을 얻을 수 있다. 그 반면, 띠 형상의 피조사체를 주행시키면서 전자선 조사를 계속하는 동안 끊임없이 외부로부터 피조사체에 수반하여 산소가 조사실을 향해 계속 유입된다. 이로 인해, 산소 농도를 충분히 저수준으로 계속 유지하기 위해서는 끊임없이 다량의 불활성 기체의 공급이 필요하였다. 또한, 그로 인한 경비도 매우 커진다.

특히, 피조사체의 처리 속도(주행 속도)를 고속화하면 속도 증가에 수반하여 유입 산소량도 증가하고, 급격히 조사실 내의 산소 농도가 상승하여 전자선 처리 저해를 방지할 수 없게 된다.

본 발명의 과제는 전자선 조사 장치의 중후장대화를 억제할 수 있고, 특히 도포막이 경화인 경우에 처리면이 윤기의 규제를 받지 않는 이점을 갖는 방식 B에 의한 전자선 조사 장치를 더 개량하여, 띠 형상의 피조사체의 주행 속도를 고속도화시켜도 조사실의 산소 농도가 증가화되는 것을 억지하고, 또한 불활성 기체의 소비량도 저감시키는 데 있다.

상기 과제를 해결해야만 하는 본 발명의 전자선 조사 장치는,

(A) 전자선을 발생시켜, 상기 전자선을 투과 창부로부터 외부에 방사하는 전자선 발생부와, (B) 상기 전자선 발생부의 투과 창부에 인접하여 주위를 둘러싸는 격벽과, 상기 격벽에 개구되어 띠 형상의 피조사체를 반입시키는 반입 개구부, 및 반출시키는 반출 개구부를 갖고, 불활성 기체로 충전된 폐쇄 공간이며, 상기 투과 창부로부터 방사되는 전자선이, 외부로부터 반입되어 주행하는 띠 형상의 피조사체에 대해 조사되는 조사실과,

(C) 상기 조사실의 피조사체 주행 방향에 있어서의 상류측에 인접하여 설치되고, 띠 형상의 피조사체를 반입시키는 반입 개구부, 및 반출시키는 반출 개구부를 갖는 폐쇄 공간이며, 상기 폐쇄 공간 내에 상기 띠 형상의 피조사체를 주행시켜 상기 조사실까지 도입하는 동시에, 상기 피조사체의 조사면측에 불활성 기체를 송풍하고, 상기 피조사체의 표면 근방에 수반하여 유입되는 공기 중의 산소를 희석 내지 차단하는 산소 차단부를 구비하여, 띠 형상의 피조사체를 주행시키면서 상기 피조사체에 전자선을 조사하는 전자선 조사 장치이며,

(C1) 상기 산소 차단부는 주행하는 띠 형상의 피조사체의 조사면측과 대면하는 표면측 격벽과, 상기 피조사체의 조사면과는 반대면측에 대면하는 이면측 격벽 및 상기 피조사체의 양쪽 측면측에 대면하는 한 쌍의 측면 격벽에 의해 상기 피조사체를 둘러싸는 동시에,

(C2) 상기 산소 차단부의 표면측 격벽과 이면측 격벽 사이의 간극(Ws)과, 상기 조사실에 있어서 상기 조사실을 주행하는 띠 형상의 피조사체를 협지한 표면측 격벽과 이면측 격벽 간극(We) 사이에는, Ws ＜ We가 되는 관계를 갖고,

(C3) 상기 산소 차단부의 표면측 격벽과 이면측 격벽 사이의 간극(Ws)은 상기 산소 차단부의 전역에 걸쳐 동일(간극 형성시의 오차로 인하여 간극(Ws)이 약간 커지거나 작아질 수 있음)하며,

(C4) 상기 산소 차단부의 표면측 격벽에는, 취출구가 상기 표면측 격벽으로부터도 돌출도 함몰도 하지 않은 평면 상태로 형성된 불활성 기체의 취출 슬릿을 갖는 전자선 조사 장치로 하였다.

이와 같은 구성으로 함으로써, 금속 드럼이 불필요한 방식이므로, 우선 전자선 조사 장치의 중후장대화를 억제할 수 있고, 특히 도포막의 경화 처리의 경우에 처리면이 윤기의 규제를 받지 않는다. 또한, 본 발명 고유의 구성의 산소 차단부에 의해, 띠 형상의 피조사체의 주행 속도를 고속도화시켜도 조사실의 산소 농도가 증대되는 것을 억지하고, 또한 불활성 기체의 소비량도 저감시킬 수 있다. 따라서, 불활성 기체의 사용이 효율적으로 된다.

본 발명의 전자선 조사 장치의 일형태에 있어서는, 상기 산소 차단부의 피조사체 통과 방향에 있어서의 상류측에, 또한 상기 피조사체 상측 표면에 미경화 상태의 액상의 전자선 경화성 수지를 도공하는 도공부가 마련되어도 좋다.

이와 같은 구성으로 함으로써, 전자선 경화성 수지의 도포막 형성과, 상기 도포막의 전자선에 의한 처리를 인라인에서 효율적으로 행할 수 있다.

본 발명의 전자선 조사 장치의 일형태에 있어서, 상기 산소 차단부의 표면측 격벽과 이면측 격벽 사이의 간극(Ws)은 상기 피조사체의 두께보다도 1 ㎜ 내지 20 ㎜의 범위로 크게 설정되어도 좋다. 이 범위로 설정하면, 피조사체의 주행 속도를 200 m/min. 정도까지 증속해도 조사실(E)의 산소 농도를 100 ppm 이하로 억제할 수 있다.

본 발명의 전자선 조사 장치의 일형태에 있어서, 상기 슬릿으로부터의 상기 불활성 기체의 취출 방향이 피조사체의 주행 방향과 직교하는 방향에 대해 상기 주행 방향의 상류측으로 경사지도록 상기 슬릿이 형성되어도 좋다. 이와 같이 슬릿을 경사지게 함으로써, 슬릿으로부터 송풍된 불활성 기체를 피조사체에 수반하여 침입하는 공기에 대해 나이프 에지와 같이 대고, 수반 공기를 효율적으로 피조사체로부터 박리하여 산소 차단부의 반입 개구부로부터 압출할 수 있다.

본 발명의 전자선 조사 장치의 일형태에 있어서, 상기 슬릿에 대해 상기 피조사체의 주행 방향 하류측에는, 상기 불활성 기체를 상기 피조사체에 대해 상기 슬릿과 동일한 측으로부터 급기하는 급기 구멍이 마련되어도 좋다. 본 형태에 따르면, 슬릿으로부터 송풍되는 불활성 기체에 의해 피조사체의 수반 공기를 박리하여 조사실로의 수반 공기의 침입을 억제하면서, 피조사체를 급기 구멍으로부터 급기하는 불활성 기체에 의한 지지층으로 지지할 수 있다. 그에 의해, 슬릿으로부터의 불활성 기체의 송풍에 수반하는 피조사체의 표리의 압력 균형의 변화에 기인하는 피조사체의 변동을 억제하면서, 산소 차단부에 있어서 피조사체를 원활하게 주행시킬 수 있다.

상기 급기 구멍을 마련하는 형태에 있어서는, 상기 슬릿으로부터 송풍되는 불활성 기체의 유속보다도 상기 급기 구멍으로부터 취출되는 불활성 기체의 유속을 저하시키는 교축 밸브를 더 구비해도 좋다. 이러한 교축 밸브를 설치함으로써, 슬릿으로부터는 수반 공기를 충분히 배출할 수 있도록 고속으로 불활성 기체를 송풍하면서, 급기 구멍으로부터는 피조사체의 지지에 필요한 정도의 불활성 기체를 급기시켜 피조사체의 변동을 적절하게 억제할 수 있다.

또한, 급기 구멍을 마련하는 형태에 있어서, 상기 급기 구멍은 상기 피조사체의 주행 방향에 대해 직교하는 방향으로 연장되는 관통 구멍으로서 형성되어도 좋다. 이러한 관통 구멍으로 하면, 급기 구멍으로부터 급기되는 불활성 기체를 급기 구멍의 주위에 비교적 체류시켜 불활성 기체에 의한 피조사체의 지지층을 효율적으로 형성할 수 있다. 또한, 상기 급기 구멍의 직경이 상기 슬릿의 간격보다도 크게 설정됨으로써, 급기 구멍으로부터 급기되는 불활성 기체의 유속을 비교적 용이하게 억제할 수 있다.

(1) 본 발명의 전자선 조사 장치에 따르면, 우선 장치의 중후장대화를 억제할 수 있고, 도포막의 경화 처리시에 처리면이 윤기의 규제를 받지 않고 임의의 윤기면이 가능해진다. 또한, 띠 형상의 피조사체의 주행 속도를 고속화시에 조사실의 산소 농도 증대를 억지하고, 또한 불활성 기체의 소비량도 저감시킬 수 있다. 따라서, 불활성 기체의 사용이 효율적으로 된다.

(2) 또한, 산소 차단부의 상류측에 도공부를 마련한 경우에는 전자선 경화성 수지의 도포막 형성과, 상기 도포막의 전자선 처리가 인라인에서 효율적으로 행할 수 있다.

도1은 본 발명의 전자선 조사 장치의 기본적인 형태(도공부 없음)를 개념적인 부분 단면도로 도시하는 설명도.

도2는 본 발명의 특징 부분인 산소 차단부(S)의 일형태를 도시하는 확대 단면도.

도3은 산소 차단부(S) 및 조사부(E)를 각각 2 분할할 수 있는 일형태를 나타내는 설명도.

도4는 도공부도 갖는 전자선 조사 장치의 일형태를 도시하는 설명도.

도5는 산소 차단부에 관한 다른 형태를 도시하는 단면도.

도6은 도5의 산소 차단부의 표면측 격벽의 일부를 도5의 화살표(Ⅵ) 방향에서 본 상태를 도시하는 도면.

도7은 도5의 산소 차단부에 대해 불활성 기체를 공급하기 위한 배관 구성을 도시하는 사시도.

[부호의 설명]

C : 냉각기

D : 건조기

e : 전자선

E : 조사실

E_A : 조사실 가동측

E_B : 조사실 고정측

E1 : 조사실의 반입 개구부

E2 : 조사실의 반출 개구부

E3 : 표면측 격벽

E4 : 이면측 격벽

E5 : 투과 창부

F : 피조사체

Lc, Ln : 반송 롤러

M : 이동 수단

Mw : 활차

Ml : 레일

N : 불활성 기체

P : 도관

P1, P2 : 집합부

P3, P4 : 분배관

P5 : 합류부

P6 : 주배관

P7 내지 P10 : 교축 밸브

R : 전자선 발생부

Ra, Rr : 권취 롤

S : 산소 차단부

S_A : 산소 차단부 가동측

S_B : 산소 차단부 고정측

S1 : 산소 차단부의 반입 개구부

S2 : 산소 차단부의 반출 개구부

S3 : 표면측 격벽

S4 : 이면측 격벽

S5 : 취출 슬릿

S6, S8 : 공간

S7 : 급기 구멍

T : 도공부

T1 : 판동

T2 : 잉크팬

T3 : 독터 블레이드

T4 : 압동

V : 주행 방향

Ws : 산소 차단부에서의 격벽의 간격

We : 조사실에서의 격벽의 간격

이하, 도면을 참조하면서 본 발명을 실시하기 위한 최량의 형태를 설명한다.

〔도면의 개요〕

우선, 도1은 본 발명의 전자선 조사 장치의 기본적인 형태(도공부 없음)를 개념적으로 도시하는 부분 단면도적인 설명도이다. 도2는 본 발명의 특징 부분인 산소 차단부(S)의 확대 단면도이다. 도3은 산소 차단부(S) 및 조사부(E)를 각각 2 분할할 수 있는 일형태를 나타내는 설명도이다. 즉, 도3은 산소 차단부(S)에 서로 끼워 맞춤 가능하고 또한 수평 방향으로 분할하여 분리하는 것이 가능한 산소 차단부 가동측(S_A) 및 산소 차단부 고정측(S_B)을 마련하고, 조사부(E)에 서로 끼워 맞춤 가능하고 또한 수평 방향으로 분할하여 분리 가능한 조사부 가동측(E_A) 및 조사부 고정측(E_B)을 마련한 일형태를 나타내는 설명도이다. 도4는 산소 차단부(S)의 상류측에 도공부도 갖는 형태를 나타내는 설명도이다. 또한, 본 발명의 전자선 조사 장치는, 그 취지를 일탈하지 않는 범위 내에서 이들 도면에 한정되는 것은 아니다.

〔장치 전체의 개요〕

장치 전체의 개요를, 도1에 예시하는 본 발명의 전자선 조사 장치의 기본적인 일형태를 참조하여 설명한다.

도1에 예시하는 바와 같이, 본 발명의 전자선 조사 장치는 전자선(e)을 발생하는 전자선 발생부(R), 전자선을 주행하는 띠 형상의 피조사체(F)에 조사하는 조사실(E), 상기 조사실(E)의 상류측에 인접 배치한 산소 차단부(S)를 구비하고 있다. 또한, 도면 중 띠 형상의 피조사체(F)는 권취 롤(Ra)로부터 권취되어 반송 롤러(Lc)에서 안내되어 전자선 조사 장치에 산소 차단부(S)의 반입 개구부(S1)로부터 들어가고, 조사실(E) 내를 주행하면서 전자선(e)을 조사된 후, 조사실의 반출 개구부(E2)로부터 장치 외부로 나와 반송 롤러(Ln)에서 안내되어 권취 롤(Rr)에 권취된다.

산소 차단부(S)는 도2의 단면도와 같이 조사실(E)의 상류측에 인접하여 마련된다. 또한, 본 발명에 있어서「상류」및「하류」라 함은, 띠 형상의 피조사체(F)의 주행 방향(V)을 기준으로 하여, 전자선 조사 장치로부터 보아 피조사체(F)의 공급 본래의 방향, 즉 권취 롤(Ra)의 방향을「상류」라 한다. 또한, 전자선 조사 장치로부터 보아 피조사체(F)의 송출처의 방향, 즉 권취 롤(Rr)의 방향을「하류」라 한다.

이러한 전자선 조사 장치에 있어서, 본 발명에서 특징적인 구성은 산소 차단부(S)에서의 피조사체(F)를 협지한 표면측 격벽과 이면측 격벽의 간극(Ws)과, 조사실(E)에서의 피조사체를 협지한 표면측 격벽과 이면측 격벽 간극(We)이 Ws ＜ We가 되는 관계를 갖고 있는 데다가, 또한 상기 간극(Ws)이 산소 차단부의 전역에 걸쳐 동일(간극 형성시의 오차로 인하여 간극(Ws)이 약간 커지거나 작아질 수 있음)하고, 또한 그 표면측 격벽에 취출구가 상기 표면측 격벽으로부터도 돌출도 함몰도 하지 않은 평면 상태로 형성되어 불활성 기체를 취출하는 취출 슬릿(S5)을 갖는 데 있다.

또한, 조사실(E)에 도관(P)으로부터 불활성 기체(N)가 도입됨으로써 실내는 산소 농도가 낮은 상태로 유지된다. 또한, 전자선 발생부(R)에서 발생시킨 전자선(e)은 투과 창부(E5)를 투과하고, 이 전자선이 피조사체(F)에 조사된다. 또한 전자선이 조사되는 위치의 피조사체의 내측에는 냉각기(C)(전자선 포착기)가 설치되어 있다.

또한, 산소 차단부 및 조사실에서 이용되는 불활성 기체(N)는, 예를 들어 아르곤, 헬륨 및 네온 등의 희박 가스 원소 및 질소 등이지만, 통상 비용 등의 면으로부터 주로 질소가 이용된다.

또한, 피조사체(F)는 띠 형상으로 박막의 필름(내지 시트) 형상이면, 특별히 제한은 없다. 피조사체(F)의 두께는, 통상 5 ㎛ 내지 300 ㎛ 정도의 것이 대상이 된다. 전자선 처리의 구체예를 들면, 폴리에틸렌 등의 수지 필름 자체를 피조사체로 하고, 이에 대해 전자선 조사에 의해 분자의 가교(반응)를 행하는 처리 등이다. 이 밖에, 예를 들어 폴리에스테르 등의 수지로 이루어지는 필름, 종이 및 금속박 등의 필름 형상의 기재 표면에 아크릴레이트의 모노머나 프리폴리머 등으로 이루어지는 전자선 경화성 수지 도료의 도포막을 도공 형성한 것을 피조사체로서, 이 피조사체가 갖는 상기 도포막을 전자선 조사에 의해 가교 및 경화시키는 처리 등이다.

〔산소 차단부〕

다음에, 본 발명의 특징적 부분인 산소 차단부(S)의 구성에 대해, 그 일형태 를 나타내는 도2를 참조하여 상세하게 서술한다.

산소 차단부(S)는 주위를 격벽으로 둘러싸여진 폐쇄 공간[단, 피조사체(F)의 반입 및 반출 부분을 제외함]으로 형성되어 있다. 이들 격벽은 주행하는 띠 형상의 피조사체(F)의 조사면측과 대면하는 표면측 격벽(S3)과, 상기 피조사체의 조사면과는 반대면측에 대면하는 이면측 격벽(S4) 및 상기 피조사체의 양쪽 측면측에 대면하는 한 쌍의 측면 격벽(도시하지 않음)으로 이루어진다. 이들 격벽의 재료는, 통상은 철 및 알루미늄 등의 금속이 이용된다.

산소 차단부(S)는, 또 피조사체(F)를 상기 산소 차단부(S)에 반입시키는 반입 개구부(S1) 및 상기 산소 차단부(S)로부터 반출시키는 반출 개구부(S2)를 갖는다. 또한, 산소 차단부(S)의 표면측 격벽(S3)에는 불활성 기체를 산소 차단부에 취출하는 취출 슬릿(S5)이 1 군데 이상 개구되어 있다.

그리고, 본 발명에서는 이 산소 차단부(S)의 표면측 격벽(S3)과 이면측 격벽(S4)의 간극(Ws)은, 후술하는 조사실(E)에서의 상기 조사실을 주행하는 띠 형상의 피조사체를 협지한 상기 조사실의 표면측 격벽(E3)과 이면측 격벽(E4)의 간극(We)과, Ws ＜ We가 되는 관계의 간격으로 한다.

이로 인해, 우선 산소 차단부(S)의 반입 개구부(S1)에 들어가는 단계이고, 반입 개구부(S1)로부터 외측의 공기는 격벽에 튕겨져 침입을 저지할 수 있다. 계속해서, 피조사체(F)의 표리면에 점성 저항으로 부착 및 수반하여 산소 차단부(S) 내에 침입한 고산소 농도의 공기에 대해서는 간극(Ws)이 좁고, 그 유체 저항은 커진다. 따라서, 수반 공기는 피조사체 표면으로부터 박리하고, 또 조사실(E)을 향 하는 수반 공기의 속도도 감속된다.

이에 부가하여, 표면측 격벽(S3)에 마련된 불활성 기체를 취출하는 취출 슬릿(S5)으로부터 불활성 기체(N)가 산소 차단부(S)에 연속 공급된다. 이로 인해, 산소 차단부(S) 내의 산소는 희석(저농도화)된다. 또한 산소 차단부(S) 내의 상류부의 산소는 반입 개구부(S1)로부터 유출되는 불활성 기체에 끌어당겨 외부에 압출된다.

또한, 간극(Ws)은 산소 차단부(S)의 피조사체 주행 방향에 있어서의 전역에 걸쳐 동일(간극 형성시의 오차로 인하여 간극(Ws)이 약간 커지거나 작아질 수 있음)한 값으로 한다. 간극(Ws)의 값은 작을수록 공기 중 산소의 유입에 의한 조사실 내의 산소 농도 상승을 저지하는 점에서 바람직하지만, 지나치게 좁아지면 주행하는 피조사체와 접촉하는 문제점을 생기기 쉽게 되기 때문에 양자를 감안하여 적절하게 수치를 결정한다. 통상 간극(Ws)의 값은 피조사체의 두께보다도 1 ㎜ 내지 20 ㎜ 정도 많은 정도로 한다. 이 범위로 설정한 경우, 피조사체의 주행 속도를 200 m/min. 정도까지 증속해도 조사실(E)의 산소 농도를 100 ppm 이하로 억제할 수 있다.

또한, 산소 차단부(S)의 표면측 격벽(S3)에는 불활성 기체를 산소 차단부에 취출하는 취출 슬릿(S5)이 1 군데 이상 개구되어 있다. 상기 취출 슬릿(S5)은, 도2와 같이 표면측 격벽(S3), 보다 상세하게는 격벽(3)의 내면에 대해 돌출도 함몰도 하지 않은 평면 상태로 형성된다. 즉, 표면측 격벽(S3)은 취출 슬릿(S5) 부분도 포함하고, 피조사체(F) 측의 내면은 실질상 요철을 무시할 수 있는 거의 평탄한 면을 이룬다. 단, 도시한 바와 같이 완전한 평면 외에 원활한 만곡면이라도 좋다. 이 경우, 반송되는 띠 형상의 피조사체의 반송 경로도, 마찬가지로 상기 격벽과 동일 또는 대략 동일한 만곡면이다.

이상과 같이, 산소 차단부(S) 내의 간극(Ws)이 폭이 좁은 데다가, 간극(Ws)은 산소 차단부(S)의 전역에 걸쳐 동일(간극 형성시의 오차로 인하여 간극(Ws)이 약간 커지거나 작아질 수 있음)하고, 또한 취출 슬릿(S5)은 표면측 격벽(S3)으로부터 돌출도 함몰도 하지 않은 평면 상태로 형성되어 있으므로, 산소 차단부(S) 내에 송풍된 불활성 기체류는 대류하거나 막히거나 하지 않고, 수반 공기층의 박리, 산소의 희석 및 상류 외부로의 압출 등이 원활하게 실시된다. 그로 인해, 산소 차단부(S)로부터 조사실(E) 내로 유입되는 산소량을 대폭으로 저감시킬 수 있게 된다.

또한, 불활성 기체 사용량의 관점으로부터는 산소 차단부(S)의 표면측 격벽과 이면 격벽 사이의 간극(Ws)을 작게 또는 좁게 설정하고, 또한 간극(Ws)은 산소 차단부(S)의 전역에 걸쳐 동일(간극 형성시의 오차로 인하여 간극(Ws)이 약간 커지거나 작아질 수 있음)하게 하였으므로 산소 차단부(S) 내 용적은 필요 최소한으로 압박된다. 그로 인해, 산소 차단부(S) 내에 공급해야만 하는 불활성 기체량도 필요 최소한으로 완료하게 된다. 따라서, 산소 농도 저감화를 위한 불활성 기체 사용량을 절약할 수 있다.

또한, 불활성 기체를 송풍시키는 취출 슬릿(S5)은, 공기 중의 산소 유입 저지의 점으로부터는 산소 차단부(S) 내에 있어서 보다 상류에 마련하는 것이 바람직하다.

취출 슬릿(S5)에는 도관(P)이 접속되고, 도관(P)을 경유하여 불활성 기체(N)가 공급된다. 또한, 도2의 예에서는 불활성 기체의 분출량 및 취출 압력의 변동을 완충하기 위해 취출 슬릿(S5)의 배후에 공간(S6)을 마련하고 있다. 따라서, 도관(P)으로부터의 불활성 기체(N)는 공간(6)을 경유하여 슬릿(S5)에 공급된다.

또한, 취출 슬릿(S5)은 피조사체(F)의 전자선 조사에 의한 처리면측에 적어도 마련한다. 통상은 전자선 조사측이 처리면이 되기 때문에, 도2의 예와 같은 구성에서는 취출 슬릿(S5)은 표면측 격벽(S3)에 마련되어 있고, 또한 취출 슬릿(S5)을 전자선 조사에 의한 처리면 및 그 반대면의 양면에 마련할 수도 있다.

〔전자선 발생부〕

전자선 발생부(R)는 전자선을 발생시켜, 그 전자선을 투과 창부(E5)로부터 외부에 방사하는 것이며, 기존의 전자선 발생 장치를 적절하게 채용할 수 있다. 또한, 이와 같은 전자선 발생 장치는, 예를 들어 가부시끼가이샤 NHV 코포레이션, 미국 에너지 및 사이언스사(ESI사) 등으로부터 시판되고 있다.

〔조사실〕

조사실(E)은, 전술한 도1과 같이 전자선 발생부(R)의 투과 창부(E5)에 인접하여, 주위를 격벽으로 둘러싼 폐쇄 공간(피조사체의 반입 및 반출 부분은 제외함)을 구성한다. 조사실(E) 내에는 불활성 기체(N)를 충전하여 저산소 농도(통상 300 ppm 이하 정도)로 유지하고, 이와 같은 저산소 농도 분위기 중에서 피조사체(F)에 전자선(e)을 조사함으로써 가교, 중합, 분해 및 경화 등의 소정의 전자선 처리를 실시한다.

조사실(E)의 격벽은, 통상 철 및 알루미늄 등의 금속이 이용된다. 특히 제동 방사의 X선을 차폐할 필요가 있는 부분은 납 등의 X선 차폐 능력이 높은 금속을 이용하여 충분한 두께로 형성한다.

또한, 조사실(E)은 그 상류측의 산소 차단부(S)와도 접속하고 있다. 조사실(E)의 산소 차단부(S)측의 격벽에는 피조사체(F)를 반입하는 반입 개구부(E1)를 갖고, 또한 조사실(E)에 있어서의 하류측에는 피조사체(F)를 반출시키는 반출 개구부(E2)를 갖는다. 그리고, 반입 개구부(E1) 및 반출 개구부(E2) 사이를 띠 형상의 피조사체(F)가 주행한다. 또한, 피조사체(F)의 주행을 돕기 위해 조사실 내부에는 적절하게 반송 롤러(Lc)가 설치된다. 또한, 도1 및 도2의 형태에서는 산소 차단부(S)의 반출 개구부(S2)와 조사실(E)의 반입 개구부(E1)가 일치하거나 겸용되어 있다.

조사실(E) 중의 산소 농도를 낮게 유지하기 위해, 조사실(E) 내에는 도관(P)을 경유하여 불활성 기체(N)를 공급하여 충전한다. 또한, 피조사체(F)의 전자선 발생부(R)와는 반대측에는 피조사체(F)를 투과해 오는 전자선을 포착하는 동시에, 포착시에 발생하는 열을 냉각하기 위한 냉각기(전자선 포착기)(C)를 갖는다.

또한, 상기한 바와 같이 조사실(E)의 피조사체(F)를 협지한 양 격벽 사이의 간격(We)은, 산소 차단부(S)의 표면측 격벽(S3)과 이면측 격벽(S4)의 간격(Ws)보다도 크거나 넓게 한다. 조사실(E)에는 산소 차단부(S)에서 완전하게 제거할 수 없었던 산소가 피조사체(F)의 주행에 수반하여 유입된다. 그 양은 적다고는 하지만, 장시간 적분되면 산소 농도의 증가는 역시 무시할 수 없게 된다. 그로 인해, 조사실(E) 내에도 도관(P)을 경유하여 계속적으로 불활성 기체를 공급하는 동시에, 유입해 온 산소를 희석하여 농도 증가를 둔감하게 하기 때문에 어느 정도 용적은 큰 것이 필요하다. 그로 인해, 간격(We)은 We ＞ Ws를 만족시키면서 크게 설정한다.

이와 같이 Wc ＞ Ws가 되는 관계에서 조사실(E)을 산소 차단부(S)보다도 용적을 크게 함으로써, 조사실(E) 내까지 산소 차단부(S)로부터 유입해 오는 산소는 더욱 대폭으로 희석된다.

그리고, 산소 차단부(S)에서의 산소 저농도화 및 조사실(E)에서의 산소 저농도화에 의해 조사실 내의 산소 농도는 저농도로 유지할 수 있고, 피조사체(F)의 주행 속도를 고속도화시킨 경우라도 산소 농도는 증가하기 어려워진다.

또한, 불활성 기체의 사용량의 점에서도, 조사실(E)은 그 상류부에 산소 차단부(S)를 마련함으로써, 피조사체 주위에 수반하는 공기가 조사실(E) 내에 들어 가는 시점에서 이미 산소 농도는 저감되고 있다. 이로 인해, 조사실(E) 내에 공급하는 불활성 기체량은 적게 완료된다.

또한, 전술한 산소 차단부(S) 내에도 표면측 격벽과 이면 격벽 사이의 간극(Ws)을 작게 혹은 좁게 설정하고, 또한 간극(Ws)은 산소 차단부(S)의 전역에 걸쳐 동일(간극 형성시의 오차로 인하여 간극(Ws)이 약간 커지거나 작아질 수 있음)하게 하였으므로 산소 차단부(S) 내용적은 필요 최소한으로 압박된다. 그로 인해, 산소 차단부(S) 내에 공급해야만 하는 불활성 기체량도 필요최소한으로 완료된다.

따라서, 산소 농도 저감화를 위한 불활성 기체 사용량을 절약할 수 있게 된다.

〔분할 구조〕

또한, 도1 및 도2에서는 명시적으로 그리고 있지 않지만, 통상은 피조사체를 전자선 조사 장치 내에 통과시키는 종이 통과를 용이하게 행할 수 있고, 또한 장치의 보수 작업 등도 용이하게 할 수 있도록, 전자선 조사 장치는 상기 장치 내를 주행하는 피조사체의 주행면 내지는 상기 주행면 근방을 분할면으로서 분할할 수 있는 구조를 취한다. 물론, 종이 통과나 보수 작업 등으로 지장이 없는 경우에는 분할 구조로 하지 않아도 좋다.

도3은 본 발명의 전자선 조사 장치에 채용한 분할 구조의 일례이며, 전자선 조사 장치 내의 피조사체 주행면이 수직 내지는 대략 수직으로 상기 장치를 수평 방향으로 2 분할 가능하게 한 구조의 예이다.

도3에 도시한 분할 구조에서는, 본 발명의 전자선 조사 장치는 그 산소 차단부(S)를 끼워 맞춤 가능한 산소 차단부 가동측(S_A) 및 산소 차단부 고정측(S_B)으로 2 분할하고, 또한 조사부(E)도 서로 끼워 맞춤 가능한 조사부 가동측(E_A) 및 조사부 고정측(E_B)으로 2 분할한 구성의 일형태를 나타낸다. 그리고, 산소 차단부 가동측(S_A)과 조사부 가동측(E_A)을 수평 방향으로 가동 가능하게 하고, 산소 차단부 고정측(S_B)과 조사부 고정측(E_B)을 고정으로 한다. 또한, 산소 차단부 가동측(S_A)과 조사부 가동측(E_A)의 가동측 및 산소 차단부 고정측(S_B)과 조사부 고정측(E_B)의 고정측 각각의 끼워 맞춤면에는 패킹 등의 밀폐 수단을 마련함으로써, 양자 끼워 맞춤시에는 조사실(E) 및 산소 차단부(S)는 외부와는 밀봉 및 차단된다. 전자선 조사 장치의 동작을 정지하여 내부의 보수, 점검 및 청소 등을 행할 때에는 산소 차 단부 가동측(S_A)과 조사부 가동측(E_A)의 가동측 및 산소 차단부 고정측(S_B)과 조사부 고정측(E_B)의 고정측의 양자는 분리된다. 도3은 이 분리된 상태를 도시한다.

가동측의 산소 차단부 가동측(S_A)과 조사부 가동측(E_A)은 이동 수단(M)에 의해, 바닥면 상에 고정된 산소 차단부 고정측(S_B) 및 조사부 고정측(E_B)에 대해 접근 이탈 가능해진다.

또한, 이동 기구(M)로서는, 바닥면 상에 마련된 레일(Ml), 활차(Mw) 및 필요에 따라서 유압 실린더와 피스톤 등의 구동 기구(도시하지 않음)를 구비한 기구를 이용할 수 있다. 도3에서는 전자선 발생부(R)가 마련되는 측을 고정측(S_B, E_B)으로 하였지만, 전자선 발생부(R)의 측을 가동측으로 해도 좋다.

다음에, 도4를 참조하여, 본 발명의 전자선 조사 장치의 다른 실시 형태를 설명한다.

도4는 도1에서 예시한 형태의 전자선 조사 장치에 대해, 또 도공부(T)를 마련하여 이루어지는 전자선 조사 장치의 일형태를 나타낸 설명도이다. 도4에서 예시하는 전자선 조사 장치는, 도1의 전자선 조사 장치의 산소 차단부(S)와 권취 롤(Ra) 사이에 피조사체(F)를 따라 도공부(T)를 갖는다. 도공부(T)는 공지의 도공 수단을 적절하게 채용하면 좋지만, 도시한 예에서는 도공부(T)는 공지의 그라비아 코터이며, 전자선 경화성 수지로 이루어지는 액상 잉크를 넣은 잉크팬(T2)과, 잉크팬(T2) 중의 도료에 하측 절반만큼이 함침된 상태로 회전하는 그라비아 인쇄판으로 이루어지는 판동(T1), 판동(T1) 표면의 잉여의 도료를 긁어 떨어뜨리는 독터 블레이드(T3) 및 피조사체(F)를 판동(T1)과는 반대측으로 가압하고, 판동(T1) 표면의 미소 셀 내에 충전된 도료를 피조사체(F) 표면에 전이시키기 위한 압동(T4)으로 이루어진다. 또한, 도공부로서 도시한 그라비아 코터 이외에, 롤 코터, 커튼플로우 코터, 콤마 코터 등을 이용해도 좋다.

또한, 도시한 형태에서는 도공부(T)와 산소 차단부(S) 사이에 피조사체(F)를 따라 건조기(D)를 더 갖고 있다. 상기 건조기(D)는 도료 중에 희석 용제를 포함하고 있는 경우, 이를 건조 제거하기 위한 것이다. 도료 중에 희석 용제를 포함하지 않는 경우에는 건조기(D)는 생략할 수 있다. 건조기(D)는 열풍 송풍 및 적외선 복사 등의 공지한 방식 및 구조의 것을 사용할 수 있다.

다음에, 도5 내지 도7을 참조하여 산소 차단부(S)의 다른 형태를 설명한다. 또한, 상술한 도1 내지 도4의 형태와 공통되는 부분에는 동일한 참조 부호를 붙이고, 차이점을 중심으로 하여 설명한다.

도5에 도시한 바와 같이, 본 형태에서는 산소 차단부(S)의 상류측에 슬릿(S5)이 마련되는 동시에, 그 슬릿(S5)의 하류측에 복수의 급기 구멍(S7)이 마련되어 있다. 슬릿(S5)은 불활성 기체(N)의 취출 방향이 피조사체(F)의 주행 방향(V)과 직교하는 방향보다도 상류측에 비스듬하게 경사지도록 하여 마련되어 있다. 즉, 도5에 있어서 송풍 각도(θ)는 예각이며, 일례로서 60°로 설정된다. 이에 의해, 슬릿(S5)으로부터 피조사체(F)에 송풍되는 불활성 기체가 피조사체(F)에 대해 나이프 에지를 대도록 작용하여 수반 공기에 대한 박리 효과가 높아지고, 수반 공기의 조사실(E)로의 침입을 효율적으로 억제할 수 있다. 또한, 슬릿(S5)의 취출구가 표면측 격벽(S3)에 대해 돌출도 함몰도 하지 않은 평면 상태로 형성되어 있는 것, 슬릿(S5)의 배후에 도관(P)으로부터의 불활성 기체(N)가 도입되는 공간(S6)이 마련되는 것은 도2의 형태와 동일하다. 본 형태에서는, 도6에 도시한 바와 같이 슬릿(S5)이 산소 차단부(S)의 폭 방향, 즉 도6의 좌우 방향에 있어서 피조사체(F)와 동등 또는 그 이상의 길이에 걸쳐 직선 형상으로 연속되도록 마련되어 있다. 또한, 슬릿(S5)의 개수는 1개로 한정되지 않고, 피조사체(F)의 주행 방향에 관해 복수개의 슬릿(S5)이 마련되어도 좋다.

한편, 도5 및 도6에 도시한 바와 같이, 각 급기 구멍(S7)은 원형의 취출구를 갖고, 또한 피조사체(F)의 주행 방향에 대해 직교하는 방향으로 연장되는 관통 구멍으로서 형성되어 있다. 급기 구멍(S7)은 피조사체(F)에 대해 슬릿(S5)과 동일한 측으로부터 불활성 기체를 급기하도록 표면측 격벽(S3)에 마련되어 있다. 산소 차단부(S)의 폭 방향에 관해 급기 구멍(S7)은 지그재그 형상으로 나열되어 있다. 급기 구멍(S7)의 개수, 배치 및 치수는 적절하게 설정해도 좋지만, 후술하는 이유로부터, 급기 구멍(S7)으로부터의 불활성 기체의 급기에 있어서는 슬릿(S5)과 같이 수반 공기를 박리하도록 나이프 에지 작용을 고려하지 않아도 좋다. 따라서, 급기 구멍(S7)의 단면 형상은 원형 등과 같이 이방성이 없거나 또는 적은 형상이라도 좋고, 그 직경(d)도 슬릿(S5)의 간격(t)(도6 참조)보다도 커도 좋다. 급기 구멍(S7)의 표면측 격벽(S3)에 있어서의 개구 부분은 표면측 격벽(S3)에 대해 돌출도 함몰도 하지 않은 평면 상태로 형성되어 있다. 급기 구멍(S7)의 배후에는 도관(P)으로부터의 불활성 기체(N)가 도입되는 공간(S8)이 마련된다.

도7은 산소 차단부(S)에 대한 배관을 도시하고 있다. 공간(S6, S8)의 각각에 대해, 복수의 도관(P)이 산소 차단부(S)의 폭 방향을 따라 적절한 피치로 늘어세워 접속되어 있다. 공간(S6)에 대한 도관(P)은 집합부(P1)로 집합하고, 공간(S8)에 대한 도관(P)은 집합부(P2)로 집합한다. 집합부(P1, P2)는 또 분배관(P3, P4)을 통하여 합류부(P5)에서 합류하고, 그 합류부(P5)가 주배관(P6)을 통하여 공통된 기체 공급원과 접속된다. 분배관(P3, P4)에는 불활성 기체의 유량 혹은 압력을 조정하기 위한 교축 밸브(P7, P8)가 설치되고, 또한 집합부(P2, P3)와 도관(P) 사이에도 마찬가지로 교축 밸브(P9, P10)가 설치되어 있다. 교축 밸브(P7, P8)가 설치되어 있음으로써 슬릿(S5)으로부터 취출되는 불활성 기체의 유속과, 급기 구멍(S7)의 각각으로부터 송풍되는 불활성 기체의 유속을 서로 독립하여 조정할 수 있다. 또한, 각 교축 밸브(P9)의 개방도를 조정함으로써, 산소 차단부(S)의 폭 방향에 있어서 슬릿(S5)으로부터 취출되는 불활성 기체의 유속의 변동을 억제할 수 있다. 각 교축 밸브(P10)의 개방도를 조정함으로써, 산소 차단부(S)의 폭 방향에 있어서 각 급기 구멍(S7)으로부터 취출되는 불활성 기체의 유속의 변동을 억제할 수 있다.

이상의 형태에서는, 산소 차단부(S)의 슬릿(S5)으로부터 취출되는 불활성 기체에 의해 피조사체(F)의 수반 공기를 박리하여 반입 개구부(S1)로부터 압출하면서, 급기 구멍(S7)으로부터 급기되는 불활성 기체의 압력에 의해 피조사체(F)의 변동을 억제하고, 그에 의해 조사실(E)로의 산소의 침입을 더 효율적으로 억제할 수 있다. 즉, 슬릿(S5)과 같이 가늘고 긴 구멍으로부터 고속으로 불활성 기체를 송풍한 경우, 필름 형상의 피조사체(F)의 표리에서 압력 균형이 무너져 피조사체(F)가 표면측 격벽(S3)에 가까이 당겨진다. 피조사체(F)에는 주행 방향으로 장력이 작용하고 있기 때문에, 피조사체(F)가 표면측 격벽(S3)에 가까이 당겨지면 이를 복귀시키고자 하는 힘이 발생하고, 이러한 힘이 교대로 작용함으로써 피조사체(F)가 간극(Ws)의 방향으로 변동이 생길 경우가 있다. 변동이 생기면 산소 차단부(S)를 통과하여 조사실(E)에 침입하는 산소량이 증가될 우려가 있다. 특히 본 형태에서는 간극(Ws)이 작기 때문에 그 경향이 높고, 또한 피조사체(F)의 속도가 높은 정도 그 경향도 높아진다. 그러나, 도5 내지 도7 형태에 따르면, 슬릿(S5)의 하류측에 인접하여 다수의 급기 구멍(S7)을 마련하고 있으므로, 이들 급기 구멍(S7)으로부터 급기되는 불활성 기체에 의해 피조사체(F)에 대한 불활성 기체의 지지층을 형성하고, 그 지지층에 의해 간극(Ws)의 방향에 관한 피조사체(F)의 떨림을 억제하여 피조사체(F)를 똑바로 원활하게 주행시키고, 그에 의해 산소 차단부(S)에 있어서의 산소 차단 효과를 높일 수 있다.

또한, 교축 밸브(P7 내지 P10)는 슬릿(S5)으로부터 송풍되는 불활성 기체의 유속보다도 급기 구멍(S7)으로부터 송풍되는 불활성 기체의 유속을 작게 조정할 수 있는 데 있어서 적절하게 생략하거나 추가해도 좋다. 고정 교축에 의해 슬릿(S5) 및 급기 구멍(S7)의 각각으로부터 원하는 상태로 불활성 기체를 송풍할 수 있는 경우에는, 개방도 조정 가능한 교축 밸브를 생략해도 좋다. 피조사체(F)의 변동을 억제할 수 있는 데 있어서, 급기 구멍(S7)의 개수는 1 이상의 적절한 수로 설정해 도 좋다.

Claims

(A) 전자선을 발생시켜, 상기 전자선을 투과 창부로부터 외부에 방사하는 전자선 발생부와,

(B) 상기 전자선 발생부의 투과 창부에 인접하여 주위를 둘러싸는 격벽과, 상기 격벽에 개구되어 띠 형상의 피조사체를 반입시키는 반입 개구부, 및 반출시키는 반출 개구부를 갖고, 불활성 기체로 충전된 폐쇄 공간이며, 상기 투과 창부로부터 방사되는 전자선이, 외부로부터 반입되어 주행하는 띠 형상의 피조사체에 대해 조사되는 조사실과,

(C) 상기 조사실의 피조사체 주행 방향에 있어서의 상류측에 인접하여 설치되고, 띠 형상의 피조사체를 반입시키는 반입 개구부, 및 반출시키는 반출 개구부를 갖는 폐쇄 공간이며, 상기 폐쇄 공간 내에 상기 띠 형상의 피조사체를 주행시켜 상기 조사실까지 도입하는 동시에, 상기 피조사체의 조사면측에 불활성 기체를 송풍하고, 상기 피조사체의 표면 근방에 수반하여 유입되는 공기 중의 산소를 희석 내지 차단하는 산소 차단부를 구비하여, 띠 형상의 피조사체를 주행시키면서 상기 피조사체에 전자선을 조사하는 전자선 조사 장치이며,

(C1) 상기 산소 차단부는 주행하는 띠 형상의 피조사체의 조사면측과 대면하는 표면측 격벽과, 상기 피조사체의 조사면과는 반대면측에 대면하는 이면측 격벽, 및 상기 피조사체의 양쪽 측면측에 대면하는 한 쌍의 측면 격벽에 의해, 상기 피조사체를 둘러싸는 동시에,

(C2) 상기 산소 차단부의 표면측 격벽과 이면측 격벽 사이의 간극(Ws)과, 상기 조사실에 있어서 상기 조사실을 주행하는 띠 형상의 피조사체를 협지한 표면측 격벽과 이면측 격벽 간극(We) 사이에는,

Ws ＜ We

가 되는 관계를 갖고,

(C3) 상기 산소 차단부의 표면측 격벽과 이면측 격벽 사이의 간극(Ws)은, 상기 산소 차단부의 전역에 걸쳐 동일하며,

(C4) 상기 산소 차단부의 표면측 격벽에는, 취출구가 상기 표면측 격벽으로부터도 돌출도 함몰도 하지 않은 평면 상태로 형성된 불활성 기체의 취출 슬릿을 갖는 전자선 조사 장치.
제1항에 있어서, 상기 산소 차단부의 피조사체 통과 방향에 있어서의 상류측에, 또한 상기 피조사체 상측 표면에 미경화 상태의 액상의 전자선 경화성 수지를 도공하는 도공부가 마련된 전자선 조사 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 산소 차단부의 표면측 격벽과 이면측 격벽 사이의 간극(Ws)이 상기 피조사체의 두께보다도 1 ㎜ 내지 20 ㎜의 범위로 크게 설정되어 있는 전자선 조사 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 슬릿으로부터의 상기 불활성 기체의 취출 방향이 피조사체의 주행 방향과 직교하는 방향에 대해 상기 주행 방향의 상류측으로 경사지도록 상기 슬릿이 형성되어 있는 전자선 조사 장치.
제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 슬릿에 대해 상기 피조사체의 주행 방향 하류측에는, 상기 불활성 기체를 상기 피조사체에 대해 상기 슬릿과 동일한 측으로부터 급기하는 급기 구멍이 마련되어 있는 전자선 조사 장치.
제5항에 있어서, 상기 슬릿으로부터 취출되는 불활성 기체의 유속보다도 상기 급기 구멍으로부터 취출되는 불활성 기체의 유속을 저하시키는 교축 밸브를 구비한 전자선 조사 장치.
제5항에 있어서, 상기 급기 구멍은 상기 피조사체의 주행 방향에 대해 직교하는 방향으로 연장되는 관통 구멍으로서 형성되어 있는 전자선 조사 장치.
제7항에 있어서, 상기 급기 구멍의 직경이 상기 슬릿의 간극보다도 큰 전자선 조사 장치.