CN1914541A - 制造微透镜阵列的方法 - Google Patents

制造微透镜阵列的方法 Download PDF

Info

Publication number
CN1914541A
CN1914541A CNA2004800413916A CN200480041391A CN1914541A CN 1914541 A CN1914541 A CN 1914541A CN A2004800413916 A CNA2004800413916 A CN A2004800413916A CN 200480041391 A CN200480041391 A CN 200480041391A CN 1914541 A CN1914541 A CN 1914541A
Authority
CN
China
Prior art keywords
optical clear
member segments
slice
described optical
bundle
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CNA2004800413916A
Other languages
English (en)
Other versions
CN100582867C (zh
Inventor
因·S·唐
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Individual
Original Assignee
Individual
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Individual filed Critical Individual
Publication of CN1914541A publication Critical patent/CN1914541A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN100582867C publication Critical patent/CN100582867C/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10—Beam splitting or combining systems
    • G02B27/1073—Beam splitting or combining systems characterized by manufacturing or alignment methods
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00—Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24—Coupling light guides
    • G02B6/255—Splicing of light guides, e.g. by fusion or bonding
    • G02B6/2552—Splicing of light guides, e.g. by fusion or bonding reshaping or reforming of light guides for coupling using thermal heating, e.g. tapering, forming of a lens on light guide ends
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C67/00—Shaping techniques not covered by groups B29C39/00 - B29C65/00, B29C70/00 or B29C73/00
    • B29C67/0044—Shaping techniques not covered by groups B29C39/00 - B29C65/00, B29C70/00 or B29C73/00 for shaping edges or extremities
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29D—PRODUCING PARTICULAR ARTICLES FROM PLASTICS OR FROM SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE
    • B29D11/00—Producing optical elements, e.g. lenses or prisms
    • B29D11/00663—Production of light guides
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00—Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01—Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/02—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor
    • C03B37/025—Manufacture of glass fibres or filaments by drawing or extruding, e.g. direct drawing of molten glass from nozzles; Cooling fins therefor from reheated softened tubes, rods, fibres or filaments, e.g. drawing fibres from preforms
    • C03B37/028—Drawing fibre bundles, e.g. for making fibre bundles of multifibres, image fibres
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29L—INDEXING SCHEME ASSOCIATED WITH SUBCLASS B29C, RELATING TO PARTICULAR ARTICLES
    • B29L2011/00—Optical elements, e.g. lenses, prisms
    • B29L2011/0075—Light guides, optical cables

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Ophthalmology & Optometry (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Overhead Projectors And Projection Screens (AREA)
  • Cathode-Ray Tubes And Fluorescent Screens For Display (AREA)
  • Cold Cathode And The Manufacture (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Mechanical Light Control Or Optical Switches (AREA)
  • Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
  • Optical Fibers, Optical Fiber Cores, And Optical Fiber Bundles (AREA)

Abstract

一种用于制造光控制构件，即通常所指的微透镜或微透镜阵列的方法。该方法包括提供光学透明部件束；切割该光学透明部件束，以形成至少一片光学透明部件段；以及加热所述至少一片光学透明部件段的至少一端，以在其上形成透镜面。

Description

制造微透镜阵列的方法
技术领域
本发明涉及一种光控制构件，具体地，涉及一种制造用于成像系统、光扫描系统、复印机等的微透镜阵列的方法。
背景技术
在微型封装中，微透镜阵列为成像应用提供光学适用性。传统上，微透镜定义为直径小于一毫米的透镜；但是有时直径大到五毫米的透镜也被认为是微透镜。
一种用于制造微透镜的常用技术通过以选定的光致抗蚀剂涂布基板开始，通过掩模向被光致抗蚀剂涂布的基板辐射曝光，或替代地，对光致抗蚀剂进行灰阶激光曝光。加热基板时，被曝光的光致抗蚀剂熔化，且表面张力将材料拉成凸透镜的形式。光致抗蚀剂的深度决定透镜的焦距。
制造微透镜的另一种方法采用离子交换。在该方法中，离子扩散到玻璃棒内，以引起径向折射率分布。折射率在透镜中心最高，并以自中心轴起的径向距离的二次方函数减少。采用离子交换方法制造的微透镜用于在例如远程通信中准直来自光纤的光。
微透镜的使用正在从分立的微透镜转向微透镜阵列。用于生产玻璃微透镜阵列的一个制造工艺通常涉及熔融硅的反应离子刻蚀(RIE)。通常，很难满足采用RIE制造的微透镜阵列的所有条件。RIE技术在能生产最终产品之前涉及许多步骤，因而产量通常很小而产品昂贵。
压力模制光学品质玻璃来形成微透镜阵列也是众所周知的方法。该方法包括在高温下压缩光学元件预成型物，即通常所知的坯料(gob)，从而形成玻璃透镜元件。在压力模制过程中，坯料插入模腔内。在模制期间，模具处于不含氧的室内。坯料通常位于下模具上，并被加热到玻璃转变温度以上并接近玻璃软化温度。然后上模具与坯料接触，并施加压力使坯料与模腔形状一致。冷却后，从模具中取出透镜。
然而，使用一个或多个预成型物压力模制微透镜阵列有许多困难，包括相对公共轴对准每个透镜元件的机械和光学轴，以及相对阵列中的参考点定位每个透镜元件。另外，如果微透镜直径小于1mm，用常规技术加工凸的非球面模腔非常困难。
微透镜阵列通常在光敏(如CCD)或发光(如微显示器)硅芯片顶面上形成。首先在硅基板上形成平坦化层。接着，在子像素区域与硅基板中的有源器件准确对准的情况下，在平坦化层上方形成滤色层。另一平坦化层通常形成在滤色层上方，最后光致抗蚀剂材料淀积在第二平坦化层上方。然后利用常规的光刻技术在光致抗蚀剂中形成矩形图案。曝光后，显影步骤移除曝光区域中的光致抗蚀剂，使像素有源区域上方中心岛区域透明。显影以及刻蚀移除这些中心区域之间的光致抗蚀剂材料，并在光致抗蚀剂区域中形成沟槽，这些沟槽分离限定分立微透镜部的光致抗蚀剂岛。接下来，硅基板的深等离子刻蚀会移除基板上方的所有层。然后光致抗蚀剂被剥去，通过控制时间和温度烘烤器件，使微透镜回流形成合适的光学形态。
因此，需要一种的改进的方法形成微透镜阵列，该方法可以不涉及常规技术而是采用光学透明材料束的新颖的工艺。
发明内容
本发明提供一种用于制造光控制构件，通常指用于成像系统、光扫描系统、复印机等的微透镜或微透镜阵列的方法。
在本发明的一个方面中，提供一种用于制造微透镜阵列的方法。该方法包括将光学透明部件束，例如棒或纤维粘合或结合在一起。该光学透明部件束被切割而形成部件段的片。片的剖面或表面可类似蜂巢状结构。该表面被抛光，以使切割过程生成的粗糙边缘平滑。如有需要，这些片的一面(端)或两面(端)可被修整，使其端面成形为所需形状。所修整的端面暴露于能量源，例如热源、电脉冲(electrical spike)、激光等，使得每个部件段的端面形成透镜段。
由本发明的方法制造的微透镜阵列可小可大。例如，可使微透镜阵列的尺寸从小于10μm平方到大于70in.×70in.壁式显示单元(wall display unit)。与其它微透镜阵列制造方法不同，每个透镜元件以高度的透镜尺寸均匀性制成。如下更详细的描述，阵列中透镜元件的排列可根据不同应用而固定。
本发明的范围由在本节引作参考的权利要求限定。通过以下一个或多个实施例的详细描述，将向本领域的技术人员提供本发明的实施例的更充分的理解及对其它优点的认识。首先，将参照附图简要描述。
附图说明
图1是根据本发明的一个实施例示出的本发明的方法的流程图；
图2是示出根据本发明的实施例的光学透明部件束的简化表示；
图3A是根据本发明的实施例的横截图2的束获得的光学透明部件段的切片的简化表示；
图3B是根据本发明的实施例的单个光学透明部件段的侧视图；
图4A是根据本发明的实施例示出的经热处理的光学透明部件段阵列的简化侧视图；
图4B是根据本发明的实施例示出的经热处理的光学透明部件段阵列的简化侧视图；
图5是根据本发明的实施例的用在包括微透镜阵列的投影系统中的光束形状转换器及光译码器(light interpreter)的简化表示；
图6A、6B、6C和6D是根据本发明的微透镜阵列的各种结构的简化侧视图；
图7A和7B是根据本发明的实施例示出的光学透明部件束的简化侧视图；
图8A和8B根据本发明的实施例示出经刻蚀工艺的标准切割光学透明部件段的简化表示；
图9是根据本发明的实施例示出的经热处理的光学透明部件段的简化表示。
本发明的实施例及其优点通过参照以下详细描述而更好理解。应理解相同的参考标号用于指代一个或多个图中所示相同的元件。
具体实施方式
图1是示出本发明的方法100的流程图。该方法包括：提供光学透明部件束，例如玻璃、塑料等制成的光学透明棒或光纤束(s102)。该光学透明部件束被分割或切片成一片或多片光学透明部件段(s104)，每片具有第一面和第二面。每片的厚度可制成任何所需厚度。
每片中每个光学透明部件段的端面可被抛光，从而形成光滑的端面。方法100还可包括对片的一面或两面修整(s106)，以将片的表面形成为从平面变为较圆化面的表面。
可选地，每个透明部件段的端面可被修整(s107)，从而在透镜元件成形过程中生成可变尺寸和形状的透镜构件。
如以下更详细的描述，每片光学透明部件段的一面或两面被施加可提供热处理的能量源，使得在光学透明部件段的一端或两端形成透镜元件(s108)。另外，如有需要，新形成的透镜元件阵列可用薄膜涂敷(s110)。涂层包括用于显示屏应用的防反射或防眩光材料。
图2是根据本发明的实施例的多个光学透明部件202的束200的简化表示。在一个实施例中，每个光学透明部件202可为棒、柱、纤维或其它可提供光通路的类似形状的部件。所述多个光学透明部件202沿每个部件的纵轴扎束在一起(s102)。所得构件的剖面类似蜂巢形结构。
在一个实施例中，光学透明部件202可采用任何合适的粘合剂，例如UV硬化粘合剂等粘合在一起形成束200。优选地，当使用UV粘合剂形成光学透明部件202的束200时，在粘合剂硬化之前用粘合剂填充可能存在于部件之间的任何缝隙。替代地，可在拉制(drawing/polling)过程中形成束200。
光学透明部件202可由多种材料制成。例如，在一个实施例中，光学透明部件202由玻璃(SiO2)，塑料、聚合物丝和其它类似的光学透明材料制成。
构成束200的每个光学透明部件202的直径和长度通常依据应用确定。
例如，在一个实施例中，在制造微透镜阵列时，束200的厚度(即，部件202的长度)大于或至少等于应用所需的微透镜阵列优选的厚度。例如，如图3A所示，为确保合适的厚度，束200可被切(s104)成单个的层或片300，以形成具有厚度t的光学透明部件段302的阵列。因此，光学透明部件202的长度应大于或等于t。
例如，在一个实施例中，当提供用于成像系统(例如照相机)的微透镜阵列时，光学透明部件段302的每片300的厚度可为大约100μm，而对于采用光学积分器的图像投影系统，该厚度可接近几毫米。
在一个实施例中，束200中每个光学透明部件202的直径可为标准单模光纤，芯尺寸为9μm而总直径为大约125μm。通常每个光学透明部件202的直径可根据应用在大约小于1到大约几毫米之间的范围。
图7A和7B是束700a的另一个实施例的简化表示。在该实施例中，可使束700a包括直径分别变化的光学透明部件。例如，在图7A中，所示束700a具有直径d1的光学透明部件702a和直径d2的光学透明部件702b，其中d2大于d1。在该实施例中，光学透明部件702a位于束700a的周围区域A1上，而光学透明部件702b位于束700a的芯区域A2中。
在该例中，可实现导入到根据本发明原理由束700a形成的微透镜阵列内的光输入704的光束强度，如强度曲线706所示，重新分布。光强度的重新分布在例如图像投影系统、照相机等这样的系统中是有用的。
图7B示出具有直径d4的光学透明部件702c和直径d3的光学透明部件702d的束700b，其中d3大于d4。在该实施例中，光学透明部件702d位于束700b的周围区域A3上，而光学透明部件702c位于束700b的芯区域A4中。
在该例中，可实现导入到根据本发明原理从束700b形成的微透镜阵列内的光输入708的光束强度，如强度曲线710所示，重新分布。
按适合特定应用的所需规格设计的图2的成束前光学透明部件202已商品化，例如，纽约科宁公司(Corning Inc.)出售的。
再次参照图3A，束200可用常规的切割技术，如划片锯和切割轮切割成片300。
如图3A和3B所示，一旦光学透明部件段302的切片300被切成所需厚度t，面304和306可被修整。在一个实施例中，切片300的端或面304和306可抛光或者“清洁”，以在切片300的一端或两端上形成光滑的平面。
在另一实施例中，抛光可用于修整曲率、尺寸，切片300的每面304和306的相关参数可最优化以在切片的一面或两面上形成所需微透镜阵列面。阵列面的形状由应用决定。例如，图6D是示出在一面上以弯曲方式形成透镜的微透镜阵列面608的实施例的简化表示。在一个实施例中，阵列608的切片面304的曲率可在抛光过程中得以控制。例如，可在旋转切片300的同时使抛光臂摇摆，以在面304上形成部件段302的曲面。
每个光学透明部件段302的端面304和306各自的形状也可调整或修整，以生成每个光学透明部件段302的曲率、尺寸，以及参数(s107)。该修整可采用各种技术，包括抛光、刻蚀、酸刻蚀等实现。
例如，在一个实施例中，可通过刻蚀每个部件段302的周围区域而修整每个端面304和306为各种形状。例如，图8A示出经刻蚀的光纤段302，使得芯区域A1在周围区域A2的上方而形成刻蚀的部件段802，这使得当向其施加热时，可产生更高曲率的透镜元件804，如下所述。
在另一个实施例中，如图8B所示，增加部件段302的刻蚀，以在芯区域A1内形成大致尖角的区域，并在刻蚀部件段806的周围区域A2内形成较陡斜坡，这使得向其施加热时，可产生曲率更高的透镜元件808，如下所述。
在一个实施例中，上述刻蚀过程可通过将端面304和306放入HF酸浴内一段特定的时间而实现。酸浴在影响芯区域A1前影响周围区域A2，因而光学透明部件段302保持在酸浴中的时间越长，刻蚀越严重(即被刻蚀区域的斜坡越陡)。
优选地，具有刻蚀端的光学透明部件段形成焦距更短的透镜并可改善光聚焦。
如图4A所示，不论是否刻蚀，光学透明部件段302阵列的面308和/或310都被施加能量源，以便加热(s108)而形成透镜元件406，透镜元件406构成微透镜阵列400。
如图9所示，热处理使得每个部件段302的周围区域P1比芯区域C1更快地软化或融化。不均匀烧熔引起的表面张力使得在部件段的端面形成曲面，生成透镜元件904和906。
热处理可采用包括以下所述实施例的等效物的任何合适的发热装置而实行。参照图4A，在一个实施例中，光学透明部件段302的阵列可放到炉402内。炉402能够达到允许为任何给定的光学透明部件段材料实现热处理的加热水平。热处理导致在第一端面304上形成透镜元件904，并且替代地，如有需要在第二端面306上形成透镜元件906。
在另一实施例中，如图4B所示，热处理可通过用高能激光404扫描面308和/或310而实现，所述激光采用的波长可被光学透明部件段材料吸收以加热该材料并形成透镜元件904和/或906。
在其它实施例中，提供加热的能量源可为位于光学透明部件段端面附近的电火花/电弧或辉光放电。
图3B是根据本发明的实施例的单个光学透明部件段302的侧视图。在该实施例中，光学透明部件段302的第一端面304可被加热过程修整为在互相垂直或其它不同方向上具有不同的曲率半径。图3B中的具体表示示出了第一端面304上的曲面308，例如椭圆形、半椭圆形、平/凸非球面等形状的透镜面，这可在相对透镜面的主轴不同的光学轴上提供不同的光学性能。
在一个实施例中，第二端306可修整为平的，或者在互相垂直或其它不同方向上具有不同的曲率半径。图3B示出第二端306上的曲面310，例如椭圆形或半椭圆形的透镜面，这可在相对透镜面的主轴不同的光学轴上提供不同的光学性能。
微透镜阵列的节距和尺寸还可根据具体应用的要求而调整。微透镜阵列的制造规格和公差由特定应用决定并因而由最终用户限定。
在一个实施例中，利用本发明的方法，采用大约125μm直径的标准单模光纤，可制出在整个阵列上焦距均匀性小于5％的微透镜阵列。
图5示出采用本发明的方法制出的微透镜阵列应用的例子。该例子包括投影系统500，所述投影系统500可包括为特定应用设计，不定尺寸和形状的多个微透镜阵列。在一个实施例中，光在具有第一形状506(例如，圆形)的第一微透镜阵列504的第一端502进入投影系统500。光通过第二形状512(例如，矩形)的第二微透镜阵列510在第二端508从投影系统500射出。从该例中应理解，根据本发明的方法，微透镜阵列的形状和尺寸可如任何应用所需而制成。
如必要或需要，微透镜阵列400中的透镜元件406可涂层(s110)。在一个实施例中，对于显示屏应用，微透镜阵列400可用防反射和/或防眩光涂层涂敷。施加到微透镜阵列400的涂层可由已知的技术，例如溅射、淀积、蒸镀、喷溅、浸泡、旋涂、滚压等施加。
如前所述，微透镜阵列的厚度t可根据应用随透镜面的尺寸和形状以及透镜侧面的数目而改变。图6A是示出在两侧上都形成透镜的微透镜阵列602的实施例的简化表示。微透镜阵列602的厚度t可制得很小，例如在大约100μm到大约1毫米之间。
图6B是示出在两侧上都形成透镜的微透镜阵列604的实施例的简化表示；但是，厚度t较大，例如大于1毫米。从这些实施例中应理解，厚度t可根据需要制出。
图6C示出根据本发明的实施例的只在一侧上形成透镜的微透镜阵列606的实施例的简化表示。
上述本发明的原理是对于成束的柱形光学透明部件描述的。但是，本领域技术人员应理解本发明的原理可应用于其它类似形状的材料。
上述实施例示出但不限制本发明。应理解根据本发明的原理可做许多修整和变化。因此，本发明的范围只由以下权利要求限定。

Claims (20)

1.一种制造微透镜阵列的方法，包括：
提供光学透明部件束；
切割所述光学透明部件束以形成至少一片光学透明部件段；以及
加热所述至少一片光学透明部件段以形成透镜段。
2.根据权利要求1所述的方法，其中，进一步包括修整所述至少一片光学透明部件段的至少一端。
3.根据权利要求2所述的方法，其中，所述修整包括修整所述光学透明部件段的两端。
4.根据权利要求1所述的方法，其中，所述提供包括用粘合剂将所述光学透明部件粘合在一起而形成蜂巢状结构。
5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述光学透明部件包括由玻璃、聚合物以及塑料组成的组中选取的材料。
6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述加热包括加热每个光学透明部件段的一端，以在其上形成透镜面。
7.根据权利要求6所述的方法，其中，所述透镜面包括凸的、凹的或平的透镜面。
8.根据权利要求1所述的方法，其中，所述加热包括加热每个光学透明部件段的两端，以在其上形成透镜面。
9.根据权利要求1所述的方法，其中，所述至少一片包括在大约100μm与1mm之间的厚度。
10.根据权利要求1所述的方法，其中，所述至少一片包括大于1mm的厚度。
11.根据权利要求1所述的方法，其中，所述加热包括将所述至少一片光学透明部件段放入炉内，以将所述光学透明部件段的端部暴露于热源。
12.根据权利要求1所述的方法，其中，所述加热包括将所述至少一片光学透明部件段暴露到能量源。
13.一种制造微透镜阵列的方法，包括：
提供束在一起的光学透明柱状棒，以形成具有蜂巢状结构剖面的构件；
切割所述光学透明柱状棒束，以形成至少一片光学透明棒段，每个光学透明棒段具有第一端和第二端；以及
加热至少一个所述端，以在所述端上形成透镜面。
14.根据权利要求13所述的方法，其中，所述提供包括用UV硬化粘合剂将所述光学透明柱状棒粘合在一起而形成所述束。
15.根据权利要求13所述的方法，其中，所述光学透明柱状棒包括由玻璃、聚合物以及塑料组成的组中选取的材料。
16.根据权利要求13所述的方法，进一步包括修整每个光学透明棒段的至少一端的形状。
17.根据权利要求13所述的方法，其中，所述透镜面包括凸的、凹的或平的透镜面。
18.根据权利要求13所述的方法，其中，所述至少一片光学透明部件段包括在大约100μm与大约1mm之间的厚度。
19.根据权利要求13所述的方法，其中，所述加热包括将所述至少一片光学透明棒段放入炉内，以将所述光学透明棒段的端部暴露于能量源。
20.根据权利要求13所述的方法，其中，所述加热包括将所述光学透明棒段的端部暴露于光源。
CN200480041391A 2004-01-08 2004-12-10 制造微透镜阵列的方法 Expired - Fee Related CN100582867C (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/754,365 2004-01-08
US10/754,365 US6950239B2 (en) 2004-01-08 2004-01-08 Method for making micro-lens array

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN1914541A true CN1914541A (zh) 2007-02-14
CN100582867C CN100582867C (zh) 2010-01-20

Family

ID=34739376

Family Applications (5)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200480041578A Expired - Fee Related CN100578719C (zh) 2004-01-08 2004-12-10 场致发射器件及其制造方法
CNB2004800415771A Expired - Fee Related CN100501498C (zh) 2004-01-08 2004-12-10 场致发射器件和形成场致发射器件的方法
CNB2004800418178A Expired - Fee Related CN100427996C (zh) 2004-01-08 2004-12-10 微透镜阵列
CN200480041391A Expired - Fee Related CN100582867C (zh) 2004-01-08 2004-12-10 制造微透镜阵列的方法
CNA2005800064820A Pending CN1926454A (zh) 2004-01-08 2005-01-10 具有透镜化尖端的光纤及其制造方法

Family Applications Before (3)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN200480041578A Expired - Fee Related CN100578719C (zh) 2004-01-08 2004-12-10 场致发射器件及其制造方法
CNB2004800415771A Expired - Fee Related CN100501498C (zh) 2004-01-08 2004-12-10 场致发射器件和形成场致发射器件的方法
CNB2004800418178A Expired - Fee Related CN100427996C (zh) 2004-01-08 2004-12-10 微透镜阵列

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CNA2005800064820A Pending CN1926454A (zh) 2004-01-08 2005-01-10 具有透镜化尖端的光纤及其制造方法

Country Status (11)

Country Link
US (3) US6950239B2 (zh)
EP (1) EP1709479A4 (zh)
JP (1) JP4523605B2 (zh)
KR (1) KR100832665B1 (zh)
CN (5) CN100578719C (zh)
AU (1) AU2004314440B2 (zh)
CA (1) CA2551980C (zh)
MX (5) MXPA06007897A (zh)
MY (5) MY138920A (zh)
TW (1) TWI261693B (zh)
WO (1) WO2005069782A2 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103975256B (zh) * 2011-12-01 2017-11-14 南洋理工大学 微透镜阵列及其制作方法

Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE10344010A1 (de) * 2003-09-15 2005-04-07 Carl Zeiss Smt Ag Wabenkondensor und Beleuchtungssystem damit
JP2009543143A (ja) * 2006-07-13 2009-12-03 リモ パテントフェルヴァルトゥング ゲーエムベーハー ウント コー．カーゲー 光を均質化するための装置、および作業面において線状強度分布を発生させるためのレーザ装置
CN101490597B (zh) * 2006-07-13 2013-09-04 Limo专利管理有限及两合公司 使光均匀化的装置和用于在工作面内产生线性光强分布的激光装置
KR100791842B1 (ko) * 2006-07-25 2008-01-07 삼성전자주식회사 마이크로렌즈의 쉬프트가 필요 없는 이미지센서 및 그 제조방법
CN101344600B (zh) * 2007-07-13 2011-01-26 鸿富锦精密工业（深圳）有限公司 镀膜镜片的制作方法
US7879249B2 (en) * 2007-08-03 2011-02-01 Aptina Imaging Corporation Methods of forming a lens master plate for wafer level lens replication
US7919230B2 (en) * 2008-06-25 2011-04-05 Aptina Imaging Corporation Thermal embossing of resist reflowed lenses to make aspheric lens master wafer
CN101956950B (zh) * 2009-07-15 2012-09-05 颖台科技股份有限公司 光学薄板及其制作方法与背光模块
KR101250380B1 (ko) * 2010-10-15 2013-04-05 엘지이노텍 주식회사 에어갭이 형성된 ｕｇｒ감소용 조명 부재 및 그 제조 방법
CN102096152A (zh) * 2010-12-23 2011-06-15 大连艾科科技开发有限公司 腐蚀、切割、热融三步制作光纤球面微透镜的方法
WO2012149798A1 (zh) * 2011-10-09 2012-11-08 华为技术有限公司 布放尾纤的装置及方法
JPWO2013153655A1 (ja) * 2012-04-12 2015-12-17 パイオニア株式会社 光学素子、ヘッドアップディスプレイ及び光源ユニット
US9546771B2 (en) 2013-08-26 2017-01-17 GE Lighting Solutions, LLC Packed pillow optic array
JP2015169761A (ja) * 2014-03-06 2015-09-28 ソニー株式会社 光コネクタとケーブルおよび光通信装置
US11279105B2 (en) 2018-06-22 2022-03-22 Incom, Inc. Forming polymer optical devices by mold-constrained relaxation expansion
KR102240406B1 (ko) * 2019-06-17 2021-04-15 한국기계연구원 마이크로 렌즈 어레이 시트, 이를 제조하기 위한 몰드, 및 이의 제조 방법
CN113703182B (zh) * 2020-05-22 2023-06-20 北京芯海视界三维科技有限公司 透镜光栅的制作方法
CN112373008B (zh) * 2020-10-19 2022-03-01 青岛理工大学 一种嵌入式自除雾及变焦微透镜阵列的制造方法、其产品及其应用
KR20230033458A (ko) * 2021-09-01 2023-03-08 삼성전기주식회사 나노 와이어 다발 및 그 제조 방법
CN117103684B (zh) * 2023-09-27 2024-05-03 爱司凯科技股份有限公司 一种降低长工作距离振镜惯量的扫描系统

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3216807A (en) * 1960-11-03 1965-11-09 American Optical Corp Method for making fiber optical devices
NL6612387A (zh) * 1966-09-02 1968-03-04
US3961931A (en) * 1973-09-10 1976-06-08 Hoya Glass Works, Ltd. Apparatus for heat-bonding optical fibers
US3912362A (en) * 1973-12-26 1975-10-14 Corning Glass Works Termination for fiber optic bundle
US4541727A (en) 1975-12-16 1985-09-17 Rosenthal Bruce A Lenticular optical system
US5067792A (en) * 1990-09-18 1991-11-26 Lloyd O H Perry Method and apparatus for interfacing of holographic and electronic data
JPH05224098A (ja) * 1992-01-06 1993-09-03 Nec Corp 光結合回路とその製造方法
US5459803A (en) * 1993-02-18 1995-10-17 The Furukawa Electric Co., Ltd. Quartz-based optical fiber with a lens and its manufacturing method
JPH06324234A (ja) * 1993-05-14 1994-11-25 Furukawa Electric Co Ltd:The 光ファイバアレイの製造方法
US5566262A (en) * 1993-05-14 1996-10-15 The Furukawa Electric Co., Ltd. Optical fiber array and a method of producing the same
FR2709187B1 (fr) * 1993-08-18 1995-09-15 Alcatel Nv Procédé de conformation de l'extrémité de fibres optiques par chauffage.
US5996376A (en) * 1997-04-11 1999-12-07 Digital Optics Corporation Methods of forming optical rods including three-dimensional patterns on end faces thereof
JPH11123771A (ja) 1997-10-22 1999-05-11 Micro Opt:Kk 平板型マイクロレンズアレイ製造用スタンパ及び平板型マイクロレンズアレイの製造方法
JP2000131506A (ja) 1998-10-26 2000-05-12 Toshiba Corp マイクロレンズアレイシート
US20030029040A1 (en) * 1999-03-08 2003-02-13 Cesaroni Anthony Joseph Laser bonding of heat exchanger tubes
US6582988B1 (en) 1999-09-30 2003-06-24 Taiwan Semiconductor Manufacturing Company Method for forming micro lens structures
JP2002311260A (ja) * 2001-04-12 2002-10-23 Canon Inc プラスチック光ファイバ、その作製方法、それを用いた光実装体および光配線装置
US6584259B2 (en) * 2001-04-30 2003-06-24 Schott Glas Use of sol-gel as an inorganic adhesive for high stability, self organizing, fiber optic array
US6654174B1 (en) 2002-05-08 2003-11-25 Pin Chien Huang Micro lens systems and articles thereof

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103975256B (zh) * 2011-12-01 2017-11-14 南洋理工大学 微透镜阵列及其制作方法

Also Published As

Publication number Publication date
MXPA06007898A (es) 2007-04-20
CN100578719C (zh) 2010-01-06
US6965478B2 (en) 2005-11-15
TW200532264A (en) 2005-10-01
EP1709479A2 (en) 2006-10-11
CN1918503A (zh) 2007-02-21
EP1709479A4 (en) 2009-06-03
MY136574A (en) 2008-10-31
US20050152043A1 (en) 2005-07-14
CA2551980C (en) 2010-07-13
CN100501498C (zh) 2009-06-17
WO2005069782A2 (en) 2005-08-04
MXPA06007895A (es) 2007-04-20
MXPA06007896A (es) 2007-04-20
US20050152044A1 (en) 2005-07-14
MXPA06007894A (es) 2007-04-23
CA2551980A1 (en) 2005-08-04
AU2004314440A1 (en) 2005-08-04
JP2007518137A (ja) 2007-07-05
CN100427996C (zh) 2008-10-22
CN1954401A (zh) 2007-04-25
CN100582867C (zh) 2010-01-20
TWI261693B (en) 2006-09-11
JP4523605B2 (ja) 2010-08-11
KR100832665B1 (ko) 2008-05-27
US6950237B2 (en) 2005-09-27
US20050152042A1 (en) 2005-07-14
MXPA06007897A (es) 2007-01-19
MY138745A (en) 2009-07-31
KR20060134035A (ko) 2006-12-27
MY138920A (en) 2009-08-28
MY139103A (en) 2009-08-28
MY137844A (en) 2009-03-31
CN1914542A (zh) 2007-02-14
WO2005069782A3 (en) 2005-09-15
AU2004314440B2 (en) 2007-12-20
CN1926454A (zh) 2007-03-07
US6950239B2 (en) 2005-09-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN100582867C (zh) 制造微透镜阵列的方法
US4948214A (en) Step-index light guide and gradient index microlens device for LED imaging
EP0426441B1 (en) An optical device having a microlens and a process for making microlenses
JP5078265B2 (ja) 対向基板、液晶表示素子及び液晶プロジェクタ
CN1576895A (zh) 制备显微透镜的方法及使用该方法制备光学模块的方法
JP2017211466A (ja) 回折光学素子
CA2552731C (en) Microlens arrays
JPH11277543A (ja) マイクロレンズアレイ成形用金型の作製方法
JP3726790B2 (ja) マイクロレンズアレイの製法
TWI836590B (zh) 光學體、母盤、及光學體之製造方法
JPH03233417A (ja) 光学装置
CN220138327U (zh) 光学传感器
CN108333650B (zh) 一种微透镜镜组阵列系统及制备方法
JP4498884B2 (ja) 光導波路及び光導波路の製造方法並びに当該光導波路を用いた液晶表示装置
KR20220055140A (ko) 마이크로 렌즈가 형성된 광케이블 및 광케이블에 마이크로 렌즈를 형성하는 방법, 그리고 마이크로 렌즈가 형성된 광케이블을 이용한 광커넥터

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20100120

Termination date: 20121210