JPH06324234A - 光ファイバアレイの製造方法 - Google Patents

光ファイバアレイの製造方法

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JPH06324234A
JPH06324234A JP11291293A JP11291293A JPH06324234A JP H06324234 A JPH06324234 A JP H06324234A JP 11291293 A JP11291293 A JP 11291293A JP 11291293 A JP11291293 A JP 11291293A JP H06324234 A JPH06324234 A JP H06324234A
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JP
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optical fiber
silica
fiber
array
optical fibers
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JP11291293A
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English (en)
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Motohiro Yamane
基宏 山根
Yoshiharu Taga
吉春 多賀
Shizuka Yamaguchi
山口  静
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Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 LDアレイとの結合効率が高い光ファイバア
レイの簡単な製造方法を提供する。 【構成】 この製造方法では、ファイバ整列ブロック1
に複数本の石英系光ファイバ2をその先端がファイバ整
列ブロックの端面1bから突出する状態で配列し、端面
1bおよび石英系光ファイバ2の突出部を被覆して所望
厚みの被覆層4を形成し、ついで、石英系光ファイバの
突出部を少なくともファイバ整列ブロック1の端部1b
の被覆層4の位置まで研磨することにより、石英系光フ
ァイバ2の突出長を同一の長さに整え、更に、被覆層4
を除去したのち石英系光ファイバの先端2aに一括して
レンズ部を形成する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は光ファイバアレイの製造
方法に関し、ファイバ整列ブロックの端面から突出する
石英系光ファイバの突出長が全て同じ長さであり、しか
も先端にレンズ部を一体に備えている光ファイバアレイ
を製造する方法に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、光通信システムに組み込む発光素
子モジュールは、光源である半導体レーザ(laser-diod
e 、以下LDという)と石英系光ファイバの間にそのレ
ーザ光を石英系光ファイバのコアに集光するレンズを介
挿することにより構成されている。このモジュールはL
Dと石英系光ファイバとの間における結合効率を高くす
ることが必要であるため、両者の結合パワーが最大とな
るようにLDとレンズと石英系光ファイバのコアとを調
心して組立てられる。
【0003】ところで最近は、LDの光源を複数個配列
してLDアレイを構成し、また、石英系光ファイバの複
数本をファイバ整列ブロックに配列して光ファイバアレ
イとし、LDアレイとこの光ファイバアレイを、複数個
のレンズが配列されているレンズアレイを媒介にして互
いに結合することにより、各光源と各石英系光ファイバ
を一括して結合した構造のLDアレイモジュールへの要
求が高まっている。
【0004】このLDアレイモジュールにおいては、各
アレイが高い結合効率で結合されることが望ましいこと
はいうまでもないが、光ファイバアレイに配列されてい
るそれぞれの石英系光ファイバからの出射パワーは均一
であることが要求される。そのため、このLDアレイモ
ジュールの製造に際しては、各アレイの寸法精度を高精
度化し、かつ、LD光源,レンズ,石英系光ファイバな
どをそれぞれ調心することが必要になる。
【0005】一方、最近は、石英系光ファイバの端面に
直接レンズ部を形成したレンズ付き石英系光ファイバが
提案されている。この石英系光ファイバは、それ自体の
端面がレンズ機能を備えているため、上記モジュールの
製造に際しては、部品点数が減少し、しかも調心作業の
工数を低減することができ、コスト低減に資するという
利点を持っている。
【0006】上記したレンズ付き石英系光ファイバは、
被覆部を剥離して露出させた石英系光ファイバを例えば
バーナのような加熱手段で局部加熱しながら引張って加
熱部を延伸し、石英系光ファイバの延伸部の外径が約1
0μm以下になった時点で延伸作業を停止してその部分
を例えばカッターで切断したのち、石英系光ファイバの
先端部を例えばバーナで加熱して溶融する。このとき、
先端部は表面張力によって球面になり、その結果、この
部分でレンズ機能が発現する。
【0007】したがって、このレンズ付き石英系光ファ
イバは、先端が球面のレンズになっていて、その先端か
ら徐々に大径となるある長さのテーパ部を形成してい
る。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記したよ
うなレンズ付き石英系光ファイバを用いてLDアレイモ
ジュールを製造する場合には、まず前段の作業として、
ファイバ整列ブロックにこのレンズ付き石英系光ファイ
バの複数本を配列固定して光ファイバアレイを製造する
ことが必要になる。
【0009】その場合、各石英系光ファイバの先端の位
置が揃っていないと、LDアレイとの結合時に、それぞ
れの石英系光ファイバとそれぞれのLD光源との結合効
率にばらつきが発生してしまう。レンズ付き石英系光フ
ァイバの場合は、端面が光軸に対する直交面である従来
の石英系光ファイバの場合と異なり、全ての光ファイバ
につきレンズ部の先端を同一の位置に揃える作業は可成
り煩雑になるという問題がある。
【0010】本発明は、レンズ付き石英系光ファイバが
ファイバ整列ブロックに配列された光ファイバアレイを
製造するときの上記した問題を解決し、簡単に全ての光
ファイバのレンズ部の先端を同一位置に整えることがで
き、もってLDアレイとの結合効率を高めることができ
る光ファイバアレイの製造方法の提供を目的とする。
【0011】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明においては、ファイバ整列ブロックに複
数本の石英系光ファイバをその先端が前記ファイバ整列
ブロックの端面から突出する状態で配列し、前記端面お
よび前記石英系光ファイバの突出部を被覆して所望厚み
の被覆層を形成し、ついで、前記石英系光ファイバの突
出部を所定の位置まで研磨することにより、前記石英系
光ファイバの突出長を同一の長さに整え、更に、前記被
覆層を除去したのち前記石英系光ファイバの先端に一括
してレンズ部を形成することを特徴とする光ファイバア
レイの製造方法が提供される。
【0012】
【作用】本発明においては、ファイバ整列ブロックに配
列された石英系光ファイバがそのファイバ整列ブロック
の端面から突出する長さはそれぞれ不揃いであったとし
ても、これら石英系光ファイバの突出部を一括して研磨
するので、研磨後には全ての光ファイバの突出長は一定
となる。
【0013】そして、この研磨時においては、石英系光
ファイバの突出部を被覆する被覆層は、石英系光ファイ
バを補強する働きをする。したがって、配列時における
石英系光ファイバの突出長が少々長くなっていても、研
磨作業を円滑に進めることができるようになる。上記し
た一括研磨後にファイバ整列ブロックの端面をある厚み
で被覆している被覆層を除去すると、全ての光ファイバ
の先端はファイバ整列ブロックの端面から同じ長さで突
出するようになる。
【0014】最後に、これら光ファイバの先端に一括し
てレンズ部が形成されるので、そのレンズ部がファイバ
整列ブロックの端面から突出する長さは全ての光ファイ
バにつき同じになり、各光ファイバにおける結合効率の
ばらつきは解消する。
【0015】
【実施例】以下に添付図面に基づいて本発明方法を詳細
に説明する。まず、図1で示したように、複数個(図で
は4個)のファイバ挿入孔1aが穿設されているファイ
バ整列ブロック1の各ファイバ挿入孔1aに、石英系光
ファイバ2を挿入する。
【0016】全てのファイバ挿入孔1aに光ファイバ2
を配列した状態を、図1のII−II線に沿う断面図として
図2に示す。ここで、ファイバ整列ブロック1は、光フ
ァイバ2の先端に後述するようにしてレンズ部を形成す
るときに用いるエッチャントによって侵食されないよう
な材料で構成されている。例えば、エポキシ樹脂のよう
な樹脂で構成されていることが好ましい。そして、その
樹脂のバルク体に機械加工を施すことにより、例えば、
250μmのピッチでファイバ挿入孔1aが高精度で穿
設されている。なお、このファイバ整列ブロック1は、
従来の多心光コネクタのように成形して作製することも
できる。
【0017】また、各ファイバ挿入孔1aに挿入された
光ファイバ2は、それぞれ例えば、エポキシ系の接着剤
3でファイバ挿入孔1aに固定されている。このとき、
光ファイバ2がファイバ整列ブロック1の端面1bから
突出している長さは、全ての光ファイバ2につき同じ長
さである必要はなく、図2で示したように、互いに異な
っていてもよい。
【0018】石英系光ファイバとしては、それをフッ酸
溶液またはフッ酸とフッ化アンモニウムとの混合溶液の
ようなエッチャントに浸漬したときに、クラッドのエッ
チング速度の方がコアのエッチング速度よりも大きくな
るような光ファイバが用いられる。このような光ファイ
バとしては、次のようなものをあげることができる。
【0019】まず、最初の光ファイバは、コアを純粋な
石英ガラス(SiO2 )で構成し、その周囲を取り囲む
クラッドは、石英ガラスにフッ素成分をドープした組成
のガラスで構成したものである。また、別の光ファイバ
としては、コアを石英ガラスにGeO2 をドープして構
成したものである。この場合、クラッドは純粋の石英ガ
ラスであってもよいし、また、フッ素成分などがドープ
されているものであってもよい。
【0020】前者の光ファイバにおいて、クラッドへの
フッ素成分のドープ量は、この光ファイバの端面をエッ
チャントに浸漬したときにクラッドとコアのエッチング
速度に適正な差が生じて、コアの先端が円錐台形状(ま
たは円錐形状)で突出した状態になり、この円錐台形状
(または円錐形状)が適正なレンズ機能を発揮するよう
に調節されるが、同時に、光ファイバの光伝送特性に悪
影響を与えないように調節される。通常、コアとクラッ
ドの屈折率差で0.3〜0.4%程度であることが好まし
い。
【0021】なお、クラッドは、フッ素成分に代えてリ
ン成分を混入したり、またはフッ素成分に加えてリン成
分を混入して形成してもよい。更に、コアが純粋の石英
ガラスではなく、例えばフッ素成分やGeO2 のような
ゲルマニウム成分が混入された組成であった場合は、ク
ラッドには、光伝送特性に影響を与えない範囲内で、ク
ラッド以上の多くのフッ素成分を混入して、コアとクラ
ッドとの間でエッチャントに対するエッチング速度に差
をつけてもよい。
【0022】後者の光ファイバの場合も同様で、ゲルマ
ニウム成分のコアへのドープ量は、この光ファイバの端
面をエッチャントに浸漬したときにコアとクラッドのエ
ッチング速度に適正な差が生じて、形成されたコアの円
錐台形状(または円錐形状)が適正なレンズ機能を発揮
するように調節される。ついで、図3で示したように、
ファイバ整列ブロック1の端面近傍の部分と、突出して
いる光ファイバ2の表面を被覆して被覆層4を形成す
る。
【0023】なお、被覆層4による光ファイバ2の表面
被覆の状態は図3で示したような態様に限定されるもの
ではなく、例えば図3の仮想線で示したように、光ファ
イバ2の突出部の全体が埋設するようにファイバ整列ブ
ロック1の端面1bに選択的に被覆形成してもよい。こ
の被覆層4は、例えば、被覆層を形成すべき個所に常用
の無電解めっきを行ってその個所に導電性を付与したの
ち、つぎにその無電解めっき層の上に通常の電解めっき
を行うことにより所望厚みの電解めっき層として形成す
ることができる。また、被覆層4は、例えばフォトレジ
ストのような樹脂を用いて形成してもよいが、更には、
後述する研磨処理後に再度剥離できるようなもので形成
されていればよく、その材料は格別限定されない。
【0024】この被覆層4の厚みは格別限定されるもの
ではないが、後述するレンズ部の形成時に、光ファイバ
2の突出部の長さは約20μm程度減少することがある
ので、その場合であってもファイバ整列ブロック1の端
面1bからレンズ部を突出させることを考慮すると、概
ね、50μm程度であることが好ましい。ついで、光フ
ァイバ2の突出部側の面を研磨する。その結果、図4で
示したように、不揃いに突出していた光ファイバ2の先
端部分は研磨除去され、研磨後にあっては、被覆層4の
研磨面4aと光ファイバ2の研磨面2aは同一平面を構
成する。
【0025】その後、被覆層5を除去する。その結果、
図5で示したように、ファイバ整列ブロック1の端面1
bからは光ファイバ2の先端が突出するが、そのときの
突出長は全ての光ファイバで同じ長さになっており、研
磨後の被覆層の厚みに相当する長さになっている。つい
で、上記した光ファイバの突出部にレンズ部が形成され
る。
【0026】具体的には、光ファイバ2の突出部をフッ
酸溶液やフッ酸とフッ化アンモニウムとの混合液などの
エッチャントに浸漬する。光ファイバの突出部をこれら
エッチャントに浸漬すると、クラッド,コアはいずれも
石英系ガラスであるためエッチングされる。このとき、
クラッドのエッチング速度はコアのエッチング速度より
も大きく、しかも、エッチングは、光ファイバの軸長方
向に進んで光ファイバを短くするエッチングと光ファイ
バの径方向に進んで光ファイバを細くするエッチングと
が合成された状態で進行していくので、結局、所定の時
間が経過すると、光ファイバ2の突出長は全体として短
くなると同時に、光ファイバの端面には、コアが円錐台
形状(または円錐形状)になって突出し、図6で示した
ように、光ファイバ2の先端にはレンズ部2bが形成さ
れる。
【0027】このエッチング処理で、各石英系光ファイ
バ2の突出部に作用するエッチング条件は同じであり、
しかもファイバ整列ブロックの端面1bのエッチングは
進行しないのであるから、端面1bから突出している突
出部の突出長は全ての石英径光ファイバ2で同じ長さに
なる。なお、この突出部(レンズ部)2bの円錐台形状
の部分に、例えば集光レーザ光を照射して加熱溶融する
と、この円錐台形状を球状のレンズに変化させることも
できる。
【0028】また、本発明においては、ファイバ整列ブ
ロック1として、図7で示したように、ファイバ挿入孔
1aを位置決めの基準にして一対の穴5,5を穿設した
ものを用いることもできる。このようなファイバ整列ブ
ロック1を用いると、図8で示したように、それを用い
て光モジュールを製造する際に、この光ファイバアレイ
に接続すべきLDアレイ6の方にも、前記した穴5,5
と対応する位置に同じく一対の穴7,7を穿設しておけ
ば、両方の穴にガイドピン8,8を挿入することによ
り、簡単にLDアレイと光ファイバアレイを接続するこ
とができるようになる。
【0029】更には、ファイバ整列ブロック1の端面を
予め研磨したのち、本発明方法によって光ファイバアレ
イを製造すると、得られた光ファイバアレイは、それを
LDアレイに組付ける際に、上記したファイバ整列ブロ
ック1の研磨面を基準にして組付けに要する全ての作業
を進めることができるようになり、その組付け作業は非
常に行いやすくなる。
【0030】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明方
法によれば、光ファイバをファイバ整列ブロックに配列
するときに、そのファイバ整列ブロックの端面から突出
する光ファイバの突出長が不揃いであっても、最終的に
は、全ての光ファイバの突出長が同じであり、かつその
先端にレンズ部が形成されている光ファイバアレイを製
造することができる。したがって、従来のように、光フ
ァイバの先端を揃えてファイバ整列ブロックに配列する
という煩雑な作業は解消できる。
【0031】また、得られた光ファイバアレイは、それ
をLDアレイと結合すると結合効率は高くなり、しかも
各光ファイバの突出長は同じであるためその結合効率は
各LDと各光ファイバとの間でばらつくことがない。し
たがって、非常に優れたLDアレイモジュールを組立て
ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】光ファイバをファイバ整列ブロックに配列する
状態を示す斜視図である。
【図2】図1のII−II線に沿う断面図である。
【図3】被覆層を形成した状態を示す断面図である。
【図4】研磨処理後の状態を示す断面図である。
【図5】被覆層を除去した状態を示す断面図である。
【図6】レンズ部を形成した状態を示す断面図である。
【図7】他のファイバ整列ブロックに光ファイバを配列
する状態を示す斜視図である。
【図8】図7のファイバ整列ブロックを用いて製造した
光ファイバアレイをLDアレイに接続した状態を示す断
面図である。
【符号の説明】
1 ファイバ整列ブロック 1a ファイバ挿入孔 1b ファイバ整列ブロック1の端面 2 光ファイバ 2a 光ファイバ2の先端(研磨面) 2b レンズ部 3 接着剤 4 被覆層 4a 被覆層4の研磨面 5 ファイバ整列ブロック1に穿設した穴 6 LDアレイ 7 LDアレイ6に穿設した穴 8 ガイドピン

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 ファイバ整列ブロックに複数本の石英系
    光ファイバをその先端が前記ファイバ整列ブロックの端
    面から突出する状態で配列し、前記端面および前記光フ
    ァイバの突出部を被覆して所望厚みの被覆層を形成し、
    ついで、前記石英系光ファイバの突出部を所定の位置ま
    で研磨することにより、前記石英系光ファイバの突出長
    を同一の長さに整え、更に、前記被覆層を除去したのち
    前記石英系光ファイバの先端に一括してレンズ部を形成
    することを特徴とする光ファイバアレイの製造方法。
  2. 【請求項2】 前記石英系光ファイバは、フッ酸または
    フッ酸とフッ化アンモニウムとの混合溶液によるクラッ
    ドのエッチング速度の方がコアのエッチング速度よりも
    大きい組成の材料から成る請求項1の光ファイバアレイ
    の製造方法。
JP11291293A 1993-05-14 1993-05-14 光ファイバアレイの製造方法 Pending JPH06324234A (ja)

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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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