JP3287629B2 - レンズ付き石英系光ファイバとその製造方法 - Google Patents
レンズ付き石英系光ファイバとその製造方法Info
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- JP3287629B2 JP3287629B2 JP02883793A JP2883793A JP3287629B2 JP 3287629 B2 JP3287629 B2 JP 3287629B2 JP 02883793 A JP02883793 A JP 02883793A JP 2883793 A JP2883793 A JP 2883793A JP 3287629 B2 JP3287629 B2 JP 3287629B2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、新規構造のレンズ付き
石英系光ファイバとその製造方法に関する。
石英系光ファイバとその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、光通信システムに組込む発光素子
モジュールは、光源である半導体レーザと石英系光ファ
イバの間にそのレーザ光を石英系光ファイバのコアに集
光するレンズを介挿することにより構成されている。こ
のモジュールは、半導体レーザと石英系光ファイバとの
間における結合効率を高くすることが必要であるため、
両者の結合パワーが最大となるように半導体レーザとレ
ンズと石英系光ファイバのコアとを調心して組立てられ
る。
モジュールは、光源である半導体レーザと石英系光ファ
イバの間にそのレーザ光を石英系光ファイバのコアに集
光するレンズを介挿することにより構成されている。こ
のモジュールは、半導体レーザと石英系光ファイバとの
間における結合効率を高くすることが必要であるため、
両者の結合パワーが最大となるように半導体レーザとレ
ンズと石英系光ファイバのコアとを調心して組立てられ
る。
【０００３】ところで、最近は、石英系光ファイバの端
面に直接レンズ部を形成したレンズ付き石英系光ファイ
バが提案されている。この石英系光ファイバは、それ自
体の端面がレンズ機能を備えているため、上記モジュー
ルの製造に際しては、部品点数が減少し、しかも調心作
業の工数を低減することができ、コスト低減に資すると
いう利点がある。
面に直接レンズ部を形成したレンズ付き石英系光ファイ
バが提案されている。この石英系光ファイバは、それ自
体の端面がレンズ機能を備えているため、上記モジュー
ルの製造に際しては、部品点数が減少し、しかも調心作
業の工数を低減することができ、コスト低減に資すると
いう利点がある。
【０００４】上記したレンズ付き石英系光ファイバは、
通常、次のようにして製造されている。すなわち、ま
ず、図１で示したように、被覆部を剥離して露出させた
石英系光ファイバ１を例えばバーナのような加熱手段で
局部加熱しながら図の矢印ｐ方向に引張って加熱部を延
伸する。石英系光ファイバの延伸部１ａの外径が約１０
μｍ以下になった時点で延伸作業を停止してその部分を
例えばカッターで切断する。
通常、次のようにして製造されている。すなわち、ま
ず、図１で示したように、被覆部を剥離して露出させた
石英系光ファイバ１を例えばバーナのような加熱手段で
局部加熱しながら図の矢印ｐ方向に引張って加熱部を延
伸する。石英系光ファイバの延伸部１ａの外径が約１０
μｍ以下になった時点で延伸作業を停止してその部分を
例えばカッターで切断する。
【０００５】ついで、図２で示したように、切断後の石
英系光ファイバの先端部１ｂを例えばバーナで加熱して
溶融する。このとき、先端部１ｂは表面張力によって球
面になり、その結果、この部分でレンズ機能が発現す
る。このレンズ付き石英系光ファイバ１を半導体レーザ
と結合する場合には、例えば図３で示したように、固定
台３の一方にレンズ付き石英系光ファイバ１を配置し、
他方に放熱板４を介して半導体レーザチップ５を配置
し、レンズ部１ｂとチップ５の光源部５ａとを同軸とな
るように調心する。このような調心態様によって、レン
ズ付き石英系光ファイバ１と半導体レーザチップ５の間
では、約２０％程度の結合効率を実現することができ
る。
英系光ファイバの先端部１ｂを例えばバーナで加熱して
溶融する。このとき、先端部１ｂは表面張力によって球
面になり、その結果、この部分でレンズ機能が発現す
る。このレンズ付き石英系光ファイバ１を半導体レーザ
と結合する場合には、例えば図３で示したように、固定
台３の一方にレンズ付き石英系光ファイバ１を配置し、
他方に放熱板４を介して半導体レーザチップ５を配置
し、レンズ部１ｂとチップ５の光源部５ａとを同軸とな
るように調心する。このような調心態様によって、レン
ズ付き石英系光ファイバ１と半導体レーザチップ５の間
では、約２０％程度の結合効率を実現することができ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上記した方
法で製造されたレンズ付き石英系光ファイバの場合、先
端のレンズ部１ｂから延伸しない部分までの間はテーパ
状に外径が変化する。このテーパ部１ｃは、延伸時の条
件にもよるが、通常、数mm程度であり可成り長い。
法で製造されたレンズ付き石英系光ファイバの場合、先
端のレンズ部１ｂから延伸しない部分までの間はテーパ
状に外径が変化する。このテーパ部１ｃは、延伸時の条
件にもよるが、通常、数mm程度であり可成り長い。
【０００７】したがって、図３で示したように、固定台
３の一方にレンズ付き石英系光ファイバ１を固定した場
合、その固定部から半導体レーザチップ５の光源にまで
突出している部分の長さは可成り長くなる。そのため、
例えば、固定台３に微振動が加わった場合でも、半導体
レーザチップ５の光源部５ａと調心された状態で位置し
ている先端部１ｂの振動は大きくなり、芯ずれを起こす
場合がある。
３の一方にレンズ付き石英系光ファイバ１を固定した場
合、その固定部から半導体レーザチップ５の光源にまで
突出している部分の長さは可成り長くなる。そのため、
例えば、固定台３に微振動が加わった場合でも、半導体
レーザチップ５の光源部５ａと調心された状態で位置し
ている先端部１ｂの振動は大きくなり、芯ずれを起こす
場合がある。
【０００８】また、上記した半導体レーザチップ５との
結合時に留意しなければならないことは、光源部５ａか
ら発信したレーザ光が光ファイバ先端のレンズ部１ｂで
反射して、その反射レーザ光が再び光源部５ａに戻らな
いようにすることである。反射レーザ光が光源部５ａに
戻るような事態が起こると、半導体レーザチップ５の放
射光パワーが著しく不安定になるからである。
結合時に留意しなければならないことは、光源部５ａか
ら発信したレーザ光が光ファイバ先端のレンズ部１ｂで
反射して、その反射レーザ光が再び光源部５ａに戻らな
いようにすることである。反射レーザ光が光源部５ａに
戻るような事態が起こると、半導体レーザチップ５の放
射光パワーが著しく不安定になるからである。
【０００９】このような問題を防ぐために、従来は、光
ファイバ先端のレンズ部１ｂの表面を反射防止膜で被覆
することが行なわれている。しかしながら、この反射防
止膜の形成作業は非常に煩雑であるという問題がある。
更に、上記したレンズ部の形成方法は、石英系光ファイ
バへの局部加熱の条件や延伸条件の設定に高度の熟練を
要するため、安定した歩留りでレンズ付き石英系光ファ
イバを量産できる方法とはいいがたい。
ファイバ先端のレンズ部１ｂの表面を反射防止膜で被覆
することが行なわれている。しかしながら、この反射防
止膜の形成作業は非常に煩雑であるという問題がある。
更に、上記したレンズ部の形成方法は、石英系光ファイ
バへの局部加熱の条件や延伸条件の設定に高度の熟練を
要するため、安定した歩留りでレンズ付き石英系光ファ
イバを量産できる方法とはいいがたい。
【００１０】本発明は、従来のレンズ付き石英系光ファ
イバにおける上記した問題を解決し、光ファイバのテー
パ部がなく、切断した光ファイバの端面に直接レンズ部
が形成され、しかもレンズ部表面へ反射防止膜を形成す
ることも不要であるレンズ付き石英系光ファイバとそれ
を製造する方法の提供を目的とする。
イバにおける上記した問題を解決し、光ファイバのテー
パ部がなく、切断した光ファイバの端面に直接レンズ部
が形成され、しかもレンズ部表面へ反射防止膜を形成す
ることも不要であるレンズ付き石英系光ファイバとそれ
を製造する方法の提供を目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記した目的を達成する
ために、本発明においては、ファイバ軸芯に対して傾斜
する端面の中心に、前記ファイバ軸芯に対して傾斜して
突出し、平滑面からなる頂部を有する円錐台形状のコア
から成るレンズ部が形成されていることを特徴とするレ
ンズ付き石英系光ファイバが提供され、また、コアと前
記コアよりもフッ酸溶液を用いたときのエッチング速度
が大きい組成のクラッドとから成る石英系光ファイバの
端面をファイバ軸芯に対する傾斜面として加工し、前記
端面をフッ酸溶液に浸漬して、前記石英系光ファイバの
端面に、前記端面と傾斜する方向に円錐台形状のコアを
突出させることを特徴とするレンズ付き石英系光ファイ
バの製造方法が提供される。
ために、本発明においては、ファイバ軸芯に対して傾斜
する端面の中心に、前記ファイバ軸芯に対して傾斜して
突出し、平滑面からなる頂部を有する円錐台形状のコア
から成るレンズ部が形成されていることを特徴とするレ
ンズ付き石英系光ファイバが提供され、また、コアと前
記コアよりもフッ酸溶液を用いたときのエッチング速度
が大きい組成のクラッドとから成る石英系光ファイバの
端面をファイバ軸芯に対する傾斜面として加工し、前記
端面をフッ酸溶液に浸漬して、前記石英系光ファイバの
端面に、前記端面と傾斜する方向に円錐台形状のコアを
突出させることを特徴とするレンズ付き石英系光ファイ
バの製造方法が提供される。
【００１２】本発明のレンズ付き石英系光ファイバの製
造に際しては、まず、つぎのような光ファイバが用意さ
れる。すなわち、その光ファイバをフッ酸溶液に浸漬し
たときに、クラッドのエッチング速度がコアのエッチン
グ速度よりも大きくなるような光ファイバである。この
ような光ファイバとしては、次のようなものをあげるこ
とができる。
造に際しては、まず、つぎのような光ファイバが用意さ
れる。すなわち、その光ファイバをフッ酸溶液に浸漬し
たときに、クラッドのエッチング速度がコアのエッチン
グ速度よりも大きくなるような光ファイバである。この
ような光ファイバとしては、次のようなものをあげるこ
とができる。
【００１３】まず、最初の光ファイバは、コアを純粋な
石英ガラス（ＳｉＯ2 ）で構成し、その周囲を取り囲む
クラッドは、石英ガラスにフッ素成分をドープした組成
のガラスで構成したものである。また、別の光ファイバ
としては、コアを石英ガラスにＧｅＯ2 をドープしたも
ので構成したものである。この場合、クラッドは純粋の
石英ガラスであってもよいし、また、フッ素成分などが
ドープされているものであってもよい。
石英ガラス（ＳｉＯ2 ）で構成し、その周囲を取り囲む
クラッドは、石英ガラスにフッ素成分をドープした組成
のガラスで構成したものである。また、別の光ファイバ
としては、コアを石英ガラスにＧｅＯ2 をドープしたも
ので構成したものである。この場合、クラッドは純粋の
石英ガラスであってもよいし、また、フッ素成分などが
ドープされているものであってもよい。
【００１４】前者の光ファイバにおいて、クラッドへの
フッ素成分のドープ量は、この光ファイバの端面部をフ
ッ酸に浸漬したときにクラッドとコアのエッチング速度
に適正な差が生じて、形成されたコアの円錐台形状が適
正なレンズ機能を発揮するように調節されるが、同時
に、光ファイバの光伝送特性に悪影響を与えないように
調節される。通常、コアとクラッドの屈折率で0.３〜0.
４％程度であることが好ましい。
フッ素成分のドープ量は、この光ファイバの端面部をフ
ッ酸に浸漬したときにクラッドとコアのエッチング速度
に適正な差が生じて、形成されたコアの円錐台形状が適
正なレンズ機能を発揮するように調節されるが、同時
に、光ファイバの光伝送特性に悪影響を与えないように
調節される。通常、コアとクラッドの屈折率で0.３〜0.
４％程度であることが好ましい。
【００１５】なお、クラッドは、フッ素成分に代えてリ
ン成分を混入したり、またはフッ素成分に加えてリン成
分を混入して形成してもよい。更に、コアが純粋の石英
ガラスではなく、例えばフッ素成分やＧｅＯ2 のような
ゲルマニウム成分が混入された組成であった場合は、ク
ラッドには、光伝送特性に悪影響を与えない範囲内で、
クラッドにより多くのフッ素成分を混入して、コアとク
ラッドとの間でフッ酸溶液に対するエッチング速度に差
をつけてもよい。
ン成分を混入したり、またはフッ素成分に加えてリン成
分を混入して形成してもよい。更に、コアが純粋の石英
ガラスではなく、例えばフッ素成分やＧｅＯ2 のような
ゲルマニウム成分が混入された組成であった場合は、ク
ラッドには、光伝送特性に悪影響を与えない範囲内で、
クラッドにより多くのフッ素成分を混入して、コアとク
ラッドとの間でフッ酸溶液に対するエッチング速度に差
をつけてもよい。
【００１６】後者の光ファイバの場合も同様で、ゲルマ
ニウム成分のコアへのドープ量は、この光ファイバの端
面部を後述するフッ酸溶液に浸漬したときにコアとクラ
ッドのエッチング速度に適正な差が生じて、形成された
コアの円錐台形状が適正なレンズ機能を発揮するように
調節される。このような光ファイバを切断し、その切断
面を例えば研磨して端面加工を行なう。このときの切断
は、図４で示したように、光ファイバ１０の軸芯方向に
対し、切断端面１０ａが傾斜面となるように切断する。
切断した端面１０ａとファイバ軸芯との傾斜角θは格別
限定されないが、通常６°以上であればよい。
ニウム成分のコアへのドープ量は、この光ファイバの端
面部を後述するフッ酸溶液に浸漬したときにコアとクラ
ッドのエッチング速度に適正な差が生じて、形成された
コアの円錐台形状が適正なレンズ機能を発揮するように
調節される。このような光ファイバを切断し、その切断
面を例えば研磨して端面加工を行なう。このときの切断
は、図４で示したように、光ファイバ１０の軸芯方向に
対し、切断端面１０ａが傾斜面となるように切断する。
切断した端面１０ａとファイバ軸芯との傾斜角θは格別
限定されないが、通常６°以上であればよい。
【００１７】ついで、この端面１０ａの部分をフッ酸溶
液に浸漬する。前者の光ファイバの場合はフッ酸に浸漬
される。フッ酸溶液としては、通常、フッ酸を水または
フッ化アンモニウムで希釈したものが用いられる。その
ときのフッ酸濃度は、クラッドやコアのエッチング速度
との関係で決められるが、通常、１０〜５０モル％程度
であればよい。
液に浸漬する。前者の光ファイバの場合はフッ酸に浸漬
される。フッ酸溶液としては、通常、フッ酸を水または
フッ化アンモニウムで希釈したものが用いられる。その
ときのフッ酸濃度は、クラッドやコアのエッチング速度
との関係で決められるが、通常、１０〜５０モル％程度
であればよい。
【００１８】光ファイバの端面をフッ酸溶液に浸漬する
と、クラッド，コアはいずれも石英ガラスであるためエ
ッチングされる。このとき、クラッドのエッチング速度
はコアのエッチング速度よりも大きく、しかも、エッチ
ングは、光ファイバの軸長方向に進んで光ファイバを短
くするエッチングと光ファイバの径方向に進んで光ファ
イバを細くするエッチングとが合成された状態で進行し
ていくので、結局、所定の時間が経過すると、光ファイ
バ１０の端面１０ａには、エッチングが遅れたコアの部
分が円錐台形状になって突出する。
と、クラッド，コアはいずれも石英ガラスであるためエ
ッチングされる。このとき、クラッドのエッチング速度
はコアのエッチング速度よりも大きく、しかも、エッチ
ングは、光ファイバの軸長方向に進んで光ファイバを短
くするエッチングと光ファイバの径方向に進んで光ファ
イバを細くするエッチングとが合成された状態で進行し
ていくので、結局、所定の時間が経過すると、光ファイ
バ１０の端面１０ａには、エッチングが遅れたコアの部
分が円錐台形状になって突出する。
【００１９】この状態を図５に示す。すなわち、この光
ファイバ１０の端面１０ａには、切断時と同じ傾斜角θ
でファイバ軸芯に対して傾斜している平滑なクラッド端
面１１と、この端面１１の中心に突出する円錐台形状の
レンズ部１３が形成される。このレンズ部１３は、突出
する方向がクラッド端面１１に対し垂直の方向、すなわ
ち、ファイバ軸芯に対しては傾斜角θで傾斜する方向で
ある。そして、基部１３ａの直径はコア１２の直径と同
径であり、また、頂部１３ｂはクラッド端面１１と平行
な平滑面になっている。
ファイバ１０の端面１０ａには、切断時と同じ傾斜角θ
でファイバ軸芯に対して傾斜している平滑なクラッド端
面１１と、この端面１１の中心に突出する円錐台形状の
レンズ部１３が形成される。このレンズ部１３は、突出
する方向がクラッド端面１１に対し垂直の方向、すなわ
ち、ファイバ軸芯に対しては傾斜角θで傾斜する方向で
ある。そして、基部１３ａの直径はコア１２の直径と同
径であり、また、頂部１３ｂはクラッド端面１１と平行
な平滑面になっている。
【００２０】円錐台の形状は、コアとクラッドの組成や
用いるフッ酸溶液の濃度などによって多少変化するが、
例えば、コアが純粋の石英ガラスで構成されている場合
には、この円錐台形状の頂角は、１００°〜１２０°の
範囲内におさまる。後者の光ファイバの場合は、フッ酸
とフッ化アンモニウムの混合水溶液に浸漬して、コアを
円錐台形状にする。このとき、フッ化アンモニウムの濃
度比を高くすると、形成される円錐台の傾斜角（頂角）
が小さくなり全体が先鋭な形状になるので、この濃度比
を適宜に設定することにより、所望の円錐台形状にコア
を仕上げることができる。
用いるフッ酸溶液の濃度などによって多少変化するが、
例えば、コアが純粋の石英ガラスで構成されている場合
には、この円錐台形状の頂角は、１００°〜１２０°の
範囲内におさまる。後者の光ファイバの場合は、フッ酸
とフッ化アンモニウムの混合水溶液に浸漬して、コアを
円錐台形状にする。このとき、フッ化アンモニウムの濃
度比を高くすると、形成される円錐台の傾斜角（頂角）
が小さくなり全体が先鋭な形状になるので、この濃度比
を適宜に設定することにより、所望の円錐台形状にコア
を仕上げることができる。
【００２１】
【実施例】コアが純粋の石英ガラスから成り、クラッド
が、純粋石英ガラスにフッ素をドープさせた組成の石英
ガラスから成り、コア径が９μｍ，クラッド径が１２５
μｍである石英系光ファイバを用意した。この光ファイ
バを、軸芯に対し傾斜角θが６°となるように斜めに切
断し、その切断面を研磨して端面加工を行なった。
が、純粋石英ガラスにフッ素をドープさせた組成の石英
ガラスから成り、コア径が９μｍ，クラッド径が１２５
μｍである石英系光ファイバを用意した。この光ファイ
バを、軸芯に対し傾斜角θが６°となるように斜めに切
断し、その切断面を研磨して端面加工を行なった。
【００２２】ついで、その光ファイバの端面部分を、約
１mmの長さで、フッ酸水溶液（室温）に約３０分間浸漬
した。光ファイバの端面には、頂角が１１０°で、頂部
１３ａの直径が６μｍである図５で示したような円錐台
形状のレンズ部１３が突出して形成された。この光ファ
イバを図３で示したように半導体レーザチップ５に結合
して、図６に示したように、光源部５ａからレーザ光１
４を端面１０ａに照射すると、端面１０ａおよびレンズ
部１３の頂部１３ｂはレーザ光１４の進行方向に対し６
°傾斜しているので、端面１０ａやレンズ部の頂部１３
ｂで反射した反射レーザ光１４’は、光源部５ａに戻ら
ず別の方向に散乱していく。したがって、レンズ部１３
の表面には、従来のような反射防止膜を形成することが
必要でなくなる。
１mmの長さで、フッ酸水溶液（室温）に約３０分間浸漬
した。光ファイバの端面には、頂角が１１０°で、頂部
１３ａの直径が６μｍである図５で示したような円錐台
形状のレンズ部１３が突出して形成された。この光ファ
イバを図３で示したように半導体レーザチップ５に結合
して、図６に示したように、光源部５ａからレーザ光１
４を端面１０ａに照射すると、端面１０ａおよびレンズ
部１３の頂部１３ｂはレーザ光１４の進行方向に対し６
°傾斜しているので、端面１０ａやレンズ部の頂部１３
ｂで反射した反射レーザ光１４’は、光源部５ａに戻ら
ず別の方向に散乱していく。したがって、レンズ部１３
の表面には、従来のような反射防止膜を形成することが
必要でなくなる。
【００２３】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明方
法によれば、光ファイバのファイバ軸芯に対して傾斜す
る端面をフッ酸溶液に浸漬すると、クラッドはコアより
も早くエッチングされていくので、傾斜面である端面の
中心に円錐台形状をしたコアの部分がファイバ軸芯と傾
斜した状態で端面に突出する。そのため、この突出した
コアの部分がレンズとして機能する。
法によれば、光ファイバのファイバ軸芯に対して傾斜す
る端面をフッ酸溶液に浸漬すると、クラッドはコアより
も早くエッチングされていくので、傾斜面である端面の
中心に円錐台形状をしたコアの部分がファイバ軸芯と傾
斜した状態で端面に突出する。そのため、この突出した
コアの部分がレンズとして機能する。
【００２４】レンズを形成する作業は、光ファイバの端
面を所定時間フッ酸溶液に浸漬するだけでよいので、従
来の延伸溶融によってレンズを形成する場合よりも簡単
であり、量産性に富む。また、本発明の光ファイバは、
延伸溶融で製造したもののようにテーパ部は存在せず、
光ファイバの端面がそのままレンズ部になっている。そ
のため、図３で示したように、レンズ部を半導体レーザ
光源と結合する場合でも、光ファイバの固定台から突出
する部分は短くてすみ、したがって、外部からの振動が
あっても、相互の軸芯がずれるという問題も少なくな
り、同時に結合効率を大幅に高めることができる。
面を所定時間フッ酸溶液に浸漬するだけでよいので、従
来の延伸溶融によってレンズを形成する場合よりも簡単
であり、量産性に富む。また、本発明の光ファイバは、
延伸溶融で製造したもののようにテーパ部は存在せず、
光ファイバの端面がそのままレンズ部になっている。そ
のため、図３で示したように、レンズ部を半導体レーザ
光源と結合する場合でも、光ファイバの固定台から突出
する部分は短くてすみ、したがって、外部からの振動が
あっても、相互の軸芯がずれるという問題も少なくな
り、同時に結合効率を大幅に高めることができる。
【００２５】しかも、レンズ部の光軸方向は、半導体レ
ーザの光軸方向と傾斜しているので、レンズ部における
反射レーザ光は半導体レーザに戻らないことになる。し
たがって、従来のように、レンズ部の表面を反射防止膜
で被覆する必要はなくなる。
ーザの光軸方向と傾斜しているので、レンズ部における
反射レーザ光は半導体レーザに戻らないことになる。し
たがって、従来のように、レンズ部の表面を反射防止膜
で被覆する必要はなくなる。
【図１】光ファイバを溶融延伸している状態を示す斜視
図である。
図である。
【図２】光ファイバの切断部を溶融してレンズ部を形成
する状態を示す斜視図である。
する状態を示す斜視図である。
【図３】レンズ付き石英系光ファイバを半導体レーザチ
ップに結合する状態を示す斜視図である。
ップに結合する状態を示す斜視図である。
【図４】石英系光ファイバを斜めに切断した状態を示す
側面図である。
側面図である。
【図５】本発明方法で形成したレンズ部を示す側面図で
ある。
ある。
【図６】本発明の光ファイバを半導体レーザチップに接
続したときのレーザ光の挙動を示す側面図である。
続したときのレーザ光の挙動を示す側面図である。
５ 半導体レーザチップ １０ 石英系光ファイバ １０ａ 石英系光ファイバ１０の端面 １１ クラッド端面 １１ａ クラッド１１の端面 １２ コア １３ 円錐台形状のレンズ部 １３ａ レンズ部１３の基部 １３ｂ レンズ部１３の頂部 １４ レーザ光 １４’反射レーザ光
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 平１−261604（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−318503（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−169715（ＪＰ，Ａ) 実開 平４−55007（ＪＰ，Ｕ) 米国特許5101457（ＵＳ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) G02B 6/10;6/16 - 6/22 G02B 6/26;6/30 - 6/34;6/42
Claims (5)
- 【請求項１】 ファイバ軸芯に対して傾斜する端面の中
心に、前記ファイバ軸芯に対して傾斜して突出し、平滑
面からなる頂部を有する円錐台形状のコアから成るレン
ズ部が形成されていることを特徴とするレンズ付き石英
系光ファイバ。 - 【請求項２】 コアと前記コアよりもフッ酸溶液を用い
たときのエッチング速度が大きい組成のクラッドとから
成る石英系光ファイバの端面をファイバ軸芯に対する傾
斜面として加工し、前記端面をフッ酸溶液に浸漬して、
前記石英系光ファイバの端面に、前記端面と傾斜する方
向に円錐台形状のコアを突出させることを特徴とする請
求項１記載のレンズ付き石英系光ファイバの製造方法。 - 【請求項３】 前記コアが純粋石英ガラスにゲルマニウ
ム成分をドープして成り、前記フッ酸溶液が、フッ酸と
フッ化アンモニウムとの混合水溶液から成る請求項２の
レンズ付き石英系光ファイバの製造方法。 - 【請求項４】 前記クラッドが、フッ酸によるエッチン
グ速度を大きくする元素を含有している請求項２のレン
ズ付き石英系光ファイバの製造方法。 - 【請求項５】 前記元素がフッ素または／およびリンで
ある請求項４のレンズ付き石英系光ファイバの製造方
法。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP02883793A JP3287629B2 (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | レンズ付き石英系光ファイバとその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP02883793A JP3287629B2 (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | レンズ付き石英系光ファイバとその製造方法 |
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| JP3287629B2 true JP3287629B2 (ja) | 2002-06-04 |
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ID=12259490
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP02883793A Expired - Fee Related JP3287629B2 (ja) | 1993-02-18 | 1993-02-18 | レンズ付き石英系光ファイバとその製造方法 |
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| JP (1) | JP3287629B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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-
1993
- 1993-02-18 JP JP02883793A patent/JP3287629B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH06242332A (ja) | 1994-09-02 |
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