JP3497794B2 - 光スポットサイズ変換器の作製方法 - Google Patents
光スポットサイズ変換器の作製方法Info
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- JP3497794B2 JP3497794B2 JP2000030766A JP2000030766A JP3497794B2 JP 3497794 B2 JP3497794 B2 JP 3497794B2 JP 2000030766 A JP2000030766 A JP 2000030766A JP 2000030766 A JP2000030766 A JP 2000030766A JP 3497794 B2 JP3497794 B2 JP 3497794B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光導波路を用いた
光スポットサイズ変換器の作製方法に関するものであ
る。 【０００２】 【従来の技術】石英系光導波路とシングルモードファイ
バは、基本的にそのモードフィールドが等しく、レンズ
を用いないで直接両者を接着剤で接続する形態がとられ
ている。この直接接続方法は、簡便で多芯接続等が可能
であるため、現在広く採用されている。 【０００３】しかし、最近、大規模な光回路を実現する
ために、石英系光導波路のコア及びクラッドの比屈折率
差Δを１．５〜２．０％とシングルモードファイバのΔ
＝０．３％よりも高めて、最小曲げ半径を約２ｍｍと小
さくしたものが開発されている（例えば、Ｓ．Ｓｕｚｕ
ｋｉ ｅｔ ａｌ．，”Ｈｉｇｈ−ｄｅｎｓｉｔｙｉｎ
ｔｅｇｒａｔｅｄ １×１６ ｏｐｔｉｃａｌ ＦＤＭ
ｍｕｌｔ／ｄｅｍｕｌｔｉｐｌｅｘｅｒ”，ＬＥＯ
Ｓ’９４，ＩＯ２．４，１９９４ 参照）。 【０００４】この場合、最小曲げ半径を小さくするた
め、コアへの光の閉じ込めが強く、モードフィールドが
シングルモードファイバに比べて小さくなり、両者の結
合損失が大きいことが問題になる。そこで、石英系光導
波路のファイバ接続端において、コア幅を狭めて光の閉
じ込めを弱め、モードフィールドを広げ、シングルモー
ドファイバとの結合損失を低減する試みがなされてい
る。 【０００５】この入出力端においてコアサイズを小さく
し、モードフィールドを広げる手法はＬＤ等で広く使用
されている手法である（例えば、Ｔ．Ｌ．Ｋｏｃｈ ｅ
ｔａｌ．，”Ｔａｐｅｒｅｄ ｗａｖｅｇｕｉｄｅ Ｉ
ｎＧａＡｓ／ＩｎＧａＡｓＰ ｍｕｌｔｉｐｌｅ−ｑｕ
ａｎｔｕｍ−ｗｅｌｌ ｌａｓｅｒｓ”，ＩＥＥＥＰｈ
ｏｔｏｎ．Ｔｅｃｈｎｏｌ．Ｌｅｔｔ．，ｖｏｌ．２，
ｐｐ．８８−９０，１９９０ 参照）。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかし、実際に石英系
光導波路のコア幅を狭めた光スポットサイズ変換器を作
製してみると、その結合損失が高く、かつ損失値がばら
つくことがわかった。この原因を調べるために、端面に
おけるコア形状を観察したところ、図１に示すようにコ
ア幅が狭くなっているところでコアが変形、即ち倒れ込
んでいることがわかった。 【０００７】具体的には、コア高さのコア幅に対する比
（以下、アスペクト比）が２以上になると、コアの変形
の発生する頻度が著しく高くなる。石英系光導波路で
は、コアを加工した後、火炎堆積法で上部クラッドガラ
ススートを堆積して、１０００℃以上の高温でそのスー
トガラスを透明化する。この時、コアも柔らかくなって
いるため、スートが焼結して収縮する際のわずかな力で
コアが変形したと考えられる。なお、図１において、１
は下部クラッド、２は上部クラッド、３はコアである。 【０００８】 本発明の目的は、光ファイバとの結合損
失を安定して小さくなし得る光スポットサイズ変換器の
作製方法を提供することにある。 【０００９】 【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明では、平面基板上に形成されたコア及びクラ
ッドよりなる石英系光導波路であって、所定のコア幅を
有する入力導波路と、該入力導波路より狭い一定のコア
幅を有する出力導波路と、前記入力導波路及び出力導波
路をなめらかに接続するテーパ導波路とを少なくとも備
えてなる光スポットサイズ変換器の作製方法において、
前記入力導波路、出力光導波路及びテーパ導波路を構成
するコアとともに、前記出力導波路のコアと交差する倒
れ防止コアを同時に形成して倒れ防止コアを具備した光
スポットサイズ変換器をウエハ上に作製する工程と、ウ
エハを各チップに切り出す工程であって且つ前記倒れ防
止コアを具備した光スポットサイズ変換器から倒れ防止
コアを含む出力導波路側を除去する工程とを備えたこと
を特徴とする。 【００１０】 前記構成によれば、倒れ防止コアを設
けたことによってクラッド形成の際の熱処理による出力
導波路のコアの倒れ込みを抑えることができ、これによ
り光ファイバとの結合の際の損失を安定して小さくする
ことができるとともに、倒れ防止コアによる光の放射損
失のない、優れた光スポットサイズ変換器を得ることが
できる。 【００１１】 【００１２】 【００１３】 【発明の実施の形態】図２は本発明の光スポットサイズ
変換器の作製方法の第１の実施の形態（但し、特許請求
の範囲には含まれない。）を示すもので、図中、１１は
シリコン基板、１２は下部クラッド、１３は上部クラッ
ド、１４は入力導波路（のコア）、１５は出力導波路
（のコア）、１６はテーパ導波路（のコア）、１７は倒
れ防止コアである。 【００１４】入力導波路１４は通常、同一基板上に作製
される光導波回路の導波路に対応するもので、所定のコ
ア幅を有する直線導波路からなっている。また、出力導
波路１５は光ファイバ（ここではシングルモードファイ
バ）との接続部を構成するためのもので、入力導波路１
４より狭い一定のコア幅を有する直線導波路からなって
いる。 【００１５】また、テーパ導波路１６は入力導波路１４
及び出力導波路１５をなめらかに接続するためのもの
で、そのコア幅は入力導波路１４との接続部から出力導
波路１５との接続部に向かってなめらかに減少してい
る。 【００１６】 また、倒れ防止コア１７はコア幅の狭い
出力導波路１５が倒れ込むことを防止するためのもの
で、該出力導波路１５に対してほぼ直角に交差する如く
一体的に形成されている。 【００１７】本実施の形態では、石英系光導波路のコア
及びクラッドの比屈折率差Δを１．５％、テーパ導波路
１６の最大コア幅を４μｍ、最小コア幅を２μｍ、高さ
を４μｍ、倒れ防止コア１７の幅を１０μｍ、長さを２
０μｍ、高さを４μｍと設計した。 【００１８】本発明の効果について説明する。 【００１９】倒れ防止コア１７を設けなかった場合、光
導波路端のコア形状は、図１に示したように倒れ込む頻
度が著しく、シングルモードファイバとの結合損失にば
らつきが生じる。しかし、倒れ防止コア１７で補強する
ことにより倒れ込みが抑えられ、結合損失のばらつきを
抑えることができる。 【００２０】今回、入力導波路、出力導波路、テーパ導
波路及び倒れ防止コアのみからなる光スポットサイズ変
換器を作成し、その両端をシングルモードファイバで直
接接続し、光スポットサイズ変換器の挿入損失を測定し
た。シングルモードファイバに対する光スポットサイズ
変換器の挿入損失と頻度のヒストグラムを、倒れ防止コ
アで補強した場合について図３に、補強しなかった場合
について図４にそれぞれ示す。明らかに、倒れ防止コア
を設けた方が光スポットサイズ変換器の挿入損失のばら
つきを抑えることができ、本発明が有効であることがわ
かる。 【００２１】 図５は本発明の光スポットサイズ変換器
の作製方法の第２の実施の形態を示すもので、ほぼ第１
の実施の形態と同じであるが、倒れ防止コアを除去した
点が異なる。コアが倒れるのは上部クラッドガラスの透
明化熱処理の時であり、上部クラッドガラスの透明化後
はコアが倒れることはない。よって、上部クラッドガラ
スの透明化後は倒れ防止コアは不要である。さらに、光
が倒れ防止コアを伝播する際、不連続に光導波路構造が
変化するため、光の放射損失を生じる。 【００２２】そこで、倒れ防止コアを具備した光スポッ
トサイズ変換器を作製した後、倒れ防止コアを含む出力
導波路側を除去し、光の放射損失となる要因を消し去っ
た。具体的には、導波回路ウエハ作製後、ダイシングソ
ーで各チップに切り出す工程で倒れ防止コアを含む出力
導波路側を除去した。これによって、倒れ防止コアを除
去しなかった場合に比べ、シングルモードファイバに対
する光スポットサイズ変換器の挿入損失が平均０．２ｄ
Ｂ改善した。なお、図５において、１５’は除去後に残
った出力導波路である。 【００２３】前述した第１、第２の実施の形態では、石
英系ガラス導波路について言及した。しかし、本発明は
石英系ガラス導波路に限定されるものではない。ポリマ
ー導波路では、コア加工後、スピンコート法で上部クラ
ッドを形成する。この場合、アスペクト比の高いコアは
容易に変形する。本発明の倒れ防止コアは、このポリマ
ー導波路においても有効である。 【００２４】以上説明した実施の形態において、入力導
波路として直線導波路を用いたが、Ｎ×１光合波器の出
力導波路等、あらゆる光導波路を入力導波路として用い
ることができる。 【００２５】 【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光ファイパとの結合損失を安定して小さくなし得る光ス
ポットサイズ変換器の作製方法を提供することができ
る。
光スポットサイズ変換器の作製方法に関するものであ
る。 【０００２】 【従来の技術】石英系光導波路とシングルモードファイ
バは、基本的にそのモードフィールドが等しく、レンズ
を用いないで直接両者を接着剤で接続する形態がとられ
ている。この直接接続方法は、簡便で多芯接続等が可能
であるため、現在広く採用されている。 【０００３】しかし、最近、大規模な光回路を実現する
ために、石英系光導波路のコア及びクラッドの比屈折率
差Δを１．５〜２．０％とシングルモードファイバのΔ
＝０．３％よりも高めて、最小曲げ半径を約２ｍｍと小
さくしたものが開発されている（例えば、Ｓ．Ｓｕｚｕ
ｋｉ ｅｔ ａｌ．，”Ｈｉｇｈ−ｄｅｎｓｉｔｙｉｎ
ｔｅｇｒａｔｅｄ １×１６ ｏｐｔｉｃａｌ ＦＤＭ
ｍｕｌｔ／ｄｅｍｕｌｔｉｐｌｅｘｅｒ”，ＬＥＯ
Ｓ’９４，ＩＯ２．４，１９９４ 参照）。 【０００４】この場合、最小曲げ半径を小さくするた
め、コアへの光の閉じ込めが強く、モードフィールドが
シングルモードファイバに比べて小さくなり、両者の結
合損失が大きいことが問題になる。そこで、石英系光導
波路のファイバ接続端において、コア幅を狭めて光の閉
じ込めを弱め、モードフィールドを広げ、シングルモー
ドファイバとの結合損失を低減する試みがなされてい
る。 【０００５】この入出力端においてコアサイズを小さく
し、モードフィールドを広げる手法はＬＤ等で広く使用
されている手法である（例えば、Ｔ．Ｌ．Ｋｏｃｈ ｅ
ｔａｌ．，”Ｔａｐｅｒｅｄ ｗａｖｅｇｕｉｄｅ Ｉ
ｎＧａＡｓ／ＩｎＧａＡｓＰ ｍｕｌｔｉｐｌｅ−ｑｕ
ａｎｔｕｍ−ｗｅｌｌ ｌａｓｅｒｓ”，ＩＥＥＥＰｈ
ｏｔｏｎ．Ｔｅｃｈｎｏｌ．Ｌｅｔｔ．，ｖｏｌ．２，
ｐｐ．８８−９０，１９９０ 参照）。 【０００６】 【発明が解決しようとする課題】しかし、実際に石英系
光導波路のコア幅を狭めた光スポットサイズ変換器を作
製してみると、その結合損失が高く、かつ損失値がばら
つくことがわかった。この原因を調べるために、端面に
おけるコア形状を観察したところ、図１に示すようにコ
ア幅が狭くなっているところでコアが変形、即ち倒れ込
んでいることがわかった。 【０００７】具体的には、コア高さのコア幅に対する比
（以下、アスペクト比）が２以上になると、コアの変形
の発生する頻度が著しく高くなる。石英系光導波路で
は、コアを加工した後、火炎堆積法で上部クラッドガラ
ススートを堆積して、１０００℃以上の高温でそのスー
トガラスを透明化する。この時、コアも柔らかくなって
いるため、スートが焼結して収縮する際のわずかな力で
コアが変形したと考えられる。なお、図１において、１
は下部クラッド、２は上部クラッド、３はコアである。 【０００８】 本発明の目的は、光ファイバとの結合損
失を安定して小さくなし得る光スポットサイズ変換器の
作製方法を提供することにある。 【０００９】 【課題を解決するための手段】前記課題を解決するた
め、本発明では、平面基板上に形成されたコア及びクラ
ッドよりなる石英系光導波路であって、所定のコア幅を
有する入力導波路と、該入力導波路より狭い一定のコア
幅を有する出力導波路と、前記入力導波路及び出力導波
路をなめらかに接続するテーパ導波路とを少なくとも備
えてなる光スポットサイズ変換器の作製方法において、
前記入力導波路、出力光導波路及びテーパ導波路を構成
するコアとともに、前記出力導波路のコアと交差する倒
れ防止コアを同時に形成して倒れ防止コアを具備した光
スポットサイズ変換器をウエハ上に作製する工程と、ウ
エハを各チップに切り出す工程であって且つ前記倒れ防
止コアを具備した光スポットサイズ変換器から倒れ防止
コアを含む出力導波路側を除去する工程とを備えたこと
を特徴とする。 【００１０】 前記構成によれば、倒れ防止コアを設
けたことによってクラッド形成の際の熱処理による出力
導波路のコアの倒れ込みを抑えることができ、これによ
り光ファイバとの結合の際の損失を安定して小さくする
ことができるとともに、倒れ防止コアによる光の放射損
失のない、優れた光スポットサイズ変換器を得ることが
できる。 【００１１】 【００１２】 【００１３】 【発明の実施の形態】図２は本発明の光スポットサイズ
変換器の作製方法の第１の実施の形態（但し、特許請求
の範囲には含まれない。）を示すもので、図中、１１は
シリコン基板、１２は下部クラッド、１３は上部クラッ
ド、１４は入力導波路（のコア）、１５は出力導波路
（のコア）、１６はテーパ導波路（のコア）、１７は倒
れ防止コアである。 【００１４】入力導波路１４は通常、同一基板上に作製
される光導波回路の導波路に対応するもので、所定のコ
ア幅を有する直線導波路からなっている。また、出力導
波路１５は光ファイバ（ここではシングルモードファイ
バ）との接続部を構成するためのもので、入力導波路１
４より狭い一定のコア幅を有する直線導波路からなって
いる。 【００１５】また、テーパ導波路１６は入力導波路１４
及び出力導波路１５をなめらかに接続するためのもの
で、そのコア幅は入力導波路１４との接続部から出力導
波路１５との接続部に向かってなめらかに減少してい
る。 【００１６】 また、倒れ防止コア１７はコア幅の狭い
出力導波路１５が倒れ込むことを防止するためのもの
で、該出力導波路１５に対してほぼ直角に交差する如く
一体的に形成されている。 【００１７】本実施の形態では、石英系光導波路のコア
及びクラッドの比屈折率差Δを１．５％、テーパ導波路
１６の最大コア幅を４μｍ、最小コア幅を２μｍ、高さ
を４μｍ、倒れ防止コア１７の幅を１０μｍ、長さを２
０μｍ、高さを４μｍと設計した。 【００１８】本発明の効果について説明する。 【００１９】倒れ防止コア１７を設けなかった場合、光
導波路端のコア形状は、図１に示したように倒れ込む頻
度が著しく、シングルモードファイバとの結合損失にば
らつきが生じる。しかし、倒れ防止コア１７で補強する
ことにより倒れ込みが抑えられ、結合損失のばらつきを
抑えることができる。 【００２０】今回、入力導波路、出力導波路、テーパ導
波路及び倒れ防止コアのみからなる光スポットサイズ変
換器を作成し、その両端をシングルモードファイバで直
接接続し、光スポットサイズ変換器の挿入損失を測定し
た。シングルモードファイバに対する光スポットサイズ
変換器の挿入損失と頻度のヒストグラムを、倒れ防止コ
アで補強した場合について図３に、補強しなかった場合
について図４にそれぞれ示す。明らかに、倒れ防止コア
を設けた方が光スポットサイズ変換器の挿入損失のばら
つきを抑えることができ、本発明が有効であることがわ
かる。 【００２１】 図５は本発明の光スポットサイズ変換器
の作製方法の第２の実施の形態を示すもので、ほぼ第１
の実施の形態と同じであるが、倒れ防止コアを除去した
点が異なる。コアが倒れるのは上部クラッドガラスの透
明化熱処理の時であり、上部クラッドガラスの透明化後
はコアが倒れることはない。よって、上部クラッドガラ
スの透明化後は倒れ防止コアは不要である。さらに、光
が倒れ防止コアを伝播する際、不連続に光導波路構造が
変化するため、光の放射損失を生じる。 【００２２】そこで、倒れ防止コアを具備した光スポッ
トサイズ変換器を作製した後、倒れ防止コアを含む出力
導波路側を除去し、光の放射損失となる要因を消し去っ
た。具体的には、導波回路ウエハ作製後、ダイシングソ
ーで各チップに切り出す工程で倒れ防止コアを含む出力
導波路側を除去した。これによって、倒れ防止コアを除
去しなかった場合に比べ、シングルモードファイバに対
する光スポットサイズ変換器の挿入損失が平均０．２ｄ
Ｂ改善した。なお、図５において、１５’は除去後に残
った出力導波路である。 【００２３】前述した第１、第２の実施の形態では、石
英系ガラス導波路について言及した。しかし、本発明は
石英系ガラス導波路に限定されるものではない。ポリマ
ー導波路では、コア加工後、スピンコート法で上部クラ
ッドを形成する。この場合、アスペクト比の高いコアは
容易に変形する。本発明の倒れ防止コアは、このポリマ
ー導波路においても有効である。 【００２４】以上説明した実施の形態において、入力導
波路として直線導波路を用いたが、Ｎ×１光合波器の出
力導波路等、あらゆる光導波路を入力導波路として用い
ることができる。 【００２５】 【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光ファイパとの結合損失を安定して小さくなし得る光ス
ポットサイズ変換器の作製方法を提供することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】従来の光スポットサイズ変換器の導波路端のコ
ア形状を示す断面図 【図２】本発明の光スポットサイズ変換器の作製方法の
第１の実施の形態を示す概略構成図 【図３】倒れ防止コアで補強した場合のシングルモード
ファイバに対する光スポットサイズ変換器の挿入損失と
頻度のヒストグラム 【図４】倒れ防止コアで補強しなかった場合のシングル
モードファイバに対する光スポットサイズ変換器の挿入
損失と頻度のヒストグラム 【図５】本発明の光スポットサイズ変換器の作製方法の
第２の実施の形態を示す概略構成図 【符号の説明】 １１：シリコン基板、１２：下部クラッド、１３：上部
クラッド、１４：入力導波路、１５，１５’：出力導波
路、１６：テーパ導波路、１７：倒れ防止コア。
ア形状を示す断面図 【図２】本発明の光スポットサイズ変換器の作製方法の
第１の実施の形態を示す概略構成図 【図３】倒れ防止コアで補強した場合のシングルモード
ファイバに対する光スポットサイズ変換器の挿入損失と
頻度のヒストグラム 【図４】倒れ防止コアで補強しなかった場合のシングル
モードファイバに対する光スポットサイズ変換器の挿入
損失と頻度のヒストグラム 【図５】本発明の光スポットサイズ変換器の作製方法の
第２の実施の形態を示す概略構成図 【符号の説明】 １１：シリコン基板、１２：下部クラッド、１３：上部
クラッド、１４：入力導波路、１５，１５’：出力導波
路、１６：テーパ導波路、１７：倒れ防止コア。
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フロントページの続き
(72)発明者 井上 靖之
東京都千代田区大手町２丁目３番１号
日本電信電話株式会社内
(56)参考文献 特開 平９−166716（ＪＰ，Ａ)
特開 平６−59142（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−93813（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−78523（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−244223（ＪＰ，Ａ)
特開 平11−84156（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−323139（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−63935（ＪＰ，Ａ)
特開2001−74959（ＪＰ，Ａ)
特開 平５−100123（ＪＰ，Ａ)
特開 平７−56032（ＪＰ，Ａ)
特開 平10−48445（ＪＰ，Ａ)
Ｈ．Ｙａｎａｇａｗａ ｅｔ．ａ
ｌ．，，Ｊｏｕｒｎａｌ ｏｆ Ｌｉｇ
ｈｔｗａｖｅ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ,
Ｍａｙ 1992， Ｖｏｌ．10 Ｎｏ.
５，ｐｐ．587−592
(58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名)
G02B 6/12 - 6/14
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 平面基板上に形成されたコア及びクラッ
ドよりなる石英系光導波路であって、所定のコア幅を有
する入力導波路と、該入力導波路より狭い一定のコア幅
を有する出力導波路と、前記入力導波路及び出力導波路
をなめらかに接続するテーパ導波路とを少なくとも備え
てなる光スポットサイズ変換器の作製方法において、 前記入力導波路、出力光導波路及びテーパ導波路を構成
するコアとともに、前記出力導波路のコアと交差する倒
れ防止コアを同時に形成して倒れ防止コアを具備した光
スポットサイズ変換器をウエハ上に作製する工程と、 ウエハを各チップに切り出す工程であって且つ前記倒れ
防止コアを具備した光スポットサイズ変換器から倒れ防
止コアを含む出力導波路側を除去する工程と を備えたこ
とを特徴とする光スポットサイズ変換器の作製方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000030766A JP3497794B2 (ja) | 2000-02-08 | 2000-02-08 | 光スポットサイズ変換器の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000030766A JP3497794B2 (ja) | 2000-02-08 | 2000-02-08 | 光スポットサイズ変換器の作製方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001221925A JP2001221925A (ja) | 2001-08-17 |
| JP3497794B2 true JP3497794B2 (ja) | 2004-02-16 |
Family
ID=18555741
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000030766A Expired - Lifetime JP3497794B2 (ja) | 2000-02-08 | 2000-02-08 | 光スポットサイズ変換器の作製方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3497794B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3666463B2 (ja) | 2002-03-13 | 2005-06-29 | 日本電気株式会社 | 光導波路デバイスおよび光導波路デバイスの製造方法 |
| JP5083915B2 (ja) * | 2009-12-08 | 2012-11-28 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | スポットサイズ変換器 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3093362B2 (ja) * | 1991-10-02 | 2000-10-03 | 日本電信電話株式会社 | 光方向性結合器 |
| JPH05100123A (ja) * | 1991-10-11 | 1993-04-23 | Fujitsu Ltd | 光導波路の製造方法 |
| JP2929481B2 (ja) * | 1992-05-20 | 1999-08-03 | 日本電信電話株式会社 | 光機能素子 |
| JPH0659142A (ja) * | 1992-08-11 | 1994-03-04 | Fujitsu Ltd | 光方向性結合器及びその製造方法 |
| JPH0756032A (ja) * | 1993-08-12 | 1995-03-03 | Hitachi Cable Ltd | ガラス導波路及びその製造方法 |
| JP2850996B2 (ja) * | 1993-08-30 | 1999-01-27 | 日本電信電話株式会社 | 光結合デバイス |
| JPH07244223A (ja) * | 1994-03-08 | 1995-09-19 | Fujitsu Ltd | 光合分波器の製造方法 |
| US5719976A (en) * | 1995-10-24 | 1998-02-17 | Lucent Technologies, Inc. | Optimized waveguide structure |
| JP3149088B2 (ja) * | 1996-08-05 | 2001-03-26 | 日本電信電話株式会社 | 光導波回路 |
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2000
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