JP2576344Y2 - 光導波路と光ファイバの接続構造 - Google Patents
光導波路と光ファイバの接続構造Info
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- JP2576344Y2 JP2576344Y2 JP1992020337U JP2033792U JP2576344Y2 JP 2576344 Y2 JP2576344 Y2 JP 2576344Y2 JP 1992020337 U JP1992020337 U JP 1992020337U JP 2033792 U JP2033792 U JP 2033792U JP 2576344 Y2 JP2576344 Y2 JP 2576344Y2
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、光通信の分野で使用さ
れる光導波路と光ファイバの接続構造に関するものであ
る。
れる光導波路と光ファイバの接続構造に関するものであ
る。
【０００２】
【従来技術】光導波路と光ファイバを接続する場合、両
者をいかに効率良く結合させるかが問題であり、両者の
精密な位置合わせが必要になる。そして従来、光導波路
に光ファイバを接続するには、図４（ａ）に示すよう
に光導波路８０と光ファイバ８３の端面同士を直接突き
合わせて接続する方法（バッドジョイント法）や、図
４（ｂ）に示すように光ファイバ８３の先端を先球状に
加工して光ファイバ８３から出射される光を光導波路８
０の端面に集光させる方法や、図４（ｃ）に示すよう
に光ファイバ８３と光導波路８０の間にレンズ８５を配
設して光ファイバ８３と光導波路８０間を光学的に結合
する方法や、図４（ｄ）に示すように光導波路８０の
上面にプリズム８６を載置して該プリズム８６を介して
光導波路８０への光の入出射を行う方法等がある。
者をいかに効率良く結合させるかが問題であり、両者の
精密な位置合わせが必要になる。そして従来、光導波路
に光ファイバを接続するには、図４（ａ）に示すよう
に光導波路８０と光ファイバ８３の端面同士を直接突き
合わせて接続する方法（バッドジョイント法）や、図
４（ｂ）に示すように光ファイバ８３の先端を先球状に
加工して光ファイバ８３から出射される光を光導波路８
０の端面に集光させる方法や、図４（ｃ）に示すよう
に光ファイバ８３と光導波路８０の間にレンズ８５を配
設して光ファイバ８３と光導波路８０間を光学的に結合
する方法や、図４（ｄ）に示すように光導波路８０の
上面にプリズム８６を載置して該プリズム８６を介して
光導波路８０への光の入出射を行う方法等がある。
【０００３】そして一般には、のバッドジョイント法
がよく用いられるが、この方法を用いる場合は、通常、
図５に示すように、Ｖ溝９１を設けたブロック９０を用
いることが多い。即ち同図（ａ）に示すようにまずブロ
ック９０のＶ溝９１内に光ファイバ８３の端部を載置し
て保持し、次に同図（ｂ）に示すように光ファイバ８３
の端面を光導波路８０の端面に接合するのである。
がよく用いられるが、この方法を用いる場合は、通常、
図５に示すように、Ｖ溝９１を設けたブロック９０を用
いることが多い。即ち同図（ａ）に示すようにまずブロ
ック９０のＶ溝９１内に光ファイバ８３の端部を載置し
て保持し、次に同図（ｂ）に示すように光ファイバ８３
の端面を光導波路８０の端面に接合するのである。
【０００４】一方図７に示すように、エッチングによっ
て光導波路基板９３上に光導波路９４の形成と同時に２
つの凸部９５，９６を設けてその間にガイド溝９７を形
成し、該ガイド溝９７内に光ファイバ８３を挿入して該
光ファイバ８３の保持・位置決めを行う方法も提案され
ている。
て光導波路基板９３上に光導波路９４の形成と同時に２
つの凸部９５，９６を設けてその間にガイド溝９７を形
成し、該ガイド溝９７内に光ファイバ８３を挿入して該
光ファイバ８３の保持・位置決めを行う方法も提案され
ている。
【０００５】
【考案が解決しようとする課題】ところで、アレイ状に
配列した複数の光ファイバと光導波路を前記図５に示す
ようなＶ溝を使って接続する場合は、図６に示すよう
に、ブロック７０上に複数のＶ溝７１を設けなければな
らないが、このとき該複数のＶ溝７１間の間隔は、これ
らに対応する複数の光導波路８０間の間隔と非常に高精
度に一致しなければならない。何故なら該精度が保てな
ければ、各Ｖ溝７１に保持される光ファイバと各光導波
路８０間の高精度な接合ができなくなってしまうからで
ある。しかしながら従来この精度を保つことは困難で、
特にＶ溝７１の数（幅方向の数）が増加すればするほど
困難となっていた。
配列した複数の光ファイバと光導波路を前記図５に示す
ようなＶ溝を使って接続する場合は、図６に示すよう
に、ブロック７０上に複数のＶ溝７１を設けなければな
らないが、このとき該複数のＶ溝７１間の間隔は、これ
らに対応する複数の光導波路８０間の間隔と非常に高精
度に一致しなければならない。何故なら該精度が保てな
ければ、各Ｖ溝７１に保持される光ファイバと各光導波
路８０間の高精度な接合ができなくなってしまうからで
ある。しかしながら従来この精度を保つことは困難で、
特にＶ溝７１の数（幅方向の数）が増加すればするほど
困難となっていた。
【０００６】一方前記図７に示す方法を用いてアレイ状
に配列した複数の光ファイバと光導波路を接続する場合
は、光導波路基板９３上に多数の凸部９５，９６を並列
に設けて多数のガイド溝９７を形成しなければならない
が、この場合、ガイド溝９７を形成するためのエッチン
グ用のパターニングが複雑となってしまう。またガイド
溝９７を形成するためのパターニング自体の精度が悪け
れば、各光ファイバと光導波路の高精度な接合はできな
い。
に配列した複数の光ファイバと光導波路を接続する場合
は、光導波路基板９３上に多数の凸部９５，９６を並列
に設けて多数のガイド溝９７を形成しなければならない
が、この場合、ガイド溝９７を形成するためのエッチン
グ用のパターニングが複雑となってしまう。またガイド
溝９７を形成するためのパターニング自体の精度が悪け
れば、各光ファイバと光導波路の高精度な接合はできな
い。
【０００７】更にガイド溝９７を形成するための凸部９
５，９６は、光ファイバを支えるためにある程度の強度
が必要で太くしなければならないが、該凸部９５，９６
を太くすると、多数の光ファイバをアレイ状に並べた場
合の隣接する光ファイバ間の間隔が大きくなり、このた
め空間利用効率が悪くなってしまう。
５，９６は、光ファイバを支えるためにある程度の強度
が必要で太くしなければならないが、該凸部９５，９６
を太くすると、多数の光ファイバをアレイ状に並べた場
合の隣接する光ファイバ間の間隔が大きくなり、このた
め空間利用効率が悪くなってしまう。
【０００８】本考案は上述の点に鑑みてなされたもので
あり、その目的は、アレイ状に並べた光ファイバと光導
波路を簡便な方法で高精度に接続することができる光導
波路と光ファイバの接続構造を提供することにある。
あり、その目的は、アレイ状に並べた光ファイバと光導
波路を簡便な方法で高精度に接続することができる光導
波路と光ファイバの接続構造を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
め本考案は、光導波路基板１０上に拡散型の複数本の光
導波路１１を設け、該光導波路基板１０の端部をブロッ
ク状に切断し、該切断したブロック２０上の光導波路１
１部分を除去することでその表面に複数本の光ファイバ
位置決め用の溝２１を設け、該複数本の溝２１に複数本
の光ファイバ３０をそれぞれ保持して位置決めし、該位
置決めされた各光ファイバ３０を前記光導波路基板１０
に設けた複数本の光導波路１１にそれぞれ接続した。
め本考案は、光導波路基板１０上に拡散型の複数本の光
導波路１１を設け、該光導波路基板１０の端部をブロッ
ク状に切断し、該切断したブロック２０上の光導波路１
１部分を除去することでその表面に複数本の光ファイバ
位置決め用の溝２１を設け、該複数本の溝２１に複数本
の光ファイバ３０をそれぞれ保持して位置決めし、該位
置決めされた各光ファイバ３０を前記光導波路基板１０
に設けた複数本の光導波路１１にそれぞれ接続した。
【００１０】
【作用】上記のように構成すれば、ブロック２０の各溝
２１間の間隔は、各光導波路１１間の間隔と全く一致
し、従って該溝２１に保持された各光ファイバ３０間の
間隔も各光導波路１１間の間隔と完全に一致する。従っ
て各光ファイバ３０と光導波路１１は高精度に接続され
る。
２１間の間隔は、各光導波路１１間の間隔と全く一致
し、従って該溝２１に保持された各光ファイバ３０間の
間隔も各光導波路１１間の間隔と完全に一致する。従っ
て各光ファイバ３０と光導波路１１は高精度に接続され
る。
【００１１】
図１は本考案の第１実施例を用いて光導波路と光ファイ
バを接続する工程を示す図である。即ちまず同図（ａ）
に示すように、その上面に拡散型の光導波路１１を複数
本並列に設けた光導波路基板１０を用意する。この拡散
型の光導波路１１は、例えばニオブ酸リチウムからなる
光導波路基板１０にチタンを拡散して作製したり、シリ
コン基板からなる光導波路基板１０にゲルマニウムを拡
散して作製したりする。つまり拡散型の光導波路を設け
た通常の光導波路基板を用意するのである。
バを接続する工程を示す図である。即ちまず同図（ａ）
に示すように、その上面に拡散型の光導波路１１を複数
本並列に設けた光導波路基板１０を用意する。この拡散
型の光導波路１１は、例えばニオブ酸リチウムからなる
光導波路基板１０にチタンを拡散して作製したり、シリ
コン基板からなる光導波路基板１０にゲルマニウムを拡
散して作製したりする。つまり拡散型の光導波路を設け
た通常の光導波路基板を用意するのである。
【００１２】次に同図（ｂ）に示すように、該光導波路
基板１０の端部を所定長さで切断して、これを光ファイ
バ載置用のブロック２０とする。
基板１０の端部を所定長さで切断して、これを光ファイ
バ載置用のブロック２０とする。
【００１３】次に同図（ｃ）に示すように、該ブロック
２０をエッチング液に浸して、その光導波路１１の部分
だけ（つまり不純物を拡散した部分だけ）を選択的にエ
ッチングする。例えばシリコン基板にゲルマニウムを拡
散した光導波路１１ならば、フッ化水素溶液によってゲ
ルマニウムが拡散されている領域のみがエッチングされ
る。
２０をエッチング液に浸して、その光導波路１１の部分
だけ（つまり不純物を拡散した部分だけ）を選択的にエ
ッチングする。例えばシリコン基板にゲルマニウムを拡
散した光導波路１１ならば、フッ化水素溶液によってゲ
ルマニウムが拡散されている領域のみがエッチングされ
る。
【００１４】これによって同図（ｄ）に示すように、ブ
ロック２０上に複数本の溝２１が形成される。なおこの
ときブロック２０の高さを所定寸法だけ低くするためそ
の底面を研磨しておく。
ロック２０上に複数本の溝２１が形成される。なおこの
ときブロック２０の高さを所定寸法だけ低くするためそ
の底面を研磨しておく。
【００１５】次に同図（ｅ）に示すようにこれら各溝２
１にそれぞれ光ファイバ３０の端部を保持して位置決め
して固定する。そして同図（ｆ）に示すように該ブロッ
ク２０を光導波路基板１０（同図（ｂ）でブロック２０
を切断した後の光導波路基板１０）の端面に当接して、
各光ファイバ３０のコア端面を光導波路１１の端面に接
続するのである。
１にそれぞれ光ファイバ３０の端部を保持して位置決め
して固定する。そして同図（ｆ）に示すように該ブロッ
ク２０を光導波路基板１０（同図（ｂ）でブロック２０
を切断した後の光導波路基板１０）の端面に当接して、
各光ファイバ３０のコア端面を光導波路１１の端面に接
続するのである。
【００１６】ここでブロック２０の各溝２１の間隔は、
各光導波路１１の間隔と全く一致しているので、該溝２
１に保持された各光ファイバ３０の間隔も各光導波路１
１の間隔と完全に一致する。従ってアレイ状の各光ファ
イバ３０と光導波路１１は高精度に接続できる。
各光導波路１１の間隔と全く一致しているので、該溝２
１に保持された各光ファイバ３０の間隔も各光導波路１
１の間隔と完全に一致する。従ってアレイ状の各光ファ
イバ３０と光導波路１１は高精度に接続できる。
【００１７】〔第２実施例〕 図２は本考案の第２実施例を用いて光導波路と光ファイ
バを接続する工程を示す図である。
バを接続する工程を示す図である。
【００１８】この実施例においても前記第１実施例と同
様に、その上面に拡散型の光導波路１１を複数本並列に
設けた光導波路基板１０の端部を所定長さで切断して、
これを光ファイバ載置用のブロック２０′とする（同図
（ａ）参照）。
様に、その上面に拡散型の光導波路１１を複数本並列に
設けた光導波路基板１０の端部を所定長さで切断して、
これを光ファイバ載置用のブロック２０′とする（同図
（ａ）参照）。
【００１９】次にこの実施例においては、該ブロック２
０′を熱処理して、光導波路１１内の不純物を拡散し
て、同図（ｂ）の拡大図に示すように、該光導波路１１
の径を大きくする。
０′を熱処理して、光導波路１１内の不純物を拡散し
て、同図（ｂ）の拡大図に示すように、該光導波路１１
の径を大きくする。
【００２０】その後は前記第１実施例と同様に、該ブロ
ック２０′をエッチング液に浸して、光導波路１１の部
分だけを選択的にエッチングして（同図（ｃ）参照）、
同図（ｄ）に示すようにブロック２０′上に複数本の溝
２１′を形成する。そして同図（ｅ）に示すようにこれ
ら各溝２１′にそれぞれ光ファイバ３０の端部を保持し
て位置決めして固定する。そして該ブロック２０′を同
図（ａ）で切断した光導波路基板１０の端面に当接し
て、各光ファイバ３０のコア端面を光導波路１１の端面
に接続するのである。
ック２０′をエッチング液に浸して、光導波路１１の部
分だけを選択的にエッチングして（同図（ｃ）参照）、
同図（ｄ）に示すようにブロック２０′上に複数本の溝
２１′を形成する。そして同図（ｅ）に示すようにこれ
ら各溝２１′にそれぞれ光ファイバ３０の端部を保持し
て位置決めして固定する。そして該ブロック２０′を同
図（ａ）で切断した光導波路基板１０の端面に当接し
て、各光ファイバ３０のコア端面を光導波路１１の端面
に接続するのである。
【００２１】この実施例においては、光導波路１１の径
を熱処理によって拡大しているので、これをエッチング
して得られる溝２１′の径も大きくなる。このため前記
第１実施例の場合に比べて、より深くより確実に光ファ
イバ３０を保持できる。なお溝２１′の径が大きくなっ
ても、各溝２１′の中心間の間隔が各光導波路１１の中
心間の間隔と完全同一なのは第１実施例の場合と同様で
ある。
を熱処理によって拡大しているので、これをエッチング
して得られる溝２１′の径も大きくなる。このため前記
第１実施例の場合に比べて、より深くより確実に光ファ
イバ３０を保持できる。なお溝２１′の径が大きくなっ
ても、各溝２１′の中心間の間隔が各光導波路１１の中
心間の間隔と完全同一なのは第１実施例の場合と同様で
ある。
【００２２】〔第３実施例〕 図３は本考案の第３実施例を用いて光導波路と光ファイ
バを接続する工程を示す図である。
バを接続する工程を示す図である。
【００２３】この実施例においては、同図（ａ）に示す
ように、光導波路１１の端部の部分のみの幅を予め広く
パターニングしておく。
ように、光導波路１１の端部の部分のみの幅を予め広く
パターニングしておく。
【００２４】次に同図（ｂ）に示すように、光導波路基
板１０を光導波路１１の幅の変わるところで切断して、
これを光ファイバ載置用のブロック２０″とし、次に同
図（ｃ）に示すように該ブロック２０″をエッチング液
に浸して光導波路１１の部分だけを選択的にエッチング
して、同図（ｄ）に示すようにブロック２０″上に複数
本の溝２１″を形成する。
板１０を光導波路１１の幅の変わるところで切断して、
これを光ファイバ載置用のブロック２０″とし、次に同
図（ｃ）に示すように該ブロック２０″をエッチング液
に浸して光導波路１１の部分だけを選択的にエッチング
して、同図（ｄ）に示すようにブロック２０″上に複数
本の溝２１″を形成する。
【００２５】このようにして形成された溝２１″の径
も、前記第１実施例の場合に比べて大きくなり、より深
くより確実に光ファイバを保持できる。
も、前記第１実施例の場合に比べて大きくなり、より深
くより確実に光ファイバを保持できる。
【００２６】なお上記各実施例においてはブロックに設
けた溝の数を４本としたが、たとえこの本数が増加して
も各光ファイバと光導波路の接続が高精度に行えること
は言うまでもない。
けた溝の数を４本としたが、たとえこの本数が増加して
も各光ファイバと光導波路の接続が高精度に行えること
は言うまでもない。
【００２７】
【考案の効果】以上詳細に説明したように、本考案にか
かる光導波路と光ファイバの接続構造によれば、以下の
ような優れた効果を有する。 ブロックの溝に保持して整列させた各光ファイバの間
隔と、これに接続する各光導波路の間隔は完全に一致
し、高精度な接続が容易に行える。
かる光導波路と光ファイバの接続構造によれば、以下の
ような優れた効果を有する。 ブロックの溝に保持して整列させた各光ファイバの間
隔と、これに接続する各光導波路の間隔は完全に一致
し、高精度な接続が容易に行える。
【００２８】従来からある通常の光導波路をエッチン
グするだけで光ファイバを保持する溝が形成できるの
で、溝を形成するための特別なパターンニングが不要と
なり、その製造工程数が減少し、その製造が容易とな
る。
グするだけで光ファイバを保持する溝が形成できるの
で、溝を形成するための特別なパターンニングが不要と
なり、その製造工程数が減少し、その製造が容易とな
る。
【００２９】光導波路基板と溝を設けたブロックの材
質が同一のため、両者の接合後に熱膨張係数の差による
ズレが生じない。
質が同一のため、両者の接合後に熱膨張係数の差による
ズレが生じない。
【図１】本考案の第１実施例を用いて光導波路と光ファ
イバを接続する工程を示す図である。
イバを接続する工程を示す図である。
【図２】本考案の第２実施例を用いて光導波路と光ファ
イバを接続する工程を示す図である。
イバを接続する工程を示す図である。
【図３】本考案の第３実施例を用いて光導波路と光ファ
イバを接続する工程を示す図である。
イバを接続する工程を示す図である。
【図４】光導波路と光ファイバを接続する従来の方法を
示す図である。
示す図である。
【図５】光導波路と光ファイバを接続する従来の方法を
示す図である。
示す図である。
【図６】光導波路と光ファイバを接続する従来の方法を
示す図である。
示す図である。
【図７】光導波路と光ファイバを接続する従来の方法を
示す図である。
示す図である。
１０ 光導波路基板 １１ 光導波路 ２０，２０′，２０″ ブロック ２１，２１′，２１″ 溝 ３０ 光ファイバ
Claims (1)
- 【請求項１】 光導波路基板上に拡散型の複数本の光導
波路を設け、該光導波路基板の端部をブロック状に切断
し、該切断したブロック上の光導波路部分を除去するこ
とでその表面に複数本の光ファイバ位置決め用の溝を設
け、該複数本の溝に複数本の光ファイバをそれぞれ保持
して位置決めし、該位置決めされた各光ファイバを前記
光導波路基板に設けた複数本の光導波路にそれぞれ接続
したことを特徴とする光導波路と光ファイバの接続構
造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992020337U JP2576344Y2 (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | 光導波路と光ファイバの接続構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1992020337U JP2576344Y2 (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | 光導波路と光ファイバの接続構造 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0573606U JPH0573606U (ja) | 1993-10-08 |
| JP2576344Y2 true JP2576344Y2 (ja) | 1998-07-09 |
Family
ID=12024329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1992020337U Expired - Fee Related JP2576344Y2 (ja) | 1992-03-04 | 1992-03-04 | 光導波路と光ファイバの接続構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2576344Y2 (ja) |
-
1992
- 1992-03-04 JP JP1992020337U patent/JP2576344Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0573606U (ja) | 1993-10-08 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |