CN220138327U - 光学传感器 - Google Patents

Abstract

本公开涉及光学传感器。一种光学传感器，包括：支撑衬底；第一微透镜结构，设置在支撑衬底上并且具有弯曲形状，其中第一微透镜结构通过间隔件区域彼此分隔；以及第二微透镜结构，在第一微透镜结构上方延伸且变形，使得第二微透镜结构具有与第一微透镜结构的弯曲形状匹配的弯曲形式，并且部分地延伸到在第一微透镜结构之间的间隔件区域中。利用本公开的实施例有利地在没有微透镜之间桥接的风险的情况下充分减小每个微透镜结构之间的距离。

Description

光学传感器

技术领域

实施例和实施方案涉及微透镜和光学传感器。

背景技术

光学传感器是用于检测光强度并将其转换成诸如电流或电压的可测量量的装置。光学传感器通常包括光敏区域和微透镜的阵列。特别地，每个光敏区被微透镜覆盖，并被配置成从入射光子产生电流。光子可以用于例如当它们被光学传感器收集时重建图像。图像的每个像素对应于由阵列的光敏区域吸收的光子。

微透镜是通常具有小于100μm的直径的透镜。直径可以向下延伸到μm量级的尺寸，更典型地在1和10μm之间。

微透镜使得可以将光聚焦在微透镜所在的光敏区域上。光敏区域可以通过被微透镜覆盖来捕获更大量的光子，这使得可以增加光敏区域的量子效率。量子效率(QE)对应于入射光子数与光敏区吸收的光子数之比。因此，该比率取决于与微透镜表面接触并重定向到光敏区域的光子的数量。

为了优化量子效率，即为了获得接近于1的量子效率，希望将微透镜尽可能小地间隔开，以收集所有的入射光子，减少光损耗。端到端微(end to end)透镜还具有通过防止光子落在相邻光敏区域上而减少光学干涉的优点。

用于形成微透镜的已知技术的实例使用简单的光刻法。光刻使得可以通过使用支撑衬底上的掩模根据给定图案再现多个微透镜结构。微透镜结构具有中间平行六面体形式，其在下文中也称为“垫(pad)”。所述焊盘然后分布在衬底的表面上并且彼此隔开。然后，微透镜结构经受热蠕变，即，由于热的作用变成液体，以便允许润湿衬底上的结构。润湿对应于与固体表面接触的液体的自然变形。然后，与衬底表面接触的微透镜结构自然地呈现最终的弯曲形状，从而形成微透镜。

在蠕变期间，垫不仅采取微透镜的形式，而且在衬底上延伸，使得所获得的微透镜覆盖衬底的较大区域。当通过光刻形成的结构太靠近在一起时，后者有形成彼此“桥接”并因此连接在一起的桥的风险。

形成在微透镜之间的桥对应于并排设置的微透镜的端部之间的融合。两个微透镜之间的桥不允许穿过该桥的光子被正确地引导到位于这些微透镜下方的光敏区域。

此外，穿过桥的光子可能在阵列的光敏区域之间产生光学干涉。例如，当光子被重定向到与其所针对的光敏区域不同的光敏区域时，发生光学干涉。

这导致光学传感器性能的降低和关于待重建图像的信息的损失。

此外，当前的光刻技术不能在没有微透镜之间桥接的风险的情况下充分减小每个微透镜结构之间的距离，并且不能足够精确以完全减小微透镜之间的距离。

在这点上，用于制造微透镜的其它标准技术使得可以减小微透镜之间的间隔而不形成桥。

例如，一种方法提供用于形成第一微透镜的第一光刻工艺，使得第一微透镜每隔一个地覆盖光敏区域。在第一微透镜交叉联接之后，接着通过第二光刻工艺在每个第一微透镜之间形成第二微透镜以覆盖剩余的光敏区域。因此，此方法使得可获得彼此不间隔开或仅彼此间隔少量的第一微透镜和第二微透镜。

然而，在此方法中第一微透镜与第二微透镜的对准仍相对复杂，且光刻步骤中的每个者需要使用不同掩模，这在制造微透镜时代表显著的额外成本。

用于形成微透镜的常用方法的另一实例是基于将微透镜等离子体转移到布置在衬底上的中间层上。尽管等离子体使得更容易调节中间层上的微透镜之间的间隔以减小或去除微透镜之间的间隔，但是由等离子体发射的辐射可能导致对光学传感器的光敏区域的严重损害并且使得微透镜的表面更粗糙。

因此，需要提出一种解决方案，其使得可以减小微透镜之间的间隔并增加量子效率，同时避免高制造成本并避免损坏光学传感器的光敏区域。

实用新型内容

本公开的目的是提供一种光学传感器，以至少部分地解决现有技术中存在的上述问题。

本公开的一方面提供了一种光学传感器，包括：支撑衬底；第一微透镜结构，设置在支撑衬底上并且具有弯曲形状，其中第一微透镜结构通过间隔件区域彼此分隔；以及第二微透镜结构，在第一微透镜结构上方延伸且变形，使得第二微透镜结构具有与第一微透镜结构的弯曲形状匹配的弯曲形式，并且部分地延伸到在第一微透镜结构之间的间隔件区域中。

根据一个或多个实施例，其中第二微透镜结构中的每个第二微透镜结构具有的曲率大于或等于每个第一微透镜结构的曲率。

根据一个或多个实施例，其中第一微透镜结构的材料不同于第二微透镜结构的材料。

根据一个或多个实施例，其中第一微透镜结构和第二微透镜结构由酚醛聚合物树脂制成。

根据一个或多个实施例，其中第二微透镜结构被配置为限制在第二微透镜结构的外表面上的光反射。

根据一个或多个实施例，其中第二微透镜结构的材料具有在1.5与1.7之间的折射率。

根据一个或多个实施例，其中第二微透镜结构的厚度在400nm和4μm之间。

根据一个或多个实施例，其中第二微透镜结构的厚度大于0.1μm。

根据一个或多个实施例，其中第一微透镜结构彼此间隔大于或等于300nm的距离。

根据一个或多个实施例，其中第二微透镜结构彼此不间隔开。

利用本公开的实施例有利地在没有微透镜之间桥接的风险的情况下充分减小每个微透镜结构之间的距离。

附图说明

在非限制性实施例和实施方式的详细描述以及附图中给出了本实用新型的其它优点和特征，其中：

图1示出了用于制造光学传感器的方法的流程图；

图2－图9示出了在各个制造阶段的实施例光学传感器的截面图；以及

图10－图12示出了在各个制造阶段的实施例光学传感器的平面图。

具体实施方式

图1示意性地示出了实现用于制造光学传感器DISP的方法。该制造方法包括获得如图2的横截面所示的支撑衬底SUB。支撑衬底SUB由目前用于制造微透镜的材料(例如多晶硅)制成，且包括取决于光敏区Z_PHT的性质由本身已知的不同类型的方法形成的光敏区Z_PHT。光敏区Z_PHT可以是例如结型光电二极管或掩埋式光电二极管。衬底可以是p型或n型，并且衬底可以具有更高或更低的电阻率。晶体管的掺杂将根据衬底和光电二极管的类型而不同。

然后，该方法包括用于在衬底SUB上形成微透镜的步骤11至18。微透镜不必直接形成在衬底SUB上。特别地，可以在衬底SUB和微透镜之间插入诸如形成滤色器的层。

更具体地，微透镜的形成包括通过步骤11至14形成弯曲的第一微透镜结构，然后通过步骤15至18在第一微透镜结构上形成第二弯曲微透镜。

因此，该方法包括在支撑衬底SUB上形成11第一材料层C1。第一层C1可以由光敏树脂制成。光敏树脂可以由酚醛聚合物(novolac polymer)(通常称为酚醛清漆(novolacs))制成。例如，光敏树脂可以是日本JSRCorporation的MFR400LL树脂。图3示出了可作为该成形11的结果而获得的结果的截面图。

该方法包括通过光刻PHT_LITO1在支撑衬底SUB上形成12个第一微透镜结构LS1，使得第一微透镜结构LS1彼此分隔。每个第一微透镜结构LS1于是具有点(dot)的中间图案。

更具体地，光刻PHT_LITHO1通过使用先前放置在第一材料层C1上的掩模MSK来执行。掩模MSK包括开口以将第一层C1的表面暴露于辐射并根据图案形成第一微透镜结构LS1。这种光刻技术是本领域技术人员已知的，本领域技术人员将知道如何调整掩模MSK的开口的尺寸以便形成由第一层C1彼此分隔的第一结构LS1。第一微透镜结构LS1和第一层C1的材料是相同的，并且可以是例如酚醛聚合物。图4和图10分别示出了在形成12具有立方体形状的第一微透镜结构LS1之后可以获得的结果的横截面和从下方观察的视图。

有利地，第一微透镜结构LS1形成于光敏区域上方，以便彼此间隔大于或等于300nm的距离D1，例如300nm与600nm之间的距离D1。因此，第一微透镜结构LS1具有合适的尺寸，使得第一微透镜结构LS1之间的距离D1使得可以防止在第一微透镜结构LS1的变形13之后形成桥。

为了使第一微透镜结构LS1成形并赋予它们弯曲的形状，该方法包括第一微透镜结构LS1的变形13。

变形13可以是第一微透镜结构LS1由于蠕变，即由于热的影响而引起的变形。蠕变是本领域技术人员公知的标准技术，从而使微透镜结构LS1成为液体，使得微透镜结构LS1在支撑衬底SUB的表面上自然地呈现弯曲形状。图5示出了可作为该变形13的结果而获得的结果的截面图。

在变形13之后，第一微透镜结构LS1通过间隔件区域GP彼此分隔。间隔件区域GP是位于第一微透镜结构LS1之间的支撑衬底SUB的区域，其因此不被第一微透镜结构LS1覆盖。通过在第一光刻PHT_LITHO1期间调整掩模MSK的开口的尺寸和第一微透镜结构的变形，可以精确地确定每个第一微透镜结构LS1之间的间隔件区域GP的宽度。

然后，该方法包括在变形13之后通过热工艺使第一微透镜结构LS1交叉联接14。交叉联接14使得可以去除每个第一微透镜结构LS1中的溶剂并固化第一微透镜结构LS1，以便保持它们的固定位置并将它们稳定在支撑衬底SUB上。

该方法还包括在第一微透镜结构LS1上和在间隔件区域GP中的支撑衬底SUB上形成第二材料层C2。第二层C2可以由与用于第一层C1的树脂相同的光敏树脂或由不同的材料如聚(羟基苯乙烯)(poly(hydroxystyrene))(PHS)形成。该树脂可以例如与用于第一层C1和第一微透镜结构LS1的树脂相同，即MFR为400LL的酚醛聚合物树脂。图6示出了在该成形15之后可以获得的结果的截面。

该方法包括通过光刻PHT_LITO2形成16个第二微透镜结构LS2，使得第二微透镜结构LS2在第一微透镜结构LS1上延伸。每个第二微透镜结构LS2则具有点的中间图案。

光刻PHT_LITHO2使用先前放置在材料C2的第二层上的掩模MSK来执行。有利地，光刻工艺PHT_LITHO1和PHT_LITHO2使得可以通过使用相同的掩模MSK来执行形成第一微透镜结构LS1和第二微透镜结构LS2。将单个掩模MSK用于两个光刻工艺PHT_LITHO1和PHT_LITHO2使得可以降低制造微透镜的成本并且更快速地执行第二光刻工艺PHT_LITHO2。

第二微透镜结构LS2和第二层C2的材料是相同的，并且可以例如由基于酚醛聚合物的MFR400LL树脂制成。图7和图11分别示出了在形成16具有立方体形式的第二微透镜结构LS2之后可以获得的结果的横截面和顶视图。

有利地，第二微透镜结构LS2形成为在变形17之前相对于彼此间隔大于300nm的距离D2，例如300nm和400nm之间的距离D2。距离D2可以等于对应于第一微透镜结构LS1之间的间隔的距离D1。

有利地，第二微透镜结构的厚度大于0.1μm。第二微透镜结构LS2于是具有厚度E2，该厚度E2足以在第二微透镜结构LS2的如下所述的变形17之后更好地分布在第一微透镜结构LS1之间的间隔件区域GP中，并且使得可以减小或者甚至去除微透镜之间的间隔。

此外，第二微透镜结构LS2的厚度E2在400nm和4μm之间。该方法还使得可以在第二微透镜结构LS2变形17之后，使用第二微透镜结构LS2来平滑可能相对粗糙的第一微透镜结构LS2的表面。因此，可改进微透镜表面的完成度(finishing)。

所述方法包含使第二微透镜结构LS2变形17，使得第二微透镜结构LS2具有与第一微透镜结构LS1的弯曲形式匹配的弯曲形式且部分延伸到第一微透镜结构LS1之间的间隔件区域GAP中。

变形17可以是第二微透镜结构LS2由于蠕变，即在热的作用下的变形。因此，该方法使得可以调整上述蠕变技术，以便允许第二微透镜结构LS2在第一微透镜结构LS1的表面上自然地呈现弯曲形式。图8示出了在该变形17之后可以获得的结果的截面。

有利地，第二微透镜结构LS2的变形17包括以适当温度扩散等离子体的工艺。扩散等离子体工艺的温度可以作为第二微透镜结构LS2的材料性质的函数来确定，使得可以更好地控制第二微透镜结构LS2的变形17并获得期望形式的微透镜。等离子体扩散工艺的温度通常在150℃和180℃之间。

特别地，扩散等离子体是化学式为CF₄O₂的碳和双氧四氟化物。与其它类型的等离子体相对，碳和双氧四氟化物等离子体具有允许微透镜结构变形而没有损坏光学传感器DISP的光敏区域的风险并且不影响微透镜的粗糙度的优点。

在变形17之后，每个第二微透镜结构LS2具有的曲率大于或等于每个第一微透镜结构LS1的曲率。举例来说，第一微透镜LS1的曲率半径R1可在20°与40°之间，且第二微透镜结构LS2的曲率半径R2可在40°与60°之间。

因此，可以独立于每个第一微透镜结构LS1的曲率来调节每个第二微透镜结构LS2的曲率。较高的微透镜曲率使得可以减小微透镜的焦距，使得当光敏区域靠近微透镜时，光可以聚焦在光敏区域上。

然后，该方法包括在第二微透镜结构LS2变形17之后通过热工艺使第二微透镜结构LS2交叉联接18。交叉联接18使得可以固化第二微透镜结构LS2，以便保持它们的固定位置并将它们稳定在支撑衬底SUB上。

通过首先在第一微透镜结构上形成第一微透镜结构然后在第一微透镜结构上形成第二微透镜结构的微透镜的两步形成使得可以形成微透镜而不形成桥，这可能导致光损失和光学传感器DISP的光敏区之间的光学干涉。因此，光学传感器DISP受益于改善的量子效率和增强的性能。图12示出了在该变形17之后可以获得的结果的俯视图。

图9示出了由上述方法制成的光学传感器DISP的截面图，其包括位于每个第二微透镜结构LS2下方的光敏区域Z_PHT。

由光传感器DISP的第一微透镜结构LS1和第二微透镜结构LS2形成的微透镜在它们之间不具有间隔，或者不具有非常减小的间隔，并且因此使得可以将入射光LUM聚焦在由每个微透镜覆盖的光敏区域Z_PHT上。优选地，第二微透镜结构LS2在变形17之后彼此间隔开至少基本为零的距离。例如，在一些实施例中，第二微透镜结构在变形17之后并不彼此间隔开。因此，这种光学传感器DISP具有增加由光敏区Z_PHT收集的光子量以及总量子效率而不损失光敏区之间的光或光学干涉的优点。

当然，本实用新型的其它变型和修改对于本领域技术人员来说是显而易见的。例如，第一微透镜结构LS1和第二微透镜结构LS2可以由不同的材料形成。优选地，第二微透镜结构LS2由经配置以限制光LUM在第二微透镜结构LS2的外表面上的反射的材料层形成。该材料层可以包括例如硅氧烷类型(环状或双环)或PET(聚酯)或丙烯酸，根据透镜的外部环境起抗反射涂层的作用。特别地，形成第二微透镜结构LS2的材料层的折射率在1.5和1.7之间。通过限制光LUM在第二微透镜结构LS2的外表面上的反射，避免了光子的损失。然后增加光敏区域的量子效率。

本公开的一方面提供了一种用于在支撑衬底上制造光学器件的方法，方法包括：使用第一光刻工艺在支撑衬底上形成第一微透镜结构，使得第一微透镜结构彼此分隔；使第一微透镜结构变形以赋予第一微透镜结构弯曲的形状，其中第一微透镜结构在变形之后通过间隔件区域彼此分隔；使用第二光刻工艺形成第二微透镜结构衬底，使得第二微透镜结构在第一微透镜结构上方延伸；以及使第二微透镜结构变形，使得第二微透镜结构具有与第一微透镜结构的弯曲形状匹配的弯曲形式，并且部分地延伸到第一微透镜结构之间的间隔件区域中。

根据一个或多个实施例，其中在变形之后，每个第二微透镜结构具有的曲率大于或等于每个第一微透镜结构的曲率。

根据一个或多个实施例，方法进一步包括：在使第一微透镜结构变形之后通过热工艺使第一微透镜结构交叉联接，以及在使第二微透镜结构变形之后通过热工艺使第二微透镜结构交叉联接。

根据一个或多个实施例，其中第一光刻工艺和第二光刻工艺使用同一掩模来执行。

根据一个或多个实施例，其中使第二微透镜结构变形包括以第一温度执行扩散等离子体工艺。

根据一个或多个实施例，其中扩散等离子体工艺包括使用碳和双氧四氟化物等离子体。

根据一个或多个实施例，其中第一微透镜结构和第二微透镜结构由不同材料形成。

根据一个或多个实施例，其中第一微透镜结构和第二微透镜结构各自由酚醛聚合物树脂形成。

根据一个或多个实施例，其中第二微透镜结构由经选择以限制来自第二微透镜结构的外表面的光反射的材料层形成。

根据一个或多个实施例，其中使用第二光刻工艺形成第二微透镜结构衬底包括在使第二微透镜结构变形之前形成彼此间隔的第二微透镜结构。

根据一个或多个实施例，其中在使第二微透镜结构变形之后，第二微透镜结构不被彼此间隔开。

本公开的又一方面提供了一种操作光学传感器的方法，光学传感器包括：支撑衬底；设置在支撑衬底上的具有弯曲形状的第一微透镜结构，其中第一微透镜结构通过间隔件区域彼此分隔；第二微透镜结构，在第一微透镜结构上方延伸且变形，使得第二微透镜结构具有与第一微透镜结构的弯曲形状匹配的弯曲形式且部分地延伸到第一微透镜结构之间的间隔件区域中；以及光敏区，光敏区中的每个光敏区被放置在第一微透镜结构的对应第一微透镜结构下方，方法包括：通过第一微透镜结构和第二微透镜结构接收光；通过第一微透镜结构和第二微透镜结构将所接收的光聚焦在光敏区上；以及检测由光敏区聚焦的所接收的光。

根据实施例，提出了一种用于在支撑衬底上制造光学器件的方法，包括形成多个微透镜。所述多个微透镜的形成包括通过光刻在所述支撑衬底上形成第一微透镜结构，使得所述第一微透镜结构彼此分隔，接着通过使所述第一微透镜结构变形以使所述第一微透镜结构具有弯曲形状，所述第一微透镜结构在变形之后通过间隔件彼此分隔。

所述多个微透镜的形成还包括通过光刻形成第二微透镜结构，使得所述第二微透镜结构在所述第一微透镜结构上方延伸，接着使所述第二微透镜结构变形，使得所述第二结构具有与所述第一微透镜结构的弯曲形状匹配的弯曲形状且部分地延伸到所述第一微透镜结构之间的间隔件区域中。

因此，通过叠加第一微透镜结构和第二微透镜结构来形成每个微透镜。

通过将第二微透镜结构叠加到第一微透镜结构上而形成微透镜使得可以减小微透镜之间的间距，并消除该间距以避免在每个微透镜之间形成桥。

实际上，在第一微透镜结构上形成第二微透镜结构的事实使得可以更容易地控制第二微透镜结构的变形，使得第二微透镜结构延伸到间隔件区域中以减小微透镜之间的间距。

根据一个实施例，每个第二微透镜结构在变形之后具有大于或等于每个第一微透镜结构的曲率的曲率。

因此，可以独立于每个第一微透镜结构的曲率来调节每个第二微透镜结构的曲率。较高的微透镜曲率使得可以减小微透镜的焦距，以在光敏区域靠近微透镜时将光会聚在光敏区域上。

根据一个实施例，该方法还包括在第一微透镜结构变形之后通过热工艺使其交叉联接(cross-link)，以及在第二微透镜结构变形之后通过热工艺使其交叉联接。

微透镜结构变形后的交叉联接使得可以除去每个微透镜结构中的溶剂并固化微透镜结构以保持它们的固定位置并将它们稳定在衬底上。

根据一个实施例，通过使用相同的掩模来执行用于形成微透镜结构和第二微透镜结构的光刻工艺。

对于两个光刻工艺使用单个掩模使得可以降低制造微透镜的成本并且更快速地执行第二光刻工艺。

根据一个实施例，第二微透镜结构的变形包括在适当温度下的扩散等离子体工艺。然后通过蠕变使第二微透镜结构变形，从而允许第二微透镜结构在第一微透镜结构上润湿，以匹配第一微透镜结构的形状并部分地延伸到间隔件区域中。

扩散等离子体工艺的温度可根据微透镜结构的材料的性质来确定，以更好地控制第二微透镜结构的变形并获得期望的微透镜形状。

扩散等离子体的使用使得可以获得微透镜结构的变形而没有损坏和影响微透镜的粗糙度的风险。

根据一个实施例，扩散等离子体是碳和双氧四氟化物等离子体。

根据一个实施例，第一微透镜结构和第二微透镜结构由不同材料形成。

根据一个实施例，第一微透镜结构和第二微透镜结构均由酚醛聚合物树脂形成。

根据一个实施例，第二微透镜结构由经选择以限制光在第二微透镜结构的外表面上的反射的材料形成。

通过限制光在第二微透镜结构的外表面上的反射，避免了光子的损失并因此降低了量子效率。

根据一个实施例，形成第二微透镜结构的材料具有介于1.5与1.7之间的折射率。

根据一个实施例，第二微透镜结构的厚度在400nm和4μm之间。

因此，所述方法还使得有可能使用第二微透镜结构来平滑有时可能非常粗糙的第一微透镜结构的表面。

根据一个实施例，第二微透镜结构的厚度大于0.1μm。

具有这种厚度值的第二微透镜结构可以更好地分布在第一微透镜结构之间的间隔件中。以此方式，获得足够的厚度以用于减小或移除微透镜之间的间隔。

根据一个实施例，第一微透镜结构形成为彼此间隔开大于或等于300nm的距离。

第一微透镜结构之间的最小间距使得可以减少或避免第一微透镜结构之间的桥的形成。

根据一个实施例，第二微透镜结构通过光刻形成，以在变形之前彼此间隔开大于或等于300nm的距离。

根据一个实施例，在第二微透镜结构变形至少基本为零的距离之后，第二微透镜结构彼此间隔开。

根据另一方面，提出了一种半导体器件，其包括支撑衬底和多个微透镜。

所述多个微透镜包括第一微透镜结构，所述第一微透镜结构具有布置在所述支撑衬底上的弯曲形状，使得所述第一微透镜结构通过间隔件域彼此分隔。

所述多个微透镜还包含第二微透镜结构，所述第二微透镜结构在所述第一微透镜结构上方延伸且变形以使得所述第二结构具有与所述第一微透镜结构的弯曲形状匹配的弯曲形状且部分地延伸到所述第一微透镜结构之间的间隔件区域中。

根据一个实施例，每个第二变形的微透镜结构具有大于或等于每个第一微透镜结构的曲率的曲率。

根据一个实施例，第一微透镜结构和第二微透镜结构的材料不同。

根据一个实施例，第一微透镜结构和第二微透镜结构由酚醛聚合物树脂制成。

根据一个实施例，第二微透镜结构经配置以限制光在第二微透镜结构的外表面上的反射。

根据一个实施例，第二微透镜结构的材料具有介于1.5与1.7之间的折射率。

根据一个实施例，第二微透镜结构的厚度在400nm和4μm之间。

根据一个实施例，第二微透镜结构的厚度大于0.1μm。

根据一个实施例，第一微透镜结构彼此间隔开大于或等于300nm的距离。

根据一个实施例，第二微透镜结构彼此间隔开至少基本为零的距离。

Claims (7)

1.一种光学传感器，其特征在于，包括：

支撑衬底；

第一微透镜结构，设置在所述支撑衬底上并且具有弯曲形状，其中所述第一微透镜结构通过间隔件区域彼此分隔；以及

第二微透镜结构，在所述第一微透镜结构上方延伸且变形，使得所述第二微透镜结构具有与所述第一微透镜结构的弯曲形状匹配的弯曲形式，并且部分地延伸到在所述第一微透镜结构之间的所述间隔件区域中。

2.根据权利要求1所述的光学传感器，其特征在于，所述第二微透镜结构中的每个第二微透镜结构具有的曲率大于或等于每个第一微透镜结构的曲率。

3.根据权利要求1所述的光学传感器，其特征在于，所述第二微透镜结构被配置为限制在所述第二微透镜结构的外表面上的光反射。

4.根据权利要求1所述的光学传感器，其特征在于，所述第二微透镜结构的厚度在400nm和4μm之间。

5.根据权利要求1所述的光学传感器，其特征在于，所述第二微透镜结构的厚度大于0.1μm。

6.根据权利要求1所述的光学传感器，其特征在于，所述第一微透镜结构彼此间隔大于或等于300nm的距离。

7.根据权利要求6所述的光学传感器，其特征在于，所述第二微透镜结构彼此不间隔开。