CN1840356B - 图案修正装置及涂敷组件 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能以简单的结构迅速地修正缺陷部的图案修正装置。在该图案修正装置中，在待机状态下，使涂敷针前端部(19a)浸渍在修正液(17)中。在进行涂敷时，缸体部(20)使驱动轴(20a)下降，涂敷针(19)从容器(18)的孔(18b)伸出。在涂敷针前端部(19a)上附着有修正液(17a)。接着，涂敷缸体(13)使驱动轴(13a)下降，使涂敷针前端部(19a)与基板(20)的缺陷部(22)接触，将修正液(17a)涂敷在缺陷部(22)上。因此，可省去现有技术中的使涂敷针在缺陷部和油墨罐之间往复运动的工序。

Description

图案修正装置及涂敷组件

(1)技术领域

本发明涉及一种图案修正装置、图案修正方法及图案修正组件，尤其是涉及对形成在基板上的微细图案的缺陷部进行修正的图案修正装置、图案修正方法及图案修正组件。更加具体地说，本发明涉及对在平板显示器的制造工序中产生的电极的开口(open)缺陷、等离子显示器的肋(分隔壁)缺损、液晶滤色镜的脱墨缺陷、掩膜的缺陷等进行修正的图案修正装置、图案修正方法及图案修正组件。

(2)背景技术

近年来，随着等离子显示器、液晶显示器、EL显示器等平板显示器的大型化、高精细化，在显示器的制造工序中，基板上的电极或肋等产生缺陷、液晶滤色镜的着色层产生缺陷的机率变高。因此，为了提高产品合格率，提出了一种修正各种缺陷的方法。

图49是表示现有技术中的图案修正装置的整体结构的图。如图49所示，该图案修正装置201包括：观察基板表面的观察光学系统202；反映所观察到的图像的监视器203；通过观察光学系统202向基板照射激光以剪切掉不要部分的剪切用激光部204；使修正液附着到涂敷针前端对基板的缺陷部进行涂敷的涂敷机构部205；对涂敷到缺陷部上的修正液进行加热的基板加热部206；识别缺陷部的图像处理部207；控制整个装置的主计算机208；控制装置机构部的动作的控制用计算机209。另外，还设置有：使具有缺陷部的基板在XY方向(水平方向)上移动的XY载物台210；在XY载物台210上保持基板的夹持部211；使观察光学系统202和涂敷机构部205在Z方向(垂直方向)上移动的Z载物台212。

涂敷机构部205的下方前端设置有涂敷针213。在油墨罐分度用电动机214上连接有装设多个油墨罐的油墨罐台215。

在修正基板的缺陷部时，使涂敷针213移动到缺陷位置后，驱动油墨罐分度用电动机214使油墨罐台215旋转，选择适当的油墨罐。并且，涂敷机构部205上下运动，使油墨附着在涂敷针213上，从而将油墨适量地涂敷在基板上。

例如在下述的专利文献1中，公开了一种能以比较简单的构成自动地对滤色镜的白缺陷及黑缺陷进行修正的缺陷修正方法及缺陷修正装置。这样，油墨涂敷用定位缸体上下运动，使油墨附着在油墨涂敷用针上，从而将油墨适量地涂敷在滤色镜上。

另外，在下述专利文献2中，公开了一种即使是宽度比较大的缺陷也可进行修正的图案修正装置。这样，在形成在等离子显示器的背面玻璃基板上的肋的一部分缺失时，使修正用糊状物附着在涂敷针上对缺损部进行涂敷。

专利文献1：日本专利特开平9-61296号公报

专利文献2：日本专利特开2000-299059号公报

在现有技术中的图案修正装置中，在缺陷部较大的场合，需要用修正用油墨对缺陷部进行多次涂敷，每次涂敷都需要使涂敷针从缺陷部返回到油墨罐，使油墨重新附着在涂敷针上。因此，存在至缺陷部修正结束需要耗费时间的问题。另外，在每次改变修正用油墨的颜色时都需要对涂敷针进行洗净。

(3)发明内容

因此，本发明的主要目的在于提供一种能以简单的结构迅速地修正缺陷部的图案修正装置、图案修正方法及图案修正组件。

本发明的图案修正装置，对基板上形成的微细图案的缺陷部进行修正，包括：底部开设有第一孔、注入有修正液的容器；直径与第一孔基本相同的涂敷针；以及使涂敷针的前端部从第一孔伸出、将附着在涂敷针前端部上的修正液涂敷在缺陷部上的驱动部，驱动部包括：第一副驱动部，固定在容器上，使涂敷针的前端部从第一孔伸出，使修正液附着在涂敷针的前端部上；以及第二副驱动部，使容器下降，使涂敷针的前端部与缺陷部接触，将附着在涂敷针前端部上的修正液涂敷在缺陷部上，还包括线性导向器，该线性导向器设置在容器和第二副驱动部之间，对容器可移动地予以保持，使得不会从涂敷针前端部向缺陷部施加规定值以上的压力。

更好的情况是，第一副驱动部包括：固定在涂敷针上端的永磁体；以及电磁体，该电磁体利用与永磁体间的吸引力而使涂敷针向上方移动，利用与永磁体间的排斥力而使涂敷针向下方移动。

更好的情况是，第一副驱动部包括：固定在涂敷针上端的可动铁芯；以及通过吸引可动铁芯或使其落下而使涂敷针上下运动的螺线管线圈。

根据本发明的另一个方面，一种图案修正装置，对基板上形成的微细图案的缺陷部进行修正，包括：底部开设有第一孔、注入有修正液的容器；直径与所述第一孔基本相同的涂敷针；以及使所述涂敷针的前端部从所述第一孔伸出、将附着在所述涂敷针前端部上的修正液涂敷在所述缺陷部上的驱动部，驱动部具有固定部和驱动轴。图案修正装置还包括：将容器固定在固定部上的固定构件；以及线性导向器，该线性导向器设置在涂敷针和驱动轴之间，对涂敷针可移动地予以保持，使得不会从涂敷针前端部向缺陷部施加规定值以上的压力。

根据本发明的另一个方面，一种图案修正装置，对基板上形成的微细图案的缺陷部进行修正，包括：底部开设有第一孔、注入有修正液的容器；直径与所述第一孔基本相同的涂敷针；以及使所述涂敷针的前端部从所述第一孔伸出、将附着在所述涂敷针前端部上的修正液涂敷在所述缺陷部上的驱动部，还包括：固定构件，固定容器，在与基板相对的面上设置有突起部，且利用驱动部而上下运动；第一线性导向器，设置在固定构件和驱动部之间，对固定构件可移动地予以保持，使得不会从突起部向基板施加规定值以上的压力；以及第二线性导向器，设置在涂敷针和驱动部之间，对涂敷针可移动地予以保持，使得不会从涂敷针的前端部向缺陷部施加规定值以上的压力。

根据本发明的另一个方面，一种图案修正装置，对基板上形成的微细图案的缺陷部进行修正，包括：底部开设有第一孔、注入有修正液的容器；直径与所述第一孔基本相同的涂敷针；以及使所述涂敷针的前端部从所述第一孔伸出、将附着在所述涂敷针前端部上的修正液涂敷在所述缺陷部上的驱动部，还包括：底部固定有容器的有底筒状的壳体；收容在壳体内部的可动构件；第一线性导向器，设置在壳体的内周侧面和可动构件之间，对可动构件可移动地予以保持；以及第二线性导向器，设置在涂敷针和可动构件之间，对涂敷针可移动地予以保持，使得不会从涂敷针前端部向缺陷部施加规定值以上的压力.驱动部通过下推可动构件，而使涂敷针前端部从第一孔伸出.

更好的情况是，所述驱动部在待机时将所述涂敷针的前端部保持在所述容器内所注入的修正液中，在进行涂敷时使所述涂敷针的前端部从所述第一孔伸出。

更好的情况是，在容器的上壁开设有直径与第一孔基本相同的第二孔，容器除第一孔及第二孔以外为密闭状态，涂敷针设置成可沿经由第一孔及第二孔的直线移动。

本发明的涂敷组件，是对基板上形成的微细图案的缺陷部进行修正的图案修正装置的涂敷组件，包括：底部开设有第一孔、注入有修正液的容器；直径与第一孔基本相同的涂敷针；对所述涂敷针的基端部进行固定保持的涂敷针固定构件，通过所述涂敷针固定构件对涂敷针可上下运动地予以支撑的直动导向构件；以及使涂敷针固定构件向下方移动、使涂敷针的前端部从第一孔伸出、使修正液附着在涂敷针前端部上的驱动部，可将附着在涂敷针前端部上的修正液涂敷在缺陷部上，驱动部至少在涂敷针前端部与缺陷部接触时，解除涂敷针固定构件的保持，从而在涂敷针前端部与缺陷部接触时，不会从涂敷针前端部向缺陷部施加规定值以上的压力。

更好的情况是，所述驱动部在待机时将所述涂敷针前端部保持在所述容器内所注入的修正液中，在进行涂敷时使所述涂敷针前端部从所述第一孔伸出。

更好的情况是，驱动部包括：从下侧支撑涂敷针固定构件的支撑构件；以及使支撑构件上下运动的缸体。

更好的情况是，涂敷针固定构件由磁性体材料构成，驱动部具有铁芯和卷绕在该铁芯上的线圈，向线圈通入电流后，利用与涂敷针固定构件间的磁引力而使涂敷针固定构件向上方移动，停止向线圈供给电流后，使涂敷针固定构件向下方移动。

更好的情况是，还包括固定在涂敷针固定构件上端的永磁体，驱动部具有铁芯和卷绕在该铁芯上的线圈，向线圈通入电流后，利用与永磁体间的磁排斥力而使涂敷针固定构件向下方移动，停止向线圈供给电流后，利用与永磁体间的磁引力而使涂敷针固定构件向上方移动。

更好的情况是，还包括固定在涂敷针固定构件上端的铁芯，驱动部具有螺线管线圈，向螺线管线圈通入电流后，利用与铁芯间的磁引力而使涂敷针固定构件向上方移动，停止向螺线管线圈供给电流后，使涂敷针固定构件向下方移动。

更好的情况是，在容器的开口的上面固定有盖体，在该盖体上开设有直径与涂敷针的直径基本相同的第二孔，容器除第一孔及第二孔以外为密闭状态，涂敷针设置成可沿经由第一孔及第二孔的直线移动。

更好的情况是，还包括吸收构件，该吸收构件配置在容器底部下表面的第一孔周边，吸收从第一孔泄漏的修正液。

更好的情况是，包括：一个壳体；以及设置在一个壳体内的多组容器、涂敷针、直动导向构件及驱动部。

另外，本发明的图案修正装置，包括：上述涂敷组件；以及移动装置，该移动装置在进行涂敷时，使涂敷组件和基板相对移动，将附着在涂敷针前端部的修正液涂敷在缺陷部上。

较好的情况是，包括多个涂敷组件，在各涂敷组件的容器内注入与其他涂敷组件的容器内所注入的修正液种类不同的修正液，移动装置至少使根据缺陷部的种类从多个涂敷组件中选出的涂敷组件和基板相对移动，将附着在涂敷针前端部的修正液涂敷在缺陷部上.

在本发明的图案修正装置中，设置有：底部开设有第一孔、注入有修正液的容器；直径与第一孔基本相同的涂敷针；以及使涂敷针的前端部从第一孔伸出、将附着在涂敷针前端部上的修正液涂敷在缺陷部上的驱动部。因此，可省去现有技术中的使涂敷针在缺陷部和油墨罐(或糊状物盒)之间往复运动的工序。另外，不像现有技术那样在将修正液附着在涂敷针前端部上后需要设置待机时间，或可缩短待机时间。因此，可缩短修正缺陷所需的时间，实现装置结构的简略化。

在本发明的图案修正方法中，设置有：底部开设有第一孔、注入有修正液的容器；以及直径与第一孔基本相同的涂敷针，包括：将涂敷针的前端部保持在容器内所注入的修正液中的步骤；使涂敷针的前端部从第一孔伸出、使修正液附着在涂敷针前端部上的步骤；以及使涂敷针的前端部与缺陷部接触、将附着在涂敷针前端部上的修正液涂敷在缺陷部上的步骤。此时也同样，可省去现有技术中的使涂敷针在缺陷部和油墨罐(或糊状物盒)之间往复运动的工序。另外，不像现有技术那样在将修正液附着在涂敷针前端部上后需要设置待机时间，或可缩短待机时间。因此，可缩短修正缺陷所需的时间，实现装置结构的简略化。再者，以将涂敷针前端部保持在修正液中的状态待机，故可防止附着在涂敷针前端部上的修正液干燥，可省去涂敷针前端部的洗净工序。

在本发明的涂敷组件中，包括：底部开设有第一孔、注入有修正液的容器；直径与第一孔基本相同的涂敷针；对涂敷针可上下运动地予以支撑的直动导向构件；以及使涂敷针向下方移动、使涂敷针的前端部从第一孔伸出、使修正液附着在涂敷针前端部上的驱动部，可将附着在涂敷针前端部上的修正液涂敷在缺陷部上。因此，可省去现有技术中的使涂敷针在缺陷部和油墨罐(或糊状物盒)之间往复运动的工序。另外，不像现有技术那样在将修正液附着在涂敷针前端部上后需要设置待机时间，或可缩短待机时间。因此，可缩短修正缺陷所需的时间，实现装置结构的简略化。再者，以将涂敷针前端部保持在修正液中的状态待机，故可防止附着在涂敷针前端部上的修正液干燥，可省去涂敷针前端部的洗净工序。

在本发明的图案修正装置中，包括：上述涂敷组件；以及移动装置，该移动装置使涂敷组件和基板相对移动，从而在进行涂敷时，使涂敷针前端部与缺陷部接触，将附着在涂敷针前端部的修正液涂敷在缺陷部上。此时也同样，可省去现有技术中的使涂敷针在缺陷部和油墨罐(或糊状物盒)之间往复运动的工序。另外，不像现有技术那样在将修正液附着在涂敷针前端部上后需要设置待机时间，或可缩短待机时间。因此，可缩短修正缺陷所需的时间，实现装置结构的简略化。

(4)附图说明

图1是表示本发明实施形态1的图案修正装置的整体结构的图。

图2是表示图1所示的图案修正装置的主要部分的结构及涂敷动作的剖视图。

图3是表示图2所示的涂敷针前端部的形态的局部放大图。

图4是表示现有技术中的图案修正装置的涂敷针前端部的形态的图。

图5是表示基板的缺陷部被修正后的形态的第1图。

图6是表示基板的缺陷部被修正后的形态的第2图。

图7是表示基板的缺陷部被修正后的形态的第3图。

图8是表示实施形态1的变形例1的图。

图9是表示实施形态1的变形例2的图。

图10是表示实施形态1的变形例3的图。

图11是表示本发明实施形态2的图案修正装置的主要部分的结构及涂敷动作的剖视图。

图12是表示实施形态2的变形例1的图。

图13是表示实施形态2的变形例2的图。

图14是表示实施形态2的变形例3的图。

图15是表示本发明实施形态3的图案修正装置的主要部分的结构的剖视图。

图16是表示实施形态3的变形例1的图。

图17是表示实施形态3的变形例2的图。

图18是表示实施形态3的变形例3的图。

图19是表示实施形态3的变形例4的图。

图20是表示本发明实施形态4的图案修正装置的主要部分的结构的剖视图。

图21是表示实施形态4的变形例1的图。

图22是表示实施形态4的变形例2的图。

图23是表示实施形态4的变形例3的图。

图24是表示实施形态4的变形例4的图。

图25是图24所示的涂敷机构部的主要部分的局部放大图。

图26是表示实施形态4的变形例5的图。

图27是表示本发明实施形态5的图案修正装置的涂敷组件的大致结构及涂敷动作的剖视图。

图28是表示图27所示的涂敷组件的具体结构及涂敷动作的剖视图。

图29是表示本发明实施形态6的图案修正装置的涂敷组件的结构及涂敷动作的图。

图30是表示使用图29所示的涂敷组件的其他涂敷动作的图。

图31是表示实施形态6的变形例1的图。

图32是表示实施形态6的变形例2的图。

图33是表示实施形态6的变形例3的图。

图34是表示实施形态6的变形例4的图。

图35是表示实施形态6的变形例5的图。

图36是图35所示的涂敷组件的主要部分的局部放大图。

图37是表示实施形态6的变形例6的图。

图38是表示实施形态6的变形例7的图。

图39是表示实施形态6的变形例8的图。

图40是在圆周方向上排列多个涂敷组件的图。

图41是表示本发明实施形态7的图案修正装置的涂敷组件的结构的图。

图42是表示实施形态7的变形例1的图。

图43是表示实施形态7的变形例2的图。

图44是表示实施形态7的变形例3的图。

图45是表示实施形态7的变形例4的图。

图46是表示实施形态7的变形例5的图。

图47是表示实施形态7的变形例6的图。

图48是表示实施形态7的变形例7的图。

图49是表示现有技术中的图案修正装置的整体结构的图。

(元件符号说明)

1、201图案修正装置     2、202观察光学系统

3、203监视器           4、204切除用激光部

5、205涂敷机构部       6、206基板加热部

7、207图像处理部       8、208主计算机

9、209控制用计算机     10、210XY载物台

11、211夹持部          12、212Z载物台

13涂敷缸体             13a、60a驱动轴

14、44涂敷组件         15、36、46线性导向器

15a、36a、46a导轨部    15b、36b、46b滑动部

16、30限制器           17、17a修正液

18容器

18a、18b、35a、40b、43a、47a、49a、49c、57a孔

18g补充孔              19、113涂敷针

19a涂敷针前端部        19b外周侧面

20缸体部               20a驱动轴

21、47壳体             21a空气排出孔

22基板                 22a缺陷部

23电极                 23a开口缺陷部

24肋                   24a缺损部

25象素                 25a脱墨缺陷部

26活塞                 27O形环

28、48弹簧             29管

31永磁体               32电磁体

33电磁螺线管           33a可动铁芯

33b螺线管线圈          34涂敷针固定板

35容器固定板           35b、49b、51a凹部

37、41定位台            37a、41a导向部

38、42固定螺钉          40a修正液收纳孔

40c、47c突起部          43盖体

45推杆                  47b槽部

49组件支撑板            49d台阶孔

50结合部                51闸门

51b臂部                 52螺线管

53、54吸收片            55滑动轴承

56粘接层                57固定台

58中空板                58a、58b侧面

58c长孔                 59销

60缸体                  61控制杆

62载物台                63磁体

64凸缘                  67支撑台

67a凹部                 68限制器

69气缸                  69a输出轴

70销                    71驱动载物台

71a驱动轴               76容器部

77涂敷部                78驱动部

79容器                  79a、80a、82e、93a孔

79b、82f、97a凸缘       79c上表面

79e圆筒部               79f锥部

79g突起部               79h凹部

79i磁体                 80盖体

80b凸缘面               80c下表面

81密封构件              82壳体

82a台阶孔               82b侧面

82c、82d凹部            82g槽部

82h台阶部       82i锥部

82j窗口         82k嵌合面

83线性导向器    83a导轨部

83b滑动部       84定位固定台

85涂敷针固定板  85a缺口部

86固定螺钉      87电磁体

87a铁芯         87b线圈

88电磁螺线管    89、89a、89b、94永磁体

90磁环          91、98盖体

92衬垫          93组件支撑板

95线性轴套      95a滚动体

96挡圈          97可动轴

97b穴           99吸收片

100补充通路     100a补充口

101带           102RFID标签

103限制器       104基准标记

105定位销       214油墨罐分度用电动机

215油墨罐台

(5)具体实施方式

实施形态1：

图1是表示本发明实施形态1的图案修正装置的整体结构的图。在图1中，图案修正装置1包括：观察基板表面的观察光学系统2；反映所观察到的图像的监视器3；通过观察光学系统2向基板照射激光以切除掉不要部分的切除用激光部4；使修正液附着到涂敷针前端对基板的缺陷部进行涂敷的涂敷机构部5；对涂敷到缺陷部上的修正液进行加热的基板加热部6；识别缺陷部的图像处理部7；控制整个装置的主计算机8；控制装置机构部的动作的控制用计算机9。另外，还设置有：使具有缺陷部的基板在XY方向(水平方向)上移动的XY载物台10；在XY载物台10上保持基板的夹持部11；使观察光学系统2和涂敷机构部5在Z方向(垂直方向)上移动的Z载物台12等。

XY载物台10用于在利用涂敷机构部5将修正液对缺陷部进行涂敷时、或在利用观察光学系统2对基板表面进行观察时等、使基板相对移动到适当的位置。图1中所示的XY载物台10具有将2个单轴载物台在直角方向上重叠的结构。不过，该XY载物台10只要可使基板相对观察光学系统2和涂敷机构部5相对地移动即可，并不局限于图1所示的XY载物台10的结构。近年来，随着基板尺寸的大型化，很多时候采用在X轴方向和Y轴方向上可分别独立地移动的龙门型XY载物台。

图2(A)～(D)是表示图1所示的图案修正装置的主要部分的结构及涂敷动作的剖视图。如图2(A)所示，涂敷机构部5由涂敷缸体13和涂敷组件14构成。

涂敷缸体13包含有可在垂直方向(Z方向)上移动的驱动轴13a。在该驱动轴13a的侧面(图中右侧)设置有由导轨部15a和滑动部15b构成的线性导向器15。导轨部15a固定在驱动轴13a上，滑动部15b可在导轨部15a上沿垂直方向(Z方向)移动。在滑动部15b上固定有涂敷组件14。利用这种结构，涂敷缸体13的驱动轴13a使涂敷组件14在垂直方向上移动。

作为涂敷缸体13可使用电动缸体或气缸。在涂敷缸体13要求精密的控制时，最好使用具有直动导向轴承的缸体。

线性导向器15具有在滑动部15b和导轨部15a之间夹设滚动体(滚珠等)的循环式滚动导向的结构，滑动部15b能以极轻的力在导轨部15a上自由地进行直线运动。在导轨部15a的下端固定有限制器16。由于滑动部15b和涂敷组件14的自重，滑动部15b下降到导轨部15a的下端，滑动部15b通过限制器16的阻挡而不会从导轨部15a脱出。另外，若是线性导向器15具有防止滑动部15b脱出的功能，则不需要设置限制器16。在此，表示了在驱动轴13a上固定有导轨部15a的情况，但也可导轨部和滑动部互换，在驱动轴13a上固定有滑动部，在导轨部上固定涂敷组件14。

涂敷组件14包括：注入有修正液17的容器18、以及收容有驱动涂敷针19上下运动的缸体部20的壳体21。缸体部20固定在壳体21上，缸体部20的驱动轴20a上沿轴向(垂直方向)固定有涂敷针19。

在容器18的上壁及底壁上分别开设有涂敷针19可贯穿的孔18a、18b.容器18例如由氟类树脂、或不会被修正液17腐蚀的金属材料等构成.或者也可在由金属材料构成的容器18的内部用氟类树脂等形成涂层.容器18的孔18a、18b的直径比涂敷针19的外径稍大.孔18a、18b的内周面分别起到引导涂敷针19在垂直方向上进行移动的滑动导向面的作用.

涂敷针19的外径在1mm以下，通常为0.7～0.4mm左右。涂敷针前端部19a被加工成越接近前端越尖细的锥状，具有直径为30μm～70μm左右的平坦前端面。作为涂敷针19例如采用除涂敷针前端部19a以外的部分的直径相同、或靠近涂敷针前端部19a的部分的直径台阶状地减小的结构。

形成在容器18的底壁上的孔18b很微小，由于修正液17的表面张力和容器18的不沾水性、不沾油性，修正液17不会从孔18b泄漏。

如图2(A)所示，在涂敷动作开始前的待机状态，涂敷针19贯穿容器18的上壁的孔18a，涂敷针前端部19a浸渍在修正液17中。

作为修正液17在对液晶滤色镜的脱墨缺陷进行修正时，使用与脱墨缺陷部的着色层相同颜色的油墨。在对等离子显示器的肋缺损进行修正时，使用使作为肋材料的玻璃的微粒子分散在溶剂中的糊状物。在对电极的开口缺陷进行修正时，使用银糊、金糊、金属络合物溶液、胶体溶液。对修正液17预先使用稀释液进行调整以得到最佳的粘度。例如，在为油墨时粘度调整为30cP(厘泊)左右，在为糊状物时调整为1000～数万cP的粘度。修正液17的注入量只要是使涂敷针前端部19a浸入的程度即可。一次涂敷动作所消耗的修正液的量是p1(皮升)单位，故注入容器18内的修正液17是微量的(例如在1ml以下)。

下面使用图2(B)～图2(D)对图案修正时的动作进行说明。接收到涂敷动作开始的指令后，如图2(B)所示，缸体部20使驱动轴20a下降。此时，涂敷针19从容器18的底壁的孔18b伸出。在涂敷针前端部19a上附着有修正液(油墨或糊状物)17a。

图3是表示图2(B)所示的涂敷针前端部19a的形态的局部放大图。如图3所示，在涂敷针19贯穿容器18的底壁的孔18b而伸出时，孔18b引导涂敷针19在垂直方向上滑动，且对附着在涂敷针19外周侧面上的多余的修正液进行擦拭。因此，修正液17不会泄漏到容器18外。另外，在涂敷针19从孔18b伸出时，附着在涂敷针前端部19a上的修正液17a已经形成为可涂敷的状态。

图4(A)、图4(B)是表示现有技术中的图案修正装置的涂敷针前端部19a的形态的图。在对液晶滤色镜的脱墨缺陷进行修正时，作为修正液17使用与脱墨缺陷部的着色层颜色相同的油墨。在现有的图案修正装置中，使涂敷针19下降以浸入油墨罐内的修正液17中，在使修正液附着在涂敷针前端部19a上后，使涂敷针19上升而从油墨罐中拔出。在此瞬间，如图4(A)所示，附着在涂敷针前端部19a上的修正液17a因自重而形成为下方部分膨胀的形状。在该状态下，不能有效地利用加工成平面形状的涂敷针前端部19a的前端面，不能将修正液17a以期望的涂敷直径涂敷在缺陷部上。随着时间的流逝，附着在涂敷针前端部19a上的修正液17a被向上方提升。待机约数秒钟后，如图4(B)所示，涂敷针前端部19a的前端面成为残留有较薄的修正液17a层的状态，可将修正液17a以期望的涂敷直径涂敷在缺陷部上。这样，在现有的图案修正装置中，在将修正液17a涂敷在缺陷部上时需要待机约数秒钟。

但是，在本实施形态1中，如图3所示，在涂敷针19从孔18b伸出时，附着在涂敷针前端部19a上的修正液17a已经形成为可进行涂敷的状态.因此，不像现有技术那样在将修正液17a附着在涂敷针前端部19a上后需要设置待机时间，或可缩短待机时间.因此，可缩短一次涂敷动作所需的时间.

接着，如图2(C)所示，涂敷缸体13使驱动轴13a下降规定距离L1。该规定距离L1预先设定为比图2(B)状态中的从涂敷针前端部19a到缺陷部22a的距离L2稍大。因此，在涂敷组件14与驱动轴13a一起下降、涂敷针前端部19a与基板22的缺陷部22a接触后，滑动部15b在导轨部15a上上升。此时，涂敷组件14也与滑动部15b一起上升。进行涂敷动作时从涂敷针前端部19a施加到缺陷部22a上的载荷大小为滑动部15b和涂敷组件14的重量合计值。因此，不会从涂敷针前端部19a向缺陷部22a施加过大的压力，基板22也不会破损。

这样，在从涂敷针前端部19a向缺陷部22a涂敷修正液17a后，如图2(D)所示，涂敷缸体13使驱动轴13a上升到原来的位置。此时，涂敷组件14也上升到原来的位置。然后，缸体部20使驱动轴20a上升，涂敷针前端部19a返回到修正液17中(参照图2(A))，结束一次涂敷动作。在需要对缺陷部22a再次涂敷修正液17a的场合，可反复进行该涂敷动作。另外，缺陷部22a越大则所需的涂敷动作次数就越多，但仅需使涂敷针19上下移动即可在涂敷针前端部19a上重新附着修正液17a。

因此，在本实施形态1中，可省去现有技术中的使涂敷针19在缺陷部22a和油墨罐(或糊状物盒)之间往复运动的工序，故可缩短缺陷修正所需的时间。修正液17进入除孔18a、18b以外密闭的容器18内，涂敷针19处于始终留有微小间隙地插入在容器18的上壁的孔18a中的状态，故修正液17与大气直接接触的面积小。因此，可防止修正液17的稀释液(溶剂)的蒸发，可延长修正液17可使用的天数(更换周期)，从而可减少图案修正装置1的维护次数。另外，在涂敷动作的待机状态下，将涂敷针前端部19a浸入修正液17中，故可防止附着在涂敷针前端部19a上的修正液干燥，也可省去涂敷针前端部19a的洗净工序。

现有技术中，预先准备前端部分直径不同的多个涂敷针19，根据缺陷的大小对涂敷针19进行选择使用。但是，在该实施形态1中，因为一次涂敷动作所需的时间较短，故可仅使用一个前端部分直径最小的涂敷针19，调整涂敷动作的次数即可。相应地，可实现装置结构的简略化。

另外，也可在缺陷部22a涂敷适量的修正液后，使用图1所示的基板加热部6对包含缺陷部22a在内的范围进行加热，使涂敷的修正液干燥、烧结。另外，也可将对基板22整体加热的加热器内置在夹持部11内，同时使用内置在夹持部11中的加热器和基板加热部6。另外，在修正液17是紫外线固化型时，也可将基板加热部6变更为紫外线照射装置，将紫外线照射装置设置在由玻璃构成的夹持部11的下方。

图5～图7是表示各种基板的缺陷部被修正后的形态的图。图5表示对等离子显示器等的基板表面形成的电极23的开口缺陷部23a使用导电性修正液(银糊等)连续多次地进行涂敷动作以修正缺陷的形态。

图6表示对等离子显示器的背板基板上形成的肋24的缺损部24a使用含有作为肋材料的玻璃的修正液(糊状物)进行涂敷、并利用基板加热部6进行干燥以修正缺陷的形态.这样，在缺损部24a较大时，一边慢慢地挪动涂敷位置一边连续多次地进行涂敷.另外，虽未图示，但也可同样对肋和肋间的凹部的荧光体缺陷、肋上面的黑色部的颜色脱落缺陷等进行修正.

图7表示对液晶滤色镜基板上的象素25的着色层中的脱墨缺陷部25a使用与着色层颜色相同的修正液(油墨)连续多次地进行涂敷动作以修正缺陷的形态。另外，在对液晶滤色镜的黑缺陷、异物缺陷、突起缺陷、混色缺陷等除脱墨缺陷以外的缺陷进行修正的场合，利用图1所示的切除用激光部4进行激光加工，在成为脱墨缺陷后，通过涂敷机构部5进行缺陷修正。在修正液晶滤色镜的脱墨缺陷时，也可省去激光加工。

另外，虽未图示，但也可同样对由金属或树脂等构成的掩膜的缺陷进行修正。

图8(A)～(D)是表示实施形态1的变形例1的图。在图8(A)～(D)中，将图2(A)～(D)所示的缸体部20置换为气缸。

在图8(A)中，在涂敷组件14上设置有：在壳体21内沿垂直方向进行活塞运动的活塞26；嵌入形成在活塞26外周侧面上的环状槽中、用于提高壳体21内部的气密性的O形环27；固定在容器18的上壁、用于将活塞26向上方推的弹簧28。在活塞26上沿垂直方向固接有涂敷针19。在壳体21的侧面(图中右侧)开设有空气排出孔21a。在壳体21的上壁设置有用于从外部向壳体21内注入高压空气的管29。在涂敷动作开始前的待机状态下，通过弹簧28将活塞26推到上方。

下面使用图8(B)～(D)对图案修正时的动作进行说明。接收到涂敷动作开始的指令后，通过管29从外部向壳体21内供给高压空气。于是，如图8(B)所示，空气从空气排出孔21a向外部排出，同时活塞26在壳体21内下降。此时，涂敷针19从容器18的底壁的孔18b伸出。在涂敷针前端部19a上附着有修正液17a。

接着，如图8(C)所示，涂敷缸体13使驱动轴13a下降规定距离。在涂敷组件14与驱动轴13a一起下降、涂敷针前端部19a与基板22的缺陷部22a接触后，滑动部15b在导轨部15a上上升。此时，涂敷组件14也与滑动部15b一起上升。这样，在从涂敷针前端部19a向缺陷部22a涂敷修正液17a后，如图8(D)所示，涂敷缸体13使驱动轴13a上升到原来的位置。此时，涂敷组件14也上升到原来的位置。然后，使空气通过管29从壳体21内向外部流出，利用弹簧28将活塞26推到上方(参照图8(A))。由此，涂敷针前端部19a返回到修正液17中，结束一次涂敷动作。

图9(A)～(D)是表示实施形态1的变形例2的图。在图9(A)～(D)中，取代图2(A)～(D)所示的缸体部20，而使用电磁体32及永磁体31。另外，不设置线性导向器15，而将涂敷组件14直接固定在涂敷缸体13的驱动轴13a的侧面(图中右侧)。

在图9(A)中，在涂敷组件14上设置有：固定在壳体21内的上部的电磁体32；沿垂直方向压入固定(或粘接固定)涂敷针19的限制器30；粘接固定在限制器30上的永磁体31。在涂敷动作开始前的待机状态下，向电磁体32的线圈中通入电流，使永磁体31吸附在电磁体32上。另外，永磁体31一旦吸附在电磁体32上后，也可停止对电磁体32的线圈中的电流供给。

下面使用图9(B)～(D)对图案修正时的动作进行说明.接收到涂敷动作开始的指令后，通过使电磁体32的线圈中的电流方向反向，从而电磁体32和永磁体31互相排斥.于是，如图9(B)所示，永磁体31、限制器30及涂敷针19一体地在壳体21内沿垂直方向下降，限制器30由容器18的上壁挡住.此时，涂敷针19从容器18的底壁的孔18b伸出.在涂敷针前端部19a上附着有修正液17a.

接着，如图9(C)所示，涂敷缸体13使驱动轴13a下降规定距离。在涂敷组件14与驱动轴13a一起下降、涂敷针前端部19a与基板22的缺陷部22a接触后，永磁体31、限制器30及涂敷针19由基板22向上推。此时，孔18a、18b的内周面分别起到引导涂敷针19沿垂直方向移动的滑动导向面的作用。进行涂敷动作时从涂敷针前端部19a施加到缺陷部22a上的载荷大小为永磁体31、限制器30及涂敷针19的重量合计值。这样，在从涂敷针前端部19a向缺陷部22a涂敷修正液17a后，如图9(D)所示，使电磁体32的线圈中的电流方向再次反向，使永磁体31吸附在电磁体32上。由此，涂敷针前端部19a返回到修正液17中。然后，涂敷缸体13使驱动轴13a上升到原来的位置(参照图9(A))，结束一次涂敷动作。

图10(A)、(B)是表示实施形态1的变形例3的图。在图10(A)、(B)中，取代图9(A)～(D)所示的电磁体32及永磁体31，而使用电磁螺线管33。

在图10(A)中，电磁螺线管33由固定在壳体21内的上部的螺线管线圈33b、以及沿轴向(垂直方向)固接涂敷针19的可动铁芯33a构成。在涂敷动作开始前的待机状态下，向电磁螺线管33的螺线管线圈33b中通入电流，将可动铁芯33a吸附到上方。

接收到涂敷动作开始的指令后，停止对螺线管线圈33b的电流供给。于是，如图10(B)所示，可动铁芯33a和涂敷针19一体地在壳体21内沿垂直方向下降，可动铁芯33a由容器18的上壁挡住。此时，涂敷针19从容器18的底壁的孔18b伸出。在涂敷针前端部19a上附着有修正液17a。

接着，与图9(C)所示的情况相同，涂敷缸体13使驱动轴13a下降规定距离。在从涂敷针前端部19a向缺陷部22a涂敷修正液17a后，再次向电磁螺线管33的螺线管线圈33b通入电流，使可动铁芯33a吸附在螺线管线圈33b内。于是，与图9(D)所示的情况相同，涂敷针前端部19a返回到修正液17中。然后，涂敷缸体13使驱动轴13a上升到原来的位置，结束一次涂敷动作。

实施形态2：

在实施形态1所示的涂敷机构部5的结构中，相对缺陷部22a的涂敷针19的位置控制精度由容器18的孔18a、18b与涂敷针19的间隙大小决定。因此，在要求高精度的涂敷针19的位置控制时，如后所述，最好采用在刚性较高的线性导向器15上固定涂敷针19的结构。

图11(A)～(C)是表示本发明实施形态2的图案修正装置的主要部分的结构及涂敷动作的剖视图。如图11(A)所示，在涂敷缸体13的驱动轴13a的侧面(图中右侧)固定有导轨部15a，在滑动部15b上固定有涂敷针固定板34。在涂敷针固定板34上沿轴向(垂直方向)固接有涂敷针19。涂敷针固定板34使用未图示的螺钉等固定在滑动部15b上。在导轨部15a的下端固定有限制器16。由于滑动部15b、涂敷针固定板34及涂敷针19的自重，滑动部15b下降到导轨部15a的下端，滑动部15b通过限制器16的阻挡而不会从导轨部15a脱出。另外，若是线性导向器15具有防止滑动部15b脱出的功能，则不需要设置限制器16。

容器固定板35固定在涂敷缸体13本体上.注入有修正液17的容器18嵌合固定在容器固定板35的凹部中.在容器18的上壁及底壁上分别开设有涂敷针19可贯穿的孔18a、18b.另外，在容器固定板35上开设有比容器18的孔18b大的孔35a.容器固定板35的孔35a位于容器18的孔18b的正下方，不会妨碍涂敷针19在垂直方向上的移动.

另外，在此，将容器固定板35固定在涂敷缸体13本体上，但只要使涂敷缸体13本体和容器18的相对位置始终不变，可以将容器固定板35固定在装置的任意位置。

如图11(A)所示，在涂敷动作开始前的待机状态下，涂敷针19贯穿容器18的上壁的孔18a，涂敷针前端部19a浸渍在修正液17中。

接收到涂敷动作开始的指令后，如图11(B)所示，涂敷缸体13使驱动轴13a下降。此时，线性导向器15、涂敷针固定板34及涂敷针19与驱动轴13a一起下降，涂敷针19从容器18的底壁的孔18b及容器固定板35的孔35a伸出。在涂敷针前端部19a上附着有修正液17a。

在涂敷缸体13使驱动轴13a下降规定距离L3后，如图11(C)所示，涂敷针前端部19a与基板22的缺陷部22a接触后，滑动部15b在导轨部15a上上升。此时，涂敷针固定板34和涂敷针19也与滑动部15b一起上升。进行涂敷动作时从涂敷针前端部19a施加到缺陷部22a上的载荷大小为滑动部15b、涂敷针固定板34及涂敷针19的重量合计值。因此，不会从涂敷针前端部19a向缺陷部22a施加过大的压力，基板22也不会破损。

另外，驱动轴13a通过涂敷缸体13下降的规定距离L3例如预先设定为：在涂敷针前端部19a与基板22的缺陷部22a接触后，驱动轴13a再下降0.5～1mm的程度。

这样，在从涂敷针前端部19a向缺陷部22a涂敷修正液17a后，涂敷缸体13使驱动轴13a上升到原来的位置。此时，滑动部15b、涂敷针固定板34及涂敷针19也上升到原来的位置(参照图11(A))。由此，涂敷针前端部19a返回到修正液17中，结束一次涂敷动作。

图12(A)～(D)是表示实施形态2的变形例1的图。图12(A)是表示涂敷机构部5的结构的俯视图。图12(B)～(D)是表示涂敷机构部5的结构及涂敷动作的侧视图。采用图12(A)～(D)所示的结构，也可进行高精度的涂敷针19的位置控制。

如图12(A)、(B)所示，在涂敷缸体(未图示)13的驱动轴13a的侧面固定有安装台39，在安装台39的侧面设置有：由导轨部15a和滑动部15b构成的线性导向器15、以及由导轨部36a和滑动部36b构成的线性导向器36。滑动部15b固定在安装台39上，导轨部15a由滑动部15b引导而可沿垂直方向(Z方向)移动。在导轨部15a上固定有定位台37。滑动部36b固定在安装台39上，导轨部36a由滑动部36b引导而可沿垂直方向(Z方向)移动。在导轨部36a上固定有定位台41。

在定位台37的导向部37a上通过固定螺钉38固定有涂敷针固定板34。在涂敷针固定板34上沿轴向(垂直方向)固接有涂敷针19。定位台37的导向部37a使得在更换涂敷针19时涂敷针固定板34的定位容易。在涂敷动作开始前的待机状态下，由于导轨部15a、定位台37、涂敷针固定板34、涂敷针19及固定螺钉38的自重，导轨部15a下降到滑动部15b的下端，导轨部15a通过限制器(未图示)的阻挡而不会从滑动部15b脱出。

在定位台41的导向部41a上通过固定螺钉42固定有容器台40.在容器台40上加工形成有注入修正液17的修正液收纳孔40a.在修正液收纳孔40a的底壁开设有涂敷针19可贯穿的孔40b.在修正液收纳孔40a的上部覆盖有用于抑制修正液17中的溶剂挥发、防止异物进入的盖体43.在盖体43的中央部开设有涂敷针19可贯穿的孔43a.定位台41的导向部41a使得在更换修正液17时容器台40的定位容易.在涂敷动作开始前的待机状态下，由于定位台41、容器台40、修正液17、盖体43及固定螺钉38的自重，导轨部36a下降到滑动部36b的下端，导轨部36a通过限制器(未图示)的阻挡而不会从滑动部36b脱出.在容器台40的底面设置有突起部40c.该突起部40c例如由不会损伤基板22的接触面的树脂构件构成.

如图12(B)所示，在涂敷动作开始前的待机状态下，涂敷针19贯穿盖体43的孔43a，涂敷针前端部19a浸渍在修正液17中。

另外，在此，对容器台40进行加工而设置修正液收纳孔40a，但也可采用将图11(A)～(C)所示的容器18固定在具有可嵌合地形成的凹部的容器台上的结构。

接收到涂敷动作开始的指令后，如图12(C)所示，涂敷缸体(未图示)13使驱动轴13a下降。于是，涂敷针固定板34和容器台40与驱动轴13a一起下降，在容器台40底面的突起部40c与基板22接触后，导轨部36a由滑动部36b引导而上升。此时，容器台40也与导轨部36a一起上升。由此，涂敷针19从容器台40的孔40b伸出。在涂敷针前端部19a上附着有修正液17a。

涂敷缸体(未图示)13使驱动轴13a进一步下降，如图12(D)所示，在涂敷针前端部19a与基板22的缺陷部22a接触后，导轨部15a由滑动部15b引导而上升。此时，涂敷针固定板34也与导轨部15a一起上升。进行涂敷动作时从涂敷针前端部19a施加到缺陷部22a上的载荷大小为导轨部15a、定位台37、涂敷针固定板34、涂敷针19及固定螺钉38的重量合计值。因此，不会从涂敷针前端部19a向缺陷部22a施加过大的压力，基板22也不会破损。

这样，在从涂敷针前端部19a向缺陷部22a涂敷修正液17a后，涂敷缸体(未图示)13使驱动轴13a上升到原来的位置。此时，涂敷针固定板34及容器台40也上升到原来的位置(参照图12(B))。由此，涂敷针前端部19a返回到修正液17中，结束一次涂敷动作。

另外，在此，表示了将滑动部15b、36b固定在安装台39上的情况，但也可将导轨部和滑动部互换，将导轨部固定在安装台39上，而将定位台37、41固定在滑动部上。

图13(A)、(B)是表示实施形态2的变形例2的图。在图13(A)、(B)中，涂敷缸体13和涂敷组件44是相分离的结构。

在图13(A)中，在涂敷组件44的有底筒状壳体47的内周侧面上固定有线性导向器46的滑动部46b。在推杆45的两侧面上分别固定有线性导向器46、15的导轨部46a、15a。在滑动部15b上固定有涂敷针固定板34。在涂敷针固定板34上沿轴向(垂直方向)固接有涂敷针19。在导轨部46a、15a的下端分别固定有限制器16a、16b。由于滑动部15b、涂敷针固定板34及涂敷针19的自重，滑动部15b下降到导轨部15a的下端，滑动部15b通过限制器16b的阻挡而不会从导轨部15a脱出。另外，若是线性导向器46、15分别具有防止滑动部46b、15b脱出的功能，则不需要设置限制器16a、16b。在涂敷动作开始前的待机状态下，利用固定在壳体47底壁上的弹簧48将推杆45推到上方。该推杆45因设在导轨部46a上的限制器16a而不会被推到规定位置的上方。

注入有修正液17的容器18嵌合固定在壳体47底壁的凹部中。在容器18的上壁及底壁上分别开设有涂敷针19可贯穿的孔18a、18b。另外，在壳体47的底壁上开设有比容器18的孔18b大的孔47a。

涂敷组件44嵌合固定在组件支撑板49上形成的凹部49b中。组件支撑板49固定在图1所示的Z载物台12上。另外，在组件支撑板49上开设有比容器18的孔18b大的孔49a。壳体47的孔47a和组件支撑板49的孔49a都位于容器18的孔18b的正下方，不会妨碍涂敷针19在垂直方向上的移动。

如图13(A)所示，在涂敷动作开始前的待机状态下，涂敷针19贯穿容器18的上壁的孔18a，涂敷针前端部19a浸渍在修正液17中。另外，涂敷缸体13的驱动轴13a与推杆45保持一定间隙地相对。涂敷缸体13固定在图1所示的Z载物台12上。

接收到涂敷动作开始的指令后，如图13(B)所示，涂敷缸体13使驱动轴13a下降。于是，由驱动轴13a将推杆45向下方推压，涂敷针19从容器18的底壁的孔18b伸出。然后，通过使Z载物台12下降，从而涂敷缸体13和涂敷组件44作为一体地下降，在涂敷针前端部19a与基板22的缺陷部22a接触后，滑动部15b在导轨部15a上上升。此时，涂敷针固定板34及涂敷针19也与滑动部15b一起上升。进行涂敷动作时从涂敷针前端部19a施加到缺陷部22a上的载荷大小为滑动部15b、涂敷针固定板34及涂敷针19的重量合计值。因此，不会从涂敷针前端部19a向缺陷部22a施加过大的压力，基板22也不会破损。

这样，在从涂敷针前端部19a向缺陷部22a涂敷修正液17a后，使Z载物台12上升到原来的位置，且涂敷缸体13使驱动轴13a上升到原来的位置。此时，利用弹簧48的回复力将推杆45推到上方，故滑动部15b、涂敷针固定板34及涂敷针19也上升到原来的位置(参照图13(A))。由此，涂敷针前端部19a返回到修正液17中，结束一次涂敷动作。

这样，在涂敷缸体13和涂敷组件44分开的结构中，在涂敷组件44内没有必要具有独自的涂敷缸体13，故涂敷组件44的长度不需太长。另外，在图案修正装置具有多个涂敷组件44、并具有控制多个涂敷组件44中被选定的涂敷组件44和涂敷缸体13的相对位置的机构时，可考虑共用涂敷缸体13。

图14(A)、(B)是表示实施形态2的变形例3的图。在图14(A)、(B)中，在涂敷组件44内内置有涂敷缸体13。在涂敷缸体13的驱动轴13a下端设置有与推杆45结合的结合部50。此时，不需要设置图13(A)、(B)所示的弹簧48。另外，作为涂敷缸体13可使用气缸或电动缸体等。此时的动作与图13(A)、(B)相同，省去其说明。

实施形态3：

图15是表示本发明实施形态3的图案修正装置的主要部分的结构的剖视图。在图15中，对图11(A)～(C)所示的容器18的结构进行详细说明。

在注入有修正液17的容器18的上壁及底壁的中心部上分别设置有涂敷针19可贯穿的孔18a、18b。孔18a、18b位于同轴上。容器18的底壁的上表面18c具有越靠近孔18b壁厚越薄的锥形。因此，即使剩下的修正液17减少，涂敷针前端部19a也可浸渍在修正液17中，可有效地使用修正液17。

在容器18的底壁的下表面形成有环状的槽部18e，在槽部18e中嵌入有环状的磁体31。容器18嵌合在由铁类磁性体构成的容器固定板35的凹部35b中。在此，通过嵌入在容器18内的磁体31和容器固定板35之间产生的吸引力，容器18固定在容器固定板35上。采用这种结构的话，则不需使用工具即可进行容器18的更换和定位。

在容器固定板35上开设有比容器18的孔18b大的孔35a。容器固定板35的孔35a位于容器18的孔18b的正下方，不会妨碍涂敷针19在垂直方向上的移动。

在容器固定板35的侧面(图中右侧)固定有螺线管52。在螺线管52上通过臂部51b连接有闸门51，螺线管52驱动闸门51在水平方向上旋转。闸门51具有截面为凹型的形状。闸门51的凹部51a位于容器固定板35的孔35a的下方，在修正液17从容器18的孔18b泄漏时挡住修正液17。螺线管52在进行涂敷动作时打开闸门51，在涂敷动作的待机状态下关闭闸门51。因此，在涂敷动作的待机状态下，修正液17不会滴到基板22上。

图16是表示实施形态3的变形例1的图。在图16中，在容器18的底壁的上表面18d上形成凹部，在该凹部的底部上形成孔18b。此时，同样，即使剩下的修正液17减少，涂敷针前端部19a也可浸渍在修正液17中，可有效地使用修正液17。

在闸门51上设置有用于吸收从容器18的孔18b泄漏的修正液17的吸收片53。此时，与在闸门51上设置凹部51a的情况相同，在涂敷动作的待机状态下，修正液17不会滴到基板22上。作为吸收片53使用吸收性好、本身产生灰尘少的材料，例如使用PVA(聚乙烯醇)类多孔质片材。

图17是表示实施形态3的变形例2的图。在图17中，形成在容器18底壁下表面的锥部18f具有越靠近孔18b壁厚越薄的锥形。在锥部18f的外周部分设置有加工成环状的吸收片54。吸收片54例如通过两面胶带等固定在容器18上。

在反复进行多次涂敷动作时，考虑到由于涂敷针19在容器18的孔18b中滑动，因而附着在涂敷针前端部19a上的修正液17会泄漏到容器18外部的情况。此时，泄漏的修正液17沿着锥形的下表面18f由吸收片54吸收。此时也可省去图16所示的闸门51。

图18是表示实施形态3的变形例3的图。在图18中，为了降低设在容器18的上壁上的孔18a和涂敷针19之间的摩擦，而对涂敷针19的外周侧面19b用滑动性好的滑动构件(氟树脂等)进行涂层加工。孔18a由滑动性好的滑动轴承(树脂等)55形成。另外，为了加长涂敷针19和滑动轴承55的滑动距离，而可在垂直方向上加长滑动轴承55(参照虚线部分)。另外，也可对孔18a的内周面用滑动性好的滑动构件(氟树脂等)进行涂层加工。

这样，通过对涂敷针19的外周侧面19b进行涂层，从而涂敷针19和孔18a、18b的滑动性变好，可减少孔18a、18b的磨损。另外，虽未图示，但容器18的底壁的孔18b也可由同样的滑动轴承形成。

图19是表示实施形态3的变形例4的图。在图19中，在容器18的上壁上开设有用于补充修正液17的补充孔18g。此时，可将收容有补充用修正液17的注射器等插入到补充孔18g中，向容器18内补充修正液17。补充后，利用粘接片56封闭补充孔18g，从而密闭容器18。另外，也可将补充孔18g设置在容器18的侧壁上。

实施形态4：

图20是表示本发明实施形态4的图案修正装置的主要部分的结构的剖视图，表示应用了图8(A)所示的涂敷机构部5的例子。在对液晶滤色镜的脱墨缺陷进行修正时，需要准备与基板上的象素的着色层的颜色即R(红)、G(绿)、B(蓝)及黑色矩阵BM(黑)对应的各种颜色的涂敷组件14。另外，根据情况也需要准备表面保护用外涂层OC(外涂油墨)的涂敷组件14。

在图20中，表示对应4种颜色地设置有图8(A)所示的涂敷组件14的结构.固定台57固定在线性导向器15的滑动部15b上.在固定台57上固定有4个涂敷组件14.另外，在固定台57上开设有与各涂敷组件14对应的孔57a.设在固定台57上的孔57a不会妨碍涂敷针在垂直方向上的移动.

此时，未图示的选择构件在4个涂敷组件14中选择注入有缺陷修正要使用的颜色的修正液的涂敷组件14。并且，使所选择的涂敷组件14内的活塞下降，进行图8(B)～(D)所示的涂敷动作。另外，预先设定各涂敷组件14和图1所示的观察光学系统2的偏置位置。因此，例如可在使用观察光学系统2及切除用激光部4对基板的缺陷部进行激光加工后，根据设定的偏置量，通过XY载物台10使基板的缺陷部移动到期望的涂敷组件的正下方，进行涂敷动作。

采用这种构成，则不需像现有图案修正装置那样设置使油墨罐载物台旋转的机构。另外，也不像现有技术那样在每次变更所使用的修正液颜色时需要对涂敷针进行洗净。因此，装置的结构简略化。另外，虽未图示，但设置多个图2(A)、图9(A)、图10(A)所示的涂敷组件14的情况也同样。

图21是表示实施形态4的变形例1的图。在图21中，表示从上方观察涂敷组件14的形态。在长方体形驱动轴13a的4个侧面上设有4个涂敷组件14。各涂敷组件14通过由导轨部15a和滑动部15b构成的线性导向器15固定在驱动轴13a上。这样，在将多个涂敷组件14沿圆周方向排列在驱动轴13a的周围时，可实现装置的小型化。另外，虽未图示，但设置多个图2(A)、图9(A)、图10(A)所示的涂敷组件14的情况也同样。

图22(A)、(B)是表示实施形态4的变形例2的图，表示应用了图11(A)所示的涂敷机构部5的例子。图22(A)是涂敷机构部5的主视图，图22(B)是涂敷机构部5的X-X剖视图。

如图22(A)、(B)所示，容器固定板35固定在涂敷缸体13本体上。分别注入有颜色不同的修正液17的4个容器18嵌合固定在容器固定板35的凹部中。在各容器18的上壁及底壁上分别开设有涂敷针19可贯穿的孔18a、18b。另外，在容器固定板35上开设有比容器18的孔18b大的孔35a。容器固定板35的孔35a位于容器18的孔18b的正下方，不会妨碍涂敷针19在垂直方向上的移动。

在涂敷缸体13的驱动轴13a上固定有内部具有空间的中空板58的侧面58a。另外，在中空板58的另一个侧面58b上与4个容器18对应地设置有4个线性导向器15。各线性导向器15的导轨部15a固定在中空板58的侧面58b上。在滑动部15b上固定有涂敷针固定板34。在涂敷针固定板34上沿轴向(垂直方向)固接有涂敷针19。在导轨部15a的下端固定有限制器16。

另外，在涂敷针固定板34的侧面上沿水平方向固接有销59。在中空板58上与4个涂敷针固定板34对应地设置有4个缸体60。在各缸体60的驱动轴60a上沿水平方向固定有控制杆61。控制杆61从设在中空板58的侧面58b上的长孔58c伸出，其前端位于销59的正下方。缸体60具有将销59卡在控制杆61上、使涂敷针固定板34及滑动部15b向上方提升的作用。

在此，如图22(A)所示，对使用注入到左侧第一个容器18内的修正液17对基板22的缺陷部22a进行修正的情况进行说明.与左侧第一个容器18对应的缸体60使对应的控制杆61位于最下端.其他的缸体60使对应的控制杆61上升而将销59向上方推，从而对应的涂敷针19不会浸在修正液17中.这样，通过使用4个缸体60，从4个涂敷针19中仅选择一个使用.

参照图22(B)所示，由于滑动部15b、涂敷针固定板34及涂敷针19的自重，滑动部15b下降到导轨部15a的下端，滑动部15b通过限制器16的阻挡而不会从导轨部15a脱出。另外，若是线性导向器15具有防止滑动部15b脱出的功能，则不需要设置限制器16。在涂敷动作开始前的待机状态下，涂敷针19贯穿容器18的上壁的孔18a，涂敷针前端部19a浸渍在修正液17中。

关于涂敷动作，与使用图11(A)～(C)进行说明的情况相同，故省去其说明。另外，预先设定各涂敷针19和图1所示的观察光学系统2的偏置位置。

图23是表示实施形态4的变形例3的图，表示对应4种颜色地设置有图13(A)所示的涂敷组件44的例子。

组件支撑板49固定在可沿左右方向移动的载物台62上，该载物台62例如固定在Z载物台12上。各涂敷组件44嵌合固定在组件支撑板49上形成的凹部49b中。另外，在组件支撑板49上开设有比容器18的孔18b大的孔49a。孔49a位于容器18的孔18b的正下方，不会妨碍涂敷针19在垂直方向上的移动。

载物台62使组件支撑板49移动，以使4个涂敷组件44中要使用的涂敷组件44的推杆45位于涂敷缸体13的驱动轴13a的正下方。涂敷缸体13的驱动轴13a与推杆45留有一定间隙地相对。

关于涂敷动作，与使用图13(A)、(B)进行说明的情况相同，故省去其说明。另外，预先设定各涂敷针19和图1所示的观察光学系统2的偏置位置。

这样，在涂敷缸体13和涂敷组件44分开的结构中，在涂敷组件44内没有必要具有独自的涂敷缸体13，故可考虑共用涂敷缸体13。另外，因为在涂敷组件44和涂敷缸体13的驱动轴13a之间具有一定的间隔，故也可取下涂敷组件44进行更换。

另外，也可将组件支撑板49固定在Z载物台12上，将涂敷缸体13固定在载物台62上。此时，涂敷缸体13通过载物台62在左右方向上移动。另外，也可不使用载物台62，而将涂敷缸体13内置在各涂敷组件44内。

图24是表示实施形态4的变形例4的图，表示对应4种颜色地设置有图14(A)所示的涂敷组件44的例子。组件支撑板49固定在图1所示的Z载物台12上。各涂敷组件44嵌合固定在组件支撑板49上形成的凹部49b中。

图25是图24所示的涂敷机构部5的主要部分的局部放大图。在组件支撑板49上开设有比容器18的孔18b大的孔49a。孔49a位于容器18的孔18b的正下方，不会妨碍涂敷针19在垂直方向上的移动。

在壳体47的底壁的下表面形成有环状的槽部47b，在槽部47b中嵌入有环状的磁体63。壳体47嵌合在由铁类磁性体构成的组件支撑板49的凹部49b中。在此，通过嵌入在壳体47内的磁体63和壳体47之间产生的吸引力，壳体47固定在组件支撑板49上。另外，在壳体47的底壁的下表面的从下表面中心部偏离的位置突出地形成的突起部47c。在组件支撑板49上开设有可嵌合突起部47c的孔49c。采用这种结构的话，则不需使用工具即可简单地进行涂敷组件44的更换和定位。另外，涂敷组件44和组件支撑板49的相对位置可始终固定。

另外，在壳体47的底壁的下表面也可取代突起部47c而设置穴，而通过组件支撑板49的孔49c将针脚压入固接在该穴中.另外也可在壳体47的侧面和组件支撑板49的凹部49b上设置嵌合部，使涂敷组件44和组件支撑板49的相对位置对准.

图26(A)、(B)是表示实施形态4的变形例5的图，表示对应4种颜色地设置有图14(A)所示的涂敷组件44的例子。图26(A)是涂敷组件44的俯视图，图26(B)是涂敷组件44的侧视图。

各涂敷组件44中，在圆筒形壳体47的外周面上固定有凸缘64。在圆形组件支撑板49上形成有各涂敷组件44可贯穿、且凸缘64可嵌合的台阶孔49。采用这样的结构，可在组件支撑板49上沿圆周方向排列4个涂敷组件44。另外，与用图25说明的情况相同，可以在凸缘64的下表面设置环状的磁体。另外，也可在凸缘64的下表面设置突起部，在组件支撑板49上形成可插入突起部的孔。

此时，若使组件支撑板49沿圆周方向旋转，想从4个涂敷组件44中选择一个涂敷组件44使用的话，则仅需预先设定所使用的涂敷组件44和图1所示的观察光学系统2的偏置位置即可。即，没有必要设定其他3个涂敷组件44和观察光学系统2的偏置位置。

实施形态5：

图27(A)～(D)简略地表示本发明实施形态5的图案修正装置的涂敷组件65的结构，说明缺陷修正的主要工序。如图27(A)所示，涂敷组件65包括：注入有修正液17的容器部76；使修正液17附着在涂敷针19的前端部19a上以对基板22的缺陷部22a进行涂敷的涂敷部77；沿垂直方向驱动涂敷部77的驱动部78。

容器部76由截面呈凹状的容器79和封闭其开口的上面的盖体80构成，并固定在支撑台67上。容器79底部的中心部及盖体80的中心部上分别开设有涂敷针19可贯穿的孔79a、80a，孔79a、80a位于同轴上。另外，盖体80固接在容器79上，但也可将盖体80压入在容器79上，或在盖体80和容器79的接合面上分别设置凹凸部进行嵌合。为了使得盖体80的定位容易，故也可在盖体80上形成未图示的嵌合用凸缘面，另外也可在容器79的内周侧面的上部形成内螺纹，在盖体80的外径面上形成外螺纹，互相通过螺纹结合。另外，也可在其接合面上设置未图示的密封构件，从而可提高容器79和盖体80的间隙的密闭性。

容器79和盖体80例如由氟类树脂、聚丙烯树脂、聚醛树脂等树脂类材料、或者不会被修正液17腐蚀的金属材料等构成。或者也可在金属材料的表面用氟类树脂等形成涂层。容器79和盖体80的孔79a、80a的直径比涂敷针19的外径稍大。孔79a、80a和涂敷针19具有一定的间隙。形成在容器79底部的孔79a很微小，由于修正液17的表面张力和容器79的不沾水性、不沾油性，修正液17不会从孔79a泄漏。

涂敷部77包括：涂敷针19；固定涂敷针19的基端部的涂敷针固定板85；用于保持涂敷针固定板85使其可在垂直方向上移动的线性导向器83。线性导向器83由导轨部83a和滑动部83b构成。线性导向器83的导轨部83a固定在支撑台67的侧面上，滑动部83b设置成可沿导轨部83a在垂直方向(Z方向)上移动。线性导向器83具有在滑动部83b和导轨部83a之间夹设滚动体(滚珠等)的循环式滚动导向结构，滑动部83b能以极轻的力在导轨部83a上自由地进行直线运动。另外，通过使用线性导向器83，可加强涂敷针19的支撑刚性，实现涂敷精度的稳定化。

驱动部78具有将固定在滑动部83b上的涂敷针固定板85保持在线性导向器83的中间位置的功能、以及使滑动部83b的保持解除的功能.在解除对滑动部83b的保持时，滑动部83b可在导轨部83a上自由地进退，由于滑动部83b、涂敷针固定板85及涂敷针19的自重，下降到位于其下方的限制器68的位置.另外，在导轨部83a的上方也设置有限制器68，滑动部83b不会从导轨部83a上脱出.另外，在使用内置有限制器68的功能的线性导向器83的场合，也可省去限制器68.在此，表示在支撑台67的侧面固定导轨部83a的情况，但也可将导轨部83a和滑动部83b互换，在支撑台67的侧面固定滑动部83b，在导轨部83a上固定涂敷针固定台85.

下面对修正基板22的缺陷部22a的动作进行说明。返回图1，利用XY载物台10使基板22的缺陷部22a移动到观察光学系统2的正下方，在监视器3上显示该缺陷部22a的图像。此时，对缺陷部22a进行微调使其位于监视器3的图面中央。并且，利用图像处理部7确定缺陷部22a的大小。在基板22为液晶滤色镜基板时还进行缺陷部22a的象素的颜色判别。在对液晶滤色镜基板的黑缺陷、异物缺陷、突起缺陷、混色缺陷等除脱墨缺陷以外的缺陷进行修正的场合，利用图1所示的切除用激光部4进行激光加工，在成为脱墨缺陷后，通过涂敷组件65进行缺陷修正。在修正脱墨缺陷时，可省去激光加工，也可根据情况使用切除用激光部4进行激光加工，从而使缺陷部的形状成为易于修正的任意形状。然后，根据预先设定的观察光学系统2和涂敷组件65的偏置位置，使XY载物台10移动，使缺陷部22a位于涂敷组件65的涂敷针19的正下方。

如图27(A)所示，在涂敷动作开始前的待机状态下，为了保持涂敷针19贯穿盖体80的孔80a、涂敷针前端部19a浸渍在修正液17中的状态，而将固定在滑动部83b上的涂敷针固定板85利用驱动部78保持在线性导向器83的规定位置。

在从主计算机8接收到涂敷动作开始的指令后，解除驱动部78对涂敷针固定板85的保持，如图27(B)所示，涂敷针固定板85、涂敷针19、滑动部83b一体地沿垂直方向下降到限制器68的位置。此时，涂敷针19从容器79的底部的孔79a伸出。此时，在涂敷针前端部19a上附着有修正液(油墨或金属糊状物)17a。

接着，如图27(C)所示，使涂敷组件65下降规定距离L1。该规定距离L1预先设定为比图27(B)状态中的从涂敷针前端部19a到缺陷部22a的距离L2稍大。规定距离L1例如预先设定为：在涂敷针前端部19a与缺陷部22a接触后，涂敷组件65再下降0.5～1mm的程度。因此，在涂敷组件65下降、涂敷针前端部19a与基板22的缺陷部22a接触后，滑动部83b在导轨部83a上上升。此时，涂敷针固定板85也与滑动部83b一起上升。进行涂敷动作时从涂敷针前端部19a施加到缺陷部22a上的载荷大小为滑动部83b、涂敷针固定板85、涂敷针19的重量合计值。因此，不会从涂敷针前端部19a向缺陷部22a施加过大的压力，基板22也不会破损。涂敷载荷例如在约10g左右，非常小。

作为使涂敷组件65下降的方式，可以使用固定涂敷组件65的Z载物台12，也可使用具有沿垂直方向进行驱动的功能的另一驱动载物台(未图示)使涂敷组件65上下运动。

在涂敷针前端部19a向缺陷部22a涂敷修正液17a后，如图27(D)所示，使涂敷组件65上升到原来的位置，同时对驱动部78进行驱动，使涂敷针前端部19a保持在返回修正液17中的状态后，结束一次涂敷动作。

另外，在需要对缺陷部22a再次涂敷修正液17a的场合，可反复进行该涂敷动作。另外，缺陷部22a越大则所需的涂敷动作次数就越多，但仅需使涂敷针19上下移动即可在涂敷针前端部19a上重新附着修正液17a。

图28(A)～(D)是表示图27(A)～(D)所示的涂敷组件65的具体结构的图。在图28(A)～(D)中，作为驱动部78使用气缸69。在容器79的侧部设置突起部79g，在该突起部79g的背面具有凹部79h，在该凹部79h中埋入有磁体79i。突起部79g与由磁性材料构成的支撑台67的侧面上设置的凹部67a嵌合，利用磁体79i的磁引力固定在支撑台67上。

气缸69固定在支撑台67上，其输出轴69a沿上下方向伸缩。在输出轴69a上水平地固定有销70，销70与输出轴69a一体地沿上下方向移动。销70的一端从下方接合在固定涂敷针19的涂敷针固定板85上加工的缺口部85a中，具有将固定涂敷针19的涂敷针固定板85保持在线性导向器83的中间位置的功能、以及解除保持的功能。

在图28(A)中，气缸69的输出轴69a位于伸出位置，销70的一端从下方接合在固定涂敷针19的涂敷针固定板85上加工的缺口部85a中并向上推，将固定涂敷针19的涂敷针固定板85保持在线性导向器83的中间位置。在该状态下，涂敷针前端部19a处于浸渍在修正液17中的状态。

在图28(B)中，气缸69的输出轴69a处于向下拉的状态，相应地，涂敷针固定板85、涂敷针19及滑动部83b一体地下降，涂敷针19从容器79的底部的孔79a伸出。成为在涂敷针前端部19a上附着有修正液(油墨或金属糊状物)17a的状态。在该例子中，滑动部83b下降到即将与限制器68接触的位置，涂敷针固定板85的下降位置由销79的位置进行限制。

接着，如图28(C)所示，使驱动载物台71的驱动轴71a下降，使涂敷组件65下降规定距离，使涂敷针前端部19a与缺陷部22a接触而涂敷修正液17。此时，因为设定为在涂敷针前端部19a与基板22的缺陷部22a接触后，涂敷组件65再下降0.5mm～1mm左右，故然后涂敷针19保持接触的状态沿导轨部83a向上方移动。其次，如图28(D)所示，使驱动载物台71的驱动轴71a上升，使涂敷组件65上升，同时使气缸69的输出轴69a伸出，使涂敷针19上升，涂敷组件65返回原来的状态，结束一次涂敷动作。

另外，在由于随着这种修正的进行而修正液17减少、或由于修正液17的劣化而需要更换容器19的场合，使涂敷针19向上方退避后，逐个地更换容器部19。

实施形态6：

图29(A)～(D)是表示实施形态6的图案修正装置的涂敷组件72的结构及涂敷动作的剖视图。如图29(A)所示，涂敷组件72包括：注入有修正液17的容器部76；使修正液17附着在涂敷针前端部19a上以对缺陷部进行涂敷的涂敷部77；沿垂直方向驱动涂敷部77的驱动部78；壳体82。

容器部76由截面呈凹状的容器79和封闭其开口的上面的盖体80构成。容器79底部的中心部及盖体80的中心部上分别开设有涂敷针19可贯穿的孔79a、80a，孔79a、80a位于同轴上。另外，在容器79和盖体80接合的部分上夹设有橡胶等密封构件81，将盖体80紧密固定在容器79上。由于设置密封构件81，可防止修正液17从容器79和盖体80的间隙泄漏。不过，在对容器79和盖体80的紧密性没有特殊要求时，也可不设置密封构件81。

在容器79的外周侧面上设置有凸缘79b，在有底圆筒状的壳体82的底部形成有台阶孔82a。因为在容器79上设置有凸缘79b，故在壳体82的台阶孔82a中嵌合容器79的圆筒部79e，则容器79固定在壳体82上。

涂敷部77包括：涂敷针19；固定涂敷针19的涂敷针固定板85；用于保持涂敷针固定板85使其可在垂直方向上移动的线性导向器83。线性导向器83包括导轨部83a和滑动部83b，导轨部83a固定在壳体82的内周面82b上。滑动部83b可沿导轨部83a在垂直方向(Z方向)上移动。

滑动部83b固定在定位固定台84上，在定位固定台84上通过固定螺钉86固定有涂敷针固定板85。配置涂敷针19，使涂敷针19可贯穿容器79及盖体80的孔79a、80a，且涂敷针19的中心线通过孔79a、80a的中心。涂敷针固定板85由铁等磁性体构成。例如在使用机械结构用碳素钢材料(SC材料)时，对其表面实施用于防锈的Ni电镀。在使用不锈钢(SUS430等)时，不需要进行Ni电镀。

由于滑动部83b、定位固定台84、涂敷针固定板85、涂敷针19及固定螺钉86的自重，滑动部83b下降到导轨部83a的下端位置，滑动部83b通过设在线性导向器83上的限制器(未图示)的阻挡而不会从导轨部83a脱出。另外，在此，表示在壳体82的内周面82b上固定导轨部83a的情况，但也可将导轨部83a和滑动部83b互换，在壳体82的内周面82b上固定滑动部83b，在导轨部83a上固定定位固定台84。

在壳体82的开口的上面上固定有盖体98，对壳体82进行密封。驱动部78是由铁芯87a和线圈87b构成的电磁体87。铁芯87a固定在盖体98上。

在壳体82的侧面(图中右侧)形成有窗口82j，由盖体91封闭。在组装时，取下盖体91，从窗口82j组装线性导向器83和涂敷针固定板85等构件。组装后，盖上盖体91对壳体82进行密封。若不需要对壳体82内进行密封，则可将壳体82形成为截面呈コ字型的形状，内部处于敞开状态，壳体82并不局限为圆筒形状。

下面对修正基板22的缺陷部22a时的动作进行说明。如图29(A)所示，在涂敷动作开始前的待机状态下，向线圈87b中通入电流，使涂敷针固定板85吸附在电磁体87上。此时，涂敷针19贯穿盖体80的孔80a，涂敷针前端部19a浸渍在修正液17中。

在从主计算机8接收到涂敷动作开始的指令后，停止对电磁体87的线圈87b的电流供给。于是，因为电磁体87失去吸引力，故如图29(B)所示，涂敷针固定板85、涂敷针19、定位固定台84、固定螺钉86及滑动部83b一体地沿垂直方向下降。此时，涂敷针19从容器89的底部的孔89a伸出。在涂敷针前端部19a上附着有修正液(油墨或金属糊状物)17a。

接着，如图29(C)所示，使涂敷组件72下降规定距离L1。该规定距离L1预先设定为比图29(B)状态中的从涂敷针前端部19a到缺陷部22a的距离L2稍大。规定距离L1例如预先设定为：在涂敷针前端部19a与缺陷部22a接触后，涂敷组件72再下降0.5～1mm的程度。因此，在涂敷组件72下降、涂敷针前端部19a与基板22的缺陷部22a接触后，滑动部83b在导轨部83a上上升。此时，涂敷针固定板85也与滑动部83b一起上升。进行涂敷动作时从涂敷针前端部19a施加到缺陷部22a上的载荷大小为滑动部83b、定位固定台84、涂敷针固定板85、涂敷针19及固定螺钉86的重量合计值。因此，不会从涂敷针前端部19a向缺陷部22a施加过大的压力，基板22也不会破损。涂敷载荷例如在约10g左右，非常小。

作为使涂敷组件72下降的方式，可以使用固定涂敷组件72的Z载物台12。或者可使用可沿垂直方向进行驱动的另一驱动部(未图示)使涂敷组件72上下运动。

在使涂敷组件72下降到最下端时，从涂敷针固定板85的上部到电磁体87的距离比图29(B)时短.这样，在从涂敷针前端部19a向缺陷部22a涂敷修正液17a后，向电磁体87的线圈87b供给比通常大的电流，如图29(D)所示，涂敷针固定板85吸附在电磁体87上.此时，涂敷针前端部19a返回修正液17中.然后，使涂敷组件72上升到原来的位置(参照图29(A))，结束一次涂敷动作.另外，在涂敷针固定板85吸附在电磁体85后，即使减小线圈87b中流动的电流，涂敷针固定板85也不会落下.因此，可抑制电磁体87的发热.

在需要对缺陷部22a再次涂敷修正液17a的场合，可反复进行该涂敷动作。另外，缺陷部22a越大则所需的涂敷动作次数就越多，但仅需使涂敷针19上下移动即可在涂敷针前端部19a上重新附着修正液17a。

图30(A)～(D)是表示图案修正装置的其他涂敷动作的图，是与图29(A)～(D)对比的图。如图30(A)所示，在涂敷动作开始前的待机状态下，向线圈87b中通入电流，使涂敷针固定板85吸附在电磁体87上。

在从主计算机8接收到涂敷动作开始的指令后，如图30(B)所示，使涂敷组件72下降。此时，在不与基板22接触的范围内下降，使涂敷组件72和基板22的间隔很微小。

在该状态下，停止对电磁体87的线圈87b的电流供给后，电磁体87失去吸引力，故如图30(C)所示，涂敷针固定板85、涂敷针19、定位固定台84、固定螺钉86及滑动部83b一体地沿垂直方向下降。此时，涂敷针19从容器79的底部的孔79a伸出。并且，涂敷针前端部19a与基板22的缺陷部22a表面接触，附着在涂敷针前端部19a上的修正液(油墨或金属糊状物)17a涂敷在缺陷部22a上。另外，如上所述，因为涂敷载荷在约10g左右，非常小，故不会从涂敷针前端部19a向缺陷部22a施加过大的压力，基板22也不会破损。

在该状态下，向电磁体87的线圈87b供给比通常大的电流，如图30(D)所示，涂敷针固定板85吸附在电磁体87上。在需要对缺陷部22a再次涂敷修正液17a的场合，利用XY载物台10使基板22一点点地移动，同时反复进行线圈87b的电流的导通/断开。

因此，在该实施形态6中，可省去现有技术中的使涂敷针19在缺陷部22a和油墨罐(或糊状物盒)之间往复运动的工序，故可缩短缺陷修正所需的时间。修正液17进入除容器79和盖体80的孔79a、80a以外密闭的容器部76内，涂敷针19处于始终留有微小间隙地插入在盖体80的孔80a中的状态，故修正液17与大气直接接触的面积小。因此，可防止修正液17的稀释液(溶剂)的蒸发，可延长修正液17可使用的天数(更换周期)，从而可减少图案修正装置1的维护次数。另外，在涂敷动作的待机状态下，将涂敷针前端部19a浸入修正液17中，故可防止附着在涂敷针前端部19a上的修正液干燥。另外，也可省去涂敷针前端部19a的洗净工序。再者，若修正液17的稀释液不太蒸发、且不会从上方混入异物的话，则也可省去盖体80。

现有技术中，预先准备前端部分直径不同的多个涂敷针19，根据缺陷的大小对涂敷针19进行选择使用。但是，在该实施形态6中，因为一次涂敷动作所需的时间较短，故可仅使用一个前端部分直径最小的涂敷针19，调整涂敷动作的次数。相应地，可实现装置结构的简略化。另外，即使具有多台涂敷直径不同的涂敷组件72，由于每一次的涂敷时间变短，故与现有技术相比也可缩短涂敷时间。

也可在缺陷部22a涂敷适量的修正液17a后，使用图1所示的基板加热部6对包含缺陷部22a在内的范围进行加热，使涂敷的修正液干燥、烧结.另外，也可将对基板22整体加热的加热器内置在夹持部11内，同时使用内置在夹持部11中的加热器和基板加热部6.另外，在修正液17是紫外线固化型时，也可将基板加热部6变更为紫外线照射装置，将紫外线照射装置设置在由玻璃构成的夹持部11的下方.

如上所述，可对平板显示器等的基板上形成的电极开口缺陷、等离子显示器的背板基板上形成的肋(分隔壁)缺损、液晶滤色镜基板的脱墨缺陷、掩膜的缺陷等进行修正。另外，也可对等离子显示器的背板基板上的肋和肋间的凹部的荧光体缺陷、肋上面的黑色部的脱色缺陷等进行修正。

图31是表示实施形态6的变形例1的图。在图31中，在壳体82内的侧面82b上固定有衬垫92。在衬垫92的侧面(图中右侧)上固定有U字型的铁芯87a。在U字型的铁芯87a上卷绕有线圈87b。

在向线圈87b通入电流后，涂敷针固定板85吸附在电磁体87上，形成由U字型的铁芯87a和涂敷针固定板85封闭的磁环90。若停止对线圈87b供给电流，则涂敷针19下降。此时，与图29(A)～(D)所示的电磁体87相比，可加强吸引力。另外，此时的涂敷动作与图29(A)～(D)、图30(A)～(D)所示的情况相同，在此省去其说明。

图32是表示实施形态6的变形例2的图。在图32中，取代图29(A)～(D)所示的电磁体87，而使用电磁螺线管88。电磁螺线管88由固定在涂敷针固定板85上表面的可动铁芯88a、以及固定在壳体82的盖体98上的螺线管线圈88b构成。

在向电磁螺线管88的螺线管线圈88b通入电流时，可动铁芯88a被向上方吸引。在停止对螺线管线圈88b供给电流时，涂敷针19下降。另外，此时的涂敷动作与图29(A)～(D)、图30(A)～(D)所示的情况相同，在此省去其说明。

图33是表示实施形态6的变形例3的图。在图33中，在图29(A)～(D)所示的涂敷针固定板85的上表面上与电磁体87相对地固接有永磁体89。此时，在涂敷动作开始前的待机状态下，即使电磁体87的线圈87b中没有电流，永磁体89也会吸附在电磁体87的铁芯87a上，涂敷针前端部19a浸渍在修正液17中。

接收到涂敷动作开始指令后，向电磁体87的线圈87b中通入电流，铁芯87a的极性和永磁体89的极性相同。由此，电磁体87和永磁体89互相排斥，永磁体89、涂敷针固定板85、涂敷针19、定位固定台84、固定螺钉86及滑动部83b一体地落下。并且，涂敷针19从容器79的底部的孔79a伸出。若永磁体89很难从铁芯87a上分开，则可调整滑动部83b的行程以在永磁体89和铁芯87a之间形成微小的气隙，或者在永磁体89和铁芯87a的任意表面上固接非磁性衬垫。

在图29(A)～(D)所示的例子中，待机时也必须持续对线圈87b通入电流。但是，在该实施形态6的变形例3中，因为在涂敷针固定板85的上表面设置了永磁体89，故待机时不需对线圈87b通入电流，可仅在进行涂敷动作时向线圈87b通入电流。

图34是表示实施形态6的变形例4的图。在图34中，在图31所示的涂敷针固定板85的上表面上与电磁体87相对地固接有2个永磁体89a、89b。2个永磁体89a、89b的磁通的朝向互不相同。在U字型的铁芯87a上卷绕有线圈87b。此时，在涂敷动作开始前的待机状态下，即使电磁体87的线圈87b中没有电流，永磁体89a、89b也会吸附在U字型的铁芯87a上，形成由U字型的铁芯87a、永磁体89a、89b和涂敷针固定板85封闭的磁环90。此时，与图31所示的电磁体87相比，可加强吸引力。

接收到涂敷动作开始指令后，向电磁体87的线圈87b中通入电流.由此，电磁体87和永磁体89a、89b互相排斥，永磁体89a、89b、涂敷针固定板85、涂敷针19、定位固定台84、固定螺钉86及滑动部83b一体地落下.并且，涂敷针19从容器79的底部的孔79a伸出.

此时与图33所示的实施形态6的变形例3相同，因为在涂敷针固定板85的上表面设置了永磁体89a、89b，故待机时不需对线圈87b通入电流，可仅在进行涂敷动作时向线圈87b通入电流。

图35是表示实施形态6的变形例5的图。在图35中，容器79的底壁的上表面79c具有越靠近孔79a壁厚越薄的锥形。因此，即使修正液17剩下少量，涂敷针前端部19a也可浸渍在修正液17中，可有效地使用修正液17。

图36是图35所示的涂敷组件72的主要部分的局部放大图。在图36中，在容器79的外周侧面上设置的凸缘79b的下表面上形成有环状的槽部79e，在槽部79e中嵌入有环状的磁体79i。容器79嵌合在由铁类磁性体构成的壳体82的台阶孔82a中。在此，通过嵌入在容器79内的磁体79i和壳体82之间产生的吸引力，容器79紧密固定在壳体82上。采用这种结构的话，则不需使用工具即可进行容器79的更换和定位。

形成在容器79底壁下表面的锥部79f具有越靠近孔79a壁厚越薄的锥形。在锥部79f的外周部分设置有加工成环状的吸收片99。吸收片99例如通过两面胶带等固定在容器79上。该吸收片99可进行更换。在反复进行多次涂敷动作时，考虑到由于涂敷针19在容器79的孔79a中滑动，因而附着在涂敷针前端部19a上的修正液17会泄漏到容器79外部的情况。此时，泄漏的修正液17沿着锥形的下表面79f由吸收片99吸收。作为吸收片99使用吸收性好、本身产生灰尘少的材料，例如使用PVA(聚乙烯醇)类多孔质片材。虽未图示，但若吸收片99与锥部79f重叠地配置的话，则可在修正液17泄漏的较早阶段吸收修正液17。

另外，也可将用于接收从孔79a泄漏的修正液17的闸门设置在孔79a的下方，但为了简略机构，在此省去闸门。另外，根据需要也可在孔79a的周围例如设置O形环(橡胶构件)，擦拭附着在涂敷针19的外周侧面上的修正液17。不过，该O形环的内径要与涂敷针19的外径相同、或比其稍大，不会妨碍涂敷针19的下降。

再者，为了降低容器79及盖体80的孔79a、80a与涂敷针19的滑动引起的摩擦，也可对涂敷针19的外周侧面19b用滑动性好的氟树脂等进行涂层加工。另外，也可用滑动性好的滑动轴承(树脂等)形成孔79a、80a。

图37是表示实施形态6的变形例6的图。在图37中，相当于图36所示的容器79的部分直接设置在壳体82的底部。即，在壳体82的底部上形成锥形的凹部82c，在这里注入修正液17。在凹部82c的底部开设有涂敷针19可贯穿的孔82e中。另外，在壳体82的底壁下表面形成有越靠近孔82e壁厚越薄的锥部82i。

图38是表示实施形态6的变形例7的图。在图38中，相当于图35所示的容器79的部分直接设置在壳体82的底部。即，在壳体82的底部形成凹部82c，在这里注入修正液17。在该凹部82c的底部再形成凹部82d，在凹部82d的中心部上开设有涂敷针19可贯穿的孔82e中。此时，同样，即使修正液17剩下少量，涂敷针前端部19a也可浸渍在修正液17中，可有效地使用修正液17。

图39是表示实施形态6的变形例8的图.在图39中，多个涂敷组件72固定支撑在组件支撑板93上.组件支撑板93例如固定在图1所示的Z载物台12上.

在对液晶滤色镜基板的脱墨缺陷进行修正时，需要准备与基板上的象素的着色层的颜色即R(红)、G(绿)、B(蓝)及黑色矩阵BM(黑)对应的各种颜色的涂敷组件72。另外，根据情况也需要准备表面保护用外涂层OC(外涂油墨)的涂敷组件72。在此，表示对应3种颜色地设置涂敷组件72的结构。

在涂敷组件72的外周侧面上设置有凸缘82f。在凸缘82f的下表面形成有环状的槽部82g，在槽部82g中嵌入有环状的磁体94。另外，在涂敷组件72的底部上形成有嵌合面82k。各涂敷组件72嵌合在由铁类磁性体构成的组件支撑板93上形成的孔93a中。在此，通过嵌入在凸缘82f内的磁体94和组件支撑板93之间产生的吸引力，各涂敷组件72紧密固定在组件支撑板93上。采用这种结构的话，则不需使用工具即可进行涂敷组件72的更换和定位。

此时，选择注入有基板缺陷部修正所需颜色的修正液的涂敷组件72，进行用图29(A)～(D)或图30(A)～(D)说明的涂敷动作。观察光学系统2和涂敷组件72的偏置位置预先输入在图1所示的主计算机8或控制用计算机9中。

另外，只要装设所需数量的涂敷组件72，即可与液晶滤色镜基板上的象素的着色层的颜色对应地修正脱墨缺陷。

在此，表示了将多个涂敷组件72配置成一列的例子，但如图40所示，也可将多个涂敷组件72沿圆周方向排列。另外，也可采用其他的配置方法。再者，也可采用将图27及图28所示的涂敷组件72多个并列地配置的结构。这样，只需准备多个涂敷组件72即可，不需设置现有技术所必需的转台等机构，可使装置的机构简略化。另外，也不需像现有技术那样在每次更换所使用的修正液17的颜色时都要对涂敷针19进行洗净。因此，使得装置的结构简略化，且有助于缩短作业时间。

另外，若构成为涂敷组件72的壳体82为圆筒状、涂敷针前端部19a的位置位于壳体82的中心的话，则在更换涂敷组件72时，可省去再调整偏置位置的时间。另外，在将涂敷组件72设置在组件支撑板93上时，也不需要注意安装方向，也不需要用于定位(相位对准)的机构。

实施形态7：

图41是表示本发明实施形态7的图案修正装置的涂敷组件73的结构的图。在图41中，该涂敷组件73，取代实施形态5、6中所使用的线性导向器83，而将线性轴套95作为直动导向装置使用。

在圆筒状壳体82内与壳体82同轴地配置线性轴套95。在线性轴套95的上部设置有固定在壳体82上的挡圈96，防止线性轴套95从壳体82脱出。在线性轴套95的下方形成有用于注入修正液17的凹部82c。在该凹部82c的底部上再形成凹部82d，在凹部82d的中心部上开设有涂敷针19可贯穿的孔82e中。凹部82c的上面由盖体80封闭。在盖体80的中心部上开设有涂敷针19可贯穿的孔80a，孔80a、82e位于同轴上。另外，在凹部82c和盖体80接合的部分上夹设有橡胶等密封构件81，紧密固定盖体80。

作为壳体82的材质使用非磁性的不锈钢材料或氟类树脂。在使用不锈钢材料时，可以用氟类树脂等在注入修正液17的凹部82c的表面、以及孔82e的内周面上形成涂层。

由于线性轴套95内的滚动体95a的循环，圆柱状的可动轴97可在垂直方向上移动.在可动轴97的下部形成有穴97b，利用工具(未图示)将涂敷针19粘接固定在穴97b中.涂敷针19配置在壳体82的中心轴上.虽未图示，但也可将可动轴97和涂敷针19一体成形，以提高同轴度.在可动轴97上部的外周侧面上设置有作为限制器作用的凸缘97a.可动轴97可下降到凸缘97a与壳体82的台阶部82h接触的位置.

在壳体82的上面固定有盖体98，对壳体82进行密封。电磁体87的铁芯87a固定在盖体98上。在铁芯87a的周围卷绕有线圈87b。这样，在可动轴97的凸缘97a上方配置电磁体87，电磁体87具有将可动轴97向上方吸引的功能。另外，此时的涂敷动作与图29(A)～(D)、图30(A)～(D)所示的情况相同，在此省去其说明。

在壳体82的底部下表面形成有越靠近孔82e壁厚越薄的锥部82i。在锥部82i的外周部分设置有加工成环状的吸收片99。从孔82e泄漏的修正液17沿着锥部82i由吸收片99吸收。

在涂敷组件73的壳体82的外周侧面上设置有凸缘82f。在凸缘82f的下表面上形成有环状的槽部82g，在槽部82g中嵌入有环状的磁体94。涂敷组件73嵌合在由铁类磁性体构成的组件支撑板93上形成的孔93a中。在此，通过嵌入在凸缘82f内的磁体94和组件支撑板93之间产生的吸引力，各涂敷组件73紧密固定在组件支撑板93上。

在修正液17用完的时刻、或涂敷动作达到设定次数的时刻，将涂敷组件73更换为新的。因为涂敷组件73不是通过螺钉等固定在组件支撑板93上的，而是仅利用磁体的吸引力进行固接的，故不使用工具即可进行更换作业。使用后的涂敷组件73经由分解洗净后可再次注入修正液17进行再利用，再循环性较佳。在该例子中，壳体82是一体形成的，但也可将注入修正液17的部分和其余的部分分开，两者可进行拆装。

采用上述结构，则可将涂敷针前端部19a配置在圆筒状壳体82的中心，在更换涂敷组件73时可省去再调整偏置位置的麻烦。另外，在将涂敷组件73设置在组件支撑板93上时，也不需要注意安装方向，也不需要用于定位(相位对准)的机构。

另外，如图31所示，也可将电磁体87用U字型的铁芯87a和线圈87b构成。另外，虽未图示，但在使用多个涂敷组件73时，多个涂敷组件73可在组件支撑板93上配置成一列，也可沿圆周方向排列。

图42是表示实施形态7的变形例1的图。在图42中，取代图41所示的电磁体87，而使用电磁螺线管88。电磁螺线管88由固定在可动轴97上表面的可动铁芯88a、以及固定在壳体82的盖体98上的螺线管线圈88b构成。另外，此时的涂敷动作与图29(A)～(D)、图30(A)～(D)所示的情况相同，在此省去其说明。

图43是表示实施形态7的变形例2的图。在图43中，在图41所示的可动轴97的上表面上与电磁体87相对地固接有永磁体89。此时，待机时不需对线圈87b通入电流，可仅在进行涂敷动作时向线圈87b通入电流。

另外，如图34所示，也可将电磁体87用U字型的铁芯87a和线圈87b构成，在可动轴97的上表面上与电磁体87相对地固接有2个永磁体89a、89b。

图44是表示实施形态7的变形例3的图。在图44中，在壳体82上形成用于补充修正液17的补充通路100。在修正液17用完的时刻、或在设定次数的涂敷动作结束的时刻，在涂敷组件73装设在组件支撑板93上的状态下，从补充通路100的补充口100a补充修正液17。补充后，在补充口100a上粘贴带101，使壳体82内成为密闭状态。

再者，若使用丙烯酸酯或聚碳酸酯等透明构件形成壳体82的下部，则可用眼观察确认修正液17的剩余量。另外，也可用眼观察确认修正液17的颜色、材质。与实施形态6所示的容器19由透明构件形成的情况也相同。

也可在涂敷组件73的壳体82表面上粘贴记载修正液17的规格及其填充量，组装日期、涂敷针19的涂敷直径、可涂敷次数、可使用期限等的标签和条形码、或者颜色识别标记等，对涂敷组件73进行管理。

在此，取代上述情况，而在盖体98的表面形成凹部98a，在凹部98a上嵌入可进行数据的写入/读取的RFID(Radio Frequency Identification)标签102。在RFID标签102中写入修正液17的规格及其填充量，组装日期、涂敷针19的涂敷直径、可涂敷次数、可使用期限等。该RFID标签102可在嵌入凹部98a中后由栓(未图示)进行密封，也可流入具有流动性的树脂材料(环氧树脂等)进行加固。若盖体98由树脂等构件构成的话，则RFID标签102的数据用非接触读出器(未图示)读入的特性良好，这样最好。另外，RFID标签102可以粘贴在壳体82表面的任意位置。

由此，不仅可以确认涂敷组件73的规格，而且也可进行涂敷组件73的历史情况管理。即，预先将先前的历史信息输入到RFID标签102中，可容易地进行将涂敷组件73装设在图案修正装置1前的内容确认、以及再次组装时的历史情况管理。另外，如果在图案修正装置1内具有RFID标签102的读出器的话，则在单个图案修正装置1中，可掌握当前所装设的涂敷组件73的种类，也可根据该信息进行装置的控制。

图45是表示实施形态7的变形例4的图。在准备更换用的新的涂敷组件73时，由于来自外部的振动，有可能会使涂敷针前端部19a从涂敷组件73伸出。另外，如图41所示，在采用没有使用永磁体89的涂敷组件73时，在驱动部78(电磁体87或电磁螺线管88)的配线作业结束之前的期间，涂敷针前端部19a有可能会从涂敷组件73伸出。

因此，如图45所示，从开设在壳体82侧面的孔82m插入限制器103。该限制器103对可动轴97进行固定支撑，以阻挡可动轴97的凸缘97a的下表面97c，使涂敷针19不会落下。因此，即使在将更换用的涂敷组件73装设在图案修正装置1上之前，也可维持将涂敷针前端部19a浸在修正液17中的状态。在将涂敷组件73固定在组件支撑板93上、电磁体87(驱动部78)的配线作业结束、电磁体87可进行控制后，将限制器103拔出，成为涂敷组件73可使用的状态。

再者，为了使限制器103不会简单地从孔82m中脱出，也可对孔82m加工内螺纹，对限制器103加工外螺纹，互相通过螺纹结合。另外，在如实施形态1所示用线性导向器83对涂敷针固定板85进行保持时，例如也可在涂敷针固定板85的侧面形成可供限制器103插入的孔。

图46是表示实施形态7的变形例5的图。在涂敷针19上下移动的距离较长时，预测附着在涂敷针19的外周侧面上的修正液17可能会从盖体80的孔80a向盖体80的上表面泄漏。若修正液17泄漏到盖体80的上表面的话，则经过一段时间后泄漏的修正液17凝固，涂敷针19的动作有可能会变得迟钝。

因此，如图46所示，将与涂敷针19一体地上下运动的可动轴97的可移动距离、即从凸缘97a的下表面到台阶部82h的距离h1设定为比从盖体80的下表面80c到修正液17的液面13b的距离h2短.由此，即使涂敷针19上下运动，附着在涂敷针19的外周侧面上的修正液17也不会到达盖体80的孔80a，故涂敷针19的动作不会变得迟钝.不过，修正液17的注入量要考虑到距离h1、h2地加以管理.

再者，若修正液17的稀释液的挥发性较低、不会从上方混入异物的话，则可省去盖体80。另外，也可使盖体80的孔80a的直径比涂敷针19的直径大很多，从而修正液不会附着在孔80a的内周面上。

图47是表示实施形态7的变形例6的图。在图47中，该涂敷组件73包括收容在一个壳体82内的3个副涂敷组件73a、73b、73c。

在壳体82的左侧面及右侧面分别设置有凸缘82f。在凸缘82f的下表面上形成有环状的槽部82g，在槽部82g中嵌入有磁体94。壳体82嵌合在由铁类磁性体构成的组件支撑板93上形成的孔93a中。在此，通过嵌入在壳体82内的磁体94和组件支撑板93之间产生的吸引力，壳体82紧密固定在组件支撑板93上。

在盖体98的表面固接有RFID标签102，该RFID标签102中输入有包含3个副涂敷组件73a、73b、73c的规格在内的数据。

在凸缘82f的上表面为了能够分清3个副涂敷组件73a、73b、73c的顺序而设置有基准标记104。作为基准标记104可以设置凹部，也可粘贴标牌。根据该基准标记104的位置而定位副涂敷组件73a、73b、73c。另外，也可在壳体82的表面上刻印副涂敷组件73a、73b、73c的编号。

这样，在将多个副涂敷组件73a、73b、73c设置在一个壳体82内时，与图39及图40所示的将多个涂敷组件73配置在组件支撑板93上的情况相比，可实现小空间化。另外，在此，表示3个副涂敷组件73a、73b、73c在块状的壳体82内配置成一列的例子，但也可在圆筒形状的壳体82内沿圆周方向排列。另外，在此，表示在一个壳体82内收容3个副涂敷组件的情况，但收容在一个壳体82内的副涂敷组件的数量是任意的。

图48(A)、(B)是表示实施形态7的变形例7的图。图48(A)是涂敷组件73的俯视图，图48(B)是涂敷组件73的侧视图。

在圆筒形的壳体82内收容有4个副涂敷组件73a～73d。这样，在壳体82为圆筒形状时，在设置在壳体82的外周侧面上的凸缘82f上设置定位销105。以定位销105的位置为基准，在盖体98的上表面刻印表示4个副涂敷组件73a～73d的顺序的刻印标记1～4。在固定支撑壳体82的组件支撑板93(未图示)上形成有可与定位销105嵌合的孔，从而可进行壳体82的定位(相位对准)。

再者，在实施形态6及实施形态7中，表示作为涂敷组件72、73的驱动部78利用磁作用的方式，但并不局限于此，也可使用其他的驱动源。例如，如实施形态5所示，可以将气缸作为驱动源。另外，在将多个涂敷组件73固定在壳体82上时，壳体82为圆筒形或块状，但也可将多个容器79、涂敷针19、驱动部78配置在共用的构件上，对壳体82的形状不作限定。

上述公开的实施形态仅是例示，并不进行限制。本发明的范围并不局限于上述说明，而是如权利要求所述，包含与权利要求等同的意思及权利要求内的所有变更。

Claims (19)

1.一种图案修正装置，对基板上形成的微细图案的缺陷部进行修正，包括：

底部开设有第一孔、注入有修正液的容器；

直径与所述第一孔基本相同的涂敷针；以及

使所述涂敷针的前端部从所述第一孔伸出、将附着在所述涂敷针前端部上的修正液涂敷在所述缺陷部上的驱动部，

所述驱动部包括：

第一副驱动部，固定在所述容器上，使所述涂敷针的前端部从所述第一孔伸出，使修正液附着在所述涂敷针的前端部上；以及

第二副驱动部，使所述容器下降，使所述涂敷针的前端部与所述缺陷部接触，将附着在所述涂敷针前端部上的修正液涂敷在所述缺陷部上，

其特征在于，还包括线性导向器，该线性导向器设置在所述容器和所述第二副驱动部之间，对所述容器可移动地予以保持，使得不会从所述涂敷针前端部向所述缺陷部施加规定值以上的压力。

2.如权利要求1所述的图案修正装置，其特征在于，所述第一副驱动部包括：

固定在所述涂敷针上端的永磁体；以及

电磁体，该电磁体利用与所述永磁体间的吸引力而使所述涂敷针向上方移动，利用与所述永磁体间的排斥力而使所述涂敷针向下方移动。

3.如权利要求1所述的图案修正装置，其特征在于，所述第一副驱动部包括：

固定在所述涂敷针上端的可动铁芯；以及

通过吸引所述可动铁芯或使其落下而使所述涂敷针上下运动的螺线管线圈。

4.一种图案修正装置，对基板上形成的微细图案的缺陷部进行修正，包括：

底部开设有第一孔、注入有修正液的容器；

直径与所述第一孔基本相同的涂敷针；以及

使所述涂敷针的前端部从所述第一孔伸出、将附着在所述涂敷针前端部上的修正液涂敷在所述缺陷部上的驱动部，

其特征在于，所述驱动部具有固定部和驱动轴，

所述图案修正装置还包括：

将所述容器固定在所述固定部上的固定构件；以及

线性导向器，该线性导向器设置在所述涂敷针和所述驱动轴之间，对所述涂敷针可移动地予以保持，使得不会从所述涂敷针前端部向所述缺陷部施加规定值以上的压力。

5.一种图案修正装置，对基板上形成的微细图案的缺陷部进行修正，包括：

底部开设有第一孔、注入有修正液的容器；

直径与所述第一孔基本相同的涂敷针；以及

使所述涂敷针的前端部从所述第一孔伸出、将附着在所述涂敷针前端部上的修正液涂敷在所述缺陷部上的驱动部，

其特征在于，还包括：

固定构件，固定所述容器，在与所述基板相对的面上设置有突起部，且利用所述驱动部而上下运动；

第一线性导向器，设置在所述固定构件和所述驱动部之间，对所述固定构件可移动地予以保持，使得不会从所述突起部向所述基板施加规定值以上的压力；以及

第二线性导向器，设置在所述涂敷针和所述驱动部之间，对所述涂敷针可移动地予以保持，使得不会从所述涂敷针前端部向所述缺陷部施加规定值以上的压力。

6.一种图案修正装置，对基板上形成的微细图案的缺陷部进行修正，包括：

底部开设有第一孔、注入有修正液的容器；

直径与所述第一孔基本相同的涂敷针；以及

使所述涂敷针的前端部从所述第一孔伸出、将附着在所述涂敷针前端部上的修正液涂敷在所述缺陷部上的驱动部。

其特征在于，还包括：

底部固定有所述容器的有底筒状的壳体；

收容在所述壳体内部的可动构件；

第一线性导向器，设置在所述壳体的内周侧面和所述可动构件之间，对所述可动构件可移动地予以保持；以及

第二线性导向器，设置在所述涂敷针和所述可动构件之间，对所述涂敷针可移动地予以保持，使得不会从所述涂敷针前端部向所述缺陷部施加规定值以上的压力，

所述驱动部通过下推所述可动构件，而使所述涂敷针的前端部从所述第一孔伸出。

7.如权利要求1至6中任一项所述的图案修正装置，其特征在于，所述驱动部在待机时将所述涂敷针的前端部保持在所述容器内所注入的修正液中，在进行涂敷时使所述涂敷针的前端部从所述第一孔伸出。

8.如权利要求1至6中任一项所述的图案修正装置，其特征在于，在所述容器的上壁开设有直径与所述第一孔基本相同的第二孔，所述容器除所述第一孔及第二孔以外为密闭状态，所述涂敷针设置成可沿经由所述第一孔及第二孔的直线移动。

9.一种涂敷组件，是对基板上形成的微细图案的缺陷部进行修正的图案修正装置的涂敷组件，其特征在于，包括：

底部开设有第一孔、注入有修正液的容器；

直径与所述第一孔基本相同的涂敷针；

对所述涂敷针的基端部进行固定保持的涂敷针固定构件，

通过所述涂敷针固定构件对所述涂敷针可上下运动地予以支撑的直动导向构件；以及

使所述涂敷针固定构件向下方移动、使所述涂敷针的前端部从所述第一孔伸出、使修正液附着在所述涂敷针前端部上的驱动部，

可将附着在所述涂敷针前端部上的修正液涂敷在所述缺陷部上，

所述驱动部至少在所述涂敷针前端部与所述缺陷部接触时，解除所述涂敷针固定构件的保持，从而在所述涂敷针前端部与所述缺陷部接触时，不会从所述涂敷针前端部向所述缺陷部施加规定值以上的压力。

10.如权利要求9所述的涂敷组件，其特征在于，所述驱动部在待机时将所述涂敷针前端部保持在所述容器内所注入的修正液中，在进行涂敷时使所述涂敷针前端部从所述第一孔伸出。

11.如权利要求9或10所述的涂敷组件，其特征在于，所述驱动部包括：

从下侧支撑所述涂敷针固定构件的支撑构件；

以及使所述支撑构件上下运动的缸体。

12.如权利要求9或10所述的涂敷组件，其特征在于，所述涂敷针固定构件由磁性体材料构成，

所述驱动部具有铁芯和卷绕在该铁芯上的线圈，向所述线圈通入电流后，利用与所述涂敷针固定构件间的磁引力而使所述涂敷针固定构件向上方移动，停止向所述线圈供给电流后，使所述涂敷针固定构件向下方移动。

13.如权利要求9或10所述的涂敷组件，其特征在于，还包括固定在所述涂敷针固定构件上端的永磁体，

所述驱动部具有铁芯和卷绕在该铁芯上的线圈，向所述线圈通入电流后，利用与所述永磁体间的磁排斥力而使所述涂敷针固定构件向下方移动，停止向所述线圈供给电流后，利用与所述永磁体间的磁引力而使所述涂敷针固定构件向上方移动。

14.如权利要求9或10所述的涂敷组件，其特征在于，还包括固定在所述涂敷针固定构件上端的铁芯，

所述驱动部具有螺线管线圈，向所述螺线管线圈通入电流后，利用与所述铁芯间的磁引力而使所述涂敷针固定构件向上方移动，停止向所述螺线管线圈供给电流后，使所述涂敷针固定构件向下方移动。

15.如权利要求9或10所述的涂敷组件，其特征在于，在所述容器的开口的上面固定有盖体，在该盖体上开设有直径与所述涂敷针的直径基本相同的第二孔，所述容器除所述第一孔及第二孔以外为密闭状态，所述涂敷针设置成可沿经由所述第一孔及第二孔的直线移动。

16.如权利要求9或10所述的涂敷组件，其特征在于，还包括吸收构件，该吸收构件配置在所述容器底部下表面的所述第一孔周边，吸收从所述第一孔泄漏的修正液。

17.如权利要求9或10所述的涂敷组件，其特征在于，包括：一个壳体；以及设置在所述一个壳体内的多组所述容器、所述涂敷针、所述直动导向构件及所述驱动部。

18.一种图案修正装置，其特征在于，包括：权利要求9或10所述的涂敷组件；以及移动装置，该移动装置在进行所述涂敷时，使所述涂敷组件和所述基板相对移动，将附着在所述涂敷针前端部的修正液涂敷在所述缺陷部上。

19.如权利要求18所述的图案修正装置，其特征在于，包括多个涂敷组件，在各涂敷组件的容器内注入与其他涂敷组件的容器内所注入的修正液种类不同的修正液，

所述移动装置至少使根据所述缺陷部的种类从所述多个涂敷组件中选出的涂敷组件和所述基板相对移动，将附着在所述涂敷针前端部的修正液涂敷在所述缺陷部上。

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