CN1457325A - 生产玻璃颗粒沉积体的方法和设备 - Google Patents

生产玻璃颗粒沉积体的方法和设备 Download PDF

Info

Publication number
CN1457325A
CN1457325A CN02800543A CN02800543A CN1457325A CN 1457325 A CN1457325 A CN 1457325A CN 02800543 A CN02800543 A CN 02800543A CN 02800543 A CN02800543 A CN 02800543A CN 1457325 A CN1457325 A CN 1457325A
Authority
CN
China
Prior art keywords
burner
glass particles
deposited fine
fine glass
dust
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN02800543A
Other languages
English (en)
Inventor
中村元宣
大石敏弘
大贺裕一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Electric Industries Ltd
Original Assignee
Sumitomo Electric Industries Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Electric Industries Ltd filed Critical Sumitomo Electric Industries Ltd
Publication of CN1457325A publication Critical patent/CN1457325A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B37/00Manufacture or treatment of flakes, fibres, or filaments from softened glass, minerals, or slags
    • C03B37/01Manufacture of glass fibres or filaments
    • C03B37/012Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments
    • C03B37/014Manufacture of preforms for drawing fibres or filaments made entirely or partially by chemical means, e.g. vapour phase deposition of bulk porous glass either by outside vapour deposition [OVD], or by outside vapour phase oxidation [OVPO] or by vapour axial deposition [VAD]
    • C03B37/01413Reactant delivery systems
    • C03B37/0142Reactant deposition burners
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/50Multiple burner arrangements
    • C03B2207/52Linear array of like burners
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C03GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
    • C03BMANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
    • C03B2207/00Glass deposition burners
    • C03B2207/60Relationship between burner and deposit, e.g. position

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • General Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Geochemistry & Mineralogy (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Manufacture, Treatment Of Glass Fibers (AREA)
  • Glass Melting And Manufacturing (AREA)

Abstract

本发明的目的是提供一种用于生产玻璃颗粒沉积体的方法和设备,其中可以生产在纵向方向上具有较小的外径波动的粉尘体,且没有增加在粉尘体端部形成的无效部分。在用于生产玻璃颗粒沉积体的方法和设备,起始棒1由可转动的支撑棒3支撑,且位于具有排气口5的反应容器内。燃烧器列8由奇数燃烧器6和偶数燃烧器7构成。奇数燃烧器6和偶数燃烧器7具有不同的玻璃颗粒合成条件。由燃烧器合成的玻璃颗粒在转动起始棒1的同时沉积在起始棒1上,从而生产出玻璃颗粒沉积体9。

Description

生产玻璃颗粒沉积体的方法和设备
技术领域
本发明涉及一种通过OVD方法生产玻璃颗粒沉积体的方法和设备。
背景技术
生产用于光纤预制件的玻璃颗粒沉积体的方法之一是通过玻璃颗粒合成燃烧器合成的玻璃颗粒(在下文中称作“粉尘(soot)”)层状沉积在转动的起始棒上的方法(OVD方法)。
为了得到具有良好质量的光纤预制件,重要的是将长度方向上玻璃颗粒沉积体(在下文中称作“粉尘体”)的外径波动减小到最小。从生产率的角度出发,要求现有的各种方法具有较高的沉积速率和较高的沉积效率。
例如,在未审查的日本专利公报昭53-70499中,公开了一种用于光通信的预制件的生产方法,其中可以获得在径向方向上添加剂量波动分布较小的预制件。这种方法包括使通过多个氢氧燃烧器合成的玻璃颗粒沉积在中心玻璃棒上,其中所述燃烧器横向排成一排,而具有与中心玻璃棒几乎相等的长度,形成燃烧器列。
另一种生产方法包括多个以规则间隔与中心玻璃棒相对排列的燃烧器。这种方法包括在玻璃棒上沉积玻璃颗粒,同时使玻璃棒和燃烧器平行地相对运动。
另一种生产方法包括使玻璃棒和燃烧器相对往复运动,同时变换往复运动的返回点,其中往复运动的返回点移动到预定位置,然后沿相反方向变换到初始位置,如未审查的日本专利公报平3-228845中所述。利用这种方法,返回点在整个粉尘体上分散,其中在返回点处有明显更长的粉尘沉积时间,从而使整个粉尘体的真实粉尘沉积时间或燃烧器火焰接触玻璃颗粒沉积体的程度波动可以在玻璃颗粒沉积体的整个长度上平均而变得均匀,从而使玻璃颗粒沉积体每一点的粉尘沉积量均匀,减小外径的波动。
发明内容
本发明的目的是提供一种用于生产玻璃颗粒沉积体的方法和设备,其中沿纵向方向具有较小的外径波动,且没有增加在粉尘体端部形成的无效部分。
根据本发明的用于生产玻璃颗粒沉积体的方法,其中多个玻璃颗粒合成燃烧器与转动的起始棒相对排布,且由玻璃颗粒合成燃烧器合成的玻璃颗粒沉积在起始棒表面上而生成玻璃颗粒沉积体,其中三个或多个玻璃颗粒合成燃烧器以燃烧器之间每一间隔可以调节的方式排布,且当从一组燃烧器的一端计数时,对位于奇数位置的奇数燃烧器的玻璃颗粒合成条件和位于偶数位置的偶数燃烧器的玻璃颗粒合成条件进行不同的设置,从而玻璃颗粒沉积在起始棒的表面上,生产出在纵向方向上外径波动较小的玻璃颗粒沉积体。
在本发明的所述生产方法中,玻璃颗粒合成燃烧器的总数最好是奇数。
本发明的生产方法最好包括设定一组具有更大的每一燃烧器的原料流量的燃烧器之间的间隔L,其中该组燃烧器是在从一端计数时位于奇数位置的一组燃烧器和位于偶数位置的一组燃烧器中选择的,而满足下述公式(1),其中该组每一燃烧器的原料流量较小的燃烧器相对于另一组燃烧器中的相邻燃烧器以L/2的间隔排布。
10a≤L≤A    (1)
在公式(1)中,L是该组每一燃烧器的原料流量较大的燃烧器的燃烧器-燃烧器间隔(mm),a是具有最大原料流量的每一燃烧器的原料流量(升/分钟)÷22.4(升/摩尔)×60(克/摩尔),A是目标玻璃颗粒沉积体的外径(mm)。
本发明的生产方法最好使燃烧器-燃烧器间隔与设定值的偏差在设定值的+10%至-10%内。
本发明的生产方法最好包括设定玻璃颗粒合成燃烧器的玻璃颗粒合成条件,从而使供应到每一燃烧器的气体量交替不同。
本发明的生产方法最好包括设定玻璃颗粒合成燃烧器的玻璃颗粒合成条件,从而使每一燃烧器的结构交替不同。
根据本发明的用于生产玻璃颗粒沉积体的设备,其中多个玻璃颗粒合成燃烧器与转动的起始棒相对排布,由所述玻璃颗粒合成燃烧器合成的玻璃颗粒沉积在起始棒表面上,从而生产玻璃颗粒沉积体,其中三个或多个玻璃颗粒合成燃烧器以每一燃烧器间隔调节为预定值的方式排布,且在从一组燃烧器的一端计数时,位于奇数位置的奇数燃烧器的结构和位于偶数位置的偶数燃烧器的结构设置不同,从而生产出在纵向方向上外径波动较小的玻璃颗粒沉积体。
在本发明的生产设备中,三个或多个玻璃颗粒合成燃烧器的总数最好是奇数。
本发明的生产设备最好是一组燃烧器分成两排,当从垂直于所述成排燃烧器的方向观察时,两排燃烧器可以看作一个燃烧器组阵列,当从一端计数时位于奇数位置的燃烧器排成一排,位于偶数位置的燃烧器排成另一排。
附图简要说明
图1是示出一个实现了本发明的设备构造的示例示意图。
图2示出了当奇数燃烧器之间具有较小间隔时粉尘在起始棒上的沉积状态,(a)是示出燃烧器阵列的示意图,(b)是仅由奇数燃烧器沉积的粉尘体的示意图,(c)是仅由偶数燃烧器沉积的粉尘体的示意图,(d)是当没有对粉尘体的外径波动补偿时粉尘体的示意图。
图3示出了当奇数燃烧器之间具有较大间隔时粉尘在起始棒上的沉积状态,(a)是示出燃烧器阵列的示意图,(b)是仅由奇数燃烧器沉积的粉尘体的示意图,(c)是仅由偶数燃烧器沉积的粉尘体的示意图,(d)是当没有对粉尘体外径波动补偿时粉尘体的示意图。
图4示出了如何排布燃烧器,(a)是示出所述燃烧器在同一直线上排成一排的示意图,(b)是示出以所需角度θ排布的两排燃烧器的示意图,(c)是平行排布的两排燃烧器的示意图。
图5示出了通过本发明的方法沉积的粉尘体的沉积状态,(a)是示出燃烧器阵列的示意图,(b)是仅由奇数燃烧器沉积的粉尘体的示意图,(c)是仅由偶数燃烧器沉积的粉尘体的示意图,(d)是由奇数燃烧器和偶数燃烧器沉积的粉尘体的示意图。
图6示出了由本发明的另一方法沉积的粉尘体的沉积状态,(a)是仅由奇数燃烧器沉积的粉尘体的示意图,(b)是仅由偶数燃烧器沉积的粉尘体的示意图,(c)是由奇数燃烧器和偶数燃烧器沉积的粉尘体的示意图。
图7是示出当示例6中燃烧器的位置从设定位置偏移时获得的粉尘体的外径波动比的图。
图8是示出用于生产玻璃颗粒沉积体的方法的普通示例的示意图。
在这些图中,1是起始棒,2是有效部分,3是支撑棒,4是反应容器,5是排气孔,6是奇数燃烧器,7是偶数燃烧器,8是燃烧器阵列,9是粉尘体,10是清洁空气导入装置,11是棒支撑部分,12是转动装置,13、14是沉积的粉尘,16是燃烧器,17、18和19是燃烧器阵列,20、21和22是燃烧器。
实现本发明的最佳方式
本发明的方法的基本思想是在用于生产玻璃颗粒沉积体的方法中,多个玻璃颗粒合成燃烧器相对于转动的起始棒排布,且由所述玻璃颗粒合成燃烧器合成的玻璃颗粒沉积在起始棒表面上,所述起始棒和玻璃颗粒合成燃烧器不往复运动,调节燃烧器-燃烧器之间的间隔,并调节供应到燃烧器的原料气、可燃气、稳定气和密封气的量,或者改变燃烧器的规格,从而减小采用这种方法可能带来问题的纵向方向的外径波动,并在两端形成较小的不稳定部分。
下面将参照附图描述本发明。
在图1中,起始棒1由可转动的支撑棒3支撑,且位于具有排气口5的反应容器4内。在该示例中,燃烧器列包括总计7个燃烧器,其中包括四个奇数燃烧器6和三个偶数燃烧器7。奇数燃烧器6和偶数燃烧器7具有不同的合成玻璃颗粒的条件。燃烧器列8与起始棒1相对。奇数燃烧器6的一端和另一端之间的长度大于起始棒1的有效部分2的长度。
每一燃烧器喷出原料气比如SiCl4,可燃气比如氢气,稳定气比如氧气,或密封气比如氩气,而形成火焰。在转动起始棒1的同时,通过在起始棒1上沉积所形成的火焰合成的玻璃颗粒而生产粉尘体9。
清洁的空气从清洁空气导入装置进入反应容器4。起始棒1被棒保持部分11保持,且由转动装置12转动。
在如图8所示的普通示例的生产方法中,多个玻璃颗粒合成燃烧器23与转动的起始棒相对排布。所述粉尘体9是通过把燃烧器16合成的粉尘沉积在起始棒1的表面上而生产的,且起始棒1和燃烧器16不相对移动。为了使玻璃颗粒的合成条件尽可能均匀,燃烧器16以规则的间隔排布,且相邻燃烧器的火焰不干涉。所以,每一燃烧器16在燃烧器中心附近具有较高的粉尘合成量,但在燃烧器周围具有较慢的粉尘体增长和较小的粉尘合成量。由于粉尘合成量的不同,粉尘体的外径沿纵向方向变化,且质量降低。
相反,在该实施例中,通过调节供应到燃烧器的气体量或者改变燃烧器的结构,可以调节每一燃烧器的粉尘合成条件。通过适当地调节每一燃烧器的粉尘合成条件和间隔,可以减小在纵向方向上的粉尘体外径的波动,从而形成均匀的形状。例如,具有与燃烧器16不同的合成条件的燃烧器20位于燃烧器16之间,如图5(a)所示。由燃烧器16合成的粉尘沉积在起始棒上,形成粉尘体9a,如图5(b)所示。在仅由燃烧器20合成粉尘的情况下,如图5(c)所示,在起始棒上形成粉尘体14。通过调节每一燃烧器之间的间隔和合成条件,由燃烧器16形成的粉尘体9的外径波动可以由燃烧器20合成的粉尘补偿。通过燃烧器16和20合成粉尘,可以获得具有几乎均匀的外径和优良形状的粉尘体9,如图5(d)所示。布置三个或更多个玻璃颗粒合成燃烧器,且当从燃烧器列的一端计数时,奇数燃烧器(图5(a)中的燃烧器16)的粉尘合成条件与偶数燃烧器(图5(a)中的燃烧器20)的相同。或者奇数燃烧器和偶数燃烧器的粉尘合成条件不同,且根据粉尘合成条件适当设定燃烧器之间的间隔。在燃烧器数目是奇数的情况下,生产出两端形状对称的粉尘体。
在燃烧器数目是偶数的情况下,粉尘体两端的形状是不对称的,但整体上粉尘体具有较小的外径波动,其中也存在着上述效果。如图6所示,当从一端(在图6(a)所示示例中的下端)计数时,位于奇数位置的三个燃烧器21,和位于偶数位置的三个燃烧器22(如图6(b)所示)相加具有偶数个燃烧器。通过调节燃烧器之间的间隔和合成条件,由燃烧器21合成的粉尘体9a的外径波动被燃烧器22合成的沉积粉尘14所补偿。利用偶数数目的燃烧器21和22,可以获得具有几乎相同的外径和优良形状的粉尘体9,如图6(c)所示。
燃烧器间隔的具体示例,从从一端计数时,位于奇数位置的一组燃烧器或位于偶数位置的一组燃烧器中选择的、具有较大的每一燃烧器的原料流量的一组燃烧器之间的间隔满足下述公式(1)。
10a≤L≤A    (1)
在公式(1)中,L是该组每一燃烧器的原料流量较大的燃烧器的燃烧器-燃烧器间隔(mm),a是具有最大原料流量的每一燃烧器的原料流量(升/分钟)÷22.4(升/摩尔)×60(克/摩尔),A是目标玻璃颗粒沉积体的外径(mm)。
在该组具有较小的每一燃烧器的原料流量的燃烧器中的燃烧器应当以L/2的间隔相对于该组具有较大的每燃烧器原料流量的燃烧器中的相邻燃烧器排布。
在燃烧器数目是偶数的情况下,在奇数位置和偶数位置的燃烧器可以根据从哪一端开始对燃烧器计数而不同。然而,在该实施例中,所述燃烧器是从具有较大的原料流量的燃烧器一侧计数的。即,在燃烧器数目是偶数时,位于奇数位置的该组燃烧器是具有较大的原料流量的一组燃烧器,而位于偶数位置的该组燃烧器是具有较小的原料流量的一组燃烧器。
当原料流量有某种程度的增加时,如果燃烧器之间的间隔较窄,那么在偶数燃烧器和奇数燃烧器之间,即在相邻燃烧器之间,有更大的干涉。如果燃烧器之间存在着更大的干涉,那么粉尘体的外径和粉尘沉积面的形状是不稳定的,从而不能实现本发明的效果。为了实现本发明的效果,具有较大的原料流量的燃烧器之间的间隔L设为10a(mm)或更大。
在公式1中,如果L大于目标玻璃颗粒沉积体的外径,那么具有较大原料流量的一个燃烧器沉积粉尘的区域远离另一燃烧器的区域。因此,具有较小原料流量的燃烧器不能补偿沉积的粉尘。具有较小原料流量的燃烧器,包括位于最外侧的那个,希望以L/2的间隔相对于具有较大原料流量的相邻燃烧器排布。
燃烧器之间的间隔不必严格为L/2,实际上燃烧器的位置仅需要落在设定值L/2的+10%至-10%内。在该范围内,粉尘体的外径波动比可以减至5%内。如果燃烧器间隔的偏差超出+10%至-10%的范围,那么会不利地增加了粉尘体的外径波动比。
图2示出了在具有较大原料流量的燃烧器之间的间隔L小于原料流量(a×22.4÷60)的粉尘沉积状态,其中10a>L,不满足公式(1)。在该示例中,仅奇数燃烧器是在燃烧器列8中具有较大原料流量的燃烧器,如图2(a)所示。如图2(b)所示,仅有奇数燃烧器6,发生燃烧器之间的干涉,所以粉尘体13的外径不稳定。在图2(c)中示出仅由偶数燃烧器7沉积在起始棒上的粉尘14。如图2(d)所示粉尘14不能补偿粉尘体14的外径波动,粉尘体15的外径变化。
图3示出了在具有较大原料流量的燃烧器之间的间隔L大于粉尘体外径时的粉尘沉积状态,其中L>A,不满足公式(1)。在该示例中,偶数燃烧器是燃烧器列8中具有较大的原料流量的燃烧器,如图3(a)所示。在图3(b)中示出仅由奇数燃烧器6沉积在起始棒上的粉尘13。如图3(c)所示,在偶数燃烧器之间没有干涉,所以沉积在起始棒1上的粉尘体14不重叠。然而,如图3(d)所示,因为与粉尘体14的外径相比,L过大,所以粉尘13不能补偿粉尘体14的外径波动,从而粉尘体15的外径变化。
通常,5个燃烧器的玻璃颗粒沉积条件都是相同的。在这种情况下,粉尘体的外径波动大于如图2和3所示粉尘体的外径波动。本发明可以使粉尘体的外径波动小于普通方法中的情况。
在使用具有相同粉尘合成条件的燃烧器的情况下,通常沿粉尘体的纵向方向有高达10至20%的外径波动,其中燃烧器之间为最佳间隔。为了补偿外径波动,利用本发明的方法,具有较小原料流量的燃烧器放在具有较大原料流量的燃烧器之间,且具有较大原料流量的燃烧器之间的间隔根据需要进行调节,从而合成粉尘。燃烧器的数目可以是偶数,在此情况下具有较小原料流量的燃烧器可以放在该组具有较大原料流量的燃烧器一端外侧。
原料气、可燃气、稳定气或密封气供应给每一燃烧器。具有较小原料流量的燃烧器必须具有至少为具有较大原料流量的燃烧器的10%的原料流量,且考虑到由于火焰之间的干涉造成的低输出,适当设定所述条件而使流量大于10%。如果粉尘的体积密度过高或过低,那么在烧结过程中粉尘体破裂,或者沿纵向方向不均匀地收缩。所以,希望通过设定H2或O2的流量而使粉尘沉积面的温度在整个粉尘体上几乎均匀,从而使所述体积密度几乎恒定。密封气的流量影响较小。
燃烧器的布置不具体限制,但燃烧器16在同一直线上排成一排,而形成一个燃烧器列17,例如如图4(a)所示。或者燃烧器可以分成多个燃烧器列,每一燃烧器从不同的方向正对起始棒。作为排布多个燃烧器列的示例,由具有较大原料流量的燃烧器形成的燃烧器列18和具有较小原料流量的燃烧器列19放在反应容器4内不同位置,如图4(b)所示。这些燃烧器列18和19这样放置,即燃烧器相对于粉尘体9的中心轴线成角θ。利用燃烧器列18和19之间的这种布置,当燃烧器-燃烧器间隔较窄时,避免了复杂的管路,减小了它们放在同一直线上时火焰的干涉,且增加了粉尘沉积效率。希望角度θ在30°至90°的范围内。在角度在30°以下时,作用较小,在角度在90°以上时,不能提高排气效率。
用于设定每一燃烧器的玻璃颗粒的不同合成条件的装置不具体地限制,可以是任何装置。因此,可以实现通过主控制器(MFC)控制气体流量而不改变燃烧器的结构的方法,用于改变燃烧器本身结构的方法,或者两者都可以实现。
顺便提及的是,在未审查的日本专利公报平3-228845中公开了一种利用多个燃烧器在起始棒上形成具有较小外径波动的粉尘体的方法。这种方法,因为玻璃棒和燃烧器列往复运动,所以粉尘体的端部明显变为锥形,而成为无效部分。在本发明中,因为没有往复运动,锥形无效部分较短,玻璃材料可以得到利用。
示例
下面通过示例具体描述本发明,但本发明不限于给出的示例。
示例1
在图1中所示结构的设备中,7个相同类型且由同轴的8循环管(eight cyclic tubes)形成的燃烧器以60mm的间隔排成一排,而形成一个燃烧器列。奇数燃烧器和偶数燃烧器设定不同的供应气体流量,合成玻璃颗粒,然后使玻璃颗粒沉积在转动的起始棒外围。
原料气,包括4升/分钟的SiCl4气,40至80升/分钟的氢气,70升/分钟的氧气,和6升/分钟的密封氩气,供应到奇数燃烧器。原料气,包括2升/分钟的SiCl4气,25至50升/分钟的氢气,50升/分钟的氧气,和6升/分钟的密封氩气,供应到偶数燃烧器。氢气的流量随着粉尘体的增大而逐渐增加。
起始棒具有20mm的直径,350mm的有效部分长度,且具有最大外径为130mm的沉积粉尘。所得到的粉尘体沿纵向方向的外径波动比为3.0%,从而可以生产出优良的粉尘体。
外径波动比是由公式(2×100(最大直径-最小直径)/(最大直径+最小直径)%表示的值。
示例2
在图1中所示结构的设备中,奇数燃烧器是同轴的8循环管燃烧器,偶数燃烧器是同轴的4循环管燃烧器,从而总计7个燃烧器以50mm的间隔排成一排,形成一个燃烧器列。
原料气,包括3.5升/分钟的SiCl4气,40至80升/分钟的氢气,70升/分钟的氧气,和6升/分钟的密封氩气,供应到奇数燃烧器。原料气,包括2升/分钟的SiCl4气,20至40升/分钟的氢气,30升/分钟的氧气,和6升/分钟的密封氩气,供应到偶数燃烧器。氢气的流量随着粉尘体的增大而逐渐增加。
由燃烧器合成的玻璃颗粒在转动的起始棒周围沉积成粉尘。起始棒具有20mm的直径,280mm的有效部分长度,且具有最大外径为120mm的沉积粉尘。所得到的粉尘体沿纵向方向的外径波动比为2.8%,从而可以生产出优良的粉尘体。
比较例1
除了供应到偶数燃烧器的气体量与供应到奇数燃烧器的正好相等之外,在与示例1中相同的条件下生产粉尘体。所得到的粉尘体纵向方向的外径波动比达到8.0%,因此其特性不稳定,粉尘体为次品。
示例3
如图4(b)所示,设置两排燃烧器,且以60°角度θ排布。在该示例中奇数燃烧器排成一排,偶数燃烧器排成另一排。两排燃烧器沿燃烧器列的方向平行,且奇数燃烧器和偶数燃烧器之间的间隔为60mm,如图4(c)所示。在与示例1中相同的条件下生产粉尘体。沿纵向方向粉尘体的外径波动比达到2.5%,  因此生产出优良的粉尘体。
示例4
在图1所示构成的设备中,当从顶端奇数时位于奇数位置的奇数燃烧器包括三个同轴的8循环管燃烧器,偶数燃烧器包括三个同轴的4循环管燃烧器,从而总计6个燃烧器以60mm的间隔排成一排,形成一燃烧器列。
原料气,包括4升/分钟的SiCl4气,40至80升/分钟的氢气,70升/分钟的氧气,和6升/分钟的密封氩气,供应到奇数燃烧器。原料气,包括2升/分钟的SiCl4气,20至40升/分钟的氢气,30升/分钟的氧气,和6升/分钟的密封氩气,供应到偶数燃烧器。氢气的流量随着粉尘体的增大而逐渐增加。
由燃烧器合成的玻璃颗粒在转动的起始棒周围沉积成粉尘。起始棒具有20mm的直径,250mm的有效部分长度,且具有最大外径为130mm的沉积粉尘。所得到的粉尘体沿纵向方向的外径波动比为2.7%,从而可以生产出优良的粉尘体。
示例5
在图1所示构成的设备中,相同类型的8个8循环管燃烧器以70mm的间隔排成一排,形成一燃烧器列。
原料气,包括1.5升/分钟的SiCl4气,20至40升/分钟的氢气,40升/分钟的氧气,和6升/分钟的密封氩气,供应到从顶端计数时的奇数燃烧器。原料气,包括3.5升/分钟的SiCl4气,50至80升/分钟的氢气,80升/分钟的氧气,和6升/分钟的密封氩气,供应到偶数燃烧器。氢气的流量随着粉尘体的增大而逐渐增加。
由燃烧器合成的玻璃颗粒在转动的起始棒周围沉积成粉尘。起始棒具有30mm的直径,440mm的有效部分长度,且具有最大外径为200mm的沉积粉尘。所得到的粉尘体沿纵向方向的外径波动比为2.9%,从而可以生产出优良的粉尘体。
示例6
最下端的燃烧器和紧接在其上方的燃烧器之间的间隔改变,而其他的条件与示例5中的相同。当间隔变化时粉尘体的外径波动在图7中示出。从图7中所示的结果,发现如果燃烧器之间的间隔设定值的偏差落在-8%至10%的范围内,所得到的粉尘体的外径波动在5%内,因此可以生产出优良的粉尘体。正向偏差是燃烧器之间间隔较大的情况。
工业应用性
从上述描述可以明显看出,利用本发明,可以生产具有较小的外径波动的玻璃颗粒沉积体,且没有增加外径的不稳定部分。
而且,利用根据本发明的玻璃颗粒沉积体的生产设备,可以容易地实现上述方法。

Claims (9)

1.一种用于生产玻璃颗粒沉积体的方法,其中多个玻璃颗粒合成燃烧器与转动的起始棒相对排布,且由玻璃颗粒合成燃烧器合成的玻璃颗粒沉积在起始棒表面上而生成玻璃颗粒沉积体,其特征在于
三个或多个玻璃颗粒合成燃烧器以燃烧器之间的每一间隔可以调节的方式排布,且当从一组燃烧器的一端计数时,位于奇数位置的奇数燃烧器的玻璃颗粒合成条件和位于偶数位置的偶数燃烧器的玻璃颗粒合成条件进行不同的设置,从而玻璃颗粒沉积在起始棒的表面上,生产出在纵向方向上外径波动较小的玻璃颗粒沉积体。
2.如权利要求1所述的用于生产玻璃颗粒沉积体的方法,其特征在于玻璃颗粒合成燃烧器的总数最好是奇数。
3.如权利要求1或2所述的用于生产玻璃颗粒沉积体的方法,其特征在于设定一组具有更大的每一燃烧器原料流量的燃烧器之间的间隔L,以满足下述公式(1),其中该组燃烧器是在从一端计数时位于奇数位置的一组燃烧器和位于偶数位置的一组燃烧器中选择的,该组每一燃烧器原料流量较小的燃烧器相对于另一组燃烧器中的相邻燃烧器以L/2的间隔排布。
10a≤L≤A    (1)
在公式(1)中,L是该组中每一燃烧器原料流量较大的燃烧器的燃烧器-燃烧器间隔(mm),a是具有最大原料流量的每一燃烧器的原料流量(升/分钟)÷22.4(升/摩尔)×60(克/摩尔),A是目标玻璃颗粒沉积体的外径(mm)。
4.如权利要求3所述的用于生产玻璃颗粒沉积体的方法,其特征在于燃烧器-燃烧器间隔与设定值的偏差在设定值的+10%至-10%的范围内。
5.如权利要求1至4任一所述的用于生产玻璃颗粒沉积体的方法,其特征在于设定玻璃颗粒合成燃烧器的玻璃颗粒合成条件,从而使供应到每一燃烧器的气体量交替不同。
6.如权利要求1至4任一所述的用于生产玻璃颗粒沉积体的方法,其特征在于设定玻璃颗粒合成燃烧器的玻璃颗粒合成条件,从而使每一燃烧器的结构交替不同。
7.一种用于生产玻璃颗粒沉积体的设备,其中多个玻璃颗粒合成燃烧器与转动的起始棒相对排布,由所述玻璃颗粒合成燃烧器合成的玻璃颗粒沉积在起始棒表面上,从而生产玻璃颗粒沉积体,其特征在于所述设备包含以每一燃烧器间隔调节为预定值的方式排布的三个或多个玻璃颗粒合成燃烧器,且在从一组燃烧器的一端计数时,位于奇数位置的奇数燃烧器的结构和位于偶数位置的偶数燃烧器的结构设置不同,从而生产在纵向方向上外径波动较小的玻璃颗粒沉积体。
8.如权利要求7所述的用于生产玻璃颗粒沉积体的设备,其特征在于三个或多个玻璃颗粒合成燃烧器的总数是奇数。
9.如权利要求7或8所述的用于生产玻璃颗粒沉积体的设备,其特征在于所述一组燃烧器分成两排,当从垂直于所述成排燃烧器的方向观察时,两排燃烧器可以看作一个燃烧器组阵列,当从一端计数时位于奇数位置的燃烧器排成一排,位于偶数位置的燃烧器排成另一排。
CN02800543A 2001-03-06 2002-03-06 生产玻璃颗粒沉积体的方法和设备 Pending CN1457325A (zh)

Applications Claiming Priority (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2001062091 2001-03-06
JP62091/2001 2001-03-06
JP2002038080A JP2002338258A (ja) 2001-03-06 2002-02-15 ガラス微粒子堆積体の製造方法及び装置
JP38080/2002 2002-02-15

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN1457325A true CN1457325A (zh) 2003-11-19

Family

ID=26610700

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN02800543A Pending CN1457325A (zh) 2001-03-06 2002-03-06 生产玻璃颗粒沉积体的方法和设备

Country Status (5)

Country Link
US (1) US20030101770A1 (zh)
JP (1) JP2002338258A (zh)
CN (1) CN1457325A (zh)
DE (1) DE10291161T5 (zh)
WO (1) WO2002070415A1 (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101492244B (zh) * 2008-12-29 2011-04-13 富通集团有限公司 一种制造光纤预制棒的装置和方法
CN107540205A (zh) * 2017-09-07 2018-01-05 浙江富通光纤技术有限公司 光纤预制棒外包层的制造方法
CN113354263A (zh) * 2021-07-03 2021-09-07 四川神光石英科技有限公司 一种生产合成石英玻璃的方法及设备

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3512027B2 (ja) * 2001-09-20 2004-03-29 住友電気工業株式会社 多孔質母材の製造方法
US7404302B2 (en) * 2004-05-27 2008-07-29 Corning Incorporated Method of depositing glass soot
JP2012193057A (ja) * 2011-03-15 2012-10-11 Sumitomo Electric Ind Ltd ガラス微粒子堆積体の製造方法
DE102012013134B4 (de) * 2012-07-03 2014-04-03 Heraeus Quarzglas Gmbh & Co. Kg Verfahren zur Herstellung von Zylindern aus Quarzglas
JP6006185B2 (ja) * 2012-09-24 2016-10-12 信越化学工業株式会社 光ファイバ用多孔質ガラス堆積体の製造方法
EP3218317B1 (en) 2014-11-13 2018-10-17 Gerresheimer Glas GmbH Glass forming machine particle filter, a plunger unit, a blow head, a blow head support and a glass forming machine adapted to or comprising said filter
US10464838B2 (en) * 2015-01-13 2019-11-05 Asi/Silica Machinery, Llc Enhanced particle deposition system and method
JPWO2019044805A1 (ja) * 2017-08-29 2020-10-01 住友電気工業株式会社 ガラス微粒子堆積体の製造方法、ガラス母材の製造方法及びガラス母材

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4568370A (en) * 1982-09-29 1986-02-04 Corning Glass Works Optical fiber preform and method
JPS60191028A (ja) * 1984-03-07 1985-09-28 Sumitomo Electric Ind Ltd 高純度ガラス体の製造方法
US4684384A (en) * 1986-02-27 1987-08-04 Corning Glass Works Conveyor deposition method and apparatus for making optical fiber preforms
US5116400A (en) * 1990-09-20 1992-05-26 Corning Incorporated Apparatus for forming a porous glass preform
US5211732A (en) * 1990-09-20 1993-05-18 Corning Incorporated Method for forming a porous glass preform
JPH0825760B2 (ja) * 1991-08-30 1996-03-13 信越石英株式会社 多孔質ガラス母材の製造方法
US5203898A (en) * 1991-12-16 1993-04-20 Corning Incorporated Method of making fluorine/boron doped silica tubes
KR950000588A (ko) * 1993-06-18 1995-01-03 쿠라우찌 노리타카 싱글모드광파이버모재의 제조방법
JP3290559B2 (ja) * 1995-05-26 2002-06-10 信越化学工業株式会社 光ファイバ用多孔質ガラス母材の製造方法
US5822488A (en) * 1995-10-04 1998-10-13 Sumitomo Electric Industries, Inc. Single-mode optical fiber with plural core portions
JP3131162B2 (ja) * 1996-11-27 2001-01-31 信越化学工業株式会社 光ファイバプリフォームの製造方法
JPH1121143A (ja) * 1997-06-30 1999-01-26 Sumitomo Electric Ind Ltd 光ファイバ用母材の製造方法
DE19827945C1 (de) * 1998-06-25 1999-06-24 Heraeus Quarzglas Verfahren und Vorrichtung für die Herstellung einer porösen SiO¶2¶-Vorform
US6705127B1 (en) * 1998-10-30 2004-03-16 Corning Incorporated Methods of manufacturing soot for optical fiber preforms and preforms made by the methods
DE60019029T2 (de) * 1999-07-02 2006-02-16 Shin-Etsu Chemical Co., Ltd. Verfahren und Vorrichtung zum herstellen einer Vorform aus Glas für optische Fasern mittels des Aussenabscheidungsverfahrens
US6474106B1 (en) * 1999-11-30 2002-11-05 Corning Incorporated Rare earth and alumina-doped optical fiber preform process
US6748768B2 (en) * 2000-12-15 2004-06-15 Corning Incorporated Apparatus and method of doping silica with fluorine during laydown

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101492244B (zh) * 2008-12-29 2011-04-13 富通集团有限公司 一种制造光纤预制棒的装置和方法
CN107540205A (zh) * 2017-09-07 2018-01-05 浙江富通光纤技术有限公司 光纤预制棒外包层的制造方法
CN113354263A (zh) * 2021-07-03 2021-09-07 四川神光石英科技有限公司 一种生产合成石英玻璃的方法及设备

Also Published As

Publication number Publication date
JP2002338258A (ja) 2002-11-27
US20030101770A1 (en) 2003-06-05
WO2002070415A1 (fr) 2002-09-12
DE10291161T5 (de) 2004-04-22

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1457325A (zh) 生产玻璃颗粒沉积体的方法和设备
CN1807302A (zh) 制造玻璃棒的方法
CN103771696A (zh) 一种制造光纤预制棒外包层的方法及装置
CN100340507C (zh) 制造多孔玻璃粒子沉积体的方法和用于合成玻璃粒子的燃烧器
CN86103566A (zh) 产生玻璃微粒子用燃烧器
US6837077B2 (en) Method for producing soot body
CN1225423C (zh) 多管燃烧器及采用此多管燃烧器制造玻璃预型体的方法
US7716951B2 (en) Method for manufacturing article comprising deposited fine glass particles
JP4424232B2 (ja) 多孔質ガラス母材の製造方法
CN108349780B (zh) 光纤用玻璃母材的制造方法
CN1195689C (zh) 通过无燃烧水解制备光学纤维预型体的方法和装置
US7441417B2 (en) Outside vapor deposition apparatus for making optical fiber preform
WO2006080294A1 (ja) 光ファイバ用石英ガラス母材およびその製造方法
CN1286751C (zh) 使用外部气相沉积法制造光纤预制棒的方法和设备
US7726153B2 (en) Method of manufacturing glass particulate stacked body
EP1340724A1 (en) Method and device for manufacturing glass particulate sedimented body
KR102569042B1 (ko) 유리 미립자 퇴적체의 제조 방법, 유리 모재의 제조 방법 및 유리 미립자 퇴적체
US20040172977A1 (en) Method of producing glass particle-deposited body
KR20060094002A (ko) 기상 외부 증착 방법에 의한 광섬유 모재 제작 장치
US20230331618A1 (en) Method and facility for producing optical fiber base material
JP2002338257A (ja) ガラス微粒子堆積体製造装置及び製造方法
CN1819977A (zh) 光纤母材的制造方法
WO2001017918A1 (en) Apparatus for making a glass preform by flame hydrolysis
JP2004035282A (ja) 光ファイバ用多孔質母材の製造方法
JPH0777968B2 (ja) 光ファイバープリフォーム母材の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication