CN1450669A - 压电变压器器件、压电变压器外壳及其制造方法 - Google Patents

压电变压器器件、压电变压器外壳及其制造方法 Download PDF

Info

Publication number
CN1450669A
CN1450669A CN02122609A CN02122609A CN1450669A CN 1450669 A CN1450669 A CN 1450669A CN 02122609 A CN02122609 A CN 02122609A CN 02122609 A CN02122609 A CN 02122609A CN 1450669 A CN1450669 A CN 1450669A
Authority
CN
China
Prior art keywords
piezoelectric transformer
housing parts
lead frame
case part
importation
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN02122609A
Other languages
English (en)
Inventor
玄富焕
李旭熙
罗基龙
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Electro Mechanics Co Ltd filed Critical Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Publication of CN1450669A publication Critical patent/CN1450669A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/88Mounts; Supports; Enclosures; Casings
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/40Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and electrical output, e.g. functioning as transformers

Abstract

本发明揭示了一种具有延伸到接触压电变压器并弹性支持压电变压器的引线架的外壳以及一种制造该外壳的方法。该外壳具有:上部外壳部分,至少具有两个凸出弹性支持压电变压器的第一引线架;以及下部外壳部分,至少具有两个凸出弹性接触压电变压器下表面的输入部分和输出部分的第二引线架。第一引线架和第二引线架延伸到上部外壳部分和下部外壳部分的外部,并将压电变压器容纳在上部外壳部分和下部外壳部分内,以便第一引线架和第二引线架弹性支持压电变压器。通过集成构造压电变压器的外壳和引线架,外壳可以容易地接触压电变压器并且可以防止接触断开。

Description

压电变压器器件、压电变压器外壳及其制造方法
技术领域
本发明涉及压电变压器器件、压电变压器外壳及其制造方法,更具体地说,本发明涉及压电变压器器件、压电变压器外壳及其制造方法,其中外壳具有弹性延伸到与压电元件的输入端和输出端相连的集成引线架,还包括围绕在压电变压器两侧的一对外壳部件,并且该引线架延伸到外壳之外。
背景技术
因为与线圈型变压器相比,压电变压器的尺寸和厚度小,所以近期通常广泛使用压电变压器,并且它还具有效率高、绝缘性能好和良好不燃性的特征。这种压电变压器与反相器一起用于彩色液晶显示器的背照和高压发生电路。目前,引入彩色液晶显示器背照反相器的产品包括笔记本计算机,PDA(个人数字助理)、DVC(数码摄像机)、DSC(数码相机),高压发生电路用于吸尘器、空气净化器以及臭氧发生器。
以下将说明压电变压器的结构和工作原理。在被称为DC高压发生电路的压电变压器中,当在压电变压器的驱动部分施加固有谐振频率时,则在其振动部分通过压电效应,感应出高压。尽管可以将压电变压器分类为各种压电变压器,但是通常使用Rosenberg型压电变压器,它采用纵向振动矩形压电陶瓷。
图1示出了Rosenberg型压电变压器的结构。如图所示,在输入部分120的上表面和下表面对称设置电极面110,并在输出部分130的端面设置电极面140。在厚度(T)方向,对具有输入电极110的输入部分120进行极化,而在长度(L)方向,对具有输出电极的输出部分130进行极化。在对输入电极施加具有压电元件谐振频率的AC电压时,根据压电效应,输出电极产生电压,并因此将电功率送到负载。也就是说,通过超声机械振动,在输出部分将施加到输入部分的AC电压转换为高压,从而升高了电压。
如上所述,压电变压器包括输入部分120和输出部分130。输入部分用作驱动部分,用于将输入电能转换为机械振动能量,并且还包括位于其上表面和下表面的输入电极。输出部分用作发生部分,用于将机械振动能量转换为电能,并且包括位于其右端面的输出电极。在对输入部分施加电压时,输入部分发生机械振动。机械振动从长度方向传递到输出部分,并因此因为机械振动产生压电效应,从而产生电压。利用压电变压器的输入部分与输出部分的形状确定输入电压与输出电压之比。
图2示出了单板型λ模式压电变压器的形状和电极图形。如图所示,在压电变压器的输入部分的上表面和下表面印有输入电极210,在压电变压器输出部分的端面设置“U”型输出电极220。
图3和图4示出了用于容纳这种压电变压器的传统外壳。图3和图4所示的压电变压器和外壳在第8-32135号日本专利公开文本中被披露。焊接线305和306连接到λ模式压电变压器301输入部分和输出部分的节点支持点的中心,然后连接到塑料外壳307。在4位置,对外壳设置保持凸出部308,保持凸出部用于保持从输入部分和输出部分延伸的焊接线305和306。对压电变压器301涂粘合剂,并粘附到外壳内。
传统压电变压器的这种外壳结构简单。然而,由于利用焊接线305和306焊接压电变压器的两个电极部分并将压电变压器安装到PCB310上,所以因为要连接焊接线,就难以实现批量生产和提高质量,并且因为出现焊接线断开和增加了处理步骤,所以增加了制造成本。
发明内容
因此,考虑到现有技术存在的上述问题,提出本发明,并且本发明目的在于提供一种压电变压器的接触结构和一种在其内将引线架与外壳集在一起从而使引线架容易接触压电变压器并防止接触断开的外壳。
本发明的另一个目的是提供一种具有引线架、适于弹性支持压电变压器从而改善了结构稳定性和运行效果的外壳。
为了实现上述目的,本发明提供了一种用于容纳压电变压器、包括上部外壳部分的外壳,该压电变压器具有分别包括多个电极的电压输入部分和电压输出部分,该上部外壳部分至少具有两个从其端部伸出的弹性接触压电变压器上表面的输入部分某点和输出部分某点的第一引线架。此外,该外壳还包括下部外壳部分,该下部外壳部分至少具有两个从其端部伸出的弹性接触压电变压器下表面的输入部分某点和输出部分某点的第二引线架。第一引线架和第二引线架延伸到上部外壳部分和下部外壳部分之外,该压电变压器放置在上部外壳部分和下部外壳部分内,从而由第一引线架和第二引线架弹性支持压电变压器。
根据另一个实施例,本发明提供了一种用于容纳压电变压器、包括上部外壳部分的外壳,该压电变压器具有上表面、下表面以及与上表面和下表面相连的侧面,并且具有分别包括多个电极的电压输入部分和电压输出部分,该上部外壳部分围绕压电变压器的上表面和侧面并且具有I)至少两个在其上形成的第一开口,和II)至少两个由导电弹性材料制成的分别从侧面之一延伸到上部外壳部分的第一开口内并从延伸端突出以至少接触压电变压器的一个电极的第一引线架。此外,外壳还包括下部外壳部分,该下部外壳部分围绕压电变压器的下表面和侧面,并且具有i)至少两个在其上形成的第二开口,和ii)至少两个由导电弹性材料制成的分别从侧面延伸到下部外壳部分的第二开口内并从延伸端凸出以至少接触压电变压器的一个电极的第二引线架。
根据又一个实施例,本发明提供了一种用于容纳压电变压器、包括第一外壳部分的外壳,该压电变压器具有上表面和下表面以及与上表面和下表面相连的侧面,并且在其侧面具有分别包括多个电极的电压输入部分和电压输出部分,该第一外壳部分围绕在其上形成电极的压电变压器侧面之一,并且具有I)至少两个在其上形成的位于对应于压电变压器的电极位置的第一开口,和II)至少两个由导电弹性材料制成的分别从侧面伸出到上部外壳部分的第一开口内并从延伸端凸出以至少接触压电变压器的一个电极的第一引线架。此外,该外壳还包括第二外壳部分,该第二外壳部分围绕压电变压器的另一个侧面,并且具有i)至少两个在其上形成的位于对应于压电变压器的电极位置的第二开口,和ii)至少两个由导电弹性材料制成的分别从侧面伸出到下部外壳部分的第二开口内并从延伸端凸出以至少接触压电变压器的一个电极的第二引线架。此外,该外壳还包括安装在第一外壳部分的中心部位和第二外壳部分的中心部位,将第一外壳部分和第二外壳部分互相接合在一起的夹子。
本发明提供了一种制造用于容纳压电变压器的外壳的方法,该压电变压器具有电压输入部分和电压输出部分,该方法包括步骤:制备一对包括直角环形架、其一侧分别被切掉的引线架,引线架的切掉侧横向延伸到接触压电变压器的输入接触点和输出接触点;通过在引线架的切掉侧进行注塑成型并以这样的方式在外壳部分形成开口,以致引线架的切掉侧可以从此伸出以弹性支持压电变压器,在引线架的切掉侧设置一对外壳部分,用于容纳压电变压器;除了引线架的引线端部分,卸下延伸到这对外壳部分之外的引线架;并向着外壳部分的表面弯曲引线端部分以接触该表面,从而将该外壳部分安装到PCB上。
此外,本发明还提供了一种压电变压器器件,该压电变压器器件包括:压电变压器,具有矩形上表面和矩形下表面以及与上表面和下表面相连的侧面,该压电变压器还具有形成在两个横向平分的半压电变压器中的一个半压电变压器的上表面和下表面上的输入部分,以及形成在部分侧面和与另一个半压电变压器的侧面相邻的上表面上的输出部分;上部外壳部分,围绕压电变压器的上表面和侧面,并且具有I)至少两个成型在其上以露出部分输入部分和部分输出部分的第一开口,和II)至少两个由导电弹性材料制成的分别从一个侧面延伸到上部外壳部分的第一开口内并从延伸端凸出以接触压电变压器的输入部分和输出部分的第一引线架;以及下部外壳部分,围绕压电变压器的下表面和侧面,并且具有i)至少两个在其上以露出部分输入部分和部分压电变压器的第二开口,和ii)至少两个由导电弹性材料制成的分别从一个侧面延伸到下部外壳部分的第二开口内并从延伸端凸出以接触与压电变压器的输出部分相邻部分的第二引线架。
本发明还提供了一种压电变压器器件,该压电变压器器件包括:压电变压器,具有矩形上表面和矩形下表面以及与上表面和下表面相连的侧面,还具有形成在压电变压器的中部的上表面和下表面以及侧面上的输入部分和形成在压电变压器一端的上表面和下表面以及侧面上的输出部分;上部外壳部分,围绕压电变压器的上表面和侧面,并且具有I)至少两个在其上形成的以露出部分输入部分和部分输出部分的第一开口,和II)至少两个由导电弹性材料制成的分别从一个侧面延伸到上部外壳部分的第一开口内并从延伸端凸出以接触压电变压器的输入部分和输出部分的第一引线架;以及下部外壳部分,围绕压电变压器的下表面和侧面,并且具有i)至少两个在其上形成的以露出部分输入部分和部分压电变压器的第二开口,和ii)至少两个由导电弹性材料制成的分别从一个侧面延伸到下部外壳部分的第二开口内并从延伸端凸出以接触压电变压器的输入部分和输出部分的第二引线架。
此外,本发明还提供了一种压电变压器器件,该压电变压器器件包括:压电变压器,具有矩形上表面和矩形下表面以及与上表面和下表面相连的侧面,还具有形成在压电变压器的中部两个侧面上的输入部分和形成在压电变压器一端的两个侧面上的输出部分;第一外壳部分,围绕在其上形成输入部分和输出部分的两个侧面中的一个侧面和与此侧面相邻的两个侧面,并且具有I)至少两个在其上形成的以露出部分输入部分和部分输出部分的第一开口,和II)至少两个由导电弹性材料制成的分别从侧面延伸到第一外壳部分的第一开口内并从延伸端凸出以接触压电变压器的输入部分和输出部分的第一引线架;以及第二外壳部分,围绕在其上形成电极的两个侧面中的另一个侧面和与此侧面相邻的两个侧面,并且具有i)至少两个在其上形成的以露出部分输入部分和部分输出部分的第二开口,和ii)由导电弹性材料制成的分别从侧面延伸到下部外壳部分的第二开口内并从延伸端凸出以接触压电变压器的输入部分和输出部分的第二引线架;以及夹子,安装在第一外壳部分的中心部位和第二外壳部分的中心部位以将第一外壳部分和第二外壳部分互相接合在一起。
附图说明
根据以下结合附图所做的详细说明,可以更清楚地理解本发明的上述以及其它目的、特征和优势,附图包括:
图1示出Rogenberg型压电变压器的结构和工作原理透视图;
图2示出单板型压电变压器的透视图;
图3示出根据现有技术的压电变压器及其外壳的透视图;
图4示出处于组装状态的传统压电变压器外壳的截面图;
图5示出根据本发明的单板型压电变压器外壳的分解透视图;
图6a示出处于组装状态的图5所示的单板型压电变压器外壳的透视图;
图6b示出具有不同输出端子图5所示的单板型压电变压器外壳的透视图;
图7示出图5所示的单板型压电变压器外壳的制造过程;
图8示出图6b所示的单板型压电变压器外壳制造过程;
图9示出根据本发明的层压式压电变压器外壳的分解透视图;
图10示出处于组装状态的图9所示的外壳的透视图;
图11示出图9所示外壳的制造过程;
图12示出根据此实施例的层压式压电变压器外壳制造过程;以及
图13示出处于组装状态的图12所示的外壳的透视图。
具体实施方式
现在,将参考附图,利用实例进一步详细说明本发明。
图5示出单板型压电变压器外壳的分解透视图,图6a示出被组装的图5所示的单板型压电变压器外壳的透视图,图6b示出具有不同输出端子的图5所示的单板型压电变压器外壳的透视图,图7示出图5所示的单板型压电变压器外壳的制造过程。
参考图5,图5示出根据本发明的压电变压器和该压电变压器的外壳,其中围绕压电变压器的外壳包括上部外壳部分11和下部外壳部分12。压电变压器13具有上表面、下表面和与上表面和下表面相连的侧面,并对压电变压器13设置用于施加电压的输入部分和用于产生电压的输出部分。
在此实施例中,以λ模式压电变压器作为压电变压器。因此,将输入部分设置在压电变压器13的右半部分,并在其上表面和下表面的中心形成模式输入接触点15。在压电变压器左端设置输出部分,并在其中心形成λ模式输出接触点16。尽管在压电变压器的上表面和下表面上分别形成输出接触点16,但是也可以仅形成在上表面和下表面之任一上。输入接触点通常位于输入部分的振动节点上。因此,如果压电变压器为λ/2模式,则在对应于压电元件全长1/2的位置上形成输入接触点。在这些点,输入引线架与压电变压器接触。
与上部外壳部分11集成在一起形成的第一引线架18和20与接触点15和16接触以在它们之间实现电连接。在上部外壳部分对应于输入接触点15和输出接触点16的位置上形成第一开口23。最好设置两个开口23。每个第一开23分别从上部外壳部分11的一侧延伸到中部。第一引线架18和20弹性凸出到压电变压器并与压电变压器接触。在下部外壳部分12形成与上部外壳部分11的第一开口23以及第一引线架18和20具有相同形状的第二开口23′和第二引线架18′和20′。第一引线架18和20中的一个引线架18以及第二引线架18′和20′中的一个引线架18′与输出接触点16接触以作为输出端子。另一个引线架20和20′与输入接触点15接触以作为输入端子。第一和第二引线架18、20、18′、20′均由导电弹性材料制成,并且最好由具有良好电导率的铜合金制成。将第一和第二引线架电连接到压电变压器13并用于弹性支持压电变压器13。
上部外壳部分11和下部外壳部分12由弹性材料制成。在下部外壳部分12的侧面至少设置一个钩子19和21,并在上部外壳部分的侧面至少设置一个与钩子19和21匹配的钩扣边缘27。因此,通过将钩子19和21接合钩扣边缘27,可以将上部外壳部分和下部外壳部分互相接合在一起。
用作输入端子和输出端子的第一引线架和第二引线架18、18′、20和20′延伸到上部外壳部分11和下部外壳部分12的外部并被弯曲到接近接触外壳部分的外部侧面。引线架的弯曲端用作输入PCB焊接部分22和输出PCB焊接部分17。焊接部分17和22靠近接触外壳部分的下表面,如图6a所示。
在此实施例中,最好在上部外壳部分11和下部外壳部分12内部设置凸块29以支持压电变压器13。凸块29的形状最好为垂直于压电变压器的横向的三棱形。凸块29位于压电变压器的振动节点上。更具体地说,在此实施例中,凸块29位于对应于压电变压器的1/4和3/4长度的位置上。凸块29用于在外壳与压电变压器之间设置小间隙以避免因为振动而分离压电变压器,它还用于使压电变压器易产生振动。因此,压电变压器13由第一引线架18和20以及第二引线架18′和20′支持,并且在其振动时,不会遭受任何干扰。因此,因为凸块29避免压电变压器与外壳10直接接触,所以可以保护压电变压器13和外壳10并且可以防止因为振动而分离压电变压器。
另一方面,从输出端子18延伸出来的输出焊接部分17′可以位于外壳10端面的中心位置,如图6b所示。利用成型在外壳10侧面中心位置的输出焊接部分17′,可以避免高压输出干扰其它部件并且可以解决高压下的绝缘问题。
参考图9至图11,它们示出了根据本发明另一个实施例的压电变压器以及压电变压器外壳。图9示出根据本发明的层压式压电变压器外壳的分解透视图,图10示出图9所示的被组装的外壳的透视图,图11示出图9所示外壳的制造过程。
对于图9所示的实施例情况,根据本实施例的外壳包括上部外壳部分31和下部外壳部分32,它们与第一引线架35和第二引线架45集成成型在一起。根据此实施例的外壳通常用于λ/2振动模式。
上部外壳部分31和下部外壳部分32均由诸如塑料的绝缘材料制成,并利用在其上形成的钩子38和钩扣边缘39互相接合在一起。
此实施例采用λ/2模式压电变压器。因此,在对应于压电变压器全长的中心位置形成λ/2模式输入接触点43。此外,在压电变压器右端的上表面和下表面上成型λ/2模式输出接触点44。将接触点43和44形成在两个表面上。可以将输出接触点44形成在这两个表面中的任何一个上。
根据此实施例的引线架以及输入端子和输出端子的形状与图5所示的相同。通常,将输入接触点形成在压电变压器输入部分的振动节点上。如果压电变压器为λ模式,则输入接触点位于压电变压器输入部分的中心位置。在这些点,输入引线架接触压电变压器。
与在图5所示实施例中相同,对着压电变压器33凸出的第一引线架35和第二引线架45弹性支持压电变压器并电接触压电变压器。从外壳延伸出来的第一引线架35和第二引线架45形成焊接部分34和37,并与图5所示的实施例相同,在外壳的内部设置凸块36。从输出端子延伸出来并曝露在外部的输出焊接部分位于外壳侧壁的中心位置,与图6b所示的实施例相同。
请参考图12和图13,它们示出根据本发明进一步实施例的压电变压器及其外壳。图12示出根据此实施例的层压式压电变压器外壳的制造过程,图13示出图12所示的被组装的外壳的透视图。
根据此实施例的外壳用于层压式压电变压器。这种层压式压电变压器通常用于笔记本计算机。总之,该压电变压器具有λ/2振动模式。尽管此外壳的基本结构与图9所示层压式压电变压器外壳的结构大致相同,但是因为用于笔记本计算机的外壳60总体尺寸增大,所以首先利用形成在其端部的钩子64和钩扣边缘64将第一外壳62和第二外壳63互相接合在一起,然后利用设置在外壳中部的夹子67更安全地接合在一起。
在根据此实施例的压电变压器61的两个侧面设置输入部分和输出部分。由于压电变压器采用λ/2模式,所以将输入部分76设置在压电变压器两个侧面的中心位置,而将输出部分77设置在压电变压器端部的两个侧面。
为了包围压电变压器61的侧面,外壳60包括分别成型为“U”型的第一外壳部分62和第二外壳部分63。在对应于压电变压器的输入部分76和输出部分78的位置,第一外壳部分62形成有第一开口78。第一外壳部分62包括第一引线架72和73,它们从确定第一开口的外壳部分62的侧面向着第一开口78的内部伸出。第一引线架72和73对着压电变压器61凸出以弹性接触压电变压器61。
第二外壳部分63形成有第二开口78′以及第二引线架72′和73′,第二开口78′以及第二引线架72′和73′的作用与第一外壳部分62的第一开口78以及第一引线架72和73的作用相同。第一和第二引线架72、72′、73以及73′中的引线架72和72′接触输入部分76,从而用作输入端子。另外两个引线架73和73′接触输出部分77,从而用作输出端子。第一和第二引线架72、72′、73以及73′由导电弹性材料制成,并且最好是由具有良好电导率的铜合金制成。还将第一和第二引线架电接合到压电变压器61并用于弹性支持压电变压器61。
第一外壳部分62和第二外壳部分63由弹性材料制成。在第一外壳部分62和第二外壳部分63的侧面至少设置一组钩子和钩扣边缘64和84。因此通过接合钩子64和钩扣边缘84,将第一外壳部分和第二外壳部分接合在一起。
用作输入端子和输出端子的第一和第二引线架72、72′、73以及73′延伸到第一外壳部分62和第二外壳部分63的外部,并被弯曲到接近接触外壳部分的外部侧面。引线架的弯曲端用作输入PCB焊接部分70和输出PCB焊接部分71。焊接部分70和71最好是靠近接触外壳下表面,如图13所示。
与上述实施例的情况相同,输入部分的位置依赖于压电变压器的振动模式。在第一和第二外壳部分62和63的内部设置支持物68以支持压电变压器61。将每个支持物制成三角形并设置在外壳部分62和63的下部。更具体地说,以这样的方式将支持物68设置在第一和第二外壳62和63内的角落和中点位置,即第一外壳部分62的支持物68面对第二外壳部分63的支持物68。
将金属板构成的夹子67制成为截面为“U”型,并利用粘合剂69安装到压电变压器61上。该粘合剂含有硅成分,因此具有一定弹性。最好在第一和第二外壳部分62和63的中部分别设置在内部装有夹子67的凹槽85。在此实施例中,由于外壳部分的形状仅围绕压电变压器61的侧面,所以外壳部分没有上表面和下表面。利用此配置,对于大规模LCD产品,可以降低外壳相对于压电变压器的有效高度,从而使产品实现小型化。
与图5和图9所示的上述实施例相同,在第一和第二外壳部分的内部设置凸块75以支持压电变压器,并在它们之间存在间隙。此外,根据此实施例的输出焊接部分71可以位于外壳侧面的中心位置。
图7、图11和图12示出制造根据本发明的压电变压器外壳的制造方法。现在将参考图7说明其中一种外壳制造方法。
如图7所示,制造根据本发明的压电变压器外壳的方法从制备引线架开始。在此步骤,将引线架制成直角环形引线架25和26。分别切掉引线架25和26的一侧。将引线架25和26的切掉侧的两端弯曲到横向凸出,从而形成将与压电变压器的输入接触点15和输出接触点16接触的第一引线架18和20以及第二引线架18′和20′。
在与该引线架的切掉侧相对的引线架25和26的整体侧的端部形成定位孔28以便于将它们接合到外壳。定位孔28用作注塑模具的导孔从而相对于注塑模具精确定位引线架。
之后,利用诸如塑料的绝缘材料,对引线架的切掉侧进行注塑成型,从而形成外壳部分的外表。在对应于引线架端部的位置,注塑成型外壳部分形成有第一和第二开口,以致可以将引线架的端部插入开口内以弹性支持压电变压器。因此,引线架的端部可以少许上下移动以弹性支持压电变压器。
随后,以这样的方式卸下从外壳部分伸出的引线架,即只保留引线架的凸出部分引线端。弯曲凸出的引线端以接触外壳部分的下表面,构成焊接部分。为了便于安装到印刷电路板上,对引线端镀锌(Sn)。
在注塑成型的过程中,最好是在外壳部分的内表面形成凸块。该凸块位于压电变压器的振动节点上,并将该凸块制成三棱形。
根据本发明的外壳制造方法,还可以采用图8所示的变换引线架25′和26′以制备图6b所示的输出焊接部分。更具体地说,为了使输出焊接部分从外壳侧面凸出,通过外壳侧面,将输出引线端子插入外壳。
尽管参考图7所示实施例对压电变压器外壳的制造方法进行了说明,但是还可以利用同样的制造方法制造图11和图12所示的层压式压电变压器外壳。例如,利用图11所示的支架41和42制备引线架。还利用同样方法制造图12所示的支架65和66。
如上所述,本发明提供了一种压电变压器接触结构和一种在其内将压电变压器的引线架与外壳集成成型在一起从而容易与压电变压器接触并可以防止接触断开的外壳。
此外,本发明还提供了一种外壳,这种外壳具有用于弹性接触压电变压器以方便引出电极的引线架,具有稳定外壳结构并容易将压电变压器安装在PCB上。
此外,本发明还具有超级机械可靠性,可以降低制造成本,可以稳定、有效地制造压电变压器。
尽管以说明为目的对本发明的优选实施例进行了说明,但是,本技术领域内的普通技术人员可以在权利要求所述本发明的实质范围内对其进行各种修改、添加以及替换。

Claims (53)

1.一种用于容纳具有电压输入部分和电压输入部分的压电变压器的外壳,电压输入部分和电压输出部分分别包括多个电极,该外壳包括:
上部外壳部分,至少具有两个从其端部伸出弹性接触压电变压器上表面的输入部分某点和输出部分某点的第一引线架;以及
下部外壳部分,至少具有两个从其端部伸出弹性接触压电变压器下表面的输入部分某点和输出部分某点的第二引线架,
其中第一引线架和第二引线架延伸到上部外壳部分和下部外壳部分之外,压电变压器放置在上部外壳部分和下部外壳部分内以便第一引线架和第二引线架弹性支持该压电变压器。
2.根据权利要求1所述的外壳,其中在上部外壳部分和下部外壳部分的侧面至少设置一组钩子和钩扣边缘以将上部外壳部分和下部外壳部分互相接合在一起。
3.根据权利要求1所述的外壳,其中至少在上部外壳部分和下部外壳部分之一内设置支持压电变压器的凸块。
4.根据权利要求1所述的外壳,其中将凸块制成在方向上垂直于压电变压器的长度方向的三棱形。
5.根据权利要求1所述的外壳,其中将延伸到上部外壳部分和下部外壳部分之外的第一引线架和第二引线架弯曲到接触下部外壳部分的下表面。
6.根据权利要求1所述的外壳,其中在其端部与压电变压器的输出部分接触的第一引线架和第二引线架向外延伸到上部外壳部分和下部外壳部分输出端面的中心位置。
7.一种用于容纳压电变压器的外壳,该压电变压器具有上表面、下表面以及与上表面和下表面相连的侧面,还具有分别包括多个电极的电压输入部分和电压输出部分,该外壳包括:
上部外壳部分,围绕压电变压器的上表面和侧面,并且具有I)至少两个在其上形成的第一开口,和II)至少两个由导电弹性材料制成的分别从侧面之一延伸到上部外壳部分的第一开口内并从延伸端凸出以至少接触压电变压器的一个电极的第一引线架;以及
下部外壳部分,围绕压电变压器的下表面和侧面,并且具有i)至少两个在其上形成的第二开口,和ii)至少两个由导电弹性材料制成的分别从侧面延伸到下部外壳部分的第二开口内并从延伸端凸出以至少接触压电变压器的一个电极的第二引线架。
8.根据权利要求7所述的外壳,其中在上部外壳部分和下部外壳部分的侧面至少设置一组钩子和钩扣边缘以将上部外壳部分和下部外壳部分互相接合在一起。
9.根据权利要求7所述的外壳,其中至少在上部外壳部分和下部外壳部分之一内设置支持压电变压器的凸块。
10.根据权利要求9所述的外壳,其中将凸块制成在方向上垂直于压电变压器的长度方向的三棱形。
11.根据权利要求9所述的外壳,其中将凸块设置在对应于压电变压器全长1/4和3/4的位置。
12.根据权利要求7所述的外壳,其中将第一开口和第二开口设置在这样的位置,即通过它们露出压电变压器的输入部分和输出部分。
13.根据权利要求7所述的外壳,其中设置在上部外壳部分和下部外壳部分侧面的第一引线架和第二引线架的端部沿上部外壳部分和下部外壳部分的侧面延伸,然后弯曲到靠近接触下部外壳部分的下表面。
14.根据权利要求7所述的外壳,其中至少与压电变压器的输出部分接触的第一引线架和第二引线架之一延伸到上部外壳部分和下部外壳部分端面的中心位置。
15.根据权利要求7所述的外壳,其中设置在上部外壳部分和下部外壳部分侧面的第一引线架和第二引线架的端部延伸到上部外壳部分和下部外壳部分的侧面并弯曲到靠近与其相接触。
16.根据权利要求7所述的外壳,其中将接触压电变压器输入部分的第一引线架和第二引线架设置在压电变压器输入部分的振动节点上。
17.根据权利要求16所述的外壳,其中在压电变压器为λ振动模式时,将接触压电变压器的输入部分的第一引线架和第二引线架设置在对应于压电变压器全长1/4的位置。
18.根据权利要求16所述的外壳,其中在压电变压器为λ/2振动模式时,将接触压电变压器的输入部分的第一引线架和第二引线架设置在对应于压电变压器全长1/2的位置。
19.一种用于容纳压电变压器的外壳,该压电变压器具有上表面、下表面以及与上表面和下表面相连的侧面,还在其侧面具有分别包括多个电极的电压输入部分和电压输出部分,该外壳包括:
第一外壳部分,围绕在其上形成电极的压电变压器侧面之一,并且具有I)至少两个在其上形成的位于对应于压电变压器的电极位置的第一开口,和II)至少两个由导电弹性材料制成的分别从侧面伸出到上部外壳部分的第一开口内并从延伸端凸出以至少接触压电变压器的一个电极的第一引线架;
第二外壳部分,围绕在其上形成电极的压电变压器的另一个侧面,并且具有i)至少两个在其上形成的位于对应于压电变压器的电极位置的第二开口,和ii)至少两个由导电弹性材料制成的分别从侧面伸出到下部外壳部分的第二开口内并从延伸端凸出以至少接触压电变压器的一个电极的第二引线架;以及
夹子,安装在第一外壳部分的中心部位和第二外壳部分的中心部位,将第一外壳部分和第二外壳部分互相接合在一起。
20.根据权利要求19所述的外壳,其中将第一外壳部分和第二外壳部分分别制成“U”型。
21.根据权利要求19所述的外壳,其中在第一外壳部分和第二外壳部分的侧面至少设置一组钩子和钩扣边缘以将上部外壳部分和下部外壳部分互相接合在一起。
22.根据权利要求20所述的外壳,其中将钩子设置在第一外壳部分的两个侧面,并将钩扣边缘设置在第二外壳部分的两个侧面。
23.根据权利要求19所述的外壳,其中至少在第一外壳部分和第二外壳部分之一内设置支持压电变压器的凸块。
24.根据权利要求23所述的外壳,其中将凸块制成在方向上垂直于压电变压器长度方向的三棱形。
25.根据权利要求23所述的外壳,其中将凸块设置在对应于压电变压器全长1/4和3/4的位置。
26.根据权利要求19所述的外壳,其中将夹子制成“U”型,并且其两端接合第一外壳部分和第二外壳部分。
27.根据权利要求19所述的外壳,其中夹子包括金属板。
28.根据权利要求19所述的外壳,其中在第一外壳部分和第二外壳部分的中心部位设置在其内装有夹子的凹槽。
29.根据权利要求19所述的外壳,其中在第一外壳部分和第二外壳部分的内表面设置多个支持压电变压器的支持物。
30.根据权利要求29所述的外壳,其中将支持物设置在第一外壳部分和第二外壳部分的角落和中心位置的下部,以便设置在第一外壳部分的支持物和设置在第二外壳部分的支持物彼此相对排列。
31.一种制造用于容纳压电变压器的外壳的方法,该压电变压器具有电压输入部分和电压输出部分,该方法包括步骤:
制备一对包括直角环形架,其一侧分别被切掉的引线架,引线架的切掉侧横向延伸到接触压电变压器的输入接触某点和输出接触某点;
通过在引线架的切掉侧进行注塑成型并在外壳部分形成开口,以致引线架的切掉侧可以从此伸出以弹性支持压电变压器,在引线架的切掉侧设置一对外壳部分,用于容纳压电变压器;
除了引线架的引线端部分,卸下延伸到这对外壳部分之外的引线架;以及
向着外壳部分的表面弯曲引线端部分以接触该表面,从而将该外壳部分安装到PCB上。
32.根据权利要求31所述的方法,该方法进一步包括在这对外壳部分的内表面上对应于压电变压器的输入部分和输出部分的位置设置支持压电变压器的凸块的步骤。
33.根据权利要求31所述的方法,其中从输出接触点延伸出来的引线端从这对外壳部分端面中心部向外延伸。
34.根据权利要求31所述的方法,其中将输入接触点设置在压电变压器输入部分的振动节点上。
35.根据权利要求31所述的方法,其中制备引线架的步骤包括在对着引线架的切掉侧的各侧面的两端设置定位孔的步骤。
36.根据权利要求32所述的方法,其中将凸块设置在压电变压器的振动节点上。
37.一种压电变压器器件,该压电变压器器件包括:
压电变压器,具有矩形上表面和矩形下表面以及与上表面和下表面相连的侧面,还具有形成在两个横向平分的半压电变压器中的一个半压电变压器的上表面和下表面上的输入部分以及形成在部分侧面和与另一个半压电变压器的侧面相邻的上表面上的输出部分;
上部外壳部分,围绕压电变压器的上表面和侧面,并且具有I)至少两个在其上形成的以露出部分输入部分和部分输出部分的第一开口,和II)至少两个由导电弹性材料制成的分别从一个侧面延伸到上部外壳部分的第一开口内并从延伸端凸出以接触压电变压器的输入部分和输出部分的第一引线架;以及
下部外壳部分,围绕压电变压器的下表面和侧面,并且具有i)至少两个在其上形成的以露出部分输入部分和部分压电变压器的第二开口,和ii)至少两个由导电弹性材料制成的分别从一个侧面延伸到下部外壳部分的第二开口内并从延伸端凸出以接触与压电变压器的输出部分相邻部分的第二引线架。
38.根据权利要求37所述的压电变压器器件,其中与上部外壳部分和下部外壳部分分离的第一引线架和第二引线架支持在压电变压器的两端。
39.一种压电变压器器件,该压电变压器器件包括:
压电变压器,具有矩形上表面和矩形下表面以及与上表面和下表面相连的侧面,还具有形成在压电变压器的中部的上表面和下表面以及侧面上的输入部分和形成在压电变压器一端的上表面和下表面以及侧面上的输出部分;
上部外壳部分,围绕压电变压器的上表面和侧面,并且具有I)至少两个在其上形成的以露出部分输入部分和部分输出部分的第一开口,和II)至少两个由导电弹性材料制成的分别从一个侧面延伸到上部外壳部分的第一开口内并从延伸端凸出以接触压电变压器的输入部分和输出部分的第一引线架;以及
下部外壳部分,围绕压电变压器的下表面和侧面,并且具有i)至少两个在其上形成的以露出部分输入部分和部分压电变压器的第二开口,和ii)至少两个由导电弹性材料制成的分别从一个侧面延伸到下部外壳部分的第二开口内并从延伸端凸出以接触压电变压器的输入部分和输出部分的第二引线架。
40.根据权利要求39所述的压电变压器器件,其中与上部外壳部分和下部外壳部分分离的第一引线架和第二引线架支持在压电变压器的两端。
41.根据权利要求39所述的压电变压器器件,其中在上部外壳部分和下部外壳部分的侧面至少设置一组钩子和钩扣边缘以将上部外壳部分和下部外壳部分互相接合在一起。
42.根据权利要求39所述的压电变压器器件,其中设置在上部外壳部分和下部外壳部分侧面的第一引线架和第二引线架的末端延伸到上部外壳部分和下部外壳部分的侧面并弯曲到接近与其接触。
43.一种压电变压器器件,该压电变压器器件包括:
压电变压器,具有矩形上表面和矩形下表面以及与上表面和下表面相连的侧面,还具有形成在压电变压器的中部两个侧面上的输入部分和形成在压电变压器一端的两个侧面上的输出部分;
第一外壳部分,围绕在其上形成输入部分和输出部分的两个侧面中的一个侧面和与此侧面相邻的两个侧面,并且具有I)至少两个在其上形成的以露出部分输入部分和部分输出部分的第一开口,和II)至少两个由导电弹性材料制成的分别从侧面延伸到第一外壳部分的第一开口内并从延伸端凸出以接触压电变压器的输入部分和输出部分的第一引线架;以及
第二外壳部分,围绕在其上形成电极的两个侧面中的另一个侧面和与此侧面相邻的两个侧面,并且具有i)至少两个在其上形成的以露出部分输入部分和部分输出部分的第二开口,和ii)由导电弹性材料制成的分别从侧面延伸到下部外壳部分的第二开口内并从延伸端凸出以接触压电变压器的输入部分和输出部分的第二引线架;以及
夹子,安装在第一外壳部分的中心部位和第二外壳部分的中心部位以将第一外壳部分和第二外壳部分互相接合在一起。
44.根据权利要求43所述的压电变压器器件,其中将第一外壳部分和第二外壳部分制成“U”型。
45.根据权利要求43所述的压电变压器器件,其中在第一外壳部分和第二外壳部分的侧面至少设置一组钩子和钩扣边缘以将上部外壳部分和下部外壳部分互相接合在一起。
46.根据权利要求45所述的压电变压器器件,其中将钩子设置在第一外壳部分的两个端面,将钩扣边缘设置在第二外壳部分的两个端面。
47.根据权利要求43所述的压电变压器器件,其中将夹子制成为“U”型,并且其两端接合第一外壳部分和第二外壳部分。
48.根据权利要求43所述的压电变压器器件,其中夹子包括金属板。
49.根据权利要求43所述的压电变压器器件,其中在第一外壳部分和第二外壳部分的内表面设置多个支持压电变压器的支持物。
50.根据权利要求49所述的压电变压器器件,其中将支持物设置在第一外壳部分和第二外壳部分的角落和中心位置的下部,以便设置在第一外壳部分的支持物和设置在第二外壳部分的支持物彼此相对排列。
51.根据权利要求43所述的压电变压器器件,其中第一引线架和第二引线架的末端延伸到第一外壳部分和第二外壳部分下表面的角落部分并被弯曲到接近与其接触。
52.根据权利要求43所述的压电变压器器件,其中在压电变压器的中心部位设置用于将夹子安装到压电变压器上的装置。
53.根据权利要求52所述的压电变压器器件,其中用于安装夹子的装置是含有硅的粘合剂。
CN02122609A 2002-04-11 2002-06-19 压电变压器器件、压电变压器外壳及其制造方法 Pending CN1450669A (zh)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR10-2002-0019700A KR100476556B1 (ko) 2002-04-11 2002-04-11 압전트랜스 장치, 압전트랜스 하우징 및 그 제조방법
KR19700/2002 2002-04-11

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN1450669A true CN1450669A (zh) 2003-10-22

Family

ID=28786925

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN02122609A Pending CN1450669A (zh) 2002-04-11 2002-06-19 压电变压器器件、压电变压器外壳及其制造方法

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6833653B2 (zh)
JP (1) JP2003309300A (zh)
KR (1) KR100476556B1 (zh)
CN (1) CN1450669A (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108604631A (zh) * 2016-02-15 2018-09-28 埃普科斯股份有限公司 用于产生大气压等离子体的装置

Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4033100B2 (ja) * 2003-09-29 2008-01-16 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイスと圧電デバイスを利用した携帯電話装置および圧電デバイスを利用した電子機器
JP2005151536A (ja) * 2003-10-23 2005-06-09 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶発振器
JP4804902B2 (ja) * 2005-12-09 2011-11-02 株式会社タムラ製作所 圧電トランス装置
US7681290B2 (en) * 2006-10-20 2010-03-23 The Boeing Company Piezoelectric bimorph beam manufacturing method
JP4509152B2 (ja) 2007-08-28 2010-07-21 シャープ株式会社 薄膜圧電トランスおよびその製造方法
KR101343214B1 (ko) * 2012-05-07 2014-01-02 삼성전기주식회사 압전진동모듈
JP6430377B2 (ja) * 2013-05-30 2018-11-28 京セラ株式会社 ユニット、電子機器及び電子機器の製造方法
WO2017043223A1 (ja) * 2015-09-10 2017-03-16 株式会社村田製作所 圧電振動デバイス
US10631072B2 (en) * 2018-06-25 2020-04-21 Google Llc Actuator for distributed mode loudspeaker with extended damper and systems including the same

Family Cites Families (68)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5314727A (en) * 1992-07-28 1994-05-24 Minnesota Mining & Mfg. Co./Regents Of The University Of Minnesota Chemical vapor deposition of iron, ruthenium, and osmium
US6323071B1 (en) * 1992-12-04 2001-11-27 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Method for forming a semiconductor device
JP3370444B2 (ja) 1994-07-11 2003-01-27 株式会社タムラ製作所 圧電トランス
JP2885274B2 (ja) * 1995-02-28 1999-04-19 日本電気株式会社 圧電トランス装置
DE69629228T2 (de) * 1995-02-28 2004-04-22 Nec Corp. Verpackte piezoelektrische Transformatoranordnung
JP2914284B2 (ja) * 1996-03-26 1999-06-28 日本電気株式会社 圧電トランス
JP2885188B2 (ja) * 1996-06-19 1999-04-19 日本電気株式会社 圧電トランス
JP2947198B2 (ja) * 1997-01-28 1999-09-13 日本電気株式会社 圧電トランス
JPH10341045A (ja) * 1997-06-10 1998-12-22 West Electric Co Ltd 圧電トランス
TW417352B (en) * 1997-06-19 2001-01-01 Nippon Electric Co Piezoelectric transformer unit
JP3080153B2 (ja) * 1997-08-15 2000-08-21 日本電気株式会社 圧電トランス
JPH11103101A (ja) * 1997-09-29 1999-04-13 Nippon Cement Co Ltd 圧電トランス素子の収納ケース
US6864356B2 (en) * 1997-12-08 2005-03-08 Nathan Howard Sloane Sixteen amino acid of the antineoplastic protein (ANUP) as a pharmacologically active anti-tumor agent
KR100319888B1 (ko) * 1998-06-16 2002-01-10 윤종용 선택적 금속층 형성방법, 이를 이용한 커패시터 형성 및 콘택홀 매립방법
US6541067B1 (en) * 1998-08-27 2003-04-01 Micron Technology, Inc. Solvated ruthenium precursors for direct liquid injection of ruthenium and ruthenium oxide and method of using same
US5962716A (en) * 1998-08-27 1999-10-05 Micron Technology, Inc. Methods for preparing ruthenium and osmium compounds
US6063705A (en) * 1998-08-27 2000-05-16 Micron Technology, Inc. Precursor chemistries for chemical vapor deposition of ruthenium and ruthenium oxide
US6517616B2 (en) * 1998-08-27 2003-02-11 Micron Technology, Inc. Solvated ruthenium precursors for direct liquid injection of ruthenium and ruthenium oxide
US6074945A (en) * 1998-08-27 2000-06-13 Micron Technology, Inc. Methods for preparing ruthenium metal films
US6780758B1 (en) * 1998-09-03 2004-08-24 Micron Technology, Inc. Method of establishing electrical contact between a semiconductor substrate and a semiconductor device
US6294836B1 (en) * 1998-12-22 2001-09-25 Cvc Products Inc. Semiconductor chip interconnect barrier material and fabrication method
US6203613B1 (en) * 1999-10-19 2001-03-20 International Business Machines Corporation Atomic layer deposition with nitrate containing precursors
KR100389913B1 (ko) * 1999-12-23 2003-07-04 삼성전자주식회사 공정조건을 변화시키면서 화학기상 증착법으로 루테늄막을형성하는 방법 및 그에 의해 형성된 루테늄막
US6627995B2 (en) * 2000-03-03 2003-09-30 Cvc Products, Inc. Microelectronic interconnect material with adhesion promotion layer and fabrication method
EP1282911B1 (en) * 2000-05-15 2018-09-05 Asm International N.V. Process for producing integrated circuits
US7494927B2 (en) * 2000-05-15 2009-02-24 Asm International N.V. Method of growing electrical conductors
KR100403611B1 (ko) * 2000-06-07 2003-11-01 삼성전자주식회사 금속-절연체-금속 구조의 커패시터 및 그 제조방법
KR100372644B1 (ko) * 2000-06-30 2003-02-17 주식회사 하이닉스반도체 비 휘발성 반도체 메모리 소자의 캐패시터 제조방법
US6440495B1 (en) * 2000-08-03 2002-08-27 Applied Materials, Inc. Chemical vapor deposition of ruthenium films for metal electrode applications
US6903005B1 (en) * 2000-08-30 2005-06-07 Micron Technology, Inc. Method for the formation of RuSixOy-containing barrier layers for high-k dielectrics
US6461909B1 (en) * 2000-08-30 2002-10-08 Micron Technology, Inc. Process for fabricating RuSixOy-containing adhesion layers
US6527855B2 (en) * 2000-10-10 2003-03-04 Rensselaer Polytechnic Institute Atomic layer deposition of cobalt from cobalt metallorganic compounds
US6824665B2 (en) * 2000-10-25 2004-11-30 Shipley Company, L.L.C. Seed layer deposition
EP1340269B1 (en) * 2000-11-30 2009-02-25 Asm International N.V. Thin films for magnetic devices
US6346477B1 (en) * 2001-01-09 2002-02-12 Research Foundation Of Suny - New York Method of interlayer mediated epitaxy of cobalt silicide from low temperature chemical vapor deposition of cobalt
JP2002222934A (ja) * 2001-01-29 2002-08-09 Nec Corp 半導体装置およびその製造方法
JP2002285333A (ja) * 2001-03-26 2002-10-03 Hitachi Ltd 半導体装置の製造方法
US6479100B2 (en) * 2001-04-05 2002-11-12 Applied Materials, Inc. CVD ruthenium seed for CVD ruthenium deposition
KR100406534B1 (ko) * 2001-05-03 2003-11-20 주식회사 하이닉스반도체 루테늄 박막의 제조 방법
JP2005504885A (ja) * 2001-07-25 2005-02-17 アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド 新規なスパッタ堆積方法を使用したバリア形成
KR100727372B1 (ko) * 2001-09-12 2007-06-12 토소가부시키가이샤 루테늄착체, 그 제조방법 및 박막의 제조방법
KR20030025494A (ko) * 2001-09-21 2003-03-29 삼성전자주식회사 루테늄막과 금속층간의 콘택을 포함하는 반도체 장치 및그의 제조 방법
US6423619B1 (en) * 2001-11-30 2002-07-23 Motorola, Inc. Transistor metal gate structure that minimizes non-planarity effects and method of formation
KR100805843B1 (ko) * 2001-12-28 2008-02-21 에이에스엠지니텍코리아 주식회사 구리 배선 형성방법, 그에 따라 제조된 반도체 소자 및구리 배선 형성 시스템
US6800548B2 (en) * 2002-01-02 2004-10-05 Intel Corporation Method to avoid via poisoning in dual damascene process
US6824816B2 (en) * 2002-01-29 2004-11-30 Asm International N.V. Process for producing metal thin films by ALD
US6713373B1 (en) * 2002-02-05 2004-03-30 Novellus Systems, Inc. Method for obtaining adhesion for device manufacture
US6972267B2 (en) * 2002-03-04 2005-12-06 Applied Materials, Inc. Sequential deposition of tantalum nitride using a tantalum-containing precursor and a nitrogen-containing precursor
US7008872B2 (en) * 2002-05-03 2006-03-07 Intel Corporation Use of conductive electrolessly deposited etch stop layers, liner layers and via plugs in interconnect structures
US7404985B2 (en) * 2002-06-04 2008-07-29 Applied Materials, Inc. Noble metal layer formation for copper film deposition
US7264846B2 (en) * 2002-06-04 2007-09-04 Applied Materials, Inc. Ruthenium layer formation for copper film deposition
US7005697B2 (en) * 2002-06-21 2006-02-28 Micron Technology, Inc. Method of forming a non-volatile electron storage memory and the resulting device
US7300038B2 (en) * 2002-07-23 2007-11-27 Advanced Technology Materials, Inc. Method and apparatus to help promote contact of gas with vaporized material
US6790773B1 (en) * 2002-08-28 2004-09-14 Novellus Systems, Inc. Process for forming barrier/seed structures for integrated circuits
US6974768B1 (en) * 2003-01-15 2005-12-13 Novellus Systems, Inc. Methods of providing an adhesion layer for adhesion of barrier and/or seed layers to dielectric films
US6737313B1 (en) * 2003-04-16 2004-05-18 Micron Technology, Inc. Surface treatment of an oxide layer to enhance adhesion of a ruthenium metal layer
US20050085031A1 (en) * 2003-10-15 2005-04-21 Applied Materials, Inc. Heterogeneous activation layers formed by ionic and electroless reactions used for IC interconnect capping layers
US7107998B2 (en) * 2003-10-16 2006-09-19 Novellus Systems, Inc. Method for preventing and cleaning ruthenium-containing deposits in a CVD apparatus
JP2005314713A (ja) * 2004-04-27 2005-11-10 L'air Liquide Sa Pour L'etude & L'exploitation Des Procede S Georges Claude ルテニウム膜またはルテニウム酸化物膜の製造方法
US7429402B2 (en) * 2004-12-10 2008-09-30 Applied Materials, Inc. Ruthenium as an underlayer for tungsten film deposition
US7265048B2 (en) * 2005-03-01 2007-09-04 Applied Materials, Inc. Reduction of copper dewetting by transition metal deposition
US20070077750A1 (en) * 2005-09-06 2007-04-05 Paul Ma Atomic layer deposition processes for ruthenium materials
US20070054487A1 (en) * 2005-09-06 2007-03-08 Applied Materials, Inc. Atomic layer deposition processes for ruthenium materials
US20070099422A1 (en) * 2005-10-28 2007-05-03 Kapila Wijekoon Process for electroless copper deposition
TWI332532B (en) * 2005-11-04 2010-11-01 Applied Materials Inc Apparatus and process for plasma-enhanced atomic layer deposition
US7833358B2 (en) * 2006-04-07 2010-11-16 Applied Materials, Inc. Method of recovering valuable material from exhaust gas stream of a reaction chamber
EP2047502A4 (en) * 2006-06-30 2009-12-30 Applied Materials Inc NANO CRYSTAL EDUCATION
US7473634B2 (en) * 2006-09-28 2009-01-06 Tokyo Electron Limited Method for integrated substrate processing in copper metallization

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN108604631A (zh) * 2016-02-15 2018-09-28 埃普科斯股份有限公司 用于产生大气压等离子体的装置
CN108604631B (zh) * 2016-02-15 2022-01-04 埃普科斯股份有限公司 用于产生大气压等离子体的装置

Also Published As

Publication number Publication date
US20030193270A1 (en) 2003-10-16
US6833653B2 (en) 2004-12-21
KR100476556B1 (ko) 2005-03-18
KR20030080864A (ko) 2003-10-17
JP2003309300A (ja) 2003-10-31

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TW517453B (en) Piezoelectric acoustic component
US6445108B1 (en) Piezoelectric acoustic component
CN1150637C (zh) 带有三端子型压电器件的电子元件
CN1419334A (zh) 压电振荡器和包括封闭在壳体内的所述压电振荡器的组件
CN1450669A (zh) 压电变压器器件、压电变压器外壳及其制造方法
CN1830226A (zh) 带嵌入端子的盒子、使用这种盒子的压电电声传感器以及用于生产带嵌入端子的盒子的过程
JP2885188B2 (ja) 圧電トランス
CN1142626C (zh) 梯形滤波器
CN206099707U (zh) 线性振动马达及电子设备
CN209201323U (zh) 发声器件
CN1135691C (zh) 压电装置和使用它的压电谐振器
CN200959550Y (zh) 扁平型振动源及电连接器
CN218514493U (zh) 振膜及扬声器
CN2720593Y (zh) 片式交流瓷介电容器
CN2541937Y (zh) 片式高压瓷介电容器
CN200959551Y (zh) 扁平型振动源及电连接器
CN200959549Y (zh) 扁平型振动源的电连接器
CN1271466A (zh) 用于压电变压器装置的壳体
CN203071893U (zh) 晶片一端固定的电阻焊小型石英晶体谐振器
CN200959552Y (zh) 扁平型振动源及电连接器
CN1206206A (zh) 用于压电变压器的压电基片支承结构以及压电变压器
CN205320279U (zh) 无引线电声换能器结构
JPH0779028A (ja) 圧電トランス
KR200211572Y1 (ko) 압전트랜스용 리드프레임
JP2001189500A (ja) 圧電トランス

Legal Events

Date Code Title Description
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
C02 Deemed withdrawal of patent application after publication (patent law 2001)
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication