CN1433265A

CN1433265A - 对基板作业结果检查装置和方法、电气电路制造系统和方法

Info

Publication number: CN1433265A
Application number: CN02155802A
Authority: CN
Inventors: 河合孝昌; 三井一夫
Original assignee: Fuji Machine Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Fuji Corp
Priority date: 2001-10-11
Filing date: 2002-10-11
Publication date: 2003-07-30
Anticipated expiration: 2022-10-11
Also published as: JP2003124699A; CN100338987C; US6850855B2; JP3965288B2; US20030125895A1

Abstract

对基板作业结果检查装置和方法、电气电路制造系统和方法。例如，在检查电子零件安装结果的场合，根据有关安装的吸附嘴、送料器等的执行器具信息等的安装条件信息、有关恢复的信息等的安装结果信息等，决定检查作业的作业顺序。进而，也可以根据作业器具履历信息等的履历信息决定作业顺序。例如，选定用安装不良率高的吸附嘴进行后的安装对象、与长期在使用的送料器有关的安装对象等为检查对象，作为安装不良发生可能性高的对象，进行检查作业。并且，也可以以下述方案实施，即追加选定其它对象，使其检查频度恒定或使之在设定的时间内进行检查，决定检查顺序使其在尽可能短时间结束检查等。

Description

对基板作业结果检查装置和方法、电气电路制造系统和方法

技术领域

本发明涉及一种用于对电路基板进行作业结果检查的检查装置、检查方法、检查用程序，并且，涉及包括这些检查装置构成的电气电路制造系统、电气电路制造方法、以及电气电路制造用程序。

背景技术

制造电气电路时，在规定位置印刷膏状焊料等的焊料涂复作业、在规定位置涂复用于固定电气零件(包括电子零件)的粘合剂的粘合剂涂复作业、在规定位置安装规定电气零件的电气零件安装作业、钎焊安装后的电气零件的钎焊作业等对电路基板的各种作业。这些对电路基板作业要求其作业结果正确，进行对电路基板作业的电路基板多半伴随检查作业。在推进电气电路的高密度、复杂化等过程中，由于作业对象增加，对全部作业对象高精度检查变成了很大的负担，进行有效的作业是所希望的。例如，就电气零件安装作业来看，由于安装的零件件数增大、要求高的安装精度等，其安装结果检查作业时间延长，尤其高效率安装结果的检查作业是希望的。

发明内容

在这里，本发明是把有关对电路基板作业的结果进行有效的检查作业作为课题而做出发明，按照本发明，获得下述各方案的对基板作业结果检查装置、对基板作业结果检查方法、对基板作业结果检查用程序、电气电路制造系统、电气电路制造方法、电气电路制造用程序。各方案与权利要求项同样，区分为项，给各项号码，根据需要以引用其它项号码的形式进行记载。这是为了始终容易理解本发明，而不应解释为将本说明书记载的技术特征和其组合限定于以下各项记载的内容。并且，一项中记载多个事项的场合，并不是应该常常一块儿采用这些多个事项。也可以只选择采用一部分事项。

(1)一种对基板作业结果检查装置，检查对电路基板进行了的对电路基板作业结果，

包括进行检查作业的检查作业装置，和具备按照决定的作业顺序使其检查作业装置动作的作业控制部的检查控制装置，

该检查控制装置包括，根据对电路基板进行的上述对电路基板作业的作业信息的对基板作业信息，决定对该电路基板检查作业的检查顺序的作业顺序决定部。

即，本项所述的对基板作业结果检查装置，根据进行的对电路基板作业的条件、结果等，可以改变检查其结果的检查作业，例如，按照本项所述的检查装置，通过选定检查对象、决定检查顺序点等，可以改变作业顺序，实现有效的检查作业。并且，因为对每个电路基板都可以决定检查作业的作业顺序，所以能够进行柔性的检查作业。以下项目中说明有关具体的方案，例如，对电路基板作业、其作业中对电路基板信息、决定检查作业的作业顺序的内容等。

(2)如(1)项中所述的对基板作业结果检查装置，上述对电路基板作业是将电气零件安装到电路基板上的电气零件安装作业，检查通过该电气零件安装作业安装后的电气零件的安装结果的。

对本发明的对基板作业结果检查装置而言，不是限定于成为对象的电路基板作业的种类。例如，安装电气零件的电气零件安装作业、印刷膏状焊料等的焊料涂复作业、涂复粘合剂的粘合剂涂复作业等各种对电路基板作业构成检查对象。其中，就检查电气零件安装作业结果的装置，即零件安装结果检查装置来说，如上述，由于构成检查对象的电气零件数增大等，其检查作业的负担很大，应用本发明检查装置的效果就大。并且，安装作业，如以后说明的那样，因吸附差错等的恢复等，即使是相同电气零件，吸附嘴等作业器具每个电路基板不同等，每个电路基板的安装条件往往不恒定。这样的情况下，若是可根据对基板作业信息改变检查顺序的本发明检查装置，就可以柔性地对应，在这个方面也能进行有效的检查作业。考虑到这一点，以下各项说明以检查零件安装作业结果的检查装置为中心来进行。

就作为本项所述的零件安装结果检查装置的方案而言，本检查装置检查电气零件安装作业的结果。具体点说，进行有关安装的零件姿态，例如安装位置偏差等检查。检查作业，例如，利用可给电路基板表面摄像的摄像装置(包括把CCD摄像器、行检测器等作为摄像装置)，给安装的电气零件摄像，通过图像处理装置，处理因该摄像得到的图像数据，取得该电气零件对电路基板的安装位置偏差量。这时，检查装置构成包括检查作业装置和具有控制该检查作业装置等功能的检查控制装置。而且，检查作业装置构成包括固定待检查电路基板的基板固定装置、上述摄像装置、及沿与电路基板表面平行的面使该摄像装置和电路基板相对移动的摄像移动装置等。检查控制装置包括按照决定的作业顺序使其检查作业装置动作的作业控制部，进而，包括决定检查作业的作业顺序的作业顺序决定部。该作业顺序决定部，按以哪种顺序进行安装的电气零件中的哪个电气零件这个内容决定检查作业的作业顺序。并且，作业顺序决定部，按照对电路基板进行的上述对电路基板作业的作业信息的对基板作业信息，决定其作业顺序。这里所述的对基板作业信息包括：例如有关不能安装的电气零件的信息等的安装结果信息、有关实际进行安装的吸附嘴的信息、有关对电气零件摄影校正其姿态位置时的校正量的信息等的安装条件信息等。至于更具体的作业顺序决定方法，后面项目中详细说明。

另外，简单点说明，但在检查膏状焊料涂复作业结果的形态的装置时，例如，通过使包括上述这样的摄像装置等的检查作业装置动作，检查丝网印刷后的膏状焊料印刷图形距预定图形的偏移量、印刷图形缺陷等。这时，例如，橡皮滚的挤压力、橡皮滚的移动速度、图形各部分的宽度尺寸等各种涂复条件信息都成为涂复作业中的对基板作业信息，按照这些信息，就可选定待检查的印刷图形的检查部分，决定作业顺序。并且，在检查粘合剂涂复作业结果形态的装置时，例如，通过使包括上述这样的摄像装置等的检查作业装置等动作，检查超出涂复处的粘合剂设定区域的涂复面积、涂复量等。这时，进行用螺旋泵将粘合剂从涂复嘴挤出这样的作业时，在某涂复处涂复的涂复嘴直径、螺旋的转速、旋转速度等各种涂复条件信息成为涂复作业中的对基板作业信息，按照这些信息，就可选定进行检查处所的选定等，决定作业顺序。

另外，进而，本发明的检查装置中，没有特别限定成为作业对象的对电路基板作业的作业数，可以把用通过多个对基板作业结果检查装置进行的多个对电路基板作业作为对象。并且，不仅限定于上述各种对电路基板作业中的一种作业。也可以是，例如同时检查膏状焊料涂复作业和粘合剂涂复作业的两者作业结果这样形态的装置就可以。并且，检查膏状焊料涂复作业和一部分电气零件安装作业的两者作业结果这样形态的装置也行。

(3)如(1)项或(2)项中所述的对基板作业结果检查装置，上述作业顺序决定部，进而根据有关上述对电路基板作业的履历信息，决定上述检查作业的作业顺序。

过去作业不良有哪样的倾向、或哪些时间作业的履历信息，通过检查作业变成有用的信息。例如，按不良率高的作业条件作业的结果，是作业不良的可能性高，并且，即使在超过使用界限使用超过使用界限的作业器具进行作业这样的场合，也存在其作业成了不良的担心。如果重点地检查进行这样的对电路基板作业的作业对象等，就能进行很有效的检查作业。具体的方案，在以后项中说明，但对于本项的履历信息来说，可以包括多种多样的信息。例如，可以包括进行对电路基板作业的对基板作业装置的全部不良率、对同一或类似电路基板的同一或类似作业的不良分析结果、每种作业对象的不良累计、依赖温度、湿度等环境参数的不良发生频度等种种信息。而且，采用与包括对进行检查的电路基板进行作业的条件信息的对基板作业信息关联，推测其电路基板作业结果，通过决定检查作业顺序，可以进行更有效的检查作业。

(4)，如(3)项中所述的对基板作业结果检查装置，该对基板作业结果检查装置，检查用具备一个以上作业器具的对基板作业装置进行的上述对电路基板作业的结果的装置，

上述履历信息包括有关起因于上述作业器具的作业不良的器具不良履历信息和有关上述作业器具使用状况的器具使用履历信息的至少一方，

上述对基板作业信息包括有关执行上述对电路基板作业的上述作业器具的执行器具信息，

上述作业顺序决定部，根据上述器具不良履历信息与上述器具使用履历信息的至少一方和上述执行器具信息，决定上述检查作业的作业顺序。

本项所述的方案是上述(3)项所述方案更具体化的方案。若提起作为对电路基板作业的电气零件安装作业，例如，其作业，用对基板作业装置的一种电气零件安装装置进行，该安装装置中使用吸附嘴、设置吸附嘴的安装头、电气零件供给装置中的各电气零件的零件送料器等各种作业器具进行安装作业。有关这样的作业器具的履历信息表示电气零件安装装置的过去或现在的状态，是能预测将来状态的宝贵信息。使作业器具履历信息、和包括实际哪个作业对象用哪个器具进行的信息的执行器具信息，即，用哪个安装位置的哪种电气零件的哪个吸附嘴等进行的这种信息关联，根据这些信息决定检查作业的顺序是合理的检查方法。器具不良履历信息，例如，相当于各个吸附嘴的安装位置偏差不良率、特定吸附头连续进行安装不良作业时的次数、按配置场所等将零零件送料器分组时的每个送料器组的吸附失误率等各式各样信息。并且，器具使用履历信息，例如，相当于特定吸附嘴调换后的安装次数、安装头定期调整后至今的运作时间、每个零零件送料器使用开始以来的作业时间累计等各式各样的信息。

另外，在焊料涂复装置(丝网印刷机等)、粘结剂涂复装置(调合器等)等中，橡波滚、涂复嘴等相当于本项称谓的各自作业器具，关于橡皮滚、涂复嘴等的不良履历信息、器具使用履历信息，相当于器具不良履历信息、器具使用履历信息。并且，使用这些橡皮滚、涂复嘴等怎样执行各自作用的这种信息相当于执行器具信息。

(5)如(1)到(4)的任一项中所述的对基板作业结果检查装置，上述对基板作业信息，包括上述对电路基板作业中有关不进行作业的作业对象，即不作业对象的不作业对象信息，

上述作业顺序决定部，根据上述不作业对象信息，包括从检查对象中除去上述不作业对象的检查对象除外部。

如连不作业的作业对象也作为检查对象，其检查作业就包含时间的损失。若从检查对象中除去不作业对象，检查时间短，可以实现有效的检查作业。不作业对象信息是一种作业结果信息。对电路基板作业为安装作业的场合，不安装的电气零件及其安装的预定安装地点都变成不作业对象即不安装对象，其有关信息是不安装信息。

(6)如(1)到(5)的任一项中所述的对基板作业结果检查装置，上述作业顺序决定部，包括选定上述对电路基板作业的作业对象之中至少作业不良的可能性高的作业对象的不良可能性作业对象为检查对象的不良可能性对象选定部。

例如，按照对电路基板作业的作业条件等，有时可以料想进行的作业为作业不良的可能性变高。并且，例如，采用电气零件安装作业为例，往往因为电气零件要求很高的安装精度，这样的场合作业不良发生的可能性变高。那样的场合下，如果把成为作业不良的可能性高的作业对象作为检查对象的话，就能够有效地发现作业不良。作业不良的本项中所述的方案也可以只是把不良可能性作业对象作为检查对象的方案。这时，检查对象少，具有可以短时间结束检查作业的优点。关于选定不良可能性对象的具体方案，在以下的项里说明。

(7)如(6)项中所述的对基板作业结果检查装置，上述对基板作业信息，包括上述电路基板作业中有关重新作业的作业对象的再作业对象的再作业对象作业信息，

上述不良可能性对象选定部，根据上述再作业对象信息，认定上述再作业对象为上述不良可能性对象。

例如，对电路基板作业在电气零件安装作业的场合安装失败时(例如，吸附失误等时)，安装装置自动地进行恢复，再安装。这样的场合，先前安装作业中，由于当然含有引起作业失误的原因，后面的恢复作业中成为安装不良的可能性很高。以此类推，即使任何的对电路基板作业，再作业的作业对象成为作业不良的可能性也很高，把这样的再作业对象看作不良可能性对象并将其选为检查对象的本项所述的方案，就能够进行高效的检查作业。

(8)如(6)项或(7)项中所述的对基板作业结果检查装置，上述作业顺序决定部，进而根据有关上述对电路基板作业的履历信息，决定上述检查作业的作业顺序，

上述不良可能性对象选定部，根据上述履历信息认定上述不良可能性作业对象。

本项所述的方案，根据上述的履历信息，决定作业顺序。如前所述，履历信息是用于预测作业不良的宝贵信息，依靠该信息，可以有效地认定不良可能性对象。至于履历信息，前面一项中已说明，所以这里的说明省略。并且，更具体的方案，在以下的项里表达。

(9)如(8)项中所述的对基板作业结果检查装置，该对基板作业结果检查装置检查用具备一个以上作业器具的对基板作业装置进行的上述对电路基板作业的结果，

上述履历信息包括：有关起因于上述作业器具的作业不良的器具不良履历信息和有关上述作业器具使用状况的器具使用履历信息的至少一方，

上述不良可能性对象选定部，根据上述器具不良履历信息与上述器具使用履历信息的至少一方和上述执行器具信息，认定上述不良可能性作业对象。

如前面所述，履历信息中器具不良履历信息、器具使用履历信息也是宝贵信息，根据这些信息和执行器具信息认定不良可能性对象部的话，可以更准确地认定不良可能性对象部。采用对电路基板作业为电气零件安装作业的场合为例，例如，选定用作业不良率高的吸附嘴进行安装对象为检查对象，并把从所用时间长的零零件送料器供给的电气零件选为检查对象的这种选定方式，相当于本项所述的方案。

(10)如(6)到(9)的任一项中所述的对基板作业结果检查装置上述作业顺序决定部，包括追加选定除上述不良可能性作业对象以外的作业对象中几个作为检查对象的追加对象选定部的。

如前面说明，仅选定不良可能性作业对象为检查对象进行作业的场合，因为检查对象少，有迅速进行检查的优点。本项所述的方案，追加其它作业对象为检查对象，可以进行充实的检查作业。追加对象不特别限定与其追加数、追加顺序等有关的选定方式，而是可以任意选定。例如，可以随机选定一个以上的作业对象、按照预定的顺序选定固定数的作业对象、并按某种基准把全部作业对象分成几个组，按照目的选择其组中选定的这样各种选定方式。

(11)如(10)项中所述的对基板作业结果检查装置，上述追加对象选定部追加选定，使设定全部作业对象检查频度的检查频度不下降。

仅选定不良可能性作业对象为检查对象进行作业的场合，也可以料想，长时期没有选定其它作业对象中几个作业对象为检查对象。本项所述的方案中，为了以一定频度以上使全部作业对象都成为检查对象，实现高可靠性的检查作业。不特别限定具体性的选定方式，但是例如，可以采用按预定顺序追加选定几个作为检查对象、在设定的电路基板数或设定的时间间隔追加选定一度不是检查对象的作业对象为检查对象这样的选定方式。

(12)如(1)到(11)的任一项中所述的对基板作业结果检查装置，上述作业顺序决定部包括选定检查对象的时间限制选定部，使之在设定的检查作业时间内结束检查作业。

例如，若管理检查作业需要的时间，可以抑制用于电气电路制造的作业时间增大，有维持很高生产率的优点。设定的检查作业时间也可以是固定的时间，并且，也可以是对每个电路基板例如根据上述对基板作业信息等设定个别值的时间。例如，检查装置配备在电气电路制造线内的场合，如果设定检查作业时间使之在固定时间内结束检查作业，妨碍生产节拍的可能性降低，能有效地进行电气电路的制造。并且，例如，若按照上述的不良可能性作业对象数，对每个电路基板设定检查作业时间，可以重点检查成为不良的可能性高的电路基板，就能够执行有效的检查。

(13)如(1)到(12)的任一项中所述的对基板作业结果检查装置，上述作业顺序决定部包括决定要短时间结束检查作业的检查对象的检查顺序的检查顺序决定部。

检查作业需要的时间不仅随检查对象数而且随检查顺序，即，检查检查对象的顺序而异。例如，如上述，用摄像装置检查电气零件安装作业结果的场合，在安装电气零件之间相对移动摄像装置和电路基板进行检查作业，但该摄像装置相对移动路径长的时候，检查作业需要的时间延长。因此，如决定检查顺序使之尽可能缩短移动检查对象的电气零件间的该路径，决定尽可能短时间结束检查作业。就本项所述的方案而言，由于决定检查顺序使短时间结束检查，能够实现迅速检查作业。

(14)如(1)到(13)的任一项中所述的对基板作业结果检查装置，上述作业顺序决定部根据对电路基板作业有关的履历信息决定上述检查作业的作业顺序，

上述检查控制装置包括更新上述履历信息的履历信息更新部。

上述的履历信息，特别，有关作业器具的履历信息，如从表示对基板作业装置形状的观点，每次进行检查的更新是理想的。本项所述的方案中，因为更新履历信息，所以实现高可靠性的检查作业。另外，关于履历信息更新的具体方案，在以下的项中进行说明。

(15)如(14)项中所述的对基板作业结果检查装置，上述履历信息更新部，根据上述对基板作业信息，更新上述履历信息的。

上述器具使用履历信息等是可以由对基板作业信息来更新的。例如，关于吸附嘴的使用次数、从带式送料器来的供给零件数等，可以根据其安装作业中安装几次电气零件、供给几个零件等的执行器具信息进行更新。

(16)如(14)项或(15)项中所述的对基板作业结果检查装置，上述履历信息更新部根据该对基板作业结果检查装置进行的检查作业的检查结果信息，更新上述履历信息。

上述器具不良履历信息是可由检查结果信息来更新的。例如，每个吸附嘴的不良率，可以根据检查结果信息和执行器具信息的2个信息进行更新。

(17)如(1)到(16)的任一项中所述的对基板作业结果检查装置，作业顺序决定部根据与电路基板的基板ID信息有关联的上述对电路基板作业信息，决定上述检查作业的上述作业顺序。

对每个电路基板决定检查作业的作业顺序的场合，如关联电路基板的基板ID信息和对基板作业信息，从对基板作业向检查作业的传输准确信息就是该项。例如，流水线配置基板作业装置和检查装置的场合，即使对电路基板作业中作业的电路基板顺序和检查作业中检查的电路基板顺序是不同的这种状态的时候，就能够可靠地递送对基板作业信息。

(18)如(17)项所述的对基板作业结果检查装置该对基板作业结果检查装置，对带有表示基板ID的基板ID指示符的电路基板进行检查作业，

包括识别上述基板ID指示符，取得该电路基板的基板ID信息的基板ID识别取得装置。

在基板ID信息与对基板作业信息有关联的时候，识别基板ID指示符，能取得基板ID信息。基板ID指示符，例如，是附着于电路基板表面上的条形码等的基板ID标记。用专用读出装置识别该基板ID就行。并且，因为检查作业，如上述一样，大多数利用摄像装置、图像处理装置等进行，所以也可以用其摄像装置、图形处理装置取得。此时，不需要另外设置基板ID信息识别装置就能构成简便的检查装置。另外，在电路基板作业中，多半将电路基板固定在大约预定的位置上进行，此时，为了正确识别电路基板的固定位置，取得基板固定位置信息，按照其信息进行检查作业。基板固定位置信息，借助于摄像装置，对附着于电路基板表面上的基板位置基准标记(受托标记)进行摄像，往往通过图像处理取得所得的图像数据。用这样的摄像装置、图像处理装置，也能给基板ID标记摄像。

(19)如(1)到(18)的任一项中所述的对基板作业结果检查装置，该对基板作业结果检查装置检查用一台以上对基板作业装置进行的对电路基板作业结果，

在该一台以上对基板作业装置的下游一侧，与该一台以上对基板作业装置一起流水线配备用。

本发明的检查装置例如，即使与对基板作业装置独立配置也行，并且，如本项所述的方案那样，与一台以上的对基板作业装置等一起流水线配置，形成作为装配一条流水线等的电气电路制造系统的一部分也行。流水线配置的场合，由于按照流水线制造节拍决定上述检查作业的作业顺序，就能有效地检查配置于上游侧的对基板作业装置的作业结果。

(20)如(1)到(18)的任一项中所述的对基板作业结果检查装置，该对基板作业结果检查装置检查用一台以上对基板作业装置进行的对电路基板作业的结果，

上述一台以上的对基板作业装置中最后与进行上述对电路基板作业的装置成为整体。

本发明的对基板作业结果检查装置也可以形成与对基板作业装置另外装置，即，对基板作业装置作为对基板作业机、本对基板作业结果检查装置作为对基板作业结果检查机，是以作为其它制造机器存在的形态。并且，如本项所述的方案一样，对基板作业装置和本对基板作业结果检查装置也可以构成整体。即，例如，是将本对基板作业结果检查装置组装到对基板作业装置这种形态。与对基板作业装置成为整体形态的场合，往往检查作业变成附属作业，此时，特别需要缩短用于作业的时间。这样的场合，通过上述作业对象的选定、检查顺序的决定等，可以短时间进行有效的检查作业。

以上，就对基板作业结果检查装置的几个方案进行了说明，但以下，对上述对基板作业结果检查装置共同的几个事项进行说明。检查控制装置也可以其一部分或全部形成与检查作业装置另外装置。例如，处于流水线配置的这种场合下，有时设置管理控制整个电气电路制造系统的控制装置，上述作业顺序决定部、履历信息更新部是存在于该系统控制装置内的这样的形态。并且，例如，对基板作业结果检查装置上设置该装置的控制装置的场合，是其控制装置内存在上述作业顺序决定部、履历信息更新部等这样的形态。即，意味本发明的检查装置也包括这样的形态。这种形态的的场合，规定检查控制装置的结构，包括系统控制装置或控制对基板作业装置的控制装置的一部分。

并且，至于接收上述执行器具信息、不作业对象信息、再作业对象信息等的对基板作业信息，可以采用从对基板作业装置直接接收本检查装置的方式，并且，上述系统控制装置等存在的场合，也可以采用通过它来接收，或，接收由此进行某种处理后的信息这样的方式。并且，上述的器具不良履历信息、器具使用履历信息等的履历信息也可以是存储在对基板作业装置一侧的信息。这时，例如，通过变更流水线构成，即使检查其它对基板作业装置的作业结果的时候，也能很容易根据有关其对基板作业装置的履历信息，决定检查作业的作业顺序，很方便。

(31)一种对基板作业结果检查方法，检查对电路基板进行的对电路基板作业结果，包括：

根据对电路基板进行的电路基板作业的作业信息的对基板作业信息，决定对该电路基板检查作业的作业顺序的作业顺序决定工序；及

按照决定的上述作业顺序，进行该电路基板的检查作业的检查作业工序。

(41)一种对基板作业结果检查用程序，为了检查对电路基板进行的对电路基板作业结果，由计算机实施，包括：

根据对电路基板进行的对电路基板作业的作业信息的对基板作业信息，决定对该电路基板检查作业的作业顺序的作业顺序决定步骤；及

按照上述决定的作业顺序，使进行检查作业的检查作业装置运作的检查作业步骤。

(51)在可由计算机读出的状态下存储按照(41)项所述的对基板作业结果检查用程序的存储媒体。

上述(31)项涉及一种根据其作业信息检查对电路基板作业结果的方法，可以实现有效的检查作业。例如，相当于用上述(1)项所述的检查装置进行检查作业的这种情况。(41)项涉及一种用于实施这样的检查作业的程序，例如，控制(1)项所述检查装置的程序相当于此。并且，(51)项涉及于存储该程序的ROM、RAM等存储器、CD-ROM、软盘等存储媒体。上述三项的检查方法、程序、存储媒体是可能用各自附加上述的(2)到(20)项所述的技术特征方案来实施，并成为具有与各自技术特征相应的优点。

(61)一种电气电路制造系统，包括在电路基上板进行预定的对电路基板作业的一台以上对基板作业装置和检查该一台以上对基板作业装置进行的对电路基板作业结果的对基板作业结果检查装置的，

该对基板作业结果检查装置包括：

进行检查作业的检查作业装置；以及

具备(a)根据用上述一台以上的对基板作业装置在电路基板上进行的对电路基板作业的作业信息的对基板作业信息，决定对该电路基板的检查作业的作业顺序的作业顺序决定部、和(b)按照该决定的作业顺序上述检查作业装置动作的作业控制部的检查控制装置。

(62)如(61)项中所述的电气电路制造系统，上述对基板作业结果检查装置在上述一台以上对基板作业装置的下游侧与该一台以上对基板作业装置一起流水线配备。

(63)如(61)项中所述的电气电路制造系统，上述对基板作业结果检查装置在上述一台以上对基板作业装置中的最后与进行上述对电路基板作业的装置成为整体。

上述(61)项涉及包括对基板作业装置和检查该装置的作业结果的上述(1)项所述的检查装置而构成的电气电路制造系统，形成包括能进行有效检查作业的检查装置的制造系统。(62)项是，该制造系统中关于流水线配备对基板作业装置和检查装置时的方案的限定，并且，(63)项是对基板作业装置和检查装置成为整体的方案，即，例如是关于包含带有检查装置基板作业机而构成时的方案的限定。上述三项所述的制造系统，可由各自附加从上述(2)到(18)项所述的技术特征的方案实施，具有与各自技术特征相应的优点。

(71)一种电气电路制造方法，包括对电路基板进行预定的对电路基板作业的对基板作业工序和检查对电路基板作业结果的对基板作业结果检查工序，

上述对基板作业结果检查工序包括：

在上述对基板作业工序中根据对电路基板进行的对电路基板作业的作业信息的对基板作业信息，决定对该电路基板的检查作业的作业顺序的作业顺序决定工序；和按照该决定的上述作业顺序，进行该电路基板的检查作业的检查作业工序。

(81)一种电气电路制造用程序，为了进行对电路基板作业，检查其对电路基板作业结果，制造电气电路，而用计算机实施，

包括在一台以上的对基板作业装置对电路基板进行预定的对电路基板作业的对基板作业步骤，和在对基板作业结果检查装置检查其对电路基板作业结果的对基板作业结果检查步骤，

上述对基板作业结果检查步骤包括：

用上述一台以上的对基板作业装置，根据对电路基板进行的对电路基板作业的作业信息的对基板作业信息，决定对该电路基板的检查作业的作业顺序的作业顺序决定步骤；和

按照该决定的上述作业顺序，使对基板作业结果检查装置的检查作业装置动作的检查作业步骤。

(91)以可由计算机读出的状态存储(81)项所述的电气电路制造用程序的存储媒体。

上述(71)项涉及包括根据其作业信息检查对电路基板作业结果的方法的电气电路制造方法，是能进行有效检查作业的制造方法。例如，相当于利用上述(61)项所述的制造系统进行电气电路制造的场合。(81)涉及用于实施这种检查作业的程序，例如，相当于控制(61)项所述的制造系统的程序。并且，(91)项涉及存储该程序的ROM、RAM等存储器、CD-ROM、软盘等存储媒体。上述三项的检查方法、程序、存储媒体是可能用各自附加上述的(2)到(20)项所述的技术特征方案来实施，并成为具有与各自技术特征相应的优点。

附图说明

图1是表示组装连续流水线的电气电路制造系统的图，

图2是典型地表示第1零件安装机(转头式零件安装装置)的平面图，

图3是表示以第1零件安装机安装单元为中心的侧面局部剖面图的图，

图4是以关于本发明的较深部分为中心表示控制第1零件安装机的安装控制装置框图的图，

图5是典型地表示第2零件安装机(XY自动式零件安装装置)的平面图的图，

图6是典型地表示第2零件安装机的整体侧面图的图，

图7是表示第2零件安装机的安装单元和其周围的图，

图8是以关于本发明的较深部分为中心表示控制第2零件安装机的安装控制装置框图的图，

图9是典型地表示安装结果检查机的平面图的图，

图10是以关于本发明的较深部分为中心表示控制安装结果检查机的检查控制装置框图的图，

图11是典型地表示供给电气电路制造的电路基板的图，

图12表示电气零件安装作业的流程图，

图13表示安装结果检查机的安装结果检查作业的流程图，

图14表示安装结果检查作业中检查作业顺序决定程序的程序图，

图15是典型地表示检查作业的检查顺序的图，以及

图16是表示变形例的电气电路制造系统的图。

具体实施方案

以下，边参照附图边详细说明本发明的一实施例及其变形例。但是，本发明不限定于以下的实施例等，除以下的实施例等以外，把上述[发明内容]各项所述的方案作为开始，可以按照本领域技术人员的知识，以进行各种变更、改良的方式进行实施。

《电气电路制造系统的整体构成》

图1典型地表示组装连续流水线的电气电路制造系统。本电气电路制造系统包括对电路基板进行预定的作业即对电路基板作业的多台对基板作业装置，这些对基板作业装置，作为各自独立的对基板作业机配置成线状。各个作业机从上游侧(图1中左侧)向下游侧，顺序是，作为将膏状焊料印刷到电路基板上的涂复装置的膏状焊料涂复机10、作为电路基板上安装电子零件的电气零件安装装置的第1零件安装机12和第2零件安装机14、作为检查第1零件安装机12和第2零件安装机14的安装作业结果的安装作业检查装置的安装结果检查机16、和作为将安装的电子零件钎焊到电路基板上的软熔炉装置的软熔机18。并且，上述各对基板作业机之间设置作为分别联系它们的基板搬送装置的基板搬送机20，在焊料涂复机10的上游设置作为把电路基板搬入本系统的基板搬入装置的(装料器)的基板搬入机22，在软熔机18的下游设置作为从本系统搬出电路基板的基板搬出装置(卸料器)的基板搬出机24。而且，各个对基板作业机，用它们互相接收与作业有关信息的信息传递总线的通信电缆26联系起来。

上游侧配备的第1零件安装机12是具有多个安装头间断旋转的安装单元的转头式安装装置，下游侧的第2零件安装机14是安装单元沿平行电路基板的平面移动的XY自动型安装装置。例如，实行第1零件安装机12安装比较小型的电子零件，第2零件安装机14安装比较大型或异型电子零件这样的分担作业，进行对1块电路基板的电子零件安装作业。并且，其下游配备的安装结果检查机16是使可对电路基板表面摄像的摄像装置沿平行电路基板的平面移动的XY自动型检查装置。本实施例中，根据这2台零件安装机12、14的对基板作业信息的安装作业信息，决定其下游配备的安装结果检查机16的检查作业检查顺序。即，本实施例中，零件安装机12和零件安装机14相当于本发明的对基板作业装置，安装结果检查机16相当于本发明的对基板作业结果检查装置。并且零件安装机12和零件安装机14的电子零件安装作业相当于本发明的对电路基板作业，安装结果检查机16的检查作业相当于本发明的对基板作业结果检查作业。

《第1零件安装机的构成》

图2典型地表示第1零件安装机12的平面图，图3表示以第1零件安装机12具有的安装单元为中心的侧面局部剖面图。第1零件安装机12的构成包括安装机本体50、在安装机本体50上配设并固定电路基板52的基板固定装置54、在安装机本体50上配设并在X轴方向和Y轴方向移动基板固定装置54的XY台装置56、安装机本体50的XY台装置56后面(图1的上方)配设的零件供给装置58、配设在安装机本体50的基板固定装置54和零件供给装置58的上方并安装电子零件的安装单元60、把安装单元60前方配设可对电路基板52表面(安装面)摄像的CCD摄像机作为摄像器具的基板摄像装置62、控制这些装置(把这些一起称为安装作业装置)的安装控制装置64(参照图4)。另外，本安装机12与本申请人未公开的特愿2001-172915号所述的安装机大致同样构成，并且，至于安装单元60，与特开平6-342998号公报和特开2001345599号公报所述的，至于零件供给装置58，与特公平8-21791号公报所述的大致同样构成。

基板固定装置54在安装作业中将电路基板52保持固定在大致预定的位置，并与上游侧和下游侧的各个基板搬送机20联系的各个基板传送器(图中省略)联系起来。XY台装置56由支承基板固定装置54并使基板固定装置54在Y轴方向移动的Y台装置72，和支承Y台装置72并使Y台装置72在X轴方向移动的X台装置74构成。Y台装置72和X台装置74由包括成为驱动源的各自伺服电机75和滚珠丝杆机构等构成。并且，零件供给装置58主要由2个零件供给台78、使这些零件供给台78互相独立并在X轴方向移动的零件供给台移动装置80(由包括成为驱动源的伺服电机81、滚珠丝杆机构等构成)、及可以把由并排设置于零件供给台78上并由带保持的电子零件顺序送出的多个带式送料器82(零件送料器的一种：另一个零件供给台78上并设的带式送料器省略)构成。可以控制零件供给装置58，在规定的零件供给位置，按照安装顺序取出规定的电子零件。即，保持着安装零件的带式送料器82，在安装单元60的零件吸附位置(图2中的C)正下面移动，传送胶带使之可从该带式送料器82的零件取出部取出电子零件90，用以后说明的吸附嘴92吸附该电子零件90。而且这一连串动作是顺序对预定安装零件重复进行的。

安装单元60由包括安装单元本体86、在安装单元本体86周围与电路基板52保持直角的多个(本安装机中为16个)的安装头88构成。各个安装头88具有顶端部保持电子零件90的吸附嘴92，吸附嘴92与图未示出的负压源连接，借助于负压吸附电子零件90。安装头88保持在安装单元本体86的等分位置(等角度位置)，安装单元本体86具有安装头旋转移动装置94，保持安装头88的部分，采用以安装单元本体86的轴线为中心使其间断转动的办法，使各个安装头88在包括图2中所示零件吸附位置C和零件安装位置D的移动路径间断转动移动。并且，安装单元本体86具有图上省略的安装头升降装置96和安装头旋转装置98(参照图4)，使各个安装头88在零件吸附位置C和零件安装位置D升降，并且，根据需要，以自身的轴线为中心绕该轴线转动。通过以上各装置的动作，安装头88把电子零件90吸附保持在零件吸附位置C上，并把零件安装位置D保持的电子零件90安装到电路基板52的表面上。

另外，安装头88的移动路径上有零件摄像位置S，在该零件摄像台位置S上配设用于对从吸附嘴92的下方吸附保持的电子零件90进行摄像的零件摄像装置102(摄像器件是CCD摄像机)，通过摄像获得的图像数据，由作为图像处理装置的零件图像处理单元104(参照图4，包括在安装控制装置64内)进行处理，可以取得关于保持电子零件90姿态的保持姿态信息。基板摄像装置62被固定在该位置上，随着上述XY台装置56的电路基板52移动，就可以对电路基板52表面任意位置摄像。由基板摄像装置62得到的图像数据，通过作为图像处理装置的基板图像处理单元106(参照图4，包括在安装控制装置64内)处理，取得有关用基板固定装置54固定的电路基板52位置偏差的基板固定位置信息等。

图4中，以关系本发明的较深部分为中心，表示在第1零件安装机12中控制上述安装作业装置的安装控制装置64的框图。安装控制装置64以PU120、ROM122、RAM124、输入输出接口126和具有连接它们的总线128的计算机130作为主体，输入输出接口126上，通过位于安装控制装置64内的各个驱动电路132，连接着基板固定装置54、XY台装置56、零件供给装置58、安装头旋转移动装置94、安装头升降装置96、安装头旋转装置98等。并且，零件摄像装置102通过零件图像处理单元104，基板摄像装置62通过基板图像处理单元106，分别与输入输出接口126连接起来，如上述样，由电子零件的保持姿态信息分别取得基板固定位置信息等。进而，连接以操作第1零件安装机12的键盘等为主体的输入装置134，并且，连接着收发控制电路136。收发控制装置136上连接有通信电缆26，在与其它作业机之间进行各种信息的传递。ROM122内存储第1零件安装机12的基本运作程序等，并且，RAM124内存储与供给作业的电路基板相应的电子零件安装作业程序、开始安装对象信息(在哪个位置按什么方位安装哪种电子零件的信息)、上述保持姿态信息、基板固定位置信息等。另外，在安装作业的本安装机的动作与上述特公平8-21791号公报所述的大致相同，在这里省略说明。

《第2零件安装机的构成》

图5中典型地表示第2零件安装机14的平面图，图6中典型地表示整体侧面图，图7中表示安装单元及其周围。第2零件安装机14主要由安装机本体150、安装机本体150上配设并固定电路基板52的基板固定装置152、基板固定装置152面前一侧(在图5的下方)配设的送料型零件供给装置154、基板固定装置152后侧(在图5的上方)配设的托盘型零件供给装置156、2个零件供给装置154、156和在基板固定装置152的上方空间沿与电路基板52平行的平面上移动并安装电子零件的安装单元158、设置于安装机本体150并使安装单元158那样移动的XY自动装置160、将与安装单元158一起用XY自动装置160移动并可对电路基板52的表面(安装面)进行摄像的CCD摄像器作为摄像机的基板摄像装置162、控制这些装置(将其总称为安装作业装置)的安装控制装置164(参照图8)而构成。另外，本安装装置与特许2824378号公报所述的大致相同构成，并且，关于托盘型零件供给装置156与特公平2-57719号公报所述大致相同，关于安装单元158与特许3093339号公报所述大致相同构成。

基板固定装置152是为了安装作业，在大体预定的位置固定用基板传送带170搬送来的电路基板52的装置。送料型零件供给装置154在固定的零件供给台上边，在X轴方向(在图5的左右方向)并列排列多个带式送料器172，各个带式送料器172顺序送出保持于胶带上的电子零件进行供给。从一个带式送料器172供给一种电子零件90。托盘型零件供给装置156堆叠收纳多个电子零件的多个托盘174，在安装单元158可从各个托盘174取得电子零件的状态下，依次移动这些托盘174，进行电子零件的供给。

安装单元158主要由安装单元本体180、顶端部具有可装卸能吸附保持电子零件90的吸附嘴182并能对安装单元本体180转动而且可升降保持的安装头184、以电动机186为驱动源使安装头184升降的安装头升降装置188、和以图未示出的电动机为驱动源并在其轴线周围转动安装头184的安装头旋转装置190而构成。安装头184，在零件供给位置和零件安装位置借助于安装头升降装置188进行升降，吸附保持电子零件90或将其安装到电路基板52的表面。并且，根据保持的零件保持姿势，安装头184为了校正其姿势，利用安装头旋转装置190，以自身的轴线为中心绕其轴线转动。吸附嘴182与图未示出的负压源连接，利用负压吸附电子零件90。并且，在基板固定装置152的X轴方向两边，配设收纳吸附嘴182的嘴收容装置192，本安装机14中设有收容部194，可收容总计8个吸附嘴182(吸附嘴182省略图示出)。安装单元158是在嘴收容装置192的上方移动，安装头184可以交换装卸吸附嘴182。

XY自动装置160由包括X自动装置200和Y自动装置202构成，X自动装置200被设置在安装机本体150上，由包括X滑板204和使其沿X轴方向移动的X滑板移动装置206构成，Y自动装置202被设置在X滑板204上，由包括Y滑板208和使其沿Y轴方向移动的Y滑板移动装置210构成。并且，X自动装置200和Y自动装置202的驱动源都是伺服电机211，具有滚珠丝杆。安装单元158设于Y滑板208上。

另外，X滑板204上，配设将CCD摄像机作为摄像器件的零件摄像装置220(参照图8，图5中只表示构成其导光装置的反射镜222)，零件摄像装置220在安装头184通过反射镜222上方的时刻，对安装头184所保持着的电子零件90摄像。所得的图像数据，由图形处理装置的零件图像处理单元224(参照图4，包括在安装控制装置164内)处理，取得电子零件90的保持姿势信息。基板摄像装置162设于Y滑板208上，借助于上述XY自动装置160使之移动，可对电路基板52表面任何位置进行摄像。通过基板摄像装置162获得的图像数据，由图像处理装置的基板图像处理单元226(参照图8，包括在安装控制装置164内)处理，取得电路基板52的基板固定位置信息。

图8中，是以关系本发明的较深部分为中心，表示第2零件安装机14中控制上述安装作业装置的安装控制装置164的框图。安装控制装置164是以PU230、ROM232、RAM234、输入输出接口236和具有连接它们的总线238的计算机240作为主体的装置。输入输出接口236通过位于安装控制装置164内的各个驱动电路242，连接着基板固定装置152、XY自动装置160、送料器型零件供给装置154、托盘型零件供给装置156、安装头升降装置188、安装头旋转移动装置190。并且，零件摄像装置220通过零件图像处理单元224，基板摄像装置162通过基板图像处理单元226，分别与输入输出接口236连接起来，如上述一样，由电子零件的保持姿势信息分别取得基板固定位置信息等。进而，连接以用于操作第2零件安装机的键盘等为主体的输入装置244，并且，连接着收发控制装置246。收发控制装置246上连接有通信电缆26，在与其它作业机之间进行各种信息的传递。ROM232内存有第2零件安装机14的基本运作程序等，并且，RAM234内存有与供给作业的电路基板相应的电子零件安装作业程序、开始安装对象信息、上述保持姿态信息、基板固定位置信息等。另外，在安装作业的本安装机的动作与上述特许2824378号公报和特开2001-223500号公报等所述的大致相同，在这里省略说明。

《安装结果检查机的构成》

图9是典型地表示安装结果检查机16的平面图。本安装结果检查机16，大体上说，从前面说过的第2零件安装机14，卸下用于安装电子零件的安装单元158和2个零件供给装置154、156，主要由检查机本体300、检查机本体300上配设并固定电路基板52的基板固定装置302、把可对电路基板52表面(安装面)摄像的CCD摄像机作为摄像器件的基板摄像装置304、沿与电路基板52平行的平面并在基板固定装置152的上方空间移动基板摄像装置304的XY自动装置306、控制这些装置(将其总称为检查作业装置)的检查控制装置308(参照图10)而构成。

基板固定装置152也与第2零件安装机14的大致同样，是为了检查作业，将用基板传送带320搬送来的电路基板52固定在大体预定位置的装置。XY自动装置306也与第2零件安装机14的大致同样，由包括X自动装置322和Y自动装置324构成；X自动装置322设于检查机本体300上，由包括X滑板326和使其在X轴方向移动的X滑板移动装置328构成；Y自动装置324设于X滑板326上，由包括Y滑板330和使其在Y轴方向移动的Y滑板移动装置332构成。并且，X自动装置322和Y自动装置324的驱动源都是伺服电机334，并具有滚珠机构。

基板摄像装置304设于Y滑板330上，依靠上述XY自动装置306来移动，可以对电路基板52表面任何位置进行摄像。按照决定的检查顺序，基板摄像装置304对检查对象的安装后各个电子零件90及其周围部分摄像，通过基板摄像装置162获得的图像数据，由图像处理装置的基板图像处理单元336(参照图10，包括在检查控制装置308内)处理，就能取得与检查对象的电子零件安装位置偏差有关的安装位置偏差信息。

图10是以关系本发明的较深部分为中心表示安装结果检查机16中控制上述检查作业装置的检查控制装置308框图。检查控制装置308是以PU350、ROM35、RAM354、输入输出接口356和具有连接它们的总线358的计算机360为主体的检查控制装置。输入输出接口356上，通过位于检查控制装置308内的各个驱动电路362连接总基板固定装置302、XY自动装置306。并且，基板摄像装置304通过基板图像处理单元336分别连接到输入输出接口236上，如上述一样，分别取得基板固定位置信息或检查对象的安装后电子零件安装位置偏差信息等。进而，连接以用于操作安装结果检查机16的键盘等为主体的输入装置364，并且，连接收发控制电路366。收发控制电路366上连接有通信电缆26，在与其它作业机之间进行各种信息传递。ROM352内存储有安装结果检查机16的基本运作程序、用于决定检查作业的基本程序等。并且，RAM234内，存储有与提供作业电路基板相应的作业对象信息、基板固定位置信息、第1零件安装机12和第2零件安装机14的作业器具履历信息、遵从已决定的检查作业顺序的检查作业程序等。

《电路基板、安装对象信息等》

图11中，典型地表示本实施例中供给电气电路制造的电路基板。电路基板52，在位于对角的二个角部分别带有基板位置基准标记400、402，该部分是基板基准指示部。利用基板位置基准标记400、402，在用第1零件安装机12、第2零件安装机14和安装结果检查机16的各自基板固定装置54、152、302固定电路基板52的场合，取得有关其固定位置的信息的基板固定位置信息。详细点说，起到表示电路基板52基准位置的指示符号的功能，用上述基板摄像装置62、162、304摄取二个基板位置基准标记400、402，通过分别由图像处理装置的基板图像处理单元106、226、336处理所得的图像数据，可以检测出与固定的电路基板52电路基板表面平行的平面内互相垂直的二个方向(X轴方向、Y轴方向)及其平面内的转动方向(以下称为「Aθ轴方向」)的位置偏差量。对于安装作业和检查作业来说，根据该位置偏差量，校正其位置偏差，进行各个电子零件90的安装和检查。

并且，电路基板52在一个基板位置基准标记400附近，附加作为表示基板ID的基板ID指示符的基板ID标记404。该基板ID标记404为二维条码，具有能够缩小作为相对于其信息量的指示符大小的这一优点。基板ID标记404也与基板位置基准标记400、402同样，用上述基板摄像装置62、162、304摄像，通过由作为图像处理装置的基板图像处理单元106、226、336处理所得的图像数据，取得基板ID信息。即，可以说，包括这些基板摄像装置62、162、304和基板图像处理单元106、226、336，构成各个对基板作业机的基板ID信息识别取得装置。另外，基板位置基准标记400和基板ID标记404都有收纳在各个基板摄像装置62、162、304的一个视野内这样的位置关系，可以同时识别两者。

电路基板52，在电子零件安装区域406内安装有许多电子零件90。这些电子零件90一个个都是第1零件安装机12和第2零件安装机14的作业对象，即安装对象。关于安装对象的信息，即安装对象信息是有关在电子零件安装区域406内哪个位置以哪种安装方位安装哪种电子零件的信息，存在于每一台零件安装机中，如下列[表1]所示，除了电子零件名称外，由包含X轴方向的位置(X₀)、Y轴方向(Y₀)、电气零件的方位角度(θ₀)等安装位置信息构成。更详细点说，安装位置信息是关于以电路基板52规定原点为中心的理论坐标位置的数据，是安装对象的电子零件90中心点的该坐标位置及其该电子零件90在与电路基板平行平面内的转动角度数据。另外，[表1]里这些用任意单位(a.u.)表示。如上述一样，安装对象信息存储在各安装机的RAM124、324内，并且，也都是用于决定检查作业的作业顺序和求出安装对象的位置偏差量的数据，也存储在安装结果检查机16的RAM354内。

[表11

《第1零件安装机》

安装对象	零件名称	安装位置信息
		安装位置信息			X₀	Y₀	θ₀
		A-001A-002A-003A-004A-005A-006A-007A-008A-009A-010A-011A-012：：	FG05689FG05689HY00356FG47725VR00047VF01478VD33325VD33325NN25554KT14487HH00023HG47662：：	235135301204453503803803251806595：：	X₀	Y₀	θ₀	25251551407585556511019050150：：	909001800900027001800：：

《第2零件安装机》

安装对象	零件名称	安装位置信息
		安装位置信息			X₀	Y₀	θ₀
		B-001B-002B-003B-004B-005B-006B-007B-008B-009B-010B-011：：	DK01255BB58843BB58843GF00141KU11137NR22300HD11447HD11447CS00055ZA00007GP22214：：	1104454252753253508080225130165：：	X₀	Y₀	θ₀	1801501506519013530501409045：：	0001802709000900180：：

《第1零件安装机和作业信息》

用焊料涂复机10印刷膏状焊料的电路基板，被搬送到第1零件安装机12上，供给一个对电路基板作业的第1电子零件安装作业(第1零件安装作业)。该第1零件安装作业相当于电解电路制造中的一个对电路基板作业工序的安装作业工序。图12中表示零件安装作业的流程图。第1零件安装作业，通过按照该流程使第1零件安装机12的安装作业装置动作来执行。第1零件安装机12的安装作业装置，通过安装控制装置64动作，按照ROM122内存储的基本运作程序、和关于RAM124内存储的供给作业的电路基板的电子零件安装作业程序进行动作。RAM124内，也存储有关收纳安装对象的电子零件90的零件供给装置带式送料器82、适合该电子零件90的吸附嘴92等作业器具的信息等，上述电子零件安装程序可以说是，用于根据有关这些器具的信息、上述的安装对象信息等，遵从设定的作业顺序，进行对安装对象的作业程序。

第1安装作业中，首先，在步骤1(以下简略为「S1」。其它步骤也同样)，从上游侧基板搬送机20搬入的电路基板52，借助于基板固定装置54固定在大体预定的位置上。即，该工序是基板固定工序。

接着，在S2，进行基板固定位置信息和基板ID识别信息的取得。基板ID识别工序和基板固定位置信息取得工序是一种组合的工序。首先，基板摄像装置62通过与基板固定装置54一起用XY台装置56移动基板固定装置54上固定的电路基板52，使基板摄像装置62位于带有一个基板位置基准标记400的上方。该基板位置基准标记400附近带有基板ID标记404，严格地说，将基板摄像装置62相对移动到两者都纳入一个视野内的位置。而且在该位置对2个标记400、404及其周围的基板表面摄像。然后，根据由摄像得到的图像数据进行图像处理，取得基板位置基准标记400对第1零件安装机12机械座标的位置信息。并且，该图像处理中，既处理基板ID标记的图像数据，又处理关于基板ID的图像数据，也取得所保持的电路基板的基板ID信息。

其次，随着电路基板52移动，基板摄像装置62已经位于一个基板位置基准标记402的上方。在该位置对基板位置基准标记402及其周围基板表面部分摄像。而且，由摄像得到的图像数据经图像处理，取得对基板位置基准标记402的上述机械座标的位置信息。

接着，根据上述取得的2个基板位置基准标记400、402的位置数据，运算处理固定后的电路基板52的基板固定位置，取得基板固定位置信息。该信息是，关于实际的基板固定位置相对于预定的基板固定位置偏移多少程度的信息，例如，作为X轴方向偏差ΔXb₁、Y轴方向偏差ΔYb₁、θ轴方向偏差Δθb₁(转动角度即与电路基板表面平行的平面内的电路基板倾斜)的形式数据，与上述基板ID信息一起存入RAM124。并且，安装控制装置64，根据这些位置数据，制作机械座标和另外假想座标的作业座标。以下关于电路基板52的动作指示、作业指示就是执行指定其作业坐标的位置。

从S3到S7，关于安装作业的安装机的动作，即，用于安装一个电子零件的安装作业例行程序。首先，在S3的零件供给工序，移动零件供给装置58的零件供给台78，使收纳最初成为安装对象的电子零件90的带式送料器82位于零件供给位置。另外，关于供给成为安装对象的电子零件90的送料器78的信息，存入RAM124内。

接着，在S4的零件吸附工序，安装单元60的安装头88在零件供给位置C吸附保持其电子零件90。在该零件吸附前(在零件供给位置C跟前的位置)，其安装头88选择其中装备的6个吸附嘴92之中适合该电子零件90的吸附嘴92，使此吸附嘴92位于吸附位置。并且，关于进行该吸附的吸附嘴92信息，存入RAM124内。

吸附工序后，保持电气零件90的安装头88间歇旋转移动。而且，当该安装头88间歇旋转移动并位于零件摄像位置S的时候，执行S5的保持姿势信息取得工序。该保持姿势信息取得工序中，利用零件摄像装置102，对所保持的电气零件90摄像，通过对其摄像得到的图像数据进行图像处理，取得保持的电气零件90的保持姿势信息。该保持姿势信息，例如，作为从安装头88中心到电子零件90中心的X轴方向位置偏差量δX与Y轴方向位置偏差量δY、在与电路基板52平行的平面内的旋转方位(θ轴方向)偏差量δθ的形式的数据，存入RAM124内。

接着，安装头88又间歇旋转移动，执行S6的安装位置校正工序。安装位置校正工序根据前面保持姿势信息校正安装位置，可以分成XY轴方向和θ轴方向的2步校正工序。在安装头88位于零件摄像位置S与零件安装位置D之间位置时进行θ轴方向的校正。即，根据上述安装位置信息，安装头88以自身的轴为中心转动，决定成为安装对象的电子零件90的安装方位时，调整其转动量使之消除上述δθ，进行θ轴方向的校正。并且，根据成为安装对象的电子零件90的上述安装位置信息，使固定电路基板52的基板固定装置54移动到安装位置的时候进行XY轴方向的校正。即，调整其移动量使之消除上述δX和δY方式来进行的。

接着，在使电路基板52移动到安装位置，而且，安装头88间歇转动并位于零件安装台D的时候，在S7的零件安装工序，即，在电路基板52的上述安装位置信息所示的规定安装位置，安装成为安装对象的电子零件90。接着，在S8，判定全部安装对象的安装是否结束，安装没有结束的场合，返回S3，开始对预定的下一个安装对象的安装作业。本第1零件安装机12是旋转头式安装装置，所以实际上，各个安装头88的S3到S7的工序都是与其它安装头88的这些工序重叠，同时期进行。

另外，吸附工序中没有吸到电子零件的场合，即吸附失误发生时，用吸附失误的安装头88以后的安装头88再次吸附进行安装。就是所谓的恢复。并且，对该安装对象的恢复二次连续失败时，要控制使之不再进行该安装对象的安装。将有关吸附失误和回收的信息，存入安装控制装置64的RAM124内。

对全部安装对象的安装作业结束以后，执行S9的安装作业信息作成·传送工序。作成的安装作业信息是一种对基板作业信息，也是作为作业结果的安装结果信息、作业条件信息的安装条件信息等，本实施例中，就安装结果信息来说，制成关于不进行安装作业的安装对象的不安装信息(不作业信息的一种形式)、关于重做安装作业即恢复的安装对象的再安装信息(再作业信息的一种形式)、关于全部安装对象的安装作业所需要的时间的安装总时间信息(作业总时间信息的一种形式)，送给安装结果检查机16。并且，就安装条件信息来说，制成关于每个安装对象使用的吸附嘴92的信息(执行嘴信息)、关于收纳各个安装对象电子零件90的零件送料器78的信息(执行送料器信息)、和关于根据吸附保持电子零件90的姿势进行的校正量的信息(零件姿势校正量信息)，送给安装结果检查机16。具体点说，安装作业信息，制成如下列[表2]所示的数据形式予以传送。

[表2]

《第1零件安装机》

基板ID：XGB01233 安装总时间：XXX秒

安装对象	零件名称	吸附嘴	送料器	零件姿势校正量			安装结果
				零件姿势校正量				δx	δy	δθ
				A-001A-002A-003A-004A-005A-006A-007A-008A-003A-009A-010A-011A-012：：	FG05689FG05689HY00356FG47725VR00047VF01478VD33325VD33325HY00356NN25554KT14487HH00023HG47662：：	a-1b-1c-2d-5e-2f-2g-3h-3i-2j-1k-4l-2m-1：：		δx	δy	δθ	A0004A0004A0006A0007A0008A0010A0011A0011A0006A0013A0014A0015A0017：：	-322-264-1-132-41：：	1-2121130-121-31：：	1121-3121-4211：：	吸附失误恢复：：

对[表2]附加说明。第1零件安装机12有16个安装头88，各个安装头88有6个吸附嘴92。执行嘴信息的小写a表示安装头88的号码，接着短划的数字是具有该安装头88的吸附嘴92的号码。执行送料器信息表示零件送料器78的号码。零件姿势校正量信息是用任意单位(a.u.)表示校正量，±是校正的方向，表示绝对值越大校正量越多。按照[表2]的例子，安装对象A-006表示校正量过大，并且，安装对象A-003表示发生吸附失误并恢复的情况。并且，将安装作业信息制成与S2的基板ID信息取得工序中取得的基板ID相关联，并予以传送。

安装作业信息的制成和传输由安装控制装置64来进行。制成计算机130内安装作业信息的部分就是安装作业信息作成部，并且，包括执行计算机130内传输的部分、收发控制装置136等，构成安装作业信息传输装置(对基板作业信息传输装置的一种形式)。安装作业信息的制成·传输以后，在S10的基板固定解除工序中，向预定的安装对象的安装作业完了的电路基板52，由基板固定装置54解除固定。然后，将电路基板52送往上游侧的基板搬送机20。

《第2零件安装机和作业信息》

第1零件安装机12中，安装一部分电子零件90后的电路基板52被搬送到第2零件安装机14，供给一种对电路基板作业的第2电子零件安装作业(第2零件安装作业)。另外，该第2零件安装作业也相当于电解电路制造中的一个对电路基板作业工序的安装作业工序。第2零件安装作业与第1零件安装作业同样，通过按照图12所示的流程，使第2零件安装机14运作来执行。第2零件安装机14，通过安装控制装置164动作，按照ROM122内存储的基本运作程序和关于供给RAM124内存储的供给作业的电路基板的电子零件安装作业程序进行动作。RAM234内，也存储有关收纳安装对象的电子零件的零件供给装置的零件送料器等、适合该电子零件的吸附嘴等作业器具的信息等；上述电子零件安装程序可以说是，用于根据有关这些器具的信息、上述的安装对象信息等，遵从设定的作业顺序，进行对安装对象的作业程序。关于这些，都与第1零件安装作业的场合大致同样。

以下，与第1零件安装作业的场合同样地说明第2零件安装作业。第2安装作业中，首先，在S1的基板固定工序，从与第2零件安装机14之间的基板搬送机18搬入的电路基板52，借助于基板固定装置152，固定在大体预定的位置上。接着，在S2，进行基板固定位置信息和基板ID识别信息的取得。基板ID识别工序和基板固定位置信息取得工序是一种组合的工序。本第2零件安装机14因为是XY自动型的安装装置，所以与第1零件安装机12的情况不同，借助于XY自动装置160，在固定的电路基板52上方沿与电路基板52表面平行的平面移动基板固定装置162。本工序除此以外，都与上述第1零件安装机12的情况同样，所以简单进行说明。对一方的基板位置基准标记400及其附近附加的基板ID标记404摄像，并且，对另一方的基板位置基准标记402摄像，分别进行图像处理，取得基板固定位置信息和基板ID信息。基板固定位置信息与第1零件安装作业的情况同样，是关于实际的基板固定位置相对预定的基板固定位置偏移多少程度的信息，例如，作为X轴方向偏差ΔXb₂、Y轴方向偏差ΔYb₂、θ轴方向偏差Δθb₂₃的形式的数据，与上述基板ID信息一起存入RAM234内。并且，与第1零件安装作业的情况同样，安装控制装置164，根据这些位置数据，制作机械坐标和另外假想坐标的作业坐标，以下关于电路基板52的动作指示、作业指示就是执行指定该作业坐标的位置。

从S3到S7，是安装作业的例行程序。由于本第2零件安装机14是XY自动型的安装装置，所以安装单元158利用XY自动装置160，在2个零件供给装置154、156与固定于基板固定装置152上电路基板52之间移动，详细点说，在收纳安装对象的电子零件90的带式送料器172与安装该电子零件90的电路基板52上安装位置之间移动，并进行零件吸附及零件安装。除此以外，都与上述第1零件安装作业大致同样，所以说明省略。另外，吸附嘴182可与收容于嘴收容装置192内的吸附嘴随意交换，在吸附安装对象的电子零件90以前，跟交换成对该电子零件90适合的吸附嘴。关于供给安装对象的电子零件90的带式送料器172的信息和关于进行吸附的吸附嘴182的信息都存入RAM234内。并且，零件吸附与零件安装之间，由零件摄像装置220识别取得的电子零件90的保持姿势信息也存入RAM234内。安装位置校正，对θ轴方向来说，在通过安装头184的旋转决定电子零件90的安装方位时进行，对XY轴方向来说，是在向安装单元158安装位置移动之际进行。全部安装对象的安装作业完毕，从S3到S7为止的安装作业程序结束。关于吸附失误及其恢复的操作也是与第1零件安装作业同样，这些信息也存入安装控制装置164的RAM234内。

与第1零件安装作业的情况同样，对全部安装对象的安装作业结束以后，执行S9的安装作业信息制成·传送工序。制成·传送的安装作业信息方面，也与第1零件安装作业的情况同样，包括作为作业结果信息的不安装信息、再安装信息、安装总时间信息，和作为装条件信息的执行嘴信息、执行供料器信息、和零件姿势校正量信息。第2零件安装作业中作成并传送给安装结果检查机16的安装作业信息，具体点说，就是下列[表3]所示的这种数据形式。

[表3]《第2零件安装机》

基板ID：XGB01233安装总时间：YYY秒

安装对象	零件名称	吸附嘴	送料器	零件姿势校正量			安装结果
				零件姿势校正量				δx	δy	δθ
				B-001B-002B-003B-004B-005B-006B-007B-007B-007B-008B-009B-010B-011：：	DK01255BB58843BB58843GF00141KU11137NR22300HD11447HD11447HD11447BE61632CS00055ZA00007GP22214：：	1111111111226：：		δx	δy	δθ	B0011B0002B0002B0022B0004B0005B0009B0009B0009B0018B0012B0006PP：：	21-23-1-1124-3：：	-2-3-8131-2-112：：	1-3141213-2-11：：	吸着失误吸着失误不能安装：：

对[表3]附带说明。第2零件安装机14有8个吸附嘴182。执行嘴信息的数字表示吸附嘴182的号码。执行送料器信息表示带式送料器172的号码(PP表示由零件板台供给)。零件姿势校正量信息是与第1零件安装作业的情况同样。按照[表3]的例子，安装对象B-003表示校正量过大，并且，安装对象B-007表示连续3次发生吸附失误，不能恢复地不能安装的情况。并且，与第1零件安装作业同样，将安装作业信息制成与S2的基板ID信息取得工序中取得的基板ID相关联，并予以传送。并且，安装作业信息的制作和传输，由安装控制装置164来进行。制成计算机240内安装作业信息的部分就是安装作业信息作成部，并且，包括控制计算机240内传输的部分和收发控制装置246等，构成本第2零件安装机中的安装作业信息传输装置(对基板作业信息传输装置的一种形式)。

《履历信息》

进行安装结果检查作业的说明以前，对履历信息进行说明。本实施例中，安装结果检查机16的检查控制装置308所具备的RAM354内，存储一种履历信息的作业器具履历信息，详细点说，关于进行对电路基板作业的第1零件安装机12和第2零件安装机14的作业器具信息。更详细点说，是当作器具不良履历信息的每个吸附嘴92、182的不良率(单位：％)，作为器具使用履历信息的每个吸附嘴92、182的安装次数和每个带式送料器82、172的使用时间(开始使用后的总运作时间)。具体点说，按下列[表4]所示的数据形式存储起来。

[表4]

《第1零件安装机》

吸附嘴			送料器
吸附嘴			送料器		No.	不良率	安装次数	No.	使用时间
a-1a-2a-3a-4a-5a-6b-1b-2b-3：：	0.030.200.010.110.230.041.530.170.12：：	12567145586890128452154266221475618144136：：	A0001A0002A0003A0004A0005A0006A0007A0008A0009：：	1254325424584891422146579624581136：：	No.	不良率	安装次数	No.	使用时间

《第2零件安装机》

吸附嘴			送料器
吸附嘴			送料器		No.	不良率	安装次数	No.	使用时间
123456：：	0.240.210.050.330.020.08：：	12584245878547114369358992586：：	B0001B0002B0003B0004B0005B0006：：	2455183536536321205871124：：	No.	不良率	安装次数	No.	使用时间

举例表示履历信息的上述[表4]中，对第1零件安装机12的作业器具而言，示出号码b(以下，简略「号码」表示为#)的安装头88有#1的吸附嘴92不良率很高。即，表示用#b-1号吸附嘴92进行安装作业的场合，其作业对象成为安装不良的可能性很高。并且，对第2零件安装机14的作业器具而言，表示#2号吸附嘴182此前的安装次数很多，和#B0005号带式送料器172的使用时间很长。即，因为#2号吸附嘴92以前使用次数很多，并且，#B0005号带式送料器172以前运作时间很长，使用这些作业器具的安装对象成为安装不良的可能性很高。

《检查作业及其附带作业》

第1零件安装机12和第2零件安装机14的第1零件安装作业和第2零件安装作业的结果，由配备在第2零件安装机14下游侧的安装结果检查机16进行检查。如前面所述，安装结果检查机16为XY自动型检查装置，依靠XY自动装置306移动基板摄像装置304，给电路基板52上安装总的电子零件90摄像，通过图像处理其摄像数据，检查各个安装位置偏差。安装检查结果作业，按照图13所示的流程，通过使安装结果检查机16的检查作业装置动作来进行。安装结果检查机16的检查作业装置，由检查控制装置308动作，按照存入ROM352的基本动作程序和由检查控制装置308决定每个电路基板52的作业顺序等进行动作。

首先，在S21的基板固定工序，固定从上游侧基板搬送机20搬入的装上了电子零件90的电路基板52。其次，在S22的基板ID识别工序和基板固定位置信息取得工序，进行基板固定位置信息和基板ID识别信息的取得。本安装结果检查机16是XY型安装装置，故按照与上述第2零件安装作业的情况同样的顺序进行。简单地说，利用基板摄像装置304，对一方基板位置基准标记400及其附近的基板ID标记404摄像，并且，对另一方基板位置基准标记402摄像，分别进行图像处理，取得基板固定位置信息和基板ID信息。基板固定位置信息，与上述零件安装作业情况同样，是关于实际基板固定位置相对于预定的基板固定位置偏移多少程度的信息，例如，作为X轴方向偏差ΔXb₃、Y轴方向偏差ΔYb₃、θ轴方向偏差Δθb₃这种形式的数据，与上述基板ID信息一起存入RAM354内。并且，与零件安装作业的情况同样，检查控制装置308根据这些位置数据，制作机械坐标和另外假想坐标的作业坐标，以下关于电路基板52的动作指示、作业指示决定执行指定该作业坐标的位置。并且，至于装好的电子零件90位置偏差量，也作为根据该作业坐标的位置偏差量而取得。

其次，在S23的安装作业信息读出工序，从传送到检查控制装置308传送并存入RAM354的安装作业信息之中，根据S22中取得的基板ID信息，读出对供给该检查作业的该电路基板52进行的第1零件安装作业和第2零件安装作业的安装作业信息。就是，跟该基板ID匹配，读出与基板ID有关联地存储起来的安装作业信息。而且，在S24的检查作业顺序决定工序，根据读出的安装作业信息，决定检查作业的作业顺序。

在S24的检查作业顺序决定的例行程序，按照图14中所示的流程进行。首先，在S101的检查对象除外工序，从对该电路基板52进行的安装作业的作业对象，即安装对象之中选择并免除不进行检查作业的安装对象。具体地说，关于上述[表2]和[表3]中举例示出的安装对象，安装对象B-007因为不进行电子零件90的安装，从检查对象将它除外。即，本检查对象除外工序是，根据不安装对象信息从检查对象中除去其安装对象的工序。RAM354具有非除外安装对象存储部，该非除外安装对象存储部内存储作为除外的安装对象以外安装对象的非除外安装对象。

其次，在S102的再安装对象选定工序，从上述非除外安装对象之中，将再安装即恢复的安装对象选择为检查对象。具体点，可以说上述[表2]和[表3]中举例示出的安装对象，相当于恢复的安装对象A-003。即，本再安装对象选定工序是，根据再安装对象信息，认定再安装对象变成安装不良可能性高的当作不良可能性安装对象，选定它作为检查对象的工序。RAM354具有检查对象存储部，并将再安装对象存入该检查对象存储部内。

其次，在S103的校正量过大对象选定工序，从上述非除外安装对象之中，将根据电子零件90的保持姿势信息进行的校正量大的安装对象选定为检查对象。具体地说，关于上述[表2]和[表3]中举例示出的安装对象，相当于安装对象A-006和B-003。即，本校正量过大对象选定工序是，根据安装条件信息的一种状态的姿势校正量信息认定校正量过大对象作为不良可能性安装对象，选定它作为检查对象的工序。将选定的校正量过大对象，追加存入RAM354具有的上述检查对象存储部内。

其次，在S104的高不良率嘴对象选定工序，从上述非除外安装对象之中，将用不良率高的吸附嘴92、182进行安装作业的安装对象选定为检查对象。这是根据存入RAM354内的上述器具不良履历信息认定规定以上不良率的高不良率嘴，根据已经传送的上述执行嘴信息，通过选出用该高不良率嘴进行安装作业的安装对象来进行。具体地说关于上述[表2]和[表3]中举例示出的安装对象，采用根据上述[表4]举例示出的履历信息的办法，相当于用#b-1的吸附嘴92进行的安装对象A-002。即，该高不良率嘴对象选定工序是，根据器具不良履历信息和执行器具信息，认定不良可能性安装对象，选定它作为检查对象的工序的一个方案。将用高不良率嘴进行安装作业的选定安装对象，追加存入上述检查对象存储部内。

其次，在S105的高使用嘴对象选定工序，从上述非除外安装对象之中，将用至今进行安装次数多的吸附嘴92、182进行安装作业的安装对象选定为检查对象。就是选定利用高使用频度的吸附嘴92、182进行的安装对象。这是根据存入RAM354内的上述器具不良履历信息认定规定安装次数以上在使用的高使用嘴，根据已经传送的上述执行嘴信息，通过选出用该高使用嘴进行安装作业的安装对象的办法来进行。具体地说，关于上述[表2]和[表3]中举例示出的安装对象，采用上述[表4]举例示出的履历信息的办法，相当于用#2的吸附嘴182进行的安装对象B-009、B-010。即，该高使用嘴对象选定工序是，根据器具使用履历信息和执行器具信息，认定不良可能性安装对象，选定它为检查对象的工序的一个方案。将用高使用嘴进行安装作业的选定安装对象，追加存入上述检查对象存储部内。

其次，在S106的高使用送料器对象选定工序，从上述非除外安装对象之中，对至今使用时间长的，即由运作时间长的带式送料器82、172供给的电子零件进行安装作业的安装对象选定为检查对象。就是选定与使用程度高的带式送料器82、172相关的安装对象。这是根据存入RAM354内的上述器具不良履历信息认定规定使用时间以上在使用的高使用送料器，根据已经传送的上述执行送料器信息，通过选出关系该高使用送料器的安装对象办法来进行。具体地说，上述[表2]和[表3]中举例示出的安装对象中，采用根据上述[表4]举例示出的履历信息的办法，相当于对由#B0005的带式送料器172供给的电子零件90进行安装的安装对象B-006。即，该高使用送料器对象程度工序是，根据器具使用履历信息和执行器具信息认定不良可能性安装对象，选定它为检查对象的工序的一个方案。将由高使用送料器供给的电子零件进行安装作业的选定安装对象，追加存入上述检查对象存储部内。

上述S103到S106的再安装对象选定工序、校正量过大对象选定工序、高不良率嘴对象选定工序、高使用嘴对象选定工序和高使用送料器选定工序都是根据安装作业信息，选定变成安装不良可能性高的不良可能性对象的工序，将其统一可以称之为不良可能性对象选定工序。在结束该不良可能性对象选定工序的时刻，仅将不良可能性对象作为检查对象，存入RAM354的检查对象存储部内。

其次，在S107的追加对象选定工序，追加选定不良可能性对象以外的安装对象为检查对象。在本电气电路制造系统中，作为同时期一个批次制造多个同一种电气电路的场合，当只选定上述不良可能性对象为检查对象的时候，往往留下该批次中没有检查的安装对象。检查控制装置308的RAM354内，存储有供给检查作业的电路基板52和对同批次的电路基板的检查作业履历信息，并含有该电路基板品种中关于过去检查对象的安装对象的信息。因而，在本追加对象选定工序中，根据该检查作业履历信息，选定安装对象，使设定全部安装对象的检查频度不下降。具体地说，假设连续未检查其安装对象的电路基板数为非检查计算数n时，要选定使其不超过设定n的基准值n₀。更具体地说，供检查电路基板52的该安装对象的非检查计算数n，如果在这次检查中没有检查，就选定到达基准值的n₀的安装对象作为追加对象。由此，全部的安装对象，对电路基板数而言，按至少不减少1/n₀的频度变成检查对象。选定的追加对象被追加存入RAM354的上述检查对象存储部内。

其次，在S108的检查顺序决定工序，在已往的工序中，决定对选定的检查对象的检查顺序。检查需要的时间，笼统地说，由对全部检查对象到摄像位置为止的基板摄像装置304移动时间、摄像时间、图像处理时间等决定。其中，基板摄像装置304的移动时间占检查需要时间的比率较大。例如，如图15(a)所示，按安装进行的顺序进行检查的情况下，基板摄像装置304移动路径长，移动时间加长。因此，在本检查顺序决定工序中，要缩短该移动时间，决定检查对象的检查顺序，使其基板摄像装置304的移动路径缩短。其结果，例如，决定检查顺序，使之按如图15(b)所示的路径移动基板摄像装置304。具体的决定方法，例如可以如以下进行。RAM354内，存储着上述[表1]上所示的这种各安装对象的安装位置信息，根据与选定的检查对象相应的安装对象的安装位置信息，运算各安装对象的间隔距离，然后，累计设想的全部移动路径各个场合的总移动距离，选择其总移动距离成为最短时的移动路径，只要按照该移动路径的顺序为检查顺序就行。

其次，在S109的检查时间判定工序，根据选定的检查对象和其检查顺序，推定检查作业需要的时间，进行其推定的检查作业时间是否在设定的时间内的判定。本实施例的情况下，具体点说，将根据实际检查作业结果等预先设定的一个摄像时间和图像处理时间与检查对象数的乘积，和从由XY自动装置306产生基板摄像装置304的移动速度与上述总移动距离求出的移动时间合计，推定检查作业时间。推定的检查作业时间超过上述设定作业时间的场合，选拔该检查作业顺序决定的例行程序，开始检查作业。只要是设定作业时间内，就进入下一S110的再追加对象选定工序。

S110的再追加对象选定工序，追加安装对象为检查对象。先前追加对象选定工序中，上述的非检查计算数n没有进行检查的话，便追加(n₀-1)的安装对象为检查对象。再追加选定的追加对象，追加存入RAM354的上述检查对象存储部内。其次，在S111的再检查顺序决定工序，对于追加的对象包括全部的检查对象，利用与上述S108的检查顺序工序时同样的方法，决定检查顺序。然后，在S112的再检查时间判定工序，与先前的S109的检查时间判定工序时同样的方法，推定按其决定的检查顺序检查时的检查作业时间，判定其检查作业时间是不是在上述设定时间内。

判定的结果，检查作业时间是设定时间内的情况下，再次返回S110的再追加对象选定工序，进而又追加安装对象为检查对象。这次如果上述非检查计算数n没有进行检查，就追加(n₀-2)的安装对象为检查对象。而且，在进行S111的再检查顺序决定工序进而S112的再检查时间判定工序中，进行检查作业时间是不是在设定作业时间内的判定。使与非检查计算数n对照的基准值逐步每次又减少1，直到检查作业时间超过设定作业时间为止，重复进行该程序。推定的检查作业时间超过设定作业时间时，在S113的追加对象删除工序，从检查对象中删除最后追加的安装对象。这样一来，结束检查作业顺序决定的程序。

以上的检查作业顺序决定例行程序，由检查控制装置308来执行。所以，检查控制装置308中决定如此检查作业的作业顺序的部分成了作业顺序决定部。进而，作业顺序决定部中，进行S101工序的部分相当于检查对象除外部、进行从S102到S106工序的部分相当于不良可能性对象选定部、进行从S107到S110各个工序的部分相当于追加对象选定部。并且，进行S108和S111各个工序的部分相当于检查顺序决定部，进行从S110到S112的程序和S113工序的部分就是选定检查对象的时间限制选定部，以便在设定的检查作业时间内结束检查作业。

决定了检查作业的作业顺序以后，在S25的检查作业工序，按照决定的作业顺序进行检查作业。按照决定的检查顺序，用基板摄像装置304对成为检查对象的安装后的电子零件90及其周围进行摄像，用图像处理单元336图像处理所得的摄像数据，取得其检查对象的安装位置偏差量。检查控制装置308的RAM354内，如先前说明一样，存储有上述[表1]中所示那样的各安装对象的安装位置信息。具体点说，根据该安装位置信息，分别求出X轴方向的位置偏差量ΔX、Y轴方向的位置偏差量ΔY、θ轴方向的位置偏差量Δθ。这些位置偏差量要存入RAM354内。对于全部的检查对象的检查作业结束后，而且在S26进行判定，已经全部结束的情况下，转移到下一S27的检查结果信息制成工序。

在S27的检查作业信息作成工序，制成关于检查的全部检查对象的检查结果信息。具体点说，按下列[表5]中所示的这种数据形式制作。另外，[表5]中，安装位置偏差量是以任意单位(a.u.)表示，±是位置偏差的方向，表示绝对值越大的位置偏差量越多。安装位置偏差量比设定的界限量还大的场合，将其检查对象判定为NG即安装不良，该检查结果也一并存入RAM354内。检查结果信息，利用到电路基板52的合格不合格判定、安装不良部分的修理作业、第1零件安装机12和第2零件安装机14的状态分析等各种目的。另外，下列[表5]中，除不良可能性对象以外，将安装对象A-004、A-011、B-001、B-008追加选定为检查对象。

[表5]

基板ID：XGB01233

检查对象	零件名称	安装结果	嘴	送料器	零件姿势校正量			安装位置偏移量			检查结果
					零件姿势校正量			安装位置偏移量				δX	δY	δθ	ΔX	ΔY	Δθ
					A-002 A-003A-004A-006A-011：：B-001B-003B-006B-008B-009 B-010：：	FG05689HY00356FG47725VF01478HH00023：：DK01255BB58843NR22300BE61632CS00055ZA00007：：	恢复：：：：	b-1i-2d-2f-2l-2：：11112 2：：	A0004A0006A0007A0010A0015：：B0011B0002B0005B0018B0012B0006：：	2-126-4：：2-2-1124：：		δX	δY	δθ	ΔX	ΔY	Δθ	-2-1111-3：：-2-81-2-11：：	112-31：：11413-2-1：：	10-322：：1-2-1-211：：	21-2-15-1：：2311-11：：	20-110：：-221112-4：：	○○○NG○：：○○○○NG○：：

检查结果信息制成以后，在S28的履历信息更新工序，更新RAM354内迄今为止存储的履历信息。履历信息的更新根据上述安装作业信息和制成的检查结果信息进行。具体点说，如采用上述[表4]中所示的履历信息、上述[表2]和[表3]中所示的安装作业信息和上述[表5]中所示的检查结果信息为例，则如下进行。在吸附嘴92、182的不良履历信息，即不良率的方面，因为检查对象A-006和B-009成了安装不良，根据检查结果信息，以这些安装作业中使用过的#f-2和#2的吸附嘴92、182进行不良安装的吸附嘴为前提进行更新。并且，在吸附嘴92、182的使用履历信息，即安装次数方面，根据安装作业信息中的执行器具信息，详细点说，根据执行嘴信息，将安装次数相加予以更新。并且，在带式送料器82、172的使用履历信息，即使用时间的方面，对各自全部带式送料器82、172的使用时间，通过使安装结果信息的第1零件安装作业或第2零件安装作业的安装总时间相加后予以更新。这样一来，更新后的履历信息在以后的安装结果检查作业利用。另外，检查控制装置308执行本工序的部分就是履历信息更新部。

检查作业和其附带的检查结果信息制成等的附带作业完了以后，在S39的基板固定解除工序，用基板固定装置302固定的电路基板52被解除其固定，安装结果检查工序结束。从以上的说明可以判明，本实施例中，基于安装作业信息决定检查作业的作业顺序，按照其作业顺序进行检查作业，所以能够有效地检查。

《变形例》

上述实施例的情况，就履历信息来说，采用有关吸附嘴92、182的不良率的信息、有关吸附嘴92、182的安装次数的信息、有关带式送料器82，172的使用时间的信息。履历信息不是这些限定的信息，而是例如，也可以把吸附嘴92、182计算吸附失误，每个吸附嘴92、182的吸附失误率用作履历信息。这样，履历信息就可以采用各种方式。

本实施例中，检查作业的作业顺序决定之际，在检查对象的时间限制选定中，要进行检查对象的调整，使之在设定的作业时间内结束检查作业。该设定检查作业时间也可以是任意设定的，并且，也可以根据安装作业信息来设定检查作业时间。例如，作为作业结果信息之一，如前所述，包括在有关安装总时间的信息，利用该信息，也能设定检查作业时间。例如，根据有关供给检查电路基板的安装总时间数据，或者，至今对安装了的电路基板的安装总时间数据的平均等，也可以限制检查作业时间。这样的方案也是根据对基板作业信息决定检查作业的作业顺序。另外，流水线配置二台以上安装机的场合，若考虑到电气电路制造的流水线节拍，安装时间利用最长的安装机的安装总时间数据也行。

上述实施例的情况，将履历信息存入安装结果检查机16的检查控制装置308。代之或与其同时，存入第1零件安装机12、第2零件安装机14的安装控制装置64、164里也可以。这时，例如，用检查控制装置308完成履历工序之后，将其履历信息传输给安装控制装置64、164也行。在零件安装机一侧存储履历信息的场合，例如，变更流水线构成，将其安装结果检查机与其零件安装机分开构成新的组合流水线的场合，也有容易利用其履历信息的这一优点。并且，在安装机一侧如果不断存入器具履历信息，调换安装机的吸附嘴、带式送料器等作业器具等的场合，清除、更新其履历信息等时候的履历信息管理容易。

上述实施例的情况，安装结果检查机16以用基板摄像装置304的一次摄像检查一个检查对象为前提。也可以代之以，例如，采用能够广范围摄像的CCD摄像机作为摄像器件的基板摄像装置，在一次摄像中也可检查多个检查对象。此时，例如，选定不良可能性检查对象为检查对象的话，就连器周围的安装对象也可以作为检查对象(变成上述实施例中的追加选定对象)，成为更有效的检查作业。

本实施例中，各对基板作业机虽然用通信电缆26联系起来的，但各种控制也可由自身具备的控制装置独立进行。取而代之，也可以设置能够统一管理电气电路制造线的主机这样的流水线控制装置。这时，把对基板作业信息作为开始的各种信息集中于流水线控制装置，并且，也可以将履历信息等信息也不断存入流水线控制装置里，由该流水线控制装置进行上述检查作业的作业顺序的决定、履历信息的更新等。

上述实施例的情况，安装结果检查装置作为独立的安装结果检查机16配备在流水线上。也可以是代之以配备零件安装装置和安装结果检查装置成为一体的带检查装置零件安装机。图16中所示的方式就是如此，该图中的第2零件安装机450变成带检查装置零件安装机。该第2零件安装机450具备的安装结果检查装置，检查上游侧的第1零件安装机12的安装结果和自身的安装结果。带有该检查装置的第2零件安装机450的构成大致与上述实施例中第2零件安装机14同样，借助于它具备的基板摄像装置162，对安装上的电子零件90摄像，通过由基板图像处理单元226图像处理摄像数据，取得安装对象的安装位置偏差量。所以，就是把上述实施例的安装结果检查机16的检查控制装置308的任务变成由本第2零件安装机450的安装控制装置承担。不需要设置独立的检查机，可使电气电路制造线简单化。另外，虽然说明省略，但是第1零件安装机12中同样，也可以带有用作检查装置的功能。

Claims

1一种对基板作业结果检查装置，检查对电路基板进行的对电路基板作业结果，其特征是，

该检查控制装置包括，根据对电路基板进行的上述对电路基板作业的作业信息的对基板作业信息，决定对该电路基板的检查作业的作业顺序的作业顺序决定部。

2根据权利要求1所述的对基板作业结果检查装置，其特征是上述对电路基板作业是将电气零件安装到电路基板上的电气零件安装作业，检查通过该电气零件安装作业安装后的电气零件的安装结果。

3根据权利要求1或2所述的对基板作业结果检查装置，其特征是上述作业顺序决定部进而根据有关上述对电路基板作业的履历信息，决定上述检查作业的作业顺序。

4根据权利要求3所述的对基板作业结果检查装置，其特征是，

该对基板作业结果检查装置检查用具备一个以上作业器具的对基板作业装置进行的上述对电路基板作业的结果，

上述作业顺序决定部根据上述器具不良履历信息与上述器具使用履历信息的至少一方和上述执行器具信息，决定上述检查作业的作业顺序。

5根据权利要求1或2的任一项中所述的对基板作业结果检查装置，其特征是，

上述对基板作业信息包括上述对电路基板作业中有关不作业的作业对象即不作业对象的不作业对象信息，

上述作业顺序决定部包括，根据上述不作业对象信息，从检查对象中除去上述不作业对象的检查对象除外部。

6根据权利要求1或2所述的对基板作业结果检查装置，其特征是上述作业顺序决定部包括，选定上述对电路基板作业的作业对象之中至少作业不良的可能性高的作业对象的不良可能性作业对象为检查对象的不良可能性对象选定部。

7根据权利要求6所述的对基板作业结果检查装置，其特征是，

上述对基板作业信息包括上述电路基板作业中有关重新进行作业的作业对象的再作业对象的再作业对象作业信息，

8根据权利要求6所述的对基板作业结果检查装置，其特征是

上述作业顺序决定部，进而根据有关上述对电路基板作业的履历信息，决定上述检查作业的作业顺序，

上述不良可能性对象选定部，根据上述履历信息，认定上述不良可能性作业对象。

9根据权利要求8所述的对基板作业结果检查装置，其特征是，

上述履历信息包括，有关起因于上述作业器具的作业不良的器具不良履历信息和有关上述作业器具使用状况的器具使用履历信息的至少一方，

上述对基板作业信息包括，有关执行上述对电路基板作业的上述作业器具的执行器具信息，

10根据权利要求6所述的对基板作业结果检查装置，其特征是上述作业顺序决定部包括，追加选定上述不良可能性作业对象以外的作业对象中的几个作为检查对象的追加对象选定部。

11根据权利要求10所述的对基板作业结果检查装置，其特征是上述追加对象选定部追加选定，使其不减少设定全部作业对象检查频度的检查频度。

12根据权利要求1或2所述的对基板作业结果检查装置，其特征是上述作业顺序决定部包括选定检查对象的时间限制选定部，使之在设定的检查作业时间内结束检查作业。

13根据权利要求1或2所述的对基板作业结果检查装置，其特征是上述作业顺序决定部包括，决定应该短时间结束检查作业的检查对象的检查顺序的检查顺序决定部。

14根据权利要求1或2所述的对基板作业结果检查装置，其特征是上述作业顺序决定部，进而根据对电路基板作业有关的履历信息决定上述检查作业的作业顺序，

15根据权利要求14所述的对基板作业结果检查装置，其特征是上述履历信息更新部，根据上述对基板作业信息，更新上述履历信息。

16根据权利要求14所述的对基板作业结果检查装置，其特征是上述履历信息更新部，根据该对基板作业结果检查装置进行的检查作业的检查结果信息，更新上述履历信息。

17根据权利要求1或2所述的对基板作业结果检查装置，其特征是上述作业顺序决定部，根据与电路基板的基板ID信息有关联的上述对电路基板作信息，决定上述检查作业的上述作业顺序。

18根据权利要求17所述的对基板作业结果检查装置，其特征是该对基板作业结果检查装置，对带有表示基板ID的基板ID指示符的电路基板进行检查作业。

19根据权利要求1或2所述的对基板作业结果检查装置，其特征是该对基板作业结果检查装置用一台以上对基板作业装置检查进行的对电路基板作业结果。

在该一台以上对基板作业装置的下游一侧，与该一台以上对基板作业装置一起成流水线配备。

20根据权利要求1或2所述的对基板作业结果检查装置，其特征是

该对基板作业结果检查装置，用一台以上对基板作业装置检查进行的对电路基板作业的结果。

上述一台以上的对基板作业装置中的最后与进行上述对电路基板作业的装置成为整体。

21一种对基板作业结果检查方法，检查对电路基板进行的对电路基板作业结果，其特征是包括：

根据对电路基板进行的电路基板作业的作业信息的对基板作业信息，决定对该电路基板检查作业的作业顺序的作业顺序决定工序；以及

22一种对基板作业结果检查用程序，用于检查对电路基板进行的对电路基板作业结果，由计算机实施，其特征是包括：

根据对电路基板进行的对电路基板作业的作业信息的对基板作业信息，决定对该电路基板检查作业的作业顺序的作业顺序决定步骤；以及

按照上述决定进行的作业顺序，使进行检查作业的检查作业装置动作的检查作业步骤。

23一种在可由计算机读出的状态下存储根据权利要求22所述的对基板作业结果检查用程序的存储媒体。

24一种电气电路制造系统，包括在电路基板上进行预定的对电路基板作业的一台以上对基板作业装置和检查该一台以上对基板作业装置进行的对电路基板作业结果的对基板作业结果检查装置，其特征是

该对基板作业结果检查装置包括：

进行检查作业的检查作业装置；以及

具备(a)根据用上述一台以上的对基板作业装置在电路基板上进行的对电路基板作业的作业信息的对基板作业信息，决定对该电路基板的检查作业的作业顺序的作业顺序决定部、和(b)按照该决定的作业顺序，使上述检查作业装置动作的作业控制部。

25根据权利要求24所述的电气电路制造系统，其特征是上述对基板作业结果检查装置，在上述一台以上对基板作业装置的下游侧与该一台以上对基板作业装置一起流水线配备。

26根据权利要求24所述的电气电路制造系统，其特征是上述对基板作业结果检查装置，上述一台以上对基板作业装置中最后与进行上述对电路基板作业的装置成为整体。

27一种电气电路制造方法，包括在电路基上板进行预定的对电路基板作业的对基板作业工序和检查对电路基板作业结果的对基板作业结果检查工序，其特征是，

上述对基板作业结果检查工序包括：

在上述对基板作业工序中，根据对电路基板进行的对电路基板作业的作业信息的对基板作业信息，决定对该电路基板的检查作业的作业顺序的作业顺序决定工序；和

按照该决定的上述作业顺序，进行该电路基板检查作业的检查作业工序。

28一种电气电路制造用程序，能进行对电路基板作业，检查其对电路基板作业结果，用于制造电气电路，用计算机实施，其特征是，

包括在一台以上的对基板作业装置，对电路基板进行预定的对电路基板作业的对基板作业步骤，和在对基板作业结果检查装置检查其对电路基板作业结果的对基板作业结果检查步骤，

上述对基板作业结果检查步骤包括：

用上述一台以上的对基板作业装置，根据对电路基板进行的对电路基板作业的作业信息的对基板作业信息，决定对该电路基板的检查作业的作业顺序的作业顺序决定步骤，和

按照该决定的上述作业顺序，使对基板作业结果检查装置的检查作业装置动作。

29在可由计算机读出的状态下存储根据权利要求28所述的电气电路制造用程序的存储媒体。