CN1419995A - 处理机中的器件拾取机 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种处理机中的器件拾取机。该器件拾取机可以同时拾取并前后传送至少四个器件,并且可保持简单的器件拾取机结构,从而可提高测试效率。本发明包括一个安装在安装架上可以移动的垂直极板;多个相互平行地安装在垂直极板下端的可变节距块,其通过导引件可以左右向移动从而能调节左/右节距;一对分别安装在每个可变节距块前后边的通过导引件可以上升/下降的拾取件,拾取件相互配合,在相反方向上相互起作用以交替地拾取和放下器件;一在侧向上移动可变节距块的块驱动装置;以及一使拾取件相互作用而分别在相反方向上上下移动的拾取件驱动装置。
Description
本申请要求申请日为2001年11月19日申请号为P2001-71844的韩国申请的优先权,其内容结合于此供参考。
技术领域
本发明涉及一种在处理机中拾取器件用于传送的拾取机,特别是一种处理机中的器件拾取机,可以在处理机的一边同时拾取多对器件,将其传送并装载至另一边。
背景技术
通常,一些器件如存储半导体器件、n形存储(n-memory)半导体器件、以及类似件和一些具有这样的器件布置在一个单一的基体上以构成电路的组件,在通过各种测试检验后装运。处理机是一种用于自动测试这些器件和随机存取存储器组件(module RAMs)的设备。
大多数的处理机不仅能在室温下完成通常的性能测试而且能在高温和低温下完成测试,以检查器件和随机存取存储器组件是否正常工作,这种极高或极低的温度环境是通过在一个密封室内用电加热器或液化氮喷射系统来建立的。
图1所示为用于测试如存储半导体组件这样的器件的处理机图。
参见图1,一装载堆垛机(loading stacker)10安装在处理机的前部,在装载堆垛机上装有接收多个待测试器件的用户托盘。而一卸载堆垛机(unloading stacker)20安装在装载堆垛机10的一边,从而可以在完成测试后将用户托盘接收的器件按照测试结果进行分类。
缓冲单元40安装在处理机中部的两边上并可来回移动。在缓冲单元中,从装载堆垛机10中传送的器件被临时装载。
以及,一个交换单元50安装于两缓冲单元40之间。在交换单元50中,所执行的是传送待测试的缓冲单元40中的器件并在测试托盘T上将已传送的器件再次装载的处理过程,以及在缓冲单元40上装载测试托盘中测试完毕的器件的处理过程。
在设置有装载和卸载堆垛机10和20的处理机前部与设置有交换单元50和缓冲单元40的处理机中部之间,安装有第一和第二拾取机31和32,其沿着X-Y轴线性移动以拾取和传送器件。第一拾取机31在装、卸载堆垛机10、20与缓冲单元40之间移动以拾取并传送器件,而第二拾取机32在缓冲单元40与交换单元50之间移动以拾取并传送器件。
在处理机的后部,安装有测试点70用于测试器件在预定温度下的性能,并通过输送其上装载有器件的测试托盘T顺序通过由多个独立的密封室建立的高温或低温测试环境来实现。
然而,按照以上结构设计的处理机的第一和第二拾取机31和32每次只能拾取并传送一对器件,因此,降低了测试效率。
如果每台拾取机的拾取装置的数量增加,拾取机的整体构造将会变得复杂,在控制故障和设备维修方面会很困难。
发明内容
因此,本发明提供了一种处理机中的器件拾取机,其充分克服了由于已有技术的局限和缺陷所导致的一个或多个问题。
本发明的一个目的在于提供一种处理机中的器件拾取机,其能通过同时拾取并传送多对器件而提高测试效率,且该器件拾取机不需要复杂的结构。
本发明的其它的优点、目的、和特征,部分地在随后的说明中给出,部分地对本领域普通技术人员来说可从下述说明中明显看出,或可从本发明的实施中得出。本发明的目的和其它优点可从以下书面说明、权利要求以及附图特别给出的结构来理解、获得。
为了按照本发明的目的实现已经概括和充分说明的这些和其它的目的与优点,在一台设备中安装有安装架,安装架安装在处理机的本体上,其可以水平地移动以拾取器件将器件从处理机的一边传送到处理机的另一边,根据本发明的处理机中的器件拾取机包括一个安装在安装架上可以移动的垂直极板(plate);多个相互平行地安装在垂直极板下端的可变节距(pitch)块,其可以通过导引件在左右方向上移动,从而可以调节左/右节距;一对拾取件分别安装在每个可变节距块的前后两边,并且通过导引件可以上升/下降,拾取件相互配合,以在相反的方向上相互起作用交替地拾取和放下器件;一个在侧向上移动可变节距块的块驱动装置;以及一个使拾取件相互作用而在相反方向上分别上、下移动的拾取件驱动装置。
更适宜地,块驱动装置包括一个安装在垂直极板上的电动机;一个与电动机连接而旋转的小齿轮单元;以及一个固定在可变节距块的上端、与小齿轮单元相啮合从而可在侧向上直线移动的齿条单元。
更适宜地,拾取件驱动装置包括分别安装在每个可变节距块一边的上、下两端进行旋转的驱动皮带轮和从动皮带轮;一个带动驱动皮带轮旋转的电动机;一个与驱动皮带轮与从动皮带轮跨接的皮带,其通过驱动皮带轮的旋转而被上下驱动;一个前连接托架,其一端与皮带的一边相连接,另一端与位于前边的拾取件相连接;以及一个后连接托架,其一端与皮带的另一边相连接,而其另一端与位于后端的拾取件相连接。
更加适宜地,一个通过真空压力吸引器件表面的真空吸嘴设置在每个拾取件的下端。
可以理解,本发明的前面的概述和随后的详细描述都是例示性的和说明性的,并且如要求保护的那样将提供更进一步的解释。
附图简要说明
组成本申请的一部分的附图有助于进一步理解本发明,这些附图图解了本发明的一些实施例,并可与说明书一起用来说明本发明的原理。附图中:
图1所示为普通处理机的示意图;
图2所示为具有根据本发明的器件拾取机的处理机的俯视图;
图3所示为根据本发明的器件拾取机的装配俯视图,其中部分元件被分解开;
图4所示为装配后的根据本发明的器件拾取机的俯视图;
图5为图4所示器件拾取机的正视图;以及
图6为图4所示器件拾取机的侧视图。
具体实施方式
下面将根据附图例示详细说明本发明的优选实施例。其中,相同的附图标记在所有附图中用于相同或类似的部件。
为易于理解本发明,在下面的描述中仅涉及根据本发明的器件拾取机应用于一个处理机的第二拾取机的情形。然而,本发明不只局限于这种应用而是可应用于处理机的第一拾取机或者其它种类似处理机的拾取机上。
图2至图6示出了根据本发明的器件拾取机的结构。
首先,根据本发明的每台器件拾取机100沿着安装架30越过缓冲单元(比较图1中“40”)上方而左右滑动,交换单元50水平移动,完成器件在缓冲单元40和交换单元50之间的传送和装载。
器件拾取机100包括一个垂直极板102,该垂直极板102通过一个限位(LM)导引件103的限位(LM)块(图中未示)与安装架30相连接,一对可变节距块104a和104b安装在垂直极板102的下端且彼此相互平行。可变节距块104a固定连接在垂直极板102上,而另一可变节距块104b与安装在垂直极板102上的限位导引件103的限位块103a相连接。这样,可变节距块104a和104b可以在左右方向上移动以调节左右边的间距,也即节距。
电动机105作为驱动装置安装在垂直极板102上以在侧向上移动可变节距块104。一小齿轮单元106与电动机105的下部相连以接收电动机105的驱动力,并且与安装在可变节距块104b上端的齿条单元107相啮合。当小齿轮单元106由电动机105带动开始旋转时,齿条单元107左右直线移动,带动可变节距块104b左右移动。
此时,拾取件110a和110b分别通过限位导引件109的限位块109a与可变节距块104a和104b的前后边相配合以拾取器件。且每个拾取件110a和110b在其下端具有一个真空吸嘴111,通过真空压力吸起器件。
安装在每个可变节距块104a和104b前后边上的拾取件110a和110b相配合,通过驱动装置相互起作用,并设置成可分别在相反的方向上执行上升和下降动作。一个驱动皮带轮112和一个从动皮带轮113安装在每个可变节距块104a和104b的外部上端和下端进行旋转。驱动皮带轮112和从动皮带轮113通过一皮带114相互连接。且驱动皮带轮112与电动机115相连接以接收旋转驱动力。
此外,一个前连接托架116的一端与位于前边的拾取件110a相连接,而前连接托架116的另一端与皮带114的一边相连接。一个后连接托架117的一端与位于后边的另一拾取件110b相连接,而后连接托架117的另一端与皮带114的另一边相连接。
因此,如果驱动皮带轮112由电动机115驱动开始旋转时,与驱动皮带轮112连接的皮带114被驱动上、下运动,从而驱动通过连接托架116和117与皮带114相连的拾取件110a和110b分别沿着与皮带114相反的运动方向在前后边上下运动。
如前所述,位于器件拾取机的前排的拾取件110a和110b以及那些位于器件拾取机后排的相应件分别交替地上升和下降以拾取器件。也即,当位于每个可变节距块104a和104b的前边的拾取件110a一起上升或下降时,位于后边的其余拾取件也一起下降或上升。这样,拾取件110a和110b完成拾取器件的操作。
根据本发明的上述结构的器件拾取机按以下方式工作。
首先,一旦处理机的第一拾取机31从装载堆垛机10的托盘(图中未示)携带待测试器件到缓冲单元40时,起第二拾取机作用的本发明的器件拾取机100对准缓冲单元40上方以拾取器件。随后,电动机115驱动使得位于前排的拾取件110a下降,以便真空吸嘴111通过吸力吸起器件。然后,电动机115反转使拾取件110a上升。此时,如前所述,位于后排的其余拾取件110b将会完成与位于前排的拾取件110a相反的运动。
在缓冲单元40移动了预定的距离后,也即到达位于后排的拾取件110b能够拾取缓冲单元40的下一个器件的位置,电动机115驱动使得位于后排的拾取件110b下降,从而真空吸嘴111通过吸力吸起器件。电动机115然后又反转使得拾取件110b上升。
在此情形下,位于前排的拾取件110a和位于后排的其余拾取件110b最好设置成位于同一高度以避免在传送时与处理机的其它构件产生碰撞。
此后,当器件拾取机100拾取器件的时候,垂直极板102通过一个附加的驱动装置例如线性电动机、球形螺杆(图中未示)、或者类似件沿着安装架30被移动到交换单元50,以在测试托盘(图中未示)上重新装载器件。在这种情况下,器件拾取机100的操作按照与以上说明相类似的方式完成。
在器件拾取机100操作之后将在交换单元50的测试托盘T中接收的已测试器件传送到缓冲单元40中的操作在本说明中被略过。
同时,如果在处理机中被测试的器件的种类发生了变化,接收器件的托盘的种类以及放置相应器件的托盘的格栅尺寸也将变化。因此,托盘中的器件便不会与器件拾取机100的拾取件110a和110b对准。
在这种情况下,器件拾取机的拾取件110a与110b间的间距应该按照以下方式调节:在侧向上的一个节距调整通过移动可变节距块104b完成,而前/后方向上的其它节距调整可通过处理机本体上缓冲单元40的向前/向后位移进行调整。
因此,如果电动机105以一调定值旋转驱动小齿轮单元106,齿条单元107就会移动一给定的距离。这样,拾取件110a和110b间的间距就会调整以完成调准。
从而,本发明可以同时拾取并向后或向前传送至少四个器件,并且可以保持器件拾取机具有简单的结构,由此可提高测试效率。
显然,对于本领域的技术人员来说,在不背离本发明的精神和范围的前提下,可以对本发明作出各种更改和变化。因此,本发明的各种更改、变化由所附的权利要求书及其等同物的内容涵盖。
Claims (5)
1.一种处理机中的器件拾取机,用于安装有安装架的设备上,安装架安装于处理机的本体上,以水平移动拾取器件并将器件从处理机的一边传送到处理机的另一边,该拾取机包括:
一安装在所述安装架上可以移动的垂直极板;
多个相互平行地安装在所述垂直极板下端的可变节距块,通过导引件可以在左右方向上移动从而能调节左/右节距;
一对分别安装在每个所述可变节距块的前后边的可以通过导引件上升/下降的拾取件,所述拾取件相互配合在相反方向上相互起作用以交替地拾取和放下器件;
一在侧向上移动所述可变节距块的块驱动装置;以及
一使所述拾取件相互起作用而分别在相反方向上上下移动的拾取件驱动装置。
2.根据权利要求1所述的器件拾取机,所述块驱动装置包括:
一安装在所述垂直极板上的电动机;
一与所述电动机相连以旋转的小齿轮单元;以及
一固定在所述可变节距块上端与所述小齿轮单元相啮合从而可在侧向上直线移动的齿条单元。
3.根据权利要求1所述的器件拾取机,所述拾取件驱动装置包括:
分别安装在每个所述可变节距块一边的上下两端进行旋转的驱动皮带轮和从动皮带轮;
一带动所述驱动皮带轮旋转的电动机;
一与所述驱动和从动皮带轮跨接并通过所述驱动皮带轮的旋转驱动而可上下运动的皮带;
一前连接托架,其一端与所述皮带的一边相连接,另一端与位于前边的所述拾取件相连接;以及
一后连接托架,其一端与所述皮带的另一边相连接,另一端与位于后边的所述拾取件相连接。
4.根据权利要求2所述的器件拾取机,所述拾取件驱动装置包括:
分别安装在每个所述可变节距块一边的上下两端进行旋转的驱动和从动皮带轮;
一带动所述驱动皮带轮旋转的电动机;
一与所述驱动和从动皮带轮跨接并通过所述驱动皮带轮的旋转驱动而上下运动的皮带;
一前连接托架,其一端与所述皮带的一边相连接,另一端与位于前边的所述拾取件相连接;以及
一后连接托架,其一端与所述皮带的另一边相连接,另一端与位于后边的所述拾取件相连接。
5.根据权利要求2所述的器件拾取机,其中一真空吸嘴设置于每个所述拾取件的下端并通过真空压力吸起器件表面。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR20010071844 | 2001-11-19 | ||
KRP2001-0071844 | 2001-11-19 | ||
KR10-2001-0071844A KR100432356B1 (ko) | 2001-11-19 | 2001-11-19 | 핸들러의 디바이스 픽커 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN1419995A true CN1419995A (zh) | 2003-05-28 |
CN1215753C CN1215753C (zh) | 2005-08-17 |
Family
ID=19716096
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CNB021494584A Expired - Fee Related CN1215753C (zh) | 2001-11-19 | 2002-11-19 | 处理机中的器件拾取机 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7000648B2 (zh) |
JP (1) | JP3936280B2 (zh) |
KR (1) | KR100432356B1 (zh) |
CN (1) | CN1215753C (zh) |
TW (1) | TW589277B (zh) |
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- 2002-11-13 US US10/292,584 patent/US7000648B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2002-11-19 CN CNB021494584A patent/CN1215753C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-11-19 JP JP2002335040A patent/JP3936280B2/ja not_active Expired - Fee Related
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US7000648B2 (en) | 2006-02-21 |
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TW200407254A (en) | 2004-05-16 |
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TW589277B (en) | 2004-06-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20050817 Termination date: 20161119 |