CN1407314A - 内径测量方法及其装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供可以准确测量内径的内径测量方法及其装置。其是在由呈圆筒形的工件W的一端通入压缩空气，根据检测出所产生的背压来测量工件W的内径尺寸。在这种内径测量方法中，根据求得与工件长度L的变化相应的内径测量值d的变化，按照预先取得工件W的长度L相对应的内径测量值d的修正量ε，而按照工件W的长度L修正内径测量值d。因此，即使在测量大量的具有不同长度的工件W的情况下，也常可以进行准确的测量。

Description

内径测量方法及其装置

技术领域

本发明涉及内径测量方法及其装置，特别是涉及测量套管或注射口等微小圆筒形工件的内径尺寸的内径测量方法及其装置。

背景技术

原来在测量套管等微小圆筒形工件的内径时，是测量者将一定尺寸的棒规插入工件内孔进行测量的。但是，使用棒规的测量，测量者必须一件一件用手来测工件，有花费大量劳动力的缺点。另外，又由于是手工操作，还有缺乏准确性这一缺点。

因此，本申请人在特愿2001-40669中，提出了给工件的内孔输入压缩空气，根据检测出其背压的变化来测量工件内径尺寸的方法。利用这种方法，对于工件仅仅是输入压缩空气，所以，在很短时间内即可完成测量。另外，由于不产生磨损，所以，还具有即使长期使用能保持稳定的测量精度这一优点。

可是，用这种方法一次要测量很多工件时，每个工件的长度如果存在差异，即使是相同内径的工件其背压值也会不同，这样，就存在一个可能在检测结果、测量值中产生偏差这样一个缺点。

发明内容

本发明考虑到这类问题，因此提供一种内径测量方法及其装置，其目的在于即使在工件的长度中存在有偏差，也可以进行正确测量。

为了达到上述目的，本发明提供一种内径测量方法，该内径测量方法是从圆筒形工件的一端输入压缩空气，依靠检测出其背压而来测定工件内径的，其特征在于：根据求得对应于工件长度变化的内径测量值的变化，来预先取得与工件长度相对应的内径测量值的修正量，再按照工件的长度来修正内径测量值。

利用本发明，预先取得与工件长度相对应的内径测量值的修正量，再按照工件的长度来修正内径测量值。由此，即使测量很多在长度尺寸上具有偏差的工件时，也可以进行精确的测量。

附图的简单说明

图1表示有关于本发明的内径测量装置的一种实施形式的全体构成概图。

图2表示运送部构成的示意图。

图3表示长度测量部构成的示意图。

图4表示内径测量部构成的示意图。

图5表示测量台构成的示意图。

图6表示长度测量仪及其实施形式的示意图。

图7表示长度测量仪及其实施形式的示意图。

图8表示长度测量仪及其实施形式的示意图。

图9表示工件结构的剖面图。

序号的说明

10…内径测量装置、12…供料部、14…运送部、16…测量部、16A…长度测量部、16B…内径测量部、18…回收部、20…校准仪存放部、22…工件输出装置、34…空气喷嘴、40…输送带、42…转向装置、44…运送机械手、46…夹持器、46A、46B…夹持棘爪、48…旋转轴、50…机械手、52…臂、54…夹持手、54A…夹持爪、60…测量台、62…气动测微仪、64…测量台本体、66…压紧环、68…夹持环、70…供气路、72…凹入部、74…工件插入孔、76…工件通过孔、78…压紧面、80…气源、82…调压阀、84…气电转换器、88…校准仪存放台、88A…调零校准仪存放孔、88B…倍率调整校准仪存放孔、90A…合格工件回收箱、90B…非合格工件回收箱、100…工件托架、102…长度测量仪、104…工件插入孔、106…测量臂、108…触头、110…支柱、112…导轨、114…升降台、118…螺杆、120…轴承部、122…电动机、124…旋转台、W…工件

发明的实施方式

下面，根据附图详细说明有关于本发明的内径测量方法及其装置的理想的实施形式。

图1是表示与本发明有关的内径测量装置的实施形式的整体示意图。如图所示，本实施形式中的内径测量装置10，由供料部12、运送部14、测量部16、回收部18、校准仪存放部20及控制部(图中未示出)构成。

该内径测量装置10测量工件W的内径尺寸，并按照测量结果分别回收工件W。测量对象工件W是光连接器部件的套管。套管如图所示，做成比如外径D＝2.5mm，内径d＝0.125mm，长度L＝10mm的极微小的圆筒形状。

供料部12进行工件W的供给。在该供料部12中，设有工件输出装置22。工件输出装置22把存放在内设的储件装置中的诸多工件W逐个地有序排列起来，从供料口26供料。

运送部14把由工件输出装置22提供的工件W运送到测量部16，再将在该测量部16测量完毕的工件W运送到回收部18。如图1和图2所示，该运送部14由输送带40、转向装置42、运送机械手44组成。

输送带40，把从工件输出装置22的供料口26供给的工件W，水平的运送到转向装置42。

转向装置42，把从输送带40水平传送过来的工件W旋转90度，并使之垂直竖立。如图2所示，该转向装置42有夹持器46和可以使该夹持器旋转的夹持旋转机构(图中未示)组成。

夹持器46装有2个夹持棘爪46A、46B，其中一个夹持棘爪46A被设置成相对另一个夹持棘爪46B可以自由进退。而且，通过其中一个夹持棘爪46A向着另一方向的夹持棘爪46B移动，工件即被夹紧，向着反方向移动，工件即被松开。

夹紧旋转驱动机构，依靠驱动预定在夹持器46上的旋转轴48的旋转，可使夹持器46在90度范围内作旋转运动。由于受到该夹紧旋转驱动机构的驱动，夹持器46可以实现水平接收状态(图2中实线所示状态)和垂直的交接状态(图2中双点划线所示状态)2种状态。

如上述结构的转向装置42的作用如下所述，被输送带40水平地传送过来的工件W的前端，在输送带40的尾端与夹持器46的本体接触(图2中的实线所示状态)。工件w的前端部与夹持器46的本体部分一接触，夹持棘爪46A即锁闭，由此，工件W的前端部即被夹持棘爪46A、46B夹紧。工件W一旦被夹紧，夹持旋转驱动机构即被驱动，夹持器46旋转90度(图2中双点划线所示状态)。工件W被垂直立起，之后，被运送机械手44接收，运往测量部16。

运送机械手44从转向装置42接受到被检测对象工件W，并输送到测量部16，同时，将在测量部16测量完了的工件W运送到回收部18。该运送机械手44，如图1及图2所示，由可以上下自由移动的机械手50、被设置在该机械手50顶部且可以自由旋转的悬臂52、和设置在悬臂52前端的夹持手54构成。夹持手54在其本体下部设有自由开、闭的夹持棘爪54A、54B，由该夹持棘爪54A、54B夹持工件W。被夹持棘爪54A、54B所夹持的工件W，靠机械手50的升降进行接收、交接的动作，并靠悬臂52的旋转动作完成运送工序。因此，转向装置42和测量部16、回收部18，全部被配置在该夹持手54的旋转轨迹上。

测量部16进行工件W的长度测量和内径测量。该测量部16如图1所示，由长度测量部16A、内径测量部16B以及控制部16C组成。

长度测量部16A测量工件W的长度，该长度测量部16A由工件托架100和长度测量仪102组成。

工件托架100，配置在运送机械手44的夹持手54的移动轨迹上，并使工件W保持垂直。该工件托架100作成圆柱形并在其上垂直地开出一定深度的工件插入孔104。工件W被插入该工件插入孔104以保持垂直。

长度测量仪102使可垂直上下移动的测量臂106与工件W的顶端相接触，根据检测出当时的测量臂106的移动量，来测定工件W的长度。

测量臂106被设置在水平面上，其后端由升降台114支撑。在测量臂106的前端部预定有触头108，该触头108与工件W的顶部接触。并且，该触头108内设有压力传感器，依靠该压力传感器来检测出它与工件W顶部的接触。

升降台114可滑动自如地被支持在配置于支柱110上的导轨112上。该升降台114中开有螺纹孔，在螺纹孔中拧入螺杆118。

螺杆118与导轨112平行设置，其两端部被轴向支撑在形成于支柱110两端的轴承部120、120上。另外在螺杆118上连结有电动机122，靠驱动该电动机122来使螺杆118旋转。并且，依靠该螺杆118的旋转运动使升降台114做上下垂直移动，同时使测量臂106上下垂直移动。另外，在电动机122中内装有编码器，将由该编码器检测出电动机122的转数输出给控制部16C。

控制部16C根据编码器检测出电动机122的转数，计算出测量臂106的移动量，再根据其移动量推算出工件W的长度。下面进一步详细说明如何测量工件W的长度。

首先，将已知长度的校准仪装配在工件托架100上。然后驱动电动机122，使位于既定待测位置的测量臂106下降。由于测量臂106一下降，在某一高度位置触头108就会接接触校准仪的顶部，触头108一旦检测出与校准仪的接触，测量臂106即停止下降。于是可以取该位置作为基准位置。控制部16C计算测量臂106从待测位置到基准位置的移动量S₀，并存储在内置的存储器中。

接着，再次驱动电动机122，以使测量臂106重新上升到待测位置上。然后从工件托架100上收回校准仪，再放置待测量的工件W。

放入工件W后，驱动电动机122，再次使测量臂106由待测位置下降。在某一高度位置，由于测量臂106的触头108接触到工件W的顶部，触头108一检测到与该工件W的接触，测量臂106的下降即停止。控制部16C计算出测量臂106从待测位置到停止时的移动量S。并且计算出从基准位置开始的位移量x(x＝S-S₀)。

由于从该基准位置开始的位移量x同工件与校准仪长度的差值相吻合，所以，控制部16C由已知的校准仪长度L₀和所求得的位移量x，计算得到工件W的长度L(L＝L₀+x)。

并且，为了避免与传送机械手44的悬臂52的冲突，将测量臂106做成可以旋转运动的形式。也就是说，如图3所示，支柱110被设置在旋转台124上，由于该旋转台124可受驱动而旋转，所以，支柱110和测量臂106都可以随之作旋转运动。不工作时，测量臂106位于躲避位置，仅在测量时才旋转移动至测量待机位置。

如图1和图4所示，内径测量部16B由放置工件W的测量台60、和用于测量被安置在该测量台60上的工件W内径尺寸的气动测微计62所组成。

测量台60被设置在传送机械手44的夹持手54的移动轨迹上，并可存放工件W。如图5(a)和(b)所示，该检测台60由测量台本体64、压紧环66、夹持环68及压下机构(图中未画出)组成。

测量台本体64被竖直设置，在其中央部设有供气路70。测量台本体64的上面作成有圆窝状的凹入部72，该凹入部72的中央开一工件插入孔74，工件插入孔74与供气路70在同一轴线上，同时，与被测量对象工件W的外径尺寸基本相同，并具有预定深度。

在压紧环66的中央部开一工件通过孔76，其内径比工件W的外径稍大一些。该压紧环66，被嵌配在测量台本体上面的凹入部72内，且以凹入部72的内周面作为导向面，以使其可沿轴方向上滑动自如地被支撑在凹入部72内。另外在该压紧环66的下面，形成有向着中央的倾斜的锥形压紧面78，其与夹持环68接触。

夹持环68，用具有一定弹性的材料制成，并被收置于测量台本体64上面的凹入部72内。该夹持环68与工件插入孔74配置在同一轴线上，由于被压在压紧环66的压紧面78下而被压缩变形，使其内径缩小。然而，夹持环68通常状态(无负荷状态)时的内径比检测对象工件W的外径还大，因此工件W在插入夹持环68的时候，几乎是在不接触状态下通过的。

图中没有示出的压紧机构，比如由气缸等构成，主要是把压紧环66压向测量台本体64。

由上述部件构成的测量台60的作用如下所述。如图5(a)所示，若从压紧环66的工件通过孔76将工件W插入，则该工件W的前端部分即被插入测量台本体64上的工件插入孔74。这种状态如图5(b)所示，若将压紧环66用图中未示出的机构压向测量台本体64，则夹持环68即被压紧环66的压紧面78压缩变形，内径减小。其结果使工件W的外圆部被夹持环68夹持限定，工件W即被预定在测试台60上。另外，由于夹持环68夹紧在工件W的外圆部，因此，工件W和工件插入孔74之间被密封。

当取下工件W时，解除受压入机构支配的压紧环66的压紧束缚。因此，压紧环66在夹持环68所产生的回弹力的作用下，恢复到原来的位置上，同时，夹持环68本身也因回弹力恢复到原来的直径。因此，工件W的夹紧约束被解除，即可取下工件。

如图4所示，气动测微仪62由气源80、调压阀82和气电转换器84组成。

由气源80提供经过温度和湿度适当调整的压缩空气。调压阀82将由气源80提供的压缩空气调整到一定压力。然后，被调压阀82调整成为预定压力的压缩空气，通过气电转换器84被供给至测量台本体64的供气路70。

提供给供气路70的压缩空气，通过被夹持在测量台60上的工件W的内孔向外喷射。气电转换器84利用内设的波纹管和差动变压器，将当时压缩空气的背压变换成电气信号，并输出给控制部16C。于是控制部16C根据该电信号计算出工件W的内径尺寸。被计算出的内径尺寸显示在设置于控制器16C内的监控装置中(图中未示出)，同时，作为数据资料记录在内设于控制部16C中的存储器中。

回收部18如图1所示，将测量完毕的工件W分类成为满足测量标准的合格产品和不满足所定标准的非合格产品而分别回收。该回收部18备有容纳合格产品的合格件回收箱90A和容纳不合格产品的非合格件回收箱90B。各回收箱90A、90B上部做成开口的箱状，并设置在运送机械手44的夹持手54的运动轨迹上。由于被运送机械手44所运送的工件W，在回收箱90A、90B的上方被释放，结果工件W可分别被各回收箱90A、90B所回收。

校准仪存放部20用来放置多个的校准仪，如图1所示，在该校准仪存放部20中设有校准仪存放台88。校准仪存放台88呈块状，在其上面垂直形成有多个具有预定的深度的校准仪存放孔。校准仪被放置在这些校准仪存放孔中。

该校准仪存放台88位于运送机械手44的夹持手54的运动轨迹上，各校准仪存放孔也设置在夹持手54的运动轨迹上。因此，运送机械手44可从校准仪存放台中取出校准仪并运送到测量台60。

控制部用来驱动控制构成内径测量装置10的各部机构。该控制部按照预先存储的程序来驱动控制各部机构。

上述构成本实施形式的内径测量装置的作用如下所述。

开始先进行初始设定。首先，将调零校准仪M_o、倍率调整校准仪M_v、修正用校准仪M₁～M_N设置在校准仪存放台88上。

这里，调零校准仪M_o内径尺寸d₀和长度L₀为已知、倍率调整校准仪M_v的内径尺寸d_v为已知(但这里，d₀≠d_v)。

另外，修正用校准仪M₁～M_N由与各调零校准仪M_o相同的内径尺寸d₀所组成，各自的长度L₁～L₀为已知。这里，其长度L₁～L₀分别由不同尺寸组成。

操作者预先将各种校准仪的内径和长度尺寸输出给控制部16C，并使其储存在存储器中。

接着，进行长度测量仪102与气动测位仪的校准工作。

首先，运送机械手44从校准仪存放台88取出调零校准仪M_o，并运至长度测量部16A。然后，将调零校准仪M_o定位在该长度测量部16A的工件托架100上。该调零校准仪M_o的设置如下所述的进行。

将夹持调零校准仪M_o的运送机械手44的夹持手54移动到工件托架100的上方。之后，从该位置下降。并将夹持在夹持手54中的调零校准仪M_o插入工件托架100上的工件插入孔104中。

调零校准仪M_o被插入到工件插入孔104中后，由夹持手54所施加给调零校准仪M_o的夹紧作用即被解除。之后，夹持手54向上方退避。于是调零校准仪M₀即被配置于工件托架100中。

并且，此时长度测量仪102的测量臂106都位于预定的躲避位置。

调零校准议M₀被配置到工件托架100后，旋转台124即被驱动旋转。由此，测量臂106转回，从躲避位置移动到待测位置。之后，便可进行基准位置的设定。也就是说，首先，电动机122被驱动，测量臂106下降。测量臂106下降至某一高度，触头108即与校准仪的顶部相接触。所以，如果触头108检测出与该校准仪的接触，则测量臂106的下降即被停止。该位置便成为基准位置，控制部16C计算出从待测位置开始到该基准位置时测量臂106的移动量S₀，于是将该移动量S₀记录在内设的存储器中。

接着，电动机122再一次被驱动，测量臂106上升到待测位置。而且，旋转台124被驱动旋转，测量臂106即退避到躲避位置。

由以上动作，长度测量仪102的校准结束。接下去可以进行气动测微仪62的校准工作。

若测量臂106退避到躲避位置，运送机械手44便从工件托架100上收回调零校准仪M₀，并运送到内径测量部16B，而且使之定位在内径测量部16B的测量台60上。

这里，调零校准仪M₀的调试可按如下步骤进行。首先，将夹持该调零校准仪M₀的运送机械手44的夹持手54移动到测量台60的上方，接下去，在夹持状态下下降。由此，被夹持在夹持手54中的调零校准仪M₀即被插入压紧环66中的工件通过孔76中。这时调零校准仪M_o，在其内周倒角部分面向上侧的状态下，而被插入工件通过孔76中。

调零校准仪M₀被插入工件通过孔76后，调零校准仪M₀所受到的来自于夹持手54的夹持作用被解除。之后，夹持手54暂时向上退避。

夹持手54退避之后，图中没有示出的压紧机构即被驱动，压紧环66压向测量台本体64。由此夹持环68被压紧环66压至弹性收缩，并使被压缩变形的夹持环68受到约束，结果调零校准仪M₀被夹持在测试台60中。另外，被夹持在测试台60的调零校准仪M₀的前端被插入工件插入孔74，但该调零校准仪M₀与工件插入孔74之间所形成的间隙，由于夹持环68的压缩变形而被密封。因此，即使给供气路70供气，压缩空气也不会从间隙中漏掉，而能被全部充入调零校准仪M_o的内孔部分。

按上述做法，调零校准仪M₀配入测量台60之后，气源80被驱动，由调压阀82调整到一定压力的压缩空气，通过气电转换器84被供给至测量台60的供气路70。该供给至供气路70的压缩空气，通过调零校准仪M₀的内周部分向外排气。而且，此时压缩空气的背压被气电转换器84检测出，作为电信号输出给控制部16C。控制部16C即将该作为电信号而被输出的调零校准仪M₀的背压数据，储存在内设的存储器中。

调零校准仪M₀的测试一旦完成，供气即被停止，调零校准仪M₀的锁紧被解除。也就是说，受压紧机构操纵的压紧环66的压紧作用被解除，来自于夹持环68的夹紧作用被解除。

压紧环66的压紧作用被解除之后，在上方待机的运送机械手44的夹持手54就下降，并将位于测量台60上的调零校准仪夹紧。并且，在该夹紧状态下上升，即从测量台60将调零校准仪M₀回收。

被回收的调零校准仪M₀，由运送机械手44送回到校准仪存放台88的原摆放位置。

调零校准仪M₀的测试结束后，接下去运送机械手44，即从校准仪存放台88取出倍率调整校准仪M_v，并运送到测量部16。被运送到测量部16的倍率调整校准仪M_v与调零校准仪M₀同样地被配装在测量台60上，并进行背压检测。测试结束后，与调零校准仪M₀一样被送回到校准仪存放台88的原摆放位置。

按上述做法，调零校准仪M₀和倍率调整校准仪M_v的背压测试结束后，控制部16C根据所测试的调零校准仪M₀的背压数据、和倍率调整校准仪M_v的背压数据、以及已知的内径尺寸d₀、d_v，求出内径尺寸的变化与背压变化的关系(背压特性)。另外，将调零校准仪M₀的背压测定值设定为测定基准值。在之后的测量中，根据检测出与该调零校准仪M₀的背压变化，即可以测试出工件W的内径尺寸d。

以上，气动测微仪62的校验工作完了。

下面，按照工件的长度L进行测量值修正量的测试。

首先，运送机械手44从校准仪存放台88取出1号修正用校准仪M₁(长度L₁)，并运送到内径测量部16B再配置在测量台60上。1号修正用校准仪M₁被定位在测量台60上之后，即可进行与上述调零校准仪M₀的做法同样的背压测试。控制部16C根据所测得的背压数据计算出1号修正用校准仪M₁的内径d₁，使之与长度L₁相对应并存入存储器中。

1号修正用校准仪M₁的检测结束后，运送机械手44便从测试台60将其回收，并返送到校准仪存放台88上原来的摆放位置。

其次，运送机械手44从校准仪存放台88取出2号修正用校准仪M₂(长度L₂)，运送到内径测量部16B并设置在测量台60上。2号修正用校准仪M₂被定位在测量台60上之后，即可与上述做法同样地进行背压测试。控制部16C根据所测得的背压数据计算出2号修正用校准仪M₂的内径d₂，使之与长度L₂对应地记录在存储器中。

2号修正用校准仪M₂的检测完了后，运送机械手44即从测量台60回收2号修正用校准仪M₂，并将其返送到校准仪存放台88上原来的摆放位置。

依照上述做法，关于校准仪存放台88中摆放的诸多修正用校准仪M_N，可依次测试它们的内径d_v。然后，将所测得到的内径d_N对应于长度L_N，并存入控制部16C的存储器中。

所有的修正用校准仪M₁～M_N的内径检测结束后，控制部16C求出检测值的修正量ε。

这里，像上面所叙述的一样，调零校准仪M₀和修正用校准仪M₁～M_N都是相同的内径尺寸，所以，输出的检测值d₀～d_N自然是相同的数值。

但是，由于长度L₀～L_N各不相同，因此，各M₀～M_N的检测值中产生差异。

因此，将调零校准仪M₀的长度L₀作为基准，根据求得与当时检测值d₀的差量(d₀～d_N)来求得各个长度测量值的修正量ε。

比如说，长度为L₁时的内径测量值是d₁，其修正量ε₁即为ε₁＝d₀-d₁。另外，长度为L₂时的内径测量值是d₂，其修正量ε₂即为ε₂＝d₀-d₂。同样，可以求得关于各个长度L₁～L_N时检测值的修正量ε₁～ε_N。

而且，根据所求得的长度L₀～L_N与修正量ε₀～ε_N的关系，可以得到长度L与修正量ε的一般关系式ε＝F(L)。控制部16C将表示所求得的长度L与修正量ε之间关系的一般关系式ε＝F(L)存入存储器中。

由以上的一系列操作，测量准备工作完了。以后，即可依次对存放在储料装置22中的工件W进行测量工作。

首先，驱动工件输送装置22，使其从出件口26依次地供给工件W。由输送带40将这些从出件口26出来的工件W运送到转向装置42。然后再由该转向装置42将工件W旋转90°而垂直竖起。

被垂直竖起的工件W，由运送机械手44的夹持手54夹住，靠悬臂52的旋转动作将其送到长度测量部16A。

运送到长度测量部16A的工件W，被定位在工件托架100上以测量长度。利用该长度测量部16A测量长度的方法如下。

首先，运送机械手44的夹持手54移至工件托架100的上方停止。然后，悬臂52从该位置开始下降。悬臂52下降到预定位置即停止，由此，工件W被插入工件插入孔104。

工件W被插入工件插入孔104后，工件W受夹持手54的夹持约束即被解除。之后，夹持手54上升至所定的高度位置待机测量。由此，工件W即被定位在工件托架100上。

若工件W被定位在工件托架100上，随后长度测量仪102的旋转台124被驱动旋转，测量臂106即由原来的躲避位置旋转移至待测位置。

测量臂106旋转移至待测位置后，电动机122被驱动使测量臂106下降。测量臂106下降至某一高度位置，则触头108接触到工件W的顶部，而这种接触现象一经被检测到，测量臂106的下降即被停止。

控制部16C根据编码器的输出数据计算出测量臂106从测量待机位置开始到停止时的移动量S。然后根据该所求得的移动量S算出工件W的长度L。也就是说，先计算从基准位置开始的位移量x，再由该位移量x和已知的调零校准仪M₀的长度L₀，来计算出工件W的长度L(L＝L₀+x)。所求得的工件W的长度L，被输出到内径测量部16B的控制部16C。

测量结束后，驱动电动机122工作，使测量臂106上升到测量待机位置。这之后，旋转台124被驱动，测量臂106旋转并移至原来的躲避位置。

由以上操作即完成工件W的长度测量。之后，在工件托架100上方待机的运送机械手44的夹持手54下降，从工件托架100上将工件W回收。并且将回收的工件W运至内径测量部16B。

运送至内径测量部16B的工件W，被定位在测量台60上，以测量内径尺寸。关于内径尺寸的测量方法，可按如下步骤进行。

首先，工件W被插入压紧环66上的工件通过孔76。接下去，驱动图中未示出的压下机构，压紧环66被压向测量台本体64。于是，夹持环68被压紧环66压缩变形，工件W被压缩变形的夹持环68夹紧，定位在测量台60上。

工件W被夹持在测量台60上，气源80被驱动，并将由调压阀82调整到一定压力的压缩空气，通过气电转换器84供给至测量台60的供气路70。提供给该供气路70的压缩空气，通过工件W的内孔向外排气。而且，由气电转换器84检测出当时压缩空气的背压，并将其作为电气信号输出给控制部16C。

控制部16C根据来自于气电转换器84的电气信号来计算工件W的内径尺寸d。即根据预先求得的背压特性来计算工件W的内径尺寸d。

内径尺寸d测量完毕后，接着，控制部16C根据由长度测量部16A测量的工件W的长度L求出修正量ε。并且，根据所求得的修正量ε来修正测量值d，以求得正确的内径尺寸d’。

按照上述做法，将求得的内径尺寸d’，显示在设于控制部16C的监控器(图未示)上，同时作为数据资料记录在存储器内。并且，可以判定测得的内径尺寸d’是否满足所定的基准。也就是说，可以判定该工件W是满足所定基准的合格工件或是未满足所定基准的不合格工件。

并且，成为该判定基准的内径尺寸，作为标准数据预先记录在控制部16C的存储器内。

经过上述操作，工件W的内径测量完毕。之后，气源80的驱动工作停止，工件W所受测量台60的夹持制约被解除。也就是说，来自于压紧机构(图中未画出)的压紧环66的压紧制约被解除，工件W受夹持环68的夹持约束即被解除。这之后，工件W由运送机械手44从测量台60回收并送至回收部18。

运送到回收部18的工件W，按照判定结果分别回收到合格工件回收箱90A或非合格工件箱90B中。也就是说，如果是满足所定标准的合格工件就回收到合格工件回收箱90A，如果是未满足所定标准的不合格工件就回收到非合格工件回收箱90B。

而且，这种分别回收操作可以如下进行。当该工件是合格工件时，从测量台60回收工件W的运送机械手44的夹持手54，即移动到合格工件回收箱90A的上方。并且，从该位置下降一定距离之后解除工件W所受约束。因此，工件靠其自重落下，而被回收至合格工件回收箱90A中。另一方面，从测量台60A回收来的工件W是不合格工件时，运送机械手44的夹持手54即移动到非合格工件回收箱90B的上方，从该位置下降一定距离之后，解除工件W所受的夹持约束。因此，工件W靠其自重下落被回收至非合格工件回收箱90B。

由上述一系列操作，一个工件W的内径测量完毕。以后，依次地反复执行同样的操作，即可测量存放在工件存放装置中的全部工件W。

像上面说明的那样，对于本实施形式的内径测量装置10，由于既测量工件W的长度L，又按照该工件W的长度L来修正内径测量值d，所以，即使是测量诸多长度不同的工件W时，也常可以进行准确的测量。

进而，对于本实施的形式来说，虽然是依靠使垂直上下移动的测量臂106接触工件W的顶部，并检测出当时测量臂106的移动量来测量工件W长度的。但是，测量工件长度的方法，却不仅限于此。

举例如图6和图7所示，用一对测量臂130、130夹持工件W，并根据检测出这一对测量臂130、130的变位，进而测定工件W的长度的这种方法可行。另外，如图8所示，将工件W设置在一对电荷偶合式摄像机132、132之间，利用这对电荷偶合式摄像机132、132给该工件W的端面摄像，根据其调焦数据来测量工件W长度的这种方法也可行。

这样一来，测量工件W长度的方法，可以采用各种通用的方式。

另外，对于本实施的形式，在测量部16中，虽然只分别各设置了一个长度测量部16A和一个内径测量部16B，但是，即使是设置几个长度测量部16A和几个内径测量部16B也可以。这样可以同时测量几个工件W，即可以高效率地完成测量工作。

发明的效果

正如上面所说明的那样，如果利用本发明，因为是按照工件的长度来修正内径测量值的，所以，即使是测量那些长度存在有差异的诸多工件的时候，也常可以进行准确的测量。

Claims (2)

1.一种内径测量方法，其是在从圆筒形工件的一端输入压缩空气，靠检测其背压来测定工件内径的，其特征在于：根据求得与工件长度变化相对应的内径测定值的变化，来预先求出与工件长度所对应的内径测定值的修正量，然后按照工件的长度来修正内径测量值。

2.一种内径测量装置，其是在从圆筒形工件的一端输入压缩空气，靠检测其背压来测定工件内径的，其特征在于具有：

测量工件长度的长度测量装置、

能够记载与工件长度相对应的内径测量值的修正量的存储装置、

按照由上述测量装置所测得的工件长度与存储在上述存储装置中的修正量，修正所测得的工件内径的修正装置。

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