JPH04289410A - 微小隙間測定装置 - Google Patents

微小隙間測定装置

Info

Publication number
JPH04289410A
JPH04289410A JP992391A JP992391A JPH04289410A JP H04289410 A JPH04289410 A JP H04289410A JP 992391 A JP992391 A JP 992391A JP 992391 A JP992391 A JP 992391A JP H04289410 A JPH04289410 A JP H04289410A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure
measured
gap
time
measuring
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP992391A
Other languages
English (en)
Inventor
Masamichi Fujita
正道 藤田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Priority to JP992391A priority Critical patent/JPH04289410A/ja
Publication of JPH04289410A publication Critical patent/JPH04289410A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は油圧機構に使用する油
圧作動油の流量絞りのような油圧部品において、貫通し
た穴とこの穴に遊嵌する軸とによって形成される隙間を
測定するための微小隙間測定装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】油圧回路中の作動油のガス抜きを目的と
して、貫通した穴とこの穴に遊嵌する軸とによって形成
される隙間を利用して、極めて微小なリーク量を制御す
る流量絞りがある。このような目的の流量絞りは10μ
m以下の微小隙間が要求され、適用する直径も1mm前
後の小径となっているが、最終的に組上がったものがい
くらの隙間であるかどうかを確認することは、油圧機器
の機能を維持する上で重要なポイントとなっている。こ
の確認の最も簡単な方法としては、寸法測定器などで穴
径と軸径とを個別に測定しその差を求め、計算上の隙間
でもって規格値内であるかどうかを確認する方法がある
。しかし、この方法は上記に示すように極めて小径の穴
と軸を使用するためと、特に穴については入口の近傍と
奥行きとで直径が異なる現象があることから測定の誤差
が伴い、結果的にはリーク量のバラツキが生じ実用的な
方法ではない。このため、従来では正規の使用状態と同
条件の下で試験を繰り返し、このときのリーク量が規格
値内であるかどうかを確認する方法が採られており、以
下に説明する。図4はこの測定装置に適用する被測定体
の詳細断面図であり、図5は従来の微小隙間測定装置を
示す構成図である。先ず図4において、1は外形が円筒
状の流量絞りである被測定体を示し、2はこの被測定体
1の軸芯部を貫通する穴、3は上記穴2の軸方向の長さ
より僅かに長く穴2に隙間を有し遊嵌する軸、4は穴2
の一端に設けたザグリ穴、5はザグリ穴4と連通する流
体の排出口である。なお、図中におけるDは穴2の内径
寸法、dは軸3の外径寸法を示す。次に図5において、
1は上記被測定体を示し上述した図4と同様である。6
は被測定体1の外周に設けたOリング、7は被測定体1
を保持する保持具、8は保持具7に対向し被測定体1を
支持する支持具で、この支持具8と上記保持具7とによ
って全体の測定具を構成している。9は保持具7と支持
具8とにより形成し被測定体1を収納して大気圧に開放
されている低圧室、10は保持具7と保持具8との接合
面に設けて低圧室9を密閉するOリング、11は低圧室
9に連通し支持具8に設けた排出口、12は被測定体1
の外周にOリング6を設けたことにより、穴2と軸3と
で形成された隙間を通じて低圧室9に連通し保持具7に
設けた高圧室、13は高圧室12に高圧流体をとり入れ
る注入口、14は高圧室12を形成する栓、15は高圧
室12の密閉用のシール、16は低圧室9に貫通し支持
具8の軸芯に設けた穴、17は被測定体1のザグリ穴4
の内部に密着し穴2を塞ぐ鋼球、18は鋼球17に接し
穴16と遊嵌する支え棒、19は支え棒18を移動させ
る止めねじ、20は低圧室9を密閉するため支え棒18
の外周に設けたOリングである。21は油圧発生源、2
2は油圧発生源21で発生した油圧を蓄圧する蓄圧器、
23は蓄圧器22と保持具7の注入口13とを接続する
配管、24は低圧室9を通って排出口11から流出する
油を溜める計量容器、例えばビーカーのようなものであ
る。なお、保持具7と支持具8は締付けボルト(図示せ
ず)のようなもので締め付けられ一体となっている。
【0003】次に動作について説明する。先ず、予め測
定を対象とする穴2を有する被測定体1を決定しておき
、この穴2に軸3を挿入し、この状態の被測定体1を保
持具7と支持具8からなる測定具に組み付けて、図5の
状態にする。次に、止めねじ19を回し支え棒18を介
し鋼球17を被測定体1に押し付け低圧室9側の穴2を
塞ぎ、油圧発生源21を作動させて蓄圧器22に高圧油
を送る。この高圧油を配管23を介して注入口13から
保持具7の高圧室12に注油する。次に、止めねじ19
を徐々に緩め穴2を開くと、軸3は高圧油によって押し
戻される。このとき高圧油は穴2と軸3との隙間(D−
d)からのみ流出し、排出口5及び低圧室9の排出口1
1を経由し計量容器24に溜まる。この溜まった量Vc
c を貯蔵に要した時間T例えば(時間)で徐し、毎時
のリーク量Qcc /hを求める。この結果を予め実験
により作成しておいたリーク量(Q)と隙間(D−d)
との関係を示した例えば図6のようなグラフと照合し、
許容最大隙間h2 及び許容最小隙間h1 に対するリ
ーク量Q2 >Q>Q1 の範囲、即ち規格値Bの範囲
であるかどうかを測定者自身が判断し記録する。また、
測定結果が規格値Bの範囲を外れた場合は、さらに別の
軸3と切り替え、再び上記手順にて貯蔵量Vcc 及び
T時間を測定し、規格値Bの範囲となるまで測定を繰り
返す。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の微小隙間測定装
置は以上のように構成されているので、以下に示すよう
な問題点があった。上記に示す測定・計算・判定及び記
録の各作業は、総て人手によるものであって煩わしい処
理を必要とし、また読み取り誤りや転記誤りする恐れが
あった。また、測定に使用する流体は油圧作動油を使用
するため、流体粘度が高く測定可能な量になるまでには
数日間を要し、その良否判定を得るには長期間を必要と
していた。また、測定結果が規格値を外れたときは、さ
らに数日間を必要とし測定作業の効率が非常に悪かった
。さらに、高圧(例えば300kg/cm2 G以上)
の油圧を取り扱うので、配管や締め付け部は強固な構造
となり、被測定体1の着脱が面倒なものとなっていた。 さらに、圧力流体として油圧作動油を使用するので周囲
の測定環境を損ねる恐れがあるなどの問題点があった。
【0005】この発明は上記のような問題点を解消する
ためのもので、測定時間を短縮し精度よくかつ効率的に
微小隙間が測定できると共に、測定環境が清浄となる微
小隙間測定装置を提供することを目的としている。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明に係わる微小隙
間測定装置は、被測定体を配置する収納部と上記被測定
体の微小隙間を通じて連通する高圧室及び低圧室とを有
した測定具と、この測定具の高圧室に所定圧の気体を供
給する気体供給装置と、上記高圧室の圧力を検知する圧
力検知部と、この圧力検知部が検知する第1の圧力から
第2の圧力に至る迄の経過時間を測定する時間測定手段
とを設けるものである。
【0007】
【作用】この発明における圧力検知部は高圧室に入った
気体を被測定体の微小隙間を通じて低圧室に流出させ、
高圧室の圧力が第1の圧力から第2の圧力に低下するの
を検知する。また時間測定手段は上記圧力検知部が検知
する第1の圧力から第2の圧力に至る迄の経過時間を測
定し、この経過時間によって被測定体の微小隙間の大き
さを測定する。
【0008】
【実施例】実施例1.図1はこの発明の実施例を示す構
成図である。図において1〜9、11,12は図5の従
来と同一あるいは相当部分を示すので説明は省略する。 25は保持具7の一端を塞ぐ蓋、26は高圧室12に空
気圧をとり入れるために蓋25に設けた注入口、27は
被測定体1を支持する支持具8の押圧力の方向を示す矢
印、28は矢印27の押圧力に対し被測定体1の両端を
保護する一対の樹脂製スペーサー、29は被測定体1の
軸3が空気圧によって抜けないように支持する支え棒、
30は保持具7を固定するベースである。31は保持具
7の高圧室12へ空気圧を送る空気圧供給装置である。 この空気圧供給装置31はコンプレッサーなどの空気圧
発生源31a と、空気中の油分などを除去するフィル
ター31b と、空気の供給及び供給を停止するための
電磁切換弁31c と所定の回路圧を確保するレギュレ
ータ31d と、電磁切換弁31c を切換え後高圧室
12の圧力を保持する逆止弁31e とによって構成さ
れている。32は上記空気圧供給装置31と高圧室12
を接続する配管である。33は上記配管32の途中に設
けた圧力検知部で、上記高圧室12の圧力を検知する圧
力センサー33a と、上記圧力センサー33a の電
気信号をアナログからディジタルに変換するA/D変換
器33b とによって構成されている。34はこの発明
の装置を制御する制御部で、例えばマイクロコンピュー
タのようなもので、この制御部34は以下の構成となっ
ている。34a は上記圧力検知部33の信号を第1の
圧力P1及びP1 >P2 となるような第2の圧力P
2 に設定することができ、高圧室12の圧力が上記設
定圧力になったとき信号を出力する圧力設定手段、34
b は第1の圧力P1 から第2の圧力P2 に至る迄
の減圧時間を測定する時間測定手段、34c はこの時
間測定手段による測定結果を、予め制御部34内に記憶
しておいた例えば図2に示すような許容最大隙間h2 
と許容最小隙間h1 及び圧力Pに対する減圧時間T2
 >T>T1 の範囲、即ち規格値Aの範囲を示した減
圧時間基準34d と照合し、適正隙間であるかどうか
を判定する適性判定手段である。35適正隙間判定手段
34c の結果を表示または記録する記録装置、例えば
CRTあるいはプリンターのようなものである。
【0009】次に、動作について図1のこの発明の構成
図、及び図3のこの発明のフローチャートによって説明
する。先ず、図3のステップS01において、従来と同
様に予め測定を対象とする穴2を有する被測定体1を決
定しておき、この穴2に軸3を挿入した被測定体1を保
持具7及び支持具8からなる測定具に組み込み矢印27
の方向からクランプ(図示せず)などで押し付ける。以
下ステップS02〜S11は、この発明の制御部34の
マイクロコンピュータのメモリに記憶されたプログラム
を示すものである。先ず、ステップS02にて制御部3
4内の操作釦(図示せず)などを操作し空気圧供給装置
31の電磁切換弁31c を動作させ、圧力流体である
空気を保持具7の高圧室12に供給する。次に高圧室1
2に供給された空気圧を圧力検知部33で検知し電気信
号に変換する。この信号が第1の圧力P1 (例えば5
kg/cm2G)になったかどうかをステップS03の
圧力設定手段34a で判断し、P1 でなければ引き
続きステップS02にて空気圧を高圧室12に供給する
。P1 であればステップS04の空気圧供給装置31
の電磁切換弁31c を切り換えて空気の供給を停止す
る。空気の供給が停止すればステップS05の時間測定
手段34b によって減圧時間の測定を開始する。 ステップS04にて空気圧の供給が停止すれば、空気圧
回路中の圧力は電磁切換弁31c に逆止弁31e を
設けているので空気の逆流がなくなり、被測定体1の穴
2と軸3とによって形成される隙間(D−d)からのみ
流出し、徐々に減圧する。この圧力が第2の圧力P2 
(例えば3kg/cm2G)になったかどうかをステッ
プS06の圧力設定手段34a で判断し、P2 であ
ればステップS07の減圧時間の測定を終了させる。P
2 でなれけば引き続きステップS05の減圧時間の測
定を実行する。空気圧回路の圧力がP2 となり減圧時
間の測定が終了すると、P1 からP2 までの減圧時
間TをステップS08の時間測定手段34b により算
出し、この算出結果を基にステップS09の適正隙間判
定手段34c により減圧時間基準34d のT2 >
T>T1 の範囲、即ち規格値Aの範囲かどうかを判定
する。その結果が規格値Aの範囲であれば適正隙間であ
ると判断しステップS10に進み、結果を記録装置30
にて表示または記録する。また、結果が規格値Aの範囲
を外れた場合は、ステップS11に進み上記ステップS
10と同様にその結果を記録装置30にて表示または記
録し、ステップS01に返る。その後は別の軸3と取り
換え被測定体1を再び組み付け規格値Aの範囲となるま
で、上記ステップS02〜S11を繰り返す。
【0010】なお、上記ステップS09に適用する減圧
期間基準34d を示す図2は、従来の技術で示した図
6の油圧作動油での試験によって得た適正隙間を持つ被
測定体1を用いて、油圧作動油の代わりに空気圧で試験
を実施したもので、基準となる油圧作動油のリーク量Q
と減圧時間Tとは等価となるように定めたものである。
【0011】上記実施例1では高圧室12の圧力が検知
できる圧力検知部33を設け、さらに圧力が減圧したと
きこの減圧時間を測定し、この測定時間により被測定体
の隙間が規定値かどうかを判定できる制御部34を設け
たので、精度よく自動測定ができ作業効率が向上する。 また、圧力流体として空気圧を使用するので作動油と比
べ流体粘度が低く、この実施例1の場合の測定時間では
、1試料について数日間要していたものが僅か10数分
程度で測定可能となり、大幅に測定時間の短縮が図れる
。さらに、使用する空気圧は数kg/cm2G程度の圧
力でよいので、被測定体1を取り付ける締め付け部は簡
単な構造となり、測定時における被測定体1の着脱が容
易となる。 さらに、測定に使用する流体を空気としたので、周囲の
測定環境を損ねる恐れがなくなり測定環境が清浄となる
効果がある。
【0012】実施例2.なお、上記実施例1では、測定
具の高圧室12に供給する気体として空気圧を使用した
が、空気圧の代わりに酸素圧あるいは窒素圧などのよう
に周囲の測定環境を損ねる恐れがない気体であれば何で
もよい。
【0013】実施例3.上記実施例1では、制御部34
として圧力設定手段34a 、時間測定手段34b 、
適正隙間判定手段34c 及び減圧時間基準34d か
らなるマイクロコンピュータを用いたが、適正隙間判定
手段34c 及び減圧時間基準34d を省略して、第
1の圧力P1から第2の圧力P2に至る迄の減圧時間を
例えばストッポッチのようなもので測定した後記録し、
この測定時間の結果を予め実験により作成しておいたグ
ラフと照合し被測定体1の微小隙間の大きさを測定して
もよい。
【0014】実施例4.上記実施例1では、圧力の検知
に圧力センサー33a、A/D変換器33b を圧力設
定手段34a にマイクロコンピュータを使用したが、
これらの代わりに電気出力接点付の圧力スイッチのよう
なものでも同様な効果がある。
【0015】実施例5.上記実施例1の図2のフローチ
ャートのステップS09において、減圧時間基準34d
 と照合の結果図2の規格値Aの範囲を外れた場合、穴
径を基準に軸3を取り換えたが、逆に軸径を基準に穴2
側の被測定体1の本体を取り換える方法でもよい。
【0016】実施例6.上記実施例1の図2のフローチ
ャートのステップS09において、減圧時間基準34d
 と照合の結果図2の規格値Aの範囲を外れた場合で、
軸3を無作為に取り換えるようにしたが、予め外径を測
定しておいた軸3をある間隔で多種類用意しておけば、
再測定が生じたとき再測定前の結果からその最適組み合
せの検索が容易となり、さらに測定時間が短縮できる。
【0017】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば測定具
の高圧室の圧力を検知する圧力検知部と、この圧力検知
部が検知する第1の圧力から第2の圧力に至る迄の経過
時間を測定する時間測定手段を設け、この経過時間によ
り被測定体の微小隙間の大きさを測定するようにしたの
で、測定時間が短縮しかつ精度よく測定ができると共に
、測定環境の清浄化が図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の実施例1を示す構成図
【図2】この
発明の実施例1の制御部に使用する減圧時間基準となる
グラフ
【図3】この発明の実施例1の動作を示すフローチャー
【図4】この発明及び従来の被測定体の詳細断面図
【図
5】従来の測定装置を示す構成図
【図6】従来の測定に使用したリーク量の規格値を示す
グラフ
【符号の説明】
1  被測定体 2  穴 3  軸 7  保持具 8  支持具 9  低圧室 12  高圧室 31  空気圧供給装置 33  圧力検知部 34  制御部 34b   時間測定手段

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】  貫通した穴とこの穴に遊嵌する軸とに
    よって形成される微小隙間を有した被測定体の上記隙間
    を測定する装置において、上記被測定体を配置する収納
    部と上記被測定体の微小隙間を通じて連通する高圧室及
    び低圧室とを有した測定具、この測定具の高圧室に所定
    圧の気体を供給する気体供給装置、上記高圧室の圧力を
    検知する圧力検知部、及びこの圧力検知部が検知する第
    1の圧力から第2の圧力に至る迄の経過時間を測定する
    時間測定手段を備え、上記経過時間により被測定体の上
    記隙間の大きさを測定するようにしたことを特徴とする
    微小隙間測定装置。
JP992391A 1991-01-30 1991-01-30 微小隙間測定装置 Pending JPH04289410A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP992391A JPH04289410A (ja) 1991-01-30 1991-01-30 微小隙間測定装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP992391A JPH04289410A (ja) 1991-01-30 1991-01-30 微小隙間測定装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH04289410A true JPH04289410A (ja) 1992-10-14

Family

ID=11733610

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP992391A Pending JPH04289410A (ja) 1991-01-30 1991-01-30 微小隙間測定装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH04289410A (ja)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003065742A (ja) * 2001-08-29 2003-03-05 Tokyo Seimitsu Co Ltd 内径測定方法及び装置
JP2010054413A (ja) * 2008-08-29 2010-03-11 Taco Co Ltd 着座距離判定方法とその装置
JP2010112946A (ja) * 2008-10-23 2010-05-20 Asml Holding Nv 流体支援ガスゲージ近接センサ
JP2018054458A (ja) * 2016-09-29 2018-04-05 株式会社フクダ 漏れ素子の評価装置及び評価方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003065742A (ja) * 2001-08-29 2003-03-05 Tokyo Seimitsu Co Ltd 内径測定方法及び装置
JP2010054413A (ja) * 2008-08-29 2010-03-11 Taco Co Ltd 着座距離判定方法とその装置
JP2010112946A (ja) * 2008-10-23 2010-05-20 Asml Holding Nv 流体支援ガスゲージ近接センサ
JP2018054458A (ja) * 2016-09-29 2018-04-05 株式会社フクダ 漏れ素子の評価装置及び評価方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6854318B2 (en) Method and apparatus of nondestructive testing a sealed product for leaks
US6308556B1 (en) Method and apparatus of nondestructive testing a sealed product for leaks
US6279383B1 (en) Method and apparatus for detecting leakage
KR100839279B1 (ko) 리크 테스터
US20090024258A1 (en) Safety Valve Testing
AU2006219756B2 (en) Safety valve testing
US5392661A (en) Hydrogen monitoring apparatus
CN110823119A (zh) 基于视觉-激光复合测量的高压实验舱测量系统
CN113125271A (zh) 一种盖板玻璃耐液压测试装置及方法
CN101151485A (zh) 安全阀测试
JPH04289410A (ja) 微小隙間測定装置
US6840087B2 (en) Method and apparatus for leak testing closed containers
CN114705355B (zh) 一种用于土压力盒的流体标定装置以及土压力盒标定方法
US4875366A (en) Apparatus and method for the field measurement of bearing lubricant and seal integrity testing
JP4757691B2 (ja) 配管の漏れ検査方法
JP3361164B2 (ja) リーク検知方法および装置
JP2002303560A (ja) 気密性能試験方法
JP2700962B2 (ja) 洩れ検査装置の校正方法
CN113109032B (zh) 一种充压管道瞬态甩动行为的测量实验方法
JPH1090160A (ja) 通気率測定装置
JPH0493746A (ja) 安全弁の吹出し圧力設定方法
JP3390969B2 (ja) 溝形状測定方法及び装置
JP2000241290A (ja) エアリークテスタの容積変更装置
JP3643443B2 (ja) ガス配管気密検査装置
GB2274339A (en) Leak testing.