CN1404995A - 液体喷射记录头及其制造方法 - Google Patents

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Abstract

本发明的液体喷射记录头具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于基板并设置有与能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对基板和孔板的面垂直的方向排出液滴，其特征在于：在基板与孔板之间形成流路，在孔板围住流路外侧地形成槽，孔板的与槽相接的边缘部形成为具有多个微小凹凸的锯齿状。

Description

液体喷射记录头及其制造方法
技术领域
本发明涉及用于朝记录媒体喷射墨水等液体的液体喷射记录(墨水喷射记录)的液体喷射记录头(喷射记录头)及其制造方法。
背景技术
作为在记录纸等记录媒体形成图像(在这里，不论有无意义，包含文字、图形、模样等，都称图像)的记录装置的一个形式，具有从微小的排出口排出微小的墨水滴的液体喷射记录装置(墨水记录装置)。
液体喷射记录头存在相对形成能量发生元件的基板水平地喷射墨水液滴的边缘喷射型和相对基板垂直地喷射墨水液滴的侧面喷射型。例如，在日本特开平4-10940号公报、特开平4-10941号公报、特开平4-10942号公报等中公开了侧面喷射型的液体喷射记录头。记载于这些公报的液体喷射记录头使通过加热发热电阻生成的气泡与外部大气连通，排出墨水液滴。在这样的液体喷射记录头中，对于现有的制造方法(例如日本特开昭62-234941号说明书中公开)的侧面喷射型的液体喷射记录头可容易地得以实现较困难的、能量发生元件与小孔之间的间隔的短缩化和小液滴记录，可满足近年来高精细记录的要求。
另外，近年来，要求打印机的输出速度进一步高速化。计算机处理速度提高和为了输出更精彩的图像而使墨水液滴微小化使得要求更高的墨水液滴密度是其一个原因。另外，在大尺寸打印机和与网络连接的打印机中，高速化的要求更为突出。打印机的输出速度的高速化可通过提高单位时间的墨水液滴发生数即墨水排出频率和增加墨水排出口的数量这样2个途径加以实现。通常，同时采用该2个途径来实现打印机输出的高速化。然而，增加墨水排出口的数量意味着增加喷嘴列，这将导致液体喷射记录头的长尺寸化。
这样的液体喷射记录头如图22A所示那样，具有多个墨水排出口106的孔板105接合于基板102上。如图22B所示，在基板102开设墨水供给口107，在基板102的与孔板105接合的面将多个能量发生元件(发热电阻)101配置到与墨水排出口106对应的位置。如图22C所示，在基板102与孔板105之间形成从墨水供给口107连通到发热电阻101上方的墨水排出口106的墨水流路(液室)108。因此，墨水从墨水供给口107供给到墨水流路108，由发热电阻101的作用产生的气泡的压力从墨水排出口106排出。本说明书的各附图为了简化仅示意地示出墨水排出口和发热电阻的一部分或由直线示出微细的多个排出口列。
这样的液体喷射记录头的制造方法如图23A-23D所示那样，在形成墨水排出用的能量发生元件(发热电阻)101的基板102上形成可溶解树脂层103，接着，由旋转涂覆等涂覆成为孔板的被覆树脂层105。在被覆树脂层105形成墨水排出口106。此后，使可溶解树脂层103溶解，同时，在基板102形成墨水供给口107。这样，可溶解树脂层103溶解的部分成为与墨水排出口106和墨水供给口107连通的墨水流路108，对应于该墨水流路108存在发热电阻101。然而，在该方法中，难以如图22C、图23A-23D的2点划线所示那样平坦地形成被覆树脂层。如图23A-23D所示那样，被覆树脂层105沿可溶解树脂层103的角部(台阶)形成，在孔板105产生膜厚大的部分与薄的部分的分散偏差。这样，在使用孔板105的膜厚不均匀的构造的液体喷射记录头的场合，孔板105的膜厚较薄的部分易于产生应力集中而与基板102剥离或破损，可靠性变差，液体喷射记录头的寿命可能下降。另外，墨水的排出量根据用于发生墨水排出能量的发热电阻101与孔板105的前面之间的间隔决定，所以，如图23A-23D所示那样，当孔板105的膜厚不一定、与发热电阻101的间隔不均匀时，作为用于实现高精细记录的有力措施之一的小液滴记录要稳定地进行非常困难。
解决这样的问题的方法由本申请人公开于例如日本特开平10-157150号公报和特开平11-138817号公报等。在记载于这些公报的制造方法中，为了平坦地形成孔板105，可溶解树脂层103不仅形成在成为墨水流路108的图案而且形成于其外周部，将该可溶解树脂层103作为基座形成被覆树脂层105。该制造方法将在下面参照图24A-24D详细地说明。在实际的制造中，通常是从1张基板同时制造多个记录头。在这里，为了简化，对1个记录头的场合进行说明。
首先，如图24A所示那样，在基板102上按规定个数将墨水排出用的能量发生元件即发热电阻(电热变换元件)101配置到规定位置，在该基板102上形成可溶解树脂层103。此时，可溶解树脂层103除了构成作为墨水流路的图案103a外还构成围住其外周部的作为基座的图案103b。可溶解树脂层103例如由干膜的叠片形成，或由抗蚀剂的旋转涂覆等方式涂覆形成，之后，例如由紫外线(Deep-UV光)的曝光和显影等形成图案。作为具体例，由旋转涂覆方式涂覆了聚甲基异丙基甲酮(东京应化工业(株)公司制造的ODUR-1010等)并干燥后，由Deep-UV光的曝光和显影形成图案。
然后，如图24B所示那样，在可溶解树脂层103上由旋转涂覆等形成被覆树脂层105。
此时，如不存在成为基座的图案103b，则成为墨水流路的图案103a的外周部沿大面积都为露出基板102的较低的面，所以，如图23所示，被覆树脂层105成为将作为墨水流路的图案103a上作为顶点向其周围流畅地下垂的形状，厚度变得不均匀。然而，如图24B所示那样，当设置了成为基座的图案103b时，即使在成为墨水流路的图案103a的外周部也不成为沿大面积露出基板102的较低的面，所以，被覆树脂层105形成均匀的高度。当然，在成为墨水流路的图案103a的上部，被覆树脂层105极为平坦地形成。
如图24C所示，在被覆树脂层105形成墨水排出口106，另外，在成为外周部的基座的图案103b的上方形成开口部104。墨水排出口106和开口部104的形成例如可通过紫外线(Deep-UV光)等的曝光和显影进行。具体地说，由旋转涂覆的方式涂覆了负性(ネガ型)抗蚀剂并干燥后，由紫外线进行图案曝光后显影，可形成墨水排出口106和开口部104。
然后，化学腐蚀基板102，形成墨水供给口107。例如，在使用Si基板作为基板的场合，由KOH、NaOH、TMAH等强碱液体的各向异性腐蚀形成墨水供给口107。作为更为具体的例子，对形成在晶向为<110>的Si基板的热氧化膜形成图案，用加热调温到80℃后的TMAH22％溶液对该Si基板进行10多个小时的腐蚀，形成墨水供给口107。
接着，如图24D所示那样，使可溶解树脂层103溶解，形成墨水流路108和围住其周围的槽109。可溶解树脂层103的除去可通过在由Deep-UV光进行全面曝光后进行溶解和干燥而完成，另外，如在溶解时进行超声波处理则可更为可靠地在短时间内进行。
虽然未在图中示出，但实际上在1片基板102的多个部位由以上工序分别设置示于图24D的液体喷射机构，完成该构成后，由切割锯等分离切断基板102而芯片化，进行用于驱动发热电阻101的电连接等后，接合用于供给墨水的墨水槽等构件，完成液体喷射记录头。
墨水供给口107的形成也可在形成可溶解树脂层103之前或形成墨水排出口106和开口部104之前进行。这样，按照将槽109形成到墨水流路108外周部的方法，可平坦地形成被覆树脂层105，使孔板105的膜厚均匀化，所以，该液体喷射记录头的孔板105的前面与发热电阻101的间隔变得不均匀，可稳定地进行用于实现高精细记录的小液滴记录。
另外，由于不是由孔板105覆盖墨水排出口106和电连接部以外的所有部分，所以，可防止孔板105的硬化和温度变化产生的应力导致的发热电阻101产生变形，或在孔板105的端部即墨水排出口106的壁部产生应力集中而在与发热电阻101之间产生剥离。
另外，由于不仅墨水排出口106的近旁而且其外侧也由孔板105覆盖，所以，基板102的表面不会沿大面积裸露，可防止当在安装液体喷射记录头时或安装到打印机使用时基板102表面受伤而出现缺陷。这样，可尽可能地减小加在墨水流路108的壁部的应力，同时，可使基板102的表面不受伤。
图25A-25C示出从上面观看该液体喷射记录头时的示意图。该液体喷射记录头在墨水排出口106的列在墨水供给口107的两侧各配置1列。
如上述那样制造的液体喷射记录头的形成于墨水流路108周围的槽109的边缘部即孔板105的边缘部随着液体喷射记录头的长尺寸化而存在剥离的可能性，这已通过各种试验加以证明。特别是与为了设置墨水排出口106和墨水流路108而减小了孔板105的体积的内侧相比，槽109的外侧的孔板105的体积进一步增大，为此加在孔板105的应力进一步增大，因此，剥离发生的频度和程度也进一步增大。另外，已经得知，液体喷射记录头的孔板105的厚度越厚则应力越大，该剥离越易于发生。
图25A-25C示意地示出说明应力与剥离的关系。特别是在图25B和25C中，箭头示出加在孔板105的边缘部的、由硬化时的收缩和热变化产生的膨胀收缩等改变的应力110的方向。应力110在树脂收缩时朝着树脂的中央方向，当树脂膨胀时朝向其外侧(与图示箭头相反方向)。特别是引起孔板105的剥离的原因可以认为是由图25C的箭头示出的朝着树脂中心的应力。
应力110在孔板105的与槽109相接的边缘部垂直地朝槽109(在槽109为曲线状的部分与槽109的切线垂直)地作用。为此，在孔板105的与槽109相接的边缘部作用将其剥开的力，而且该力的方向为直角方向，所以，应力110依原样加到边缘部，为易于发生剥离的形状。图25C为在图25B中由圆围住的部分的放大图，用于更为详细地说明作用于槽109两侧的应力。如图25C所示，在中央具有槽109，孔板105在其边缘部接受应力110。如上述那样，该应力110的方向朝与孔板105边缘部成直角的方向作用，所以，应力110成为依原样剥开孔板105的力。该应力110随着孔板105的面积和厚度的增大而增大，所以，长尺寸的记录头的场合易于发生剥离。如上述那样，近年来，对记录的高速化提出了更高的要求，为此，与其要求墨水排出口106的数量多，更要求尺寸更长的液体喷射记录头，但液体喷射记录头的尺寸越长，则形成墨水排出口106的被覆树脂层(孔板)105的内部应力越大。为此，当相对实用打印张数进行估计了安全系数的打印耐久试验时，发生了基板102和孔板105以与槽109相接的边缘部作为起点剥离的问题。该剥离有时发展到墨水排出口106的形成部分，对排出性能产生不良影响，有时不能进行记录。图26A-26B示意地示出该剥离的发生状况。如该图26A-26B所示那样，以与槽109相接的边缘部作为起点，在基板102与孔板105之间产生了剥离(剥离部分111)。
发明内容
本发明就是鉴于上述问题而作出的，其目的在于提供一种即使为长尺寸也不产生剥离的、可靠性高的侧面喷射型的液体喷射记录头及其制造方法。
本发明的液体喷射记录头具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于基板并设置有与能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对基板和孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：在基板与孔板之间形成流路，在孔板围住流路外侧地形成槽，孔板的与槽相接的边缘部形成为具有多个微小凹凸的锯齿状。
在孔板的与槽相接的边缘部设有连续的、相对加到边缘部的应力的方向成直角的部分。
设置在孔板的与槽相接的边缘部的凹凸也可由直线的组合构成，直线没有相对加到边缘部的应力的方向成直角的部分。另外，设于孔板的与槽相接的边缘部的凹凸也可由曲线的组合构成，曲线没有连续的、与其切线相对加到边缘部的应力的方向成直角的部分。另外，设置在孔板的与槽相接的边缘部的凹凸也可通过直线与曲线的组合构成，直线没有相对加到边缘部的应力的方向成直角的部分，曲线没有连续的、与其切线相对加到边缘部的应力的方向成直角的部分。
孔板中的位于槽外侧的部分也可分割成多个。
也可将孔板的与流路相接的边缘部的至少一部分形成具有多个微小凹凸的锯齿状。孔板的与流路相接的边缘部的至少一部分没有连续的、具有相对加在边缘部的应力的方向成直角的部分。
也可在孔板的除去流路的部分设置沿板厚方向到达上述基板的多个贯通孔。
也可在孔板的除去流路的部分设置沿板厚方向未到达上述基板的多个凹部。凹部也可为凹槽。
孔板中的位于槽外侧的部分也可形成比其它部分薄的板厚。
孔板也可具有覆盖槽的上方的顶部。
另外，本发明的液体喷射记录头具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于基板并设置有与能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对基板和孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：在基板与孔板之间形成流路，孔板具有围住流路外侧地形成的由多个孔部构成的孔部列。
本发明提供一种液体喷射记录头的制造方法，液体喷射记录头具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于基板并设置有与能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对基板和孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：包括在基板的能量发生元件配置面上形成包含成为流路的图案和成为基座的图案的可溶解树脂层的工序、在基板和可溶解树脂层上形成作为孔板的被覆树脂层的工序、及除去可溶解树脂层以在成为流路的图案之后形成流路并在成为基座的图案之后形成槽的工序，该成为基座的图案为围住该成为流路的图案的外侧那样的形状，成为基座的图案的边缘部形成具有多个微小凹凸的锯齿状。
也可将位于流路形成位置外侧的部分分割成多个地形成由被覆树脂构成的孔板。
成为流路的图案的边缘部的至少一部分也可形成为具有多个微小凹凸的锯齿状。
由被覆树脂层构成的孔板的除了流路形成位置以外的部分也可形成沿板厚方向贯通的多个贯通孔。
由被覆树脂层构成的孔板的除了流路形成位置以外的部分也可形成不沿板厚方向贯通的多个凹部。
也可包含由半腐蚀将被覆树脂层构成的孔板的槽的形成位置外侧的板厚减薄的工序。
也可使成为孔板的被覆树脂层的覆盖成为基座的图案的形成位置上方的部分至少残存一部分，形成槽的顶部。
本发明提供一种液体喷射记录头的制造方法，液喷射记录头具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于基板并设置有与能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对基板和孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：包括在基板的能量发生元件配置面上形成包含成为流路的图案和成为基座的图案的可溶解树脂层的工序、在基板和可溶解树脂层上形成作为孔板的被覆树脂层的工序、及除去可溶解树脂层以在成为流路的图案之后形成流路并在成为基座的图案之后形成孔部列的工序，该成为基座的图案为围住该成为流路的图案的外侧的柱状部列状。
上述液体喷射记录头即使长时间使用，孔板的边缘部从基板的剥离也完全不发生或即使发生也很小，为实际上没有问题的程度，可稳定地维持良好的液体喷射记录，所以，耐久性和可靠性高。
附图说明
图1A为示出本发明第1实施形式的液体喷射记录头的透视图，图1B为第1实施形式的基板的透视图，图1C为沿图1A的1C-1C线的第1实施形式的液体喷射记录头的断面图。
图2A为示出第1实施形式的液体喷射记录头的平面图，图2B为其局部放大图。
图3A-3D分别为示出第1实施形式的液体喷射记录头的制造方法的断面图。
图4为示出本发明第2实施形式的液体喷射记录头的平面图。
图5A为示出本发明第3实施形式的液体喷射记录头的平面图，图5B为其局部放大图。
图6为示出本发明第4实施形式的液体喷射记录头的平面图。
图7为示出本发明第5实施形式的液体喷射记录头的平面图。
图8为示出本发明第6实施形式的液体喷射记录头的平面图。
图9为示出本发明第7实施形式的液体喷射记录头的平面图。
图10为示出本发明第8实施形式的液体喷射记录头的平面图。
图11A为示出本发明第9实施形式的液体喷射记录头的示意平面图，图11B为其局部放大图，图11C为其进一步的局部放大图。
图12为示出第9实施形式的液体喷射记录头的变型例的放大平面图。
图13A为示出本发明第10实施形式的液体喷射记录头的平面图，图13B为沿图13A的13B-13B线的断面图。
图14为示出本发明第11实施形式的液体喷射记录头的局部放大平面图。
图15A为沿图15B的15A-15A线的示出本发明第12实施形式的液体喷射记录头的断面图，图15B为其平面图。
图16为示出本发明第13实施形式的液体喷射记录头的平面图。
图17A为示出本发明第14实施形式的液体喷射记录头的平面图，图17B为其局部放大图。
图18为示出本发明第15实施形式的液体喷射记录头的断面图。
图19为示出本发明第16实施形式的液体喷射记录头的断面图。
图20A、20B、20C、及20D为示出本发明第17实施形式的液体喷射记录头的平面图，图20A′-20D′分别为  20A′-20A′线、20B′-20B′线、20C＇-20C＇线、及20D′-20D′线的断面图。
图21A、21B、21C、及21D为示出本发明第17实施形式的液体喷射记录头的的变型例的平面图，图21A′-21D′分别为沿21A＇-21A′线、21B＇-21B′线、21C′-21C′线、及21D′-21D′线的断面图。
图22A为示出第1现有技术例的液体喷射记录头的透视图，图22B为第1现有技术例的基板透视图，图22C为沿图22A的22C-22C线的第1现有技术例的液体喷射记录头的断面图。
图23A、23B、23C、及23D为示出第1现有技术例的液体喷射记录头的制造方法的断面图。
图24A、24B、24C、及24D为示出第2现有技术例的液体喷射记录头的制造方法的断面图。
图25A和25B为示出第2现有技术例的液体喷射记录头的平面图，图25C为其局部放大图。
图26A为示出第2现有技术例的液体喷射记录头的缺陷的平面图，图26B为沿图26A的26B-26B线的断面图。
具体实施方式
下面，根据附图说明本发明的实施形式。
(第1实施形式)
图1A-1C、2A及2B示出本发明第1实施形式的液体喷射记录头。本实施形式的液体喷射记录头的槽9的轮廓即与槽9相接的孔板5的边缘部不为笔直的一直线，而是形成为具有微细凹凸状的锯齿状。此外的构成与图24A-24D及图25A-25C所示现有液体喷射记录头实质上相同。
下面简单地说明该液体喷射记录头的构成。如图1A-1C所示，该液体喷射记录头的具有多个墨水排出口6的孔板5接合到基板2上。在基板2开设墨水供给口7，在与孔板5接合的面将多个能量发生元件(发热电阻)1配置到与墨水排出口6对应的位置。在基板2与孔板5之间形成从墨水供给口7连通到发热电阻1上方的墨水排出口6的墨水流路(液室8)和围住墨水流路8外侧地设置的槽9。虽然通过由槽9分离而将孔板5完全分成堵塞墨水流路8的内侧部分和其外侧部分，但将两者合在一起称为孔板(或被覆树脂层)5。该液体喷射记录头从墨水供给口7将墨水供给到墨水流路8，当驱动发热电阻1时，墨水流路8内的墨水被加热发泡，从墨水排出口6排出到外部。
如图2A和2B所示，由被覆树脂层构成的孔板5与槽9相接的边缘部形成锯齿状，直线部相对应力P成角度θ。在这里，θ≠90°。即，孔板5的边缘部的直线部相对应力P作用的方向成不为直角的角度θ，所以，例如作用于点X的应力P分成沿边缘部方向的分力P1和与其垂直的分力P2。其中，作用于点X的剥取孔板5的力P2如下式所示。
P2＝Psinθ
在这里，由于θ≠90°，所以，sinθ＜1。因此，
P2＜P
与现有例相比，剥离的力非常小。因此，可以说不易剥离或剥离不易发展。
如图25A-25C所示现有例那样，当孔板105的与槽109相接的边缘部为一直线状时，由于沿非常宽的范围都作用朝相同方向的应力，所以，综合起来在该范围的孔板105作用极大的应力。然而，在本实施形式中，由于孔板5的与槽9相接的边缘部为锯齿状，所以，在相同范围内混合存在各种方向的应力，一部分抵消，作用于该范围内的孔板5的应力比过去小。因此，可降低易剥离性。下面参照图3A-3D说明本实施形式的液体喷射记录头的制造方法。在这里，例示出打印宽度大、可进行高速打印的喷嘴列的宽度为1英寸的液体喷射记录头的制造方法。
首先，如图3A所示，在基板2上将规定个数的发热电阻1(电热变换元件)等墨水排出用能量发生元件配置到规定位置。在这里，按每1英寸600个的密度配置640个发热电阻1。
接着，在包含发热电阻1的基板2上形成可溶解树脂层3。可溶解树脂层3构成作为墨水流路的图案3a和作为基座的图案3b。该可溶解树脂层3在进行例如干膜的叠片或由抗蚀剂的旋转涂覆等实施的涂覆后，例如由紫外线(Deep-UV光)进行曝光和显影等形成图案。作为具体例，由旋转涂覆方式涂覆了聚甲基异丙基甲酮(东京应化工业(株)公司制造的ODUR-1010)并干燥后，由Deep-UV光的曝光和显影形成图案。成为墨水流路的图案3a的外侧边缘部(与后述的槽9的内侧侧壁相接的部分)和成为基座的图案3b的内侧边缘部(与后述的槽9的外侧侧壁相接的部分)形成为具有微细凹凸形状的锯齿状。
然后，在可溶解树脂层3上如图3B所示那样，由旋转涂覆等形成作为孔板的被覆树脂层5。此时，由于形成有可溶解树脂层3的成为基座的图案3b，因而可在成为墨水流路的图案3a的上方平坦地形成被覆树脂层5。如图3C所示，在该被覆树脂层5形成墨水排出口6。另外，用于除去成为基座的图案3b的开口部4也同时或不同时地由与墨水排出口6的形成相同的手法形成。墨水排出口6和开口部4的形成例如可通过紫外线(Deep-UV光)等的曝光和显影进行。具体地说，由旋转涂覆的方式涂覆了负性抗蚀剂并干燥后，由紫外线进行图案曝光并显影，由此可形成墨水排出口6和开口部4。通过将曝光时的图案形成为锯齿状而可同样地将开口部的形状形成为锯齿状。
然后，对基板2进行化学腐蚀，形成墨水供给口7。例如，在使用Si基板作为基板2的场合，由KOH、NaOH、TMAH等强碱液体的各向异性腐蚀形成墨水供给口7。作为更为具体的例子，对形成在晶向为<110>的Si基板的热氧化膜形成图案，用加热调温到80℃后的TMAH22％溶液对该Si基板进行10多个小时的腐蚀，形成墨水供给口7。
接着，如图3D所示那样，使可溶解树脂层3溶解，形成墨水流路8和围住其周围的槽9。可溶解树脂层3的除去可通过在由Deep-UV光进行全面曝光后进行溶解和干燥而完成，另外，如在溶解时进行超声波处理，则可更可为靠地在短时间内进行。
虽然未在图中示出，但实际上在1片基板2的多个部位由以上工序分别设置示于图3D的液体喷射机构，完成该构成后，由切割锯等分离切断基板2而芯片化，进行用于驱动发热电阻1的电连接等后，接合用于供给墨水的墨水槽等构件，完成液体喷射记录头。
墨水供给口7的形成也可在形成可溶解树脂层3之前或形成墨水排出口6和开口部4之前进行。
这样，制造的液体喷射记录头与现有例同样可稳定地进行用于实现高精细记录的小液滴记录，尽可能地减小加到墨水流路8的壁部的应力，同时，可防止基板2的表面受伤，并可如上述那样，抑制孔板5从基板2的剥离。
使用如上述那样制造的本实施形式的液体喷射记录头，在加了橡胶盖的状态下对包含基板2的芯片部分进行温湿度循环试验。具体地说，如以下那样进行温湿度循环试验。首先，将相对湿度保持为95％，用2小时30分钟使温度以相等速度从25℃升温到65℃，在温度65℃保持3小时后，用2小时30分钟以相等速度降温到25℃，此后，用2小时30分钟以相等速度使温度再次从25℃升温到65℃，在温度65℃保持3小时后，用2小时30分钟以相等速度再次降温到温度25℃，然后，在25℃保持1小时30分钟，之后，达到相对湿度0％、温度-10℃并保持3小时30分钟，到相对湿度95％、温度25℃保持3小时。将以上工序作为1个循环，对其进行10个循环。
结果，在本实施形式的液体喷射记录头中，孔板5的与槽9相接的边缘部的剥离完全不发生或即使发生也很小，为实际上没有问题的程度。即使在温湿度循环试验的前后进行记录，也没有发现任何变化地进行了良好的记录。
为了进行比较，使用图25A-25C所示的现有液体喷射记录头进行了与上述同样的温湿度循环试验。结果，在现有的液体喷射记录头中，在孔板105的与槽109相接的边缘部发生孔板105的剥离，该剥离到达墨水流路108，它们仅能进行颜色淡的低等级的记录。
(第2实施形式)
图4示出本发明第2实施形式的液体排出记录头。与第1实施形式相同的部分采用相同符号，省略说明。图4示出基板2、孔板(被覆树脂层)5、槽9，其它部分省略。如该图4所示，本实施形式的孔板5的与槽9相接的边缘部呈角度更尖锐的锯齿状，孔板5的边缘部的直线部分相对应力P所成的角度θ变得比第1实施形式小。为此，应力P的分力P2即从基板2剥离孔板5的力更小。
使用本实施形式的液体喷射记录头进行上述温湿度循环试验时，与第1实施形式一样，孔板5的与槽9相接的边缘部的剥离完全不发生或即使发生也很少，为实际上不成为问题的程度，即使在温湿度循环试验的前后进行记录，也不发现任何变化地进行了良好的记录。
(第3实施形式)
图5A和5B示出本发明第3实施形式的液体排出记录头。与第1、2实施形式相同的部分采用相同符号，省略说明。
如图5A和5B所示，本实施形式的孔板5的与槽9相接的边缘部呈带圆角的锯齿状。即，该锯齿状的顶部附近形成为曲线状。在孔板5的边缘部的直线部分，与第1实施形式同样，进行剥离的分力P2比应力P小(P2＝Psinθ1，θ1＜90°)。另外，在孔板5的锯齿状的顶部附近，角度连续地变化，作用于边缘部的应力P的产生剥离作用的成分仍然比应力P小。具体地说，如图5B所示，在锯齿状的曲线性顶部附近存在的点X2，孔板5的边缘部的切线相对应力成角度(90°-θ2)。在点X2，应力P分成切线方向的分力P3和法线方向的分力P4。在该点X2，产生剥离作用的力为与孔板5成直角的方向的力P4。P4＝Psin(90°-θ2)，(90°-θ2)＜90°，作为剥离力的力P4依然比应力P本身小。只有在孔板5的锯齿状的顶部，由于其切线方向与应力的方向直交，所以，应力依原样成为产生剥离作用的力。然而，应力与切线方向所成的角度连续地变化，成为直角的点仅为1点，所以，对于孔板5的边缘部的几乎所有的点，剥离的力都比现有液体喷射记录头小。
使用本实施形式的液体喷射记录头进行上述温湿度循环试验时发现，与第1、2实施形式一样，孔板5的与槽9相接的边缘部的剥离完全不发生或即使发生也很小，为实际上没有问题的程度，即使在温湿度循环试验的前后进行记录，也没有发现任何变化地进行了良好的记录。
(第4实施形式)
图6示出本发明第4实施形式的液体排出记录头。与第1-3实施形式相同的部分采用相同符号，省略说明。
如图6所示，本实施形式的孔板5的与槽9相接的边缘部呈比第3实施形式更带圆角的锯齿状。在本实施形式中，与孔板5的边缘部成直角的分力也比应力P自身小，进行剥离的力也比现有液体喷射记录头小。当孔板5的边缘部为带圆角的曲线状时，不存在直线状的场合中易于成为剥离起点的角部，所以，剥离更难产生，不会对排出性能产生不良影响。
使用本实施形式的液体喷射记录头进行上述温湿度循环试验时发现，与第1-3实施形式一样，孔板5的与槽9相接的边缘部的剥离完全不发生或即使发生也很小，为实际上没有问题的程度，即使在温湿度循环试验的前后进行记录，也没有发现任何变化地进行了良好的记录。
(第5实施形式)
图7示出本发明第5实施形式的液体排出记录头。与第1-4实施形式相同的部分采用相同符号，省略说明。
如图7所示，在本实施形式中，位于槽9外侧的孔板(被覆树脂层)5由狭槽12分割成多个。作为一例，狭槽12的数量为8条，由此将槽9外侧的孔板5分割成8部分。因此，加到孔板5的应力也分成8部分，这里的孔板的体积变小。因此，在被分割的孔板5的各部分，所加的应力(包含进行剥离的力)比现有例小。因此，在本实施形式的液体喷射记录头中，基板2与孔板5的剥离不易产生，或至少可以说剥离不易发展。另外，应力导致的基板2的变形也变小。在本实施例中，虽然由将槽9形成为锯齿状的例子进行了说明，但只要孔板如上述实施例那样分割即可，如图所示那样与锯齿状的槽9组合则更理想。
使用本实施形式的液体喷射记录头进行上述温湿度循环试验时发现，与第1-4实施形式一样，孔板5的与槽9相接的边缘部的剥离完全不发生或即使发生也很小，为实际上没有问题的程度，即使在温湿度循环试验的前后进行记录，也没有发现任何变化地进行了良好的记录。
(第6-8实施形式)
图8-10示出本发明第6-8实施形式的液体排出记录头。与第1-5实施形式相同的部分采用相同符号，省略说明。
在第6-8实施形式中，与图7所示第5实施形式一样，在由狭槽12将孔板(被覆树脂层)5分割成多个的构成中，孔板5的与槽9相接的边缘部的凹凸形状与第2-4实施形式一样进行了多种变更。
使用该第6-8实施形式的液体喷射记录头进行上述温湿度循环试验时发现，分别与第1-5实施形式一样，孔板5的与槽9相接的边缘部的剥离完全不发生或即使发生也很小，为实际上没有问题的程度，即使在温湿度循环试验的前后进行记录，也没有发现任何变化地进行了良好的记录。
(第9实施形式)
图11A-11C及图12示出本发明第9实施形式的液体排出记录头。与第1-8实施形式相同的部分采用相同符号，省略说明。
在本实施形式中，与上述各实施形式一样，作为将孔板(被覆树脂层)5的与槽9相接的边缘部形成为具有微小凹凸的锯齿状的构造的替代方案，如图11A-11C所示那样，孔板5的与墨水流路8相接的边缘部(墨水流路壁17)也形成具有微小凹凸的锯齿状。与在第1实施形式中说明的情况相同，加到孔板5边缘部(墨水流路壁17)的应力P分成沿边缘部方向的分力P5和与边缘部直交的分力P6，剥离的力仅为分力P6，所以，剥离的力比过去小。
如图11A-11C所示那样，在易产生剥离的墨水流路8的较薄的侧壁部将边缘部形成为锯齿状的场合，防止剥离效果较高，但如图12所示那样，在墨水流路8的轮廓整个区域也可将孔板5的与墨水流路相接的边缘部(墨水流路壁17)形成带有与第3、4实施形式同样的圆角的锯齿状。在本实施例中，最好进一步附加在实施例1中说明的锯齿状的槽9。
(第10实施形式)
图13A-13C示出本发明第10实施形式的液体排出记录头。与第1-9实施形式相同的部分采用相同符号，省略说明。
在本实施形式中，如图13A和13B所示那样，在孔板5朝板厚方向形成多个贯通孔13。贯通孔13的平面形状为圆形或八角形。贯通孔13在槽9的内侧的孔板5配置在避开墨水排出口6和墨水流路8的位置。由该贯通孔13使孔板5的体积减少，所以，由树脂的硬化和热变化产生的应力自身减小，同时，贯通孔13的变形的自由度提高，所以，可缓和应力。即如图13B(沿图13A的13B-13B线的断面图)所示那样，形成于孔板5的贯通孔13到达基板2，减少孔板5的体积，同时，构成孔板的被覆树脂可扩大和缩小贯通孔13地进行微小量的移动，所以，孔板5的膨胀和收缩由贯通孔13(或贯通孔13的壁面)的变形吸收，具有应力缓和效果。因此，在孔板5不易产生剥离，或至少可以说剥离不易发展。另外，应力导致的基板2的变形小。
在构成孔板5的被覆树脂为感光性树脂的场合，可在形成墨水排出口6或开口部4的图案的同时用相同掩模形成贯通孔13。
使用本实施形式的液体喷射记录头进行上述温湿度循环试验时发现，分别与第1-8实施形式一样，孔板5的与槽9相接的边缘部的剥离完全不发生或即使发生也很小，为实际上没有问题的程度，即使在温湿度循环试验的前后进行记录，也没有发现任何变化地进行了良好的记录。
当贯通孔13为圆柱状时，不存在易于成为剥离的起点的角部，所以，不易产生剥离，不会对排出性能产生不良影响。在本实施例中，最好进一步附加在实施例1中说明的锯齿状的槽9。
(第11实施形式)
图14示出本发明第11实施形式的液体排出记录头。与第1-10实施形式相同的部分采用相同符号，省略说明。
在本实施形式中，特别是在平面地位于墨水流路壁17外侧(后方)的孔板(被覆树脂层)5设置贯通孔13。为此，特别是可减轻加在设置墨水排出口6的附近的应力，使防止打印特性劣化的效果增大。在图14未示出的部分的孔板5与第10实施形式同样地设置多个贯通孔13。
使用本实施形式的液体喷射记录头进行上述温温度循环试验时发现，分别与第1-8、10实施形式一样，孔板5的与槽9相接的边缘部的剥离完全不发生或即使发生也很小，为实际上没有问题的程度，即使在温湿度循环试验的前后进行记录，也没有发现任何变化地进行了良好的记录。在本实施例中也最好进一步附加在实施例1中说明的锯齿状的槽9。
(第12实施形式)
图15A和15B示出本发明第12实施形式的液体排出记录头。与第1-11实施形式相同的部分采用相同符号，省略说明。
在本实施形式中，如图15A和15B所示那样，在孔板5设置未到达基板2面的凹槽14。在槽9的外侧设置3重的凹槽14，在槽9的内侧设置1重的凹槽14。如图15A和15B所示，为了简化，凹槽14仅中心线由2点划线示出。
由于该凹槽14使孔板5的体积减少，所以，树脂的硬化和热变化产生的应力自身减小，同时，凹槽14的变形的自由度提高，所以，可缓和应力。即凹槽14从孔板5的表面朝基板2面倾斜地形成，减少孔板5的体积，同时，构成孔板5的被覆树脂可扩大和缩小凹槽14地进行微小移动，所以，孔板5的膨胀和收缩由凹槽14(或凹槽14的壁面)的变形吸收，具有应力缓和效果。因此，在孔板5不易产生剥离，或至少可以说剥离不易发展。另外，应力导致的基板2的变形小。
由于凹槽14未到达基板2，所以，基板2不会裸露，可防止基板2的表面在安装和组装时的处理导致的损伤和安装打印机时擦到纸等而导致的损伤。
对于未到达这样的基板2，在凹槽14构成孔板5的被覆树脂为感光性树脂的场合，可通过在形成墨水排出口6和开口部4时使用的光掩模设置不能析像的那样细小程度的图案，在形成墨水排出口6和开口部4的图案的同时使用相同的掩模形成。
使用本实施形式的液体喷射记录头进行上述温湿度循环试验时发现，分别与第1-8、10-11实施形式一样，孔板5的与槽9相接的边缘部的剥离完全不发生或即使发生也很小，为实际上没有问题的程度，即使在温湿度循环试验的前后进行记录，也没有发现任何变化地进行了良好的记录。在本实施例中也最好进一步附加在实施例1中说明的锯齿状的槽9。
(第13实施形式)
图16示出本发明第13实施形式的液体排出记录头。与第1-12实施形式相同的部分采用相同符号，省略说明。如图16所示，在本实施形式中，在位于槽9外侧的孔板(被覆树脂层)5朝单向以带状设置未到达基板的多条凹槽14。
使用该本实施形式的液体喷射记录头进行上述温湿度循环试验时发现，分别与第1-8、10-12实施形式一样，孔板5的与槽9相接的边缘部的剥离完全不发生或即使发生也很小，为实际上没有问题的程度，即使在温湿度循环试验的前后进行记录，也没有发现任何变化地进行了良好的记录。在本实施例中也最好进一步附加在实施例1中说明的锯齿状的槽9。
(第14实施形式)
图17A和17B示出本发明第14实施形式的液体排出记录头。与第1-13实施形式相同的部分采用相同符号，省略说明。
如图17A所示，在本实施形式的孔板(被覆树脂层)5设置多个未到达基板2的圆形的凹部15。特别是如图17B放大示出的那样，在平面地位于墨水流路壁17外侧(后方)的孔板5设置凹部15。为此，墨水流路壁17的防止剥离效果大，可减轻加在设置墨水排出口6的附近的应力，防止打印特性劣化的效果大。
由于凹部15为圆形，所以，在孔板5不存在易于成为剥离起点的角部，所以，剥离更难产生，不会对排出性能产生不良影响。
使用该本实施形式的液体喷射记录头进行上述温湿度循环试验时发现，分别与第1-8、10-13实施形式一样，孔板5的与槽9相接的边缘部的剥离完全不发生或即使发生也很小，为实际上没有问题的程度，即使在温湿度循环试验的前后进行记录，也没有发现任何变化地进行了良好的记录。在本实施例中也最好进一步附加在实施例1中说明的锯齿状的槽9。
(第15实施形式)
图18示出本发明第15实施形式的液体排出记录头。与第1-14实施形式相同的部分采用相同符号，省略说明。
在本实施形式中，与上述各实施形式一样，除了孔板(被覆树脂层)5的与槽9相接的边缘部形成为具有微小凹凸的锯齿状外，槽9的外侧的孔板5形成得比槽9的内侧的部分薄。这样，槽9外侧的孔板5的体积减小，所以，由构成孔板5的被覆树脂的硬化和热变化产生的应力自身减小，特别是在槽9的外侧孔板5不易产生剥离，或至少可以说剥离不易发展。另外，应力导致的基板2的变形小。这样使槽9的外侧的孔板5变薄可由局部的半腐蚀进行。在本实施例中，使槽9的构成为在实施例1中说明的锯齿状更理想。
(第16实施形式)
图19示出本发明第16实施形式的液体排出记录头。与第1-15实施形式相同的部分采用相同符号，省略说明。
在本实施形式中，除了孔板(被覆树脂层)5的与槽9相接的边缘部形成为具有微小凹凸的锯齿状外，槽9的上方还基本上由孔板5覆盖。即，在液体喷射记录头的制造工序中，形成于被覆树脂层5的开口部4仅形成在成为槽9的部分中的一部分，在此外的部分，残留下被覆树脂层5。通过从该很小的开口部注入腐蚀液，将可溶解树脂层3的成为基座的图案3b全除去，槽9与上述各实施形式同样地形成。但是，在该槽9的上方的除很小的开口部外基本上全面存在成为顶部的被覆树脂层(孔板)5。槽9的上方的孔板5成为传递应力的桥梁，从而抑制仅在孔板5的与槽9相接的边缘部产生的应力集中，使应力平衡，分散产生剥离作用的力。在本实施例中，最好还使槽9形成为与实施例1同样的锯齿形。
(第17实施形式)
图20A-20D、图20A＇-20D′、图21A-21D及图21A＇-21D′示出本发明第17实施形式的液体排出记录头。与第1-16实施形式相同的部分采用相同符号，省略说明。
在本实施形式中，作为上述各实施形式中的槽9的替代构造，与槽9同样地设置围住墨水流路的由多个孔部构成的孔部列16。即，如图20A-20D及图20A′-20D′所示那样，在液体喷射记录头的制造工序中，作为可溶解树脂层3中的成为基座的图案3b，形成由微小的多个圆柱构成的圆柱列。当形成作为孔板的被覆树脂层5后，形成墨水排出口6和开口部4，从该墨水排出口6和开口部4注入腐蚀液，从而除去可溶解树脂层3。在本实施形式中，成为基座的图案3b为圆柱列，在其周围形成被覆树脂。因此，当除去可溶解树脂层3时，形成由多个微小的圆柱状的孔部构成的孔部列16。该孔部列16起到与上述各实施形式的轮廓为锯齿状的槽9同样的作用，可平坦地形成孔板5，稳定地进行小液滴记录，可尽可能地减小加在墨水流路8的壁部的应力，同时，可防止基板2的表面受伤，并可抑制孔板5从基板2的剥离。
使用本实施形式的形成2列交错状的孔部列16的液体喷射记录头(参照图20A-20D及图20A′-20D′)，使用纯水/二甘醇/异丙醇醋酸锂/黑色染料扶多(フ一ド)黑2＝79.4/15/3/0.1/2.5构成的墨水液，按排出频率f＝15kHz进行记录时，可进行等级非常高的记录。另外，假设长期使用该液体喷射记录头的场合，在f＝15kHz进行连续记录耐久试验。结果发现，在进行实用条件的10倍以上的记录后也可不对排出特性产生不良影响地进行良好的记录。
为了进行比较，使用示于图25A-25C的现有的液体喷射记录头(与本实施形式同样，喷嘴列的宽度＝1英寸)进行了实验。由该现有的液体喷射记录头使用上述墨水液按f＝15kHz进行连续记录耐久试验，结果表明，经过实用条件的数倍的记录张数后，墨水液不笔直地飞到记录媒体，产生条纹，或一部分喷嘴产生不飞出设计值那样的墨水排出量而导致露出飞白(カスレ)，成为低等级的打印记录。另外，分解该现有的液体喷射记录头进行观察后，发现了基板102和孔板105的剥离部位，该剥离的部位以用于除去成为基座的图案的开口部的位置为起点。
另外，使用本实施形式的形成了3列的交错状孔部列的液体喷射记录头(参照图21A-21D及图21A＇-21D′)进行与上述相同的记录试验和连续记录耐久试验后发现，可进行与上述相同的良好的记录。
以上在各实施形式中说明的本发明的液体喷射记录头使得可提供一种侧面喷射型液体喷射记录头及其制造方法，该侧面喷射型液体喷射记录头即使为长尺寸也不会以孔板与槽相接的部分等为起点从基板剥离，耐久性非常高，可靠性也高。
在本实施形式中，当构成孔部列16的各孔部为圆柱状时，在孔板5不存在易于成为剥离的起点的角部，所以，不易产生剥离，不会对排出性能产生不良影响。
以上说明了各实施例，本发明在各实施例中当然具有效果，在适当组合各实施例时也具有效果。
在以上各实施形式中说明的本发明除了上述气泡喷射方式以外，对于压电方式的液体喷射记录头也具有良好的效果。特别是适用于上述特开平4-10940号公报、特开平4-10941号公报、特开平4-10942号公报所记载的记录头时很有效果。这样，可排出50pl以下的小墨水液滴，而且，为了使发热电阻前方的墨水液排出，墨水液滴的体积和速度不受温度的影响地稳定化，可获得高等级的图像。
本发明对可沿记录纸整个宽度同时进行记录的全线型的记录头、一体地形成多个记录头部的构成或将多个分别形成的记录头组合成的构成的彩色记录头都有效。

Claims (22)

1.一种液体喷射记录头，具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于上述基板并设置有与上述能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对上述基板和上述孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：
在上述基板与上述孔板之间形成流路，
在上述孔板围住上述流路外侧地形成槽，
上述孔板的与槽相接的边缘部形成为具有多个微小凹凸的锯齿状。
2.根据权利要求1所述的液体喷射记录头，其特征在于：上述孔板的与上述槽相接的边缘部没有连续的相对加到该边缘部的应力的方向成直角的部分。
3.根据权利要求1所述的液体喷射记录头，其特征在于：设置在上述孔板的与上述槽相接的边缘部的上述凹凸由直线的组合构成，该直线没有相对加到上述边缘部的应力的方向成直角的部分。
4.根据权利要求1所述的液体喷射记录头，其特征在于：设于上述孔板的与上述槽相接的边缘部的上述凹凸由曲线的组合构成，该曲线没有连续的、与该曲线的切线相对加到边缘部的应力的方向成直角的部分。
5.根据权利要求1所述的液体喷射记录头，其特征在于：设置在上述孔板的与上述槽相接的边缘部的上述凹凸通过直线与曲线的组合构成，上述直线没有相对加到上述边缘部的应力的方向成直角的部分，上述曲线没有连续的、与该曲线的切线相对加到边缘部的应力的方向成直角的部分。
6.一种液体喷射记录头，具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于上述基板并设置有与上述能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对上述基板和上述孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：
在上述基板与上述孔板之间形成流路，
在上述孔板围住上述流路外侧地形成槽，
上述孔板中的位于上述槽外侧的部分被分割成多个。
7.一种液体喷射记录头，具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于上述基板并设置有与上述能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对上述基板和上述孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：
在上述基板与上述孔板之间形成流路，
上述孔板的与上述流路相接的边缘部的至少一部分形成具有多个微小凹凸的锯齿状。
8.根据权利要求7所述的液体喷射记录头，其特征在于：上述孔板的与上述流路相接的边缘部的至少一部分没有连续的、相对加在该边缘部的应力的方向成直角的部分。
9.一种液体喷射记录头，具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于上述基板并设置有与上述能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对上述基板和上述孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：
在上述基板与上述孔板之间形成流路，
在上述孔板的除去上述流路的部分设置沿板厚方向到达上述基板的多个贯通孔。
10.一种液体喷射记录头，具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于上述基板并设置有与上述能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对上述基板和上述孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：
在上述基板与上述孔板之间形成流路，
在上述孔板的除去上述流路的部分设置沿板厚方向未到达上述基板的多个凹部。
11.根据权利要求10所述的液体喷射记录头，其特征在于：上述凹部为凹槽。
12.一种液体喷射记录头，具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于上述基板并设置有与上述能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对上述基板和上述孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：
在上述基板与上述孔板之间形成流路，
在上述孔板围住上述流路外侧地形成槽，
上述孔板中的位于上述槽外侧的部分形成比其它部分薄的板厚。
13.一种液体喷射记录头，具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于上述基板并设置有与上述能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对上述基板和上述孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：
在上述基板与上述孔板之间形成流路，
在上述孔板围住上述流路外侧地形成槽，
上述孔板具有覆盖上述槽的上方的顶部。
14.一种液体喷射记录头，具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于上述基板并设置有与上述能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对上述基板和上述孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：
在上述基板与上述孔板之间形成流路，
上述孔板具有围住上述流路外侧地形成的由多个孔部构成的孔部列。
15.一种液体喷射记录头的制造方法，该液体喷射记录头具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于上述基板并设置有与上述能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对上述基板和上述孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：
包括在上述基板的上述能量发生元件配置面上形成包含成为流路的图案和成为基座的图案的可溶解树脂层的工序、在上述基板和上述可溶解树脂层上形成作为上述孔板的被覆树脂层的工序、及除去上述可溶解树脂层以在成为上述流路的图案之后形成流路并在成为上述基座的图案之后形成槽的工序，该成为基座的图案为围住该成为流路的图案的外侧那样的形状；
上述成为基座的图案的边缘部形成具有多个微小凹凸的锯齿状。
16.一种液体喷射记录头的制造方法，该液体喷射记录头具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于上述基板并设置有与上述能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对上述基板和上述孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：
包括在上述基板的上述能量发生元件配置面上形成包含成为流路的图案和成为基座的图案的可溶解树脂层的工序、在上述基板和上述可溶解树脂层上形成作为上述孔板的被覆树脂层的工序、及除去上述可溶解树脂层以在成为上述流路的图案之后形成流路并在成为上述基座的图案之后形成槽的工序，该成为基座的图案为围住该成为流路的图案的外侧那样的形状；
将位于上述流路形成位置外侧的部分分割成多个地形成由上述被覆树脂构成的上述孔板。
17.一种液体喷射记录头的制造方法，该液体喷射记录头具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于上述基板并设置有与上述能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对上述基板和上述孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：
包括在上述基板的上述能量发生元件配置面上形成包含成为流路的图案和成为基座的图案的可溶解树脂层的工序、在上述基板和上述可溶解树脂层上形成作为上述孔板的被覆树脂层的工序、及除去上述可溶解树脂层以在成为上述流路的图案之后形成流路并在成为上述基座的图案之后形成槽的工序，该成为基座的图案为围住该成为流路的图案的外侧那样的形状；
上述成为流路的图案的边缘部的至少一部分形成为具有多个微小凹凸的锯齿状。
18.一种液体喷射记录头的制造方法，该液体喷射记录头具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于上述基板并设置有与上述能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对上述基板和上述孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：
包括在上述基板的上述能量发生元件配置面上形成包含成为流路的图案和成为基座的图案的可溶解树脂层的工序、在上述基板和上述可溶解树脂层上形成作为上述孔板的被覆树脂层的工序、及除去上述可溶解树脂层以在成为上述流路的图案之后形成流路并在成为上述基座的图案之后形成槽的工序，该成为基座的图案为围住该成为流路的图案的外侧那样的形状；
在由上述被覆树脂层构成的上述孔板的除了上述流路形成位置以外的部分形成沿板厚方向贯通的多个贯通孔。
19.一种液体喷射记录头的制造方法，该液体喷射记录头具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于上述基板并设置有与上述能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对上述基板和上述孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：
包括在上述基板的上述能量发生元件配置面上形成包含成为流路的图案和成为基座的图案的可溶解树脂层的工序、在上述基板和上述可溶解树脂层上形成作为上述孔板的被覆树脂层的工序、及除去上述可溶解树脂层以在成为上述流路的图案之后形成流路并在成为上述基座的图案之后形成槽的工序，该成为基座的图案为围住该成为流路的图案的外侧那样的形状；
在由上述被覆树脂层构成的上述孔板的除了流路形成位置以外的部分形成不沿板厚方向贯通的多个凹部。
20.一种液体喷射记录头的制造方法，该液体喷射记录头具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于上述基板并设置有与上述能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对上述基板和上述孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：
包括在上述基板的上述能量发生元件配置面上形成包含成为流路的图案和成为基座的图案的可溶解树脂层的工序、在上述基板和上述可溶解树脂层上形成作为上述孔板的被覆树脂层的工序、及除去上述可溶解树脂层以在成为上述流路的图案之后形成流路并在成为上述基座的图案之后形成槽的工序，该成为基座的图案为围住该成为流路的图案的外侧那样的形状；
另外，还包含由半腐蚀将上述被覆树脂层构成的上述孔板的上述槽的形成位置的外侧的板厚减薄的工序。
21.一种液体喷射记录头的制造方法，该液体喷射记录头具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于上述基板并设置有与上述能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对上述基板和上述孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：
包括在上述基板的上述能量发生元件配置面上形成包含成为流路的图案和成为基座的图案的可溶解树脂层的工序、在上述基板和上述可溶解树脂层上形成作为上述孔板的被覆树脂层的工序、及除去上述可溶解树脂层以在成为上述流路的图案之后形成流路并在成为上述基座的图案之后形成槽的工序，该成为基座的图案为围住该成为流路的图案的外侧那样的形状；
使成为上述孔板的上述被覆树脂层的覆盖上述成为基座的图案的形成位置上方的部分至少残存一部分，形成上述槽的顶部。
22.一种液体喷射记录头的制造方法，该液体喷射记录头具有基板和孔板，该基板设置了产生用于液体排出的能量的能量发生元件，该孔板层压于上述基板并设置有与上述能量发生元件对应的排出口，朝实质上相对上述基板和上述孔板的面垂直的方向排出液滴；其特征在于：
包括在上述基板的上述能量发生元件配置面上形成包含成为流路的图案和成为基座的图案的可溶解树脂层的工序、在上述基板和上述可溶解树脂层上形成作为上述孔板的被覆树脂层的工序、及除去上述可溶解树脂层以在成为上述流路的图案之后形成流路并在成为上述基座的图案之后形成孔部列的工序，该成为基座的图案为围住该成为流路的图案的外侧柱状部列状。
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