JP2003080717A - 液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents

液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法

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Abstract

(57)【要約】 【課題】 サイドシュータータイプの液体噴射記録ヘッ
ドにおいて、長尺であっても、剥離の発生を防ぎ、信頼
性を高める。 【解決手段】 発熱抵抗体が設けられた基板2と、発熱
抵抗体と対応する吐出口6が設けられたオリフィスプレ
ート5とが接合され、両者の間にインク流路が形成され
ている。インク供給口7からインク流路に供給されたイ
ンクは、発熱抵抗体により加熱発泡させられて、基板2
およびオリフィスプレート5の面に対して垂直方向に吐
出口6から噴射される。オリフィスプレート5は、イン
ク流路の外側を取り囲むように形成された溝9によっ
て、内側と外側に分離されている。この溝9の側壁、す
なわちオリフィスプレート5の溝9に接する縁部が、微
小な凹凸を多数有する鋸歯状に形成されている。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、インク等の液体を
記録媒体に向けて噴射する液体噴射記録(インクジェッ
ト記録)に用いられる液体噴射記録ヘッド(インクジェ
ット記録ヘッド)およびその製造方法に関する。
【0002】
【従来の技術】記録紙などの記録媒体に画像(ここで
は、意味の有無を問わず、文字や図形や模様等を含めて
画像という)を形成する記録装置の一形態として、微小
な吐出口から微小なインク滴を吐出させる液体噴射記録
装置(インクジェット記録装置)がある。液体噴射記録
装置は、一般に、インク滴を吐出するためのノズルを有
する液体噴射記録ヘッドと、液体噴射記録ヘッドに供給
するインクを保持するインクタンクとを有している。そ
して、インクタンクから液体噴射記録ヘッドにインクが
導かれ、液体噴射記録ヘッドのノズルの吐出口付近に設
けられたエネルギー発生抵抗体、たとえば発熱素子また
は圧電素子が、記録信号に基づいて駆動されて、吐出口
からインク滴が吐出して被記録材に付着することにより
記録が行われる。この液体噴射記録装置は、いわゆるノ
ンインパクト方式の記録装置であり、高速記録や様々な
記録媒体への記録が可能であって、記録時の騒音がほと
んど生じないなどの利点を有しており、広く普及してい
る。
【0003】液体噴射記録ヘッドには、エネルギー発生
素子が形成された基板に対して水平にインク液滴を噴射
するエッジシュータータイプと、基板に対して垂直にイ
ンク液滴を噴射するサイドシュータータイプとが存在す
る。例えば、特開平4−10940号公報、特開平4−
10941号公報、特開平4−10942号公報等に
は、サイドシュータータイプの液体噴射記録ヘッドが開
示されている。これらの公報に記載されている液体噴射
記録ヘッドは、発熱抵抗体を加熱することにより生成し
た気泡を外気と連通させつつインク液滴を吐出させるも
のである。このような液体噴射記録ヘッドにおいては、
従来の製造方法(例えば特開昭62−234941号明
細書に開示)によるサイドシュータータイプの液体噴射
記録ヘッドでは困難であった、エネルギー発生素子とオ
リフィスとの間の間隔の短縮化と小液滴記録とを容易に
達成することができ、近年の高精細記録への要求に応え
ることが可能である。
【0004】また、近年では、プリンターの出力速度の
より一層の高速化が要求されている。これは、コンピュ
ータの処理速度が向上したことや、より高精彩の画像を
出力するためにインク液滴を微小化することに伴ってよ
り高密度のインク液滴密度が要求されることを一因とす
る。また、大判プリンターやネットワークにつながれた
プリンターでは、高速化の要求はさらに顕著である。プ
リンターの出力速度の高速化は、時間当りのインク液滴
発生数、すなわちインク吐出周波数を向上することと、
インク吐出口の数を増やすことの二つによって達成可能
である。通常は、この両方を行うことでプリンター出力
の高速化を達成している。しかし、インク吐出口の数を
増やすことは、ノズル列が増えることであり、液体噴射
記録ヘッドの長尺化につながる。
【0005】このような液体噴射記録ヘッドは、図22
(a)に示すように、複数のインク吐出口106を有す
るオリフィスプレート105が、基板102上に接合さ
れた構成である。図22(b)に示すように、基板10
2には、インク供給口107が開口され、基板102
の、オリフィスプレート105と接合される面には、イ
ンク吐出口106と対応する位置に複数のエネルギー発
生素子(発熱抵抗体)101が配設されている。そし
て、図22(c)に示すように、基板102とオリフィ
スプレート105との間には、インク供給口107から
発熱抵抗体101の上方のインク吐出口106まで連通
するインク流路(液室)108が形成されている。従っ
て、インクは、インク供給口107からインク流路10
8に供給され、発熱抵抗体101の作用により発生する
気泡の圧力によりインク吐出口106から吐出される。
なお、本明細書に添付の各図面においては、簡略化のた
めインク吐出口や発熱抵抗体は模式的に一部のみ図示し
ていたり、または、微細な多数の吐出口列を直線にて図
示している。
【0006】このような液体噴射記録ヘッドの製造方法
は、図23(a)〜(d)に示すように、インク吐出用
のエネルギー発生素子(発熱抵抗体)101を形成した
基板102上に、溶解可能な樹脂層103を形成し、次
いで、オリフィスプレートとなる被覆樹脂層105をス
ピンコートなどにより塗布する。そして、被覆樹脂層1
05にインク吐出口106を形成する。その後、溶解可
能な樹脂層103を溶解させるとともに、基板102に
インク供給口107を形成する。これにより、樹脂層1
03が溶解された部分が、インク吐出口106およびイ
ンク供給口107と連通するインク流路108となり、
このインク流路108に対応して発熱抵抗体101が存
在する。しかしこの方法では、図22(c)や、図23
の2点鎖線にて示すように被覆樹脂層を平坦には形成で
きない。図23に示すように、被覆樹脂層105が、溶
解可能な樹脂層103の角部(段差)に沿って形成され
てしまい、オリフィスプレート105に膜厚の厚い部分
と薄い部分とのばらつきが生じる。このようにオリフィ
スプレート105の膜厚が不均一な構造の液体噴射記録
ヘッドを使用した場合には、オリフィスプレート105
の膜厚の薄い部分が、応力集中を受けて剥離や破損し易
く、信頼性が悪くなり、液体噴射記録ヘッドの寿命が低
下する。また、インクの吐出量が、インク吐出エネルギ
ー発生のための発熱抵抗体101とオリフィスプレート
105の前面との間の間隔によって決定されるので、図
23に示すようにオリフィスプレート105の膜厚が一
定でなく発熱抵抗体101との間隔が不均一であると、
高精細記録を実現するための有力な方策の一つである小
液滴記録を安定的に行うことは、非常に困難である。
【0007】このような問題を解決する方法が、本出願
人により、例えば、特開平10−157150号公報や
特開平11−138817号公報等に開示されている。
これらの公報に記載された製造方法では、オリフィスプ
レート105を平坦に形成する目的で、溶解可能な樹脂
層103を、インク流路108となるパターンのみなら
ず、その外周部にも形成し、この溶解可能な樹脂層10
3を土台として被覆樹脂層105を形成する。この製造
方法について、図24を参照して詳細に説明する。な
お、実際の製造では一枚の基板より多数のヘッドを同時
に製造する場合が普通であるが、ここでの説明は簡略
に、ヘッド一つの場合で行う。
【0008】まず、図24(a)に示すように、インク
吐出用のエネルギー発生素子である発熱抵抗体(電気熱
変換素子)101を、所定位置に所定個数だけ配置した
基板102上に、溶解可能な樹脂層103を形成する。
このとき、溶解可能な樹脂層103は、インク流路とな
るパターン103aに加えて、その外周部を取り囲む土
台となるパターン103bを構成している。なお、溶解
可能な樹脂層103は、例えばドライフィルムのラミネ
ートやレジストのスピンコート等により塗布形成された
後、例えば、紫外線(Deep−UV光)による露光お
よび現像などによりパターニングされる。具体例として
は、ポリメチルイソプロペニルケトン(東京応化工業
(株)社製ODUR−1010など)がスピンコートに
より塗布されて乾燥された後、Deep−UV光による
露光および現像によりパターニングが行われる。
【0009】次に、図24(b)に示すように、溶解可
能な樹脂層103上に、被覆樹脂層105をスピンコー
ト等により形成する。
【0010】この際、土台となるパターン103bが存
在しなければ、インク流路となるパターン103aの外
周部は大面積に亘ってすべて基板102が露出した低い
面であるので、図23に示すように、被覆樹脂層105
は、インク流路となるパターン103a上を頂点として
その周囲になだらかに垂れ落ちる形状となり、厚さが不
均一になる。しかし、図24(b)に示すように、土台
となるパターン103bが設けられていると、インク流
路となるパターン103aの外周部においてもあまり大
面積に亘って基板102が露出した低い面とはならない
ので、被覆樹脂層105は均一な高さに形成される。も
ちろん、インク流路となるパターン103aの上部にお
いて、被覆樹脂層105は極めて平坦に形成される。
【0011】そして、図24(c)に示すように、被覆
樹脂層105にインク吐出口106を形成し、また、外
周部の土台となるパターン103bの上方に開口部10
4を形成する。インク吐出口106および開口部104
の形成は、例えば、紫外線(Deep−UV光)などの
露光および現像により行うことができる。具体的には、
ネガ型レジストをスピンコートにより塗布し、乾燥した
後、紫外線によりパターン露光して現像することによ
り、インク吐出口106および開口部104が形成でき
る。
【0012】次に、基板102を化学的にエッチングし
てインク供給口107を形成する。例えば、基板として
Si基板を用いている場合、KOH、NaOH、TMA
Hなどの強アルカリ溶液による異方性エッチングにより
インク供給口107を形成する。より具体的な例として
は、結晶方位が<110>のSi基板上に形成した熱酸
化膜をパターニングし、このSi基板を80℃に加熱温
調したTMAH22%溶液で十数時間エッチングするこ
とにより、インク供給口107を形成する。
【0013】続いて、図24(d)に示すように、溶解
可能な樹脂層103を溶解して、インク流路108とそ
の周囲を取り囲む溝109を形成する。溶解可能な樹脂
層103の除去は、Deep−UV光による全面露光を
行った後、溶解および乾燥を行うことにより行うことが
でき、さらに、溶解の際に超音波処理を行えばより確実
に短時間で行える。
【0014】図示しないが、1枚の基板102の複数個
所に、以上の工程により図24(d)に示す液体噴射機
構がそれぞれ設けられ、この機構が完成した後に、基板
102をダイシングソーなどにより分離切断してチップ
化し、発熱抵抗体101を駆動するための電気接続等を
行った後、インク供給のためのチップタンク等の部材を
接合して、液体噴射記録ヘッドが完成する。
【0015】なお、インク供給口107の形成は、溶解
可能な樹脂層103の形成前や、インク吐出口107お
よびインク供給口104の形成前に行うことも可能であ
る。
【0016】このようにして、インク流路108の外周
部に溝109を形成する方法によると、被覆樹脂層10
5が平坦に形成でき、オリフィスプレート105の膜厚
が均一になるので、この液体噴射記録ヘッドは、オリフ
ィスプレート105の前面と発熱抵抗体101との間隔
が均一になり、高精細記録を実現するための小液滴記録
が安定的に行える。
【0017】また、インク吐出口106や電気接続部以
外の全ての部分をオリフィスプレート105で覆ってい
るわけではないので、オリフィスプレート105の硬化
や温度変化により生じる応力により基板101の変形が
生じたり、応力がオリフィスプレート105の端部、す
なわちインク流路106の壁部に集中して基板101と
の間で剥離が生じることが防げる。
【0018】また、インク吐出口106の近傍のみなら
ずその外側もオリフィスプレート105で覆っているた
め、基板102の表面が大面積に亘って剥き出しとなっ
てしまうことがなく、液体噴射記録ヘッドを実装する際
やプリンターに装着して使用しているときに基板102
表面に傷が付き不良が発生することが防げる。
【0019】このように、インク流路108の壁部にか
かる応力をできるだけ小さくするとともに、基板102
の表面を傷から守ることを両立させている。
【0020】この液体噴射記録ヘッドを上面から見た模
式図を、図25に示している。この液体噴射記録ヘッド
は、インク吐出口106の列がインク供給口107の両
側に1列づつ配置されている。
【0021】
【発明が解決しようとする課題】前記したように製造さ
れた液体噴射記録ヘッドの、インク流路108周囲に形
成された溝109の縁部、すなわちオリフィスプレート
105の縁部が、液体噴射記録ヘッドの長尺化に伴い、
剥離する可能性があるということが種々の試験により明
らかになった。特に、インク吐出口106やインク流路
108が設けられているためにオリフィスプレート10
5の体積が小さくなっている内側と比べて、溝109の
外側のオリフィスプレート105は、より体積が大きく
そのためオリフィスプレート105にかかる応力がより
大きくなるため、剥離の発生する頻度も程度がより高く
なる。また、この剥離は、液体噴射記録ヘッドのオリフ
ィスプレート105の厚さが厚いものほど、応力が大き
く、より発生しやすいということも明らかになった。
【0022】図25(b),(c)に、応力と剥離の関
係について説明する模式図を示している。これらの図に
おいて、矢印は、オリフィスプレート105の縁部にか
かる、硬化時の収縮や熱変化に伴う膨張収縮等により変
化する応力110の方向を示している。応力110は、
樹脂が収縮する時には樹脂の中央方向に向かい、樹脂が
膨張する時にはその外側(図示する矢印とは逆向き)に
向かう。特に、オリフィスプレート105の剥離を引き
起こすと考えられるのは、図25の矢印で示す樹脂の中
心に向かう応力である。
【0023】応力110は、オリフィスプレート105
の溝109と接する縁部において、溝109に垂直に
(溝109が曲線状である部分では溝109の接線に垂
直に)働く。このため、オリフィスプレート105の、
溝109と接する縁部には、これを剥がそうとする力が
働き、しかもその力の方向が直角方向なので応力110
がそのまま縁部に加わっており、剥離が発生し易い形状
である。図25(c)は、図25(b)において円で囲
った部分の拡大図であり、溝109の両側に働く応力に
ついてより詳しく説明する図である。図25(c)にお
いて、中央には溝109があり、オリフィスプレート1
05はその縁部に応力110を受けている。前記した通
り、この応力110の方向はオリフィスプレート105
の縁部に直角な方向に働くため、応力110がそのまま
オリフィスプレート105を剥そうとする力となる。こ
の応力110は、オリフィスプレート105の面積や厚
さが大きいほど大きくなるので、長尺ヘッドの場合は剥
離がより発生しやすい。
【0024】前記した通り、近年では、記録の高速化が
より求められるようになり、そのために、インク吐出口
106の数が多いより長尺の液体噴射記録ヘッドが求め
られているが、液体噴射記録ヘッドが長尺になるほど、
インク吐出口106が形成された被覆樹脂層(オリフィ
スプレート)105の内部応力が大きくなる。そのた
め、実用印字枚数に対し、安全係数を見積もった印字耐
久試験をすると、溝109と接する縁部を起点にして、
基板102とオリフィスプレート105とが剥離すると
いう不具合が発生する。この剥離は、場合によってはイ
ンク吐出口106の形成部分にまで至り、吐出性能に悪
影響を及ぼし、場合によっては記録不能になる。図26
には、この剥離の発生状況が模式的に示されている。こ
の図26に示されているように、溝109に接する縁部
を起点として、基板102とオリフィスプレート105
との間に剥離(剥離部分111)が生じている。
【0025】そこで本発明の目的は、上記の諸問題に鑑
み、長尺であっても剥離が生じることのない、信頼性の
高いサイドシュータータイプの液体噴射記録ヘッドおよ
びその製造方法を提供することにある。
【0026】
【課題を解決するための手段】本発明は、液体吐出のた
めのエネルギーを生じさせるエネルギー発生素子が設け
られた基板と、基板に積層されており、エネルギー発生
素子と対応する吐出口が設けられたオリフィスプレート
とを有し、基板およびオリフィスプレートの面に対して
実質的に垂直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッド
において、基板とオリフィスプレートとの間に流路が形
成されており、オリフィスプレートには、流路の外側を
取り囲むように溝が形成されており、オリフィスプレー
トの溝に接する縁部が、微小な凹凸を多数有する鋸歯状
に形成されていることを特徴とする。
【0027】オリフィスプレートの溝に接する縁部は、
縁部に加わる応力の方向に対して直角となる部分を連続
的には有していない。
【0028】オリフィスプレートの溝に接する縁部に設
けられた凹凸は、直線の組合せにより構成されており、
直線は、縁部に加わる応力の方向に対して直角となる部
分を有していない構成であってもよい。または、オリフ
ィスプレートの溝に接する縁部に設けられた凹凸は、曲
線の組合せにより構成されており、曲線は、その接線が
縁部に加わる応力の方向に対して直角となる部分を連続
的には有していない構成であってもよい。または、オリ
フィスプレートの溝に接する縁部に設けられた凹凸は、
直線と曲線の組合せにより構成されており、直線は縁部
に加わる応力の方向に対して直角となる部分を有してお
らず、曲線は、その接線が縁部に加わる応力の方向に対
して直角となる部分を連続的には有していない構成であ
ってもよい。
【0029】オリフィスプレートのうち、溝の外側に位
置する部分が、複数に分割されていてもよい。
【0030】オリフィスプレートの流路に接する縁部の
少なくとも一部が、微小な凹凸を多数有する鋸歯状に形
成されていてもよい。オリフィスプレートの流路に接す
る縁部の少なくとも一部は、縁部に加わる応力の方向に
対して直角となる部分を連続的には有していない。
【0031】オリフィスプレートの、流路を除く部分
に、板厚方向に前記基板に至る複数の貫通孔が設けられ
ていてもよい。
【0032】オリフィスプレートの、流路を除く部分
に、板厚方向に前記基板には到達しない複数の凹部が設
けられていてもよい。凹部が凹溝であってもよい。
【0033】オリフィスプレートのうち、溝の外側に位
置する部分が、他の部分に比べて板厚が薄く形成されて
いてもよい。
【0034】オリフィスプレートは、溝の上方を覆う天
井部を有していてもよい。
【0035】また本発明は、液体吐出のためのエネルギ
ーを生じさせるエネルギー発生素子が設けられた基板
と、基板に積層されており、エネルギー発生素子と対応
する吐出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、
基板およびオリフィスプレートの面に対して実質的に垂
直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドであって、
基板とオリフィスプレートとの間に流路が形成されてお
り、オリフィスプレートは、流路の外側を取り囲むよう
に形成されている、多数の孔部からなる孔部列を有する
ことをもう一つの特徴とする。孔部列が、全体として流
路の外側を取り囲む略矩形状に形成されていてもよい。
また、孔部列が、千鳥状に配列された複数の孔部から形
成されていてもよい。
【0036】本発明は、液体吐出のためのエネルギーを
生じさせるエネルギー発生素子が設けられた基板と、基
板に積層されており、エネルギー発生素子と対応する吐
出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、基板お
よびオリフィスプレートの面に対して実質的に垂直方向
に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドの製造方法におい
て、基板のエネルギー発生素子配設面上に、流路となる
パターンと、流路となるパターンの外側を取り囲むよう
な形状の土台となるパターンとを含む、溶解可能な樹脂
層を形成する工程と、基板および溶解可能な樹脂層の上
に、オリフィスプレートとなる被覆樹脂層を形成する工
程と、溶解可能な樹脂層を除去して、流路となるパター
ンの後に流路を、土台となるパターンの後に溝を形成す
る工程とを含み、土台となるパターンの縁部を、微小な
凹凸を多数有する鋸歯状に形成することをもう一つの特
徴とする。
【0037】被覆樹脂層からなるオリフィスプレート
を、流路の形成位置の外側に位置する部分が複数に分割
されるように形成してもよい。
【0038】流路となるパターンの縁部の少なくとも一
部を、微小な凹凸を多数有する鋸歯状に形成してもよ
い。
【0039】被覆樹脂層からなるオリフィスプレート
の、流路の形成位置を除く部分に、板厚方向に貫通する
複数の貫通孔を形成してもよい。
【0040】被覆樹脂層からなるオリフィスプレート
の、流路の形成位置を除く部分に、板厚方向に貫通しな
い複数の凹部を形成してもよい。
【0041】被覆樹脂層からなるオリフィスプレート
の、溝の形成位置の外側を、ハーフエッチングにより板
厚を薄くする工程を含んでいてもよい。
【0042】オリフィスプレートとなる被覆樹脂層の、
土台となるパターンの形成位置の上方を覆う部分を少な
くとも一部残存させ、溝の天井部を形成してもよい。
【0043】本発明は、液体吐出のためのエネルギーを
生じさせるエネルギー発生素子が設けられた基板と、基
板に積層されており、エネルギー発生素子と対応する吐
出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、基板お
よびオリフィスプレートの面に対して実質的に垂直方向
に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドの製造方法におい
て、基板のエネルギー発生基板配設面上に、流路となる
パターンと、流路となるパターンの外側を取り囲む柱状
部列状の土台となるパターンとを含む、溶解可能な樹脂
層を形成する工程と、基板および溶解可能な樹脂層の上
に、オリフィスプレートとなる被覆樹脂層を形成する工
程と、溶解可能な樹脂層を除去して、流路となるパター
ンの後に流路を、土台となるパターンの後に孔部列を形
成する工程とを含むことをもう一つの特徴とする。孔部
列を、全体として流路の外側を取り囲む略矩形状に形成
してもよい。また、孔部列を、千鳥状に配列された複数
の孔部から形成してもよい。
【0044】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
【0045】[第1の実施形態]図1〜2に、本発明の
第1の実施形態の液体噴射記録ヘッドが示されている。
本実施形態の液体噴射記録ヘッドは、溝9の輪郭、すな
わち溝9に接するオリフィスプレート5の縁部が、真っ
直ぐな一直線ではなく微細な凹凸形状を有する鋸歯状に
形成されている。それ以外の構成については、図24,
25に示す従来の液体噴射記録ヘッドと実質的に同様で
ある。
【0046】この液体噴射記録ヘッドの構成について簡
単に説明する。図1に示すように、この液体噴射記録ヘ
ッドは、複数のインク吐出口6を有するオリフィスプレ
ート5が、基板2上に接合された構成である。基板2に
は、インク供給口7が開口され、オリフィスプレート5
と接合される面には、インク吐出口6と対応する位置に
複数のエネルギー発生素子(発熱抵抗体)1が配設され
ている。基板2とオリフィスプレート5との間には、イ
ンク供給口7から発熱抵抗体1の上方のインク吐出口6
まで連通するインク流路(液室)8と、インク流路8の
外側を取り囲むように設けられている溝9とが形成され
ている。なお、溝9に分離されることによって、オリフ
ィスプレート5は、インク流路8を塞ぐ内側部分と、そ
の外側部分とに完全に分かれているが、両者を含めてオ
リフィスプレート(または被覆樹脂層)5と称する。こ
の液体噴射記録ヘッドは、インク供給口7からインク流
路8にインクが供給され、発熱抵抗体1が駆動される
と、インク流路8内のインクが加熱発泡してインク吐出
口6から外部に吐出するものである。
【0047】図2(a),(b)に示すように、被覆樹
脂層からなるオリフィスプレート5の、溝9に接する縁
部は、鋸歯状に形成されており、直線部は応力Pに対し
てθなる角度を成している。ここで、θ≠90°であ
る。すなわち、応力Pが働く方向に対してオリフィスプ
レート5の縁部の直線部が直角でない角度θを成してい
るので、例えば、点Xに作用する応力Pは縁部に沿う方
向の分力P1とそれに直交する分力P2とに分けられる。
このうち、点Xに働くオリフィスプレート5を剥がそう
とする力P2は、以下の式で示される。
【0048】P2=Psinθ ここで、θ≠90°なので、sinθ<1である。従っ
て、 P2<P となり、従来例と比較すると、剥離しようとする力は常
に小さい。よって、剥れにくい、もしくは剥離が進行し
にくいといえる。
【0049】図25に示す従来例のように、オリフィス
プレート105の、溝109に接する縁部が一直線状で
あると、とても広い範囲に亘ってすべて同一方向の応力
が働くため、総合すると極めて大きな応力が、この範囲
内のオリフィスプレート105に作用する。しかし、本
実施形態では、オリフィスプレート5の、溝9に接する
縁部が鋸歯状であるため、同じ範囲内に様々な方向の応
力が混在し、一部が打ち消し合うなどして、この範囲内
のオリフィスプレート5に作用する応力が従来よりも小
さい。従って、剥離しやすさが低く抑えられる。
【0050】次に、本実施形態の液体噴射記録ヘッドの
製造方法について、図3を参照して説明する。ここで
は、印字幅が広く高速印字が可能な、ノズル列の幅が1
inchの液体噴射記録ヘッドの製造方法を例示する。
【0051】まず、図3(a)に示すように、基板2上
に発熱抵抗体1(電気熱変換素子)等のインク吐出用の
エネルギー発生素子を所定位置に所定個数だけ配置す
る。ここでは、1inch当たり600個の密度で、6
40個の発熱抵抗体1を配置する。
【0052】次いで、発熱抵抗体1を含む基板2上に、
溶解可能な樹脂層3を形成する。溶解可能な樹脂層3
は、インク流路となるパターン3aと、土台となるパタ
ーン3bとを構成している。この溶解可能な樹脂層3
は、例えばドライフィルムのラミネート、レジストのス
ピンコート等による塗布の後、例えば紫外線(Deep
−UV光)による露光および現像などによりパターニン
グされる。具体的な例としては、ポリメチルイソプロペ
ニルケトン(東京応化工業(株)社製ODUR−101
0)がスピンコートにより塗布されて乾燥された後、D
eep−UV光により露光および現像によりパターニン
グが行われる。なお、インク流路となるパターン3aの
外側縁部(後述する溝9の内側側壁に接する部分)と、
土台になるパターン3bの内側縁部(後述する溝9の外
側側壁に接する部分)は、微細な凹凸形状を有する鋸歯
状に形成されている。
【0053】次に、溶解可能な樹脂層3上に、図3
(b)に示すように、オリフィスプレートとなる被覆樹
脂層5をスピンコート等により形成する。この際、被覆
樹脂層5は、溶解可能な樹脂層3の土台となるパターン
3bが形成されていることにより、インク流路となるパ
ターン3aの上方に平坦に形成可能である。そして、図
3(c)に示すように、この被覆樹脂層5にインク吐出
口6を形成する。また、土台となるパターン3bを除去
するための開口部4も同時に、または異時に、インク吐
出口6形成と同じ手法により形成する。インク吐出口6
および開口部4の形成は、例えば紫外線(Deep−U
V光)などの露光および現像により行える。具体的に
は、ネガ型レジストをスピンコートにより塗布して乾燥
した後、紫外線によりパターン露光し現像することによ
り、インク吐出口6および開口部4が形成できる。
【0054】次に、基板2を化学的にエッチングしてイ
ンク供給口7を形成する。例えば、基板2としてSi基
板を用いる場合、KOH、NaOH、TMAHなどの強
アルカリ溶液による異方性エッチングによりインク供給
口7を形成する。より具体的な例としては、結晶方位が
<110>のSi基板上に形成した熱酸化膜をパターニ
ングし、このSi基板を80℃に加熱温調したTMAH
22%溶液で十数時間エッチングすることにより、イン
ク供給口7を形成する。
【0055】続いて、図3(d)に示すように、溶解可
能な樹脂層3を溶解して、インク流路8とその周囲を取
り囲む溝9を形成する。溶解可能な樹脂層3の除去は、
Deep−UV光による全面露光を行った後、溶解およ
び乾燥を行うことにより行うことができ、さらに、溶解
の際に超音波処理を行えばより確実に短時間で行える。
【0056】図示しないが、1枚の基板102の複数個
所に、以上の工程により図3(d)に示す液体噴射機構
がそれぞれ設けられ、この機構が完成した後に、基板2
をダイシングソーなどにより分離切断してチップ化し、
発熱抵抗体1を駆動するための電気接続等を行った後、
インク供給のためのチップタンク等の部材を接合して、
液体噴射記録ヘッドが完成する。
【0057】なお、インク供給口7の形成は、溶解可能
な樹脂層3の形成前や、インク吐出口7および開口部4
の形成前に行うことも可能である。
【0058】このようにして製造した液体噴射記録ヘッ
ドは、従来例同様に、高精細記録を実現するための小液
滴記録が安定的に行え、インク流路8の壁部にかかる応
力をできるだけ小さくするとともに、基板2の表面を傷
から守ることを両立させているとともに、前記した通
り、基板2からのオリフィスプレート5の剥離を抑制す
ることができる。
【0059】前記のようにして製造した本実施形態の液
体噴射記録ヘッドを用いて、基板2を含むチップ部分は
ゴムのキャップをした状態で温湿度サイクル試験を行っ
た。具体的には、温湿度サイクル試験は以下の通り行っ
た。まず、相対湿度を95%を保ち、温度を25℃から
65℃まで2時間30分かけて等速度で昇温させ、温度
65℃に3時間保持した後、温度25℃まで2時間30
分かけて等速度で降温し、その後、温度を25℃から6
5℃まで2時間30分かけて等速度で再昇温し、温度6
5℃に3時間保持した後、温度25℃まで2時間30分
かけて等速度で再降温し、さらにその後、温度25℃で
1時間30分保持してから、相対湿度0%、温度−10
℃にして3時間30分保持し、相対湿度95%、温度2
5℃にして3時間保持する。以上の工程を1サイクルと
して、これを10サイクル行った。
【0060】その結果、本実施形態の液体噴射記録ヘッ
ドでは、オリフィスプレート5の、溝9に接する縁部の
剥離は、全く発生しないか、発生してもごくわずかであ
り実質上問題とならないレベルであった。温湿度サイク
ル試験の前後に記録を行っても、何ら変化は認められず
良好な記録が行われた。
【0061】なお、比較のために、図25に示す従来の
液体噴射記録ヘッドを用いて、前記したのと同様な温湿
度サイクル試験を行った。その結果、従来の液体噴射記
録ヘッドでは、オリフィスプレート105の、溝109
に接する縁部においてオリフィスプレート105の剥離
が発生し、その剥離がインク流路108まで達したもの
もあり、これらは色の薄い低品位の記録しかできなかっ
た。
【0062】[第2の実施形態]図4に本発明の第2の
実施形態の液体吐出記録ヘッドを示している。なお、第
1の実施形態と同様な部分については、同一の符号を付
与し説明を省略する。
【0063】図4には、基板2、オリフィスプレート
(被覆樹脂層)5、溝9以外は省略して示している。こ
の図4に示すように、本実施形態のオリフィスプレート
5の、溝9に接する縁部はより鋭角的な鋸歯状になって
おり、オリフィスプレート5の縁部の直線部分が応力P
に対して成す角度θは第1の実施形態よりも小さくなっ
ている。このため、応力Pの分力P2、すなわち、基板
2からオリフィスプレート5を剥離しようとする力はよ
り小さい。
【0064】本実施形態の液体噴射記録ヘッドを用い
て、前記した温湿度サイクル試験を行ったところ、第1
の実施形態と同様に、オリフィスプレート5の、溝9に
接する縁部の剥離は、全く発生しないか、発生してもご
くわずかであり実質上問題とならないレベルであり、温
湿度サイクル試験の前後に記録を行っても、何ら変化は
認められず良好な記録が行われた。
【0065】[第3の実施形態]図5に本発明の第3の
実施形態の液体吐出記録ヘッドを示している。なお、第
1,2の実施形態と同様な部分については、同一の符号
を付与し説明を省略する。
【0066】図5に示すように、本実施形態のオリフィ
スプレート5の、溝9に接する縁部は丸みを帯びた鋸歯
状になっている。すなわち、この鋸歯状の頂部付近は曲
線的に形成されている。オリフィスプレート5の縁部の
直線部分においては、第1の実施形態と同様に、剥離し
ようとする分力P2は応力Pよりも小さい(P2=Psi
nθ1、θ1<90°)。また、オリフィスプレート5の
鋸歯状の頂部付近では、角度が連続的に変化しており、
縁部に働く応力Pの剥離しようとする成分はやはり応力
Pよりも小さい。具体的には、図5(b)に示すよう
に、鋸歯状の曲線的な頂部付近のある点X2において、
オリフィスプレート5の縁部の接線は応力に対して角度
(90°−θ2)を成している。点X2において応力P
は、接線方向の分力P3と法線方向の分力P4とに分けら
れる。この点X2において剥離しようとする力は、オリ
フィスプレート5に直角な方向の力であるP4である。
4=Psin(90°−θ2)、(90°−θ2)<9
0°であり、剥離しようとする力P4は、やはり応力P
そのものよりも小さい。唯一、オリフィスプレート5の
鋸歯状の頂部においては、その接線方向が応力の方向と
直交するので、応力Pがそのまま剥離しようとする力に
なる。しかし、接線方向と応力の成す角度は連続的に変
化し、直角となる点は1点のみであるので、オリフィス
プレート5の縁部のほとんどの点に関しては、従来の液
体噴射記録ヘッドより、剥離しようとする力が小さい。
【0067】本実施形態の液体噴射記録ヘッドを用い
て、前記した温湿度サイクル試験を行ったところ、第
1,2の実施形態と同様に、オリフィスプレート5の、
溝9に接する縁部の剥離は、全く発生しないか、発生し
てもごくわずかであり実質上問題とならないレベルであ
り、温湿度サイクル試験の前後に記録を行っても、何ら
変化は認められず良好な記録が行われた。
【0068】[第4の実施形態]図6に本発明の第4の
実施形態の液体吐出記録ヘッドを示している。なお、第
1〜3の実施形態と同様な部分については、同一の符号
を付与し説明を省略する。
【0069】図6に示すように、本実施形態のオリフィ
スプレート5の、溝9に接する縁部は、第3の実施形態
よりもさらに丸みを帯びた鋸歯状になっている。本実施
形態においても、オリフィスプレート5の縁部に直角な
分力は応力P自体よりも小さく、剥離しようとする力
は、従来の液体噴射記録ヘッドよりも小さい。
【0070】オリフィスプレート5の縁部が丸みを帯び
た曲線状であると、直線状である場合に剥離の起点にな
り易い角部が存在しないので、より剥離を生じにくく、
吐出性能に悪影響を及ぼすことがなくなる。
【0071】本実施形態の液体噴射記録ヘッドを用い
て、前記した温湿度サイクル試験を行ったところ、第1
〜3の実施形態と同様に、オリフィスプレート5の、溝
9に接する縁部の剥離は、全く発生しないか、発生して
もごくわずかであり実質上問題とならないレベルであ
り、温湿度サイクル試験の前後に記録を行っても、何ら
変化は認められず良好な記録が行われた。
【0072】[第5の実施形態]図7に本発明の第5の
実施形態の液体吐出記録ヘッドを示している。なお、第
1〜4の実施形態と同様な部分については、同一の符号
を付与し説明を省略する。
【0073】本実施形態では、図7に示すように、溝9
の外側に位置するオリフィスプレート(被覆樹脂層)5
が、スリット12により複数に分割されている。一例と
してはスリット12の数は8本であり、これにより溝9
の外側のオリフィスプレート5は8分割されている。従
って、オリフィスプレート5に加わる応力も8つに分割
され、分割されたオリフィスプレート5の各部分におい
て加わる応力(剥離しようとする力を含む)は、従来例
よりも小さくなる。よって、本実施形態の液体噴射記録
ヘッドでは、基板2とオリフィスプレート5の剥離が生
じにくい、もしくは少なくとも剥離が進行しにくいとい
える。また、応力による基板2の変形も小さくなる。
【0074】本実施形態の液体噴射記録ヘッドを用い
て、前記した温湿度サイクル試験を行ったところ、第1
〜4の実施形態と同様に、オリフィスプレート5の、溝
9に接する縁部の剥離は、全く発生しないか、発生して
もごくわずかであり実質上問題とならないレベルであ
り、温湿度サイクル試験の前後に記録を行っても、何ら
変化は認められず良好な記録が行われた。
【0075】[第6〜8の実施形態]図8〜10に本発
明の第6〜8の実施形態の液体吐出記録ヘッドを示して
いる。なお、第1〜5の実施形態と同様な部分について
は、同一の符号を付与し説明を省略する。
【0076】第6〜8の実施形態では、図7に示す第5
の実施形態と同様に、オリフィスプレート(被覆樹脂
層)5をスリット12により複数に分割する構成におい
て、オリフィスプレート5の溝9に接する縁部の凹凸形
状が、第2〜4の実施形態と同様に、種々変更されてい
る。
【0077】この第6〜8の実施形態の液体噴射記録ヘ
ッドを用いて、前記した温湿度サイクル試験を行ったと
ころ、それぞれ、第1〜5の実施形態と同様に、オリフ
ィスプレート5の、溝9に接する縁部の剥離は、全く発
生しないか、発生してもごくわずかであり実質上問題と
ならないレベルであり、温湿度サイクル試験の前後に記
録を行っても、何ら変化は認められず良好な記録が行わ
れた。
【0078】[第9の実施形態]図11〜12に本発明
の第9の実施形態の液体吐出記録ヘッドを示している。
なお、第1〜8の実施形態と同様な部分については、同
一の符号を付与し説明を省略する。
【0079】本実施形態では、前記した各実施形態と同
様に、オリフィスプレート(被覆樹脂層)5の溝9に接
する縁部が微小な凹凸を有する鋸歯状に形成されている
のに加えて、図11に示すように、オリフィスプレート
5のインク流路8に接する縁部(インク流路壁17)
も、微小な凹凸を有する鋸歯状に形成されている。第1
の実施形態において説明したのと同様に、オリフィスプ
レート5の縁部(インク流路壁17)に加わる応力P
が、縁部に沿う方向の分力P5と縁部に直交する分力P6
とに分けられ、剥離しようとする力は分力P6のみであ
るので、従来よりも剥離しようとする力が小さくなる。
【0080】図11に示すように、剥離を生じ易いイン
ク流路8の薄い側壁部において縁部が鋸歯状に形成され
ている場合に剥離防止の効果が高いが、図12に示すよ
うに、インク流路8の輪郭全域においてオリフィスプレ
ート5の縁部が鋸歯状であるとより効果的である。
【0081】なお、オリフィスプレート5の、インク流
路に接する縁部(インク流路壁17)を、第3,4の実
施形態と同様な丸みを帯びた鋸歯状に形成することも可
能である。
【0082】[第10の実施形態]図13に本発明の第
10の実施形態の液体吐出記録ヘッドを示している。な
お、第1〜9の実施形態と同様な部分については、同一
の符号を付与し説明を省略する。
【0083】本実施形態では、前記した各実施形態と同
様に、オリフィスプレート(被覆樹脂層)5の溝9に接
する縁部が微小な凹凸を有する鋸歯状に形成されている
のに加えて、図13に示すように、オリフィスプレート
5に板厚方向に多数の貫通孔13が形成されている。貫
通孔13の平面形状は円形または八角形である。なお、
貫通孔13は、溝9の内側のオリフィスプレート5で
は、インク吐出口6およびインク流路8を避ける位置に
配置されている。
【0084】この貫通孔13により、オリフィスプレー
ト5の体積が減るので樹脂の硬化や熱変化により生じる
応力自体が減るとともに、貫通孔13の変形の自由度が
高いので、応力を緩和することができる。すなわち、図
13(b)(図13(a)のA−A線断面図)に示すよ
うに、オリフィスプレート5に形成された貫通孔13は
基板2まで達しており、オリフィスプレート5の体積を
減らすとともに、オリフィスプレートを構成する被覆樹
脂がわずかではあるがこの貫通孔13を広げるようにも
縮めるようにも動くことができるので、オリフィスプレ
ート5の膨張や収縮が貫通孔13(または貫通孔13の
壁面)の変形によって吸収され、応力緩和効果がある。
従って、オリフィスプレート5には剥離が生じにくい、
もしくは少なくとも剥離が進行しにくいといえる。ま
た、応力による基板2の変形は小さい。
【0085】貫通孔13は、オリフィスプレート5を構
成する被覆樹脂が感光性樹脂である場合には、インク吐
出口6もしくは開口部4をパターニング形成するのと同
時に、同じマスクを用いて形成することができる。
【0086】本実施形態の液体噴射記録ヘッドを用い
て、前記した温湿度サイクル試験を行ったところ、第1
〜8の実施形態と同様に、オリフィスプレート5の、溝
9に接する縁部の剥離は、全く発生しないか、発生して
もごくわずかであり実質上問題とならないレベルであ
り、温湿度サイクル試験の前後に記録を行っても、何ら
変化は認められず良好な記録が行われた。
【0087】貫通孔13が円柱状であると、剥離の起点
になり易い角部が存在しないので、より剥離を生じにく
く、吐出性能に悪影響を及ぼすことがなくなる。
【0088】[第11の実施形態]図14に本発明の第
11の実施形態の液体吐出記録ヘッドを示している。な
お、第1〜10の実施形態と同様な部分については、同
一の符号を付与し説明を省略する。
【0089】本実施形態では、特に、平面的にインク流
路壁17の外側(後方)に位置するオリフィスプレート
(被覆樹脂層)5に貫通孔13が設けられている。その
ため、特にインク吐出口6が設けられている付近にかか
る応力を軽減することができ、印字特性劣化防止の効果
が大きい。なお、図14に示されていない部分のオリフ
ィスプレート5には、第10の実施形態と同様に多数の
貫通孔13が設けられている。
【0090】本実施形態の液体噴射記録ヘッドを用い
て、前記した温湿度サイクル試験を行ったところ、第1
〜8,10の実施形態と同様に、オリフィスプレート5
の、溝9に接する縁部の剥離は、全く発生しないか、発
生してもごくわずかであり実質上問題とならないレベル
であり、温湿度サイクル試験の前後に記録を行っても、
何ら変化は認められず良好な記録が行われた。
【0091】[第12の実施形態]図15に本発明の第
12の実施形態の液体吐出記録ヘッドを示している。な
お、第1〜11の実施形態と同様な部分については、同
一の符号を付与し説明を省略する。
【0092】本実施形態では、前記した各実施形態と同
様に、オリフィスプレート(被覆樹脂層)5の溝9に接
する縁部が微小な凹凸を有する鋸歯状に形成されている
のに加えて、図15に示すように、オリフィスプレート
5に、基板2面まで達しない凹溝14が設けられてい
る。溝9の外側においては3重の凹溝14が、溝9の内
側においては1重の凹溝14がそれぞれ設けられてい
る。なお、図15には、簡略化のため、凹溝14は中心
線のみが2点鎖線で示されている。
【0093】この凹溝14により、オリフィスプレート
5の体積が減るので樹脂の硬化や熱変化により生じる応
力自体が減るとともに、凹溝14の変形の自由度が高い
ので、応力を緩和することができる。すなわち、凹溝1
4はオリフィスプレート5の表面から基板2面に向かっ
て斜めに形成されており、オリフィスプレート5の体積
を減らすとともに、オリフィスプレート5を構成する被
覆樹脂がわずかではあるがこの凹溝14を広げるように
も縮めるようにも動くことができるので、オリフィスプ
レート5の膨張や収縮が凹溝14(または凹溝14の壁
面)の変形によって吸収され、応力緩和効果がある。従
って、オリフィスプレート5には剥離が生じにくい、も
しくは少なくとも剥離が進行しにくいといえる。また、
応力による基板2の変形は小さい。
【0094】また、凹溝14は基板2にまで達しないの
で、基板2が剥き出しになることがなく、実装や組立時
の取り扱いによる損傷や、プリンター装着時に紙に擦ら
れることなどによる損傷から基板2の表面を守ることが
できる。
【0095】このような基板2に達しない凹溝14は、
オリフィスプレート5を構成する被覆樹脂が感光性樹脂
である場合には、インク吐出口6や開口部4を形成する
時に使用するフォトマスクに解像しない程度に細かいパ
ターンを設けておくことにより、インク吐出口6や開口
部4をパターニング形成するのと同時に、同じマスクを
用いて形成することができる。
【0096】本実施形態の液体噴射記録ヘッドを用い
て、前記した温湿度サイクル試験を行ったところ、第1
〜8,10〜11の実施形態と同様に、オリフィスプレ
ート5の、溝9に接する縁部の剥離は、全く発生しない
か、発生してもごくわずかであり実質上問題とならない
レベルであり、温湿度サイクル試験の前後に記録を行っ
ても、何ら変化は認められず良好な記録が行われた。
【0097】[第13の実施形態]図16に本発明の第
13の実施形態の液体吐出記録ヘッドを示している。な
お、第1〜12の実施形態と同様な部分については、同
一の符号を付与し説明を省略する。図16に示すよう
に、本実施形態では、溝9の外側に位置するオリフィス
プレート(被覆樹脂層)5に、一方向に帯状に基板に達
しない複数条の凹溝14が設けられている。
【0098】本実施形態の液体噴射記録ヘッドを用い
て、前記した温湿度サイクル試験を行ったところ、第1
〜8,10〜12の実施形態と同様に、オリフィスプレ
ート5の、溝9に接する縁部の剥離は、全く発生しない
か、発生してもごくわずかであり実質上問題とならない
レベルであり、温湿度サイクル試験の前後に記録を行っ
ても、何ら変化は認められず良好な記録が行われた。
【0099】[第14の実施形態]図17に本発明の第
14の実施形態の液体吐出記録ヘッドを示している。な
お、第1〜13の実施形態と同様な部分については、同
一の符号を付与し説明を省略する。
【0100】図17(a)に示すように、本実施形態の
オリフィスプレート(被覆樹脂層)5には、基板2にま
で達しない円形の凹部15が多数設けられている。特
に、図17(b)に拡大して示すように、平面的にイン
ク流路壁17の外側(後方)に位置するオリフィスプレ
ート5に、凹部15が設けられている。そのため、イン
ク流路壁17の剥離防止効果が大きく、インク吐出口6
が設けられている付近にかかる応力を軽減することがで
き、印字特性劣化防止の効果が大きい。
【0101】凹部15が円形であるため、オリフィスプ
レート5には剥離の起点になり易い角部が存在しないの
で、より剥離を生じにくく、吐出性能に悪影響を及ぼす
ことがなくなる。
【0102】本実施形態の液体噴射記録ヘッドを用い
て、前記した温湿度サイクル試験を行ったところ、第1
〜8,10〜13の実施形態と同様に、オリフィスプレ
ート5の、溝9に接する縁部の剥離は、全く発生しない
か、発生してもごくわずかであり実質上問題とならない
レベルであり、温湿度サイクル試験の前後に記録を行っ
ても、何ら変化は認められず良好な記録が行われた。
【0103】[第15の実施形態]図18に本発明の第
15の実施形態の液体吐出記録ヘッドを示している。な
お、第1〜14の実施形態と同様な部分については、同
一の符号を付与し説明を省略する。
【0104】本実施形態では、前記した各実施形態と同
様に、オリフィスプレート(被覆樹脂層)5の溝9に接
する縁部が微小な凹凸を有する鋸歯状に形成されている
のに加えて、溝9の外側のオリフィスプレート5が、溝
9の内側の部分よりも薄く形成されている。これによ
り、溝9の外側のオリフィスプレート5の体積が減るの
で、オリフィスプレート5を構成する被覆樹脂の硬化や
熱変化により生じる応力自体が小さくなり、特に溝9の
外側においてオリフィスプレート5には剥離が生じにく
い、もしくは少なくとも剥離が進行しにくいといえる。
また、応力による基板2の変形は小さい。このように溝
9の外側のオリフィスプレート5を薄くすることは、部
分的なハーフエッチングにより行える。
【0105】[第16の実施形態]図19に本発明の第
16の実施形態の液体吐出記録ヘッドを示している。な
お、第1〜15の実施形態と同様な部分については、同
一の符号を付与し説明を省略する。
【0106】本実施形態では、前記した各実施形態と同
様に、オリフィスプレート(被覆樹脂層)5の溝9に接
する縁部が微小な凹凸を有する鋸歯状に形成されている
のに加えて、溝9の上方がオリフィスプレート5にてほ
とんど覆われている。すなわち、液体噴射記録ヘッドの
製造工程において、被覆樹脂層5に形成する開口部4
を、溝9となる部分のうちの一部にのみ形成しておき、
それ以外の部分では被覆樹脂層5を残しておく。この僅
かな開口部4からエッチング液を注入することによっ
て、溶解可能な樹脂層3の、土台となるパターン3bは
すべて除去して、溝9は前記した各実施形態と同様に形
成する。ただし、この溝9の上方には、僅かな開口部4
を除いてほぼ全面的に、天井部となる被覆樹脂層(オリ
フィスプレート)5が存在する。溝9の上方のオリフィ
スプレート5が応力を伝えるブリッジとなることによ
り、オリフィスプレート5の、溝9に接する縁部のみに
応力が集中することが抑えられ、応力の平衡がとれて、
剥離しようとする力が分散して小さくなる。
【0107】[第17の実施形態]図20〜21に本発
明の第17の実施形態の液体吐出記録ヘッドを示してい
る。なお、第1〜16の実施形態と同様な部分について
は、同一の符号を付与し説明を省略する。
【0108】本実施形態では、前記した各実施形態にお
ける溝9に代えて、溝9と同様にインク流路を取り囲
む、多数の孔部からなる孔部列16が設けられている。
すなわち、図20に示すように、液体噴射記録ヘッドの
製造工程において、溶解可能な樹脂層3のうち、土台と
なるパターン3bとして、微小な多数の円柱からなる円
柱列を形成する。そして、オリフィスプレートとなる被
覆樹脂層5を形成した後、インク吐出口6および開口部
4を形成し、このインク吐出口6および開口部4からエ
ッチング液を注入することによって、溶解可能な樹脂層
3を除去する。本実施形態では、土台となるパターン3
bは円柱列であり、その周囲には被覆樹脂が形成されて
いる。従って、溶解可能な樹脂層3を除去すると、微小
な多数の円柱状の孔部からなる孔部列16が形成され
る。この孔部列16が、前記した各実施形態の、輪郭が
鋸歯状の溝9と同様な作用をし、オリフィスプレート5
が平坦に形成できて小液滴記録が安定的に行え、インク
流路8の壁部にかかる応力をできるだけ小さくするとと
もに、基板2の表面を傷から守ることを両立させている
とともに、基板2からのオリフィスプレート5の剥離を
抑制することができる。
【0109】本実施形態の、2列の千鳥状の孔部列16
を形成した液体噴射記録ヘッド(図20参照)を用い
て、純水/ジエチレングリコール/イソプロピルアルコ
ール酢酸リチウム/黒色染料フードブラック2=79.
4/15/3/0.1/2.5からなるインク液を用い
て、吐出周波数f=15kHzで記録を行ったところ、
非常に高品位な記録が可能であった。さらにこの液体噴
射記録ヘッドを長期間にわたって使用した場合を想定し
て、f=15kHzで、連続記録耐久試験を行った。す
ると、実用条件の10倍以上の記録を行った後も、吐出
特性に対する悪影響は全く見られず、良好な記録が可能
であった。
【0110】比較のために、図25に示す従来の液体噴
射記録ヘッドを(本実施形態と同様にノズル列の幅=1
inch)を用いて実験を行った。この従来の液体噴射
記録ヘッドで、前記したインク液を用いてf=15kH
zで連続記録耐久試験を行ったところ、実用条件の数倍
の記録枚数が経過した後、記録媒体に対してインク液が
まっすぐ飛ばず、スジが生じたり、設計値通りのインク
吐出量が飛翔しないことによるカスレが一部のノズルで
発生し、低品位な印字記録となった。さらに、この従来
の液体噴射記録ヘッドを分解して観察したところ、土台
となるパターンを除去するための開口部の位置を起点に
して、基板102とオリフィスプレート105とが剥離
している箇所が発見された。
【0111】また、本実施形態の、3列の千鳥状の孔部
列を形成した液体噴射記録ヘッド(図21参照)を用い
て、前記したのと同様な記録試験および連続記録耐久試
験を行ったところ、前記したのと同様に良好な記録が可
能であった。
【0112】以上、各実施形態について説明した本発明
の液体噴射記録ヘッドは、長尺であっても、オリフィス
プレートが溝に接する部分等を起点にして基板から剥離
することのない、耐久性が非常に高く信頼性の高いサイ
ドシューター型液体噴射記録ヘッドおよびその製造方法
を提供することが可能になる。
【0113】本実施形態において、孔部列16をなす各
孔部が円柱状であると、オリフィスプレート5には剥離
の起点になり易い角部が存在しないので、より剥離を生
じにくく、吐出性能に悪影響を及ぼすことがなくなる。
【0114】以上各実施形態について説明した本発明
は、液体噴射記録ヘッドの中でもバブルジェット(登録
商標)方式の記録ヘッドに適用すると優れた効果をもた
らす。特に、前記した特開平4−10940号公報、特
開平4−10941号公報、特開平4−10942号公
報に記載の記録ヘッドに適用すると効果的である。これ
により、50pl以下の小インク液滴の吐出が可能であ
り、かつ発熱抵抗体前方のインク液を吐出させるため、
インク液滴の体積や速度が温度の影響を受けず安定化
し、高品位な画像を得ることができる。
【0115】本発明は、記録紙の全幅にわたり同時に記
録ができるフルラインタイプの記録ヘッドにも、また複
数の記録ヘッド部を一体的に形成した構成や、別々に形
成した記録ヘッドを複数個組み合わせた構成のカラー記
録ヘッドにも有効である。
【0116】
【発明の効果】本発明の液体噴射記録ヘッドは、長時間
の使用を行っても、オリフィスプレートの縁部の基板か
らの剥離は全く発生しないか、発生してもごくわずかで
あり実質問題とならないレベルであり、安定的に良好な
液体噴射記録が維持できるので、耐久性および信頼性が
高い。
【図面の簡単な説明】
【図1】(a)は本発明の第1の実施形態の液体噴射記
録ヘッドを示す斜視図、(b)は第1の実施形態の基板
の斜視図、(c)は第1の実施形態の液体噴射記録ヘッ
ドの断面図である。
【図2】(a)は第1の実施形態の液体噴射記録ヘッド
を示す平面図、(b)はその一部拡大図である。
【図3】第1の実施形態の液体噴射記録ヘッドの製造方
法を示す断面図である。
【図4】本発明の第2の実施形態の液体噴射記録ヘッド
を示す平面図である。
【図5】(a)は本発明の第3の実施形態の液体噴射記
録ヘッドを示す平面図、(b)はその一部拡大図であ
る。
【図6】本発明の第4の実施形態の液体噴射記録ヘッド
を示す平面図である。
【図7】本発明の第5の実施形態の液体噴射記録ヘッド
を示す平面図である。
【図8】本発明の第6の実施形態の液体噴射記録ヘッド
を示す平面図である。
【図9】本発明の第7の実施形態の液体噴射記録ヘッド
を示す平面図である。
【図10】本発明の第8の実施形態の液体噴射記録ヘッ
ドを示す平面図である。
【図11】(a)は本発明の第9の実施形態の液体噴射
記録ヘッドを模式的に示す平面図、(b)はその一部拡
大図、(c)はさらにその一部拡大図である。
【図12】第9の実施形態の液体噴射記録ヘッドの変形
例を示す拡大平面図である。
【図13】(a)は本発明の第10の実施形態の液体噴
射記録ヘッドを示す平面図、(b)はその断面図であ
る。
【図14】本発明の第11の実施形態の液体噴射記録ヘ
ッドを示す一部拡大平面図である。
【図15】(a)は本発明の第12の実施形態の液体噴
射記録ヘッドを示す断面図、(b)はその平面図であ
る。
【図16】本発明の第13の実施形態の液体噴射記録ヘ
ッドを示す平面図である。
【図17】(a)は本発明の第14の実施形態の液体噴
射記録ヘッドを示す平面図、(b)はその一部拡大図で
ある。
【図18】本発明の第15の実施形態の液体噴射記録ヘ
ッドを示す断面図である。
【図19】本発明の第16の実施形態の液体噴射記録ヘ
ッドを示す断面図である。
【図20】(a)〜(d)は本発明の第17の実施形態
の液体噴射記録ヘッドを示す平面図、(a’)〜
(d’)はそれぞれの断面図である。
【図21】(a)〜(d)は本発明の第17の実施形態
の液体噴射記録ヘッドの変形例を示す平面図、(a’)
〜(d’)はそれぞれの断面図である。
【図22】(a)は第1の従来例の液体噴射記録ヘッド
を示す斜視図、(b)は第1の従来例の基板の斜視図、
(c)は第1の従来例の液体噴射記録ヘッドの断面図で
ある。
【図23】第1の従来例の液体噴射記録ヘッドの製造方
法を示す断面図である。
【図24】第2の従来例の液体噴射記録ヘッドの製造方
法を示す断面図である。
【図25】(a)〜(b)は第2の従来例の液体噴射記
録ヘッドを示す平面図、(c)はその一部拡大図であ
る。
【図26】(a)は第2の従来例の液体噴射記録ヘッド
の不良を示す平面図、(b)はその断面図である。
【符号の説明】
1 エネルギー発生素子(発熱抵抗体) 2 基板 3 溶解可能な樹脂層 3a インク流路となるパターン 3b 土台となるパターン 4 開口部 5 被覆樹脂層(オリフィスプレート) 6 インク吐出口 7 インク供給口 8 インク流路 9 溝 12 スリット 13 貫通孔 14 凹溝(凹部) 15 凹部 16 孔部列 17 インク流路壁
フロントページの続き (72)発明者 山本 裕之 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 栗原 香暁 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 矢部 賢治 東京都大田区下丸子3丁目30番2号 キヤ ノン株式会社内 Fターム(参考) 2C057 AF65 AF93 AG01 AG04 AG08 AG15 AG16 AP34 AP47 AP57 AQ03 BA03 BA13

Claims (26)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 液体吐出のためのエネルギーを生じさせ
    るエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記基板に
    積層されており、前記エネルギー発生素子と対応する吐
    出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、前記基
    板および前記オリフィスプレートの面に対して実質的に
    垂直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドであっ
    て、 前記基板と前記オリフィスプレートとの間に流路が形成
    されており、 前記オリフィスプレートには、前記流路の外側を取り囲
    むように溝が形成されており、 前記オリフィスプレートの前記溝に接する縁部が、微小
    な凹凸を多数有する鋸歯状に形成されていることを特徴
    とする液体噴射記録ヘッド。
  2. 【請求項2】 前記オリフィスプレートの前記溝に接す
    る縁部は、該縁部に加わる応力の方向に対して直角とな
    る部分を連続的には有していない、請求項1に記載の液
    体噴射記録ヘッド。
  3. 【請求項3】 前記オリフィスプレートの前記溝に接す
    る縁部に設けられた前記凹凸は、直線の組合せにより構
    成されており、該直線は、前記縁部に加わる応力の方向
    に対して直角となる部分を有していない、請求項1に記
    載の液体噴射記録ヘッド。
  4. 【請求項4】 前記オリフィスプレートの前記溝に接す
    る縁部に設けられた前記凹凸は、曲線の組合せにより構
    成されており、該曲線は、その接線が前記縁部に加わる
    応力の方向に対して直角となる部分を連続的には有して
    いない、請求項1に記載の液体噴射記録ヘッド。
  5. 【請求項5】 前記オリフィスプレートの前記溝に接す
    る縁部に設けられた前記凹凸は、直線と曲線の組合せに
    より構成されており、前記直線は前記縁部に加わる応力
    の方向に対して直角となる部分を有しておらず、前記曲
    線は、その接線が前記縁部に加わる応力の方向に対して
    直角となる部分を連続的には有していない、請求項1に
    記載の液体噴射記録ヘッド。
  6. 【請求項6】 液体吐出のためのエネルギーを生じさせ
    るエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記基板に
    積層されており、前記エネルギー発生素子と対応する吐
    出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、前記基
    板および前記オリフィスプレートの面に対して実質的に
    垂直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドであっ
    て、 前記基板と前記オリフィスプレートとの間に流路が形成
    されており、 前記オリフィスプレートには、前記流路の外側を取り囲
    むように溝が形成されており、 前記オリフィスプレートのうち、前記溝の外側に位置す
    る部分が、複数に分割されていることを特徴とする液体
    噴射記録ヘッド。
  7. 【請求項7】 液体吐出のためのエネルギーを生じさせ
    るエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記基板に
    積層されており、前記エネルギー発生素子と対応する吐
    出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、前記基
    板および前記オリフィスプレートの面に対して実質的に
    垂直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドであっ
    て、 前記基板と前記オリフィスプレートとの間に流路が形成
    されており、 前記オリフィスプレートの前記流路に接する縁部の少な
    くとも一部が、微小な凹凸を多数有する鋸歯状に形成さ
    れていることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
  8. 【請求項8】 前記オリフィスプレートの前記流路に接
    する縁部の少なくとも一部は、該縁部に加わる応力の方
    向に対して直角となる部分を連続的には有していない、
    請求項7に記載の液体噴射記録ヘッド。
  9. 【請求項9】 液体吐出のためのエネルギーを生じさせ
    るエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記基板に
    積層されており、前記エネルギー発生素子と対応する吐
    出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、前記基
    板および前記オリフィスプレートの面に対して実質的に
    垂直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドであっ
    て、 前記基板と前記オリフィスプレートとの間に流路が形成
    されており、 前記オリフィスプレートの、前記流路を除く部分に、板
    厚方向に前記基板に至る複数の貫通孔が設けられている
    ことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
  10. 【請求項10】 液体吐出のためのエネルギーを生じさ
    せるエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記基板
    に積層されており、前記エネルギー発生素子と対応する
    吐出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、前記
    基板および前記オリフィスプレートの面に対して実質的
    に垂直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドであっ
    て、 前記基板と前記オリフィスプレートとの間に流路が形成
    されており、 前記オリフィスプレートの、前記流路を除く部分に、板
    厚方向に前記基板には到達しない複数の凹部が設けられ
    ていることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
  11. 【請求項11】 前記凹部が凹溝である請求項10に記
    載の液体噴射記録ヘッド。
  12. 【請求項12】 液体吐出のためのエネルギーを生じさ
    せるエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記基板
    に積層されており、前記エネルギー発生素子と対応する
    吐出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、前記
    基板および前記オリフィスプレートの面に対して実質的
    に垂直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドであっ
    て、 前記基板と前記オリフィスプレートとの間に流路が形成
    されており、 前記オリフィスプレートには、前記流路の外側を取り囲
    むように溝が形成されており、 前記オリフィスプレートのうち、前記溝の外側に位置す
    る部分が、他の部分に比べて板厚が薄く形成されている
    ことを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
  13. 【請求項13】 液体吐出のためのエネルギーを生じさ
    せるエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記基板
    に積層されており、前記エネルギー発生素子と対応する
    吐出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、前記
    基板および前記オリフィスプレートの面に対して実質的
    に垂直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドであっ
    て、 前記基板と前記オリフィスプレートとの間に流路が形成
    されており、 前記オリフィスプレートには、前記流路の外側を取り囲
    むように溝が形成されており、 前記オリフィスプレートは、前記溝の上方を覆う天井部
    を有していることを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
  14. 【請求項14】 液体吐出のためのエネルギーを生じさ
    せるエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記基板
    に積層されており、前記エネルギー発生素子と対応する
    吐出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、前記
    基板および前記オリフィスプレートの面に対して実質的
    に垂直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドであっ
    て、 前記基板と前記オリフィスプレートとの間に流路が形成
    されており、 前記オリフィスプレートは、前記流路の外側を取り囲む
    ように形成されている、多数の孔部からなる孔部列を有
    することを特徴とする液体噴射記録ヘッド。
  15. 【請求項15】 前記孔部列が、全体として前記流路の
    外側を取り囲む略矩形状に形成されている、請求項14
    に記載の液体噴射記録ヘッド。
  16. 【請求項16】 前記孔部列が、千鳥状に配列された複
    数の孔部から形成されている、請求項14または15に
    記載の液体噴射記録ヘッド。
  17. 【請求項17】 液体吐出のためのエネルギーを生じさ
    せるエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記基板
    に積層されており、前記エネルギー発生素子と対応する
    吐出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、前記
    基板および前記オリフィスプレートの面に対して実質的
    に垂直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドの製造
    方法であって、 前記基板の前記エネルギー発生素子配設面上に、流路と
    なるパターンと、該流路となるパターンの外側を取り囲
    むような形状の土台となるパターンとを含む、溶解可能
    な樹脂層を形成する工程と、前記基板および前記溶解可
    能な樹脂層の上に、前記オリフィスプレートとなる被覆
    樹脂層を形成する工程と、前記溶解可能な樹脂層を除去
    して、前記流路となるパターンの後に流路を、前記土台
    となるパターンの後に溝を形成する工程とを含み、前記
    土台となるパターンの縁部を、微小な凹凸を多数有する
    鋸歯状に形成することを特徴とする液体噴射記録ヘッド
    の製造方法。
  18. 【請求項18】 液体吐出のためのエネルギーを生じさ
    せるエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記基板
    に積層されており、前記エネルギー発生素子と対応する
    吐出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、前記
    基板および前記オリフィスプレートの面に対して実質的
    に垂直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドの製造
    方法であって、 前記基板の前記エネルギー発生素子配設面上に、流路と
    なるパターンと、該流路となるパターンの外側を取り囲
    むような形状の土台となるパターンとを含む、溶解可能
    な樹脂層を形成する工程と、前記基板および前記溶解可
    能な樹脂層の上に、前記オリフィスプレートとなる被覆
    樹脂層を形成する工程と、前記溶解可能な樹脂層を除去
    して、前記流路となるパターンの後に流路を、前記土台
    となるパターンの後に溝を形成する工程とを含み、 前記被覆樹脂層からなる前記オリフィスプレートを、前
    記流路の形成位置の外側に位置する部分が複数に分割さ
    れるように形成することを特徴とする液体噴射記録ヘッ
    ドの製造方法。
  19. 【請求項19】 液体吐出のためのエネルギーを生じさ
    せるエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記基板
    に積層されており、前記エネルギー発生素子と対応する
    吐出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、前記
    基板および前記オリフィスプレートの面に対して実質的
    に垂直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドの製造
    方法であって、 前記基板の前記エネルギー発生素子配設面上に、流路と
    なるパターンと、該流路となるパターンの外側を取り囲
    むような形状の土台となるパターンとを含む、溶解可能
    な樹脂層を形成する工程と、前記基板および前記溶解可
    能な樹脂層の上に、前記オリフィスプレートとなる被覆
    樹脂層を形成する工程と、前記溶解可能な樹脂層を除去
    して、前記流路となるパターンの後に流路を、前記土台
    となるパターンの後に溝を形成する工程とを含み、 前記流路となるパターンの縁部の少なくとも一部を、微
    小な凹凸を多数有する鋸歯状に形成することを特徴とす
    る液体噴射記録ヘッドの製造方法。
  20. 【請求項20】 液体吐出のためのエネルギーを生じさ
    せるエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記基板
    に積層されており、前記エネルギー発生素子と対応する
    吐出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、前記
    基板および前記オリフィスプレートの面に対して実質的
    に垂直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドの製造
    方法であって、 前記基板の前記エネルギー発生素子配設面上に、流路と
    なるパターンと、該流路となるパターンの外側を取り囲
    むような形状の土台となるパターンとを含む、溶解可能
    な樹脂層を形成する工程と、前記基板および前記溶解可
    能な樹脂層の上に、前記オリフィスプレートとなる被覆
    樹脂層を形成する工程と、前記溶解可能な樹脂層を除去
    して、前記流路となるパターンの後に流路を、前記土台
    となるパターンの後に溝を形成する工程とを含み、 前記被覆樹脂層からなる前記オリフィスプレートの、前
    記流路の形成位置を除く部分に、板厚方向に貫通する複
    数の貫通孔を形成することを特徴とする液体噴射記録ヘ
    ッドの製造方法。
  21. 【請求項21】 液体吐出のためのエネルギーを生じさ
    せるエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記基板
    に積層されており、前記エネルギー発生素子と対応する
    吐出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、前記
    基板および前記オリフィスプレートの面に対して実質的
    に垂直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドの製造
    方法であって、 前記基板の前記エネルギー発生素子配設面上に、流路と
    なるパターンと、該流路となるパターンの外側を取り囲
    むような形状の土台となるパターンとを含む、溶解可能
    な樹脂層を形成する工程と、前記基板および前記溶解可
    能な樹脂層の上に、前記オリフィスプレートとなる被覆
    樹脂層を形成する工程と、前記溶解可能な樹脂層を除去
    して、前記流路となるパターンの後に流路を、前記土台
    となるパターンの後に溝を形成する工程とを含み、 前記被覆樹脂層からなる前記オリフィスプレートの、前
    記流路の形成位置を除く部分に、板厚方向に貫通しない
    複数の凹部を形成することを特徴とする液体噴射記録ヘ
    ッドの製造方法。
  22. 【請求項22】 液体吐出のためのエネルギーを生じさ
    せるエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記基板
    に積層されており、前記エネルギー発生素子と対応する
    吐出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、前記
    基板および前記オリフィスプレートの面に対して実質的
    に垂直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドの製造
    方法であって、 前記基板の前記エネルギー発生素子配設面上に、流路と
    なるパターンと、該流路となるパターンの外側を取り囲
    むような形状の土台となるパターンとを含む、溶解可能
    な樹脂層を形成する工程と、前記基板および前記溶解可
    能な樹脂層の上に、前記オリフィスプレートとなる被覆
    樹脂層を形成する工程と、前記溶解可能な樹脂層を除去
    して、前記流路となるパターンの後に流路を、前記土台
    となるパターンの後に溝を形成する工程とを含み、 前記被覆樹脂層からなる前記オリフィスプレートの、前
    記溝の形成位置の外側を、ハーフエッチングにより板厚
    を薄くする工程を含むことを特徴とする液体噴射記録ヘ
    ッドの製造方法。
  23. 【請求項23】 液体吐出のためのエネルギーを生じさ
    せるエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記基板
    に積層されており、前記エネルギー発生素子と対応する
    吐出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、前記
    基板および前記オリフィスプレートの面に対して実質的
    に垂直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドの製造
    方法であって、 前記基板の前記エネルギー発生素子配設面上に、流路と
    なるパターンと、該流路となるパターンの外側を取り囲
    むような形状の土台となるパターンとを含む、溶解可能
    な樹脂層を形成する工程と、前記基板および前記溶解可
    能な樹脂層の上に、前記オリフィスプレートとなる被覆
    樹脂層を形成する工程と、前記溶解可能な樹脂層を除去
    して、前記流路となるパターンの後に流路を、前記土台
    となるパターンの後に溝を形成する工程とを含み、 前記オリフィスプレートとなる前記被覆樹脂層の、前記
    土台となるパターンの形成位置の上方を覆う部分を少な
    くとも一部残存させ、前記溝の天井部を形成することを
    特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
  24. 【請求項24】 液体吐出のためのエネルギーを生じさ
    せるエネルギー発生素子が設けられた基板と、前記基板
    に積層されており、前記エネルギー発生素子と対応する
    吐出口が設けられたオリフィスプレートとを有し、前記
    基板および前記オリフィスプレートの面に対して実質的
    に垂直方向に液滴を吐出する液体噴射記録ヘッドの製造
    方法であって、 前記基板の前記エネルギー発生基板配設面上に、流路と
    なるパターンと、該流路となるパターンの外側を取り囲
    む柱状部列状の土台となるパターンとを含む、溶解可能
    な樹脂層を形成する工程と、前記基板および前記溶解可
    能な樹脂層の上に、オリフィスプレートとなる被覆樹脂
    層を形成する工程と、前記溶解可能な樹脂層を除去し
    て、前記流路となるパターンの後に流路を、前記土台と
    なるパターンの後に孔部列を形成する工程とを含むこと
    を特徴とする液体噴射記録ヘッドの製造方法。
  25. 【請求項25】 前記孔部列を、全体として前記流路の
    外側を取り囲む略矩形状に形成する、請求項24に記載
    の液体噴射記録ヘッドの製造方法。
  26. 【請求項26】 前記孔部列を、千鳥状に配列された複
    数の孔部から形成する、請求項24または25に記載の
    液体噴射記録ヘッドの製造方法。
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