CN1394103A - 压电电声换能器及其制造方法 - Google Patents

Abstract

一种压电电声换能器包括：方形压电隔膜片，具有电极，并在电极之间施加交变信号时，它沿厚度方向产生弯曲振动；矩形绝缘容器，具有设在容器侧壁内部的支撑部件；接线端，具有露出于支撑部件附近的内连接和露出于容器外表面并与内连接电连接的外连接；第一胶层，加在连接压电隔膜片和内连接的最短路径上，该路径位于压电隔膜片外周和内连接之间；导电胶层，用于电连接压电隔膜片的电极和接线端电极的内连接，经由第一胶层上表面通过绕过压电隔膜片和内连接之间的最短连接路径将导电胶层加在压电隔膜片的电极和内连接之间；以及第二胶层，用于密封压电隔膜片的外周和容器内周之间的缝隙。其中第一和第二胶层固化后的杨氏模量比导电胶的小。

Description

压电电声换能器及其制造方法

技术领域

本发明涉及压电电声换能器，例如压电蜂鸣器和压电受话器，还涉及该换能器的制造方法。

背景技术

迄今为止，在电子设备、家用电器、便携电话中等，已经广泛采用压电电声换能器作为压电蜂鸣器或压电受话器，来获得报警声音或操作声音。这种压电电声换能器的结构通常是：一个圆形压电元件，它被粘接在圆形金属板的一个表面上，以形成单压电晶片型隔膜片，而金属板的周边用硅橡胶支撑在圆形容器内，该容器的开口由封盖关闭。

但是，在使用圆形隔膜片时存在如下问题：生产效率低，声转换效率低，并且难以小型化。

已有报道过一种压电电声换能器，它能够改善生产效率和声转换效率，并且通过使用方形隔膜片而能够进行小型化(日本未审专利申请公开2000-310990)。该压电电声换能器包括：方形压电隔膜片；绝缘容器，它具有底壁、四个侧壁和设置在两个彼此相对侧壁内用于支撑隔膜片的支撑部件，该支撑部件设有用于外连接的第一和第二导电部件；以及其上形成有用于发声的孔的盖板。隔膜片装在容器内，其中隔膜片彼此相对的两侧被用胶或弹性密封剂固定在支撑部件上，同时在该隔膜片的其余两侧与容器之间的空隙用弹性密封剂密封，从而该隔膜片以及第一和第二导电部件用导电胶电连接在一起，并且该盖板粘接在容器侧壁的开口端。

近年来，压电电声换能器的隔膜片厚度变得非常薄，因此使用大约几十到100μm厚的隔膜片。当使用这种薄隔膜片时，用于支撑隔膜片的结构的效果其频率特征被改善。

例如，当用热固性导电胶，如氨基甲酸乙酯把隔膜片直接连接到外电极时，由于导电胶的固化和收缩应力而在隔膜片中产生应变，从而使频率特征改变。另外，当环境温度变化时，由于容器和隔膜片之间热膨胀系数的不同，所说的特征也可能不同，并且当有外力直接加在容器上时，这个力也会直接传递到隔膜片上，从而也会使所述特征变化。

在以上述方式用弹性支撑材料使隔膜片与容器固定之后，即使在使用导电胶对它们进行涂布时，如果隔膜片彼此相对两侧与容器的支撑部件(即用于与外电极电连接的内连接部件)之间的最短连接路径涂布有导电胶，由于导电胶的固化和收缩产生的应变就会施加在隔膜片上，从而可能会引起频率特征变化的问题。

发明内容

于是，本发明的目的在于提供一种压电电能换能器及其制造方法，其中通过对用于将隔膜片与容器固定的胶的涂布位置和用于电连接的导电胶的涂布位置进行设计，可以获得频率特征的稳定性，从而避免隔膜片发生应变。

为实现上述目的，本发明的第一方面提供一种压电电声换能器，包括：方形压电隔膜片，它具有电极，并当在电极之间加给交变信号时沿板厚度方向产生弯曲振动；矩形绝缘容器，它具有设在容器侧壁内部的支撑部件，用于支撑压电隔膜片；接线端电极，具有露出于支撑部件附近的内连接和露出于容器外表面并与所述内连接电连接的外连接；第一胶层，它被加在连接压电隔膜片和内连接的最短路径上，这个最短路径位于压电隔膜片外周与内连接之间，从而使压电隔膜片与容器固定；导电胶层，用于使压电隔膜片的电极与接线端电极的内连接实现电连接，经由第一胶层的上表面通过绕过压电隔膜片与内连接之间的最短连接路径，使所述导电胶层被加在压电隔膜片的电极与内连接之间；以及第二胶层，用于密封压电隔膜片的外周与容器内周之间的缝隙，其中第一和第二胶层固化后的杨氏模量比导电胶的小。

本发明的第二方面提供一种压电电声换能器的制造方法，所述方法包括如下步骤：制备方形压电隔膜片，当把交变信号加在电极之间时，该膜片沿板厚度方向产生弯曲振动；制备矩形绝缘容器，它具有设置在容器侧壁内部的支撑部件，用以支撑压电隔膜片，并制造接线端电极，这些电极具有露出于支撑部件附近的内连接和露出于容器外表面并与内连接电连接的外连接；将第一胶层加在连接压电隔膜片和内连接的最短路径上，所述最短路径位于压电隔膜片外周与内连接之间，从而将压电隔膜片与容器固定；经由第一胶层的上表面通过绕过压电隔膜片与内连接之间的最短连接路径，将导电胶层加在压电隔膜片的电极与内连接之间，从而经固化导电胶，使压电隔膜片的电极和接线端电极的内连接实现电连接；以及将第二胶层加到压电隔膜片的外周与容器内周之间的缝隙，从而通过固化第二胶层而在这两个周边之间进行密封，其中第一和第二胶层固化后的杨氏模量比导电胶的小。

根据本发明，在利用第一胶层在隔膜片外周和接线端电极内连接之间固定之后，利用导电胶使压电隔膜片的电极和接线端电极的内连接被电连接在一起。这时，将第一胶层加到压电隔膜片与内连接之间的最短连接路径，并使其固化，其中所述最短连接路径位于压电隔膜片外周和内连接之间，同时经由第一胶层的上表面通过绕过压电隔膜片和内连接之间的最短连接路径加给导电胶层并固化在其上。由于第一胶层固化后的杨氏模量比导电胶的小，因此，就会因第一胶层而减小因导电胶固化和收缩所产生的应力，从而比使该应力直接作用在压电隔膜片上。因此，在压电隔膜片中不会产生应变，就避免了频率特征的变化。即使当环境温度变化或在容器上加有外力时，也因为第一胶层而减少这种应力，从而该应力几乎不影响压电隔膜片，就防止了频率特征的变化。

当根据本发明制造压电电声换能器时，在将压电隔膜装入容器内之后，可以施加第一胶层，或者在将压电隔膜片装入容器内之前，可以向压电隔膜片的外周或容器支撑部件的附近施加第一胶层。在前种情况下，采用分配器施加第一胶层，而在后种情况下，不仅采用分配器，还使用抹刀将第一胶层加在压电隔膜片的端部，从而通过将压电隔膜片装入容器内而将其粘接和固定。

最好使第一胶层固化前的粘度比第二胶层的大，以使它难于铺展。

也就是说，当第一胶层在未固化状态具有低粘度而易于铺展时，第一胶层可能会堵塞压电隔膜片的电极和接线端电极的内连接，从而在施加导电胶层时难以实现压电隔膜片的电极与接线端电极的内连接进行电连接。而且，第一胶层不会保留在压电隔膜片的外周和接线端电极的内连接之间的最短连接路径中。因此通过使用难以铺展的第一胶层，就可以解决这种问题，从而压电隔膜片和接线端电极能够用导电胶通过绕过最短路径而可靠的连接在一起。

最好将第一胶层被部分施加至压电隔膜片的四个边角处。

当使用热固性胶作为第一胶层时，变形朝向容器四侧的中心方向增加，施加至压电隔膜片的应力也主要作用在四侧的中心上。

因此，当把第一胶层部分地加到压电隔膜片的四个边角附近时，在第一胶层固化过程中容器的变形较小，基本避免了对压电隔膜片的影响。

最好将导电胶层加到压电隔膜片的四个边角中的至少两个的附近处。

当有如上述那样把第一胶层部分地加到压电隔膜片的四个边角的附近时，能够抑制压电隔膜片中的应变；另外，当把导电胶加到压电隔膜片的四个边角中的至少两个的附近处时，就能够进一步减少由于导电胶固化和收缩产生的应变的影响。

在隔膜片中，存在着长度弯曲(length-bending)模式的弯曲振动和面弯曲(area-bending)模式的弯曲振动，这与支撑它的方式相对应。前者是由两个横向端部作为支撑，沿板的厚度方向的弯曲振动模式；后者是由四侧或四个边角作为支撑，隔膜片整个面积沿板的厚度方向的弯曲振动模式，从而在隔膜片主平面上的两个对角线中的位置具有最大位移，即对角线的交点具有最大位移。

根据本发明，首选氨基甲酸乙酯导电糊作为导电胶。作为第一胶层，使用固化后其杨氏模量比导电胶的小的材料，如氨基甲酸乙酯胶。作为第二胶层，首选杨氏模量小于第一胶层，并且固化收缩应力小的材料，可以使用有机硅胶。

另外，也可以使用冷定形胶作为第一胶层和第二胶层。但是当用分配器来施加时，因为在涂布过程中开始固化，因此易于堵塞分配器，使工作效率降低。因此，热固性胶的优点在于在涂布过程中粘度不会改变，从而不会被堵塞分配器，可提高工作效率，因为它在室温下具有恒定的粘度。

附图说明

图1是本发明第一实施方案压电电声换能器的装配示意图；

图2是图1所示压电电声换能器在去掉盖板和第二胶层状态下的平面视图；

图3是沿图2中A-A线所取的阶梯剖面图；

图4为沿图2中B-B线所取的剖面图；

图5为图1的压电电声换能器中所用之压电隔膜片的透视图；

图6为本发明第二实施方案的压电电声换能器的装配示意图；

图7是图6所示压电电声换能器在去掉盖板和第二胶层状态下的平面视图；

图8是沿图7中C-C线所取的阶梯剖面图；

图9为沿图7中D-D线所取的剖面图；

图10为图6的压电电声换能器中所用压电隔膜片的透视图；

图11是沿图10中E-E线所取的阶梯剖面图；

图12是一种改型容器的透视图。

具体实施方式

图1-5表示根据本发明第一实施方案的表面安装压电电声换能器。

这种电声换能器适用于以单频使用，如发声器和振铃器，基本包括单压电晶片型隔膜片1、容器10和盖板20。

如图5所示，隔膜片1包括：方形压电板2，它沿厚度方向被极化，并具有分别在其顶表面和背表面上形成的薄膜或厚膜电极2a和2b；以及矩形金属板3，其宽度与压电板2的宽度相同，但长度比其稍长，它面对压电板2的背表面电极2b，并用导电胶粘接于其上。另外，可以用导电胶将金属板3直接接合在压电板2的背表面上，从而省略了背表面电极2b。按照本实施方案，压电板2被粘接在金属板3上，其粘接位置是沿纵向偏于金属板3的一侧，从而沿纵向朝着金属板3的另一侧具有露出的部件3a，它露出金属板3。

对于压电板2，可以使用压电陶瓷，如PZT。理想的是，金属板3的材料具有高导电性以及弹簧弹性，另外，理想的是，它的杨氏模量与压电板2，如磷青铜和42Ni的接近。根据本实施方案，由42Ni制成的矩形材料用作金属板3，其长度是10mm，宽度是10mm，厚度是0.05mm，热膨胀系数与陶瓷(PZT等)接近。对于压电板2，使用矩形PZT板，其长度是8mm，宽度是10mm，厚度是0.05mm。

由绝缘材料，如陶瓷和树脂制成的容器10制成为矩形盒状，具有底壁10a和四个侧壁10b-10e。当形成树脂盒10时，可以优选使用耐热树脂，如LCP(液晶聚合物)、SPS(间同聚苯乙烯)、PPS(聚苯硫醚)和环氧树脂。在四个侧壁10b-10e的内周中，以环形布局形成阶梯10f。在两个相对的侧壁10b和10d内的阶梯10f上，露出作为接线端电极的一对端部11和12的内连接。通过夹物模压在容器10中形成端部11和12，其中，突出在容器10之外的外连接11b和12b被沿着侧壁10b和10d的外表面朝向容器10的底壁10a弯曲。按照本实施方案，端部11和12的内连接11a和12a分别是双叉状的。这些双叉状内连接11a和12a位于阶梯10f两端附近，同时呈张开的倒三角形。

如图3所示，在阶梯10f中，在比阶梯10f低一个阶梯的位置上形成环形支撑部件10g，用以支撑隔膜片1的外周。因此，当把将隔膜片1放在所述支撑部件10g上时，隔膜片1的上表面基本与端部11和12的内连接11a和12a的上表面高度一致。

另外，底壁10a上形成有第一发声孔10k，在侧壁10e的上边缘形成槽口101，作为第二发声孔(见图1和4)。

把隔膜片1装入到容器10内，使金属板3面对容器10的底壁10a，并将隔膜片1的四侧放在容器10的支撑部件10g上。隔膜片1的四个边角的附近被用弹性支撑材料(第一种胶)13粘接和固定。也就是说，通过用弹性支撑材料13粘接，将露出部件3a的两端附近与端部11的内连接11a之间的各中间部分，也就是说，通过用弹性支撑材料13粘接，固定露出部件3a与内连接11a之间的最短连接路径，还通过用弹性支撑材料13粘接，固定相对侧和端部12的内连接12a两端附近之间的部分。按照本实施方案，加在隔膜片1沿对角线相对的一对边角处的弹性支撑材料13是在隔膜片1的横侧方向椭圆形或卵形纵向对准的，而加在另一对边角处的弹性支撑材料13是圆滴状的，但是本发明不限于这些结构。例如可以使用固化后杨氏模量为3.7×10⁶Pa的氨基甲酸乙酯胶作为弹性支撑材料13。由于该弹性支撑材料13在固化前的粘度比如下所述的弹性密封剂15的高(例如50-120dPa·s)，因此难以铺展，当施加弹性支撑材料13时升高成钟状。在施加了弹性支撑材料13之后，将其加热并固化。

另外，作为固定隔膜片1的方法，在将隔膜片1装入容器10内之后，可以利用分配器等施加弹性支撑材料13，或者可在隔膜片1已提前涂布有弹性支撑材料13的情况下，将隔膜片1装入容器10内。

用导电胶14把由弹性支撑材料13固定于容器10的隔膜片1以及端部11和12的内连接11a和12a电连接在一起。也就是说，在以椭圆形或卵形施加在隔膜片1沿对角线相对的一对边角上的弹性支撑材料13上，按照椭圆形施加导电胶14，从而与弹性支撑材料13相交。由于弹性支撑材料13升高成钟状，因此通过绕过隔膜片1以及内连接11a和12a之间的最短连接路径而施加导电胶14。这时，需要采取措施，以防止导电胶14粘在其中未加给弹性支撑材料13的隔膜片1和内连接11a及12a之间的间隙。

例如可用固化后的杨氏模量小于0.3×10⁹Pa的氨基甲酸乙酯导电糊作为导电胶14。在施加了导电胶14之后，对其进行加热和固化。

用弹性密封剂(第二种胶)15密封隔膜片1的整个周边和容器10内周之间的空隙，从而防止了隔膜片1的上表面与背表面之间的空气泄漏。在按照环形布局施加了弹性密封剂15之后，对其进行加热和固化。按照本实施方案，比如使用固化后的杨氏模量为3.0×10⁵Pa的有机硅胶作为弹性密封剂15。

在如上所述将隔膜片1固定于容器10之后，将盖板20用胶21粘接在容器10的上开口上。由与容器10相同的材料制成盖板20。通过粘接盖板20，就在盖板20与隔膜片1之间形成了声音空间。

如上所述方式，就完成了表面安装压电电声换能器。。

当交变信号(交流信号或矩形波信号)加到设在容器10的端部11和12之间时，隔膜片1按照平面弯曲模式振动，由于隔膜片1的四侧被固定于容器10的支撑部件10g上，就产生预定的声音。所产生的声音通过在盖板20中形成的发声孔以及容器10的槽口101而传到外界。

在上面的描述中，固定隔膜片1，使金属板3面对容器10的底壁10a；但也可将其固定成使压电板2面对容器10的底壁10a。当固定隔膜片1而使金属板3面对所述底壁10a时，由于压电板2的表面电极2a和金属板3的露出部件3a是向上露出的，因此就能够利用导电胶14来简单地形成露出部件3a与端部11之间的连接，以及表面电极2a和端部12之间的连接。另外，当在表面电极2a与端部12之间连接时，如果导电胶14粘在金属板3上，就产生了不良连接；但是弹性支撑材料13进入隔膜片1和容器10之间的空隙，从而具有能够防止导电胶14粘在金属板3上的功能，就能够可靠的防止不良连接。

图6-11表示本发明第二实施方案的压电电声换能器。

这种实施方案的电声换能器适用于宽频，如压电受话器。

这种电声换能器基本包括层状结构隔膜片30、容器10和盖板20。容器10和隔膜片30之外的构造基本与图1-5所示之第一实施方案相同，因此相同的部件采用相同的附图标记，并省略其说明。

容器10与第一实施方案的容器10不同之处在于：如图8所示，只在彼此相对的两个侧壁10b和10d内形成支撑部件10g；如图9所示，在另外两个侧壁10c和10e内比支撑部件10g低的位置处形成槽10h，用于防止弹性密封剂的流动；盖板20中设有发声孔23。

如图10和11所示，通过沉积两层压电陶瓷层31和32形成隔膜片30；设置主表面电极33和34，它们分别形成于上部主表面和下部主表面上，还设置内电极35，它形成于陶瓷层31和32之间。如图11粗线箭号所示，沿厚度方向极化两个陶瓷层31和32。使上侧主表面电极33和下侧主表面电极34形成为比所述隔膜片30的侧面长度略小，它们的一端被连接至在隔膜片30的一个端面上形成的端面电极36上。因此上侧和下侧主表面电极33和34被彼此连接。内电极35基本与主表面电极33和34对称形成，内电极35的一端与端面电极36分开，同时，另一端与在隔膜片30另一个端面上形成的端面电极37相连。另外，在隔膜片30另一端的上表面和下表面上形成辅助电极38，用于与端面电极37相连。

在所述隔膜片30的上表面和下表面上形成树脂层39，用于覆盖主表面电极33和34。设置树脂层39用于提高破损强度，因此，所述隔膜片30只由陶瓷制成。在树脂层39的上表面和下表面上，在隔膜片30的沿对角线相对的边角附近形成切口39a，露出主表面电极33和34，以及切口39b，露出辅助电极38。

另外，可以在上表面和下表面之一上形成切口39a和39b；但是为了避免上部和下部方向性，如本实施方案那样，它们形成于两个表面上。

辅助电极38并非必须是具有预定宽度的宽带电极，它可以在只在与切口39b对应的位置形成。

根据本实施方案，尺寸为10mm×10mm×20μm的PZT陶瓷被用作陶瓷层31和32，并且使用厚度为5-10μm的聚酰胺酰亚胺树脂作为树脂层39。

所述隔膜片30被装在容器10内，并用四个弹性支撑材料13固定在容器10的支撑部件10g上。按照长侧边椭圆形状将弹性支撑材料13加到从切口39a露出的主表面电极33和端部11的内连接11a之间，并被加到从沿对角线与切口39a相对之切口39b露出的辅助电极38与端部12的内连接12a之间。在两个剩余位置处，也按照长侧边椭圆形来加给弹性支撑材料13。然后加热并固化弹性支撑材料13。

另外，作为固定隔膜片30的方法，在将隔膜片30装入容器10中之后，可以通过分配器等施加弹性支撑材料13；或者可以在隔膜片30已经提前涂布有弹性支撑材料13的情况下，将隔膜片30装入容器10内。

在弹性支撑材料13固化之后，在以椭圆形施加的弹性支撑材料13上按照椭圆形施加导电胶14，以与弹性支撑材料13相交，从而使主表面电极33和端部11的内连接11a连接在一起，并使辅助电极38和端部12的内连接12a也被连接在一起。也即通过绕过隔膜片30以及内连接11a和12a之间的最短连接路径而施加导电胶14。在施加了导电胶14之后，对其进行加热和固化。

在施加导电胶14并被固化之后，向所述隔膜片30与容器10内周之间的空隙施加弹性密封剂15，以密封该空隙。这时如图9所示，弹性密封剂15被容纳在侧壁10c和10e内形成的槽10h内，从而弹性密封剂15不会向底壁10a流下。因此所述隔膜片30与容器10被可靠的密封在一起。

在本实施方案的电声换能器中，通过向端部11和12之间施加预定的交变电压，隔膜片30可以弯曲振动。在与电场相同的方向被极化的压电陶瓷层在平面方向收缩，而在与电场相反的方向被极化的压电陶瓷层在平面方向膨胀，从而整个结构在厚度方向弯曲。

按照本实施方案，由于隔膜片30是沉积的陶瓷结构而没有金属板，并沿厚度方向顺次设置两个振动区域沿着彼此相反的方向振动，从而与单压电晶片型隔膜片相比，可以获得较大的位移，也就是较大的声音压力。

按照第二实施方案，在容器沿着整个长度的两侧中形成支撑部件；另外，如图12所示的容器10，可以在四个边角处形成支撑部件10i。在这种情况下，隔膜片30的四个边角被用弹性支撑材料13固定于支撑部件10I上。通过以这种方式只在边角处支撑所述隔膜片30，可以降低共振频率，从而可以提高在低频范围内的声音压力。

另外，在图6和12中，图中省略了在侧壁10c和10e中形成的小宽度的阶梯10f和槽10h(见图9)。

本发明不限于上述实施方案，可以在本发明的精神和范围内进行改进。

例如，通过沉积两个压电陶瓷层而制造隔膜片30；或者可以通过沉积三个或多个压电陶瓷层来制造。

隔膜片1和30可以是方形或矩形中的任何一种。

按照第一实施方案，其中作为示例的是，以压电板被粘接在金属板的一个表面上的单压电晶片型隔膜片；但是可以使用双压电晶片型隔膜片，其中压电板被粘接在金属板的两个表面上。

按照这种实施方案，在比接线端电极的内连接低一个阶梯的位置处形成容器的支撑部件，从而被容器的支撑部件支撑的隔膜片以及内连接处于基本相同的高度；或者容器的支撑部件和内连接可以是同样的，从而在其上固定隔膜片。

本发明的接线端电极不限于有如实施方案中的夹物模压的的端部；它可以是比如从容器的支撑部件向外延伸的薄膜或厚膜的电极。

按照这种实施方案，作为第一胶层(弹性支撑材料)，可以使用比第二胶层更难铺展的材料；但也可以使用同样的材料。

施加第一胶层的位置可以不限于部分地施加了胶的隔膜片的四个边角附近，所述的胶可以连续地被施加至隔膜片沿整个长度的两个相对侧。

施加导电胶的位置不限于隔膜片沿对角线彼此相对的两个边角，该导电胶可以施加在任何位置，只要能用于向外延伸隔膜片的电极即可。

本发明的容器不限于有如实施方案所述具有凹形截面并且盖板粘接在其上表面的容器。

Claims (8)

1.一种压电电声换能器，包括：

方形压电隔膜片，具有电极，并当在电极之间施加交变信号时沿板厚度方向产生弯曲振动；

矩形绝缘容器，具有设置在容器侧壁内部的用于支撑压电隔膜片的支撑部件；

接线端电极，具有露出于支撑部件附近的内连接和露出于容器外表面并与内连接电连接的外连接；

第一胶层，加在连接压电隔膜片与内连接的最短路径上，所述最短路径位于压电隔膜片外周与内连接之间，从而将压电隔膜片与容器固定；

导电胶层，用于电连接压电隔膜片的电极和接线端电极的内连接，经由第一胶层的上表面通过绕过压电隔膜片和内连接之间的最短连接路径将所述导电胶层加在压电隔膜片的电极与内连接之间；以及

第二胶层，用于密封压电隔膜片的外周和容器内周之间的缝隙，

其中第一和第二胶层固化后的杨氏模量比导电胶的小。

2.如权利要求1的换能器，其特征在于，所述第一胶层在固化前的粘度比第二胶层的高，从而难以铺展。

3.如权利要求1的换能器，其特征在于，所述第一胶层被部分地加到压电隔膜片的四个边角处附近。

4.如权利要求3的换能器，其特征在于，所述导电胶被加在压电隔膜片的四个边角的至少两个的附近。

5.一种制造压电电声换能器的方法，包括如下步骤：

制造方形压电隔膜片，在电极之间施加交变信号时，它沿板厚度方向产生弯曲振动；

制造矩形绝缘容器，它具有设在容器侧壁内部的支撑部件，用以支撑所述压电隔膜片，并制造接线端电极，它具有露出于支撑部件附近的内连接和露出于容器外表面并与内连接电连接的外连接；

将第一胶层加在连接所述压电隔膜片和内连接的最短路径上，所述最短路径位于所述压电隔膜片外周和内连接之间，从而通过固化第一胶层而使压电隔膜片与容器固定；

经由第一胶层的上表面通过绕过压电隔膜片和内连接之间的最短连接路径将导电胶层加在所述压电隔膜片的电极和内连接之间，从而经固化导电胶，而使所述压电隔膜片的电极和接线端电极的内连接电连接；以及

将第二胶层加到所述压电隔膜片的外周和容器内周之间的缝隙，从而通过固化第二胶层，而将这两个周边之间的缝隙密封，

其中第一和第二胶层固化后的杨氏模量比导电胶的小。

6.如权利要求5所述的方法，其特征在于，所述第一胶层在固化前的粘度比第二胶的高，从而难以铺展。

7.如权利要求5的方法，其特征在于，所述第一胶层被部分地加到所述压电隔膜片的四个边角处附近。

8.如权利要求7的方法，其特征在于，所述导电胶被加在所述压电隔膜片的四个边角的至少两个的附近。

Images