CN1183062A - 清洁装置和清洁方法 - Google Patents

Abstract

一种用于清洁超净室、半导体制造厂、药物制造装置中各种表面的清洁包(101)。超净擦拭巾叠层体(14)与清洗液的容器(100)一起包装在一个不渗透液体的外容器(18)中。该清洁包一直贮存到使用之前。将清洗液从内容器(100)中释放到擦拭巾上。在一个实施例中,清洗液最好由可操作的刺穿装置(102)将其从内容器(100)中释放到擦拭巾(14)上,该刺穿装置通过在外容器(18)外侧的有限面积上施加压力而刺穿内容器(100)的一个壁。该刺穿装置与包装袋的边缘隔开一定距离,以便尽可能减少偶然刺穿的可能性。使清洗液浸透擦拭巾,在使用时从外容器(18)中取出擦拭巾(14)。在包装袋打开之后可以将其重新密封以保护擦拭巾。此装置和方法可以尽量减少擦拭巾材料因与清洗液长期接触所造成的变质,并可以尽量减少如生物杀伤剂等物质的功效损失,这些生物杀伤剂在与擦拭巾材料长期接触时可能变质。

Description

清洁装置和清洁方法

本发明涉及清洁装置和清洁方法，具体涉及用于清洁“超净室”、半导体制造厂、药物制造间以及其它必须保持超纯净的地方和环境的清洁装置和清洁方法。

本专利申请是1995年3月10日提交的美国专利申请序号08/402113的部分继续申请。

半导体制造的超净室、药物制造间和类似场所中对于保持其清洁度的要求是非常严格的。

在制造半导体的超净室中，必须经常用超纯净的擦拭巾和清洗液擦拭各有关表面以防污染。将被控制的这种污染物通常称作“微量污染物”，因为这种污染物是由有形的细小污染物组成，例如大小在细菌和病毒尺寸之间的微粒污染物，以及例如一般以百万分之几或十亿分之几计的极低浓度的化学污染物。

这样的污染物通常有三种类型：粒子式的、离子式的和作为从擦拭巾纤维中浸出的杂质“提出物”  (“extractables”)。

要提高生产率并获得可靠的半导体器件，尺寸在100μm或更小的松散粒子是最令人担忧的。因此利用在这种超洁净室中的擦拭巾和清洁用材料只应当散发出数目尽可能少的松散粒子。

同样，离子和“提出物”也会干扰制造半导体的严格工艺，因此必须将其量减至最小。

过去是用一种特别制造的基本上不会散发松散粒子的布来满足这种要求，这种布在用清洗液浸湿后擦拭待清洁的表面时可以保持其结构的整体性。

这种擦拭巾通常装在密封的容器、例如柔性塑料袋中，这种袋可以打开，取出擦拭巾，随后再密封。然后将装在独立容器中的清洗液涂敷到取出的擦拭巾上，用擦拭巾进行擦拭。

上述方法的问题是必须贮存大量的有时是危险的化学溶剂并将这种溶剂涂敷到擦拭巾上。这样可能会引起事故或造成有害于工人健康的工作环境。

另一个问题在于，当工人将独立容器中的清洗液涂敷到干的擦拭布上时，清洗液通常不是倒得太少就是倒得太多，太少则不利于擦净，太多又造成过饱和和浪费。

针对后一问题，现在已开发出预先浸透清洗液的擦拭巾并已在市场上成功地出售。这种擦拭巾预浸有不等数量的清洗液并装在一个可再密封的塑料袋中，直到需要用时才取出。取出时，将袋打开，取出一块或多块擦拭巾，然后将袋子重新封上。如此重复直到用完这一袋。

本发明的发明人已经认识到，装有这种预浸透擦拭巾的塑料袋在使用之前常常可能已贮存了很长的时间，例如几个月或甚至几年。在贮存期间，清洗液和擦拭巾材料处于彼此直接接触的状态。这常常导致擦拭巾材料中的纤维的降解，因而造成在使用时擦拭巾散发的污染物量显著高于它最初装在袋中时所能散发的量。可以认为，由于清洗液和擦拭巾的长期接触，降低了将微粒保持在纤维上的约束力，并使释放出的离子和提出物的量增加。

另外，例如在一些擦拭巾包装袋的可再密封装置中，常利用粘合剂将塑料包装袋的各部分固定在一起，此时，粘合剂会因与清洗液长期接触而退化。本发明人已经注意到，这便限制了对所用粘合剂的选择。

在清洗药物制造间或其它医用装置时，其中一个问题在于要保持预浸透擦拭巾中所含生物杀伤剂的有效性。本申请人已经认识到，生物杀伤剂会因其与擦拭巾材料的长期接触而导致其功能退化。

本发明的目的是去解决或缓和上述问题，具体而言，要求提供一种超净的清洁用涂抹巾或擦拭巾，这种擦拭巾仅在使用之前才加上清洗液，而不会有在现场从贮存用的独立容器中倒出清洗液的危险。

具体地说，本发明要求提供这样一种用于清洁超净室和药物制造间等的擦拭巾和使用该擦拭巾的方法，其中的清洗液在加到擦拭巾上之后便立即使用，从而可防止擦拭巾和清洗液长期接触。

按照本发明，提供了一种清洗包来达到上述目的，该清洗包包括：一个不渗透液体的外容器，该外容器包括至少一片且优选的多片清洗用涂抹巾或擦拭巾；以及装在内容器中的清洗液。内容器和外容器最好是塑料袋，而该包最好包括多个擦拭巾。设置有用于将装在外袋内的内袋破开的装置，以便释放出内袋中的清洗液来供擦拭巾吸收。内袋最好是易破裂的。

在使用上述包的清洁方法中，该包与密封在内容器中的清洗液一起贮存到需要使用时。为将清洗液加到擦拭巾上，最好用手通过外容器的材料向内容器施加压力以将内容器戳穿并使清洗液释放到擦拭巾上。此时，擦拭巾便吸收清洗液，然后打开包装容器，取出一片或多片擦拭巾而用于擦拭有关的表面。

外袋最好重新封上，以免留在袋中的擦拭巾受到污染并且尽量减少清洗液的蒸发。

采用这种清洗包和清洁方法可以大大减少清洗液和擦拭巾材料彼此接触的时间，因此可以减少产生额外污染的机会或减少清洗液变质的可能性。

按照本发明的另一方面，为将清洗液贮存在清洁包中，提供了独特的易破裂容器。这种易破裂容器最好是由抗袋中所含清洗液腐蚀的材料制成的柔性塑料袋。该袋具有在用手加压时将会破裂的弱化区域。该区域使得从袋中流出的清洗液可以流到由装在外袋中的擦拭巾快速吸收的最有效位置。

易破裂袋沿其边缘最好至少有一条接缝。通过使接缝一部分的强度低于它其余部分的强度而形成弱化区域。

按照本发明的一个较优选的方面，将袋子材料两个相对边缘表面粘接在一起的热敏粘合剂形成接缝，并使得在接缝一部分上施加的热量小于在接缝其余部分上施加的热量，以便形成弱化区域。或者可通过减小接缝宽度或粘合剂涂敷宽度来形成弱化区域。

按照本发明的另一特征，在清洗包中配置多个易破裂的塑料容器，各个容器具有自己的弱化区域，袋相对于擦拭巾的位置配置成可以达到最大的清洗液吸收速度。在本发明的一个实施例中，借用一对塑料片制成两个单独的易破裂隔间，这对塑料片利用沿边缘的接缝和中央接缝固定在一起。或者，也可以采用一些独立的易破裂袋。

各个易裂袋的弱化区域的强度最好足以承受施加在袋子大面积上的大的压力，但在相对小面积、例如用手指节或钝器所覆盖的面积上施加压力时，则容易破裂。

按照本发明的又一方面，液体容器最好是包含刺穿装置的柔性塑料袋，在用手加压时，该刺穿装置能刺穿袋子的壁。这样便可使清洗液从袋子流出到有利于擦拭巾快速吸收的最有效位置。

刺穿装置最好包括一片平的塑料板，该板具有多个从其一侧伸出的凸出部或钉子。该板用塑料例如用不为大多数清洗液所渗透的聚乙烯制造，上述凸出部或钉子分布在大面积上，以便使擦拭巾叠层能达到吸收清洗液的最大速度。

刺穿装置最好制成显著小于擦拭巾叠层体的形式，并使其位于擦拭巾叠层体外边缘的内侧，以防止按通常方式抓住袋时作用在袋子外边缘上的压力突然地刺穿液体容器。外袋被抽成真空，以使内袋牢靠地固定在擦拭巾叠层体的中央位置。真空密封的结果也对内袋施压，并且使液体能较快的流出内袋。

由于作用在容器大面积上的压力不能刺穿容器，也就减小了偶然刺穿液体容器的可能性。但通过指节或其它钝器作用在相对小面积上的压力将会导致所要求的刺穿。另外，刺穿装置漂浮在清洗液中，其上的钉子通常情况下不接触容器的底部。

通过下述说明和附图可以明白或理解本发明上述的其它目的和优点。

附图描述

图1是按照本发明构造的清洁包的局部剖开的透视图；

图2是图1所示清洁包倒转后的透视图；

图3是沿图1中的3-3线截取的示意性部分截面图；

图4是图1所示清洁包的外容器中的内含物的平面图；

图5是本发明又一实施例的局部透视图；

图6是本发明另一实施例的透视图；

图7是沿图6中7-7线截取的截面图；

图8是图6和7所示装置一部分的底视平面图；

图9是示出本发明清洁包的另一实施例的局部剖开的透视图。

图10是沿图9中10-10线截取的截面图；

图11是图9和10所示清洁包一部分的顶视平面图；

图12是图9～12所示带孔板上的一个钉子的放大主视图。

清洁包

图1示出按照本发明构制的清洁包10。

清洁包10包括图中已部分切去的外容器12、长方形涂抹巾或擦拭巾的叠层体14和放置在擦拭巾顶部的装盛清洗液的易破裂容器16。

外容器12是柔性塑料袋，采用能抵抗容器16中所盛装清洗液腐蚀的材料制成。该外容器是不渗透空气和液体的，它由在一侧形成底壁的第一片材18和在相对侧形成顶壁的第二片材构成。片材18和20是塑料片，沿接缝26粘接在一起，形成不渗透空气和液体的容器。

如图2所示，在该图中，图1所示的清洁包被倒转过来，外容器12的顶壁20在靠近其一个边缘处具有细长出口22。该出口通常用涂覆有压敏粘合剂的塑料条24封闭，但该条的一个端部25未涂覆粘合剂，以便使用者可以随意抓住。为打开出口，使用者抓住拉片25，往反向剥离条24即可，随即便能通过此出口22取出一片或多片擦拭巾14，然后压下活盖24重新封闭该开口，这样便可以防止剩下的擦拭巾受到污染。

最好从袋12中抽出大部分空气，使得袋的材料与擦拭巾14的叠层体和容器16紧密接触。这有利于使易破裂容器破裂，并易于使该容器相对于擦拭巾14保持在优选的位置。

易破裂容器

易破裂容器16示于图3、4以及图1。它最好包括两柔性塑料片，该塑料片沿边缘36、38、40和42(图4)和中央条44密封在一起。这样便形成两个单独的隔间28和30，每个隔间事实上构成一个单独的易破裂袋。

按照本发明的一个方面，每个袋具有弱化区域，弱化区域被设计成在袋受压时可以破裂。破裂的结果使清洗液流到擦拭巾上，而流到擦拭巾上的位置则是浸湿擦拭巾所需时间最少的位置。

最好用热敏粘合剂粘接接缝36、38、40、42和44，并且通过在每个隔间的一个区域、即在两个区域46和48上减小塑料片之间的粘合强度，由此来形成弱化区域。该区域46、48大约位于擦拭巾14的横向中心线66上，如图所示。

形成各个弱化区域46和48的方法是通过在这些区域加热形成接缝的粘合剂，而形成此接缝的方式则不同于形成袋16其余接缝的方式。例如，使区域46和48的加热温度和/或压力或时间低于或少于其余接缝的加热温度、压力或时间。

或者，为达到所要求的弱化程度，和其余的接缝相比较，可以减少在各个区域46和48上接缝宽度或涂覆粘合剂的宽度。

最好是将弱化区域46和48的强度设定在这样的水平，即：弱化区可以承受在相当大的面积上作用在袋子28和30的顶部的压力，而当压力作用在相当小的面积上时弱化区便裂开。

按照本发明的一个方面，当压力作用在相当小的面积52(见图3和4)上时，各个袋子较易破裂。用手可以施加足够大的压力。用手施加压力的方法是：将清洁包10放在平的表面68例如一个台子上，使顶壁20面朝下。使袋子28和30向上凸出，如图3所示。各个袋子盛装一定量的清洗液32或34。

然后用一个手指的指节50简单地向下压在区域52上，由此可以施加足以使区域46或48的接缝破裂的压力，在接缝中形成裂缝58(图3)，该裂缝使清洗液从容器30中流到位置54。

图3示出用指节50下压的区域52，该区域看起来是在清洁包的横向中心线上。实际上，如图4所示，该区域52靠近袋子30的一端。这表明了本发明的一个特点，即压力作用在袋28或30上的位置是无关紧要的；任何情况下，袋子将在正确的位置破裂。

为说明各个袋子28和30抵抗所不需要的破裂性的能力，已经发现，许多人用手掌施加压力就不能使袋子破裂，但用一个指节或其它一些钝器施加压力时该袋便容易破裂，用指节或钝器可以将力施加在小区域上而又不会刺穿袋。

从袋30逸出的清洗液在位置54处被吸收，然后从区域54扩散到下面和侧面，如图3和4中的箭头所示，直到清洗液浸透整个擦拭巾的叠层体。

同样，在容器28的相当小的表面积上施加压力将使容器在接缝48处破裂，并使清洗液32流入区域56，然后从该区域向下面和侧面扩散，从而有助于使清洗液浸入擦拭巾。

如图4所示，清洗液流出的区域54和56优选地位于擦拭巾叠层体的横向中心线66上、靠近线62或64，该线62或64大约在擦拭巾叠层体的垂直中心线60(图3)与此叠层体右边缘和左边缘之间的中央。这就保证了清洗液可以很快地分布到擦拭巾中。

应当明白，清洗液可能从袋28和30的开口处喷射出来，因此可能流到外袋12的侧面。这样就会改变清洗液被吸收时的流动路线，但是这可以加速吸收过程。

在袋28和30已破裂之后，使用者可简单地将清洗包10放在图3所示的位置上一段时间，直到清洗液已分布到整个擦拭巾的叠层体中。

然后使用者将包装袋翻转成图2所示的位置，将条24往后拉，通过开口22露出擦拭巾叠层体的边缘，随后取出一片或多片擦拭巾以供使用，并将粘合剂的活盖重置于开口22上以保护剩下的擦拭巾。

有利的是，因为外袋12已经从图1所示的位置翻转过来，所以目前空的清洗液袋28和30便位于擦拭巾叠层体的底部，在此位置它们不会妨碍从包装袋中取出擦拭巾。

在要处理包装袋时，上述配置形式还具有另外的优点。因为空的袋28和30仍留在外容器12中，这样便可以简便地同时扔掉所有的包装袋，而不必对袋28和30进行任何处理。

如上所述，从外袋12中抽出大部分空气后，可以使袋28和30保持在相对于擦拭巾叠层体14的所要求位置。或者，可以将粘合剂涂覆在袋28和30的外表面上，使该外表面与外袋壁18的内侧接触，从而使袋28和30固定而不能移动，由此保证它们在破裂时的正确位置。

可供选择的实施例

增加所用易破裂袋的数目可以进一步增加吸收清洗液的速度，因而可进一步减小清洗液在浸透所有擦拭巾时需要流过的距离。

例如不用两个袋28和30而采用各自具有其自身弱化区域的四个袋。并将清洗液流出点设置在图4所示的叠层体14的顶部和底部边界之间的空间上，例如图3所示的配置在两个侧部边界之间一样。也就是说，两个流出点在横向中心线66和上边缘的中间，而另两个流出点在横向中心线66和叠层底边缘的中间。

图5示出袋28和30的另一种结构。在该结构中不用两个单独的塑料片而只用一个塑料片，该塑料片与形成外袋12之底壁的塑料片18联用。这样便节省了塑料并可以保证袋相对于擦拭巾固定就位，因而可以保证清洗液正确地分布到擦拭巾中。

另外，使用者可以更清楚地看出袋的轮廓，这是因为形成接缝36、38、40、42和44的粘合剂将在外袋底部18的外表面上形成淡淡的轮廓线。

在将塑料片18固定到片20上以形成袋12之前，袋28和30最好形成为一个口袋，留一个开口边缘以便注入清洗液。口袋充满后再封闭，然后将片18固定到片20上，形成袋12。

为便于使用者明显看到易破裂的袋，外袋12的底壁18可以做成透明的。

图6至8示出本发明的另一实施例。

图6和7示出清洁包70，它类似于前面附图所示的清洁包。然而该清洁包将清洗液从盛装它的一个或若干内袋中释放到擦拭巾叠层体14上的装置是不同的。

在图6和7所示的实施例中，沿外容器12侧壁18的一个边缘形成细长的可再封闭的开口72。此开口代替了图2所示袋子在另一表面20上的开口。

装清洗液的内袋由已穿孔的塑料板78形成，该板的边缘则通过接缝80和82以图5所示方式固定在外袋的壁18上。板78具有多个分散在其大部分表面上的相当小的孔86。

粘合剂密封条88盖住孔86，防止清洗液84在需要释放它之前从内容器中漏出。

条88仅在某些区域98(图8)涂覆有粘合剂。区域90、96和92则未涂覆有粘合剂。未涂覆粘合剂的条部分在90处折叠，条92的端部从擦拭巾叠层体稍稍向外伸出，如图7所示。这样使用者可抓住条92的端部92，沿图8箭头94所示的方向撕拉粘合剂条，以便将其从清洗液容器底部剥离下来，从而通过孔86释放出清洗液以供擦拭巾14吸收。

因为孔86的数目多，所以清洗液84能以相当快的速度分布到擦拭巾叠层体内。因而擦拭巾吸收液体相当快。在清洗液渗入到擦拭巾的相当短的时间后，便可通过开口72取出擦拭巾以供使用。随后采用如图2所示的处理条24的方式将粘合剂条74往下压，使开口72重新封闭。

由于装清洗液的袋与外容器12的上壁18形成整体，所以该袋在使用后并未处在取出擦拭巾的通道中，并且该袋同壁18本身一样都不会妨碍取出擦拭巾。

如图7所示，应当理解，为使附图清晰起见，表面96、78和擦拭巾叠层体14的上表面在图中是单独示出的。实际上它们被压在一起，并且清洁包70要比图7示出的薄一些。

如果希望将单独一个内容器按图1-5所示实施例的相似方式分成若干容器，则应使各分开的容器与其平行于箭头94方向的纵轴准直。然后对每个分开的袋贴上单独的粘接条。和单独一个宽条相比，这些较窄的粘合剂条更容易撕去。

在另一实施例中，可采用撕裂条(未示出)来撕开类似于图6-8所示袋子的袋子底部。该撕裂条具有用手抓住的端部，该端部和图6-8所示端部92一样。

优选实施例

图9-12示出本发明的优选实施例。

图9和10所示的清洁包101与图1所示的清洁包10相同，但内袋或容器100不是易破裂的。袋100是普通塑料袋，沿袋的整个四周是常规的加热密封103。袋100中除清洗液32之外还包括刺穿装置102(图10)。

如图9-11所示，刺穿装置102包括塑料板，从该板的一侧伸出多个凸出部或钉子106。图12是其中一个钉子106的放大视图。每个钉子106都呈圆锥形，其端部是尖的。钉子106配置在离开板中心向外一定距离的圆周上。该板的边缘做成如图所示的花边104。

刺穿装置102最好用抗清洗液腐蚀的塑料如聚乙烯材料模制而成。

以下述方式使用清洁包101。将其中装有擦拭巾叠层体14的外容器18放在平的表面68(图10)上，刺穿装置102是这样被致动的，即：通过使用者在有限的面积上施加压力，例如用手指108或拇指大约在外包装袋的中心往下压此袋。这就对刺穿装置102施加了往下的压力，因而钉子106刺穿袋100的底壁，清洗液32流入擦拭巾的区域100(图10)，随后该清洗液被吸收到擦拭巾内。

由于袋100基本上比擦拭巾14小，而钉子106又配置在板外边缘的内侧，所以可防止清洗包101被偶然地刺穿。这样，在外容器18的边缘和刺穿板的边缘之间便形成一大段距离。因此当人们抓住包装袋的边缘时，拇指不会偶然地将板压下而造成所不希望的刺穿。

外袋18最好真空密封。这使得内袋100可以保持在擦拭巾叠层体14的中央位置。

由于作用在袋100大部分表面积上的压力不能将大到足以产生刺穿的压力传送到袋的内部，所以可以防止发生不希望的偶然刺穿。然而，当用指节、手指、拇指或钝器施加压力时，便可形成足够的压力。因此在运输期间把清洁包一个接一个重叠起来时同样不可能发生偶然的刺穿。

刺穿装置102最好漂浮在袋100盛装的清洗液32中。因此，当包101按图10所示放置时，该装置通常浮在袋100的底壁的上方。据信这有助于防止偶然的刺穿。

形成刺穿装置的板的形状可以变化而不改变本发明的特征。例如，其上伸出钉子106的板可以为如图11中虚线107所示的大致圆形。方形或其它几何形状也是可行的。

在已经制成和测试合格的清洁包中，袋100是方形袋，每边为7.5英寸长；外容器18是方形袋，每侧为11.5英寸长；刺穿板的最大直径为5.5英寸，板的厚度为0.08英寸。

参照图12，每个钉子106的长度L约为0.35英寸，每个钉子的底部宽度W约为0.25英寸。可以尽量减小每个钉子的长度，这样就能减少偶然刺穿的可能性并且基本上不损害钉子刺穿袋100的能力。

如上所述，外袋18最好用真空密封；也就是说，外袋中至少抽去部分空气。当本发明采用这种真空密封时会带来若干优点。

真空密封的一个优点是，袋100可以在中央位置紧紧地靠着擦拭巾，从而在运输和搬运期间它不会从包装袋的一侧移到另一侧。这便防止了刺穿用圆盘件过分地靠近包装袋的任何边缘，因而有助于避免发生偶然刺穿。

真空密封的另一个优点是，袋100中的清洗液受到真空的加压作用，所以清洗液可以更快地流过由钉子106刺穿袋100的底壁所形成的孔，这比不采用真空密封时的情形快得多。这也加快了擦拭巾14对清洗液的吸收，它比不施加真空时快得多。

另外，真空密封可使各擦拭巾彼此紧紧地靠紧，使得它们之间不会发生摩擦。这可以防止松散粒子数目的增加。当擦拭巾之间发生磨擦时，擦拭巾会产生松散粒子。

袋100最好用普通加热密封法制作，这样可使其制造成本相当低。刺穿装置如同清洁包中的其它材料一样也是相当便宜的，并且可以是生物降解材料。

这就是说，清洁包101的制造成本相当低而且容易使用，它可以在擦拭巾使用之前才浸湿该擦拭巾，因而可以防止清洗液和擦拭巾之间长期接触的有害作用。

擦拭巾

在本说明书中所用的术语“涂抹巾”或“擦拭巾”是指适合用于超净室等清洁表面上的干净织物。

这种涂抹巾或擦拭巾与织物或类似材料的区别在于，它们是超净的；并且当用清洗液浸透或饱和后用于擦拭表面时，它们具有相当高的吸温度和结构整体性。

众所周知，为将清洗液分布到整个擦拭巾内而不留下任何干燥区，必须将一定的最少量清洗液施加到擦拭巾叠层体上。此最少量随所用擦拭巾的类型、所用清洗液的类型和其它因素而改变。但是，它的一般量可以是达到完全饱和时所需量的20％-40％。

通常，当把超净室用擦拭巾作加湿清洁使用时，其饱和度基本上低于100％，通常是在40％-70％的范围，以便当该擦拭巾压在相应表面上时能释放出溶剂，而在松开压力时它又能重新吸收液体，使得在此表面上基本上不留下残余清洗液。

与此相反，在药物制造装置中，常常要求在表面上留下一层液体生物杀伤剂以确保达到最大的杀菌效果。因此，常常要求包含生物杀伤剂的清洗物质能使这种擦拭巾完全饱和。

在易破裂袋28和30中清洗液总量至少等于浸湿所有擦拭巾所需要的最小量，并可以超过达到完全饱和所需量的100％。

用在例如制造半导体超净室和药物制造装置等敏感区域的纯净织物，对某些特性要进行仔细地选择，例如粒子散发量、离子物质量、吸收能力、对所用清洗剂的腐蚀或降解的抵抗能力以及是否会被生物杀伤剂侵蚀或降解。

已成功用于这些方面的一些擦拭巾织物包括如下的针织物、织造织物和非织造织物：

1. 100％聚酯或尼龙，最好用连续的复丝纱织成。一般的产品是由新泽西州Upper Saddle River市的Texwipe Company LLC公司以商标“AlphaWipe”、“AlphaSorb”和“Alpha10”，或“MiracleWipe”出售的。也可以使用织造的聚酯或尼龙织物。

某些这种织物以图4编号70示意出的方式沿边缘密封，这种织物已在美国专利No.4 888 229中更详细地说明。

2. 100％纺粘聚丙烯、这种织物的纤维无序排列，通过加热或化学作用粘合在一起。这种结构的一般产品由Texwipe Company LLC公司出售，其商标为“PolySat”。

3. 55％纤维素纤维和45％聚酯纤维或100％聚酯，用水解缠结法接合到一起。一般产品是Texwipe的“TechniCloth”产品。

4. 100％聚氨酯泡沫。

5.用人造丝、丙烯酸类纤维、马尼拉麻(例如由Texwipe出售的、“M-Wipe”擦拭巾)、大麻纤维、棉花等制成的其它织物。

清洗液

适合用作本发明的清洗液实际上包括能够用于清洁目的的任何物质。能够用在本发明中但有时由于与擦拭巾材料长期接触而造成问题的一些清洁物质列举如下。

1.去离子水。这种水比普通水更具腐蚀性。而且，如果这种水与擦拭巾材料长期接触则有繁殖细菌的危险。

可以在这种水中加入杀菌剂。然而在与擦拭巾材料长期接触时它有时会失去作用。该杀菌剂还可能将污染物引入到清洗液中。

2.生物杀伤剂和水。

3.水和乙醇，特别是和异丙醇(“IPA”)的混合物。可以使用6％(或更低)～100％异丙醇的溶液。

4.水和例如丙二醇醚等二醇醚的混合物。活性组分的浓度在3％～100％之间变化，但正常范围在3％～6％。一般产品由Texwipe公司出售，商标为“TexPure”。

5.纯度100％的丙酮。丙酮是极易挥发的并可能腐蚀某些粘合剂。

6.水和洗涤剂和/或表面活性剂的混合物，其中加或不加生物杀伤剂。

7.用于清洁光学平面的、包括氨水及例如氢氧化钠溶液等其它碱性溶液的玻璃清洁剂。

8.过氧化氢加水。常用35％的溶液，加有稳定剂。

9.各种有机溶剂。

10.松节油，松节油在外容器上与密封粘合剂长期接触时常会溶解粘合剂，因此在制造产品时要选择粘合剂。

11.酸(弱酸)

12.漂白液，例如次氯酸钠和水的溶液。

袋的材料。

制造易破裂袋16和外袋12的材料应能抵抗清洁包中所装清洗液的腐蚀。例如聚丙烯可以抵抗广范围的各种清洗剂的腐蚀，因此是一种优选的材料。聚乙烯同样也是合适的材料。

另外，特氟隆(聚四氟乙烯)在其较高价格可被接收的情况下也可以使用。

清洁包中擦拭巾的数目

在一个具体的清洁包中，擦拭巾叠层体14的厚度可以从一片擦拭巾的厚度变化到多片擦拭巾的厚度。然而在清洁包中擦拭巾的数目越多，擦拭巾吸收清洁液所需的时间也就越长。因此具体清洁包中的擦拭巾数目要取决于清洗液、擦拭巾和在使用擦拭巾前释放清洗液之后使用者原意等待的时间。

通常对于上述具体描述的大多数擦拭巾，一个清洁包含有50片擦拭巾可被认为是受到最广泛接受的。在用于超净室时，上述这个量一般可以用到一天至两周。但是，如果需要，也可以在一单个清洁包中装入几百片擦拭巾。

在约50片擦拭巾和一般清洗液的情况下，完全吸收清洗液需等候的时间在5分钟左右。在某些情况下所需时间也可能长达20分钟之久。

当然，如果擦拭巾的数目较少，则吸收可能很快。

例如可以用包括较少数量的、例如1～5片擦拭巾的清洁包，以用作急用清洁包。这种清洁包可以很快启用，因而擦拭巾数目少而不需要很长的浸湿时间。

增加分散到擦拭巾中的清洗液量可以进一步增加启用擦拭巾的速度。虽然擦拭巾可能稍许被清洗液过载，但对于快速地应付紧急使用的临时措施，这是可以接受的。

应当明白，还可设计出从内容器中释放出清洗液的其它各种装置而不违背本发明的基本构思。

本发明的上述说明意在解释而不是限制性的。本领域的技术人员可以对上述实施例作出各种变化和改型。可以进行这种变化和改型而并不脱离本发明的精神和范围。

Claims (51)

1. A.清洁包

   1.一种清洁包，该清洁包总体地包括：不渗透液体的第一容器，位于上述第一容器中的至少一片清洁用涂抹巾，位于上述第一容器内的不渗透液体的第二容器，位于上述第二容器中的清洗液，上述第二容器尽管配置在所述第一容器中，但它是可开启的，以便从该第二容器中释放出清洗液以供所述涂抹巾吸收。
2. 2.如权利要求1所述的清洁包，其特征在于，通过经所述第一容器的壁向所述第二容器施加压力而使所述第二容器裂开。
3. 3.如权利要求1所述的清洁包，它包括多片所述涂抹巾，其特征在于，制成所述每个容器的材料能抵抗所述清洗液的腐蚀；所述第一容器具有可重新封闭的开口，通过该开口可以取出所述涂抹巾。
4. 4.如权利要求1所述的清洁包，其特征在于，所述清洁用涂抹巾是超净室用的擦拭巾，该超净室需要采用在使用过程中产生污染物量非常小的擦拭巾，当所述清洗液与该涂抹巾保持长期接触时，该清洗液可增加由该涂抹巾产生的污染物量。
5. 5.如权利要求1所述的清洁包，其特征在于，所述清洗液选自下列一组物质，该组物质包括：去离子水，乙醇，水和乙醇的混合物，丙酮，水和二醇醚的混合物，水和生物杀伤剂的混合物，水、洗涤剂和/或表面活性剂、加或不加生物杀伤剂的混合物，过氧化氢和水的混合物，松节油，氨水和水的混合物以及漂白剂和水的混合物。
6. 6.如权利要求1所述的清洁包，其特征在于，它包括多片涂抹巾，该涂抹巾是超净室用擦拭巾，所述第二容器在一预定位置具有弱化区域，从而所述第二容器是易破裂的，该第二容器位于与所述擦拭巾相关的位置，从而从该第二容器中流出的液体将会比较快速地由所述擦拭巾吸收。
7. 7.如权利要求1所述的清洁包，其特征在于，所述涂抹巾是超净室用擦拭巾，该清洁包包括位于所述第一容器中的多片擦拭巾以及多个所述第二容器，每个第二容器包括一个在预定位置带有弱化区域的易破裂袋，所述位置处于与该擦拭巾有关的位置，从而所述液体被所述擦拭巾吸收的速度被尽可能增大。
8. 8.如权利要求1所述的清洁包，其特征在于，所述涂抹巾由选自下列一组织物中的织物制成，该组织物包括：针织物、织造织物，包括纺粘织物的非织造织物，水解缠结织物和泡沫。
9. 9.如权利要求1所述的清洁包，其特征在于，所述第一容器具有可重新封闭的开口，一个开口装置连接于所述第二容器并具有一个用以打开该第二容器的牵拉片，而该开口装置位于该第一容器内响应于作用在所述牵拉片上的拉动，所述牵拉片可从所述第一容器的外侧经所述开口达到。
10. 10.如权利要求9所述的清洁包，其特征在于，所述第二容器具有多个间隔开的孔和一个覆盖该孔的阻挡件，该孔配置在一个壁上以向所述涂抹巾的较宽面积上配送液体，通过拉动所述牵拉片使所述阻挡件从覆盖所述孔处移走。
11. 11.如权利要求1所述的清洁包，其特征在于，所述涂抹巾是极度清洁的擦拭巾，该清洁包包括多片形成叠层体的所述擦拭巾，所述第二容器位于所述叠层体的一个表面上，所述第二容器包括一个袋子，该袋子包括两个隔间，每个隔间都具有一个当该隔间破裂时所形成的开口所处的弱化区域，所述隔间处于与该叠层体相关的位置，从而液体在一个位于所述表面中心的外侧但位于所述表面一边缘内侧的位置从每个隔间中流出。
12. 12.如权利要求1所述的清洁包，其特征在于，所述第二容器是具有弱化区域的柔性易破裂袋，当所述袋破裂时所形成的开口位于该弱化区域，其中所述袋由沿其至少一个边缘部分的密封形成，所述弱化区域是所述密封的一个弱化部分。
13. 13.如权利要求12所述的清洁包，其特征在于，所述密封是由连接所述袋子两相对边缘区域的抵抗所述清洗液腐蚀的热敏粘合剂形成，所述弱化区域是通过向所述密封的一部分施加少于所述密封其余部分的热量而形成的。
14. 14.一种清洁包，它总体包括多片超净室用擦拭巾、包含溶剂的清洗液的易破裂袋、抵抗溶剂的不渗透液体的外容器，每片擦拭巾产生比较少的松散粒子量且适用于在半导体制造超净室中使用，当所述外容器位于一个平面上而其底壁朝上时，所述易破裂袋位于所述擦拭巾的顶部，所述外袋在其除了所述底壁之外的一个壁上具有可重新封闭的开口。
15. 15.如权利要求14所述的清洁包，其特征在于，它包括正常情况下覆盖所述开口并且承载压敏粘合剂的活盖，以用于在将一片擦拭巾从所述外袋中取出后将所述开口重新覆盖，当所述外袋定位于所述底壁时，所述活盖被容易地移开和复位。
16. 16.如权利要求14所述的清洁包，其特征在于，所述易破裂袋具有当压力施加于其上即在此开启的弱化区域，所述弱化区域位于所述擦拭巾的最外边缘的内侧。
17. 17.如权利要求16所述的清洁包，其特征在于，所述易破裂袋借助于选自包括下列一组方法中的方法保持在相对于所述擦拭巾的位置，该组方法包括：真空密封所述外袋，将所述易破裂袋粘接到所述外袋之所述底壁的内表面上，并通过采用所述底壁作为该易破裂袋的一个壁而形成该易破裂袋。
18. 18.如权利要求16所述的清洁包，其特征在于，所述擦拭巾是矩形的，该清洁包包括多个所述易破裂袋，每个袋具有它自己的弱化区域，每个弱化区域位于所述擦拭巾的接近中心线处但位于所述擦拭巾侧向边缘的内侧，所述弱化区域彼此间隔开。
19. 19.如权利要求18所述的清洁包，其特征在于，所述易破裂袋是通过密封两塑料片的边缘并形成将该袋分隔成两隔间的中央接缝而形成的，所述塑料片由热敏粘合剂密封在一起，该粘合剂以不同于所述弱化区域其余边缘的方式加热，以便在每个所述弱化区域形成一弱化密封。
20. 20.一种清洁包，它总体包括不渗透液体的第一容器、位于所述第一容器中的至少一片清洁用涂抹巾、位于所述第一容器中的不渗透液体的第二容器、位于所述第二容器中的清洗液以及位于所述第二容器中的刺穿装置，所述第二容器尽管配置在所述第一容器中，但它是可开启的，以便从所述第二容器中释放出所述清洗液以供该涂抹巾吸收，所述刺穿装置配置成响应于来自该第二容器外侧的致动而刺穿该第二容器的壁，从而释放出所述清洗液。
21. 21.一种清洁包，它总体包括多片超净室用擦拭巾、包含溶剂的清洗液的塑料袋、抵抗溶剂的不渗透液体的外容器，每个擦拭巾产生比较少的松散粒子量并且适用于半导体制造超净室中，所述袋子包括从所述外容器外侧致动的刺穿装置，当所述外容器位于一平面上而其底壁朝上时，该袋子位于所述擦拭巾的顶部，所述外袋在其除了所述底壁之外的一个壁上具有可重新封闭的开口。B.清洁方法
22. 22.一种清洁方法，它包括以下步骤：

    a.提供一个清洁包，该清洁包具有至少一片吸收性清洁用涂抹巾和装有清洗液的不渗透液体的第一容器，上述两者均装在第二容器中；

    b.从上述第一容器中释放出所述液体，而所述涂抹巾和所述第一容器位于所述外容器中；

    c.从所述外容器中取出所述涂抹巾；

    d.用所述涂抹巾进行清洁操作。
23. 23.如权利要求22所述的方法，其特征在于，所述涂抹巾是超净室用擦拭巾；所述应用步骤包括利用含有所述清洗液的擦拭巾擦拭超净室中的表面。
24. 24.如权利要求23所述的方法，其特征在于，所述清洗液包括溶剂且所述涂抹巾是由一种由于与该溶剂的长期接触而易增加所产生的污染物量的材料制成。
25. 25.如权利要求22所述的方法，其特征在于，所述第二容器包含多片所述涂抹巾，该第二容器是不渗透液体的并具有带有可复位之封闭件的开口，该方法包括以下步骤，即：移开所述封闭件以取出所述一片涂抹巾，并且在取出该涂抹巾后使该封闭件复位。
26. 26.如权利要求22所述的方法，其特征在于，所述第一容器是易破裂的；所述释放步骤包括通过将一钝器覆盖在所述第一容器的基本上小于其整个面积的区域上而挤压该易破裂的容器。
27. 27.如权利要求22所述的方法，其特征在于，所述第二容器具有可重新密封的出口并包含多片涂抹巾的叠层体，所述第一容器是易破裂的，所述易破裂容器位于所述叠层体的一侧，所述出口位于所述叠层体的另一侧；所述释放步骤包括以下步骤，即：将所述清洁包置于一个平面上而所述易破裂容器位于所述叠层体的顶部；挤压所述第二容器以使所述易破裂容器裂开，使所述第二容器留置一段时间而所述易破裂容器位于所述叠层体的顶部直到所述液体已被分配且基本上被所述涂抹巾吸收，翻转所述外容器以使所述易破裂容器位于所述叠层体的底部，除去所述出口的密封并取出至少一片所述涂抹巾，以及重新密封所述开口。
28. 28.如权利要求22所述的方法，其特征在于，所述涂抹巾是由选自下列一组织物中的织物制成，该组织物包括：针织物，织造织物，包括纺粘织物和水解缠结织物的非织造织物，以及泡沫。
29. 29.如权利要求28所述的方法，其特征在于，所述纤维是由选自下列一组材料中的材料制成，该组材料包括聚酯、聚丙烯、尼龙、纤维素和聚酯的混合物、聚氨酯、丙烯酸类纤维、人造丝、马尼拉麻、大麻纤维和棉花。
30. 30.如权利要求22所述的方法，其特征在于，它包括多片由选自下列一组织物中的织物制成的涂抹巾，该组织物包括：针织或织造的连续复丝聚酯或尼龙纤维，纺粘聚丙烯纤维，较多纤维素部分和较少聚酯纤维部分的水解缠结的混合物，聚氨酯泡沫，织造或针织的人造丝，丙烯酸类纤维，马尼拉麻，大麻纤维和棉纤维。
31. 31.如权利要求22所述的方法，其特征在于，所述清洗液含有活性组分，且所述涂抹巾与所述活性组分中的一个由于与另一个长期接触而会变质。
32. 32.如权利要求31所述的方法，其特征在于，所述活性组分是生物杀伤剂。
33. 33.一种利用清洁用擦拭巾清洁超净室中的表面而同时释放尽可能少的污染物的方法，它包括以下步骤：

    将多片超净室用擦拭巾存放在第一容器中，

    在与所述第一容器相关联的第二容器内提供超净室用清洗液；

    在恰好将使用任何所述擦拭巾进行清洁之前时使所述清洗液从所述第二容器释放到所述第一容器中，

    打开所述第一容器且从中取出一片擦拭巾；以及

    利用所述擦拭巾进行清洁。
34. 34.如权利要求22所述的方法，它包括贮存步骤，即：在将所述第一和第二容器组装在一起之后而在使用所述涂抹巾之前，将所述第一和第二容器贮存一段相当长的时间。
35. 35.如权利要求22所述的方法，其特征在于，所述第二容器具有一可重新封闭的开口，所述清洁包包括多片所述涂抹巾和一个牵拉片释放结构，该结构具有一个可经该开口达到的牵拉片；并且所述释放步骤包括开启所述可重新封闭的开口且拉动所述牵拉片。
36. 36.如权利要求35所述的方法，其特征在于，所述第一容器具有多个位于一壁上的释放孔和固定在该孔上的覆盖件，当拉动所述牵拉片时，该牵拉片适用于移动所述覆盖件，所述移动步骤包括经所述开口取出一片所述涂抹巾且重新封闭该开口。
37. 37.一种清洁方法，它包括以下步骤：

    a.提供一个清洁包，该清洁包具有至少一个吸收性清洁用涂抹巾和装有清洗液的不渗透液体的第一容器，上述二者均装在所述第二容器中；

    b.通过刺穿所述第一容器而从该第一容器中释放出液体，而上述涂抹巾和该第一容器位于所述外容器中；

    c.从所述外容器中取出所述涂抹巾；以及

    d.利用上述涂抹巾进行清洁。
38. 38.一种利用清洁用涂抹巾清洁超净室中的表面而同时释放尽可能少的污染物的方法，它包括以下步骤：

    在第一容器中存放多片超净室用擦拭巾，

    在第二容器中提供超净室用清洗液，该第二容器具有刺穿装置且装在所述第一容器中，

    致动所述刺穿装置，以便在恰好利用任何所述擦拭巾进行清洁之前时，将所述清洗液从所述第二容器释放到所述第一容器中，

    打开所述第一容器且从中取出一片擦拭巾，以及

    利用该擦拭巾进行清洁。C.液体用容器
39. 39.一种易破裂的柔性液体用容器，以用于响应于用手施加的压力选择性地释放清洗液，所述容器包括由抵抗所述清洗液腐蚀的塑料制成的柔性袋，所述袋具有至少一个弱化区域，所述袋子的壁被用手施加的压力在该弱化区域破裂开以便释放所述清洗液。
40. 40.如权利要求39所述的容器，其特征在于，所述袋是由沿其至少一个边缘部分的密封形成的，所述弱化区域是所述密封的一个弱化部分。
41. 41.如权利要求39所述的容器，其特征在于，它包括位于所述容器中的清洗液。
42. 42.如权利要求39所述的容器，其特征在于，所述密封是由连接所述袋子两相对边缘的抵抗所述清洗液之腐蚀的热敏粘合剂形成的，通过向所述密封的一部分施加少于该密封其余部分的热量而形成所述弱化区域。
43. 43.如权利要求39所述的容器，其特征在于，所述容器具有多个独立的隔间，每个隔间具有一弱化区域，所述袋子的壁被用手施加的压力在该弱化区破裂开以便释放所述清洗液，所述弱化区被分离成预定的距离。
44. 44.如权利要求40所述的容器，其特征在于，所述密封是细长的，并且所述弱化区域接近于所述密封的中心。
45. 45.如权利要求39所述的容器，其特征在于，所述清洗液含有溶剂。
46. 46.如权利要求39所述的容器，其特征在于，所述溶剂选自下列一组物质，该组物质包括：去离子水，乙醇，水和乙醇的混合物，丙酮，水和二醇醚的混合物，水和生物杀伤剂的混合物，水和洗涤剂和/或表面活性剂、加或不加生物杀伤剂的混合物，过氧化氢和水的混合物，松节油、氨水和水以及漂白剂和水。
47. 47.如权利要求39所述的容器，其特征在于，所述容器包括两个均由塑料片形成的壁，一块塑料片基本上大于形成另一壁的塑料片，由此较大的塑料片可以在边缘处与另一塑料片连接以便形成封闭所述容器的袋。
48. 48.一种清洗液配送容器，用于将清洗液配送至位于另一容器内的多片擦拭巾中，所述配送容器具有一对对置侧壁，一个壁具有多个间隔开的孔、覆盖所述孔的覆盖件以及可从所述外容器的外部经其上的开口达到的牵拉片，该牵拉片用于移动所述覆盖件以将清洗液释放到所述擦拭巾中。
49. 49.如权利要求48所述的容器，其特征在于，所述容器是平的柔性袋，所述覆盖件由粘合剂固定，并且所述牵拉片弯回到它自身上以便当其被拉动时将覆盖件剥离所述容器。
50. 50.一种液体用柔性容器，用以响应于用手施加的压力选择性地释放清洗液，所述容器包括由抵抗所述清洗液腐蚀的塑料制成的柔性袋，所述袋具有能由容器外的手加压力致动的刺穿装置，以便释放所述清洗液。
51. 51.一种清洁包，所述清洁包总体包括不渗透液体的第一容器、位于所述第一容器中的至少一片清洁用涂抹巾、位于所述第一容器中的不渗透液体的第二容器、位于所述第二容器中的清洗液，所述第二容器尽管处于所述第一容器内，但它是可开启的，从而将所述清洗液从所述第二容器中释放以便被所述涂抹巾吸收。

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