KR100391751B1 - 세척장치및방법 - Google Patents

Abstract

세척 룸, 반도체 제조 장치, 제약 제조 설비 등에서 표면을 세척하는데 사용되는 세척 장치(101)가 제공된다. 극도로 청결한 와이퍼(14)의 스택이 액밀의 외부 용기(18)내의 세척액 용기(100)와 함께 포장된다. 세척 장치는 사용직전 까지 저장된다. 세척액이 내부 용기(100)로부터 와이퍼내로 배출된다. 바람직한 실시예에서, 세척액은 외부 용기(18)의 외부면 상의 제한된 지역에 압력을 가함으로써 내부 용기(100)의 벽들 중 어느 하나의 벽을 천공시키도록 작용하는 천공기구(102)에 의해서 바람직하게 내부 용기(100)로부터 와이퍼(14)내로 배출된다. 천공기구는 우발적인 천공을 최소화시키도록 포장의 가장자리로부터 이격된 상태로 위치된다. 세척액이 와이퍼내로 흡수되면, 외부 용기(18)로부터 와이퍼(14)가 제거된다. 용기는 포장에 개방된 후에 와이퍼(14)를 보호하도록 재밀봉될 수 있다. 본 발명의 세척 장치 및 방법은 세척액과의 오랜 접촉으로 인한 와이퍼 재료의 질적 저하를 최소화시키고, 와이퍼 재료와의 오랜 접촉으로 인해 야기될 수 있는 생물독 등과 같은 물질의 효능 저하를 최소화시킨다.

Description

세척 장치 및 방법

본 발명은 세척 장치 및 방법에 관한 것이며, 보다 구체적으로 설명하면 반도체 제조 장치와 제약 제조 설비, 그리고 극도의 청결성이 유지되어야만 하는 그 밖의 다른 세척 분야 및 환경에서 "세척 룸"을 세척하는데 사용되는 세척 장치 및 방법에 관한 것이다.

본 출원은 1995년 3월 10일자 출원된 미국 특허출원 제 08/402,113호의 일부 계속출원이다.

반도체 제조 장치와 제약 제조 설비, 그리고 이와 유사한 설비에서 세척 룸의 청결성을 유지시키는 조건은 절대적인 것이다.

반도체 제조 장치의 세척 룸에 있어서는, 오염을 방지하기 위해서 통상적으로 표면이 특히 청결한 와이퍼 및 세척 용액으로 닦여져야만 한다. 제어되어야 할 오염은 소위 "미세 오염"이라고 불리워지는데, 이는 이러한 오염 물질이 통상적으로 수 백만 분의 일 또는 수 십억 만 분의 일로 측정되는 박테리아, 바이러스, 그리고 매우 낮은 밀도의 화학적 오염 물질의 칫수를 갖는 미립자와 같이 작은 크기의 오염 물질로 이루어지기 때문이다.

이들 오염 물질은 통상적으로 세가지 유형으로 분류되는데, 즉 입자, 이온, 그리고 와이퍼의 섬유로부터 용해되는 불순물인 "추출물"로 구성된다.

100 마이크로 미터 이하의 칫수를 갖는 유리된 입자는 대량 생산 및 신뢰성 있는 반도체 장치를 제공함에 있어서 금기 사항이다. 그러므로, 세척 룸에서 사용되는 와이퍼와 세척 재료는 가능한 한 작은 다수의 유리된 입자로서 배출하여야만 한다.

마찬가지로, 반도체 제조의 엄밀한 과정 및 그 제조 용량에 방해를 주는 이온 및 "추출물"도 최소화되어야만 한다.

과거에는, 이들 조건이 매우 적은 수의 유리된 입자 만을 배출시키도록 설계하여 특수 제조된 직물을 제공함으로써 만족되었는데, 이러한 직물은 세척 용액으로 젖어 있을 때에도 구조적인 일체성을 유지하는 동시에 세척될 표면을 닦아주는데 사용되었다.

통상적으로, 이러한 와이퍼는 가요성 플라스틱 백과 같이 밀봉된 용기 내에 포장되는데, 이러한 용기는 개방될 수 있으며, 와이퍼를 꺼낸 후에 용기는 버려진다. 그리고나서, 별도의 용기에 보관된 세척 용액이 와이퍼에 도포된 후에 와이퍼가 사용된다.

이와 같은 종래 기술에서의 한 가지 문제점은 통상적으로 세척 용액으로서 사용되고 있는 위험한 화학 용제의 상당량이 저장되어서 와이퍼에 도포되어야만 한다는 점이다. 이는 작업자의 건강에 해를 주는 우발적인 작업 조건을 초래할 수가 있다.

또 다른 문제점은 작업자가 별도의 용기로부터 세척 용액을 도포하여 와이퍼 직물을 건조시킬 때 발생하는데, 즉 통상적으로 사용되는 세척 용액의 양이 너무 적거나 많을 경우에는 비효율적인 세척이나 과포화 또는 폐기의 문제가 발생될 수 있다.

후자의 문제점들에 대응하여, 미리 포화된 와이퍼가 개발되어서 성공적으로 시판되고 있다. 이러한 와이퍼는 여러가지 용량의 세척용액으로 미리 도포되어서, 사용시 까지 신뢰성 있는 플라스틱 백 내에 포장된다. 그리고나서, 백이 개방되어 하나의 와이퍼 혹은 다수의 와이퍼가 꺼내어진 후에 백이 다시 폐쇄된다. 이는, 백이 비워질 때 까지 반복된다.

본 발명에 따르면, 본 발명의 발명자는 미리 포화된 와이퍼의 백은 흔히 사용 전에까지 몇달 심지어는 수년 까지의 오랜 기간 동안에 저장될 수 있다는 점을 인식하였다. 이러한 기간 중에, 세척액과 와이퍼 재료는 서로 밀접하게 접촉한다. 이는, 사용시에 와이퍼에 의해 방출되는 오염량이 와이퍼를 처음 포장했을 때에 비해서 상당히 증가함으로써 와이퍼 재료인 섬유의 오염을 초래한다. 또한, 섬유에 대해 입자를 유지시키는 결합이 느슨해지고, 방출가능한 이온 및 추출물이 세척액과 와이퍼 간의 오랜 접촉에 의해서 증가된다는 것이 확실하다.

게다가, 재폐쇄 가능한 와이퍼 포장의 밀봉부와 같은 플라스틱 포장의 여러 부분들을 함께 고정시키는데 접착제가 사용될 경우, 이러한 접착제가 세척액과의 오랜 접촉으로 인해 오염될 수도 있다. 본 발명의 발명자는 이것이 바로 사용될 접착제의 선택을 제한한다는 것을 인식 하였다.

제약 제조 및 다른 의료 설비의 세척에 있어서는, 미리 포화된 와이퍼 내에 함유된 생물독의 효능을 유지시키는 것이 하나의 문제점이다. 본 출원인은 생물독의 효능이 와이퍼 재료와의 오랜 접촉으로 인해 오염될 수 있음을 인식하였다.

본 발명의 목적은 바로 이와 같은 문제점들을 해결하거나 완화시키기 위한 것이다. 특히, 세척액으로 도포된 세척용 도포기 또는 와이퍼를 별도의 용기로부터 세척액을 도포하여 저장하지 않고서도 극도로 청결한 상태로 사용전에 제공하는 것이 바람직하다.

특히, 와이퍼와 세척액의 오랜 접촉을 방지하기 위해서 사용하기 바로 직전에 세척액이 와이퍼에 도포될 수 있도록, 세척 룸 및 제약 제조 설비 등을 세척하기 위한 와이퍼 및 이러한 와이퍼를 사용하는 방법을 제공하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 이와 같은 목적은 적어도 하나, 바람직하게 다수의 세척용 도포기 혹은 와이퍼를 수용하는 외부 용기와, 그리고 내부 용기 내에 수용되는 세척액을 포함하고 있는 세척 장치를 제공함으로써 성취된다. 바람직하게, 내부 용기와 외부 용기는 플라스틱 모두 백이며, 세척 장치가 다수의 와이퍼를 포함한다. 와이퍼에 의해서 흡수되는 내용물을 배출시키기 위해서, 외부 백의 내부에는 이러한 내부 백을 개방시키는 수단이 제공된다. 바람직하게, 내부 백은 깨지기 쉽게 취약하다.

이와 같은 세척 장치를 사용하는 방법에 있어서, 세척 장치는 사용하기 바로 직전까지 내부 용기내에 밀봉된 세척액을 갖춘 상태로 밀봉된다. 세척액을 와이퍼로 도포시키기 위해서는, 압력이 바람직하게 사용자의 손에 의하여 외부 용기의 재료를 통해 내부 용기에 가해져서, 내부 용기를 천공시켜 세척액을 와이퍼 상으로 배출시킨다. 그리고나서, 와이퍼가 세척액을 흡수한 후에 포장이 개방되고 하나 이상의 와이퍼가 제거되어 세척 표면으로 사용된다.

백 내에 잔류하는 와이퍼를 오염으로부터 보호하고 세척액의 증발을 최소화 하기 위해서 외부 백이 재폐쇄될 수 있는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 세척 장치 및 방법은 세척액과 와이퍼가 서로 접촉한 상태로 유지되는 시간을 상당히 감소시킬 수 있어서, 오염의 추가 발생이나 세척액의 질이 저하되는 것을 감소시킨다.

본 발명의 다른 실시예에 따르면, 세척 장치내의 세척액을 저장하기 위한 깨지기 쉬운 독특한 용기가 제공된다. 이와 같이, 취약한 용기는 바람직하게 백 내에 수용된 세척액에 대해 저항성 있는 재료로 제조된다. 백은 손으로 압력이 가해질 때 파열되는 취약 지역을 갖추고 있다. 이는, 백으로 부터 세척액을 배출시켜서 외부 백 내에 수용된 와이퍼에 의해 세척액이 신속하게 흡수되는 매우 효과적인 위치로 세척액을 배향시킨다.

바람직하게, 취약한 백은 가장자리를 따라서 적어도 하나의 이음매에 의해 형성된다. 취약 지역은 한쪽 측면에서 이러한 이음매의 나머지 지역 보다 취약한 이음매를 제공함으로써 형성된다.

본 발명의 바람직한 한 양태에 따르면, 이음매는 백의 서로 마주하는 가장자리 표면과 함께 접착되는 열에 민감한 접착제에 의해서 제공되며, 한쪽 측면에 가해지는 열이 이음매의 다른쪽 측면에 가해지는 열 보다 적어도 취약 지역을 제공한다. 이와는 다르게, 이음매 또는 접착제 코우팅이 취약 지역을 발생시키도록 감소된 폭으로 제공될 수도 있다.

본 발명의 또 다른 특징에 따르면, 각각 취약 지역을 갖추고 있는 다수의 취약한플라스틱 용기가 세척 장치 내에 제공되며, 각각의 백은 세척액의 흡수율을 최대화시키도록 와이퍼에 상대적으로 위치된다. 본 발명의 한 실시예에서는, 가장자리에서 이음매에 의해 함께 고정된 플라스틱 재료의 한 쌍의 시이트에 의해 중심의 이음매를 따라 2개의 취약한 격실이 형성된다. 이와는 다르게, 별도의 취약한 백이 사용될 수도 있다.

바람직하게, 각각의 취약한 백의 취약 지역의 강도는 백의 넓은 표면 지역에 걸쳐서 가해지는 큰 힘에는 저항하기에 충분하지만, 손가락의 관절이나 둔한 기구에 의해서 비교적 작은 지역에 걸쳐 가해지는 힘의 작용에는 용이하게 파열되기에 충분하도록 제조된다.

본 발명의 또 다른 양태에 따르면, 세척액 용기는 바람직하게 플라스틱 백으로 구성되며, 이러한 백은 손으로 압력이 가해질 때 백의 벽을 천공하는 천공 기구를 포함한다. 이는, 백으로부터 배출되는 세척액이 와이퍼에 의해 신속하게 흡수되도록 매우 효과적인 위치로 세척액을 배향시킨다.

바람직하게, 천공 기구는 한쪽 측면으로부터 연장한 다수의 돌기 혹은 스파이크를 갖춘 편평한 플라스틱 판으로 구성된다. 이러한 판을 거의 모든 세척액에 대해서 투과성인 폴리에스테르 등의 플라스틱 재료로 제조되며, 돌기 혹은 스파이크는 와이퍼의 스택 안으로의 세척액의 흡수율을 최대화시키도록 상당한 지역에 걸쳐서 분포된다.

바람직하게, 천공기구는 와이퍼의 스택 보다 휠씬 작게 제조되며, 사용자가 이를 붙잡는 중에 우발적으로 세척액 용기를 천공시키지 못하도록 포장의 가장자리에 압력이 가해지는 것을 방지하기 위해서 와이프 스택의 가장자리로부터 안쪽으로 위치된다. 외부 백은 와이퍼 스택 상의 중심 위치에서 내부 백을 단단히 고정시키도록 진공식으로 밀봉된다. 이러한 진공식 밀봉은 또한 내부 백도 압축시켜서 액체를 매우 신속하게 배출시킨다.

세척액 용기의 우발적인 천공은, 용기의 넓은 지역에 걸쳐서 가해지는 압력이 천공에 유효하지 못하다는 사실로 부터 감소된다. 손가락의 관절이나 둔한 기구에 의해서 비교적 좁은 지역에 걸쳐 가해지는 압력은 바람직한 천공을 야기시킨다. 더욱이, 천공기구는 세척액 내에서 부양력을 가지며, 스파이크가 정상적으로 용기의 하부와 결합하지 못한다.

본 발명의 그 밖의 다른 여러 가지 목적들 및 잇점들은 다음의 첨부된 도면들을 참조한 설명으로부터 보다 명확해진다.

도 1은 본 발명에 따라 구성된 세척 장치의 부분 절단된 사시도.

도 2는 도 1에 도시된 세척 장치를 거꾸로 뒤집어서 도시한 사시도.

도 3는 도 1의 선 3-3을 따라 절단하여 부분적으로 도시한 횡단면도.

도 4는 도 1에 도시된 세척 장치의 외부 용기 내의 내용물을 도시한 평면도.

도 5는 본 발명의 다른 실시예에 따른 세척 장치의 일부를 도시한 부분 사시도.

도 6은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 세척 장치의 사시도.

도 7은 도 6의 선 7-7을 따라 절단한 횡단면도.

도 8은 도 6 및 도 7에 도시된 기구의 부분 저면도.

도 9는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 세척 장치를 부분 단면으로 도시한 사시도.

도 10은 도 1의 선 10-10을 따라 절단한 횡단면도.

도 11은 도 9 및 도 10에 도시된 세척 장치의 일부를 도시한 평면도.

도 12는 도 9 내지 도 11에 도시된 천공판의 하나의 스파이크를 도시한 확대 정면도.

(세척 장치)

도 1은 본 발명에 따라 구성된 세척 장치(10)를 도시하고 있다.

세척 장치(10)는 부분 단면으로 도시되는 외부 용기(12)와, 장방형 도포기 또는 와이퍼로 이루어져 있는 스택(14)과, 그리고 와이퍼의 상부에 놓여져 있는 세척액의 취약한 용기(16)를 포함하고 있다.

외부 용기(12)는 용기(16) 내에 수용된 세척액에 대한 저항성을 갖춘 재료로 제조된 가요성 플라스틱 백이다. 이러한 외부 용기는 기밀 및 액밀의 구조를 갖추고 있다. 외부 용기(12)는 한쪽 측면 상으로 하부 패널을 형성하고 있는 제 1 시이트(18), 및 반대쪽 측면 상으로 상부 패널을 형성하고 있는 제 2 시이트(20)에 의해서 형성된다. 이들 시이트(18, 20)는 플라스틱으로 제조되어 있으며, 이음매(26)를 따라 서로 접착되어서 기밀 및 액밀 구조의 용기를 형성하고 있다.

도 1의 세척 장치를 거꾸로 도시하고 있는 도 2에 도시된 바와 같이, 외부 용기(12)의 상부 패널(20)은 한쪽 가장자리 부근에 기다란 배출 구멍(22)을 갖추고있다. 이러한 배출 구멍(22)은 정상적으로 플라스틱 스트립(24)에 의해 폐쇄되어 있는데, 이러한 플라스틱 스트립(24)은 탭이 코우팅되지 않은 상태로 있는 일단부(25)를 제외하고는 압력 감지식 접착제에 의해서 코우팅되어 있으며, 사용자가 이러한 일단부(25)를 자유롭게 붙잡을 수 있도록 구성되어 있다. 배출 구멍(22)을 개방하기 위해서는, 사용자가 탭(25)을 당겨서 스트립(24)을 벗겨내고 이러한 구멍(22)을 통하여 하나 이상의 와이퍼(14)를 꺼낸 후에 다시 플랩(24) 상으로 압력을 가함으로써 구멍을 다시 폐쇄시키는데, 이에 따라 나머지 와이퍼들은 오염으로부터 보호된다.

바람직하게, 백(12)은 대부분이 그로부터 배출되는 공기를 갖추고 있어서, 백의 재료가 와이퍼(14)의 스택 및 용기(16)와 밀접하게 접촉할 수가 있다. 이는, 취약한 용기의 파열을 용이하게 하며, 이러한 용기를 와이퍼(14)에 대해 바람직한 위치에 유지시키는 것이 확실하다.

(취약한 용기)

취약한 용기(16)는 도 1 뿐만 아니라 도 3에도 도시되어 있다. 바람직하게, 이러한 용기(16)는 중심 스트립(44)을 따라서는 물론이고 가장자리(36, 38, 40, 42)를 따라서도(도 4 참조) 함께 밀봉된 가요성 플라스틱 재료의 2 개의 시이트로 구성되어 있다. 이는, 2개의 분리된 격실(28, 30)을 형성하는데, 각각의 격실은 필히 별도의 취약한 백을 포함하고 있다.

본 발명의 한 실시예에 따르면, 각각의 백이 그에 압력이 가해질 때 파열되도록 구성된 취약 지역을 갖추고 있다. 이는, 와이퍼를 축축하게 하는데 필요한 시간을최소화시키는 위치에서 와이퍼에 세척액의 유동이 제공되도록 하기 위한 것이다.

바람직하게, 이음매(36, 38, 40, 42, 44)는 열에 민감한 접착제를 사용하여 형성되며, 취약한 지역은 각각의 격실에 하나씩 2 개의 지역(46, 48)에서 플라스틱 시이트들의 사이로 이러한 접착제를 약하게 함으로써 제공된다. 이들 지역(46, 48)은 도 4에 도시된 바와 같이 와이퍼(14)의 스택의 거의 측방향 중심선(66) 상으로 위치한다.

각각의 취약 지역(46, 48)은 백(16)의 이음매의 나머지로부터 서로 다르게 이들 지역 내에 이음매를 형성하는 접착제를 가열시킴으로써 형성된다. 예를 들면, 이들 지역(46, 48)은 이음매의 나머지 부분에서 보다 적은 시간 동안 소정의 온도 및/또는 압력으로 가열된다.

이와는 다르게, 각각의 지역(46, 48) 내의 이음매 또는 접착제 코우팅의 폭이 이음매의 나머지 부분에 비해 감소되어서 소정의 취약 지역을 제공할 수도 있다.

취약 지역(46, 48)의 강도는 비교적 넓은 표면 지역에 걸쳐서 백(28, 30)의 상부에 대한 압력의 작용을 견디기에는 충분하지만 비교적 좁은 지역에 걸쳐서 가해지는 압력 하에서는 파열되도록 설정하는 것이 바람직하다.

본 발명의 한 실시예에 따르면, 각각의 백은 비교적 작은 지역(52)에서 압력의 작용에 의해 비교적 용이하게 파열된다(도 3 및 도 4 참조). 손에 의해 충분한 압력이 가해질 수 있다. 이는, 테이블과 같은 편평한 표면(68) 상에 상부 패널(20)에 의해서 세척 장치(10)를 하향으로 설치함으로써 이루어질 수 있다. 이들 백(28, 30)은 도 3에 도시된 바와 같이 상향으로 파열된다. 각각의 백은 소정량의세척액(32 또는 34)를 수용하고 있다.

지역(52)에서 단지 하나의 손가락의 관절(50)에 의해 하향으로 압력을 가함으로써, 충분한 압력이 전개되어 지역(46, 48)에서 이음매를 파열시키며, 이에 따라서 용기(30)로부터 지역(54)으로 세척액을 배출시키는 이음매내의 틈새(58)를 형성한다(도 3 참조).

도 3은 관절(50)에 의해 가압되는 지역(52)이 세척 장치의 측방향 중심선(66) 상에 있는 것을 도시하고 있다. 실제로, 도 4에 도시된 바와 같이 이러한 지역(52)은 백(30)의 일단부 근처에 위치한다. 이는, 백(28 또는 30) 상에 압력이 가해지는 거에 관계 없이 본 발명의 특징을 설명하는 것이며, 백은 임의의 적절한 위치에서 파열된다.

각각의 백(28, 30)이 우발적인 파열에 대해 저항을 갖는 것을 입증하기 위해서, 수 많은 사람들이 손바닥으로 압력을 가하여서는 백을 파열시킬 수 없으며 하나의 손가락이나 또는 백을 찌르지 않고 작은 지역에 힘을 집중시키는 임의의 다른 기구를 사용해서 압력이 가해질 때만 백이 용이하게 파열된다는 것을 확인하였다.

지점(54)에서 백(30)으로부터 배출된 세척액은, 와이퍼의 전체 스택을 축축하게 할 때 까지 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 이러한 지점(54)으로부터 하향으로 측면을 향해 흡수되면서 퍼진다.

마찬가지로, 용기(28)의 표면의 비교적 작은 지역에 걸쳐서 작용하는 압력은 이음매 지역(48)에서 용기를 파열시키고 액체를 지역(56) 안으로 방출되게 하는데, 이로부터 세척액은 하향으로 그리고 측면으로 퍼지면서 세척액이 와이퍼 안으로 밀어넣어진다.

바람직하게, 세척액의 지역(54, 56)은 도 4에 도시된 바와 같이 와이퍼 스택의 측방향 중심선(66) 상으로 그리고 와이퍼 스택의 수직방향 중심선과 스택의 좌우 가장자리 사이의 거의 중간 지점인 선(62 또는 64)의 부근으로 위치되어 있다. 이는, 세척액이 와이퍼 안으로 비교적 신속하게 분포되게 한다.

세척액은 백(28, 30)의 구멍으로부터 젯트 형태로 배출되어서 외부 백(12)의 측면으로 떨어진다. 이는, 세척액이 흡수됨에 따라서 세척액의 유동 패턴을 변경 시키지만, 흡수 과정을 촉진시킨다.

백(28, 30)이 파열된 후에, 세척액이 와이퍼의 스택을 통해서 분포될 때 까지 소정의 시간동안 단지 세척장치(10)을 도 3에 도시된 위치에 놓여지게 하면된다.

그리고나서, 사용자는 도 2에 도시된 위치로 세척장치를 거꾸로 뒤집어서 스트립(24)을 위로 잡아당겨 구멍(22)을 통해서 와이퍼 스택의 가장자리를 노출시킨 후에, 사용할 하나 이상의 와이퍼를 제거하고 접착제 플랩을 다시 구멍(22) 위로 설치하여서 나머지 와이퍼들을 보호한다.

바람직하게, 외부 백(12)은 도 1에 도시된 바와같은 위치로부터 거꾸로 뒤집혀지기 때문에, 텅 빈 세척액 백(28, 30)은 전체 장치로부터 와이퍼가 제거될 수 없도록 와이퍼 스택(14)의 하부상에 놓여진다.

이러한 배열은 전체 장치의 폐기시에 또한 바람직하다. 비워진 백(28, 30)은 여전히 외부 용기(12)내에 있기 때문에, 전체 장치를 버리기가 용이한 동시에 백(28, 30)을 별도로 취급할 필요가 없다.

앞서 설명한 바와 같이, 외부 백(12)으로 부터 공기의 대부분을 배출시킴으로써, 백(28, 30)이 와이퍼(14)의 스택에 대해 바람직한 위치에 고정된다. 이와는 다르게, 접착제가 백(28, 30)의 외부면에 가헤져서 외부 백의 벽(18) 내부와 접촉하여, 백(28, 30)을 이동되지 못하게 고정시키며, 파열시 그 적절한 위치를 제공한다.

(다른 실시예들)

세척액의 흡수 속도는, 취약한 백의 수를 증가시켜서 모든 와이퍼를 적시도록 세척액이 이동하는데 필요한 거리를 보다 감소시킴으로써 휠씬 빨라질 수가 있다.

예를 들면, 각각 취약 지역을 갖추고 있는 4개의 백이 2개의 백(28, 30) 대신에 사용될 수 있다. 도 4에 도시된 바와 같이 스택(14)의 상하부 가장자리 사이의 간격에 세척액 방출 지점이 위치될 수 있으며, 이는 도 3에 도시된 측면 가장자리 사이와 마찬가지이다. 즉, 2개의 방출 지점이 측방향 중심선과 상부 가장자리 사이의 중간에 위치되고, 또한 2개의 방출 지점은 중심선(66)과 스택의 하부 가장자리 사이의 중간에 위치된다.

도 5는 백(28, 30)의 또 다른 구조를 도시한 것이다. 2개의 플랙스틱 시이트를 사용하는 대신에, 외부 백(12)의 하부 벽을 형성하는 별도의 2개의 시이트와 함께 하나의 시이트 만이 사용된다. 이는, 플라스틱 재료를 절감하여 백이 와이퍼에 대해 고정되게 하므로, 세척액이 와이퍼 안으로 적절하게 분배된다.

더욱이, 이음매(36, 38, 40, 42, 44)를 형성하는 접착제가 외부 백의 하부(18)의 외부면 상의 뚜렷한 외부선을 형성하기 때문에, 백의 외부선이 사용자에게 보다 잘 보여진다.

바람직하게, 시이트(1)가 시이트(20)에 부착되어 백(12)을 형성하기 전에 백(28, 30)은 포켓으로서 형성되는데, 한쪽 가장자리는 세척액을 채우기 위해 개방된다. 이들 포켓은 다 채워진 후에 밀봉되며, 시이트(18)는 시이트에 부착되어서 백(12)이 완성된다.

취약한 백이 사용자에게 보다 잘 보여지도록, 외부 백(12)의 하부벽(18)이 투명하게 제조될 수 있다.

도 6 및 도 7 은 앞의 도면들에 도시된 것과 유사한 세척 장치를 도시하고 있다. 그러나, 이러한 세척 장치는 와이퍼의 스택(14) 안으로 세척액을 밀어 넣도록 내부 백 혹은 여러개의 백들로 부터 세척액을 방출시키는 다른 수단을 갖추고 있다.

도 6 및 도 7 에 도시된 실시예에서는, 외부 용기(12)의 측면 패널(18)의 한쪽 가장자리를 따라서 재폐쇄 가능한 기다란 배출구멍(72)이 제공되어 있다. 이는, 도 2에 되시된 백의 다른 표면(20)의 구멍 대신에 제공된 것이다.

내부에 세척액을 수용하는 백은, 도 5에 도시된 방식으로 외부 백의 패널(18)에 그 가장자리의 이음매(80, 82)가 고정되는 천공 플라스틱 패널(78)에 의해 형성된 것이다. 이러한 패널(78)은 그 표면의 넓은 지역에 걸쳐서 서로 이격된 다수의 비교적 작은 구멍(86)을 갖추고 있다.

접착제 밀봉 스트립(88)이 구멍(86)을 덜어주어서, 세척액을 방출시키기에 바람직할 때 까지 세척액(84)을 내부 용기에서 누설되지 못하게 한다.

스트립(88)은 소정의 지역(98)에서만 접착제로 코우팅되어 있다(도 8 참조). 여러 지역(90, 92, 96)이 접착제로 코우팅되지 않았다. 코우팅되지 않은 스트립의부분(90)은 접혀져 있고, 스트립(92)의 단부는 도 7에 도시된 바와 같이 와이퍼의 스택으로 부터 약간 바깥쪽으로 연장한다. 이에 따라서, 단부(92)를 사용자가 붙잡고 도 8에 도시된 화살표(94) 방향으로 접착제 스트립을 당김으로써, 스트립이 세척액 용기의 하부로 부터 떨어져서, 구멍(86)을 통해 세척액이 방출되어 와이퍼(14)에 의해 흡수된다.

다수의 구멍(86)으로 인해, 세척액(84)은 비교적 신속하게 분포되어 와이퍼 스택 안으로 공급된다. 따라서, 와이퍼에 의한 세척액의 흡수가 비교적 빠르다. 비교적 짭은 시간에 와이퍼 안으로 세척액이 흡수된 후에는, 와이퍼가 사용되도록 구멍(72)을 통해서 제거된다. 그리고나서, 도 2에 도시된 스트립(24)과 마찬가지 방식으로 접착제 스트립(74)을 아랫쪽으로 누름으로써 구멍(72)이 다시 폐쇄된다.

세척액을 수용하는 백은 사용후에 와이퍼의 제거에 사용할 수 없는데, 이는 이러한 백이 외부 용기(12)의 상부 패널(18)과 일체식으로 구성되기 때문에, 패널(18) 자체가 그러하듯이 와이퍼의 제거에는 더 이상 장애가 되지 않는다.

도 7에 도시된 바와같이, 와이퍼 스택(14)의 상부면과 표면(96, 78)은 도면의 명확성을 위해 별도로 도시되었다. 실제로는, 이들이 함께 압력을 받으며, 세척 장치(70)는 도 7에 도시된 것 보다는 다고 얇다.

도 1 내지 도 5에 도시된 바와 같이 단일의 내부 용기를 다수의 용기 안으로 분리시키는 것이 바람직하다면, 별도의 용기들이 화살표(94)의 방향에 평행한 각각의 종축과 함께 정렬될 수 있다. 그리고나서, 별도의 접착제 스트립이 각각의 별도의 포대에 제공된다. 폭이 좁은 이들 스트립은 단일의 폭이 넓은 스트립 보다는 다소용이하게 제거된다.

또 다른 실시예에서, 파열식 스트립(도시 안됨)에 도 6 내지 도 8 에 도시된 것들과 유사한 포대의 하부를 파열식으로 개방시키는데 사용될 수 있다. 이러한 파열식 스트립은 도 6 내지 도 8 에 도시된 단부(92)와 마찬가지로 손으로 잡을 수 있는 단부를 갖추고 있다.

(바람직한 실시예)

도 9 내지 도 12 는 본 발명의 바람직한 실시예를 도시하고 있다.

도 9 및 도 10 에 도시된 세척장치(101)는 도 1에 도시된 세척장치(10)와 동일하지만, 단지 내부 백 혹은 용기(100)가 취약하지 않다는 점에서 차이가 있다. 즉, 백(100)은 모든 주변으로 종래의 가열 밀봉부(103)을 갖춘 통상의 플라스틱 백이다. 백(100)은 세척액(32) 외에도 천공 기구(102)를 갖추고 있다 (도 10 참조).

도 9 내지 도 11 에 도시된 바와같이, 천공 기구(102)는 한쪽 측면으로 부터 연장하는 다수의 돌기 또는 스파이크(106)를 갖춘 플라스틱 판으로 구성되어 있다. 도 12는 스파이크(106)의 하나를 확대하여 도시한 것이다. 각각의 스파이크(106)는 원추 형상으로 형성되어 있고 뾰족한 단부를 갖추고 있다. 다수의 스파이크(106)가 판의 중심으로부터 바깥쪽으로 떨어진 원 안에 배열되어 있다. 판의 가장자리(104)는 도시된 바와같이 부채 모양이다.

천공 기구(102)는 바람직하게 폴리에틸렌과 같이 세척액에 대해 저항성이 있는 플라스틱 재료에 의해서 성형된다.

세척 장치(101)는 다음과 같은 방식으로 사용된다. 내부에 와이퍼(14)의 스택을갖추고 있는 외부 용기(18)가 편평한 표면(68) 상에 놓여진다(도 10 참조). 사용자에 의해서 세척 장치의 중심 부근에 외부 용기 상에 엄지 손가락으로 압력을 가하는 등의 방식으로 소정의 지역에 압력을 작용시킴으로써 천공기구(102)가 작동된다. 이러한 작용은 천공판(102) 상에 하향으로 압력을 가하며, 스파이크(106)가 백(100)의 하부벽을 관통하여서 세척액(32)이 지역(100)에서 와이퍼 안으로 유동하여(도 10 참조) 와이퍼로 흡수된다.

백(100)을 와이퍼(14) 보다 휠씬 작게 제조하고 스파이크(106)를 천공판의 외부 가장자리로부터 안쪽으로 위치시킴으로써, 세척 장치(101)가 우발적으로 천공되는 것을 방지한다. 이에 따라서, 외부 용기(18)의 가장자리와 천공판의 가장자리 사이에 상당한 거리가 형성된다. 따라서, 사용자가 가장자리에서 세척 장치를 잡을 때 엄지 손가락은 천공판을 우발적으로 눌러서 천공시키지 않도록 구성되어 있다.

외부 백(18)은 진공식으로 밀봉되는 것이 바람직하다. 이는, 내부 백(100)을 와이퍼(14)의 스택 상의 중심 위치에 고정시킨다.

또한, 우발적인 천공은 백(100)의 표면 지역의 대부분에 걸쳐서 압력의 작용에 의해 백 안으로 천공을 야기시키기에 충분한 압력이 전달되지 못하도록 구성함으로써 방지된다. 그러나, 손가락, 관절, 엄지 또는 무딘 도구에 의해서 적절한 압력에 가해진다. 따라서, 여러 세척 장치가 설치 중에 서로 쌓여질 때 우발적인 천공은 결코 발생치 않는다.

천공기구(102)는 바람작하게 백(100)에 수용된 세척액(32) 내에서 부력이 있다. 따라서, 도 10에 도시된 바와같이 세척 장치(101)가 위치되면 천공기구는 정상적으로 백(100)의 하부벽 위로 부양된다. 이는 우발적인 천공을 방지하는데 도움을 준다.

천공기구를 형성하는 천공판의 형상은 본 발명의 본질을 변화시키지 않는 한 여러 가지로 구성될 수 있다. 예를들어, 스파이크(106)가 연장하는 원판은 도 11의 점선(107)으로 도시된 바와같이 대체로 원형의 형상을 갖는다. 사각형 등의 다른 기하학적 형상도 사용될 수 있다.

사제품으로 제조되어 성공적으로 시험된 세척 장치에 있어서, 백(100)은 한쪽 측면이 1.5 인치 인 사각형 백으로 구성되었으며, 외부 용기(18)는 각각의 측면이 7.5 인치 인 사각형으로 구성되었고, 그리고 천공판의 최대 직경은 5.5 인치로 구성 되었다. 천공판의 두께는 0.08 인치였다.

이제 도 12 를 참조하면, 각각의 스파이크(106)의 길이(L)는 약 0.35 인치, 폭(W)은 그 기부에서 약 0.25 인치이다. 각각의 스파이크의 길이는 우발적인 천공의 기회를 줄이도록 최소화되었으나, 백(100)을 천공시키는 스파이크 능력을 크게 저해하지는 않도록 구성되었다.

앞서 설명한 바와같이, 외부 백(18)은 바람직하게 진공식으로 밀봉되는데, 즉 적어도 부분적으로 공기가 배출된다. 이는 본 발명에 사용될 때 몇가지 잇점을 제공한다.

진공식 밀봉의 한 가지 잇점은 백(100)이 중심에서 스택에 대해 밀접하게 고정되어서 취급 및 이동시 다른 패키지의 한쪽 측면으로부터 이동되지 못한다는 점이다. 이는, 패키지의 천공 원판이 어떠한 가장자리도 느슨해지지 못하도록 작용하여서,우발적인 천공을 방지하는데 도움을 준다.

진공식 밀봉의 다른 잇점은, 백(100)내의 세척액(32)이 진공에 의해 압축되어서, 백(100)의 하부벽을 천공하는 스파이크(106)에 의해 제공된 구멍을 통과하는 세척액이 보다 빠르게 유동할 수 있다는 점이다. 이는, 진공이 가해지지 않을 때에 비하여 세척액이 와이퍼(14) 안으로 흡수되는 것을 보다 가속화시킨다.

또한, 진공식 밀봉은 와이퍼를 서로에 대해서 밀접하게 유지시켜서, 이들 와이퍼가 서로 마찰을 일으키지 않게 작용한다. 이는, 와이퍼들이 서로 마찰을 일으킴으로써 와이퍼내에서 전개될 수도 있는 비이온화된 입자의 수를 감소시킨다.

백(100)은 바람직하게 통상의 가열 밀봉 과정에 의해서 제조되며, 비교적 저렴한 비용으로 제조된다. 천공 기구도 비교적 저렴하게 제조되고, 세척 장치의 다른 재료들과 마찬가지로 생물학적으로 덜 오염된다.

따라서, 세척 장치(101)는 비교적 저렴하게 제조되고 사용이 용이하다. 이는, 와이퍼의 사용 직전 까지 와이퍼가 축축하게 젖어지는 것을 지연시키며, 이에 따라서 세척액과 와이퍼 사이의 오랜 접촉으로 인한 바람직하지 않은 영향을 방지할 수가 있다.

(와이퍼)

본 명세서에서 "도포기" 또는 "와이퍼" 라는 용어는 세척 룸 등에서 세척 표면에 사용되기 적합한 직물을 의미하는 것이다.

이러한 도포기 또는 와이퍼는 상당히 청결하다는 점에서 티슈 및 이와 유사한 재료와 구별되며, 또한 세척액에 의해 축축하게 젖어지거나 포화되지만 와이퍼 표면에대해서 사용될 때 구조적으로 일체식이며 습식 강도가 비교적 크다는 점에서도 구별된다.

널리 공지된 바와 같이, 건식 스폿이 없이 모든 와이퍼를 통하여 세척액이 분포되기 위해서 와이퍼의 스택에 소정의 최소량의 세척액이 도포되어야만 한다. 이러한 최소량은 사용되는 와이퍼의 형태, 세척액의 형태, 그리고 다른 인자들에 따라서 달라질 수 있다. 그러나, 완전한 포화 상태에 필요한 양은 통상적으로 20% 내지 40% 이다.

통상적으로, 세척 룸 와이퍼가 습식 세척에 사용될 때 포화도는 거의 100% 이하이며, 통상적으로 40% 내지 70% 정도여서, 와이퍼가 표면에 대해서 압축될 때 용제를 표면 상으로 배출시키며, 압력이 해체되면 세척액을 다시 흡수하여서, 표면상에 많은 잔류 세척액이 남겨지는 일이 없다.

반면에, 제약 제조 설비에 있어서는 최대 살균을 제공하기 위하여 표면 상에 액체 생물독의 코우팅을 남겨지게 할 필요가 있다. 따라서, 이러한 와이퍼는 생물독을 함유한 세척 물질로 완전히 포화된다.

취약한 용기(28, 30)내의 세척액의 전체 량을 적어도 전체 와이퍼를 축축하게 하는데 필요한 최대량과 동일하며, 전체 포화에 필요한 양의 100% 이상이 될 수 있다.

반도체 제조용 세척 룸 및 제약 제조 설비 등과 같이 민감한 지역에 사용되는 세척 직물은 입자 방출 레벨, 이온 재료의 레벨, 흡수성, 세척 재료에 대한 저항성, 및 생물독 등에 의한 결핍 등과 같은 특성을 고려하여 주의 깊게 선택되어야 한다.

이러한 분야에서 성공적으로 사용되고 있는 와이퍼 직물로서는 다음과 같은 편조,직조, 또는 비 직조의 직물들이 있다.

1. 바람직하게 연속 필라멘트사로 제조된 100% 폴리에스터 또는 나일론. 통상적인 재료로서는, 상품명 "알파 와이프", " 알파졸브", 및 "알파 10" 이나, 또는 미국 뉴저어지 어퍼 새들 리버에 소재하는 "텍스와이퍼 컴패니 엘엘씨" 가 시판하는 "미라클 와이프" 가 있다. 직조의 폴리에스터나 나이론 직물도 사용될 수 있다.

이들 직물 중 일부는 도 4에 개략적으로 도시된 방식으로 가장자리(70)를 따라서 밀봉되는데, 이에 대해서는 미국 특허 제 4,888,229 호에 보다 상세히 개시되어 있다.

2. 100% 스펀 결합 폴리프로필렌 이러한 직물의 섬유는 불규칙하게 배열되고 열이나 화학 작용에 의해서 함께 접합된다. 이와 같은 구조를 사용하는 통상의 제품으로서는 "텍스와이프 컴패니 엘엘씨" 에서 시판하는 상표명 "폴리새트"가 있다.

3. 55% 셀룰로우즈와 45% 폴리에스테르 섬유, 또는 하이드로엔탱클먼트와 접합된 100% 폴리에스테르. 통상적인 제품으로서는 텍스와이프의 "테크니클로즈" 제품이다.

4. 100% 폴리우레탄 발포재.

5. 나일론, 아크릴, 아바카 (예를들면, 텍스와이프에서 시판하는 "M-와이프" 와이퍼), 헴프, 코튼 등으로 제조된 기타 직물.

(세척액)

본 발명에 사용하기 적합한 세척액은 실질적으로 세척가능한 어떠한 물질도 모두 포함한다. 본 발명에 사용될 수 있으나 와이퍼 재료와의 오랜 접촉으로 인하여 문제를 야기시킬 수 있는 몇몇 세척 물질은 다음과 같이 요약한다.

1. 비이온화된 물. 비이온화된 물은 보통의 물 보다 공격적인 용제이다. 더욱이, 물이 와이퍼 재료와의 오랜 접촉을 유지한다면, 박테리아가 성장할 위험성이 있다.

살균제가 물에 첨가될 수 있다. 그러나, 살균제는 와이퍼 재료와의 오랜 접촉으로 인하여 종종 효과를 상실할 때가 있다. 또한, 살균제는 세척액에 오염을 제공할 우려도 있다.

2. 생물독과 물.

3. 물과 알코올, 이소프로필 알코올("IPA")의 입자 상태의 혼합물. 6% 이하의 IPA 내지 100% IPA 의 용액이 사용될 수 있다.

4. 예를들어 프로필렌 글리콜 에테르와 같은, 물과 글리콜 에테르의 혼합물. 활성 성분의 백분율은 3% 내지 100% 에서 변화될 수 있으마, 통상적인 범위는 3% 내지 6% 이다. 통상적인 제품은 텍스와이프에서 상표명 "텍스퓨어"로 시판되는 것이다.

5. 100% 순순 아세톤. 아세톤은 매우 휘발성이고 어떤 접착제에 대해서는 공격적이다.

6. 생물독이 있거나 또는 없는 상태의 물과 세제 및/또는 계면 활성제의 혼합물.

7. 광학 표면을 세척하기 위해서는, 암모니아 또는 소디움 하이드록 사이드와 같은 기타 기지 용액을 함유하는 유리 세정제.

8. 하이드로젠 페록사이드와 물. 통상적으로, 35% 용액이 안정제와 함께 사용된다.

9. 여러가지 유지 용제.

10. 테르펜스. 테르펜스는 오랜 접촉으로 인하여 외부 용기 상의 접착제 밀봉부를 용해시키는 경향이 있어서, 제품의 제조시 접착제의 선택이 제한된다.

11. 산 (약한 용액).

12. 소디움 하이플크롤라이트와 같은 표백제와 물.

(백 제료)

취약한 백(16)과 외부 백(12)을 제조하는 재료는 세척 장치 내의 세척액에 대한 저항성을 가져야 한다. 예들 들어서, 폴리프로필렌은 매우 다양한 세척 용제에 대한 저항성을 가지며, 따라서 바람직한 재료이다. 폴리에틸렌도 적절한 재료이다.

또한, 많은 경비가 허용될 경우에는 테프론 (폴리테트라플루오르에틸렌)이

사용될 수 있다.

(세척 장치 내의 와이퍼의 수)

특정 세척 장치 내의 와이퍼의 스택(14)의 두께는 하나에서 매우 많은 수 까지 변화될 수 있다. 그러나, 세척 장치 내의 와이퍼의 수가 많을수록 와이퍼에 세척액이 흡수되는데 걸리는 시간은 보다 길어진다. 그러므로, 특정 세척장치내에 사용되는 와이퍼의 수는 세척액, 와이퍼, 그리고 와이퍼가 사용되기전에 세척액이 배출되고나서 사용자가 기다리는 시간에 따라서 다르다.

통상적으로, 앞에서 언급된 대부분의 와이퍼에 있어서는, 50개의 와이퍼를 포함하는 세척 장치가 가장 넓게 사용될 것으로 고려된다. 세척 룸에서는, 통상적으로그러한 시간이 하루 내지 2주일 정도 걸린다. 그러나, 필요에 따라서는 수백개의 와이퍼가 단일의 세척 장치내에 설치될 수도 있다.

약 50 개의 와이퍼와 통상적인 세척액을 사용할 경우, 세척액을 모두 흡수하는데 걸리는 대기 시간은 약 5 분 정도이다. 어떤 경우에는, 약 20 분의 시간이 필요하기도 하다.

물론, 와이퍼의 수가 적으면 흡수는 매우 빨라질 수 있다.

예를들어서, 비교적 적은 수의, 즉, 1개 내지 5개의 와이퍼를 포함하는 세척 장치가 비상 세척용 장치로서 사용될 수 있다. 이러한 세척 장치는 매우 신속하게 작동될 수 있는데, 이는 와이퍼의 수가 작으므로 와이퍼를 촉촉하게 적시는데 오랜 시긴이 걸리지 않기 때문이다.

사용시 와이퍼를 준비하는 속도는 와이퍼로 분포되는 세척액의 양을 증가시킴으로써 보다 빨라질 수 있다. 다소 와이퍼가 많은 세척액으로 적셔지더라도, 비상용으로 빠르게 준비할 수 있도록 교체되는 경우에는 임시로 사용가능하다.

본 발명의 기본적인 개념에서 벗어나지 않는한, 내부 용기로부터 세척액을 배출시키는 여러가지 다른 수단이 고려될 수 있음은 당연하다.

본 발명에 대한 이상의 설명은 단지 예시적인 것이며, 결코 본 발명은 이에 국한시키는 것은 아니다. 본 발명의 기술 분야에서 숙련된 당업자들에 의해 여러가지 변화 및 변형이 이들 실시예에 대해 이루어질 수 있다. 이는 본 발명의 사상 또는 범위를 벗어나지 않는 한도 내에서 이루어질 수 있다.

Claims (10)

1. 액밀의 제 1 용기(12)와, 상기 제 1 용기 내의 적어도 하나의 세척 도포기 (24)와, 상기 제 1 용기 내의 액밀의 제 2 용기(16)와, 상기 제 2 용기 내의 세척액(32)의 조합으로 이루어지며,

   상기 제 2 용기는 개방가능한 동시에 상기 제 1 용기 내에 위치되어 상기 제 2 용기로부터의 상기 세척액이 상기 도포기에 의해 흡수되도록 배출시키는 세척 장치.
2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 용기(16)가, 상기 제 2 용기 벽 내의 취약 지역(46); 상기 제 1 용기에로 압력의 적용 시 상기 제 2 용기를 천공하도록 위치된 상기 제 1 용기내의 천공 부재(102); 및 상기 제 2 용기내의 다수의 홀(86)을 제거 가능하게 덮는 풀-스트립(92)으로 구성된 군으로부터 선택된 수단에 의해 상기 제 1 용기(12)의 벽을 통해 상기 제 2 용기에로 압력을 적용시킴으로서 파열될 수 있도록 구성되는 세척 장치.
3. 제 1 항에 있어서, 상기 세척액 또는 상기 도포기중의 어느 하나가 서로 장기간 접촉함으로 인해 오염되는 세척 장치.
4. 제 1 항에 있어서, 상기 액체의 양이 상기 적용기를 포화시키는 데에 필요한양의 100%이상으로서 상기 적용기를 축축하게 하기에 충분한 양이고, 상기 세척액이 비이온화된 물, 알코올, 물과 알코올의 혼합물, 아세톤, 물과 글리콜 에테르의 혼합물, 물과 생물독의 혼합물, 생물독이 있거나 또는 없는 상태의 물과 세제/계면 활성제의 혼합물, 과산화수소와 물의 혼합물, 테르펜, 암모니아와 물의 혼합물, 및 표백제와 물의 혼합물로 이루어진 그룹으로부터 선택되고, 상기 도포기는 편성 직물, 직제 직물, 스펀결합 직물을 포함한 비직제 직물, 하이드로엔탱글 직물, 및 발포제로 이루어진 그룹으로부터 선택된 직물로 제조되는 세척 장치.
5. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 용기(12)내의 다수의 상기 세척 도포기를 포함하며, 상기 각각의 제 1 용기 및 제 2 용기는 가요성 플라스틱 백이고, 상기 제 2 용기는 취약한 백이고, 상기 취약한 백은 상기 외부 용기가 상기 외부 용기의 하부벽 위쪽 표면 상에 놓여질 때 상기 취약한 백이 상기 와이퍼의 상부에 놓여지며, 상기 외부 백이 상기 하부벽이 아닌 상기 외부 백의 벽 내에 재폐쇄가능한 구멍을 갖추고 있는 세척 장치.
6. 제 1 항에 있어서, 상기 제 2 용기가 가요성 백으로서, 이는 상기 제 1 용기를 진공 밀봉하고, 상기 제 2 용기를 상기 제 1 용기의 바닥 벽의 내면에 접착시키고, 그리고 상기 바닥 벽을 상기 제 2 용기의 일 벽으로서 사용함으로써 상기 제 2 용기를 형성하는 것으로 구성된 군으로부터 선택된 수단에 의해 상기 세척 도포기에 상대적인 위치로 유지되는 세척 장치.
7. (1) 적어도 하나의 흡수제 세척 도포기(14) 및 세척액을 수용하는 액밀의 제 1 용기(16)를 포함하며 상기 도포기와 상기 제 1 용기가 모두 제 2 용기 내에 수용된 세척 장치(10)를 제공하는 단계와,

   (2) 상기 세척액을 상기 제 1 용기(16)로부터 배출시키는 동시에 상기 도포기(14) 및 상기 제 1 용기를 상기 제 2 용기(12) 내에 유지시키는 단계와,

   (3) 상기 외부 용기로부터 상기 도포기를 제거시키는 단계와,

   (4) 상기 도포기를 세척에 사용하는 단계를 포함하는 세척 방법.
8. 제 7 항에 있어서, 상기 세척액이 활성 성분을 함유하고, 상기 도포기중 어느 하나와 활성 성분이 서로 장기간 접촉함으로 인해 오염되는 세척 방법.
9. 제 8 항에 있어서, 상기 활성 성분이 생물독 및 세척룸용 용제인 세척 방법.
10. 제 7 항에 있어서, 상기 제 1 및 제 2 용기가 서로 조립되기 전에 그러나 상기 세척 도포기를 사용하기 전에 그 용기를 장기간동안 저장하는 단계를 포함하는 세척 방법.

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