CN117913021A - 裸片顶出装置以及包括其的裸片键合设备 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及一种裸片顶出装置以及包括其的裸片键合设备，根据本发明的裸片顶出装置包括：顶出器主体，构成为圆筒形；罩体，构成在所述顶出器主体的上方，并形成有在中心部形成的中心孔以及空气能够在所述中心孔的周边流动的周边孔；缓冲部件，在所述顶出器主体的内部空间中位于所述罩体的下方并在中心部形成与所述罩体的中心孔连通的空间；推杆部件，构成为在所述顶出器主体的内部空间中位于所述缓冲部件的下方并通过所述中心孔升降；弹性部件，结合于所述推杆部件和所述缓冲部件而使所述推杆部件的振动衰减；止挡部件，保持所述缓冲部件和所述推杆部件之间的间距；以及升降部件，位于所述推杆部件的下方并使所述推杆部件升降。

Description

裸片顶出装置以及包括其的裸片键合设备
技术领域
本发明涉及一种裸片顶出装置以及包括其的裸片键合设备。
背景技术
半导体制造工艺作为制造可以处理电信号的半导体产品的工艺，包括在晶圆上通过氧化、曝光、蚀刻、离子注入、蒸镀等的处理过程形成图案的处理工艺(前工艺)和通过针对形成图案的晶圆的划片、裸片键合、布线、模制、标记、测试等之类的过程来制造最终产品形式的半导体封装件的封装工艺(后工艺)。
裸片键合作为通过切割(划片)使从晶圆被单个化的裸片(Die)附着于基板(例：PCB(Printed Circuit Board))上的工艺，大体包括从晶圆使裸片分离的过程和将裸片键合在基板上的过程。在裸片分离过程中，首先为了容易地从晶圆分离裸片，将附着于晶圆的下部的划片带拉动到外围而扩大裸片之间的间距。之后，从下部推起裸片并在上部由裸片移送单元拾取并移送裸片。
另一方面，随着电子设备技术的发展以及半导体制造工艺的精细化，裸片的厚度也一起缩减，处理这样薄的裸片是半导体封装技术中重要的课题。尤其，重要的是使裸片从划片带分离的过程中不要使裸片损坏。
发明内容
本发明的实施例提供一种在防止将薄的裸片键合在基板上的过程中裸片损坏的同时可以使裸片从划片带分离的裸片顶出装置以及包括其的裸片键合设备。
根据本发明的裸片顶出装置包括：顶出器主体，构成为圆筒形；罩体，构成在所述顶出器主体的上部，并形成有形成在中心部的中心孔以及空气能够在所述中心孔的周边流动的周边孔；缓冲部件，在所述顶出器主体的内部空间中位于所述罩体的下方，并在中心部形成与所述罩体的所述中心孔连通的空间；推杆部件，构成为在所述顶出器主体的内部空间中通过所述中心孔升降；弹性部件，结合于所述推杆部件和所述缓冲部件而使所述推杆部件的振动衰减；止挡部件，保持所述缓冲部件和所述推杆部件之间的间距；以及升降部件，位于所述推杆部件的下方而使所述推杆部件升降。
根据本发明的实施例，所述缓冲部件在所述罩体的下方定位，所述推杆部件构成为相对于所述罩体以及所述缓冲部件升降。
根据本发明的实施例，所述推杆部件包括：基底部，在所述缓冲部件和所述升降部件之间插入到所述顶出器主体的内部空间；以及杆部，从所述基底部向上方延伸，并通过所述缓冲部件以及所述罩体的所述中心孔升降，并且在中心形成供空气能够流动的第一空气流路。
根据本发明的实施例，所述升降部件具有具备与所述第一空气流路连通的内部空间的圆筒形状。
根据本发明的实施例，所述第一空气流路形成为供空气流动，所述空气用于将位于所述罩体的所述中心孔的上方的裸片从划片带分离。
根据本发明的实施例，在所述顶出器主体的内侧壁形成至少一个凹槽，所述凹槽与所述罩体的所述周边孔连通而形成第二空气流路。
根据本发明的实施例，所述第二空气流路构成为供空气流动，所述空气形成用于将所述裸片的周边的划片带向下方吸附的真空压。
根据本发明的实施例，所述升降部件由附着于所述推杆部件的下表面的磁体构成。
根据本发明的实施例，所述弹性部件构成为两端固定在所述推杆部件和所述缓冲部件，并使通过施加到所述推杆部件的空气压力产生的振动衰减。
根据本发明的实施例，所述弹性部件的一端固定在所述推杆部件的上表面，所述弹性部件的另一端固定在从所述缓冲部件的下表面向上方引入一定深度的程度的引入部。
可以是，根据本发明的实施例，所述止挡部件由止挡螺栓构成，所述止挡螺栓具有以固定方式插入到所述推杆部件的螺栓插入部以及结合于所述缓冲部件的螺栓头部。
可以是，根据本发明的实施例，在所述缓冲部件形成能够供所述止挡部件插入的贯通孔，在所述贯通孔的下部形成与所述螺栓头部接触的卡止台。
可以是，根据本发明的实施例，所述弹性部件以及所述止挡部件分别构成为一对，一对所述弹性部件位于以所述缓冲部件的中心点为基准彼此相对的区域，一对所述止挡部件位于以所述缓冲部件的中心点为基准彼此相对的区域。
根据本发明的裸片顶出装置包括：顶出器主体，构成为圆筒形；罩体，构成在所述顶出器主体的上方，并形成有形成在中心部的中心孔以及空气能够在所述中心孔的周边流动的周边孔；缓冲部件，在所述顶出器主体的内部空间中位于所述罩体的下方，并在中心部形成与所述罩体的所述中心孔连通的空间；推杆部件，构成为在所述顶出器主体的内部空间中通过所述中心孔升降；弹性部件，结合于所述推杆部件和所述缓冲部件而使所述推杆部件的振动衰减；止挡部件，保持所述缓冲部件和所述推杆部件之间的间距；以及升降部件，位于所述推杆部件的下方而使所述推杆部件升降。所述裸片顶出装置使附着于划片带的裸片位于形成在所述推杆部件的中心部的第一空气流路的上方，向通过所述周边孔形成的第二空气流路施加真空压而将所述划片带向下部方向吸附在所述裸片的周边，使所述推杆部件上升，从而从所述划片带一次剥离所述裸片，在所述推杆部件的第一空气流路中向上部方向喷射空气，从而从所述划片带二次剥离所述裸片。
根据本发明的裸片键合设备包括：裸片供应模组，供应用于安装在基板上的裸片；裸片移送模组，从所述裸片供应模组移送所述裸片；裸片工作台，从所述裸片移送模组安放所述裸片；裸片键合模组，从所述裸片工作台拾取所述裸片并键合在所述基板；以及键合工作台，移送所述基板并将结束键合的基板传送到料盒。所述裸片供应模组包括：晶圆扩展器，用于支承附着有多个裸片的划片带，并扩展所述多个裸片之间的间距；以及裸片顶出装置，使所述裸片从所述划片带分离。所述裸片顶出装置包括：顶出器主体，构成为圆筒形；罩体，构成在所述顶出器主体的上方，并形成有在中心部形成的中心孔以及空气能够在所述中心孔的周边流动的周边孔；缓冲部件，在所述顶出器主体的内部空间中位于所述罩体的下方，并在中心部形成与所述罩体的所述中心孔连通的空间；推杆部件，构成为在所述顶出器主体的内部空间中通过所述中心孔升降；弹性部件，结合于所述推杆部件和所述缓冲部件而使所述推杆部件的振动衰减；止挡部件，保持所述缓冲部件和所述推杆部件之间的间距；以及升降部件，位于所述推杆部件的下方而使所述推杆部件升降。所述弹性部件由弹簧构成，所述弹簧插入到从所述缓冲部件的下表面向上方引入相当于一定深度的引入部而对所述推杆部件施加弹性力，所述止挡部件由止挡螺栓构成，所述止挡螺栓具有以固定的方式插入到所述推杆部件的螺栓插入部以及结合于所述缓冲部件的螺栓头部。
根据本发明，通过与位于推杆部件的上方的缓冲部件结合的弹性部件使推杆的振动衰减，从而能够防止通过推杆的振动对裸片施加冲击。
附图说明
图1示出了本发明所能够适用的裸片键合设备的概略布局。
图2示出了本发明所能够适用的裸片供应模组的概略构造。
图3示出了根据本发明的裸片顶出装置的外观。
图4示出了根据本发明的裸片顶出装置的内部构造。
图5以及图6是根据本发明的裸片顶出装置中推杆下降的状态的截面图。
图7以及图8是根据本发明的裸片顶出装置中推杆上升的状态的截面图。
图9是根据本发明的裸片顶出装置的X-Y平面的截面图。
图10至图12是用于说明从根据本发明的裸片顶出装置剥离裸片的过程的图。
图13示出了根据本发明的裸片顶出装置的罩体。
(附图标记说明)
1：裸片键合设备
10：裸片供应模组
20：裸片移送模组
25：机架
30：裸片工作台
35：机架
40：裸片键合模组
45：导轨
50：键合工作台
60：料盒装载器
70：料盒卸载器
100：晶圆扩展器
110：晶圆环
120：扩展器环
125：升降机构
130：基底环
200：裸片顶出装置
210：顶出器主体
220：罩体
230：缓冲部件
240：推杆部件
250：弹性部件
260：止挡部件
270：升降部件
具体实施方式
以下，参照所附附图，详细说明本发明的实施例，使得在本发明所属技术领域中具有通常知识的人能够容易地实施。本发明可以以各种不同的形式实现，并不限于在这里说明的实施例。
为了明确说明本发明，省略了与说明无关的部分，通过整个说明书对相同或相似的构成要件附加相同的附图标记。
另外，在多个实施例中，对于具有相同构成的构成要件，使用相同的符号而仅在代表性实施例中进行说明，在其之外的其它实施例中，仅对与代表性实施例不同的构成进行说明。
在整个说明书中，当任一部分与其它部分“连接(或者结合)”时，其不仅包括“直接连接(或者结合)”的情况，还包括隔着其它部件“间接连接(或者结合)”的情况。另外，当任一部分“包括”任一构成要件时，这意指只要没有特别相反的记载，那么不是排除其它构成要件，而是可以还包括其它构成要件。
只要没有不同地定义，那么在这里使用的包括技术术语或者科学术语的所有术语具有与本发明所属技术领域中具有通常知识的人员所通常理解的含义相同的含义。通常使用的词典中所定义的术语之类的术语应解释为具有与相关技术的文脉上所具有的含义相同的含义，只要在本申请中没有明确地定义，那么不应被解释为理想化或过于形式化的含义。
图1示出本发明所能够适用的裸片键合设备1的概略布局。裸片键合设备1是用于执行使通过划片工艺从晶圆被单个化的裸片(Die)附着于基板(例：PCB(Printed CircuitBoard))的裸片键合工艺的设备。由被单个化的裸片构成的晶圆W投入到裸片键合设备1，在装载在料盒MZ1的基板S键合各裸片之后，结束键合的基板S装载在料盒MZ2。
根据本发明的裸片键合设备1包括：裸片供应模组10，供应用于安装在基板S的裸片D；裸片移送模组20，从裸片供应模组10移送裸片D；裸片工作台30，从裸片移送模组20安放裸片D；裸片键合模组40，从裸片工作台30拾取裸片D并键合在基板S；键合工作台50，移送基板S并将结束键合的基板S传送到料盒MZ2。
参照图1，被单个化为多个裸片D的晶圆W从晶盒(未图示)移送到裸片供应模组10，个别裸片D通过裸片供应模组10从晶圆W分离。从晶圆W分离的裸片D被裸片移送模组20移送到裸片工作台30。在此，裸片移送模组20可以通过机架25沿着水平方向(Y方向)移动。
在裸片工作台30中通过位于上方或者下方的视觉检查模组(未图示)执行对裸片D的检查，通过裸片键合模组40从裸片工作台30拾取裸片D后，键合在位于键合工作台50的基板S。同样地，裸片键合模组40构成为设置于机架35并能够沿着水平方向(Y方向)移动。另外，为了确定精确的键合位置，可以在上方设置视觉单元(未图示)。
另一方面，裸片键合设备1可以包括：料盒装载器60，装载收纳有基板S的料盒MZ1，将基板S从料盒MZ1提供到键合工作台50；料盒卸载器70，保管并排出收纳结束键合的基板S的料盒MZ2。基板S从料盒装载器60供应到键合工作台50，键合工作台50沿着导轨45在水平方向(X方向)上移动，通过裸片键合模组40在基板S上键合裸片D。裸片D被全部键合的基板S被收纳到料盒MZ2。
以下，将参照图2来对裸片供应模组10的详细结构进行说明。
图2示出了本发明所能够适用的裸片供应模组10的概略构造。裸片供应模组10从被单个化为多个裸片D的晶圆W分离裸片D，通过裸片移送模组20拾取被分离的裸片D。晶圆W通过划片工艺被单个化为多个裸片D，并以在下方附着有划片带DT的状态被供应到裸片供应模组10。虽没有具体示出，可以在裸片D的下方附着裸片附着膜，裸片D通过裸片附着膜暂时附着于划片带DT。在此，划片带DT的外围部以通过晶圆环110固定的状态供应到裸片供应模组10。裸片供应模组10可以使裸片D从划片带DT分离并能够被裸片移送模组20拾取。
裸片供应模组10包括：晶圆扩展器100，用于支承附着有多个裸片D的划片带DT，并扩展多个裸片D之间的间距；裸片顶出装置200，使裸片D从划片带DT分离。
如图2所示，晶圆扩展器100可以包括：扩展器环120，与使划片带DT的外围部固定的晶圆环110固定结合；基底环130，支承划片带DT的下部。
扩展器环120可以与下部的升降机构125结合而升降，若扩展器环120下降，则划片带DT一起被伸长，同时裸片D之间的间距拉大。若裸片D之间的间距拉大，则可以通过裸片顶出装置200从划片带DT分离裸片D。
以下，对根据本发明的裸片顶出装置200进行说明。根据本发明的裸片顶出装置200可以在将裸片D从划片带DT分离的过程中，防止裸片D的损坏的同时防止裸片的位置偏移。
图3示出了根据本发明的裸片顶出装置200的外观，图4示出了根据本发明的裸片顶出装置200的内部构造。
根据本发明的裸片顶出装置200包括：顶出器主体210，构成为圆筒形；罩体220，构成在顶出器主体210的上方，并形成有在中心部形成的中心孔222以及空气能够在中心孔222的周边流动的周边孔224；缓冲部件230，在顶出器主体210的内部空间212中位于罩体220的下方并在中心部形成与罩体220的中心孔222连通的空间；推杆部件240，构成为在顶出器主体210的内部空间212中通过中心孔222升降；弹性部件250，结合于推杆部件240和缓冲部件230而使推杆部件240的振动衰减；止挡部件260，保持缓冲部件230和推杆部件240之间的间距；升降部件270，位于推杆部件240的下方并使推杆部件240升降。
根据本发明，可以通过与位于推杆部件240的上方的缓冲部件230结合的弹性部件250来使推杆部件240的振动衰减，于是可以防止由于推杆部件240的振动导致的对裸片D施加冲击或裸片D的位置偏移。空气通过位于推杆部件240的中央的空间向上方流动，由于空气的压力，可能对推杆部件240施加振动。由于推杆部件240的振动，裸片D可能损坏或裸片D的位置偏移。根据本发明，通过与推杆部件240结合的弹性部件250，可以衰减推杆部件240的振动，于是能够顺畅地剥离裸片D。
参照图3以及图4，罩体220结合在具有圆筒形状的顶出器主体210的上部，缓冲部件230、推杆部件240、升降部件270依次结合在顶出器主体210的内部空间。罩体220也可以与顶出器主体210构成为一体。可以是，缓冲部件230以固定的状态与罩体220的下部结合，推杆部件240通过升降部件270上升或者下降。推杆部件240上升一次而一次剥离裸片D。追加地，通过形成在推杆部件240的中心部的空间向裸片D喷射空气，通过空气的压力，裸片D被二次剥离。
顶出器主体210是在内部具有空的内部空间212的圆筒形的构造物，用于剥离裸片D的部件安装于顶出器主体210。之后如图5所示，在顶出器主体210的内侧壁形成凹槽214，凹槽214与罩体220的周边孔224连通而构成第二空气流路P2。在顶出器主体210的下方设置供应空气或排气的气压控制部(未图示)以及使升降部件270上升或者下降的驱动部(未图示)。
可以是，罩体220结合于顶出器主体210的上端，并结合于形成在顶出器主体210的上端部的台部。用于剥离裸片D的中心孔222以及周边孔224形成在罩体220。可以是，形成在罩体220的中心部的中心孔222与缓冲部件230的中心连通，推杆部件240通过中心孔222上升或者下降。参照图13的(a)、(b)，在罩体220的中心部设置中心孔222，在中心孔222的周边排列多个周边孔224。如图13的(a)，罩体凹槽226可以沿着中心孔222的水平线(X轴线)形成。罩体凹槽226是比罩体220的表面凹入一定深度的程度的部分。罩体凹槽226可以作为用于位于裸片顶出装置200的上方的视觉单元(未图示)确定裸片D的位置的标记而发挥作用。然而，当存在罩体凹槽226时，在剥离非常薄的裸片D的过程中，可能发生周边的裸片D一起被剥离的情况。于是，如图13的(b)，确认了当去除罩体凹槽226并使用根据本发明的裸片顶出装置200剥离裸片D时，防止周边的裸片D一起被剥离的现象。
缓冲部件230在顶出器主体210的内部空间212中配置于罩体220和推杆部件240之间。缓冲部件230提供为以插入到顶出器主体210的内部空间212的状态被固定的构造物。缓冲部件230可以通过弹性部件250以及止挡部件260结合于推杆部件240。参照图5，可以是，在缓冲部件230形成从下表面向上方被挖开的引入部232，弹性部件250插入到引入部232。另外，参照图6，在缓冲部件230形成形成为上表面宽且下表面窄的贯通孔234。止挡部件260从贯通孔234的上部插入到下部，止挡部件260穿过贯通孔234并固定在推杆部件240。缓冲部件230在罩体220的下方定位，推杆部件240构成为相对于罩体220以及缓冲部件230升降。缓冲部件230的引入部232以及贯通孔234可以分别构成为一对。引入部232可以位于相对于缓冲部件230的中心点彼此相对的位置，另外，贯通孔234可以位于相对于缓冲部件230的中心点彼此相对的位置。在此，引入部232和贯通孔234可以设置为相对于缓冲部件230的中心点隔着彼此垂直角度的夹角。例如，引入部232可以位于缓冲部件230的12点钟方向和6点钟方向，贯通孔234位于缓冲部件230的3点钟方向和9点钟方向。可以是，弹性部件250插入到引入部232，止挡部件260插入到贯通孔234。如图9所示，可以是，推杆部件240的杆部244插入到缓冲部件230的中心，以杆部244为中心形成有一对的引入部232，另外，以杆部244为中心形成有一对的贯通孔234。另外，在顶出器主体210的内侧壁可以形成多个凹槽214。
推杆部件240在顶出器主体210的内部空间212中位于缓冲部件230的下方，在推杆部件240的下方设置升降部件270。推杆部件240构成为通过升降部件270上升或者下降。在推杆部件240的内部形成空气能够流动的第一空气流路P1。
推杆部件240包括：基底部242，在缓冲部件230和升降部件270之间插入到顶出器主体210的内部空间212；杆部244，从基底部242向上方延伸，通过缓冲部件230以及罩体220的中心孔222升降，在中心形成供空气能够流动的第一空气流路P1。可以是，基底部242具有与顶出器主体210的内部空间212相对应的形状且空气在基底部242的内部中流动。基底部242的开口部可以形成为比杆部244的开口部宽的面积。
可以是，如图5以及图6所示，推杆部件240保持基本上下降的状态，如图7以及图8所示，通过升降部件270上升。此时，裸片D被一次剥离。另外，通过形成在推杆部件240的内部的第一空气流路P1向上方喷射空气而使裸片D从划片带DT二次剥离。此时，通过第二空气流路P2向下方施加真空压，从而裸片D周边的划片带DT可以向下方吸附。
升降部件270在顶出器主体210的内部空间212中位于推杆部件240的下方。升降部件270可以由附着于推杆部件240的下表面的磁体构成。在升降部件270的下方可以设置使升降部件270上升或者下降的驱动部(未图示)。升降部件270可以具有具备与第一空气流路P1连通的内部空间的圆筒形状。升降部件270的圆筒外部空间可以与第二空气流路P2连通。
第一空气流路P1形成为供空气流动，所述空气用于将位于罩体的中心孔的上方的裸片D从划片带DT分离。在顶出器主体210的内侧壁形成至少一个凹槽214，凹槽214与罩体220的周边孔224连通而形成第二空气流路P2。第二空气流路P2构成为供空气流动，所述空气形成用于将裸片D的周边的划片带DT向下方吸附的真空压。
弹性部件250构成为两端固定在推杆部件240和缓冲部件230，并使通过施加到推杆部件240的空气压力产生的振动衰减。参照图5至图8，弹性部件250的一端固定在推杆部件240的上表面，弹性部件250的另一端固定在从缓冲部件230的下表面向上方引入相当于一定深度的引入部232。
参照图5至图8，止挡部件260由止挡螺栓构成，所述止挡螺栓具有以固定方式插入到推杆部件240的螺栓插入部262以及结合于缓冲部件230的螺栓头部264。在缓冲部件230形成能够供止挡部件260插入的贯通孔234，在贯通孔234的下部形成与螺栓头部264接触的卡止台。
可以是，弹性部件250以及止挡部件260分别构成为一对，一对弹性部件250可以位于以缓冲部件230的中心点为基准彼此相对的区域，一对止挡部件260位于以缓冲部件230的中心点为基准彼此相对的区域。
图10至图12是用于说明根据本发明的裸片顶出装置200中剥离裸片D的过程的图。根据本发明，使附着于划片带DT的裸片D位于形成在推杆部件240的中心部的第一空气流路P1的上方，向通过周边孔224形成的第二空气流路P2施加真空压而将划片带DT向下部方向吸附在裸片D的周边，使推杆部件240上升，从而从划片带DT一次剥离裸片D，在推杆部件240的第一空气流路P1中向上部方向喷射空气，从而从划片带DT二次剥离裸片D。
本实施例以及本说明书中所附的附图只不过明确表示包括在本发明中的技术构思的一部分，显而易见的是由本领域技术人员能够在包括在本发明的说明书以及附图中的技术构思的范围内容易导出的变形例和具体实施例均包括在本发明的权利范围中。
因此，本发明的构思不应局限于所说明的实施例，不仅是所附权利要求书，与该权利要求书等同或等价变形的所有构思属于本发明构思的范畴。

Claims (20)

1.一种裸片顶出装置，包括：
顶出器主体，构成为圆筒形；
罩体，形成有形成在中心部的中心孔以及空气能够在所述中心孔的周边流动的周边孔；
缓冲部件，在所述顶出器主体的内部空间中位于所述罩体的下方，并在中心部形成与所述罩体的所述中心孔连通的空间；
推杆部件，构成为在所述顶出器主体的内部空间中通过所述中心孔升降；
弹性部件，结合于所述推杆部件和所述缓冲部件而使所述推杆部件的振动衰减；
止挡部件，保持所述缓冲部件和所述推杆部件之间的间距；以及
升降部件，位于所述推杆部件的下方而使所述推杆部件升降。
2.根据权利要求1所述的裸片顶出装置，其中，
所述缓冲部件在所述罩体的下方定位，
所述推杆部件构成为相对于所述罩体以及所述缓冲部件升降。
3.根据权利要求1所述的裸片顶出装置，其中，
所述推杆部件包括：
基底部，在所述缓冲部件和所述升降部件之间插入到所述顶出器主体的内部空间；以及
杆部，从所述基底部向上方延伸，并通过所述缓冲部件以及所述罩体的所述中心孔升降，并且在中心形成有供空气能够流动的第一空气流路。
4.根据权利要求3所述的裸片顶出装置，其中，
所述升降部件具有具备与所述第一空气流路连通的内部空间的圆筒形状。
5.根据权利要求4所述的裸片顶出装置，其中，
所述第一空气流路形成为供空气流动，所述空气用于将位于所述罩体的所述中心孔的上方的裸片从划片带分离。
6.根据权利要求3所述的裸片顶出装置，其中，
在所述顶出器主体的内侧壁形成至少一个凹槽，
所述凹槽与所述罩体的所述周边孔连通而形成第二空气流路。
7.根据权利要求6所述的裸片顶出装置，其中，
所述第二空气流路构成为供空气流动，所述空气形成用于将所述裸片的周边的划片带向下方吸附的真空压。
8.根据权利要求1所述的裸片顶出装置，其中，
所述升降部件由附着于所述推杆部件的下表面的磁体构成。
9.根据权利要求1所述的裸片顶出装置，其中，
所述弹性部件构成为两端固定在所述推杆部件和所述缓冲部件，并使通过施加到所述推杆部件的空气压力产生的振动衰减。
10.根据权利要求9所述的裸片顶出装置，其中，
所述弹性部件的一端固定在所述推杆部件的上表面，
所述弹性部件的另一端固定在从所述缓冲部件的下表面向上方引入相当于一定深度的引入部。
11.根据权利要求1所述的裸片顶出装置，其中，
所述止挡部件由止挡螺栓构成，所述止挡螺栓具有以固定的方式插入到所述推杆部件的螺栓插入部以及结合于所述缓冲部件的螺栓头部。
12.根据权利要求11所述的裸片顶出装置，其中，
在所述缓冲部件形成能够供所述止挡部件插入的贯通孔，
在所述贯通孔的下部形成与所述螺栓头部接触的卡止台。
13.根据权利要求1所述的裸片顶出装置，其中，
所述弹性部件以及所述止挡部件分别构成为一对，
一对所述弹性部件位于以所述缓冲部件的中心点为基准彼此相对的区域，
一对所述止挡部件位于以所述缓冲部件的中心点为基准彼此相对的区域。
14.一种裸片顶出装置，包括：
顶出器主体，构成为圆筒形；
罩体，形成有形成在中心部的中心孔以及空气能够在所述中心孔的周边流动的周边孔；
缓冲部件，在所述顶出器主体的内部空间中位于所述罩体的下方，并在中心部形成与所述罩体的所述中心孔连通的空间；
推杆部件，构成为在所述顶出器主体的内部空间中通过所述中心孔升降；
弹性部件，结合于所述推杆部件和所述缓冲部件而使所述推杆部件的振动衰减；
止挡部件，保持所述缓冲部件和所述推杆部件之间的间距；以及
升降部件，位于所述推杆部件的下方而使所述推杆部件升降，
使附着于划片带的裸片位于形成在所述推杆部件的中心部的第一空气流路的上方，
向通过所述周边孔形成的第二空气流路施加真空压而将所述划片带向下部方向吸附在所述裸片的周边，
使所述推杆部件上升，从而从所述划片带一次剥离所述裸片，
在所述推杆部件的第一空气流路中向上部方向喷射空气，从而从所述划片带二次剥离所述裸片。
15.根据权利要求14所述的裸片顶出装置，其中，
所述升降部件具有与所述第一空气流路连通的圆筒形状，
所述升降部件由附着于所述推杆部件的下表面的磁体构成。
16.根据权利要求14所述的裸片顶出装置，其中，
所述弹性部件构成为两端固定在所述推杆部件和所述缓冲部件，并使通过施加到所述推杆部件的空气压力产生的振动衰减。
17.根据权利要求16所述的裸片顶出装置，其中，
所述弹性部件的一端固定在所述推杆部件的上表面，
所述弹性部件的另一端固定在从所述缓冲部件的下表面向上方引入相当于一定深度的引入部。
18.根据权利要求14所述的裸片顶出装置，其中，
所述止挡部件由止挡螺栓构成，所述止挡螺栓具有以固定的方式插入到所述推杆部件的螺栓插入部以及结合于所述缓冲部件的螺栓头部。
19.根据权利要求18所述的裸片顶出装置，其中，
在所述缓冲部件形成能够供所述止挡部件插入的贯通孔，
在所述贯通孔的下部形成与所述螺栓头部接触的卡止台。
20.一种裸片键合设备，其中，包括：
裸片供应模组，供应用于安装在基板的裸片；
裸片移送模组，从所述裸片供应模组移送所述裸片；
裸片工作台，从所述裸片移送模组安放所述裸片；
裸片键合模组，从所述裸片工作台拾取所述裸片并键合在所述基板；以及
键合工作台，移送所述基板，并将结束键合的基板传送到料盒，
所述裸片供应模组包括：
晶圆扩展器，用于支承附着有多个裸片的划片带，并扩展所述多个裸片之间的间距；以及
裸片顶出装置，从所述划片带分离所述裸片，
所述裸片顶出装置包括：
顶出器主体，构成为圆筒形；
罩体，构成在所述顶出器主体的上方，并形成有形成在中心部的中心孔以及空气能够在所述中心孔的周边流动的周边孔；
缓冲部件，在所述顶出器主体的内部空间中位于所述罩体的下方，并在所述中心部形成与所述罩体的所述中心孔连通的空间；
推杆部件，构成为在所述顶出器主体的内部空间中通过所述中心孔升降；
弹性部件，结合于所述推杆部件和所述缓冲部件而使所述推杆部件的振动衰减；
止挡部件，保持所述缓冲部件和所述推杆部件之间的间距；以及
升降部件，位于所述推杆部件的下方而使所述推杆部件升降，
所述弹性部件由弹簧构成，所述弹簧插入到从所述缓冲部件的下表面向上方引入相当于一定深度的引入部而对所述推杆部件施加弹性力，
所述止挡部件由止挡螺栓构成，所述止挡螺栓具有以固定的方式插入到所述推杆部件的螺栓插入部以及结合于所述缓冲部件的螺栓头部。
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