CN117758270A - 一种真空器皿内壁电解质等离子抛光装置及抛光方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及电解质等离子抛光设备技术领域，尤其涉及一种真空器皿内壁电解质等离子抛光装置及抛光方法，该真空器皿内壁电解质等离子抛光装置，包括电解槽和设置在电解槽内的多个阴极棒，所述电解槽还设置有加热管，所述电解槽上设置有抛光机构，所述抛光机构包括升降结构、往复结构和夹持结构，所述往复结构安装在升降结构上，所述夹持结构装配在往复结构上，所述往复结构用于带动夹持结构沿往复结构往复移动，所述夹持结构用于自动夹紧以及松开真空器皿的外壳。其目的在于，在抛光过程中，能够连续对真空器皿的内壁进行电解质等离子抛光，方便、快捷，有利于真空器皿的大批量抛光。

Description

一种真空器皿内壁电解质等离子抛光装置及抛光方法

技术领域

本发明涉及电解质等离子抛光设备技术领域，尤其涉及一种真空器皿内壁电解质等离子抛光装置及抛光方法。

背景技术

电解质等离子抛光是一种新型的抛光技术，最先由白俄罗斯米达利特国家大学科技园提出的，其基本工作原理是通过在工件和抛光液之间形成的气层，通过等离子体放电去除工件表面微观凸起作用来实现抛光。与传统抛光比较，它的电解液为低浓度的盐溶液，并可通过补充盐溶液而循环使用且不会产生有害废液，能够解决机械抛光难于加工形状复杂工件的问题，更解决化学和电化学抛光难以避免的环境污染问题。该技术适用于对金属表面抛光、去毛刺、钝化、清除氧化层、污渍和除油脂等，具有可处理任何轮廓的工件、抛光质量高、抛光时间短、环保无污染、抛光表面耐腐蚀和低应力等优点，应用前景广阔。

目前，在进行真空器皿的内壁抛光时，一般采用中心阴极法进行抛光，可有效的的对器皿的内壁进行抛光。在采用中心阴极法抛光时，有两种抛光方式，一种是将阴极棒插入真空器皿内，由阴极棒喷洒电解质等离子抛光液，从而对真空器皿的内壁进行抛光；另一种是电解槽内先灌注电解质等离子抛光液，阴极棒位于电解质等离子抛光液内，再将真空器皿下降至电解质等离子抛光液内，且阴极棒位于真空器皿内，从而进行抛光。第一种抛光方式存在抛光液喷洒不均匀等问题，导致抛光效果不佳；第二种方式抛光时，一般是通过多个夹持结构先将多个真空器皿的外壳依次人工夹紧后，再通过升降设备将夹紧后的真空器皿的外壳进入抛光液中，抛光完成后，再通过升降设备带动上升，再通过人工取下抛光后的真空器皿的外壳，此种方式操作较为繁琐，大批量抛光时，还会影响生产效率；且由于抛光液的汽化上升，对操作人员存在一定的危害性。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是提供一种真空器皿内壁电解质等离子抛光装置及抛光方法，在抛光过程中，能够连续对真空器皿的内壁进行电解质等离子抛光，方便、快捷，有利于真空器皿的大批量抛光。

本发明通过以下技术手段解决上述技术问题：

一种真空器皿内壁电解质等离子抛光装置，包括电解槽和设置在电解槽内的多个阴极棒，所述电解槽还设置有加热管，所述电解槽上设置有抛光机构，所述抛光机构包括升降结构、往复结构和夹持结构，所述往复结构安装在升降结构上，所述夹持结构装配在往复结构上，所述往复结构用于带动夹持结构沿往复结构往复移动，所述夹持结构用于自动夹紧以及松开真空器皿的外壳。

在上述方案的基础上，本申请还进行了以下优化：

进一步，所述往复结构包括动力源、第一往复组件和第二往复组件，所述第一往复组件和第二往复组件均固定装配在升降结构上，且分别设置在电解槽开口处的上部两侧，所述动力源固定连接在第一往复组件上，用于同步带动第一往复组件和第二往复组件运动。

根据上述技术手段，通过第一往复组件和第二往复组件运动能够带动夹持结构和夹持结构夹持的真空器皿循环进入电解槽的上方。

进一步，所述第一往复组件和第二往复组件结构相同，所述第一往复组件包括架体、传输带和传动轮，所述架体的边缘开设有环形槽，所述传动轮转动安装在环形槽内，所述传输带张紧在环形槽内，并与传动轮张紧，所述动力源固定安装在架体上，并与传动轮传动连接。

根据上述技术手段，通过动力源工作，能够同步带动第一往复组件和第二往复组件上的传输带同步工作，从而使夹持后的真空器皿能够稳定移动。

进一步，所述架体包括第一架体和第二架体，所述第一架体和第二架体固定连接，所述第一架体的外侧边缘和第二架体的外侧边缘呈钝角。

根据上述技术手段，通过第一架体的外侧边缘和第二架体的外侧边缘呈钝角，有利于真空器皿的夹持或松开。

进一步，所述夹持结构包括挂钩、挂臂和夹持组件，所述挂钩设置在往复结构上，所述挂臂固定设置在两个轴向平行的挂钩上，所述夹持组件设置在挂臂上，用于夹紧以及松开真空器皿的外壳。

根据上述技术手段，使夹持组件能够同步夹持多个真空器皿，且夹持后，使多个真空器皿保持在同一水平面，有利于后续的抛光。

进一步，所述夹持组件包括多个夹持单元，多个所述夹持单元均匀布置在挂臂上，用于夹持或松开多个真空器皿的外壳；

多个所述夹持单元结构相同，所述夹持单元包括套环、连接臂、第一夹持组件、第二夹持组件和调节件，所述套环安装在挂臂上，所述连接臂对称连接在套环上，所述第一夹持组件和第二夹持组件分别连接在两个连接臂的自由端，用于夹紧或松开真空器皿的外壳，所述调节件设置在第一夹持组件和第二夹持组件上，用于控制第一夹持组件和第二夹持组件的夹紧或松开。

根据上述技术手段，夹持单元能够自动夹紧或松开真空器皿。

进一步，所述第一夹持组件和第二夹持组件结构相同，所述第一夹持组件包括壳体、滑动杆、滑动块和夹持件，所述壳体固定连接在连接臂上，所述滑动杆滑动穿出壳体，所述滑动块固定连接在滑动杆上，所述夹持件设置在壳体内，所述夹持件的夹持端位于壳体外，所述滑动块与夹持件传动连接，用于控制夹持件的工作。

根据上述技术手段，能够稳定的夹持真空器皿。

进一步，所述夹持结构还包括解锁结构，所述解锁结构包括解锁件和承载组件，所述解锁件设置在往复结构的一侧，用于真空器皿的外壳内壁抛光后的夹持解锁，所述承载组件设置在往复结构的另一侧，用于承载真空器皿的外壳，并使夹持结构夹持真空器皿的外壳。

进一步，所述承载组件包括承载板和限位台，所述限位台对称设置在承载板上，所述承载板可移动的设置在往复结构内。

根据上述技术手段，在往复结构工作的过程中，通过解锁件和承载组件的配合，能够实现夹持结构对真空器皿的自动夹持或松开。

本申请还公开了一种真空器皿内壁电解质等离子抛光方法，所述方法包括以下步骤：

S1.将真空器皿的外壳放置在承载组件上，通过夹持结构将真空器皿的外壳夹持；

S2.往复结构工作，带动夹持结构和真空器皿的外壳移动，进入电解槽区域；

S3.往复结构下降，带动真空器皿的外壳进入电解槽内，使每个外壳对应一个阴极棒，并逐渐抛光液接触，进行等离子抛光；

S4.抛光完成后，往复结构上升，带动夹持结构和真空器皿的外壳上升，并脱离阴极棒，往复结构工作，带动夹持结构和真空器皿的外壳逐渐上升，并逐渐与解锁件接触，使抛光后的真空器皿的外壳脱离夹持结构；

S5.往复结构继续工作，带动夹持结构再次位于承载组件处，再次夹持待抛光的真空器皿的外壳，往复循环。

根据上述技术手段，能够实现对真空器皿内壁的连续抛光，在抛光过程中，不需要人工操作，有利于真空器皿内壁的大批量、连续抛光，从而有利于提高生产效率。

采用上述方案的本申请，至少具有如下有益效果：

1.通过在电解槽上部设置抛光机构，抛光机构包括升降结构、往复结构和夹持结构，通过升降结构、往复结构和夹持结构的相互配合，能够连续对真空器皿的内壁进行电解质等离子抛光，方便、快捷，有利于真空器皿的大批量抛光；

2.通过往复结构的设置，能够实现夹持结构以及被夹持的真空器皿沿往复结构循环移动，且能够在夹持结构的运动过程中，实现真空器皿的自动夹持与释放，可以不用额外的动力，使用成本更低；

3.通过设置夹持结构，夹持结构包括多个夹持单元、解锁件和承载组件，通过夹持单元、解锁件和承载组件的相互配合，能够实现对待抛光的多个真空器皿的自动夹持以及对抛光后的真空器皿的自动松开，从而提高自动化程度，降低劳动强度；

4.通过解锁件和调节件的相互配合，能够实现夹持单元在往复运动过程中，对第一夹持组件和第二夹持组件的同步解锁，结构巧妙，实用性强；

5.通过承载组件的设置，一方面，能够实现对待抛光真空器皿的放置，另一方面，能够实现在对真空器皿的夹持过程中，自动锁紧，无需额外的控制动力，实用性强。

附图说明

本申请可以通过附图给出的非限定性实施例进一步说明；

图1是本申请实施例真空器皿内壁电解质等离子抛光装置的结构示意图之一；

图2是本申请实施例真空器皿内壁电解质等离子抛光装置的结构示意图之二；

图3是图2中A处的放大结构示意图；

图4是本申请实施例真空器皿内壁电解质等离子抛光装置的剖视结构示意图；

图5是本申请实施例中抛光机构的结构示意图；

图6是图5中B处的放大结构示意图；

图7是本申请实施例中往复结构的部分拆分结构示意图；

图8是本申请实施例中夹持结构的部分配合结构示意图；

图9是本申请实施例中夹持单元的剖视的结构示意图；

图10是图9中C处的放大结构示意图；

主要符号元件说明：

1、电解槽；11、阴极棒；12、加热管；13、进液管；14、出液管；

2、驱动件；21、安装座；22、连接板；23、导向柱；

3、往复结构；31、第一架体；32、第二架体；33、环形槽；331、传输带；34、传动轮；35、动力源；351、传动杆；36、转动轮；37、限位块；

4、夹持结构；41、挂钩；42、挂臂；43、套环；431、连接臂；44、第一夹持组件；441、壳体；442、滑动杆；443、滑动块；444、封堵块；445、转动柱；446、第一触发块；447、第二触发块；448、第二楔形块；4480、阶梯槽；4481、第二移动杆；4482、第二弹簧；449、第一楔形块；4490、容纳槽；4491、第一移动杆；4492、弧形块；4493、第一弹簧；45、第二夹持组件；46、第一调节杆；47、第二调节杆；

5、解锁件；51、固定杆；52、解锁板；

6、承载组件；61、第一承载板；62、第二承载板；63、限位台；631、斜坡；64、弹性块；65、支持杆；66、承载杆；67、第二扭簧；7、真空器皿。

具体实施方式

以下通过特定的具体实施例说明本发明的实施方式，本领域技术人员可由本说明书所揭露的内容了解本发明的优点和功效。需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本发明的限制，为了更好地说明本发明的实施例，图中某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸；对本领域技术人员来说，图中某些公知结构及其说明可能省略是可以理解的。

本发明实施例的图中相同或相似的标号对应相同或相似的部件，在本发明的描述中，需要理解的是，若有术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此图中描述位置关系的用语仅用于示例性说明，不能理解为对本发明的限制，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述用语的具体含义，且在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

需要说明的是，以下实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本发明的基本构想，遂图式中仅显示与本发明中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。

如图1-10所示，本申请实施例公开了一种真空器皿内壁电解质等离子抛光装置，包括电解槽1和设置在电解槽1内的多个阴极棒11。电解槽1内盛放有电解质等离子抛光液，多个阴极棒11等间距固定安装在电解槽1的底部。电解槽1还设置有加热管12，加热管12绕阴极棒11呈波浪状，有利于对电解质等离子抛光液的均匀加热。电解槽1上设置有抛光机构，用于实现连续对真空器皿7的内壁进行电解质等离子抛光。

在本实施例中，电解槽1内设置有循环系统。循环系统包括进液管13和出液管14，进液管13设置在电解槽1的一侧，用于将电解质等离子抛光液补充进入电解槽1，同时，还可以补充干净水，调节电解槽1内电解质等离子抛光液的浓度。出液管14设置在电解槽1的另一侧，用于长期使用后的电解质等离子抛光液排出电解槽1。

在本实施例中，电解质等离子抛光液的组分和浓度为现有技术，故此不在赘述。

在一些实施例中，如图5所示，抛光机构包括升降结构、往复结构3和夹持结构4。往复结构3安装在升降结构上，夹持结构4装配在往复结构3上，使升降结构能够带动往复结构3和夹持结构4上下移动，从而进出电解槽1，进而使待抛光的真空器皿7能够进入抛光液中抛光，抛光完成的真空器皿7能够脱离抛光液。往复结构3用于带动夹持结构4沿往复结构3往复移动，从而实现待抛光的真空器皿7和抛光完成的真空器皿7不断循环，实现连续化抛光。夹持结构4用于自动夹紧以及松开真空器皿7的壳体441。

在一些实施例中，如图1-4所示，升降结构包括连接板22和驱动件2。连接板22固定连接在往复结构3上，并穿出往复结构3的两侧，驱动件2的输出端与连接板22固定连接，用于通过连接板22带动往复结构3上升或下降。

在本实施例中，驱动件2可以是气缸、液压缸等伸缩设备，还可以是电动伸缩杆等具备伸缩功能的设备。根据实际使用情况，可以选择具体的伸缩设备。本方案中，驱动件2设置为气缸，优选为两个，两个气缸分别通过气缸安装座21固定安装在电解槽1的侧壁处，气缸的输出轴与连接板22固定连接。为保持升降的稳定性，两个气缸的一侧均安装有导向柱23，导向柱23滑动穿出连接板22。

在一些实施例中，如图1-2和图4以及图7所示，往复结构3包括动力源35、第一往复组件和第二往复组件。第一往复组件和第二往复组件均固定装配在连接板22上，且分别设置在电解槽1开口处的上部两侧，使气缸工作时，能够带动第一往复组件和第二往复组件进出电解槽1。动力源35固定连接在第一往复组件上，用于同步带动第一往复组件和第二往复组件运动。

在本实施例中，动力源35为伺服电机、减速电机、步进电机、变频电机等中的一种，可以根据实际需要选择合适的电机。本方案中，动力源35为伺服电机，伺服电机通过螺栓固定安装在第一往复组件上。

在本实施例中，如图7所示，第一往复组件和第二往复组件结构相同，下面以第一往复组件为例进行说明，如下：第一往复组件包括架体、传输带331和传动轮34。架体的边缘开设有环形槽33，传动轮34转动安装在环形槽33内，传输带331张紧在环形槽33内，并与传动轮34张紧。动力源35固定安装在架体的外侧，并与传动轮34通过花键固定连接，使动力源35工作时，能够带动传动轮34转动，从而能够带动传输带331沿环形槽33往复移动。

在本实施例中，可以在两个架体的外侧均安装动力源35，用于控制两个架体上的传输带331运动。为节约成本，同时，使两个传输带331保持同步转动，两个架体上的传动轮34通过传动杆351固定连接，有利于夹持结构4对真空器皿7的夹持以及释放。

在本实施例中，为使传输带331在环形槽33内的移动更顺畅，架体于环形槽33内转动安装有多个转动轮36，传输带331的内壁与转动轮36相接触。

在一些实施例中，如图7所示，架体包括第一架体31和第二架体32。第一架体31和第二架体32固定连接，第一架体31的外侧边缘和第二架体32的外侧边缘呈钝角，使传输带331在进入第二架体32时，呈斜向上运动；使传输带331在进入第一架体31时，呈斜向下运动；从而带动夹持结构4和被夹持的真空器皿7能够斜向上或斜向下运动。

在本实施例中，钝角的角度大于105°，小于160°，使第一架体31和第二架体32形成的斜面能够使夹持结构4和被夹持的真空器皿7距第二架体32有较大的移动范围，便于后续操作。

在本实施例中，第一架体31和第二架体32可以通过焊接固定连接，也可以通过螺栓固定连接。为保证传输带331在第一架体31和第二架体32形成的斜面上，贴合环形槽33移动，第二架体32于环形槽33的两侧均通过螺栓固定安装限位块37。

在一些实施例中，如图2-3和图5所示，夹持结构4包括挂钩41、挂臂42、夹持组件和解锁结构。挂钩41设置有多组，多组挂钩41均固定设置在往复结构3的传输带331上，挂臂42固定设置在两个轴向平行的挂钩41上，夹持组件设置在挂臂42上，用于夹紧以及松开真空器皿7的壳体441。解锁结构设置在往复结构3的左右两侧，用于配合夹持组件在移动时，使夹持组件能够自动夹紧待抛光的真空器皿7以及自动释放内壁抛光后的真空器皿7。

在一些实施例中，如图8-10所示，夹持组件包括多个夹持单元，多个夹持单元均匀布置在挂臂42上，用于夹持或松开多个真空器皿7的外壳，使每次能够对多个真空器皿7进行抛光作业。

在本实施例中，多个夹持单元结构相同，下面以其中一个夹持单元为例进行说明，如下：夹持单元包括套环43、连接臂431、第一夹持组件44、第二夹持组件45和调节件。套环43固定安装在挂臂42上，连接臂431对称焊接在套环43上，第一夹持组件44和第二夹持组件45分别连接在两个连接臂431的自由端，用于夹紧或松开真空器皿7的外壳。调节件设置在第一夹持组件44和第二夹持组件45上，用于控制第一夹持组件44和第二夹持组件45的夹紧或松开。

在本实施例中，如图9-10所示，第一夹持组件44和第二夹持组件45结构相同，下面以第一夹持组件44为例进行说明，如下：第一夹持组件44包括壳体441、滑动杆442、滑动块443和夹持件。壳体441固定连接在连接臂431的自由端，滑动杆442滑动穿出壳体441的上下两端，滑动块443固定连接在滑动杆442上，用于限制滑动杆442在壳体441内的上下移动距离。夹持件设置在壳体441内，夹持件的夹持端位于壳体441外，用于对真空器皿7的外壳进行夹持，从而使第一夹持组件44和第二夹持组件45工作时，能够通过两个夹持件将真空器皿7的外壳稳定夹持。滑动块443与夹持件传动连接，用于控制夹持件的工作。

在一个可选的实施方式中，夹持件包括小型电动伸缩杆和弧形夹爪，小型电动伸缩杆的输出轴与弧形夹爪的外壁固定连接，壳体441内安装有控制按钮，用于控制小型电动伸缩杆的工作。当滑动杆442上升时，能够通过滑动块443按压控制按钮，从而使小型电动伸缩杆工作，进而使两个弧形夹爪将真空器皿7的外壳夹持。当滑动块443脱离控制按钮时，小型电动伸缩杆控制弧形夹爪自动收缩，便于下一次夹持。

在另一个可选的实施方式中，如图10所示，夹持件包括转动柱445、第一楔形块449、第一移动杆4491和弧形块4492。转动柱445转动安装在壳体441的内壁两侧，转动柱445与壳体441的内壁两侧均安装有第一扭簧，用于转动柱445转动后的复位。转动柱445上的两侧分别固定设置有第一触发块446和第二触发块447，第一触发块446和第二触发块447均呈楔形，滑动块443的截面呈三角形，滑动块443与第一触发块446相接，使滑动块443的移动能够带动第一触发块446和转动柱445转动。

在本实施例中，第一移动杆4491滑动穿出壳体441，壳体441内壁开设有容纳槽4490，第一楔形块449位于容纳槽4490处，第一楔形块449通过螺栓固定安装在第一移动杆4491的一端，弧形块4492焊接在第一移动杆4491的另一端，且位于壳体441的外侧。第一移动杆4491上套设有第一弹簧4493，第一弹簧4493的一端固定连接在壳体441的内壁上，另一端与第一楔形块449固定连接，第二触发块447与第一楔形块449相接。当滑动杆442向上移动时，通过滑动块443带动第一触发块446和转动柱445转动，使第二触发块447向下转动，从而挤压第一楔形块449，使第一移动杆4491和弧形块4492移动，进而使弧形块4492将真空器皿7的外壳夹紧；当滑动杆442下降时，转动柱445、第一触发块446和第二触发块447在第一扭簧的作用复位，使第二触发块447逐渐脱离第一楔形块449，在第一弹簧4493的作用下，弧形块4492复位，松开对真空器皿7的外壳的夹持。

在本实施例中，滑动块443向上移动时，不会脱离第一触发块446，在第一扭簧的作用下，第一触发块446对滑动块443存在向下的作用力，为避免滑动块443自动向下移动，导致对真空器皿7的夹持力降低；壳体441的内壁一侧开设有阶梯槽4480，阶梯槽4480内安装有第二楔形块448，第二楔形块448上通过螺栓固定安装有第二移动杆4481。第二移动杆4481上套设有第二弹簧4482，第二弹簧4482的一端与阶梯槽4480连接，另一端与第二楔形块448连接，第二楔形块448与滑动块443相接，滑动块443上还焊接有封堵块444。

当滑动杆442上升过程中，封堵块444逐渐脱离阶梯槽4480，在弧形块4492将真空器皿7的外壁夹紧后，封堵块444完全脱离阶梯槽4480，使第二楔形块448在第二弹簧4482的作用下，向外移动，从而与滑动块443的侧壁相抵，将滑动块443支撑，从而避免滑动块443在第一扭簧的作用下，自动下降；当滑动杆442下降时，滑动块443将第二楔形块448挤压回阶梯槽4480，并通过封堵块444将阶梯槽4480封堵，避免滑动块443在通过阶梯槽4480后，第二楔形块448滑出，影响滑动杆442的上升。

通过转动柱445、第一楔形块449、第一移动杆4491和弧形块4492的相互配合，能够实现对不同尺寸的真空器皿7的外壳的夹持，且相比小型电动伸缩杆与弧形夹爪相比，更节约使用成本。

在一些实施例中，如图3和图9-10所示，调节件包括第一调节杆46。第一调节杆46呈倒U形，第一调节杆46的两端分别固定连接在第一夹持组件44和第二夹持组件45上的滑动杆442上，且第一调节杆46的最高点位于挂臂42上方，用于将两个滑动杆442连接成一个整体。套环43上固定安装有伸缩件，伸缩件的输出端与第一调节杆46的倒U形顶点固定连接，使伸缩件工作时，能够带动第一调节杆46上下移动，从而能够带动滑动杆442上下移动，进而能够控制第一夹持组件44和第二夹持组件45对真空器皿7的夹紧或松开。

在一些其他实施例中，调节件还包括第二调节杆47，第二调节杆47呈L形，并固定连接在第一调节杆46上，伸缩件固定安装在壳体441上，伸缩件的输出端与L形第二调节杆47固定连接，使伸缩件工作时，能够通过带动第二调节杆47上下移动，第二调节杆47上下移动带动第一调节杆46上下移动，从而带动滑动杆442上下移动。

在本实施方式中，伸缩件为小型气缸、小型电动伸缩杆等可以实现伸缩功能的设备中的一种，还可以根据实际需要选择合适的伸缩设备。通过外接的动力设备，配合第一调节杆46和/或第二调节杆47，能够实现对第一夹持组件44和第二夹持组件45的自动控制，从而对真空器皿7的自动夹紧或松开。

在一些其他实施例中，第一夹持组件44和第二夹持组件45还可以直接设置为两个相同的电动夹爪，两个电动夹爪通过螺栓固定安装在两个连接臂431上，用于实现对真空器皿7的自动夹持或松开。电动夹爪的类型根据实际生产情况进行选择。

在本实施例中，如图3、图5和图8所示，解锁结构包括解锁件5和承载组件6。解锁件5设置在往复结构3的一侧，用于真空器皿7的外壳内壁抛光后的夹持解锁。承载组件6设置在往复结构3的另一侧，用于承载真空器皿7的外壳，并使夹持结构4夹持真空器皿7的外壳。

在本实施方式中，解锁件5包括固定杆51和解锁板52。解锁板52固定安装在固定杆51上，且与固定杆51呈所在的水平面呈锐角，固定杆51的两端分别通过螺栓固定安装在两个架体上，解锁板52位于两个架体之间。在此种解锁方式中，调节件只包括上述的第一调节杆46和第二调节杆47，不包含伸缩件。当传输带331带动挂钩41、挂臂42和夹持组件沿环形槽33移动时，使第二调节杆47逐渐与解锁板52相抵，随着传输带331的斜向上移动，使第二调节杆47在解锁板52的挤压下，带动第一调节杆46向下移动，从而带动滑动杆442向下移动，滑动杆442向下移动带动滑动块443向下移动，从而松开夹持件，使夹持件不在对真空器皿7的外壳夹紧，使内壁抛光后的真空器皿7能够脱离夹持结构4。

通过此种方式解锁夹持，使解锁时，不用增加外接动力设备，即可以不采用伸缩件以及小型电动伸缩杆，节省使用成本。

在本实施方式中，如图5-6所示，承载组件6包括承载板和限位台63。限位台63对称设置在承载板上，待夹持的真空器皿7放置在两个限位台63之间，承载板可移动的设置在两个架体之间，使承载板上放置的待抛光的真空器皿7能够在被夹持组件夹持后，自动避让，不阻挡夹持组件和被夹持的真空器皿7的移动。

在本实施方式中，如图5所示，承载板包括第一承载板61和第二承载板62，第一承载板61和第二承载板62之间具有间距，两个限位台63分别固定安装在第一承载板61和第二承载板62上，使待夹持的真空器皿7放置在两个限位台63之间。第一承载板61和第二承载板62的后端两侧均穿设有承载杆66，承载杆66上均固定安装有支持杆65，第一承载板61和第二承载板62与每个支持杆65之间均设置有第二扭簧67，第二扭簧67套设在承载杆66上，第一承载板61和第二承载板62能够保持水平，从而稳定放置待夹持的真空器皿7。

当夹持组件对真空器皿7进行夹持时，此时滑动杆442与限位台63处于垂直相抵状态，随着传输带331带动夹持组件下降，两个滑动杆442被同步挤压向上移动，带动两个滑动块443上移，从而带动两个夹持件工作，将真空器皿7的外壳稳定夹持，此时，第二楔形块448将滑动块443抵住，避免夹持力降低；随着传输带331的继续移动，使夹持组件克服第二扭簧67的扭力，将第一承载板61和第二承载板62打开，从而使夹持了真空器皿7的夹持组件随传输带331向下移动，并通过第一承载板61和第二承载板62，准备进入电解槽1；在通过第一承载板61和第二承载板62后，在第二扭簧67的回复力作用下，第一承载板61和第二承载板62自动复位，能够用于放置下一批待夹持的真空器皿7。

通过传输带331的移动带动夹持组件将真空器皿7夹持，并使第一承载板61和第二承载板62分开，形成避让，使夹持后的真空器皿7能够移动至电解槽1上方，整个过程中，只采用一个动力源35，使用成本更低(此时，夹持件中也不采用小型电动伸缩杆，调节件中不采用伸缩件)。

为将不同尺寸的真空器皿7稳定放置在两个限位台63之间，两个限位台63于第一承载板61和第二承载板62相对的一侧胶粘有弹性块64。弹性块64可以为海绵、发泡体、弹性橡胶等。

为避免限位台63阻挡滑动杆442随传输带331的下降，限位台63的内侧设置为斜坡631。

在一些其他实施方式中，承载板可以为一整块，限位台63对称设置在承载板上，承载板与外界动力传动连接，使待夹持的真空器皿7被夹持后，外界动力能够带动承载板向承载板的长度方向移动，从而形成避让，此时，承载板不能过长，避免架体对承载板的移动形成阻挡。当然，外界动力的设置方向不同，承载板的移动方向不同，可以根据实际情况考虑承载板的移动方向。

本申请实施例还公开了一种真空器皿内壁电解质等离子抛光方法，包括以下步骤：

S1.将真空器皿7的外壳放置在承载板的两个限位台63之间，动力源35工作带动传输带331移动，使夹持组件将真空器皿7的外壳夹持；

S2.动力源35继续工作，带动夹持结构4和真空器皿7的外壳随传输带331继续移动，将第一承载板61和第二承载板62分开，并使夹持组件和被夹持的真空器皿7进入电解槽1区域的上方；

S3.驱动件2的输出轴下降，带动往复结构3、夹持结构4和被夹持的真空器皿7的外壳进入电解槽1内，使每个外壳对应一个阴极棒11，并逐渐抛光液接触，对真空器皿7的内壁进行等离子抛光；

S4.抛光完成后，驱动件2的输出轴上升，带动往复结构3、夹持结构4和内壁抛光完成的真空器皿7上升，并脱离阴极棒11，动力源35工作，通过传输带331带动夹持组件和内壁抛光完成的真空器皿7逐渐上升，使第二调节杆47逐渐与解锁板52接触，随着第二调节杆47的上升，滑动杆442下降，使每个夹持单元均松开抛光后的真空器皿7，使真空器皿7脱离夹持结构4，掉入下部的斜向软质滑板，软质滑板的底部与传输设备连接，从而将内壁抛光完成后的真空器皿7传输至下一个工序；

S5.动力源35继续工作，带动夹持结构4再次位于承载板处，再次夹持待抛光的真空器皿7的外壳，往复循环，配合升降结构，实现连续对真空器皿7的内壁进行电解质等离子抛光。

以上对本发明提供的一种真空器皿内壁电解质等离子抛光装置及抛光方法进行了详细介绍。具体实施例的说明只是用于帮助理解本发明的方法及其核心思想。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明原理的前提下，还可以对本发明进行若干改进和修饰，这些改进和修饰也落入本发明权利要求的保护范围内。

应当指出，在说明书中提到的“一个实施例”、“实施例”、“一些可选的实施例”、“示例性实施例”、“一些实施例”等表示所述的实施例可以包括特定特征、结构或特性，但未必每个实施例都包括该特定特征、结构或特性。此外，这样的短语未必是指同一实施例。此外，在结合实施例描述特定特征、结构或特性时，结合明确或未明确描述的其他实施例实现这样的特征、结构或特性处于本领域技术人员的知识范围之内。

应当容易地理解，应当按照最宽的方式解释本公开中的“在……上”、“在……以上”和“在……之上”，以使得“在……上”不仅意味着“直接处于某物上”，还包括“在某物上”且其间具有中间特征或层的含义，并且“在……以上”或者“在……之上”不仅包括“在某物以上”或“之上”的含义，还可以包括“在某物以上”或“之上”且其间没有中间特征或层(即，直接处于某物上)的含义。

此外，文中为了便于说明可以使用空间相对术语，例如，“下面”、“以下”、“下方”、“以上”、“上方”等，以描述一个元件或特征相对于其他元件或特征的如图所示的关系。空间相对术语意在包含除了附图所示的取向之外的处于使用或操作中的器件的不同取向。装置可以具有其他取向(旋转90度或者处于其他取向上)，并且文中使用的空间相对描述词可以同样被相应地解释。

需要说明的是，在本文中，诸如“第一”和“第二”等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个……”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。

最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本申请的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本申请进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本申请各实施例技术方案的范围。

Claims (10)

1.一种真空器皿内壁电解质等离子抛光装置，包括电解槽(1)和设置在电解槽(1)内的多个阴极棒(11)，所述电解槽(1)还设置有加热管(12)，其特征在于，所述电解槽(1)上设置有抛光机构，所述抛光机构包括升降结构、往复结构(3)和夹持结构(4)，所述往复结构(3)安装在升降结构上，所述夹持结构(4)装配在往复结构(3)上，所述往复结构(3)用于带动夹持结构(4)沿往复结构(3)往复移动，所述夹持结构(4)用于自动夹紧以及松开真空器皿(7)的外壳。

2.根据权利要求1所述的真空器皿内壁电解质等离子抛光装置，其特征在于，所述往复结构(3)包括动力源(35)、第一往复组件和第二往复组件，所述第一往复组件和第二往复组件均固定装配在升降结构上，且分别设置在电解槽(1)开口处的上部两侧，所述动力源(35)固定连接在第一往复组件上，用于同步带动第一往复组件和第二往复组件运动。

3.根据权利要求2所述的真空器皿内壁电解质等离子抛光装置，其特征在于，所述第一往复组件和第二往复组件结构相同，所述第一往复组件包括架体、传输带(331)和传动轮(34)，所述架体的边缘开设有环形槽(33)，所述传动轮(34)转动安装在环形槽(33)内，所述传输带(331)张紧在环形槽(33)内，并与传动轮(34)张紧，所述动力源(35)固定安装在架体上，并与传动轮(34)传动连接。

4.根据权利要求3所述的真空器皿内壁电解质等离子抛光装置，其特征在于，所述架体包括第一架体(31)和第二架体(32)，所述第一架体(31)和第二架体(32)固定连接，所述第一架体(31)的外侧边缘和第二架体(32)的外侧边缘呈钝角。

5.根据权利要求1或2所述的真空器皿内壁电解质等离子抛光装置，其特征在于，所述夹持结构(4)包括挂钩(41)、挂臂(42)和夹持组件，所述挂钩(41)设置在往复结构(3)上，所述挂臂(42)固定设置在两个轴向平行的挂钩(41)上，所述夹持组件设置在挂臂(42)上，用于夹紧以及松开真空器皿(7)的外壳。

6.根据权利要求5所述的真空器皿内壁电解质等离子抛光装置，其特征在于，所述夹持组件包括多个夹持单元，多个所述夹持单元均匀布置在挂臂(42)上，用于夹持或松开多个真空器皿(7)的外壳；

多个所述夹持单元结构相同，所述夹持单元包括套环(43)、连接臂(431)、第一夹持组件(44)、第二夹持组件(45)和调节件，所述套环(43)安装在挂臂(42)上，所述连接臂(431)对称连接在套环(43)上，所述第一夹持组件(44)和第二夹持组件(45)分别连接在两个连接臂(431)的自由端，用于夹紧或松开真空器皿(7)的外壳，所述调节件设置在第一夹持组件(44)和第二夹持组件(45)上，用于控制第一夹持组件(44)和第二夹持组件(45)的夹紧或松开。

7.根据权利要求6所述的真空器皿内壁电解质等离子抛光装置，其特征在于，所述第一夹持组件(44)和第二夹持组件(45)结构相同，所述第一夹持组件(44)包括壳体(441)、滑动杆(442)、滑动块(443)和夹持件，所述壳体(441)固定连接在连接臂(431)上，所述滑动杆(442)滑动穿出壳体(441)，所述滑动块(443)固定连接在滑动杆(442)上，所述夹持件设置在壳体(441)内，所述夹持件的夹持端位于壳体(441)外，所述滑动块(443)与夹持件传动连接，用于控制夹持件的工作。

8.根据权利要求5所述的真空器皿内壁电解质等离子抛光装置，其特征在于，所述夹持结构(4)还包括解锁结构，所述解锁结构包括解锁件(5)和承载组件(6)，所述解锁件(5)设置在往复结构(3)的一侧，用于真空器皿(7)的外壳内壁抛光后的夹持解锁，所述承载组件(6)设置在往复结构(3)的另一侧，用于承载真空器皿(7)的外壳，并使夹持结构(4)夹持真空器皿(7)的外壳。

9.根据权利要求8所述的真空器皿内壁电解质等离子抛光装置，其特征在于，所述承载组件(6)包括承载板和限位台(63)，所述限位台(63)对称设置在承载板上，所述承载板可移动的设置在往复结构(3)内。

10.一种真空器皿内壁电解质等离子抛光方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

S1.将真空器皿(7)的外壳放置在承载组件(6)上，通过夹持结构(4)将真空器皿(7)的外壳夹持；

S2.往复结构(3)工作，带动夹持结构(4)和真空器皿(7)的外壳移动，进入电解槽(1)区域；

S3.往复结构(3)下降，带动真空器皿(7)的外壳进入电解槽(1)内，使每个外壳对应一个阴极棒(11)，并逐渐抛光液接触，进行等离子抛光；

S4.抛光完成后，往复结构(3)上升，带动夹持结构(4)和真空器皿(7)的外壳上升，并脱离阴极棒(11)，往复结构(3)工作，带动夹持结构(4)和真空器皿(7)的外壳逐渐上升，并逐渐与解锁件(5)接触，使抛光后的真空器皿(7)的外壳脱离夹持结构(4)；

S5.往复结构(3)继续工作，带动夹持结构(4)再次位于承载组件(6)处，再次夹持待抛光的真空器皿(7)的外壳，往复循环。