CN117405684A - 一种mems气体传感器模组生产用检测设备 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备，包括检测平台，所述检测平台上端安装有用于输送MEMS气体传感器模组的输送装置，以及用于检测MEMS气体传感器模组的图像检测装置，所述输送装置包括两条并列设置的输送带，所述输送带为闭合的环形，两条输送带之间安装有限位框，所述输送带第一端设置有第一导向组件，通过第一导向组件形成竖直的检测端；所述图像检测装置包括位于检测端第一侧的第一检测组件，以及位于检测端第二侧的第二检测组件。该发明能够一次对MEMS气体传感器模组正反两面进行图像检测，并且能够同步调整两侧图像检测的角度范围，提高了图像检测准确性的同时，极大的提高了检测的效率。

Description

一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备

技术领域

本发明涉及检测设备技术领域，尤其涉及一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备。

背景技术

MEMS气体传感器模组体积小、集中度高，灵敏度高，在气体传感领域被广泛应用。

MEMS气体传感器模组机集成化设计，MEMS气体传感器模组的正面安装有气体检测元件、反面安装有导通控制的脚座，在MEMS气体传感器模组生产的过程中需要对其正面以及反面均进行图像检测。

现有的图像检测设备大多是通过将MEMS气体传感器模组放置于固定的检测平台上，通过改变检测平台与图像检测元件之间的距离来调整图像检测的范围角度，实现连续检测；但是对于MEMS气体传感器模组来说，其双面均需要检测，通过上述传统的检测设备进行检测，检测过程需要多步骤的先后进行，且需要人工或者机械设备对MEMS气体传感器模组检测状态进行翻面调整，检测效率受限。

发明内容

针对上述问题，本发明提供一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备，该发明能够一次对MEMS气体传感器模组正反两面进行图像检测，并且能够同步调整两侧图像检测的角度范围，提高了图像检测准确性的同时，极大的提高了检测的效率。

为解决上述问题，本发明所采用的技术方案是：

一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备，包括检测平台，所述检测平台上端安装有用于输送MEMS气体传感器模组的输送装置，以及用于检测MEMS气体传感器模组的图像检测装置，所述输送装置包括两条并列设置的输送带，所述输送带为闭合的环形，两条输送带之间安装有限位框，所述输送带第一端设置有第一导向组件，通过第一导向组件形成竖直的检测端；所述图像检测装置包括位于检测端第一侧的第一检测组件，以及位于检测端第二侧的第二检测组件；其中，通过输送装置将MEMS气体传感器模组输送至检测端，通过驱动第一导向组件移动以改变图像检测装置的图像检测角度。

通过设置输送装置条形连续输送方式，能够实现对MEMS气体传感器模组的连续输送，同时MEMS气体传感器模组双向无遮挡，能够同步实现对MEMS气体传感器模组的双向图像检测；尤其是通过控制MEMS气体传感器模组在水平面上线性移动，提高了第一检测组件、第二检测组件图像检测数据以及精度的同时，能够一次对MEMS气体传感器模组的正面、反面进行调整，极大地提高了对MEMS气体传感器模组的检测效率。

优选地，所述第一导向组件包括第一导向轮以及第二导向轮，所述检测平台上端设置有第一限位组件用于安装第一导向组件，所述第一限位组件包括与检测平台上端固定连接的第一定位座，所述第一定位座上端安装有导向滑轨，所述导向滑轨内滑动设置有用于安装第一导向轮、第二导向轮的第一安装架，从外侧控制第一安装架移动以带动第一导向组件、限位框移动；通过上述设置，能够保证MEMS气体传感器模组在水平移动过程中的稳定性，保证图像检测结果的准确以及稳定。

优选地，通过输送带控制对应的限位框移动至检测端处于竖直状态后，从外侧控制第一安装架移动以带动第一导向组件、限位框移动。

优选地，所述输送带第二端设置有第二导向组件，通过第二导向组件形成竖直的供料端，所述第二导向组件相对于检测平台滑动且二者之间设置有弹性组件，所述供料端内部安装有供料装置实现MEMS气体传感器模组的上下料；通过设置供料装置能够在相对一侧的位置，在图像检测的过程中同步实现对MEMS气体传感器模组的上料以及下料，能够保证MEMS气体传感器模组检测的连续，保证检测的效率。

优选地，所述供料装置包括位于供料端内与输送带位置对应的上料组件以及下料组件，上料组件以及下料组件朝向相反，所述第二导向组件与检测平台之间设置有伸缩装置以控制上料组件以及下料组件同步朝着外侧移动。

优选地，所述伸缩装置包括第一折叠连杆以及与第一折叠连杆适配的第二折叠连杆，所述第一折叠连杆的转动连接处通过第一控制杆与第二导向组件固定连接，所述第二折叠连杆的转动连接处通过第二控制杆与检测平台相固定。

优选地，所述第二导向组件包括间隔设置的第三导向轮以及第四导向轮，所述检测平台上端固定有第二限位组件用于安装第二导向组件，所述第二限位组件包括第二定位座，用于安装第三导向轮、第四导向轮的第二安装架，以及贯穿第二安装架并且与之滑动连接的导向杆。

优选地，所述第一折叠连杆、第二折叠连杆的转动连接处安装有扭力弹性组件。

优选地，还包括下料输送线，所述下料输送线位于供料端的下方，且所述下料输送线可沿着输送装置长度方向伸缩。

优选地，所述限位框包括中空的框架主体，所述框架主体外侧通过安装工件与输送带固定连接，内侧壁设置有弹性的卡紧组件。

本发明的有益效果为：

通过设置输送装置条形连续输送方式，能够实现对MEMS气体传感器模组的连续输送，同时MEMS气体传感器模组双向无遮挡，能够同步实现对MEMS气体传感器模组的双向图像检测，提高的图像检测效率；尤其是通过控制MEMS气体传感器模组在水平面上线性移动，能够同步对第一检测组件以及第二检测组件的检测角度范围进行调整，提高了第一检测组件、第二检测组件图像检测数据以及精度的同时，能够一次对MEMS气体传感器模组的正面、反面进行调整，进一步提高了对MEMS气体传感器模组的检测效率。

附图说明

图1为本发明的立体结构示意图。

图2为本发明图1的主视结构示意图。

图3为本发明图1的俯视结构示意图。

图4为本发明图1的侧视结构示意图。

图5为本发明图3的A处放大结构示意图。

图6为本发明的输送装置立体结构示意图。

图7为本发明图6的主视结构示意图。

图8为本发明图7的B处放大结构示意图。

图9为本发明图7的C处放大结构示意图。

图中：100、检测平台；110、第一限位组件；111、第一定位座；112、导向滑轨；113、第一安装架；120、第二限位组件；121、第二定位座；122、导向杆；123、第二安装架；200、输送装置；210、输送带；220、限位框；221、安装工件；222、框架主体；223、卡紧组件；230、第一导向组件；231、第一导向轮；232、第二导向轮；240、第二导向组件；241、第三导向轮；242、第四导向轮；300、图像检测装置；310、第一检测组件；320、第二检测组件；400、供料装置；410、上料组件；411、上料底座；412、上料板；420、下料组件；421、下料板；422、下料底座；430、伸缩装置；431、第一控制杆；432、第一折叠连杆；433、第二折叠连杆；434、第二控制杆；500、下料输送线。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

参照附图1-附图9，一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备，包括检测平台100，检测平台100上端安装有用于输送MEMS气体传感器模组的输送装置200，以及用于检测MEMS气体传感器模组的图像检测装置300，在检测的过程中，通过输送装置200将MEMS气体传感器模组定型输送至图像检测装置300一侧，通过图像检测装置300完成对MEMS气体传感器模组正反面的连续检测。

其中，输送装置200包括两条并列设置的输送带210，输送带210为闭合的环形，两条输送带210之间安装有限位框220，输送带210第一端设置有第一导向组件230，通过第一导向组件230形成竖直的检测端；MEMS气体传感器模组位于检测端处于竖直的状态实现双面检测，这里的限位框220中空设置，将MEMS气体传感器模组限位安装于限位框220内，通过控制两条输送带210带动限位框220定向移动，能够实现对多个MEMS气体传感器模组的连续检测，提高了检测效率；同时采用上述输送方式，与传统底部固定的托盘、吸盘方式相比较，不会对MEMS气体传感器模组的正反面产生阻碍，通过图像检测装置300能够同步实现对MEMS气体传感器模组的双向检测，进一步提高了对MEMS气体传感器模组连续检测的效率。

这里的图像检测装置300包括位于检测端第一侧的第一检测组件310，以及位于检测端第二侧的第二检测组件320；其中，通过输送装置200将MEMS气体传感器模组输送至检测端，通过驱动第一导向组件230移动以改变图像检测装置300的图像检测角度；限位框220带动MEMS气体传感器模组输送至检测端处于竖直的状态，第一检测组件310以及第二检测组件320位于两侧的位置能够分别对MEMS气体传感器模组的正面、反面进行图像检测；同时能够通过拉动第一导向组件230带动限位框220以及MEMS气体传感器模组移动至不同的水平面，以调整两侧第一检测组件310以及第二检测组件320检测的范围，实现对第一检测组件310以及第二检测组件320检测角度范围的同步调整，提高了对MEMS气体传感器模组检测的精度；同时，通过移动MEMS气体传感器模组水平移动，对于第一检测组件310以及第二检测组件320来说，二者检测角度范围同步变化，一次移动过程中能够实现双向的调整，进一步提高了对MEMS气体传感器模组检测的效率。

综上，通过设置输送装置200条形连续输送方式，能够实现对MEMS气体传感器模组的连续输送，同时MEMS气体传感器模组双向无遮挡，能够同步实现对MEMS气体传感器模组的双向图像检测；尤其是通过控制MEMS气体传感器模组在水平面上线性移动，能够同步对第一检测组件310以及第二检测组件320的检测角度范围进行调整，提高了第一检测组件310、第二检测组件320图像检测数据以及精度的同时，能够一次对MEMS气体传感器模组的正面、反面进行调整，极大地提高了对MEMS气体传感器模组的检测效率。

具体参照附图8，第一导向组件230包括第一导向轮231以及第二导向轮232，第一导向轮231位于第二导向轮232的垂直上方，二者之间的输送带210形成垂直的输送区域，即检测端所在区域，检测平台100上端设置有第一限位组件110用于安装第一导向组件230，第一限位组件110包括与检测平台100上端固定连接的第一定位座111，第一定位座111上端安装有导向滑轨112，导向滑轨112内滑动设置有用于安装第一导向轮231、第二导向轮232的第一安装架113，从外侧控制第一安装架113移动以带动第一导向组件230、限位框220移动，具体为，在第一安装架113底部安装有锁紧的拉钩，从第一安装架113的外侧以拉伸装置控制第一安装架113水平方向移动，实现对MEMS气体传感器模组水平位置的控制，调整MEMS气体传感器模组与第一检测组件310、第二检测组件320之间的距离，实现对第一检测组件310、第二检测组件320检测角度的调整控制。通过上述设置，能够保证MEMS气体传感器模组在水平移动过程中的稳定性，保证图像检测结果的准确以及稳定。

在输送带210的移动路径上安装有弹性组件，以对检测端拉伸移动后的输送带210进行弹性补偿，以保证输送带210能够输送的状态，避免处于过度紧绷或者过度松弛的状态，保证对MEMS气体传感器模组的连续图像检测以及持续定向输送。

通过输送带210控制对应的限位框220移动至检测端处于竖直状态后，从外侧控制第一安装架113移动以带动第一导向组件230、限位框220移动，通过外侧拉动限位框220以及其内部的MEMS气体传感器模组朝着第一检测组件310方向移动，第一检测组件310以及第二检测组件320在这个过程中与MEMS气体传感器模组的距离逐渐变化，以动态调整图像检测的角度范围，实现图像检测的连续。

在输送带210第二端设置有第二导向组件240，通过第二导向组件240形成竖直的供料端，第二导向组件240相对于检测平台100滑动且二者之间设置有弹性组件，供料端内部安装有供料装置400实现MEMS气体传感器模组的上下料；通过设置供料装置400能够在相对一侧的位置，在图像检测的过程中同步实现对MEMS气体传感器模组的上料以及下料，能够保证MEMS气体传感器模组检测的连续，保证检测的效率；具体为，将MEMS气体传感器模组向上顶升至对应的限位框220内卡紧，完成上料；将下方限位框220内的MEMS气体传感器模组定出，实现自动下料。

这里需要注意的是，这里的检测端以及供料端位于输送带210的两侧，且通过在供料端设置弹性组件，能够在检测端第一导向组件230移动的过程中，带动供料端第二导向组件240同步移动，这里的第一导向组件230以及第二导向组件240平行设置，在移动的过程中输送带210与第一导向组件230、第二导向组件240之间不会发生位移变化，第一导向组件230、第二导向组件240以及输送带210整体合围形成的矩形区域朝着第一检测组件310的方向移动，以完成图像检测装置300处MEMS气体传感器模组的角度调整，同时在移动的过程中控制供料装置400顶升变化，实现MEMS气体传感器模组同步的上下料；通过上述结构设计，能够充分利用图像检测装置300处MEMS气体传感器模组检测时间，同时完成MEMS气体传感器模组的上下料过程，进一步提高了MEMS气体传感器模组的检测以及传输效率。

具体参照附图9，其中供料装置400包括位于供料端内与输送带210位置对应的上料组件410以及下料组件420，上料组件410以及下料组件420朝向相反，第二导向组件240与检测平台100之间设置有伸缩装置430以控制上料组件410以及下料组件420同步朝着外侧移动，通过转运机械手将未检测的MEMS气体传感器模组转运至上料组件410表面，控制上料组件410顶升至上方的限位框220处，完成未检测的MEMS气体传感器模组上料；同时筒下料组件420朝着下方移动，将下方限位框220内检测完毕的MEMS气体传感器模组顶出，MEMS气体传感器模组在重力的作用下自动下降，实现自动下料过程。

伸缩装置430包括第一折叠连杆432以及与第一折叠连杆432适配的第二折叠连杆433，第一折叠连杆432的转动连接处通过第一控制杆431与第二导向组件240固定连接，第二折叠连杆433的转动连接处通过第二控制杆434与检测平台100相固定。

这里第一折叠连杆432、第二折叠连杆433均为两个转动连接的连接杆，第一折叠连杆432以及第二折叠连杆433对称设置，在第二导向组件240朝着第一检测组件310方向移动过程中控制伸缩装置430整体伸缩，以让两个的上料组件410、下料组件420朝着对应的限位框220方向顶出，完成MEMS气体传感器模组的上下料。

这里需要说明的是，上料组件410以及下料组件420均为双层设计，上料组件410包括相对固定的上料底座411以及相对滑动的上料板412，上料板412顶部安装有与限位框220相适配的捕捉组件，以让上料组件410顶升过程中能够与上方限位框220对接的准确；同时，下料组件420包括下料板421以及下料底座422，下料板421相对滑动，下料底座422相对固定，朝着外侧移动的过程中能够将下方的限位框220内检测完毕的MEMS气体传感器模组顶出，实现自动下料；通过上述结构设计，在上料组件410以及下料组件420顶升的过程中，能够与对应的限位框220相对应，且对接后位置相对不变，保证了MEMS气体传感器模组上下料过程中的稳定。

并且，根据上料组件410、下料组件420与对应限位框220之间间距以及伸缩距离来选择MEMS气体传感器模组的放置位置，让上料板412、下料板421能被对应的限位框220捕获，以保证MEMS气体传感器模组的稳定上下料。

上述的伸缩装置430同样可以选择为单侧的折叠伸缩结构，折叠伸缩结构的转动连接处与第二安装架123相联接，在第二安装架123朝着第一检测组件310方向移动的过程中，能够控制折叠伸缩结构的末端朝着两侧方向顶出，实现MEMS气体传感器模组的上下料。

具体地，第二导向组件240包括间隔设置的第三导向轮241以及第四导向轮242，检测平台100上端固定有第二限位组件120用于安装第二导向组件240，第二限位组件120包括第二定位座121，用于安装第三导向轮241、第四导向轮242的第二安装架123，以及贯穿第二安装架123并且与之滑动连接的导向杆122，第二安装架123能够沿着导向杆122的方向水平移动，第三导向轮241以及第四导向轮242位于竖直设置，能够与检测端的第一导向轮231、第二导向轮232位置相对，同时，可以在第三导向轮241、第四导向轮242表面安装有锁紧元件，在输送带210整体移动的过程中，通过锁紧元件能够将第三导向轮241、第四导向轮242以及输送带210之间的位置进行锁定，保证输送装置200整体偏移过程中，输送带210的位置相对稳定，以保证检测端以及供料端MEMS气体传感器模组的稳定，保证整体设备检测以及上下料的稳定进行。

在第一折叠连杆432、第二折叠连杆433的转动连接处安装有扭力弹性组件，上述的扭力弹性组件可以选择为扭力弹簧，能够使得第一折叠连杆432以及第二折叠连杆433有着复位的趋势，从内侧对第二安装架123以及第二导向组件240施加推力，以保证输送带210处于绷紧的状态，同样可以在导向杆122表面套设有弹簧，以推动第二安装架123整体有着复位的趋势，通过上述结构设计，能够让输送带210处于绷紧的状态，以保证输送带210的驱动结构能够与输送带210之间保持预定的摩擦，保证输送带210整体结构驱动的稳定。

该检测设备还包括下料输送线500，下料输送线500位于供料端的下方，且下料输送线500可沿着输送装置200长度方向伸缩，下料输送线500的伸缩状态根据对应的限位框220内MEMS气体传感器模组的表面情况进行调整，表面质量差的MEMS气体传感器模组直接掉落至下方的回收箱内，表面质量符合要求的MEMS气体传感器模组通过下料输送线500输送至外侧完成后续的检测、封装。

具体的，限位框220包括中空的框架主体222，框架主体222外侧通过安装工件221与输送带210固定连接，内侧壁设置有弹性的卡紧组件223，框架主体222通过安装工件221与两侧的输送带210相固定，在外侧的驱动结构的控制下，两条输送带210同步移动，能够带动中间的框架主体222同步移动，完成MEMS气体传感器模组的输送；同时MEMS气体传感器模组被内侧的卡紧组件223限位，以保证MEMS气体传感器模组输送的稳定。

这里的卡紧组件223为弹性的限位囊，表面内凹，在限位囊内填充有电流变液，根据MEMS气体传感器模组的卡紧状态控制电流变液的导电状态，进而控制卡紧囊对MEMS气体传感器模组的锁紧状态，以保证MEMS气体传感器模组在移动过程中的稳定。

该检测设备配套的检测方法，包括如下步骤：

S1、通过供料端的供料装置400对MEMS气体传感器模组进行上下料，具体为将未检测的MEMS气体传感器模组顶升至上方对应的限位框220内，将下方对应的限位框220内经过检测的MEMS气体传感器模组顶出实现下料。

S2、通过输送装置200驱动上料后的MEMS气体传感器模组朝着图像检测装置300方向移动，控制MEMS气体传感器模组移动至检测端，竖直地位于第一检测组件310以及第二检测组件320两侧，完成对MEMS气体传感器模组两侧的图像检测。

在检测的过程中控制第一导向组件230带动MEMS气体传感器模组朝着第一检测组件310方向移动，以改变MEMS气体传感器模组检测的角度范围，以提高检测的精度，提高了检测的质量和效率。同时MEMS气体传感器模组以竖直的姿态移动，限位框220底部结构能够对MEMS气体传感器模组支撑，保证MEMS气体传感器模组移动过程中的稳定。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备，包括检测平台（100），所述检测平台（100）上端安装有用于输送MEMS气体传感器模组的输送装置（200），以及用于检测MEMS气体传感器模组的图像检测装置（300），其特征在于：

所述输送装置（200）包括两条并列设置的输送带（210），所述输送带（210）为闭合的环形，两条输送带（210）之间安装有限位框（220），所述输送带（210）第一端设置有第一导向组件（230），通过第一导向组件（230）形成竖直的检测端；

所述图像检测装置（300）包括位于检测端第一侧的第一检测组件（310），以及位于检测端第二侧的第二检测组件（320）；其中，通过输送装置（200）将MEMS气体传感器模组输送至检测端，通过驱动第一导向组件（230）移动以改变图像检测装置（300）的图像检测角度。

2.根据权利要求1所述的一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备，其特征在于，所述第一导向组件（230）包括第一导向轮（231）以及第二导向轮（232），所述检测平台（100）上端设置有第一限位组件（110）用于安装第一导向组件（230），所述第一限位组件（110）包括与检测平台（100）上端固定连接的第一定位座（111），所述第一定位座（111）上端安装有导向滑轨（112），所述导向滑轨（112）内滑动设置有用于安装第一导向轮（231）、第二导向轮（232）的第一安装架（113），从外侧控制第一安装架（113）移动以带动第一导向组件（230）、限位框（220）移动。

3.根据权利要求2所述的一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备，其特征在于，通过输送带（210）控制对应的限位框（220）移动至检测端处于竖直状态后，从外侧控制第一安装架（113）移动以带动第一导向组件（230）、限位框（220）移动。

4.根据权利要求1所述的一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备，其特征在于，所述输送带（210）第二端设置有第二导向组件（240），通过第二导向组件（240）形成竖直的供料端，所述第二导向组件（240）相对于检测平台（100）滑动且二者之间设置有弹性组件，所述供料端内部安装有供料装置（400）实现MEMS气体传感器模组的上下料。

5.根据权利要求4所述的一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备，其特征在于，所述供料装置（400）包括位于供料端内与输送带（210）位置对应的上料组件（410）以及下料组件（420），上料组件（410）以及下料组件（420）朝向相反，所述第二导向组件（240）与检测平台（100）之间设置有伸缩装置（430）以控制上料组件（410）以及下料组件（420）同步朝着外侧移动。

6.根据权利要求5所述的一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备，其特征在于，所述伸缩装置（430）包括第一折叠连杆（432）以及与第一折叠连杆（432）适配的第二折叠连杆（433），所述第一折叠连杆（432）的转动连接处通过第一控制杆（431）与第二导向组件（240）固定连接，所述第二折叠连杆（433）的转动连接处通过第二控制杆（434）与检测平台（100）相固定。

7.根据权利要求6所述的一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备，其特征在于，所述第二导向组件（240）包括间隔设置的第三导向轮（241）以及第四导向轮（242），所述检测平台（100）上端固定有第二限位组件（120）用于安装第二导向组件（240），所述第二限位组件（120）包括第二定位座（121），用于安装第三导向轮（241）、第四导向轮（242）的第二安装架（123），以及贯穿第二安装架（123）并且与之滑动连接的导向杆（122）。

8.根据权利要求6所述的一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备，其特征在于，所述第一折叠连杆（432）、第二折叠连杆（433）的转动连接处安装有扭力弹性组件。

9.根据权利要求4-8任一所述的一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备，其特征在于，还包括下料输送线（500），所述下料输送线（500）位于供料端的下方，且所述下料输送线（500）可沿着输送装置（200）长度方向伸缩。

10.根据权利要求1-8任一所述的一种MEMS气体传感器模组生产用检测设备，其特征在于，所述限位框（220）包括中空的框架主体（222），所述框架主体（222）外侧通过安装工件（221）与输送带（210）固定连接，内侧壁设置有弹性的卡紧组件（223）。