CN114146949B - 一种半导体光学检测设备用分类装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种半导体光学检测设备用分类装置，包括：底座；升降臂，其固定于所述底座上，且具有一竖向移动端；第一转臂，其固定于竖向移动端，且第一转臂的另一端转动设置有第二转臂，所述第二转臂的另一端转动设置有第三转臂，所述第三转臂的另一端转动设置有连接臂；升降调节组件，其设置所述连接臂的另一端，且所述升降调节组件具有一竖向调节端；柔性吸附组件，其设置于竖向调节端；传送组件，其设置于底座上，且位于柔性吸附组件的下方；以及接收组件；且，分类时，利用柔性吸附组件选择性的从传送组件上吸附半导体部件，且由接收组件进行接收并送至分类框。

Description

一种半导体光学检测设备用分类装置

技术领域

本发明涉及半导体分类检测技术领域，具体涉及一种半导体光学检测设备用分类装置。

背景技术

光学缺陷检测技术广泛应用于半导体、平板显示、太阳能等先进制造行业，基于光学和图像处理技术对生产工艺中的表面缺陷进行自动化检测、分析和分类，能够帮助优化工艺流程和并提高产品良率，在对半导体进行光学检测前，需要对半导体进行分类，在分类时，往往需要利用夹持装置对于半导体部件进行抓取分类，该类抓取设备往往存在对半导体产生损伤的风险，并且，适应性较差，无法应对不同位置、角度的分类收集设备。

因此，有必要提供一种半导体光学检测设备用分类装置以解决上述问题。

发明内容

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种半导体光学检测设备用分类装置，包括：

底座；

升降臂，其固定于所述底座上，且具有一竖向移动端；

第一转臂，其固定于竖向移动端，且第一转臂的另一端转动设置有第二转臂，所述第二转臂的另一端转动设置有第三转臂，所述第三转臂的另一端转动设置有连接臂；

升降调节组件，其设置所述连接臂的另一端，且所述升降调节组件具有一竖向调节端；

柔性吸附组件，其设置于竖向调节端；

传送组件，其设置于底座上，且位于柔性吸附组件的下方；以及

接收组件；

且，分类时，利用柔性吸附组件选择性的从传送组件上吸附半导体部件，且由接收组件进行接收并送至分类框。

进一步，作为优选，所述升降调节组件包括：

基座，其固定于连接臂上；

至少一个导条，其固定于所述基座上；

并列滑动排布在导条上的第一滑座和第二滑座；

调节杆，其可伸缩的连接至第一滑座和第二滑座之间；

第四伸缩杆，其固定于基座上，且用于驱动第一滑座进行滑动动作；以及

负压仓，其一端与柔性吸附组件相连接，用于为柔性吸附组件提供负压抽吸力，另一端采用连接头与外部负压发生器相连。

进一步，作为优选，所述第一滑座和第二滑座上共同固定有一导杆，所述导杆限位滑动设置于基座上。

进一步，作为优选，所述接收组件包括：

基座；

至少一个导轨，其水平固定于所述基座的一侧；

限位座，其滑动设置于所述导轨上，且由第一伸缩杆所驱动；

第二伸缩杆，其竖向固定嵌入于所述限位座中，且所述第二伸缩杆的输出端固定有升降座；以及

多角度接收组件，其设置于所述升降座上。

进一步，作为优选，所述多角度接收组件包括：

接收头，其转动设置于所述升降座上；

齿轮，其固定于接收头的一侧且与接收头的转动轴线同轴；

齿条，其与所述齿轮相啮合设置；以及

第三伸缩杆，用于驱动所述齿条进行往复移动。

进一步，作为优选，所述接收头为负压吸附头。

进一步，作为优选，所述柔性吸附组件包括：

吸附座，其固定于负压仓下方，且所述吸附座上竖向开设有多个贯通孔；

自适应杆，其滑动贯穿所述贯通孔；

连接头，其固定于所述自适应杆的底部，且连接头的另一端固定有吸附头。

进一步，作为优选，所述连接头中嵌入有微动杆，所述微动杆的端部固定有抽吸头，所述抽吸头的四周均布设有孔体，所述抽吸头与负压仓相连通。

进一步，作为优选，所述自适应杆的外部套设有连接在自适应杆与吸附座之间的复位弹簧；

所述贯通孔中嵌入有锁紧囊以及导向管，所述锁紧囊的涨缩由外部液压控制器所控制。

进一步，作为优选，所述传送组件包括：

安装座，其固定于所述底座上；

对称转动设置于所述安装座上的驱动辊，且至少一个驱动辊具有动力；

传送带，其传动套设于两个驱动辊上；以及

间隔分布于所述传送带表面的多个传送座。

与现有技术相比，本发明提供了一种半导体光学检测设备用分类装置，具有以下有益效果：

本发明实施例中，在利用柔性吸附组件吸附半导体部件前，先将柔性吸附组件整体下移，此时锁紧囊解除对于自适应杆的锁紧动作，从而使得吸附头适应半导体部件的上部部件形状，提高吸附的精确性，使得各个位置的吸附压力保持一致，之后通过锁紧囊对于各个自适应杆进行锁紧，吸附时，利用抽吸头产生的抽吸力将半导体部件向上抽吸，在此过程中，微动杆进行收缩，以便在吸附半导体部件后，半导体部件能够在吸附头和吸能环作用下进行微缓冲，减少吸附对于半导体部件的损伤，之后，利用接收组件能够接收半导体部件的下部，从而很好的避开了半导体部件的上部部件，提高了在分类过程中，对于半导体部件的保护，另外，通过柔性吸附组件进行选择性的吸附能够将传送组件上的部分半导体部件吸附送至分类框中，实现分类，并且，利用吸附组件进行吸附后，由接收组件作为中转，从而使得柔性吸附组件专注于上下吸附即可，并且利用接收组件的灵活性中转，能够提高其适应性。

附图说明

图1为一种半导体光学检测设备用分类装置的整体结构示意图；

图2为一种半导体光学检测设备用分类装置中接收组件的结构示意图；

图3为一种半导体光学检测设备用分类装置中接收组件的部分立体结构示意图；

图4为一种半导体光学检测设备用分类装置中升降调节组件的结构示意图；

图5为一种半导体光学检测设备用分类装置中升降调节组件的部分立体结构示意图；

图6为一种半导体光学检测设备用分类装置中柔性吸附组件的结构示意图；

图7为一种半导体光学检测设备用分类装置中传送组件的结构示意图；

图中：1、底座；2、升降臂；3、第一转臂；4、第二转臂；5、第三转臂；6、连接臂；7、升降调节组件；8、柔性吸附组件；9、接收组件；10、传送组件；101、安装座；102、传送带；103、传送座；91、基板；92、导轨；93、限位座；94、第一伸缩杆；95、升降座；96、第二伸缩杆；97、接收头；98、齿轮；99、齿条；910、第三伸缩杆；71、基座；72、导条；73、第一滑座；74、第二滑座；75、调节杆；76、第四伸缩杆；77、负压仓；78、连接头；79、导杆；81、吸附座；82、自适应杆；83、锁紧囊；84、复位弹簧；85、连接头；86、吸能环；87、吸附头；88、抽吸头；89、微动杆。

具体实施方式

请参阅图1~7，本发明提供了一种半导体光学检测设备用分类装置，包括：

底座1；

升降臂2，其固定于所述底座1上，且具有一竖向移动端；

第一转臂3，其固定于竖向移动端，且第一转臂3的另一端转动设置有第二转臂4，所述第二转臂4的另一端转动设置有第三转臂5，所述第三转臂5的另一端转动设置有连接臂6；

其中，第二转臂、第三转臂以及连接臂6均具有动力，在此不再赘述；

升降调节组件7，其设置所述连接臂6的另一端，且所述升降调节组件7具有一竖向调节端；

柔性吸附组件8，其设置于竖向调节端；

传送组件10，其设置于底座1上，且位于柔性吸附组件8的下方；以及

接收组件9；

且，分类时，利用柔性吸附组件8选择性的从传送组件10上吸附半导体部件，且由接收组件9进行接收并送至分类框。

也就是说，本实施例中，通过柔性吸附组件8进行选择性的吸附能够将传送组件10上的部分半导体部件吸附送至分类框中，实现分类，并且，利用吸附组件8进行吸附后，由接收组件9作为中转，从而使得柔性吸附组件8专注于上下吸附即可，并且利用接收组件9的灵活性中转，能够提高其适应性。

本实施例中，如图4和5，所述升降调节组件7包括：

基座71，其固定于连接臂6上；

至少一个导条72，其固定于所述基座71上；

并列滑动排布在导条72上的第一滑座73和第二滑座74；

调节杆75，其可伸缩的连接至第一滑座73和第二滑座74之间；

第四伸缩杆76，其固定于基座71上，且用于驱动第一滑座73进行滑动动作；以及

负压仓77，其一端与柔性吸附组件8相连接，用于为柔性吸附组件8提供负压抽吸力，另一端采用连接头78与外部负压发生器相连。

需要注意的是，调节杆75可以是手动伸缩调节的杆体，也可以是电动伸缩调节的杆体，通过调节杆75能够调节第一滑座73和第二滑座74之间的距离，从而在初始阶段调节柔性吸附组件8的初始高度，提高其适应性。

作为较佳的实施例，所述第一滑座和第二滑座上共同固定有一导杆79，所述导杆79限位滑动设置于基座71上。

本实施例中，如图2和3，所述接收组件9包括：

基座91；

至少一个导轨92，其水平固定于所述基座91的一侧；

限位座93，其滑动设置于所述导轨92上，且由第一伸缩杆94所驱动；

第二伸缩杆96，其竖向固定嵌入于所述限位座93中，且所述第二伸缩杆96的输出端固定有升降座95；以及

多角度接收组件，其设置于所述升降座95上。

另外，所述多角度接收组件包括：

接收头97，其转动设置于所述升降座95上；

齿轮98，其固定于接收头97的一侧且与接收头97的转动轴线同轴；

齿条99，其与所述齿轮98相啮合设置；以及

第三伸缩杆910，用于驱动所述齿条99进行往复移动。

因此，在实施时，当柔性吸附组件8吸附半导体部件后，通过第一伸缩杆94的伸长动作能够带动限位座93沿导轨92进行滑动，从而使得接收头97靠近柔性吸附组件8，并接收来自于柔性吸附组件8上的半导体部件，随后通过第一伸缩杆94的收缩动作，带动限位座93进行复位，此时，通过第二伸缩杆96驱动调节升降座95的高度，并且利用第三伸缩杆910驱动齿条进行滑动，从而驱动齿轮以及接收头97进行转动，从而实现角度调节，进而实现多角度自适应中转送料，提高了分类的灵活性。

作为较佳的实施例，所述接收头97为负压吸附头。

本实施例中，如图6，所述柔性吸附组件8包括：

吸附座81，其固定于负压仓77下方，且所述吸附座81上竖向开设有多个贯通孔；

自适应杆82，其滑动贯穿所述贯通孔；

连接头85，其固定于所述自适应杆82的底部，且连接头85的另一端固定有吸附头87。

另外，所述连接头85中嵌入有微动杆89，所述微动杆89的端部固定有抽吸头88，所述抽吸头88的四周均布设有孔体，所述抽吸头88与负压仓77相连通。

作为较佳的实施例，所述自适应杆82的外部套设有连接在自适应杆82与吸附座81之间的复位弹簧84；

所述贯通孔中嵌入有锁紧囊以及导向管，所述锁紧囊的涨缩由外部液压控制器所控制。

需要解释的是，在利用柔性吸附组件8吸附半导体部件前，先将柔性吸附组件8整体下移，此时锁紧囊解除对于自适应杆的锁紧动作，从而使得吸附头87适应半导体部件的上部部件形状，提高吸附的精确性，使得各个位置的吸附压力保持一致，之后通过锁紧囊对于各个自适应杆进行锁紧，吸附时，利用抽吸头88产生的抽吸力将半导体部件向上抽吸，在此过程中，微动杆进行收缩，以便在吸附半导体部件后，半导体部件能够在吸附头和吸能环86作用下进行微缓冲，减少吸附对于半导体部件的损伤，之后，利用接收组件9能够接收半导体部件的下部，从而很好的避开了半导体部件的上部部件，提高了在分类过程中，对于半导体部件的保护。

本实施例中，如图7，所述传送组件10包括：

安装座101，其固定于所述底座1上；

对称转动设置于所述安装座101上的驱动辊，且至少一个驱动辊具有动力；

传送带102，其传动套设于两个驱动辊上；以及

间隔分布于所述传送带102表面的多个传送座103。

在具体实施时，利用传送组件上的传送座103进行间隔持续送料，并通过柔性吸附组件8进行选择性的吸附能够将传送组件10上的部分半导体部件吸附送至分类框中，实现分类，并且，利用吸附组件8进行吸附后，由接收组件9作为中转，从而使得柔性吸附组件8专注于上下吸附即可，并且利用接收组件9的灵活性中转，能够提高其适应性；

其中，在利用柔性吸附组件8吸附半导体部件前，先将柔性吸附组件8整体下移，此时锁紧囊解除对于自适应杆的锁紧动作，从而使得吸附头87适应半导体部件的上部部件形状，提高吸附的精确性，使得各个位置的吸附压力保持一致，之后通过锁紧囊对于各个自适应杆进行锁紧，吸附时，利用抽吸头88产生的抽吸力将半导体部件向上抽吸，在此过程中，微动杆进行收缩，以便在吸附半导体部件后，半导体部件能够在吸附头和吸能环86作用下进行微缓冲，减少吸附对于半导体部件的损伤，之后，利用接收组件9能够接收半导体部件的下部，从而很好的避开了半导体部件的上部部件，提高了在分类过程中，对于半导体部件的保护。

以上所述的，仅为本发明较佳的具体实施方式，但本发明的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内，根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本发明的保护范围之内。

Claims (8)

1.一种半导体光学检测设备用分类装置，其特征在于：包括：

底座（1）；

升降臂（2），其固定于所述底座（1）上，且具有一竖向移动端；

第一转臂（3），其固定于竖向移动端，且第一转臂（3）的另一端转动设置有第二转臂（4），所述第二转臂（4）的另一端转动设置有第三转臂（5），所述第三转臂（5）的另一端转动设置有连接臂（6）；

升降调节组件（7），其设置于所述连接臂（6）的另一端，且所述升降调节组件（7）具有一竖向调节端；

柔性吸附组件（8），其设置于竖向调节端；

传送组件（10），其设置于底座（1）上，且位于柔性吸附组件（8）的下方；以及

接收组件（9）；

且，分类时，利用柔性吸附组件（8）选择性的从传送组件（10）上吸附半导体部件，且由接收组件（9）进行接收并送至分类框；

所述升降调节组件（7）包括：

基座（71），其固定于连接臂（6）上；

至少一个导条（72），其固定于所述基座（71）上；

并列滑动排布在导条（72）上的第一滑座（73）和第二滑座（74）；

调节杆（75），其可伸缩的连接至第一滑座（73）和第二滑座（74）之间；

第四伸缩杆（76），其固定于基座（71）上，且用于驱动第一滑座（73）进行滑动动作；以及

负压仓（77），其一端与柔性吸附组件（8）相连接，用于为柔性吸附组件（8）提供负压抽吸力，另一端采用连接头（78）与外部负压发生器相连；

所述柔性吸附组件（8）包括：

吸附座（81），其固定于负压仓（77）下方，且所述吸附座（81）上竖向开设有多个贯通孔；

自适应杆（82），其滑动贯穿所述贯通孔；

连接头（85），其固定于所述自适应杆（82）的底部，且连接头（85）的另一端固定有吸附头（87）。

2.根据权利要求1所述的半导体光学检测设备用分类装置，其特征在于：所述第一滑座和第二滑座上共同固定有一导杆（79），所述导杆（79）限位滑动设置于基座（71）上。

3.根据权利要求1所述的半导体光学检测设备用分类装置，其特征在于：所述接收组件（9）包括：

基座（91）；

至少一个导轨（92），其水平固定于所述基座（91）的一侧；

限位座（93），其滑动设置于所述导轨（92）上，且由第一伸缩杆（94）所驱动；

第二伸缩杆（96），其竖向固定嵌入于所述限位座（93）中，且所述第二伸缩杆（96）的输出端固定有升降座（95）；以及

多角度接收组件，其设置于所述升降座（95）上。

4.根据权利要求3所述的半导体光学检测设备用分类装置，其特征在于：所述多角度接收组件包括：

接收头（97），其转动设置于所述升降座（95）上；

齿轮（98），其固定于接收头（97）的一侧且与接收头（97）的转动轴线同轴；

齿条（99），其与所述齿轮（98）相啮合设置；以及

第三伸缩杆（910），用于驱动所述齿条（99）进行往复移动。

5.根据权利要求4所述的半导体光学检测设备用分类装置，其特征在于：所述接收头（97）为负压吸附头。

6.根据权利要求1所述的半导体光学检测设备用分类装置，其特征在于：所述连接头（85）中嵌入有微动杆（89），所述微动杆（89）的端部固定有抽吸头（88），所述抽吸头（88）的四周均布设有孔体，所述抽吸头（88）与负压仓（77）相连通。

7.根据权利要求1所述的半导体光学检测设备用分类装置，其特征在于：所述自适应杆（82）的外部套设有连接在自适应杆（82）与吸附座（81）之间的复位弹簧（84）；

所述贯通孔中嵌入有锁紧囊以及导向管，所述锁紧囊的涨缩由外部液压控制器所控制。

8.根据权利要求1所述的半导体光学检测设备用分类装置，其特征在于：所述传送组件（10）包括：

安装座（101），其固定于所述底座（1）上；

对称转动设置于所述安装座（101）上的驱动辊，且至少一个驱动辊具有动力；

传送带（102），其传动套设于两个驱动辊上；以及

间隔分布于所述传送带（102）表面的多个传送座（103）。